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Diese
Erfindung betrifft Vorrichtungen zum automatischen Abfühlen der
Ausgangsposition eines angetriebenen Elements, beispielsweise der
beweglichen Platten eines Abstimm-Kondensators. Die Erfindung betrifft
im Besonderen einen hermetisch verschlossenen Abstimmkondensator
vom Servotyp zur Impedanzanpassung mit einer Hochleistungs-HF-Einrichtung,
beispielsweise einer Plasmaerzeugungsanlage. Die Erfindung betrifft
ebenfalls einen abstimmbaren Kondensator für ein automatisches HF-Anpassungsnetzwerk
zum Anpassen der Impedanz einer reaktiven Plasmakammer oder einer ähnlichen,
nicht linearen Last an einen konstanten Impedanzausgang (beispielsweise
50 Ohm) eines HF-Generators oder einer ähnlichen HF-Quelle.
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In
einer typischen HF-Plasmaerzeugungsanordnung erzeugt eine Hochleistungs-HF-Quelle eine HF-Welle
bei einer vorbestimmten Frequenz, d. h. 13,56 MHz, und diese wird
entlang einer Stromleitung zu einer Plasmakammer geleitet. Die HF-Spannung
ist üblicherweise
an einer festgelegten, bekannten Impedanz bereitgestellt, beispielsweise
50 Ohm. Da üblicherweise
eine erhebliche Impedanzfehlanpassung zwischen der HF-Spannungsquelle
und der Plasmakammer vorliegt, wird ein Impedanzfehlanpassungs-Netzwerk
zwischen den beiden angeordnet. In der Plasmakammer sind Nichtlinearitäten vorhanden,
die das einfache Festsetzen des Impedanzfehlanpassungs-Netzwerks
an festgesetzten Positionen für
ein Plasmaverfahren schwierig machen. Daher sind ein oder mehrere
variable Abstimmkondensatoren zur Anpassung der Leitungsimpedanz
vorhanden, um die Lastimpedanz anzupassen, und diese werden mithilfe
von Fehlersignalen gesteuert, die aus der gemessenen Intensität und Phase
der HF-Welle am Eingang des Impedanzanpassungs-Netzwerks abgeleitet
werden können.
Die Phasen- und Intensitätsfehlersignale
treiben Servomotoren an, die mit den variablen Abstimmkondensatoren
verbunden sind, und fallen auf einen niedrigen oder auf einen Nullpegel,
wenn ein angepasster Zustand erreicht worden ist.
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Üblicherweise
werden teure Vakuumkondensatoren für diesen Zweck eingesetzt,
in denen die Kondensatorplatten im Inneren eines Gehäuses hermetisch
abgedichtet sind, mit einer Führungswelle, die über eine
Gewindespindel mit einer auf der Füh rungswelle befestigten Gewindemutter
nach oben und unten bewegt wird, um in die Spindel einzugreifen.
In diesen Vakuumkondensatoren sind die beweglichen und fest angeordneten
Platten in vollständigem
Eingriff, wenn sich die Führungswelle
und die Mutter in der vollständig
(nach unten) zurückgezogenen
Position, d. h. am proximalen Ende des Hubs, befinden. Die Kapazität wird verringert,
wenn die Führungswelle
angehoben wird, wodurch ein Minimum am anderen Ende des Hubs erreicht
wird.
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Am
Beginn des Maschinenbetriebs ist es für die Servosteuerung entscheidend,
dass die Ausgangsstellungen der Abstimmkondensatoren festgesetzt
werden und dann die Kondensatoren mithilfe von beispielsweise den
Servomotoren in die passenden Abstimmzustände bewegt werden. Üblicherweise
befindet sich die Ausgangsstellung an einem der Endpunkte des Hubs,
beispielsweise dort, wo die fest angeordneten und beweglichen Kondensatorplatten in
vollständigem
Eingriff sind (Maximalkapazität). Derzeit
wird dies unter Verwendung von elektromechanischen Vorrichtungen,
beispielsweise Mikroschaltern, erzielt, die eingeschaltet werden,
um dem Vorgangssteuerungs-Mikroprozessor zu signalisieren, wann
der Kondensator die Endposition erreicht. Ein Beispiel für einen
variablen Kondensator mit eingebautem elektromechanischen Ende oder
Grenzschaltern ist in Planta et al.,
US-Patent
Nr. 5.590.015 , dargelegt. In diesem Patent sind die Grenzschalter
in der Kondensatoranordnung eingebaut.
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Ein
vor kurzem gestellter Vorschlag zur Erreichung des Ausgangspositionabfühlens unter
Verwendung von Faseroptikverfahren sieht die Verwendung eines Faserpaars
vor, wobei eine der Fasern sendet und eine empfängt. Eine Faser ist in fest
angeordneter Position zum Körper
des Kondensators angeordnet, während
die andere an der beweglichen Elektrodenführungswelle angebracht ist.
Die in Ausrichtung gebrachten Fasern vervollständigen den optischen Pfad,
während
der Kondensator in die Ausgangsstellung gebracht wird. Diesem Vorschlag
fehlt unerwünschterweise
jedwede Ausfallsicherungsfähigkeit.
So ist der optische Schaltkreis üblicherweise im
AUS-Zustand. Beim Hochfahren steuert der Schrittmotor den Kondensator
in Richtung seiner Ausgangsstellung und führt das Ansteuern des Kondensators
fort, bis der optische Schaltkreis EIN anzeigt. Wenn aus irgendeinem
Grund ein Ausfall im opti schen Schaltkreis, beispielsweise eine
gebrochene oder falsch ausgerichtete Faser, oder ein ausgefallener
Photodetektor vorliegt, kann der Kondensator über die Ausgangsstellung hinaus
angetrieben werden und einen irreversiblen Schaden erleiden.
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Ein
anderer vor kurzem verlautbarter Vorschlag zur Erreichung des Positionsabfühlens mit
optischen Mitteln verwendet eine erste optische Faser, die Licht
in Richtung der Abstimmmutter und der Führungswelle des Kondensators
emittiert, und eine zweite Faser, die das von der Kondensatorführungswelle
und der Abstimmmutter reflektierte Licht aufnimmt. Die halbreflektive
Oberfläche
auf der Abstimmmutter und der Führungswelle
ermöglicht
dem Schaltkreis, während
des normalen Betriebsbereichs des Hubs vervollständigt zu werden. Der optische Pfad
ist an der Ausgangsstellung unterbrochen, an der die Abstimmmutter
aus dem Blickfeld der optischen Fasern tritt und Licht auf das Gewinde
der Spindel einfällt.
Dieses Verfahren stellt den gewünschten,
normalerweise geschlossenen Lichtpfad während des normalen Betriebs
bereit, der nach dem Erreichen der Ausgangsstellung geöffnet wird.
Der Erfolg dieses Verfahrens hängt
von der äußerst variablen
Lichtabschwächung
der Führungswelle
ab, die von dem von der Spindel an der Ausgangsstellung zurückreflektierten
Licht zu unterscheiden ist. Die in dem faseroptischen Modul nötige Elektronik
weist keinen Kostenvorteil in Bezug auf die einfacheren mechanischen
Mittel des Stands der Technik auf.
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Die
aus dem Übersteuern über die
Endgrenze hinaus entstehenden Probleme benötigen mechanische, feste Sekundärgrenzen,
beispielsweise einen energieabsorbierenden Endanschlag des in Nebiker Jr.,
US-Patent Nr. 4.390.924 ,
veranschaulichten Typs.
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Das
Positionieren eines Paars optischer Grenzschalter in einer Aktuatoranordnung,
die außerhalb
der Kondensatoranordnung liegt, kann ebenfalls das Übersteuern über die
Ausgangsstellung und die Endgrenze hinaus verhindern. Eine solche
Anordnung benötigt
jedoch eine Anpassung zum Zeitpunkt des Zusammenbaus, um die Positionen
der optischen Grenzschalter, des Aktuators und der Ausgangs- und
Endgren zenpositionen der Kondensatorplatten in Übereinstimmung zu bringen.
Ein Beispiel für
eine solche Anordnung ist in
JP-A-03-102957 dargelegt.
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Es
ist ein Ziel dieser Erfindung einen Vakuumabstimmkondensator bereitzustellen,
der die Nachteile des Stands der Technik vermeidet, der insbesondere
die Ausgangsstellung eines Abstimmkondensators automatisch erkennt,
und der ein Ausfallsicherungselement aufweist, das die Wahrscheinlichkeit
des Übersteuerns über die
Ausgangsstellung hinaus erheblich reduziert. Es ist ein weiteres
Ziel, die Notwendigkeit zur mechanischen Anpassung der Ausgangsstellung
oder des Grenzwertdetektors nach der Herstellung zu beseitigen.
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Gemäß eines
Aspekts dieser Erfindung ist ein optischer End- oder ein Grenzwertdetektor
für einen
hermetisch verschlossenen, variablen Abstimmkondensator vom Servotyp,
beispielsweise einen Vakuumkondensator, bereitgestellt. Dieser Kondensator
hat seine Platten üblicherweise
in einem hermetisch verschlossenem Gehäuse. Ein Satz fest angeordneter
Platten ist im Inneren des Gehäuses
angeordnet. Ein Satz beweglicher Kondensatorplatten, die in die
fest angeordneten Platten eingreifen, ist im Inneren des Gehäuses axial
bewegbar. Eine Führungswelle
ist an den beweglichen Platten angebracht und ist in Bezug auf das
Gehäuse
relativ bewegbar. Eine Innengewindemutter ist nicht drehbar an der
Führungswelle
befestigt und eine Gewindespindel ist in die Mutter eingepasst und
wird durch einen Servomotor angesteuert, um die Spindel zu drehen,
um die Mutter und die beweglichen Platten anzuheben. Diese Teile
sind über
einen Achsenhub, der zwischen einer Ausgangsstellung und zumindest
einer anderen Position definiert ist, bewegbar, üblicherweise zwischen einer
vollständig
zurückgezogenen
Position und einer vollständig
ausgefahrenen Position. Der optische Grenzwertdetektor liegt in
Form einer optischen Index-Anordnung vor und detektiert, ob die Mutter
und die zugehörigen,
beweglichen Kondensatorplatten in ihrer Ausgangsstellung sind. In
dieser Erfindung erzeugen die optischen Sendemittel einen optischen
Strahl, die optischen Empfangsmittel sind ausgerichtet, um den optischen
Strahl aufzunehmen und der Strahl breitet sich auf einem Pfad innerhalb des
Hubs der Mutter an einer vorbestimmten Achsenposition aus. Ein Markierungsmittel,
das auf der Mutter angeordnet ist, blockiert den opti schen Strahl
auf diesem Pfad, wenn die Mutter in ihrer Ausgangsstellung ist,
aber befindet sich ansonsten außerhalb
des Pfads, was dem optischen Strahl das Ausbreiten vom Sendemittel
zum Empfangsmittel ermöglicht,
wenn die Mutter nicht in ihrer Ausgangsstellung ist.
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Günstigerweise
umfassen die optischen Sendemittel eine erste optische Faser mit
einer an die Mutter an der Ausgangsstellung angrenzenden Endstelle
und das optische Empfangsmittel umfasst eine zweite Faser mit einer
angrenzend an die Mutter positionierten Endstelle, die mit der ersten
optischen Faser ausgerichtet ist, wobei die beiden Endstellen einen
Zwischenraum zwischen diesen definieren. Das Markierungsmittel kann
die Form eines flachen Blendenmittels annehmen, das an der Mutter
befestigt ist, oder mit diesem ausgebildet sein und es ist in dem
Zwischenraum zwischen den Faseranschlüssen angeordnet, wenn die Mutter
sich in ihrer Ausgangsstellung befindet.
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In
einer bevorzugten Ausführungsform
ist ein im Allgemeinen zylinderförmiges
Kappenelement vorhanden, das auf dem Gehäuse sitzt, wobei ein Achsenlager
die Spindel trägt
und dessen Inneres einen ausreichend großen Durchmesser sowie eine ausreichend
lange Länge
zum Aufnehmen des Hubs der Mutter hat. Hier trägt das Kappenelement auch die
optischen Sendemittel und die optischen Empfangsmittel. Das Kappenelement
kann eine sich axial erstreckende Schlitzführung zum Ausrichten mit dem Markierungsmittel
haben.
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Der
Satz fest angeordneter Kondensatorplatten kann in einigen Fällen eine
einzige Platte sein, die in geeigneter Weise ausgebildet ist, beispielsweise
in Spiral- oder Volutform. Dies ist ebenfalls für den Satz beweglicher Kondensatorplatten
der Fall. Die Erfindung ist daher nicht auf mittels Spindeln angetriebene
Kondensatoren eingeschränkt,
sondern kann ebenfalls auf Kondensatoren mit linear betriebenen (also
axial gezogenen) Führungswellen
angewendet werden.
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Bevorzugte
Ausführungsformen
der Erfindung werden nun im Detail und unter Bezugnahme auf die
beigefügten
Zeichnungen erläutert,
in denen:
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1 ist
eine Seitenschnittansicht eines variablen Vakuumkondensators von
dem Typ ist, in den der optische Detektor dieser Erfindung eingebaut werden
kann.
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2 ist
eine schematische Darstellung eines optischen Detektors nach Stand
der Technik.
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3 veranschaulicht
einen anderen optischen Detektor nach Stand der Technik.
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3A ist
eine Seitenansicht eines Abschnitts von 3.
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4 ist
eine perspektivische Ansicht einer Endkappe des variablen Kondensators,
in den der End- oder Grenzwertdetektor dieser Erfindung eingebaut
ist.
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5 ist
eine Draufsicht auf den optischen Detektor gemäß einer Ausführungsform
dieser Erfindung.
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6 ist
eine Seitenschnittansicht entlang der Linie 6-6 von 5.
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7 ist
eine teilweise Seitenansicht entlang der Linie 7-7 von 6.
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8 ist
eine andere Ansicht der Endkappe, welche den optischen Detektor
dieser Ausführungsform
verwendet.
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9 ist
eine Seitenschnittansicht zur Darstellung eines Abschnitts einer
anderen Ausführungsform.
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Unter
Bezugnahme auf die Zeichnungen und zuerst auf 1 ist
ein typischer variabler Kondensator vom Vakuumtyp 10 im
Querschnitt dargestellt, der ein Außengehäuse 11 hat, welches
einen Metallgefäßabschnitt 12 und
einen Keramikisolatorabschnitt 13 mit fest angeordneter
Kondensatorplatte/angeordneten Kondensatorplatten 14 aufweist,
die in dem Gehäuse 11 an
dem unteren Teil desselben angeordnet sind. Eine bewegliche Kondensatorplatte/bewegliche Kondensatorplatten 15 sind vorhanden,
die in die fest angeordneten Platten 14 eingreifen. Ein
Achsenführungswelle 16 ist
an den Platten 15 angebracht, um diese anzuheben und abzusenken.
Das Gehäuse 11 ist
mithilfe eines Metallbalges 17 hermetisch verschlossen
und Luft wird während
der Herstellung zur Vakuumerzeugung mithilfe eines Nippels 18 (hier
an der Basis) nach außen
gepumpt, der zu diesem Zeitpunkt abgedichtet ist. Auf der Oberseite 19 des
Gehäuses 11 ist
eine Innengewindemutter 20 vorhanden, die auf dem oberen
Ende der Führungswelle 16 befestigt
ist, mit einer Außengewindespindel 21,
die in die Mutter 20 eingepasst ist. Eine Kappe oder eine Abdeckung 22 ist
auf der Oberseite 19 des Gehäuses über der Mutter 20 und
der Spindel 21 angeordnet. Diese Kappe 22 hat
einen im Allgemeinen zylinderförmigen
Innenhohlraum 23 von ausreichender Länge und ausreichendem Durchmesser,
um den Hub der Mutter 20 sowie die zugehörige Führungswelle 16 aufzunehmen.
Ein Achsenlager 24 wird im oberen Teil der Kappe 22 gehalten,
um die Spindel 21 zu tragen. Ein Servomotor oder anderer
steuerbarer Antriebsmechanismus (durch den strichlierten Kasten
S veranschaulicht) ist mit dem oberen Ende der Spindel verbunden.
Auf bekannte Weise wird die Spindel gedreht, um die Mutter 20 anzuheben
(abzusenken) und dadurch die Kondensatorplatten 15 axial
zu bewegen, um die Kapazität
innerhalb eines Kapazitätsbereichs
zu ändern.
Die Mutter 20 ist in einer Ausgangsstellung dargestellt,
in der die Führungswelle 16 vollständig zurückgezogen
ist, und die Kondensatorplatten 14, 15 sind vollständig im
Eingriff. Die Mutter kann axial über
einen vorbestimmten Hubabstand zu einer oberen Grenze angehoben
werden, worin die Kondensatorplatten in minimalem Eingriff sind, was
dem Minimum des Kapazitätsbereichs
entspricht.
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Aus
den oben erläuterten
Gründen
ist erwünscht,
die Kondensatormutter 20 in einer Ausgangs- oder Anfangsstellung
zu positionieren und dann die Kapazität durch Drehen der Spindel 21 und Bewegen
der Mutter 20 zu einer anderen Position zu ändern. Wenn
die zugehörige
HF-Ausrüstung
zuerst eingeschaltet wird, wird der Kondensator in der Ausgangsstellung
positioniert, wie hier gezeigt, und dann wird die Spindel 21 gedreht,
um die Mutter 20 von der Ausgangsstellung zu einer abgestimmten
Position zu bewegen. Um die Anfangseinstellung so schnell wie möglich zu
erreichen, wird ein Positionsdetektor oder ein Indexsensor verwendet,
um zu detektieren, wenn die Mutter 20 in ihrer Ausgangsstellung
ist. Üblicherweise
ist eine elektromechani sche Vorrichtung, beispielsweise ein Mikroschalter,
für diesen
Zweck eingesetzt worden, was den Zustand verändert, wenn die Mutter die
Ausgangsstellung erreicht. Vor kurzem ist jedoch als optisches Äquivalent
zu dieser Anordnung vorgeschlagen worden, das in 2 schematisch
dargestellt ist. Wie in 2 gezeigt, wird der optische
Enddetektor 25 auf der Oberseite 19 des Gehäuses angrenzend
an die Mutter 20 positioniert. Der Detektor 25 hat
eine erste optische Faser 26 zum Senden eines optischen
Strahls, beispielsweise von Infrarotstrahlung, in Richtung der Mutter
und eine zweite optische Faser 27, die zum Empfang reflektierter
Strahlung angeordnet ist. Die reflektiven Oberflächen auf der Mutter 20 und
die Führungswelle 16 sind
im Strahlungsstrahl ausgerichtet, wenn die Mutter 20 von
der vollständig
abgesenkten oder der Ausgangsstellung entfernt ist. Der Sensor dieser
Anordnung ist als „normalerweise
geschlossen" oder
EIN ausgebildet, so dass ein Signal ausgegeben wird, wenn die Mutter 20 und
die Welle 16 außerhalb
ihrer Ausgangsstellung sind, aber ein AUS-Zustand vorliegt, wenn
kein Signal ausgegeben wird, wenn die Mutter 20 in der
Ausgangsstellung ist. Diese Anordnung benötigt somit einen ausgeklügelten und
somit teuren optischen Pegeldiskriminator, um das aus der Mutter 20 und
der Führungswelle 16 reflektierte
Licht zu messen. Der Signalpegel ist variabel in Abhängigkeit
von der Reflektivität
der Oberflächen
der Mutter 20 und der Welle 16 und dieser Pegel
muss wiederum vom niedrigeren reflektierten Lichtpegel von der Spindel 21 unterschieden
werden.
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Ein
Beispiel für
eine andere optische Sensoranordnung nach Stand der Technik ist
in 3 und 3A gezeigt, worin die zuvor
verwendeten Bezugszeichen zur Identifikation ähnlicher Elemente verwendet
werden, wobei zu diesen jedoch 100 hinzuaddiert ist. In diesem Fall
ist eine erste Faser 126 in einer fest angeordneten Position
relativ zum Gehäuse
angebracht, wobei diese hier an der Kappe 122 angebracht
ist. Eine andere Faser 127 ist auf der Abstimmmutter 120 angebracht,
um mit der ersten Faser 126 ausgerichtet zu sein, wenn
der Kondensator in der Ausgangsposition ist, aber sonst außerhalb der
Ausrichtung befindlich ist. Die zweite Faser 127 hat einen
Spielraum, um mit der Mutter 120 nach oben und unten bewegbar
zu sein und so ist ein Achsenschlitz 138 in der Kappe 122 bereitgestellt,
wie in 3A gezeigt. Die Anordnung von 3 und 3A weist
keine Ausfallsicherungsfähigkeiten
auf, da die zu gehörige
Steuerung das Drehen der Spindel 121 weiterführt, solange
kein Signal ertönt.
Wenn ein Ausfall des Sensors vorliegt, beispielsweise eine gebrochene
Faser oder eine fehlerhafte Ausrichtung der Teile, wird der Sensor
nicht in der Lage sein, zu detektieren, dass die Mutter 120 die
Ausgangsstellung erreicht hat. Dies kann zu einer erzwungenen Achsenbewegung
der Spindel aus der Kappe 122 führen. Dies kann zu irreversible
Schäden
am Kondensator oder der Servoantriebsanordnung führen.
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Ein
Endpositions-Indexsensor 30 gemäß einer Ausführungsform
dieser Erfindung ist in 4 gezeigt, wobei ebenfalls auf 5 bis 8 Bezug genommen
wird. Hier ist der Sensor in der Kappe 22 eingebaut. Wie
in 4 und 8 gezeigt, hat der Sensor eine
erste oder Sendefaser 31, die in die Kappe an einer Seite
eintritt, und eine zweite oder Empfangsfaser 32, die an
der anderen Seite austritt. Die optischen Fasern 31, 32 erstrecken
sich zu einem Steckerverbinder 33, der in ein Elektronikmodul (nicht
abgebildet) eingesteckt wird, das in die Servosteuerung für das HF-Anpassungssystem
eingebaut werden kann. Eine Zugentlastung, beispielsweise in Form
eines Bandsegments 34, sichert die Fasern an der Außenseite
der Kappe 22.
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Wie
in 5 bis 7 gezeigt, treten die Sende-
und Empfangsfasern 31, 32 durch Öffnungen in
der Wand der Kappe 22 hindurch und verfügen über entsprechende Endstellen 35 und 36,
die miteinander optisch ausgerichtet sind. Die beiden Fasern sind
in der Nähe
der Oberseite 19 des Gehäuses angeordnet, um an die
Mutter 20 anzugrenzen, wenn diese in ihrer Ausgangsstellung
ist. Ein schmaler Spalt, der zwischen der Endstelle 35 und
der Endstelle 36 definiert ist, ist vorhanden. Eine Markierung 37 ist
an der Mutter 20 angebracht und in dem Spalt zwischen den
Endstellen 35, 36 angeordnet, wenn die Mutter 20 in
der Ausgangsstellung ist. Die Markierung 37 ist in 6 und 7 besser
dargestellt. Die Markierung 37 kann in Form eines flachen
Metallelements vorliegen, das an der Mutter angebracht ist, oder
kann ein mit der Mutter ausgebildeter Flansch sein. Die Markierung 37 dient
als Verschluss zum Blockieren des Lichtpfads zwischen den Fasern, wenn
die Mutter 20 in der Ausgangsstellung ist, aber ermöglicht das
Hindurchströmen
von Licht, wenn die Mutter sich oberhalb der Ausgangsstellung befindet. Folglich
arbeitet der optische Endpositionssensor als op tischer Schalter
in „normalerweise
geschlossenem" oder
EIN-Modus und wird EIN, wenn der Kondensator 10 von der
Ausgangsstellung weggesteuert wird und AUS, wenn dieser an der Ausgangsstellung ist.
Die Steuerung dient zum Anhalten der Drehung der Spindel und der
Abwärtsbewegung
der Mutter und der Kondensatorplatten, wenn ein optischer AUS-Zustand
vorliegt. Dies bedeutet im Falle eines Sensorausfalls, beispielsweise
eines Faserbruchs, dass die Steuerung die Drehung der Spindel anhalten
wird und die Erreichung der Ausgangsstellung nicht fortsetzten wird.
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Wie
in 8 gezeigt, kann die Kappe 22 einen Achsenführungsschlitz 38 haben,
der der Position der Markierung 37 entspricht. Dies kann
zum Lenken der Bewegung der Markierung 37 dienen und auch
den Einbau unterstützen,
so dass die Kappe mit den mit der Markierung ausgerichteten Fasern
passend eingebaut ist.
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Eine
alternative Anordnung wird in 5 strichliert
gezeigt, in der die Fasern 31a, 32a in einer Durchgangskonfiguration
angeordnet sind, statt durch die Kappe und um diese herum zu verlaufen.
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Ein
andere alternative Ausführungsform
ist in 9 gezeigt, in der die in Zusammenhang mit 6 identifizierten
Elemente das gleiche Bezugszeichen mit einem hinzugefügten Strichindex
haben. Hier ist eine optische Zweiwegfaser 31' (oder alternativerweise
könnten
beide Fasern 31 und 32 in die Kappe 22 in
der gleichen Richtung eintreten) vorhanden, so dass der Lichtstrahl
aus der Faser an einer Seite der Position der Markierung 37' austritt, von
einem Reflektor oder einer verspiegelten Oberfläche 39' reflektiert wird, die in Bezug
auf die Oberseite 19' des
Gehäuses
befestigt ist, und in die Zweiwegfaser 31' eintritt, wenn die Mutter 20' nicht in der
Ausgangsstellung ist. An der Ausgangsstellung blockiert, wie gezeigt,
die Markierung 37' den
Lichtpfad und ein optisches AUS-Signal zeigt diese Tatsache an.
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Wie
in dieser Beschreibung verwendet, bezeichnen die Begriffe „geschlossen" und EIN, dass der
optische Pfad (Faser 31 bis Faser 32) vollständig ist,
während
die Begriffe „offen" und AUS bedeuten, dass
der optische Pfad blockiert ist.
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Während die
oben erwähnte
Erfindung in Bezug auf die ausgewählten bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung beschrieben worden ist, sollte ersichtlich sein, dass
die Erfindung nicht auf solche Ausführungsformen eingeschränkt ist.
Statt dessen werden für
Fachleute auf diesem Gebiet viele Änderungen und Abwandlungen
erkennbar sein, ohne dass diese Abweichungen vom Schutzumfang der Erfindung
darstellen, der in den beigefügten
Ansprüchen
dargelegt ist.