DE2016969A1 - Pickling process for obtaining perforations - in metallic sheet - Google Patents

Pickling process for obtaining perforations - in metallic sheet

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DE2016969A1 DE19702016969 DE2016969A DE2016969A1 DE 2016969 A1 DE2016969 A1 DE 2016969A1 DE 19702016969 DE19702016969 DE 19702016969 DE 2016969 A DE2016969 A DE 2016969A DE 2016969 A1 DE2016969 A1 DE 2016969A1
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Nobuzo; Ito Takeshi; Hikone Shiga Kubo (Japan)
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Abstract

Process for obtaining perforations of desired shape with precision in which metallic sheet material is covered with a layer of pickle resistant material, which has been treated to give it the desired shape, on both sides and is then subjected to a light pickling treatment on one or both sides. A second pickle resistant film is then applied to one side of the sheet which has already been pickled and a second pickle is then carried out on the opposite side to form the desired perforations. The pickle resistant films are then removed. The process is carried out continuously.

Description

Verfahren und Einrichtung zum Perforierenvon Metallteilen Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zum Pe.rforieren von Metallteilen, insbesondere von dünnen Metallplatten, mittels chemischer Ätzung, bei denen eine gegen das Ätzmedium wiDderstandsfähige, das zu erzeugende Perforationsmuster enthaltende Schablonenschicht auf beide Seiten der Metallplatten aufgebracht wird und die so geschaffene.Anordnung der chemischen Ätzung unterzogen wird. Method and apparatus for perforating metal parts The invention relates to a method and a device for perforating metal parts, in particular of thin metal plates, by means of chemical etching, in which one is against the etching medium Resistant stencil layer containing the perforation pattern to be produced is applied to both sides of the metal plates and the arrangement created in this way is subjected to chemical etching.

Die Technik zur Herstellung geformter und mit Formmustern versehener Metallteile mittels des sogenannten Photo-Ätzverfahrens, dem-.ein Photo-Gra2^ierprinzip zu Grunde liegt, ist in der jüngsten Zeit in großem Umfang auf unterschiedlichen technischen Gebieten angewendet worden. Unter den im Handel erhältlichen Artikeln, die mittels dieser Technik erzeugt werden, befinden sich beispielsweise Lochmasken.The technique of making shaped and shaped patterns Metal parts by means of the so-called photo-etching process, the photo-gra2 ^ ierprinzip Underlying is has been widely based on different in recent times technical fields have been applied. Among the items available on the market, that are generated by means of this technology are, for example, shadow masks.

für Farbfernsehrohren, die verschiedenartigsten Metallsiebe, die Blätter von Blendenverschlüssen, Vakuum-Verdampfermasken zur Herstellung elektronischer Teile und viele andere.for color television tubes, the most diverse metal screens, the leaves of shutter shutters, vacuum evaporator masks for the production of electronic Parts and many others.

Bei der Herstellung dieser Artikel mittels der erwähnten Ätztechnik wird bei relativ -geringer Dicke der zu bearbeitenden, blanken Metallplatte eine gegen das Ätzmedium widerstandsfähige Schablonenschicht mit dem gewünschten tEuster photographisch auf die Platte aufgedruckt und von einer Seite her entwickelt. Dabei beschränkt sich die Entwicklung allerdings nicht auf das photographische Verfahren. Anschließend wird der chemische Ätzvorgang ausschließlich von der Seite her vorgenommen, auf der sich die Schablonenschicht befindet und dadurch werden die gewünschten Perforationen entsprechend der Schablone ausgearbeitet oder gewissermaßen "auegestanzt". In vielen Fällen wird jedoch auch die Metallplatte auf ihren beiden Seiten mit genau ausgerichteten Schablonenschichten versehen und anschliePend der Ätzvorgang gleichzeitig von beiden Seiten her durchgeführt. Dieses Verfahren is.;t gegenüber dem zuerst erwahnten von Vorteil, da sich''dadurch Perforationen mit höherer. Genauigkeit dann erhalten lassen, wenn die blanken Metallplatten gleiche Dicke aufweisen. Jedoch hat sich auch dieses Verfahren für' höchste Genauigkeitsansprüche hinsichtlich der Formgebung bisher als nicht ausreichend erwiesen.In the manufacture of these articles by means of the etching technique mentioned If the thickness of the bare metal plate to be processed is relatively small, a stencil layer resistant to the etching medium with the desired pattern photographically printed on the plate and from a Side developed. However, the development is not limited to the photographic one Procedure. The chemical etching process is then carried out exclusively from the side made here, on which the stencil layer is located and thereby become the desired perforations worked out according to the template or to a certain extent "punched out". In many cases, however, the metal plate will also be on top of both of them Provide the pages with precisely aligned stencil layers and then the Etching process carried out simultaneously from both sides. This procedure is.; T Compared to the first mentioned, this is an advantage, since it creates perforations with higher. Maintain accuracy when the bare metal plates are of the same thickness. However, this method has also proven itself for the highest demands on accuracy the design has so far proven to be insufficient.

Dies ist hauptsächlich darauf zurückzuführen, daß während des Ätzvorganges bei der chemischen Ätzung zwar ein Fortschreiten der Metallabtragung lediglich in einer vertikal zur blanken Oberfläche verlaufenden Richtung erwünscht ist, tatsächlich jedoch ein gewisses Maß an seitlicher Ätzabtragung unvermeidlich ist. Dies verursacht jedoch eine Veränderung der Zusammensetzung und der Temperatur der Ätzflüssigkeit sowie der Zusammensetzung des zu ätzenden IIaterials, was insgesamt in einer Veränderung der Abtragungsgeschwindigkeit und insbesondere in einer seitlichen Deformation und Abweichung von der vorgeschriebenen Größe und Gestalt der Perforationen resultiert.This is mainly due to the fact that during the etching process In chemical etching, the metal removal progresses only in a direction vertical to the bare surface is desired, in fact however, some side etch removal is inevitable. This causes however, a change in the composition and the temperature of the etching liquid as well as the composition of the material to be etched, resulting in an overall change the rate of removal and in particular in a lateral deformation and Deviation from the prescribed size and shape of the perforations results.

Besonders in Fällen, in denen der Ätzvorgang gleichzeitig von beiden Seiten der Metallplatte her durchgeführt wird, macht sich die Veränderung der Abtragungsgeschwindigkeit in verdoppeltem Maße bemerkbar und resultiert in einer entsprechenden Unbrauchbarkeit auf Grund der geringen Formgenauigkeit. Bei dem Verfahren, bei dem der Ätzvorgang lediglich von einer Seite her durchgeführt wird, dringt aas Ätzmedium bis zum Ende des Ätzvorganges, also bis die Perforationen erzeugt sind, in so starkem Maße seitlich ein, daß sich die Größenabmessungen der Perforationen auf der anderen breite als proportional zur Dicke der Metallplatte erweisen und somit eine noch geringere Genauigkeit des- heigestellten Produktes vorliegt.Especially in cases where the etching process is done simultaneously by both Side of the metal plate is carried out, the change in the removal rate makes itself doubly noticeable and results in a corresponding uselessness due to the poor shape accuracy. In the process in which the etching process is only carried out from one side, aas penetrates Etching medium until the end of the etching process, i.e. until the perforations are produced, in such a strong way Measure one side that matches the size of the perforations on the other width prove to be proportional to the thickness of the metal plate and thus an even more there is less accuracy of the manufactured product.

Nun ist es allerdings bei Lochmasken für Farbfernsehröhren wünschenswert, daß die durch den Ätvorgang erzeugten Perforationen von einer zur anderen Seite der Metallplatte sich vergrößern, d.h. mit anderen Worten in einer-Richtung die Seitenwände der Perforationen kegel- oder keilförmig zueenander verlaufen. Damit soll vermieden werden, daß die durch die Perforationen zur fluoreszierenden Schicht hindurchtretende'n Elektronenstrahlen die Seitenwände der Perforationen treffen und dadurch entweder abgelenkt oder gestreut werden.In the case of shadow masks for color television tubes, however, it is desirable that the perforations created by the etching process from one side to the other of the metal plate increase, i.e. in other words in one direction Side walls of the perforations are conical or wedge-shaped towards one another. In order to should be avoided that through the perforations to the fluorescent layer penetrating electron beams hit the side walls of the perforations and thereby either distracted or scattered.

Das gleiche gilt für die Öffnungsgitter für die sogenannten "Trinitron"-Bildröhren, obwohl diese in ihrer Form von den gewöhnlichen Lochmasken abweichen. Um bewußt Perforationen mit dieser ,Ke,il- oder Kegelform zu erhalten, ist bisher beim Ätzen von beiden Seiten her entweder die Gittergröße der gedruckten Schablonen unterschiedlich gewählt worden, oder unterschiedliche Mengen von Ätzflüssigkeit den beiden Seiten der Metallplatte zugeführt worden. Dies ist beispielsweise dadurch erfolgt, daß man den Aussprühdruck der Flüssigkeit aus Düsen unterschiedlich gehalten hat. Es sind auch bereits beide Q ßnahaen in einem Verfahren angewendet worden.The same applies to the opening grids for the so-called "Trinitron" picture tubes, although their shape differs from the usual shadow masks. To consciously To obtain perforations with this, Ke, il or cone shape, is so far with etching from both sides either the grid size of the printed stencils is different been chosen, or different amounts of etchant the two sides has been fed to the metal plate. This is done, for example, in that the spray pressure of the liquid from the nozzles has been kept different. It Both approaches have already been applied in one procedure.

Auch in diesen-Fällen, in denen es ganz wesentlich auf die genaue Größe des kleinsten Durchmessers der Perforationen ankommt, läßt sich trotz der verwendeten Maßnahmen diese Größe nicht genau einhalten, was auf den doppelten Effekt der unterschiedlichen Abtragungsgeschwindigkeiten von beiden Seiten her zurückzuführen ist. Hinzu kommt, daß, abweichend von der Herstellung der konventionellen Lochmasken mit ihren unabhängig voneinander geformten Perforationen, es bei den "Trinitron"-Öffnungsgittern absolut wichtig ist, daß in einer vorbestimmten Richtung genau ausgerichtete und parallel zueinander liegende feine Längssehlitze geschaffen werden.Even in these cases where it is very much the exact The size of the smallest diameter of the perforations is important, despite the Measures used do not adhere to this size exactly, which leads to the double effect due to the different removal rates from both sides is. In addition, it differs from the production of conventional shadow masks with their independently formed perforations, it is the case with the "Trinitron" opening grilles it is absolutely important that in one precisely aligned in a predetermined direction and fine longitudinal strand braids lying parallel to one another are created.

Es hat sich gezeigt, daß bei den bekannten Verfahren, in denen von beiden Seiten her geätzt wird, die Herstellung derartiger Öffnungsgitter sehr erschwert wird, da die zwischen den Langsschlitzen stehenbleibenden Metallstege schon beim Auftreten geringer kräfte brechen oder sich verdrehen können. Dabei reichen beispielsweise schon die Druzl=-kräfte beim Aufsprühen-der Ätzflüssigkeit aus. Selbstverständlich sind auf diese Weise beschädigte Gitter nicht mehof für die praktische Verwendung geeignet.It has been shown that in the known methods in which of is etched forth on both sides, the production of such opening grids is very difficult because the metal webs that remain between the longitudinal slots are already at The occurrence of low forces can break or twist. For example, this is enough the Druzl = forces when the etching liquid is sprayed on. Of course Grids damaged in this way are no longer suitable for practical use suitable.

Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Einrichtung der eingangs geschilderten Art vorzuschlagen, mittels denen die geschilderten Schwierigkeiten beim Ätzen von beiden Seiten her beseitigt werden und die die Herstellung von Perforationen mit erheblich größerer Genauigkeit und unter erheblich geringerer Gefahr der Erzeugung von AusschuLd gestatten. Insbesondere soll sich das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung der '"lirinitron" Öffnungsgitter eignen. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß zuerst an mindestens einer Seite der Metallplatten leicht vorgeätzt wird, anschließend eine der vorgeätzten Seiten vollständig abgedeckt und die gegenüber liegende Seite fertig geätzt und schließlich die Schablonenschicht und die Abdeckschicht wieder ent-fernt werden In einer zweckmäßigen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Größe der Perforationen in der Schablonenschicht auf beiden Seiten der Metallplatte unterschiedlich gewählt. In einer besonders vorteilhaften Weiterbildung ist dabei vorgesehen, daß der erste Vorätzvorgang von der Seite her durchgeführt.wird, auf der sich die Perforationen in der Schablonenschicht mit den kleineren Abmessungen befinden.Based on this prior art, it is the task of the present one Invention to propose a method and a device of the type described above, by means of which the described difficulties in etching from both sides can be eliminated and the production of perforations with considerably larger Allow accuracy and with significantly less risk of creating rejects. In particular, the process according to the invention for the production of the '"lirinitron" Opening grilles are suitable. According to the invention this object is achieved in that first is slightly pre-etched on at least one side of the metal plates, then one of the pre-etched sides completely covered and the opposite side etched and finally the stencil layer and the cover layer again be removed In an expedient embodiment of the method according to the invention will be the size of the perforations in the stencil layer on both sides of the Metal plate chosen differently. In a particularly advantageous development it is provided that the first pre-etching process is carried out from the side, on which there are the perforations in the stencil layer with the smaller dimensions are located.

Die Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist gekennzeichnet durch eine das Ätzmedium enthaltende erste'Ätzkammer,eine Vorrichtung zum Aufbringen einer Abdeckschicht auf die Platte, eine weitere Ätzkammer zur Aufnahme der mit der Abdeckschicht versehenen Platte und einer Transportvorrichtung zur Beförderung der Platten zwischen der einzelnen Behandlungsstationen.The device for carrying out the method according to the invention is characterized by a first etching chamber containing the etching medium, a device for applying a cover layer to the plate, another etching chamber for receiving the plate provided with the cover layer and a transport device for conveyance of the plates between the individual treatment stations.

Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung egeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter husführungsbeisplele der vorliegenden Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen sowie aus den weiteren Unteransprüchen.Further advantages and features of the present invention result from the following description of preferred house guide examples of the present Invention based on the accompanying drawings and the further subclaims.

Es zeigen: Figur i, 1A und Figur 2, 2A zwei unterschiedliche ,Verfahrensweisen gemäß dem Stand der Technik; Figur -3 und 3A bis 3D aufeinander folgende Verfahrensschritte bei dem erfindungsgemäßen Verfahren und Figur 4 ein schematisches Flußdiagramm anhand einer schematischen-Darstellung der erfindungsgemäßen Ätzeinrichtung, Das erfindungsgemäße Verfahren zur Perforierung von Metallplatten mittels chemischer Ätzung umfaßt im allgemeinen die folgenden Schritte:.Aufbringung einer gegen das Ätzmedium widerstandsfähigen Schablcnenschicht, die die gewünschte Formgebung besitzt, auf beiden Seiten bzw. Flächen einer blanken Metallplatte, Durchführung einer ersten leichten Ätzung an einer oder beiden Seiten der Metallplatte, anschließendes Aufbringen einer gegen das- Ätzmedum widerstandsfähigen Abdeckschicht über die ganze Fläche einer der nur leicht ange- -ätzten Seiten oder Flächen, wobei selbstverständlich beim Vorätzen nur einer Seite auch nur diese abgedeckt wird, und anschließendes Fertigätzen' von der anderen Seite her, um die erwünschten Perforationen auszubilden. Zuletzt wird die gegen das Ätzmedium widerstandsfähige Abdeckschicht von der einen Seite und gegebenenfalls die Schablonenschicht von beiden Seiten der Metallplatte entfernt.There are shown: FIG. 1, 1A and FIG. 2, 2A, two different procedures according to the state of the art; Figure -3 and 3A to 3D successive process steps in the method according to the invention and FIG. 4, a schematic flow diagram based on a schematic representation of the etching device according to the invention, the inventive Process for perforating metal plates by means of chemical etching comprises im generally the following steps:. Application of a resistant to the etching medium Template layer, which has the desired shape, on both sides or Surface of a bare metal plate, carrying out a first light etch one or both sides of the metal plate, then applying one against the etching medium resistant cover layer over the entire surface of one of the only slightly etched sides or surfaces, of course with pre-etching only one side is covered, and then finish etching 'of the other side to get the desired Form perforations. Finally, the cover layer, which is resistant to the etching medium, is removed from the one Side and optionally the stencil layer from both sides of the metal plate removed.

In der nachfolgenden Erläuterung wird das erfindungsgemäjäe Verfahren -eingehender Schritt auf Schritt erläutert und dabei mit'den Verfahren gemäß dem Stand der Technik verglichen.The method according to the invention is explained in the following explanation -incoming step by step explained and thereby mit'den method according to the State of the art compared.

Gemäß dem bekannten Verfahren, bei dem von beiden Seiten her geätzt wird, wie dies in den Figuren 1, lA dargestellt ist, werden zuerst gleichartige, gegen Ätzung widerstandsfahi,e Schablonenschichten 5a und 5b, genau zueinander augerichtet, auf den einander gegenüberliegenden Flächen einer blanken Metallplatte 6 aufgebracht. Dies vollzieht sich gewöhnlich in der Weise, daß zuerst auf beiden Flächen-ein photoempfindliches Kunstharz aufgebracht wird, das bei Belichtung aushärtet. Hierfür eignet sich z.B. das unter der Bezeichnung KPR oder TPR im Handel befindliche Kunstharz. Auch eine photoempfindliche Flüssigkeit, die ebenfalls bei Belichtung aushärtet, kann verwendet werden, wofür sich Bichromat-haltiger Leim oder PVA eignet. schließlich läßt sich auch eine sogenannte positiv-positiv-lichtempfindliche wlüssigkeit einsetzen, die bei' Belichtung löslich wird. Anschließend an das Aufbringen einer dieser Schichten wird dicht eine Negativplatte mit dem gewünschten Muster aufgelegt und der Druckvorgang durch Einstrahlung von Licht von beiden eiten mittels Lichtquellen hoher Intensität - Lichtbogen- oder Quecksilberlampen - durchgeführt. Anschließend wird entwickelt, die Schicht gehärtet und gebrannt.According to the known method in which etched from both sides is, as shown in Figures 1, lA, are first similar, resistant to etching, stencil layers 5a and 5b, precisely aligned with one another, applied to the opposite surfaces of a bare metal plate 6. This is usually done in such a way that first on both surfaces - a photosensitive Synthetic resin is applied, which hardens when exposed to light. For this purpose, e.g. the synthetic resin sold under the name KPR or TPR. Also one Photosensitive liquid, which also hardens upon exposure, can be used for which bichromate-containing glue or PVA is suitable. finally can also use a so-called positive-positive-light-sensitive liquid that becomes soluble on exposure. Subsequent to the application of one of these layers a negative plate with the desired pattern is placed tightly and the printing process by irradiating light from both sides by means of light sources of high intensity - Arc or mercury lamps - carried out. Then it is developed the layer hardened and fired.

In Figur 1 sind mit dem Bezugszeichen 7 die freiliegenden Metallflächenbereiche bezeichnet, auf denen sich keine Schablonenschicht befindet und die durch Ätzung abgetragen werden sollen. Die so vorbereitete, mit der Schablonenochicht überzogene Metallplatte 6 wird dann gleichzeitig von beiden oeiten her mit Ätzflüssigkeit bespült und dadurch eine gleichmäßige Abtragung der freiliegenden Flächen 7 durch die Ätzwirkung des verwendeten Mediums so bewirkt, daß sich die erzeugten Öffnungen weitgehend in der Mittelebene der Metallplatte 6 treffen. Daraufhin sind die gesunschten durchgehenden Öffnungen 8 (Figur 1A) entstanden. Nach Erreichung dieses Stadiums wird der Ätzvorgang abgebrochen und die Schablonenschichten 5a, 5b werden mittels eines geeigneten Stoffes abgezogen oder abgespült.In FIG. 1, the reference numeral 7 denotes the exposed metal surface areas denotes on which there is no stencil layer and which are etched should be removed. The prepared in this way, covered with the stencil layer Metal plate 6 is then opened from both sides at the same time bring me Etching liquid is flushed and thereby an even removal of the exposed Areas 7 caused by the etching of the medium used so that the Openings generated largely meet in the center plane of the metal plate 6. Thereupon the desired through openings 8 (FIG. 1A) are created. After attainment At this stage, the etching process is canceled and the stencil layers 5a, 5b are peeled off or rinsed off using a suitable fabric.

Als Ätzflüssigkeit eignen sich alle Chemikalien, die chemisch das verwendete Metall der Metallplatte auflösen. Die häufigste Verwendung findet eine wässrige Ferrichlorid-Lösung für das Bearbeiten von Eisen- oder Kupferplatten.All chemicals that chemically use the Dissolve the metal used in the metal plate. The most common use is a aqueous ferric chloride solution for processing iron or copper plates.

Wie bereits erwähnt, vollzieht sich der Abtragungsvorgang nicht lediglich in einer Richtung normal zur Oberfläche der Metallplatte, sondern auch quer dazu. Daraus resultiert, daß jede Perforation 8 nach innen zu sich verkleinert, d.h, mit anderen Worten, der Durchmesser am größten in der Nähe der Plattenoberfläche und am kleinsten im Bereich von deren Ilittelebene 9 ist.As already mentioned, the removal process does not just take place in a direction normal to the surface of the metal plate, but also across it. As a result, each perforation 8 reduces inwardly towards itself, i.e. with in other words, the diameter greatest near the disk surface and is smallest in the area of the central plane 9 thereof.

Der Durchmesser ändert sich jedoch auf Grund des doppelten Effektes der Abtragung von beiden Seiten her mit weiterem Fortschreiten. Daraus-ergibt sich, daß auf Grund der Ätzbedingungen eine erhebliche Veränderung und Abweichung von der ursprünglich gewünschten Formgebung auftritt.However, the diameter changes due to the double effect the erosion from both sides with further progress. This results in, that due to the etching conditions a considerable change and deviation from the originally desired shape occurs.

In Figur 2 ist eine weitere Vorgangsweise nach dem Stand der Technik dargestellt, wobei ebenfalls von beiden Seiten her geätzt wird. Dabei sind die bchablonenbilder der auf beiden Seiten angeordneten Schablonenschichten 5a und 5b in ihrer Größe unterschiedlich, jedoch hinsichtlich der zentralen Achsen der Öffnungen zueinander ausgerichtet. Derartige Schablonenschichten las-sen sich leicht durch bekannte Photographiertechniken herstellen.FIG. 2 shows a further prior art procedure shown, also being etched from both sides. Here are the stencil images of the stencil layers 5a and 5b arranged on both sides in their size different, but with respect to the central axes of the openings to each other aligned. Such stencil layers can be easily made by known photography techniques produce.

Die Größe der freiliegenden Flächenbereiche 1Oa und 1Ob, von denen Metall abgetragen wird, unterscheiden sich somit von einander. So ist bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 2 jeder der Flächenbereiche iOa auf der Oberseite der Platte kleiner als die Flächenereiche lOb auf der Unterseite.The size of the exposed areas 1Oa and 1Ob, of which Metal is removed, thus differ from each other. So In the exemplary embodiment according to FIG. 2, each of the surface areas is ok the top of the plate smaller than the area 10b on the bottom.

Wird unter dieser Voraussetzung der iltzvorgang von beiden 'Seiten her durchgeführt, so erhält man Perforationen 8, bei denen der kleinste Durchmesser 9 in der Nähe der Oberseite der Platte liegt (Figur 2A). Auch in diesem Fall verdoppelt sich der Effekt der seitlichen oder Quervergrößerung der Perforationen auf Grund der gleichzeitigen Ätzwirkung von beiden Seiten her, so daß sich die Größe des kleinsten Durchmesserbereiches 9-nicht mit Sicherheit und genau einhalten läßt.Under this prerequisite, the process of blowing from both sides carried out ago, one obtains perforations 8, in which the smallest diameter 9 is near the top of the plate (Figure 2A). Also in this case doubled the effect of the lateral or transverse enlargement of the perforations due to the simultaneous etching effect from both sides, so that the size of the smallest 9-diameter range cannot be adhered to with certainty and precisely.

Abweichend von den vorstehenden bekannten Vorgängen beim Ätzen von beiden Seiten her vollzieht sich das erfindungsgemäße Ätzverfahren gemäß den schematischen Darstellungen in den Figuren 3 und 3A bis 3D.Notwithstanding the above known processes in the etching of The etching process according to the invention is carried out on both sides according to the schematic Representations in Figures 3 and 3A to 3D.

In dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ebenfalls zuerst auf beiden Seiten der Metallplatte 6 (Figur 3) eine gegen das Ätzmedium widerstandsfähige Schablonenschicht 5a und aufgebracht,und zwar in der Weise, die bereits vorstehend in Zusammenhang mit den Figuren 1 und 2 erläutert worden ist. Anschließend wird von beiden Seiten her eine erste leichte Vorätzung, vorzugsweise gleichzeitig, durchgeführt (Figur 3A). In diesem Stadium ist es allerdings nicht notwendig, von beiden Seiten her zu ätzen. Der Vorätzvorgang kann auch nur von einer Seite her durchgeführt werden. In letzterem Falle wird vorzugsweise von der Seite her geätzt, auf der die freiliegenden Flächenbereiche (die Oberseite in Figur 3) kleiner sind, sobald diese Flächenbereiche (lOa und 1Ob) sich auf beiden Seiten der Platte überhaupt unterscheiden.In the method according to the invention, it is also first on both Sides of the metal plate 6 (Figure 3) a stencil layer resistant to the etching medium 5a and applied, in the manner already described above in connection has been explained with FIGS. 1 and 2. Then from both sides a first slight pre-etching, preferably at the same time, carried out (Fig 3A). At this stage, however, it is not necessary from both sides to etch. The pre-etching process can also only be carried out from one side. In the latter case, it is preferred to etch from the side on which the exposed Surface areas (the top in Figure 3) are smaller as soon as these surface areas (10a and 10b) differ at all on both sides of the plate.

Anschließend'wird eine ebenfalls gegen die Ätzung widerstandsfähige Abdeckschicht 1i über die ganze Fläche einer der vorgeätzten Seiten aufgebracht, wenn beide Seiten vorgeätzt worden waren. Wenn lediglich eine Seite dem Vorätzvorgang unterzogen worden war, wird diese mittels der Abdeckschicht 11 (Figur 3B) überzogen. Auch hier wird somit die Abdeckschicht auf die Seite aufgebracht, auf der die freiliegenden Netallflächenbereiche kleiner sind, wenn sie sich unterscheiden. Durch die Abdeckschicht 11 werden also'die flachen, durch die Vorätzung entstandenen Ausnehmungen 12a bedeckt. Es ist hier von wesentlicher Bedeutung, daß die Ausnehmungen 12a (Figur 33) einschließlich ihrer Seitenwände tatsächlich vollständig durch die Abdeckschicht 11 überzogen sind, so daß sie auf jeden Fall keiner Ätzwirkung unterliegen können.Then one will also be resistant to etching Cover layer 1i over the entire surface of one of the pre-etched pages applied when both sides had been pre-etched. If only one side was subjected to the pre-etching process, this is done by means of the cover layer 11 (Figure 3B) coated. Here, too, the cover layer is applied to the side, on which the exposed metal surface areas are smaller when they differ. The covering layer 11 thus removes the flat ones that have arisen from the pre-etching Recesses 12a covered. It is essential here that the recesses 12a (Figure 33) including its side walls actually completely through the Covering layer 11 are coated, so that they are in any case not subject to any etching effect can.

Anschließend wird der zweite Ätzvorgang durchgeführt, der sich von der anderen Seite her, die keine Abdeckschicht trägt (Figur' 3B) vollzieht. Dieser zweite Ätzvorgang wird fortgesetzt, bis die Ausnehmungen oder Perforationen 12b die auf der Seite der Abdeckschicht 11 liegenden Ausnehmungen 12a erreichen. Nach der so erfolgten'Herstellung der durchgehenden Perforationen werden 'die Abdeckschicht 11 und die Schablonenschichten 5a und 5b abgezogen. Das so hiergestellte Produkt besitzt Perforationen 13 mit der gewünschten Ausbildung, deren Seitenwände in einer Richtung sich verengen und deren kleinster Durchmesser 9 in der Nähe der einen Seite, wie in Figur 3D dargestellt, liegt.The second etching process is then carried out, which differs from the other side, which does not have a cover layer (FIG. 3B). This second etching process is continued until the recesses or perforations 12b reach the recesses 12a lying on the side of the cover layer 11. To After the 'production of the through perforations' takes place in this way, the cover layer is created 11 and the stencil layers 5a and 5b peeled off. The product presented here has perforations 13 with the desired training, the side walls in a Narrowing in the direction and its smallest diameter 9 near one side, as shown in Figure 3D.

Durch das erfindungsgemäße Verfahren wird somit die Genauigkeit, mit der sich der kleinste Durchmesser 9 jeder Perforation 13 herstellen läßt, erheblich vergrößert, Das beruht in der lIauptsache darauf, daß selbst bei Auftreten geringer Abweichungen in der Geschwindigkeit der Metallabtragung die Seitenwände der flachen Ausnehmungen 12a, die lediglich durch den Vorätzvorgang erzeugt worden sind, einen nahezu senkrecht zur Metallplattenoberfläche verlaufenden Gradienten aufweisen. Dort ist nämlich der Ätzvorgang nur leicht durchgeführt worden, so daß bei vorsichtigem Fertigätzen - mit geringer Abtragungsgeschwindigkeit -nach der Ausbildung der Perforationen mit der gewünschten Gestaltung die Größe des kleinsten Durchmessers 9 praktisch unverändert bleibt. Auf diese Weise läßt sich ein Artikel mit der gewünschten hohen Genauigkeit herstellen.The method according to the invention thus increases the accuracy with which can produce the smallest diameter 9 of each perforation 13, considerably increased, that is mainly due to the fact that even if it occurs less Variations in the rate of metal removal the side walls of the flat Recesses 12a, which have only been produced by the pre-etching process, one have gradients running almost perpendicular to the metal plate surface. There the etching process has been carried out only lightly, so that with caution Finish etching - with a slow removal rate - after the perforations have been formed with the desired design the size of the smallest diameter 9 remains practically unchanged. In this way you can find an article with the desired high accuracy.

Im Folgenden wird eine Einrichtung zur Durchführung des neuen Ätzterfahrens unter Bezugnahme auf Figur 4 erlautert.The following is a device for carrying out the new etching process explained with reference to FIG.

Wie sich aus dem dargestellten Flußdiagramm entnehmen läßt, ist am äußersten linken Ende eine Bahnrolle 15 oder eine Austausch-Bahnrolle 16 angeordnet, auf der eine Bahn aus blankem Metallblech aufgerollt ist, die bereits auf beiden Seiten die gegen das Ätzmedium widerstandsfähige Schablonenschicht tragt. Diese Schicht ist mittels hier nicht zur Diskussion stehender bekannter Verfahren aufgebracht worden. Die Blechbahn 17 wird durch eine geeignete Antriebsvorrichtung von der Rolle 15 abgezogen und läuft durch eine Verbindungseinrichtung 18 sowie durch einen Zeitausgleichsmechanismus 19 in einen Beiztank 20. Die Verbindungseinrichtung 18 und der Zeitausgleichsmechanismus 19 sind so ausgebildet, daß das hintere Ende der Blechbahn, das von der -Rolle 15 abläuft, mit dem vorderen Ende der von der Austausch-Rolle 16 herangeführten Blechbahn verbunden werden kann, um einen gleichmäßigen Ätzvorgang zu gewährleisten.As can be seen from the flow chart shown, is on far left end a web roll 15 or a replacement web roll 16 is arranged, on which a sheet of bare metal sheet is rolled up, which is already on both Sides the stencil layer, which is resistant to the etching medium, carries. These The layer is applied by means of known methods which are not discussed here been. The sheet metal web 17 is rolled off the roll by a suitable drive device 15 is withdrawn and runs through a connector 18 as well as a time equalization mechanism 19 into a pickling tank 20. The connecting device 18 and the time equalization mechanism 19 are designed so that the rear end of the sheet metal web, which is from the roller 15 expires, with the front end of the sheet metal web brought up from the exchange roller 16 can be connected to ensure a uniform etching process.

Der Beiztank 20 enthält irgendeine geeignete Beiz- oder Reinigungsflüssigkeit, die mittels eines motorgetriebenen Rührwerkes umgerührt wird, um gleichförmige Ätzwirkung zu erzielen.The pickling tank 20 contains any suitable pickling or cleaning liquid, which is agitated by means of a motor-driven agitator to produce a uniform etching effect to achieve.

Nach der Beizbehandlung wird die Blechbahn in einen Spültank 21 geführt, wo sie aus Sprühdüsen mit Wasser besprüht und dadurch von der Beizflüssigkeit befreit wird, Anschließend läuft die Blechbahn 17 in eine erste Ätzkammer 22.After the pickling treatment, the sheet metal sheet is fed into a rinsing tank 21, where it is sprayed with water from spray nozzles and thereby freed from the pickling liquid The sheet metal web 17 then runs into a first etching chamber 22.

In der ersten Ätzkammer 22 sind Düsengruppen 23 zueinander gegenüberliegendelängs des Bahnverlaufes der Blechbahn angeordnet, die die Ätzflüssigkeit auf beide eiten der Blechbahn 17 aufspruhen. Die Düsengruppen 23 können in einer Ebene senkrecht zur Vorwärtsbewegung der Blechbahn 17 verschwenkt oder verschoben werden, um dadurch bei Bedarf die Ätzwirkung zu vergleichmäßigen. Die Ätzflüssigkeit wird den Düsengruppen 23 aus einer entsprechenden Vorratsquelle zugeführt, wobei die auf die Blechbahn 17 aufgesprühte und dann wieder ablaufende Ät2flüssigkeit auf dem Boden der Kammer zusammengefaßt und der Vorratsquelle zur Wiederverwendung erneut zugeführt wird.In the first etching chamber 22, groups of nozzles 23 are longitudinally opposite one another the path of the sheet metal path arranged, which eiten the etching liquid on both the sheet metal web 17 spray. The nozzle groups 23 can be perpendicular in a plane be pivoted or displaced for the forward movement of the sheet metal web 17 in order to thereby if necessary, the etching effect equalize. The etching liquid is supplied to the nozzle groups 23 from a corresponding supply source, wherein the etching liquid which is sprayed onto the sheet metal sheet 17 and then runs off again combined on the bottom of the chamber and the supply source for reuse is fed again.

Im Dach der Ätzkammer 22 ist ein Absaugrohr 24 vorgesehen, aus dem die während des Atzvorganges entstehenden Gase oder Dämpfe abgeführt werden können. Die Ätzkammer 22 enthält darüberhinaus in geeignetem Abstand voneinander angeordnete Rollen 25, durch welche die Blechbahn 17 bei ihrem Verlauf durch die Kammer geführt wird.In the roof of the etching chamber 22, a suction pipe 24 is provided from which the gases or vapors produced during the etching process can be discharged. The etching chamber 22 also contains suitably spaced apart Rollers 25 through which the sheet metal web 17 is guided as it passes through the chamber will.

In der ersten Ätzkammer 22 wird auf beiden Seiten der Blechbahn 17 nur eine leichte Ätzung vorgenommen und dadurch die in Figur 3A erhaltene Ausbildung von Perforationen erreicht.In the first etching chamber 22, the sheet metal web 17 carried out only a slight etching and thereby the formation obtained in Figure 3A reached by perforations.

Wenn die Blechbahn 17 mit dem so eingeätzten Muster die Kammer 22 verläßt, durchläuft sie Luftmesser 26 am Auslaß der Kammer, durch welche die noch vorhandene überschüssige Ätzflüssigkeit beseitigt wird. Die so behandelte Blechbahn gelangt nun in eine Waschkammer 27. In der Waschkammer 27 wird die Bahn zuerst mit Wasser besprüht, um jegliche restliche Ätzflüssigkeit und deren Ätzwirkung zu beseitigen, und anschließend in einen Spültank 28 getaucht. Zusätzlich wird sie anschließend noch einmal besprüht, um sie effektiv und mit Sicherheit von Ätzflüssigkeit rein zu erhalten. Die gesäuberte Blechbahn 17" gelangt in eine Trockenkammer 29, wo sie unter Ileißluft getrocknet wird und tritt anschließend in eine Kammer 30 ein, in der eine dem Ätzmedium widerstehende Abdeckschicht aufgebracht wird.When the sheet metal sheet 17 with the pattern etched in this way, the chamber 22 leaves, it passes through air knife 26 at the outlet of the chamber through which the still existing excess etching liquid is removed. The sheet metal sheet treated in this way now arrives in a washing chamber 27. In the washing chamber 27, the web is first with it Sprayed water to remove any residual caustic liquid and its caustic effect, and then immersed in a wash tank 28. In addition, it will subsequently sprayed again to effectively and safely cleanse them of caustic to obtain. The cleaned sheet metal sheet 17 "arrives in a drying chamber 29, where it is dried in air and then enters a chamber 30, in to which a cover layer resisting the etching medium is applied.

In der Kammer 30 befindet sich eine Sprühvorrichtung 31, die ebenfalls in einer Ebene vertikal zur Bewegungsrichtung der Blechbahn 17,schwenk- oder verschiebbar ist. Diese Besprüht einrichtung 31 sprüht auf die Seite der'Blechbahn, auf der der Vorätzvorgang durchgeführt worden ist, ein Mittel auf, das gegen das Ätzmedium widerstandsfähig ist, bis die ganze Fläche (vgl. Figur 3B) vollstandig davon abgedeckt ist. Es ist von wesentlicher Bedeutung, daß die flachen Ausnehmungen, die durch den Vorätzvorgang erzeugt worden sind, effektiv vollständig bedeckt werden, um diese Ausnehmungen jeglicher Ätzwirkung in den darauffolgenden Ätzschritten zu entziehen.In the chamber 30 there is a spray device 31, which is also in a plane vertical to the direction of movement of the sheet metal web 17, pivotable or displaceable is. This spraying device 31 sprays onto the side of the sheet metal sheet on which the Preetching has been carried out on an agent that is resistant to the etching medium is up the whole Area (see FIG. 3B) completely covered by it is. It is essential that the shallow recesses that go through the pre-etching process have been produced, are effectively completely covered around them To remove recesses of any etching effect in the subsequent etching steps.

Die Blechbahn wird dann in eine. Trockenkammer 32, die mit Heißluft arbeitet, geführt und gelangt anschließend in eine zweite Ätzkammer 33.The sheet metal is then turned into a. Drying chamber 32 with hot air works, guided and then enters a second etching chamber 33.

Die zweite Ätzkammer 33 enthält Düsengruppen 34 zum Aufsprühen von Ätzflüssigkeit, ein Absaugrohr 35 und Tragrollen 36, die insgesamt in Anordnung und Gestaltung denjenigen entsprechen, die bereits in der ersten Ätzkanimer 22 enthalten sind. Unterschiedlich zwischen den beiden Ätzkammern ist nur, daß die zweite Ätzkammer im allgemeinen länger als die erste ist und daß die Düsengruppen 34 lediglich längs einer Seite des Bahnverlaufes angeordnet sind. Selbstverständlich ist dies die Seite, die der mit der Abdeckschicht versehenen Seite der Blechbahn gegenüber liegt. Der Ätzvorgang vollzieht sich daher lediglich von der nichtabgedeckten Seite, bis die erwünschten Perforationen in der Blechbahn 17 hergestellt sind.The second etching chamber 33 contains nozzle groups 34 for spraying Etching liquid, a suction tube 35 and support rollers 36, the total in arrangement and design correspond to those already contained in the first Etching Kanimer 22 are. The only difference between the two etching chambers is that the second etching chamber is generally longer than the first and that the nozzle groups 34 are only longitudinally are arranged on one side of the path. Of course this is the page which is opposite the side of the sheet metal sheet provided with the cover layer. Of the The etching process therefore only takes place from the uncovered side until the desired perforations in the sheet metal sheet 17 are made.

Beim Verlassen der zweiten Ätzkammer 33 gelangt die Blechbahn erneut zwischen Luftmesser 37, die jegliche überschüssige iitzflüssigkeit von ihrer Oberfläche entfernen. Anschließend wird sie in eine Waschkammer 38 geführt.When leaving the second etching chamber 33, the sheet metal web arrives again between air knife 37, which removes any excess liquid from its surface remove. It is then fed into a washing chamber 38.

Die Waschkammer 38 ist von gleicher Gestaltung wie die Waschkammer 27 und enthält Wassersprühdüsen 39, einen Wassertank 40 und weitere Sprüh- oder Schauerdüsen, dre durch die die Blechbahn zusätzlich gewaschen wird.The washing chamber 38 is of the same design as the washing chamber 27 and contains water spray nozzles 39, a water tank 40 and other spray or Shower jets, three through which the sheet metal is also washed.

In einem darauffolgenden Verfahrens schritt werden die Ucilablonenschichten und die Abdeckschicht von den Seiten der Blechbahn abgestreift. Dies erfolgt mittels einer geeigneten Rehandlungsflüssigkeit. Das'Zerschneiden der Blechbahn in. die gewünschten Formeinheiten oder -Platten kann entweder vor oder nach dem,Abstreifvorgang vollzogen werden.In a subsequent process step, the Ucilablonenschichten and stripping the cover layer from the sides of the sheet metal sheet. This is done using a suitable treatment fluid. The cutting of the sheet metal in. The desired Forming units or plates can either be carried out before or after the stripping process will.

In dem vorstehend geschilderten Ausführungsbeispiel wird die erste Ätzbehandlung auf beiden Seiten der Blechbahn vollsogen. Selbstterstandlich ist es jedoch möglich, diese Ätzbehand1tlng nur auf einer Seite durchzuführen, d.h. auf der Seite, die später mit der Abdeckschicht versehen wird. In Figur 4 ist dies die oben liegende Seite der Blechbahn.In the embodiment described above, the first Etching treatment on both sides of the sheet metal. Is self-evident however, it is possible to carry out this etching treatment on one side only, i.e. on the side that will later be provided with the cover layer. In Figure 4 this is the top side of the sheet metal sheet.

Daß Aufbringen der Abdeckschicht kann außer mittels der hier gezeigten Sprühtechnik durch sonstige bekannte Einrichtungen vollzogen werden. Auch die Transporteinrichtung, die bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel verwendet wird, beschränkt sich nicht auf die in Figur 4 gezeigte, mit dem Pördersystem in horizontaler Richtung, wobei die Achsen der Walzen horizontal liegen. Es ist auch möglich, ein Vertikal-Transport-System ansuor,¢nen, in dem dann entsprechend die Achse z.B.That application of the cover layer can except by means of the one shown here Spray technology can be carried out by other known facilities. Also the transport device, which is used in the illustrated embodiment is not limited to the one shown in Figure 4, with the conveyor system in the horizontal direction, wherein the axes of the rollers are horizontal. It is also possible to use a vertical transport system ansuor, ¢ nen, in which the axis then e.g.

der Bahnrolle 15 vertikal liegt.the web roll 15 is vertical.

In der erfindungsgemäßen Einrichtung wird also zuerst gemäß dem entsprechenden Verfahren auf die beiden Seiten einer Metallbahn Je eine Schablonenschicht 5a, 5b genau zueinander ausgerichtet aufgebracht und dann werden die freiliegenden Oberflächenbereiche1Oa, 10b der Bahn einem leichten Ätzvorgang in der ersten Ätzkammer 22 unterzogen, so daß sich die flachen Ausnehmungen 12a, 12b bilden (Figur 3A).In the device according to the invention is therefore first according to the corresponding Process on both sides of a metal web One stencil layer 5a, 5b each applied exactly aligned to each other and then the exposed surface areas1Oa, 10b of the web is subjected to a light etching process in the first etching chamber 22, see above that the flat recesses 12a, 12b form (Figure 3A).

Daraufhin wird lediglich eine der beiden Seiten der Blechbahn mit einer Abdeckschicht 11 in der Kammer 30 versehen und auf diese Weise diese Seite gegen jegliche Ätzwirkung geschutzt.Anschließend wird die nicht mit der Abdeckschicht 11 versehene Seite in der zweiten Ätzkammer 33 dem FertigÄtzv0rgang unterzogen, indem die flachen Ausnehmungen 12b allmählich tiefer und weiter werden, bis der Abtragungsvorgang die Abdeckschicht 11 über den flachen Ausnehmungen 12a auf der gegenüberliegenden Seite (Figur 3C) erreicht. In diesem Stadium sind die Perforationen 13 in der Metallbahn oder Metallplatte hergestellt.Thereupon only one of the two sides of the sheet metal web is with a cover layer 11 is provided in the chamber 30 and in this way this side Protected against any etching effects. After that, it is not covered with the cover layer 11 provided side in the second etching chamber 33 subjected to the finishing etching process, by gradually deepening and widening the shallow recesses 12b until the Removal process the cover layer 11 over the flat recesses 12a on the opposite side (Figure 3C) reached. At this stage are the perforations 13th made in the metal track or metal plate.

Wie vorstehend schon erläutert, läßt sich somit der engste Durchmesser 9 der Perforationen bei dem erfindungsgeiräßen Verfahren und durch Anwendung der erfindungsgemäßen Einrichtung mit erhöhter Abmessungsgenauigkeit herstellen. Darüberhinaus erhält man die zweite, von der Abdeckschicht 11 bedeckte Fläche der btetallbahn mit größerer Genauigkeit eben ausgerichtet, da die Abdeckschicht 11 während des Atzvorganges eine Stützwirkung ausübt. Dies gilt sogar bei der Verwendung von Blechstärken und Materialien, die der Stoß-oder Schlagwirkung der aufgesprühten Ätzflüssigkeit oder sonstigen auftretenden Kräften einen nur geringen Widerstand leisten können, wie das im allgemeinen bei den "Trinitron"-Öffnungsgittern der Fall ist. Durch die Abdeckschicht 11 wird somit zusätzlich das Risiko eines Brechens oder Verdrehens der zwischen den Perforationen stehenbleibenden Metallstege während oder nach dem Ätzvorgang herabgesetzt. Es hat sich gezeigt, daß selbst bei Verwendung von Blankmaterial, das zur teilweisen Diegung,of3er Verziehung neigt, bei dem erfindungsgemäßen Verfahren keine Gefahr einer entsprechenden Beschädigung besteht,5aß sich die durch das Verfahren ermöglichte Herstellungsweise mit hoher Funktionssicherheit vollzieht.As already explained above, the narrowest diameter can thus 9 of the perforations in the method according to the invention and by using the Manufacture device according to the invention with increased dimensional accuracy. Furthermore one obtains the second surface of the tetall sheet covered by the cover layer 11 aligned level with greater accuracy, since the cover layer 11 during the Etching process exerts a supporting effect. This even applies to the use of sheet metal thicknesses and materials subject to the impact or impact of the sprayed etching liquid or other occurring forces can only offer a low resistance, as is generally the case with the "Trinitron" opening grilles. Through the Cover layer 11 thus additionally increases the risk of breaking or twisting the remaining metal webs between the perforations during or after the Etching process reduced. It has been shown that even when using blank material, which tends to partially deform, often to warp, in the process according to the invention there is no risk of damage being caused by the procedure made possible manufacturing method with high functional reliability.

Claims (10)

PatentansprücheClaims 1. Verfahren zum Perforieren von Metallteilen, insbesondere von dünnen Metallplatten, mittels chemischer Ätzung, bei dem eine dünnen gegen das tzmedium widerstandsfähige, das zu erzeugende Perforationsmuster enthaltende Schablonenschicht auf beide Seiten der Metallplatten aufgebracht wird und die so geschaffene Anordnung der chemischen Ätzung unterzogen wird, dadurch gekennzeichnet, daß zuerst mindestens eine Seite der Platten leicht angeätzt wird, anschließend eine der leicht angeätzten Seiten vollständig abgedeckt und die gegenüberliegende Seite fertiggeätzt wird und schließlich die Schablonenschicht und die Abdeckschicht wieder entfernt werden 1. Method for perforating metal parts, especially thin ones Metal plates, by means of chemical etching, in which a thin one against the etching medium Resistant stencil layer containing the perforation pattern to be produced is applied to both sides of the metal plates and the arrangement thus created is subjected to chemical etching, characterized in that first at least one side of the plates is lightly etched, then one of the slightly etched Sides completely covered and the opposite side is completely etched and finally the stencil layer and the cover layer are removed again 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Größe der Perforationsöffnungen in den Schablonenschichten auf beiden Seiten der Metallplatte unterschiedlich gewählt wird.2. Method according to claim 1, characterized in that the size of the perforation openings Chosen differently in the stencil layers on both sides of the metal plate will. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der erote leichte Anätzvorgang auf der Seite durchgeführt wird, auf der die Perforationsöffnungen mit kleineren Abmessungen liegen.3. The method according to claim 2, characterized in that the erote light etching process is carried out on the side on which the perforation openings are made with smaller dimensions. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten in kontinuierlicher Zahnform behandelt werden.4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that that the plates are treated in continuous tooth form. 5. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach den Ancprüchen 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine das Ätzmedium enthaltende erste Ätzkammer (22), eine Vorrichtung (31) zum Aufbringen einer Abdeckschicht (11) auf die Platten (6, 17), eine weitere Ätzkammer (33) zur Aufnahme der mit der Abdeckschicht (11) versehenen Platten (6, 17) und eine Transportvorrichtung zur Beförderung der Platten (6, 17) zwischen den Behandlungsstationen.5. Facility for carrying out the procedure according to the claims 1 to 4, characterized by a first etching chamber (22) containing the etching medium, a device (31) for applying a cover layer (11) to the plates (6, 17), another etching chamber (33) for receiving the one provided with the cover layer (11) Plates (6, 17) and a transport device for transporting the plates (6, 17) between the treatment stations. 6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß Sprühdüsen (23) zum Aufsprühen der Ätzflüssigkeit in der ersten Ätzkammer (22) angeordnet sind.6. Device according to claim 5, characterized in that spray nozzles (23) are arranged for spraying the etching liquid in the first etching chamber (22). 7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühdüsen (25) senkrecht zur Bewegungsrichtung der Platten (6, 17) schwenk- und/oder verschiebbar sind.7. Device according to claim 6, characterized in that the spray nozzles (25) pivotable and / or displaceable perpendicular to the direction of movement of the plates (6, 17) are. 8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zum Aufbringen der Abdeckschicht (11) eine Sprühanordnung (31) ist.8. Device according to one of claims 5 to 7, characterized in that that the device for applying the cover layer (11) has a spray arrangement (31) is. 9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühanordnung (31) senkrecht zur Bewegungsrichtung der Platten (6, 17) schwenk- und/oder verschiebbar ist.9. Device according to claim 8, characterized in that the spray arrangement (31) can be pivoted and / or displaced perpendicular to the direction of movement of the plates (6, 17) is. 10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Ätzkammer (33) zum Aufbringen der Ätzflüssigkeit ebenfalls Sprühdüsen (34) enthält L e e r s e i t e10. Device according to one of claims 5 to 9, characterized in that that the second etching chamber (33) for applying the etching liquid also has spray nozzles (34) contains L e r s e i t e
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3011061A1 (en) * 1980-03-21 1981-10-15 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München METHOD FOR INTENSIFYING RINSING AND CLEANING PROCESSES FOR PERFORATIONS IN MOLDING PIECES IN RINSING AND CLEANING MACHINES

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