-
ERFINDUNGSGEBIET
-
Diese
Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen
für die
Untersuchung von Spezimen. Insbesondere betrifft diese Erfindung
die Untersuchung von Spezimen, welche die Tendenz zur Aufladung
aufweisen, wenn sie mit dem Strahl geladener Teilchen bestrahlt
werden.
-
ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
-
Negativ
oder positiv geladene Teilchen, die aus einer Teilchenquelle austreten,
können
durch ein Potenzial von U Volt beschleunigt werden. Die Bewegungsrichtung
eines solchen sich bewegenden Teilchens wird entweder durch Anlegen
eines magnetischen oder eines elektrischen Feldes verändert, wobei
z. B. ein geladenes Teilchen, das sich in einem Magnetfeld bewegt,
eine Kraft erfährt,
die bestrebt ist, seine Bewegungsrichtung zu verändern, ausgenommen den Fall,
in dem es sich parallel zu den magnetischen Feldlinien bewegt. Geeignet
ausgeformte elektrische und magnetische Felder können verwendet werden, um ein
Zusammenführen
der geladenen Teilchen, die von einer Quelle auseinander laufen,
in einen Strahl zu bewirken, den Strahl entlang eines vorgegebenen
Weges zu führen
und es ihm zu ermöglichen,
auf der Oberfläche
eines Substrats oder eines Spezimen aufzutreffen.
-
Die
geladenen Teilchen Wechselwirken mit den Atomen des Spezimen und
verursachen eine Anzahl von unterschiedlichen Effekten im Spezimen oder
auf seiner Oberfläche.
Ohne den Gültigkeitsbereich
der vorliegenden Erfindung einzuschränken, konzentrieren sich die
nachfolgenden Erläuterungen in
erster Linie auf die Verwendung von Elektronen als geladenen Teilchen.
Die auftreffenden Elektronen, die im Weiteren als Primärelektronen
(PE) bezeichnet werden, werden durch Stöße mit den Spezimenatomen abgelenkt.
Diese Stöße können elastisch
sein, wenn das Elektron abgelenkt wird (sogar bis zu 180 Grad),
aber keine Energieübertragung
stattfindet. Sie können
auch inelastisch sein, wenn das Primärelektron mit dem Atom wechselwirkt
und Energie für
den Ablauf eines weiteren Prozesses überbeträgt. Ein derartiger Prozess
könnte
die Emission eines Elektrons, das als Sekundärelektron (SE) bezeichnet wird,
und/oder elektromagnetischer Strahlung zur Folge haben. Dabei erfährt das
Primärelektron
im Allgemeinen nur eine kleine Bahnablenkung. Nach dem Stoß oder den
Stößen kann
das Primärelektron
als rückgestreutes
Elektron (BSE – backscattered
electron) oder als durchgelassenes Elektron wieder auftauchen, oder
es kann seine gesamte Energie verlieren und im Spezimen zur Ruhe
kommen. Dort trägt das
Primärelektron
zur Aufheizung des Spezimen oder zur absorbierten Ladung des Spezimen
bei.
-
Die
oben angeführten
physikalischen Effekte können
viele analytischen Informationen über das Spezimen bereitstellen.
Nachfolgend wird die Erzeugung von Sekundärelektronen und ihr Informationsgehalt über das
Spezimen ausführlicher
betrachtet. Ein unelastischer Stoß eines auftreffenden Primärelektrons,
das eine kinetische Energie von z. B. 1 keV aufweist, kann dazu
führen,
dass Elektronen von den Spezimenatomen abgetrennt werden. Das hinterlässt ein
ionisiertes Atom mit einer positiven Ladung. Die abgelösten Elektronen
haben eine geringe kinetische Energie, gewöhnlich weniger als 50 eV, und werden
leicht durch benachbarte Atome eingefangen. Einige Elektronen, die
näher an
der Oberfläche erzeugt
werden, können
aus dem Spezimen emittiert und mit speziellen Detektoren erfasst
werden. Folglich ist nur ein kleiner Anteil der ausgebildeten Sekundärelektronen
für die
Erfassung verfügbar.
Da die emittierten SE aus einem kleinen Bereich sehr nahe an der
Oberfläche
des Spezimen stammen, übertragen
sie die entsprechenden Oberflächeninformationen.
-
Insbesondere
reagiert eine Oberfläche
des Spezimen, die bezüglich
des auftreffenden Strahls schräg
gestellt ist, anders als eine Oberfläche, die auf dem auftreffenden
Strahl senkrecht steht. Verglichen mit einer ebenen Oberfläche durchlaufen
die Elektronen, die in eine schräg
stehende Oberfläche
des Spezimen eingedrungen sind, eine längere Strecke in der Nähe der Oberfläche des
Spezimen. Das führt zu
einem größeren Anteil
an Sekundärelektronen, die
austreten können,
und die Elektronenemission von der Oberfläche nimmt zu. Die Intensität der Sekundärelektronenemission
ist somit ein Kennzeichen der Oberflächenneigung und der Topografie.
Deshalb kann die Intensität
der Signale, die durch Sekundärelektronendetektoren
erfasst werden, für
die hochauflösende
Oberflächenabbildung
verwendet werden. Instrumente, welche diese Oberflächeneffekte visualisieren,
haben für
die Entwicklung von z. B. Mikroelektronikkomponenten zunehmend an
Bedeutung gewonnen. Sie werden verwendet, um Abweichungen von vorgegebenen
Mustern aufzuzeigen oder um topografische Parameter, wie z. B. Höhe, Breite
oder Neigungswinkel der untersuchten Struktur, zu bewerten.
-
Die
durch das Spezimen absorbierten Primärelektronen tragen zu deren
Ladung bei. Das gilt insbesondere für Isolatoren und Halbleiter,
wo sie sich leicht ansammelt. Die Ladung kann zu einem starken elektrischen
Feld führen,
welches an der Oberfläche
des Spezimen überwiegt
und welches das Bild von seiner Oberfläche wesentlich verändert, indem
es zum Beispiel den Weg der PE und der SE verändert. In einem Halbleiterbauelement
werden zum Beispiel oft elektrische Isolatoren, wie z. B. SiO2,
auf Leitern, wie z. B. Al, oder Halbleitern, wie z. B. Silizium, abgeschieden.
Wenn ein PE-Strahl auf das Bauelement gerichtet wird, dann wird
die Oberfläche
des Isolators aufgeladen. Das resultierende elektrische Feld kann
verhindern, dass die SE, die am Boden eines Kontaktlochs erzeugt
werden, den Detektor erreichen. Ebenso wird eine einzelne Leitung
auf einem integrierten Schaltkreis ein anderes Bild verglichen mit
der gleichen Leitung in unmittelbarer Nachbarschaft anderer Leitungen
erzeugen. Die scheinbaren Größenveränderungen,
welche durch das Aufladen erzeugt werden, liegen in der Größenordnung
von einigen zehn nm, was für
Messungen kritischer Dimensionen signifikant ist.
-
In
der Vergangenheit wurde ein Anzahl von Verfahren zur Lösung dieser
Probleme erprobt. Diese Ansätze
schlossen die Anpassung der Beschleunigungsspannung und des Stromes
des Elektronenstrahls ein. In anderen wurde die Abtastgeschwindigkeit
des Primärelektronenstrahls
verändert
oder der Primärelektronenstrahl
vor dem Auftreffen auf das Spezimen moduliert. Diese Verfahren waren
jedoch nicht zufriedenstellend. In einigen Fällen ist die Intensität der emittierten
Sekundärelektronen
zu gering, in anderen Fällen
sind die durch Vergleichsmessungen erhaltenen Ergebnisse unzuverlässig.
-
In
dem Schriftstück
DE 33 32 248 wird zum Beispiel
ein System beschrieben, das an ein Rasterelektronenmikroskop (SEM)
angepasst werden kann und das eine Abbildung von sowohl elektrisch
leitfähigen
als auch vakuumempfindlichen Test-Proben mittels Rückstreuelektronen
ohne irgendeine Form der Präparation
erlaubt und das mit einer bislang nicht erreichten Qualität frei von
Artefakten ist. Das wird mittels eines abmessbaren und vorionisierten, durch
eine Düse
bereitgestellten Gasflusses erreicht, der in einer zielgenauen Weise
um die Oberfläche des
Testspezimen in der Testprobenkammer herum fließt, in der er die Ladungen
auf der Oberfläche
des Testspezimen entlädt,
welche die Bildstörung
verursachen, und wird schließlich
noch einmal extrahiert.
-
Bei
einem alternativen Ansatz wurden Environmental-Rasterelektronenmikroskope
(ESEM) verwendet. Ursprünglich
wurden diese für
die Untersuchung von Spezimen entwickelt, welche empfindlich gegenüber der
Dehydrierung sind, die durch das Vakuum in der Probenkammer verursacht
wird. Die Verwendung einer Niederdruckumgebung in der Kammer verhindert
die Dehydrierung. Als ein Nebeneffekt verhinderte das Vorliegen
von Ionen in dem bestrahlten Gas das Aufladen des Spezimen. Diese ESEM-Systeme
verursachen jedoch ein Aufweiten des Strahls geladener Teilchen
infolge der Streuung der Primärelektronen.
Auch kann die hohe Gaskonzentration in den elektrischen Feldern
zwischen den Detektoren und dem Spezimen einen Funkendurchschlag
ergeben. Deshalb führten
die ESEM-Systeme weder zu zufriedenstellenden Ergebnissen noch können sie
für Halbleiteranwendungen
eingesetzt werden, da solche Anwendungen eine Hochvakuumumgebung
erfordern.
-
KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
-
Die
vorliegende Erfindung bezweckt die Bereitstellung einer verbesserten
Vorrichtung und eines Verfahrens für die Untersuchung eines Spezimen
mit einem Strahl geladener Teichen. Gemäß einer Ausbildung der vorliegenden
Erfindung wird eine Vorrichtung bereitgestellt, wie sie in Anspruch
1 festgelegt ist.
-
Gemäß einer
weiteren Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren
bereitgestellt, wie es in Anspruch 7 festgelegt ist.
-
Weitere
Vorzüge,
Merkmale, Ausbildungen und Einzelheiten der Erfindung werden aus
den abhängigen
Ansprüchen,
der Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen
ersichtlich. Die Ansprüche sind
als ein erster, nicht einschränkender
Ansatz zur Festlegung der Erfindung in einer allgemeinen Fassung
zu verstehen.
-
Gemäß einer
Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung für einen
Strahl geladener Teilchen bereitgestellt, die eine Teilchenquelle und
ein optisches Gerät
umfasst, um einen Strahl geladener Teilchen auf das zu untersuchende
Spezimen zu lenken. Die Vorrichtung umfasst ferner eine Gaszufuhr
für das
Bereitstellen eines Gases am Auftreffbereich des Strahls geladener
Teilchen und ein 2-Wege-Ventil, das in der Gaszufuhr angeordnet
ist, wobei ein erster Anschluss des 2-Wege-Ventils mit einem Gasreservoir
und ein zweiter Anschluss der Gaszufuhr mit einem Vakuumreservoir
verbunden ist. Eine Steuereinheit schaltet das 2-Wege-Ventil.
-
Gemäß einer
bevorzugten Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird das Inertgas
in der Form einer Schicht bereitgestellt. Diese Schicht bedeckt vorzugsweise
den Bereich des Spezimen, wo der Strahl geladener Teilchen auftrifft.
Im Zusammenhang mit dieser Anwendung wird "Schicht" nicht als geometrisches Objekt mit
klar definierten Grenzen verstanden. Eher weisen die Inertgasmoleküle, welche
die Schicht ausbilden, vorzugsweise eine höhere Konzentration in dem Bereich
des Spezimen auf, wo der Strahl auftrifft. Die Konzentration nimmt
längs des Strahls
mit zunehmendem Abstand vom Spezimen ab.
-
In
einer weiteren bevorzugten Ausbildung der vorliegenden Erfindung
lenkt eine Düse
den Inertgasstrom zum Auftreffbereich hin. Das könnte vorzugsweise ausgeführt werden,
indem entweder der Gasstrom oder der Druck verändert wird oder indem beides
verändert
wird. Anstelle einer einzigen Düse können zwei
oder mehr Düsen
zum Bereitstellen des Inertgases verwendet werden. In einem solchen
Falle sind die Düsen
vorzugsweise in einem symmetrischen Muster angeordnet.
-
Gemäß noch einer
weiteren Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ist in der Nähe des Auftreffbereichs des
Strahls geladener Teilchen eine Elektrode vorgesehen. Die Elektrode
ermöglicht
ein gesteuertes Aufladen des Spezimen. Das Inertgas wird einen Ladungsaustausch
zwischen dem Spezimen und der Elektrode verursachen. Vorteilhafterweise
stellt die Elektrode einen gewünschten
Spannungspegel in einem begrenzten Bereich des Spezimen her. Darüber hinaus
ist es bevorzugt, Mittel für das
Positionieren der Elektrode, z. B. mit einem x-y-z-Manipulator, bereitzustellen.
In Abhängigkeit vom
Material oder der Oberflächenstruktur
des Spezimen kann die Elektrode an einem spezifischen Ort über dem
Spezimen mit einem spezifischen Abstand von ihm platziert werden.
-
In
einer bevorzugten Ausführungsform
gemäß der Erfindung
sind die Düse
und die Elektrode als ein fest verbundenes Bauteil vorgesehen. Das kann
entweder durch einen gemeinsamen Träger oder durch Anbringen der
Elektrode an der Düse
erreicht werden. Vorzugsweise ist die Elektrode vor der Düse angeordnet.
Beide Bauteile, die Düse
und die Elektrode, weisen vorteilhafterweise eine Ankopplungsvorrichtung
auf. Das ermöglicht
ihren Austausch mit anderen Düsen
oder Elektroden, die unterschiedliche geometrische Abmessungen und
somit unterschiedliche physikalische Eigenschaften haben.
-
Es
ist bevorzugt, eine Elektrode zu verwenden, die ein elektrostatisches
Feld mit einer Rotationssymmetrie erzeugt. Diese Symmetrie begrenzt den
Einfluss auf die Trajektorie des auftreffenden Strahls geladener
Teilchen und die Sekundärelektronen.
In einer bevorzugten Ausführungsform
ist die Elektrode eine kreisförmige
Ringelektrode, wobei der Strahl geladener Teilchen durch deren Mitte
geführt wird.
-
Vorteilhafterweise
weist die Elektrode ein leitfähiges
Netz auf. Mindestens eine der Netzmaschen wird genutzt, um den Teilchenstrahl
hindurchzulassen. Obwohl eine derartige Anordnung die Rotationssymmetrie
des entstehenden elektrostatischen Feldes geringfügig verzerrt,
verbessert sie die Wirksamkeit der Elektrode beim Steuern der Aufladung.
-
Gemäß einer
weiteren Ausbildung sind Vakuummittel vorgesehen, die zum Bereitstellen
eines Druckgradienten in der Probenkammer in der Lage sind. Vorzugsweise
wird der Druckgradient längs
des auftreffenden Teilchenstrahls eingestellt mit einem höheren Druck
am Auftreffpunkt und einem niedrigeren Druck an der Apertur, die
das Einführen
des Teilchenstrahls in die Probenkammer erlaubt. Der Druckgradient
verringert die Anzahl der Stöße zwischen dem
Teilchenstrahl und irgendwelchen anderen Atomen oder Molekülen als
denen im Spezimen. Vorzugsweise wird der Druckgradient derart eingestellt, dass
die Teilchen des einfallenden Strahls im Mittel weniger als einmal
mit einem Atom oder Molekül
in der Kammer zusammenstoßen,
bevor sie auf das Spezimen aufschlagen.
-
Gemäß noch einer
weiteren Ausbildung der vorliegenden Erfindung ist ein Gastank vorgesehen, der
mit der Gaszufuhr verbunden ist. Der Gastank kann abgenommen und
durch einen anderen Gastank ersetzt werden, der unterschiedliche
Gase enthält.
In einer bevorzugten Ausführungsform
weist der Gastank verschiedene Kammern und ein Schaltmodul auf,
um der Probenkammer unterschiedliche Gase zuzuführen.
-
Gemäß einer
bevorzugten Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung
für die Untersuchung
eines Spezimen mit einem Strahl geladener Teilchen bereitgestellt,
welche eine Teilchenquelle für
das Bereitstellen eines Strahls geladener Teilchen und ein optisches
Gerät umfasst,
um den Strahl geladener Teilchen auf das zu untersuchende Spezimen
zu lenken. Außerdem
umfasst die Vorrichtung eine Düse,
um einen Inertgasstrom auf einen Bereich des Spezimen zu lenken,
welcher durch den auftreffenden Teilchenstrahl untersucht wird.
Vorzugsweise umfasst die Vorrichtung auch eine Vakuumkammer, die
in Verbindung steht mit Vakuummitteln, die in der Lage sind, in
der Vakuumkammer einen Druckgradienten längs des Strahls geladener Teilchen
zu schaffen.
-
Bevorzugte
Inertgase, die im Rahmen dieser Anwendung verwendet werden, sind
N2, CO2 oder SF6 oder Edelgase, wie z. B. Ar. Die verwendeten Gase
sind jedoch nicht auf die oben erwähnten beschränkt. Ein
beliebiges anderes Gas, das für
eine Reaktion mit der Oberfläche
des Spezimen inert ist, kann verwendet werden.
-
Gemäß noch einer
weiteren bevorzugten Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird
eine Vorrichtung bereitgestellt, um eine nicht ideal leitfähige Probe
untersuchen. Die Vorrichtung umfasst eine Teilchenquelle für das Bereitstellen
eines Strahls geladener Teilchen und ein optisches Gerät, um den Strahl
geladener Teilchen auf die nicht ideal leitfähige Probe zu lenken. Die Vorrichtung
umfasst ferner Mittel, um auf der zu untersuchenden Probe eine Inertgasschicht über dem
Auftreffbereich des Strahls geladener Teilchen bereitzustellen,
wobei die Mittel zum Bereitstellen einer Inertgasschicht mindestens
eine Düse
umfassen, die vorzugsweise mit einem Inertgastank verbunden ist.
Eine Referenz-Elektrode steuert die Spannung des Bereichs der Probe
auf eine vorgewählte
Spannung. Die Referenz-Elektrode weist vorzugsweise eine kreisförmige Apertur
auf.
-
Gemäß einer
weiteren Ausbildung der Erfindung wird das Inertgas dem Auftreffbereich
in einer diskontinuierlichen oder pulsierenden Weise bereitgestellt.
Das ermöglicht
eine Verringerung der Inertgasmenge in der Probenkammer. Hauptsächlich wird das
Inertgas dem Einfallsbereich zugeleitet, wenn es für das Entladen
benötigt
wird.
-
Gemäß einer
weiteren Ausbildung der Erfindung ist die Gasleitung in die Objektivlinse
oder in beliebige andere mechanische Bauteile in der Nähe des Spezimen
integriert. Eine solche Anordnung erlaubt die Verwendung des vorhandenen
Aufbaus einer Mikroskopsäule
und bewahrt die Rotationssymmetrie um die optische Achse.
-
Die
Erfindung betrifft auch Verfahren, durch welche die beschriebene
Vorrichtung betrieben wird. Sie schließt Verfahrensschritte zum Ausführen einer jeden
Funktion der Vorrichtung ein. Außerdem betrifft die Erfindung
auch eine Vorrichtung zum Ausführen der
offenbarten Verfahren und zum Einbeziehen der Vorrichtungsteile
für das
Ausführen
eines jeden beschriebenen Verfahrensschritts. Diese Verfahrensschritte
können
durch Hardware-Komponenten, durch einen Computer, der durch eine
geeignete Software programmiert wurde, durch eine beliebige Kombination
der beiden oder auf eine beliebige andere Weise ausgeführt werden.
-
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
Einige
der oben angeführten
und andere genauere Ausbildungen der Erfindung werden in der nachfolgenden
Beschreibung beschrieben und teilweise mit Bezugnahme auf die Figuren
veranschaulicht:
-
1 ist
ein schematischer Vertikalschnitt einer Objektivlinse für ein Gerät für einen
Strahl geladener Teilchen, die eine Gasleitung mit einer symmetrischen
Elektrode aufweist.
-
2 ist
ein schematischer Vertikalschnitt einer zweiten Objektivlinse für einen
Strahl geladener Teilchen, die eine röhrenförmige Gasleitung aufweist.
-
3 zeigt
einen vereinfachten Querschnitt der optischen Säule eines Rasterelektronenmikroskops
mit einer Gaszufuhr, die an die Probenkammer angeschlossen ist.
-
4a zeigt
eine Draufsicht von zwei Gasdüsen,
die symmetrisch um den Auftreffbereich des Primärelektronenstrahls herum angeordnet
sind.
-
4b zeigt
eine Draufsicht von vier Gasdüsen,
die symmetrisch um den Auftreffbereich des Primärelektronenstrahls herum angeordnet
sind.
-
4c zeigt
eine Draufsicht von drei Gasdüsen,
die symmetrisch um den Auftreffbereich des Primärelektronenstrahls herum angeordnet
sind.
-
5a zeigt
eine Draufsicht einer Gasdüse mit
einer Referenz-Elektrode an der Düsenspitze.
-
5b zeigt
eine Draufsicht einer Gasdüse mit
einer Referenz-Elektrode, die unmittelbar hinter der Düsenspitze
angeordnet ist.
-
5c zeigt
eine Draufsicht von zwei Gasdüsen
mit einer Referenz-Elektrode an deren Düsenspitzen.
-
5d zeigt
eine Draufsicht einer Gasdüse mit
einer Referenz-Elektrode an der Düsenspitze, wobei die Referenz-Elektrode
ein leitfähiges
Netz aufweist.
-
6 zeigt
eine mögliche
Zeitkorrelation zwischen der Abtastbewegung des Strahls geladener Teilchen
und dem Gasfluss.
-
7 zeigt
eine mögliche
Zeitkorrelation zwischen einem gepulsten Strahl geladener Teilchen und
dem Gasfluss.
-
8 zeigt
eine Objektivlinse mit einer integrierten Gasleitung, wobei die
Gasleitung in einen Polschuh der Magnetlinse integriert ist.
-
9 zeigt
eine Objektivlinse mit einer integrierten Gasleitung, wobei die
Gasleitung in eine Elektrode der elektrostatischen Linse integriert
ist.
-
9a zeigt
eine Objektivlinse mit einer integrierten Gasleitung, wobei die
Gasleitung in die Referenz-Elektrode
integriert ist, die unter der Objektivlinse angeordnet ist.
-
10 zeigt
eine auf das Spezimen ausgerichtete Gasleitung mit einem Ventil,
das zwischen dem Gasreservoir und der Probenkammer angeordnet ist.
-
11 zeigt
eine auf das Spezimen ausgerichtete Gasleitung mit einem Mikroventil,
das am Ende der Gasleitung angeordnet ist.
-
12 zeigt
eine auf das Spezimen ausgerichtete Gasleitung mit einem 2-Wege-Ventil,
das in der Gasleitung gemäß den Ausführungsformen
der Erfindung angeordnet ist.
-
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSFORMEN
-
Nachfolgend
werden Einzelheiten der Ausführungsformen
gemäß der Erfindung
beschrieben.
-
In 1 ist
ein Ausführungsbeispiel
einer Objektivlinseneinheit 1 dargestellt, die in einer
Vorrichtung zur Untersuchung eines Spezimen verwendet wird. Diese
Linse wird vorzugsweise als eine Komponente in der optischen Säule eines
Rasterelektronenmikroskops verwendet. Ein Primärelektronenstrahl 2,
der durch eine (in 3 dargestellte) Elektronenquelle
erzeugt wird, breitet sich längs
einer optischen Achse OA aus und wird auf ein Spezimen 3 fokussiert.
Es ist nicht erforderlich, dass sich der Primärelektronenstrahl immer längs der
optischen Achse ausbreitet. Auf seinem Wege von der Quelle zum Spezimen
kann der Elektronenstrahl aus der optischen Achse OA oder ihrer
Umgebung abgelenkt und in einem späteren Abschnitt zur optischen Achse
zurück
reflektiert werden. In der dargestellten Ausführungsform ist das Spezimen 3 eine
Mikroelektronikkomponente mit einer Isolatorschicht 4 auf
einer Substratschicht 5. Zur Untersuchung des Spezimen
wird ein bestimmter Bereich des Spezimen mit dem Primärelektronenstrahl
abgetastet. Das Abtasten oder das Ablenken des Strahls wird durch
ein Abtastspulensystem ausgeführt,
welches durch einen Abtastgenerator angesteuert wird (beide in 1 nicht
dargestellt). Die Wechselwirkungen des Strahls mit dem Spezimen
erzeugen z. B. Sekundärelektronen.
Wegen der isolierenden Oberfläche 4 des
Spezimen wird der Primärelektronenstrahl
im Auftreffbereich eine lokalisierte Aufladung erzeugen. Die Sekundärelektronen
können
mit einem geeigneten Detektor 7 gemessen werden. In dem
veranschaulichten Beispiel ist der Detektor unmittelbar über dem Linsenkörper symmetrisch
bezüglich
der optischen Achse OA angeordnet. Der Detektor 7 ist vorzugsweise
ein ringförmiges
elektronenempfindliches Bauteil, das einen Hohlzylinder 16 einschließt, der
darin in einem zentralen Bohrloch eingepasst ist. Der Hohlzylinder 16,
der auf ein etwas niedrigeres positives Potenzial gegenüber der
oberen Elektrode 12 der elektrostatischen Linse aufgeladen
sein kann, erstreckt sich in den oberen Körper des Linsenkörpers hinein.
-
Die
dargestellte konische Linse, die einen oberen Polschuh 8 und
einen unteren Polschuh 9 aufweist, wird durch eine Erregerspule 11 gespeist. Der
magnetische Fluss der magnetischen Linse ist in dem Bereich des
Polschuhzwischenraumes 10 zwischen dem oberen und dem unteren
Polschuh 8, 9 konzentriert. Hier erreicht das
magnetische Feld seine maximale Stärke und ist nahezu rotationssymmetrisch
um die optische Achse OA herum.
-
Die
Abbildungseigenschaften der Objektivlinseneinheit 1 werden
auch durch die elektrostatische Linse festgelegt. In der dargestellten
Ausführungsform
bilden eine obere Elektrode 12 und eine untere Elektrode 13 ein
nahezu rotationssymmetrisches elektrisches Linsenfeld aus, dessen
Hauptebene zwischen der Hauptebene der konischen magnetischen Linse
und dem Spezimen 3 liegt. In dem veranschaulichten Ausführungsbeispiel
hat die obere Elektrode 12 vorzugsweise die Form eines
Kegelstumpfes, der sich in der Richtung zum Spezimen verjüngt; sein
Endteil ist ein zylindrisches Rohr, das in den Bereich des Polschuhzwischenraumes 10 hineinragt.
Das positive Potenzial dieser Elektrode ist zum Beispiel 5 bis 10
kV. Die untere Elektrode 13, die eine konische Form aufweist,
ist zum Beispiel geerdet. Das resultierende elektrische Feld ist
ein Bremsfeld, das die Elektronen hoher Geschwindigkeit, welche
durch die obere Elektrode 12 kommen, abbremst.
-
Zwischen
dem Spezimen 3 und der unteren Elektrode 13 ist
eine Referenz-Elektrode 15 angeordnet. In der dargestellten
Ausführungsform
weist die Elektrode eine rotationssymmetrische Gestalt auf. Die
Referenz-Elektrode ist an dem Ende der Gasleitung 14 angeordnet,
welche das Inertgas einer Düse zuführt, die
in die Referenz-Elektrode integriert ist. Einerseits kann die Referenz-Elektrode 15 verwendet werden,
um eine vorgegebene Spannung in dem Teil der Spezimenoberfläche einzustellen,
welche in unmittelbarer Nachbarschaft der Referenz-Elektrode liegt.
Andererseits unterstützt
die Referenz-Elektrode in Abhängigkeit
von der an ihr anliegenden Spannung auch das Absaugen von Sekundärelektronen von
der Oberfläche
des Wafers. Abweichungen des elektrostatischen Feldes, welche durch
das Vorhandensein der Düse
erzeugt werden, werden zum Beispiel durch Anordnen einer symmetrischen
Elektrode an den Düsenspitzenabschnitten
minimiert. In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Düsenapertur als
eine ringförmige Öffnung entlang
des Umfanges der Referenz-Elektrode ausgebildet. Alternativ kann eine
derartige ringförmige Öffnung der
Düsenapertur auch
verwendet werden, ohne sie mit einer Referenz-Elektrode zu kombinieren.
In diesem Falle wirkt der kreisförmige
Düsenaufsatz 15 lediglich
als ein kreisförmiger
Gasauslass.
-
2 zeigt
eine weitere Objektivlinse 1 zum Fokussieren eines Primärelektronenstrahls 2 auf
das Spezimen. Die Linse besteht im Wesentlichen aus einer magnetischen
Linse und einer elektrostatischen Linse, die Felder erzeugen, die
weitgehend rotationssymmetrisch um die optische Achse OA der Objektivlinse
herum sind. Der Detektor 7 ist unmittelbar über dem
Linsenkörper
angeordnet und weist Sekundärelektronen 6 nach,
die durch den Primärelektronenstrahl
am Spezimen ausgelöst
werden. Der magnetische Fluss, der durch eine Erregerspule 11 erzeugt wird,
ist – unterstützt durch
einen oberen und einen unteren Polschuh 8, 9 – in einen
kleinen Raumbereich um die optische Achse OA herum konzentriert. Die
maximale Feldstärke
der magnetischen Linse wird in dem Polschuhzwischenraum 10 erreicht.
Die obere Elektrode 12 der elektrostatischen Linse enthält einen
zylindrischen Abschnitt, der auf eine isolierende Weise in einem
Bohrloch im oberen Polschuh 8 der magnetischen Linse angeordnet
ist.
-
Der
untere Polschuh 9 der magnetischen Linse liegt vorzugsweise
auf Erdpotenzial und kann zum Schutz gegen Kontaminieren mit einem
(in 2 nicht dargestellten) Strahlführungsrohr aus magnetischem
oder nichtmagnetischem Material ausgekleidet sein. Der untere Polschuh
bildet somit die untere Elektrode 13 der elektrostatischen
Linse, die das Bremsfeld erzeugt.
-
Genau
unter der Objektivlinse ist eine Gasleitung 14 angeordnet.
Die Gasleitung ist Teil einer Gaszufuhr, die ferner ein (in dieser
Figur nicht dargestelltes) Gasreservoir umfasst. In dem dargestellten Beispiel
ist die Gasleitung in der Form eines Rohrs vorgesehen, dessen Öffnung für den Gasausstoß direkt
auf den Auftreffbereich des Primärelektronenstrahls
hin ausgerichtet ist. Ein bevorzugter Abstand zwischen der Unterkante
der Austrittsöffnung
und der Oberfläche
des Spezimen beträgt
bis zu 1 mm. In bestimmten Anwendungen beträgt der Abstand ungefähr 100 Mikrometer.
Wegen des Neigungswinkels, welchen die Röhrenöffnung mit der Oberfläche des Spezimen
einschließt,
ist in diesem Falle der Arbeitsabstand der Röhrenöffnung von dem Bereich des Spezimen,
wo der Strahl auftrifft, ungefähr
0,5 mm. Vorzugsweise ist der Durchmesser der Austrittsöffnung ungefähr 100 Mikrometer.
Die Gasleitung weist einen Knieabschnitt 17 auf, und der
Teil der Gasleitung, der den Knieabschnitt 17 mit dem Gas-Reservoir
verbindet, ist von der Objektivlinse weg gerichtet. Es ist jedoch
möglich,
diesen Teil der Gasleitung parallel zum unteren Polschuh der magnetischen
Linse laufen zu lassen. Entsprechend einigen Ausführungsformen
kann auch eine Gasleitung ohne Knieteil verwendet werden. Dabei
ist es noch erwünscht, die
Gasleitung bezüglich
der Oberfläche
des Spezimen etwas schräg
zu stellen, sodass der Inertgasstrom auf die Oberfläche des
Spezimen ausgerichtet ist.
-
In 3 ist
ein Beispiel für
einen Querschnitt eines für
das Verständnis
der Erfindung nützlichen Ausführungsbeispiels
eines Rasterelektronenmikroskops schematisch dargestellt. Als Elektronenkanone 18 kann
eine Triodenkanone mit einem thermoionischen Wolframfaden oder alternativ
ein hellerer Strahler, wie z. B. Lanthan- oder Cerhexaborid, verwendet
werden. Eine weitere Alternative ist z. B. eine Schottky-Feldemissionskanone.
Ein Doppelkondensor-Linsensystem 19, 20 erzeugt
ein verkleinertes Bild der 'Strahldurchkreuzung' der Elektronenquelle dicht
hinter der zweiten Kondensorlinse 20. Die Objektivlinse 21 projiziert
das verkleinerte Bild der Elektronenstrahldurchkreuzung als einen
Fleck, der auf die Oberfläche
des Spezimen fokussiert ist. Der Raumwinkel des fokussierten Strahls
ist durch eine Apertur 23 festgelegt, die unmittelbar auf
die Objektivlinse folgt. Das Bohrloch der Objektivlinse 21 enthält auch
das Ablenkungssystem 22, das für das Abtasten der Elektronensonde
verantwortlich ist.
-
Der
fokussierte Primärelektronenstrahl
trifft auf das Spezimen 3 auf, das auf dem Probenhalter 27 positioniert
ist. Beide befinden sich in einer Vakuumkammer 26, die
mit Vakuumpumpen 28 verbunden ist, um das gewünschte Vakuumniveau
bereitzustellen, sodass die Primärelektronen
nicht durch Stöße mit irgendwelchen
anderen Atomen oder Molekülen
als denen im Spezimen aus ihrer vorgesehenen Bahn abgelenkt werden.
Außerdem
ist eine Vakuumpumpe 29 zum Evakuieren der optischen Säule vorgesehen.
Die Apertur 23 trennt die optische Säule von der Probenkammer 26 ab,
um das differenzielle Auspumpen zu ermöglichen. Ein Inertgas in einem Gasreservoir 25 wird
durch ein Ventil 24 zur Gasleitung 14 geleitet,
welche den Inertgasstrom auf das Spezimen 3 richtet. In
bevorzugten Ausführungsformen
ist am Ende der Gasleitung 14 eine Düse vorgesehen. Das Ventil 24 kann
zum Anpassen des Drucks verwendet werden, der für das Bereitstellen des Inertgases
verwendet wird.
-
In
der Vakuumkammer 26, in welche das zu untersuchende Spezimen
eingeführt
wird, herrscht ein beispielhafter mittlerer Basisdruck von ungefähr 5·10–4 Pa
vor. Dieser mittlere Basisdruck in der Kammer nimmt auf ungefähr 5·10–3 Pa
zu, wenn das Inertgas auf das Spezimen gerichtet wird. Der Druck
am Ausgang der Gasleitung ist ungefähr 10 Pa. Der Inertgasstrom
erzeugt eine Miniumgebung am Auftreffpunkt des Primärelektronenstrahls.
Während
diese Miniumgebung die negativen Auswirkungen der Aufladung nahe
der Oberfläche
des Spezimen verringert, wirkt sie sich nicht wesentlich auf das
mittlere Vakuumniveau in der Kammer bis zu einem Grade aus, wo sie
die Übertragung
des Strahls durch die optische Säule
behindert. Die Streuung der Primärelektronen
an den Gasmolekülen
in der Kammer wird dadurch auf einer akzeptablen Stufe gehalten.
Der Vakuumgradient wird durch Abgleich des Gasflusses in die Probenkammer
hinein mit der Gasmenge aufrechterhalten, die aus dieser Kammer
abgesaugt wird. Der Pumpanschluss der Vakuumpumpe ist vorzugsweise
in einer Linie mit dem Inertgasstrom angeordnet.
-
Die 4a–4c zeigen
verschiedene symmetrische Anordnungen der Gasleitungen 14. Der
Ort des auftreffenden Primärelektronenstrahls
ist das Symmetriezentrum. Die 5a–5d zeigen verschiedene
beispielhafte Kombinationen von Elektroden 15 und Gasleitungen 14.
In 5a ist die Elektrode an der Spitze des Gasauslasses
oder der Düse
angeordnet ist. In 5b ragt der Gasauslass oder
die Düse
in die Elektrode hinein. In 5c sind zwei
Gasauslässe
oder Düsen
an der Referenz-Elektrode angeschlossen, und in 5d wird
ein leitfähiges
Netz verwendet, um die rotationssymmetrische Elektrode zu überspannen.
Die Kernmasche dieses Netzes liegt in der Mitte der Elektrode. Alternativ kann
anstelle des in 5d dargestellten Netzes ein rotationssymmetrisches
leitfähiges
Netz verwendet werden.
-
Der
auf das Spezimen zum Auftreffbereich des Strahls geladener Teilchen
hin ausgerichtete Inertgasstrom verringert beträchtlich die nachteiligen Auswirkungen
der Aufladung, ohne das mittlere Vakuumniveau in der Kammer wesentlich
zu beeinträchtigen.
In Abhängigkeit
von der Gasmenge, die in der Probenkammer vorliegt, kann er jedoch
die Übertragung
des Strahls behindern, bevor er auf das Spezimen auftrifft. In einer
bevorzugten Ausführungsform wird
diese negative Auswirkung durch Bereitstellen eines gepulsten Gasstromes
verringert, der Inertgas nur in der Menge zuführt, die für das Reduzieren der Aufladung
nötig ist,
und der überschüssiges Inertgas ausspart.
-
Ein
Beispiel für
eine derartige Pulsbetriebsart ist in 6 dargestellt.
Das obere Diagramm zeigt die Abtastbewegung des Strahls geladener
Teilchen. Ähnlich
zu dem Abtasten eines Elektronenstrahls auf einem Fernsehschirm
wird der Strahl geladener Teilchen in einer ersten Bewegung über eine
erste Zeile in dem zu untersuchenden Bereich des Spezimen hinweg
geführt.
Die Abtastbewegung findet in dem Zeitintervall 0 bis t1 statt. Durch
den Nachweis von Sekundärteilchen,
die durch das Aufschlagen der Primärteilchen erzeugt werden, wird
ein Bild dieser Zeile erzeugt. Am Ende dieser Zeile wird der Strahl
geladener Teilchen genau unter den Zeilenanfang zurückgesetzt.
Die Rücksetzbewegung
findet im Zeitintervall t1 bis t2 statt, und während dieses Zeitintervalls wird
kein Bild des Spezimen erzeugt. Anschließend wird der Strahl geladener
Teilchen im Zeitintervall t2 bis t3 in einer zweiten Abtastbewegung über eine zweite
Zeile in dem zu untersuchenden Bereich des Spezimen hinweg geführt, wobei
eine zweite Zeile des entsprechenden Bildes erzeugt wird. Das untere Diagramm
zeigt die Zeitkorrelation zwischen dem Fluss des Inertgases und
der Abtastbewegung des Strahls geladener Teilchen. In diesem speziellen
Beispiel ist der Inertgasstrom während
der Rücksetzbewegung
des Strahls geladener Teilchen, d. h. im Zeitintervall t1 bis t2,
auf den Auftreffbereich gerichtet. Während der Abtastbewegung ist
kein Inertgas auf das Spezimen gerichtet. Damit werden Stöße zwischen
den Primärteilchen
und den Gasteilchen vermieden. Die Inertgasteilchen, die während der
Rücksetzbewegung
auf das Spezimen gerichtet sind, bleiben für einige Zeit in der Nähe der Oberfläche des Spezimen,
wodurch die nachteiligen Auswirkungen des Aufladens verringert werden.
In bestimmten Anwendungen wird es nicht nötig sein, das Inertgas während der
gesamten Rücksetzbewegung
zuzuführen.
Es kann von Vorteil sein, den Gasstrom vor t2 zu unterbrechen, wenn
das Inertgas in einer ausreichenden Menge zugeführt worden ist, sodass es noch
imstande ist, die Aufladung für
die nächste
Abtastbewegung zu reduzieren. Alternativ kann es von Vorteil sein,
Inertgas noch während
des ersten Teils der Abtastbewegung zuzuführen, sodass noch genug Gasteilchen
vorliegen und in der Nähe
des Auftreffbereichs sind, um das Aufladen am Ende des Abtastintervalls
zu verhindern.
-
In
Abhängigkeit
von der Länge
der Gasleitung, den zur Bereitstellung des Inertgases verwendeten
Drücken
und den Abständen
zwischen der Endöffnung
der Gasleitung und dem Auftreffbereich benötigen die Inertgasteilchen
einige Zeit, bevor sie den Auftreffbereich erreichen. Diese Zeitverzögerung wird
in einer alternativen Ausführungsform
betrachtet, in welcher die Einschaltphase des gepulsten Gasstroms
vor t1 eingeleitet und der Gasstrom vor t2 abgeschaltet wird. Die
zwei Zeitverschiebungen vor t1 und t2 weisen nicht notwendigerweise
dieselbe Zeitlänge
auf.
-
In 7 ist
eine andersartige Korrelation zwischen der Steuerung des Strahls
geladener Teilchen und dem gepulsten Gasstrom dargestellt. Der obere
Teil des Diagramms zeigt einen gepulsten Strahl geladener Teilchen
während
der Abtastbewegung. Bei t1 wird der Strahl geladener Teilchen abgeschaltet
und bei t2 wird er wieder eingeschaltet. Bei t2 wird die Abtastbewegung
des Strahls geladener Teilchen an der gleichen Stelle des Spezimen
fortgesetzt, wo die Abtastbewegung bei t1 unterbrochen wurde. Der
untere Teil des Diagramms zeigt, dass die Abtastpause verwendet
wird, um einen Inertgasstrom auf den Auftreffbereich zu richten.
Da es während
des Zeitintervalls t1 bis t2 keine geladenen Teilchen gibt, die
auf dem Spezimen auftreffen, wird die Anzahl der Stöße zwischen
Primär-
und Sekundärteilchen
einerseits und Gasteilchen andererseits beträchtlich herabgesetzt. Wie mit
Bezugnahme auf 6 erläutert wird, kann das Zeitintervall,
während dessen
Inertgas für
den Auftreffbereich bereitgestellt wird, bezüglich der Pulspausen des Strahls
geladener Teilchen zeitverschoben sein. Auch die Zeitintervalle,
während
derer Inertgas bereitgestellt wird, können länger oder kürzer sein als die Pulspausen
des Strahls geladener Teilchen.
-
Es
ist wichtig anzumerken, dass alle oben beschriebenen Pulsmoden nur
Beispiele für
eine sehr große
Vielfalt von Pulsmoden sind, die durch Bereitstellen von Inertgas
für den
Auftreffbereich zum Verringern der Aufladung in der Lage sind und
gleichzeitig versuchen, die Störeffekte
der Gasteilchen, die mit Primär-
und Sekundärteilchen
zusammenstoßen, minimal
zu halten. Alle diese Pulsvariationen liegen innerhalb des Gültigkeitsbereichs
der vorliegenden Erfindung.
-
Aus
leitfähigem
oder magnetischem Material hergestellte Bauteile, die in der Umgebung
von elektrischen und magnetischen Feldern angeordnet sind, beeinflussen
diese Felder. Um Störeffekte
zu vermeiden, wurde eine Elektrode verwendet, die ein elektrostatisches
Feld mit einer Rotationssymmetrie erzeugt, um den Einfluss auf die
Trajektorie des einfallenden Strahls geladener Teilchen und der
Sekundärteilchen
zu begrenzen. Eine das Inertgas auf das Spezimen richtende Düse oder
Gasleitung, welche aus einem leitfähigen oder magnetischen Material hergestellt
ist, könnte
die Felder z. B. der Objektivlinse beeinflussen. In einer bevorzugten
Ausführungsform,
die in 8 dargestellt ist, ist die Gasleitung 32 in
die Objektivlinse integriert. Eine Bohrung 31 im Polschuh 30 der
magnetischen Linse kann entweder unmittelbar als eine Gasleitung
dienen, oder sie kann als eine Fassung für eine Düse oder ein Rohr dienen, das
in die Bohrung 31 eingefügt ist. Wie in 8 gezeigt
ist, endet die Öffnung
der Bohrung am inneren Zylinder des Polschuhs 30. Alternativ
kann das offene Ende der Bohrung im unteren Ende des Polschuhs angeordnet
sein, welches dem Spezimen zugewandt ist.
-
9 zeigt
die Elektrode einer elektrostatischen Linse 34, die zwischen
dem Polschuh 30 einer magnetischen Linse und dem Spezimen 3 angeordnet
ist. Hier ist die Gasleitung 31 in die Elektrode integriert.
Eine Bohrung 31 dient unmittelbar als Gasleitung oder fungiert
als eine Fassung für
eine Düse oder
ein Rohr. 9a zeigt die gleiche Anordnung wie 9,
wobei zwischen der Elektrode der elektrostatischen Linse 34 und
dem Spezimen 3 eine zusätzliche
Referenz-Elektrode 15 angeordnet ist. Diese Referenz-Elektrode
könnte
auch zwischen dem Spezimen und dem Polschuh der in 8 dargestellten
Ausführungsform
platziert werden. Durch Integrieren der Gasleitung in die mechanischen
Bauteile, die in unmittelbarer Nachbarschaft des Spezimen oder am
nächsten
zu ihm angeordnet sind, muss der Aufbau der Mikroskopsäule nicht
abgeändert
werden, und die elektrischen sowie magnetischen Felder zum Führen der
Primär-
und Sekundärteilchen
sind kaum verändert.
Die Integration einer Gasleitung in die mechanischen Bauteile in
der Nachbarschaft des Spezimen oder am nächsten zum Auftreffbereich
des Strahls geladener Teilchen wird vorzugsweise im Zusammenhang
mit dem oben beschriebenen Aufladungsphänomen angewendet, sie kann
jedoch in allen Arten von Vorrichtungen mit einem Strahl geladener
Teilchen angewendet werden, wo ein Gas mit einem Strahl geladener
Teilchen wechselwirkt.
-
Der
Gasfluss, der auf das Spezimen ausgerichtet ist, kann mit einem
stufenlos anpassbaren Ventil für
die Flusssteuerung gesteuert werden. Alternativ ist es möglich, einen
gepulsten Gasstrom mit einer Pulsfrequenz zu verwenden, die ausreichend hoch
ist, sodass der pulsierende Gasfluss eine konsistente Gasschicht
oder Umgebung in der Nähe
des Auftreffbereichs bereitstellt. Durch Wählen eines geeigneten Ein-Aus-Verhältnisses
für die
Pulsmode kann eine Feinabstimmung der Gasumgebung erreicht werden.
-
10 zeigt
ein für
das Verständnis
der Erfindung nützliches
Ausführungsbeispiel,
in dem das Ventil 24 für
das Regeln des Gasstroms zwischen der Probenkammer 26 und
dem Gasreservoir 25 angeordnet ist. Durch Öffnen und
Schließen
des Ventils wird ein gepulster Gasstrom erzeugt und durch die Gasleitung 32 auf
das Spezimen 3 gerichtet. 11 zeigt
ein alternatives, für
das Verständnis
der Erfindung nützliches
Ausführungsbeispiel,
in dem ein Mikroventil 35 in der Nähe des Endes der Gasleitung
integriert ist. Das hat den Vorteil, dass nach dem Schließen des
Mikroventils 35 die zum Abpumpen des verbleibenden Gases
in der Gasleitung benötigte Zeit
beträchtlich
verringert wird.
-
Wie
in 12 gezeigt ist, wird gemäß den Ausführungsformen der Erfindung
ein 2-Wege-Ventil 36 verwendet. Ein Anschluss des 2-Wege-Ventils 36 ist
mit dem Gasreservoir 25 verbunden, und der andere Anschluss
des 2-Wege-Ventils
ist mit einem Vakuumreservoir 37 verbunden. Vorzugsweise
ist das Volumen des Vakuum- oder evakuierten Reservoirs viel größer als
das Volumen der Gasleitung 32. Um den Gasfluss abzuschalten,
wird die Verbindung zwischen der Gasleitung 32 und dem
Gasreservoir 25 unterbrochen und die Verbindung zwischen
der Gasleitung 32 und dem evakuierten Reservoir 37 geöffnet. Das
führt zu
einem sofortigen Druckabfall in der Gasleitung. Diese Anordnung
kann vorteilhafter sein als die Verwendung eines Mikroventils. Das
2-Wege-Ventil kann nicht nur dazu verwendet werden, um die Aufladung
durch Bereitstellen von Inertgas zu reduzieren, sondern es kann
auch in allen Vorrichtungen mit geladenen Teilchen eingesetzt werden,
in denen ein Gasfluss beliebiger Art auf den Auftreffbereich eines
Strahls geladener Teichen gerichtet ist. Das ermöglicht es, dass das Gas oder
die Gase mit dem Korpuskularstrahl in definierten Zeitintervallen Wechselwirken.
Anstelle eines 2-Wege-Ventils könnte
ein Mehrwege-Ventil verwendet werden, und mehr als ein Anschluss
könnte
mit unterschiedlichen Gasreservoiren und/oder mehr als ein Anschluss
könnte mit
unterschiedlichen Vakuum-Reservoiren verbunden werden. Wie z. B.
in den 8, 9 und 9a dargestellt
ist, wird vorteilhafterweise eine Gasleitung verwendet, die in die
mechanischen Bauteile der Vorrichtungen für einen Strahl geladener Teilchen
integriert ist.