TW434601B - Fiber optic position sensor for tuning capacitor - Google Patents

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4346 0 1 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（〇l ) 用於調整電容器之光纖光學位置感測器 發明摘要 一種眞空調整電容器的光學位置感測器，使用鄰近置放 於螺帽（2 0 )的光纖（3 1，3 2 )，該螺帽連接於引導軸（1 6 )上 螺纹導螺絲（2 1 )轉動以升起螺帽並將電容器從一完全 退出的基準位置移動至調整位置。第一光纖（3 1 )的端點與 第二光纖（3 2 )的端點對齊，而定義一間隙。當螺帽位於基 準位置時，螺帽上的旗標或開閉器（3 7)置於間隙内，並阻 斷光纖間的光通道，而當螺帽超出基準位置時，旗標或開 閉器移出間隙，並允許光束通過。因此產生了正常-Ο N的 信號，提供位置感測器一失效安全能力。感測器可合併置 調整電容器的帽部或蓋部（2 2 )。 發明範w壽 本發明有關於用以自動感測被動元件的基準位置，如調 整電容的可移動平板。本發明更特別有關於高功率R F設 備，如電將產生裝置，阻抗匹配的密封驅動調整電容。本 發明亦有關於一自動R F匹配網路的調整式電容，用以匹 配反應性電漿眞空室或類似之非線性負載的阻抗以產生 R F產生器或類似R F源的固定阻抗輸出（如5 0 〇 h m s)。 在一典型的RF電漿產生器的配置中，一高功率RF源產 生一預設頻率，亦即1 3 _ 5 6 Μ Η z，的R F波，並沿著導線供 應至電漿眞空室。R F電源並供應一固定、習知的阻抗， 如5 0 〇 h m s 。由於在R F電源及電漿室間具有一嚴重的非匹 配情形，故將一阻抗匹配網路内置於兩者之間。在電漿室 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2】0X 297公釐） {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、發明説明（G2) 具有非線性，其使得在電漿程序中，簡單地在一固定位置 放置阻抗匹配網路變得非常困難。因此，使用一個或兩個 可變調整電容來調整線阻抗以匹配負載阻抗，並以誤差訊 號控制該調整電容，且該誤差訊號可從由阻抗匹配網路輸 入端之R F波的振幅及相位來獲得。相位及振幅的誤差訊 號驅動可調整電容的伺服馬達，且當到達一匹配條件時， 降至一低或零值的位準。發吼.背景 習知的，為了達成此目的，使用了昂貴的真空電容，其 中電容平板密封於小型的金屬容器中，並具有一藉由螺紋 導螺絲上下移動的引導軸，且在引導軸上固定有一螺帽以 嚙合導螺絲。在這些真空電容中，當引導軸及螺帽位於完 全的退出位置時，亦即在行程的最近端，可移動及固定住 的平板完全的嚙合。當引導軸升起時，電容值降低，並在 行程的另一端到達一最小值。 的當 器適 容至 電移 整器 調容 立 電 建將 器達 制馬 控服 服伺 飼由 以# , 著 始接 開， 一 要 的重 作常 操非 械置 機位 在準 基 ----------H ϋ [ ----- H .—^訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 置 位 的 合 嚙 全 置完 位板 準平 基器 ，容 的電 型的 典動 。 移 置可 位且 整定 調固 Av D 6 的 程 行 於 位 係 ， 容 點電 端大 個最 值 在 前 器 容 電 當 關控 開 '序 微程 如至 ，號 成訊 達送 來傳 置並 裝啟 構開 機其 子’ 電時 用 置 使位 可 此端 "^達 揭中 器 辛 谷專 電該 變在 可 a AJ ruj 6M 泮 關專 開號 限 5 H 極 ο 或 ο 1 9 端 5 構5,組 機第器 子國容 電美電 有的於 合人合 整等整 ota關 a^Π0^1 理P1限 處於極 制露 ， 中 合 5 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4规格（21〇Χ297公釐） 4 3 460 A7 B7 五、發明説明（03) - (請先閲讀背面之注意事項存填寫本頁) 最近所提出之使用光纖方法來達成基準位置感測的機構， 使=了-對光纖，包括發送及接收光纖。_個光纖堅固地 固定於電容器的主體上’而另一個則接附於可動的電極引 導軸上。當電容器被驅動至基準位置時，兩個光纖排齊， 並完成了光學通路。此方法具有缺少失效安全能力的缺 點。亦@，·光學電路-般係“關“的。在開始時，步進馬 達將驅動電容器朝向基準位置，並連續的驅動電容器直到 光學電路指示“開“。如果因某些理由使光學電路發生錯 誤，如光纖破損或錯置，或失效的光學偵測器，電容會被 驅動而超過基準位置並造成無法回復的破壞。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 .另一項最近所提出之用以達成基準位置感測的光學機構 ’使用第一光纖’將光射向電容器的調整螺帽及引導軸， 及第二光纖’其接收來自電容器調整螺帽及引導軸的反射 光。在行程的一般範園操作中，調整螺帽及引導軸上的半 反射面完成整個電路。光學通路在基準位置被中斷，在該 處調整螺帽超出光纖的视野，且光線射至導螺絲的螺紋上 。此方法提供了 一般操作中所期望的正常閉迴路光通道， 其在到達基準位置時形成開路。此技術的成功須依賴在基 準位置處’從引導螺絲反射的光線所產生之高度的引導轴 可變光衰減。此光纖型式的電路需求會使其成本高於習知 簡單的機構裝置。 超出端點極限所產生的問題需要以第二個機構式的硬式 拖限來解決，如N e b i k e r，J r 美國專利第4，3 9 〇 , 9 2 4號所閣 述之吸收能量的端底部。 本紙張尺度適用中國國家標準< CNS > A4規格（21〇Χ297公釐> 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明（〇4 ) 奮明目 本發明的目的是提供一種眞空調整電容，其可避免習知 技術的缺點，亦即，自動的尋找調整電容的基準位置，並 具有失效安全特徵，其可明顯的降低因驅動過度而超出基 皁位置的發生機率。本發明進—步的目的在㈣除產品於 出廠後凋校基準位置及極限偵測器的需要。 。。依據本發明的一個觀點，提供一種光學端點或極限偵測 器，其用於密封伺服型的可變調整電容，如眞空電容。血 型的，此電容器具有固定於小型密封金屬容器内的乎板’。、 j 一组與固定平板緊密配合的可動電容器平板，可在小刑 密封金屬容器内輔向的移動。一引導轴，目定於可動的； 板上並相對於封金屬容器，轴向的移動。-螺冑，非轉動 的固疋在引導軸上，並將一導螺絲安裝於其内，藉由以伺 服馬達轉動導螺絲’而將螺帽升起並移動平板。這些部件 皆在由基準位置及至少另一位置所定義的行程内軸向的移 動’迪當係介於完全退出位置及完全伸出位置之間。光學 極限偵測器係為光學索引配置的形式，並用以偵測螺帽： 相關（可動電容器平板是否位於其基準位置。纟本發明中 ’光學傳送器機構產生一光束，@光學接收器機構的方位 則係用來接收光束，且光束在螺帽行程内之—預定抽向位 :的路e間行進。一置於螺帽上的旗標機構，冑螺帽位於 .隹準位置時，其將光束限制在此路徑上，⑥當螺帽超出基 = :!’光束超出此路徑，並允許光束從傳送器機構傳 土接收器機構。 n n f· i —i I— 1 n - - tn —r -- 1* -- - .__f ---- t n _____ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾生（ΓΝίΜ

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I Μ r,fT 8δ1〇 1^043 39 :i 9 ：! 27 i !(|<i：].L[ Α7五、發明説明（〇5)較佳的，光學傳送器機構包括第一光纖’其具有再基準 螺處金 於 gg 板 接螺平 鄰於以 , 位 " 處其問 置，空 位纖 一 帽 έ 屬 端 的 纖 光 1 第 與 並 構 所 件 光ft成 接 齊 的 光有帽 二具螺 第間於 括纖附 包光接 構個構 機兩機 器且標 收，旗 旗 帽 ¾往 ’ 圓 争" S 白 置 上 位 器 準 容 基 屬 於 金 位 於 帽 置 螺 一 夺田 。 在 且中存 ， 間常 上空通 其 的 , 於間中 成點例 形端施 接織實 直光佳 或於較 ， 置在 上標 絲 螺 。 。 力程構 推行機 勺 勺 § ό 白 50 絲帽收 螺螺接 導納學 持容光 支以及 以度構 用長機 有及器 具徑送 ， 直 傳 件的學 構夠光 内 其 且 足持延 有支向 具並抽 部件有 構具 帽可 ’ 件 處構 此 帽 對 ο 狀 旋 螺 呈 為 佳 較 板 平 ο 一 構單 機為 標可 旗組 向板 導平 以器 槽容 導電 引定 的固 仲 組動 板驅 平性 器線 容於 電用 動.恩 可可 於亦 限 不 並 明 發 本 即 亦 動 Ji 向 動器 驅容 來電 絲的 螺軸 導導 以引 於 明 發 本 有 併 其 圖 視 正 面 剖 之 器 容 電 變 可 空 明真 說 式 圖 1 要圖 簡 示 νακers. ---------知-- (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ 經濟部中央標準局—工消费合作社印製 學 光圖圖 之 § βί t-y 卣： /1 圖 。 簡 圖之 簡器 之測 器偵 測學 "'光 學知 光習 知一 習另 示示 顯顯 圖圖

發 本 了 併 合 其 圖 視 。 透 圖 之 視 帽 正端 之之 份器 部容 一 電 之變 3 丁 圖『 一 示 顯 A 示 端 的圖圖 明 或 點 面 5 平圖 的為 n1sa 測 負 學 光 的 例 施。 實圖 一 視 明正 發jfi 本剖 。 據之 器.农面測ΐ切 6 ί 顯-艮 6 F 圖 極 中 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 4346 0 1 A7 B7 五、發明説明（06 ) 圖7為圖5中6-6切面之局部正視圖。 圖8顯示利用本發明光學偵測器之另一端帽。 圖9顯示另一實施例之剖面正視圖。 圖式元件符號 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 10 眞空型可變電容器 11 金屬容器 1 2 金屬筒部 13 陶瓷絕緣部 14 固定電容器平板 15 可動電容器平板 16 引導軸 17 金屬風箱機構 18 乳狀突起部 19 金屬容器的上端 20 螺帽 2 1 導螺絲 2 2 帽部 2 3 内部空間 24 推力軸承 2 5 偵測器 2 6 第一光纖 2 7 第二光纖 30 終端位置索引感測器 3 1 傳送光纖 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） ί 4346 0 1 經濟部中央標準局員工消费合作社印装 A7 五、發明説明（07 ) " ^ 3 1 a，3 2 a 光纖 3 2 接收光纖 3 3 插頭連接器 J 5，j 6 端子 37 旗標 3 8 引導槽 120 螺帽 12 1 調整導螺絲 12 2 帽部 12 6 第一光纖 12 7 第二光纖 13 8 軸槽 發明詳細說明 參考圖示’首先圖4，以剖面顯示之典型眞空型可链 電容器10 ,包括外部金屬容器π，其具有金屬筒部 陶瓷絕緣部1 3 ’且具有置放於金屬容器i i底部之多數 固定電客益平板14。多數個可動電容器平板15與多數 固定平板1 4緊密的配合。一軸向引導軸ί 6接附於平板= 上，用以將平板升起及降低。金屬容器〗丨藉由金屬風 機構1 7而密封，且在製造過程中，空氣被抽出以形成= 空，並同時以乳狀突起部丨8加以密封。在金屬容器1 1的 上端1 9，具有一母螺紋的螺帽2 〇，用以固定引導軸1 6的 上端，且在螺帽2 0中裝配有一公螺纹的導螺絲2 ^。一帽 部或蓋部2 2配置於金屬容器ί ί的上端，並蓋住螺帽2 〇及 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ---^-------裝------1T------^ f請先閲讀背面之注意事項再填寫本買} 88101048 -Ι^ίΐΝΐιυ 89 ^!;· %}]21 \ \U ι|· Π B7 經濟部中央標隼局員工消貪合作社印策 五、發明説明（08) 導螺絲2 l 。帽部2 2具有圓柱形的内部空間2 3，其具有足 夠大的長度及直徑以容納螺帽及相關的引導軸1 6。推力 軸承2 4支持於帽部2 2的上部，用以支撐導螺絲2 1。一伺 服馬達或其他的可驅動控機構（由虛線方框S所代表）偶合 於導螺絲的上端。在習知的形式中，導螺絲被旋轉以提起 (或降低）螺帽2 0，藉此軸向的移動電容器板1 5，而在電 容範園内改變電容值。圖中顯示螺帽2 0位於基準位置， 其中引導軸16完全的退出，且電容板丨4，15完全的嚙合 。螺帽可超出一預定的行程距離而升起至上部極限1其中 電容器平板彼此以最小的面積相互嚙合，基並對應至電容 範圍的最小值。 基於前述理由，較佳的是將電容器螺帽2 0置放於基準 位置或是初始位置，接著藉由轉動導螺絲2 1並將螺帽2 0 移至另一位置來改變電容值。當首先將相關的R F設備開 啟時，電容器係置放於基準位置，如圖中所示，接著轉動 導螺絲以將螺帽2 0從基準位置移至一調整位置^為了以 最快的方式達成初始設定，使用一位置偵測器或索引感測 器來偵測螺帽是否位於基準位置。習知的，當螺帽到達基 準位置時，係使用一電子機構裝置，如微開關，來改變狀 態。惟近來有人提出相等於此配置之光學設備，其簡單的 顯示於圖2中。如圖2所示，光學端點偵測器2 5置放於金 屬容器的上部1 9，並鄰接於螺帽2 0。偵測器2 5具有第一 光纖2 6，用以朝向螺帽傳送一光束，如紅外線，且置放 有第二光纖2 7以接收反射光。當螺帽離開完全下降或基 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 43460 1 A7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 五、發明説明（〇9 準位置時，螺帽2 〇及引導軸丨6上的 束的万向。當螺帽20及旋轉軸16離開基準、向放射光 排的感測器係配置成“正常閉“或“開，，而彳~置時，此安 且當螺帽2 0位於基準位置時，則該咸具有—訊號， 的狀態且沒有訊號。明顯的，此配置需要—；關，， 貴的光學識別器，以量測來㈣帽2 〇 《雜、因而昂 入 7丨等4忐】6 光。訊號準位依據螺帽2 0及引導軸丨6的反射T:勺反射 且此位準必須再與螺絲2丨的較低反射光位準有=而1動， 在另一習知光學感測器的配置中，如圖3及3^ ^異。 中以原先的參考標號加上丨。。來代表類似的元件。斤：此： 中，第一光纖1 2 6安裝於相對於金屬容器的_固定位冒^ 士該處係固定於帽部122上。另一光纖127固定於調二螺 中目—〇上.以便當電各位於基皁位置時，與光纖1 2 6對齊 。第二光纖127必須與螺帽丨20自由上下移動，因而在二 部122提供有—軸槽138，如圖3A所示。.圖3及3八的配置 缺（任何失效安全功能，只要沒有訊號，相關的控制便會 持續的調整導螺絲丨2丨。如果感測器失效，如光纖破損或 部件錯開’感測器將無法偵測螺帽〖2 〇是否已到達基準位 置。此會導致導螺絲被迫的移出帽部1 2 2。因而造成電容 或驅動組合無法回復的損壞。 圖4顯示依據本發明實施例之終端位置索引感測器3 〇， 同時參考圖5至圖8。此處，感測器合併於帽部2 2。如圖4 及圖S所示，感測器具有由一側進入帽部之第一或傳送光 纖3 1 ’或存在於另一側的接收光纖。光纖3 1，3 2延伸至 -12- 本紙張尺度適用中國國家標车（CNS) A4規格（210x297公釐 ---------裝-------IT------i (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4346 Ο 1 經濟部中央標準局負工消費合作社印掣 Α7 ____Β7_____ 五、發明説明（10) 一插頭連接器33，其插入一電路模组中（未示出），該電 路模組可合併至RF匹配系統的伺服控制器中。拉力調整 邵，如帶部3 7所示，將光纖緊固於帽部2 2的外侧。 如圖5至圖7所示，傳送及接收光纖3 1 , 3 2穿過帽部2 2 的壁孔，且具有個別的端子3 5及3 6。旗標3 7固定在螺帽2 〇上’且當螺帽20位於基準位置時，該旗標37内置於端子 3 6及3 7的間隙中。旗標3 7較佳的係如圖6及圖7所示。旗 標3 7可以是接附於螺帽2 〇上的金屬平板。旗標3 7做為一 開閉器’當螺帽2 〇位於基準位置時，用以阻擋通過光纖 (光路fe的光線。但是當螺帽升至基準位置之上後，可允 許光線的通過。因此，光學端點位置感測器操作如“正常 閉或開”的光學開關，且每當電容器1 〇被驅動而離 開基準位置時’該感測器為開，而當位於基準位置時，該 感測奋為關。每當顯示光學關的狀態時，控制器將導螺絲 的轉動侉止，並停住螺帽及電容平板的移動。此指當感測 益失效時’如’光纖壞損，控制器將停止導螺絲的轉動， 且將不再繼續搜尋基準位置。 如圖8所示，帽部22可具有對應至旗標位置3 7之軸向引 導槽3 S。此可用以引導旗標3 7的移動，並協助設置，使 得帽部適當地設置朝向旗標的光纖。 圖5的虛線顯示一替代的配置，其中光纖3丨a，32&不同 於穿過並圍繞帽部的方式，而為直線穿過的配置。 圖9顯示另一替代的實施例，其中相同於圖6中的元件 以相同的參考標號表示，並加上’符號”匕處，存在有雙 -13- 本紙張尺度適用中國國家樣準（CMS ) A4規格（210X297公餐） (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 3 A7 B7 五、發明説明（1 1 ) 向光纖31’（或是代換的也 . 疋八狹的，先纖31及32可從相同的方向進 入帽部2 2 )，_使得#圭左+，人、& 1 ( 文于尤采存在於旗標3 7 '的一側，且當螺帽2 〇不在基準位置暗，；151 + 1。 ' f 队固疋於金屬容器上端19,之反射器 或鏡面39反射’而再次進入雙向光纖3丨，。而當位於基準 U置時如圖所不，旗標3 7，阻擔了光通道，並指示了“ 光學off “的訊號。 =本説明書巾，用詞“閉‘‘及〇N表示光學通道（光纖^ 至〕2 )係完成者，而用詞“開“及〇ff表示光通道被阻浐 0 田 *雖然本發明已由選擇的較佳實施例來加以說明，必須了 解本發明並不限於這些實施例。在不偏離本發明之範圍， 许多改良及變化可顯見於熟悉該項技術之人士，本發明的 範圍定義於以下的申請專利範圍中。 ---.--Γ----裝------訂------iN (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 率 標 家 國 I國 |中 用 適 度 尺 張 -紙 本 一讀

Claims (1)

1. 89 μ 9 :ί 27 ：

   經濟部中央標隼局員工消費合作社印繁 々、申請專利範圍 01 申請專利範圍 1. 一種密封伺服型之可變調整電容，包括密封金屬容器 (ΐ丨）；該密封金屬容器内之一組固定平板（14); 一組與 固定平板緊密配合之可動電容器平板（15)，可在小型密 封金屬容器内袖兩地移動：一引導袖（16)，固定於可動 的平板上，並相對於密封金屬容器軸向之移動：一螺 帽（20)，非轉動的固定在引導軸上，並具有母螺纹；安 裝於螺帽内之可轉動的導螺絲（2丨）：機構（S)用以可控制 地轉動該導螺絲，以移動該螺帽，並藉此在由基準位 置及至少另一位置所定義之行程内移動該可動的平 板；且其特徵在於：光學索引配置，偵測螺帽（20)及可 動電容器平板U5)是否位於其基準位置，此配置包括用 以產生一光束之光學傳送器機構（3 1 )，用來接收該光束 之光學接收器機構（32)，且該光束在螺帽行程内之一預 定軸向位置之路徑間行進：一置於螺帽（20)上的旗標機 構（37)，當螺帽（20)位於基準位置時，其將光束限制在 該路徑上，而當螺帽（20)超出基準位置時，該光束超出 該路徑，並允許光東從傳送器機構（3 1)傳至接收器機構 (32)。 2. 如申請專利範圍第1項之可變調整電容，進一步之特 徵在於該光學傳送器機構包括一光纖（3 1)，其具有再基 準位置處，鄰接於螺帽的端子（35)。 3. 如申請專利範圍第2項之可變調整電容，進一步之特 徵在於該光學接收器機搆包括一光纖（32)，其具有鄰接 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2iOX297公釐） 434fe A8 B8 C8 〇8 經濟部中央標準局貝工消費合作社印策 申請專利範圍〇2 於螺帽的端點（36)，並盥第—忠她nn料杰 間具有一空間。 ㈣。對齊，且兩個光纖 4. 二請Vi'圍第3項之可變調整電容，其中該旗標機 構L括平板開閉構件，當螺帽位於該基準位 平板開閉構件置於該空間中。 5. 如申請專利範圍第1項之可變,敕雷玄 j又β周正私合，其中一圓柱帽 構件（22)裝設於該金屬容器 、 幻合态上，並包括用以支持引導螺 絲（21)之機構（24)，並具有—内側3) u以谷纳孩螺帽之行 程（20)，其特徵在於該帽構件白括用以* & 目傅1千包括用以支持該光學傳送 器機構及該接收器機構之機構。 6·如申請專利範圍第5項之可變調整電容，其特徵在於該 帽構件（22)具有轴項延伸的導槽（38)，用以對向該旗標機 構（37)。 7, —種密封伺服型之可變調整電容，包括—密封金屬容器 (I丨），邊被封金屬谷器内之—組固定平权（M); 一組與固 定平板（14)緊密配合之可動電容器平板（15)，可在小型密 封金屬谷益内幸由向的移動；一引導軸（16)，固定於可動 的平板上，並相對於密封金屬容器軸向的移動；一螺帽 (20)固定在該軸（16)上；機構（21,S)用以可控制地移動該螺 帽（20)及該引導軸（16)，並藉此在由基準位置及至少另一 位置所定義之行程内移動該可動的平板；且其特徵在 於··光學索引配置，以偵測該螺帽（20)及可動電容器平 板（15)是否位於其基準位置，此配置包括用以產生一光 束之光學傳送器機構（31)，用來接收該光束之光學接收 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)Α4現格（210x297公釐） -----------裝------訂------.線-ί (請先^讀背面之注意事項再填寫本頁) 43460 Α8 ΒΒ C8 D8 六、申請專利範圍〇3 " (請先閲讀背面之注意事項再頊寫本頁) 器機構（32) ’且該光束在螺帽行程内之__預定袖向位置 之路徑間行進：-置於螺帽（2〇)上之旗標機構（3乃，當螺 帽（20)位於基準位置時，其將光束限制在該路徑上，而 當螺帽（20)超出基準位置時，該光束超出該路徑，並允 許光束從傳送器機構（31)傳至接收器機構（32)。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 8· 一種可變凋整電容，包括密封金屬容器（11)内之一组固 定平板（14); 一组與固定平板（14)緊密配合之可動電容器 平板（15)，可在小型密封金屬容器内軸向的移動；一引 導軸（16)，固定於該可動的平板上並相對於該固定平 板，軸向的移動；一螺帽（20),安裝在該軸（丨6)上；機構 (21，S)用以可控制地移動該螺帽（2〇)，並藉此在由基準位 置及至少另一位置所定義的行程内移動該可動的平板； 且其特徵在於：光學索引配置，以偵測螺帽（2⑴及可動 電容器平板（15)是否位於其基準位置，此配置包括用以 產生一光束之光學傳送器機構（31)，用來接收該光束之 光學接收器機構（32)，且該光束在螺帽行程内之一預定 轴向位置之路徑間行進；—置於螺帽⑽上之旗標機構 (37)，當螺帽(20)位於基準位置時，其將光束限制在該路 徑上，而當螺帽（20)超出基準位置時，光束超出該Λ路 徑，並允許光束從傳送器機構（31)傳至接收器機構（Μ)。 -17-本紙張尺度逋用中國国家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）