DE69932391T2 - Kammer für eine Handhabungsvorrichtung für ein IC-Modul - Google Patents

Kammer für eine Handhabungsvorrichtung für ein IC-Modul Download PDF

Info

Publication number
DE69932391T2
DE69932391T2 DE69932391T DE69932391T DE69932391T2 DE 69932391 T2 DE69932391 T2 DE 69932391T2 DE 69932391 T DE69932391 T DE 69932391T DE 69932391 T DE69932391 T DE 69932391T DE 69932391 T2 DE69932391 T2 DE 69932391T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
carrier
piece
plate
module
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69932391T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69932391D1 (de
Inventor
Tae Sung Cheuncheun-myun Jangsu-gun An
Chan Ho Umbong-myun Asan-shi Park
Yong Soo Chungwon-gun Moon
Eun Hyoung Seong
Ku Kyong Kim
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mirae Corp
Original Assignee
Mirae Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1019980043686A external-priority patent/KR100277538B1/ko
Priority claimed from KR1019980043685A external-priority patent/KR100277539B1/ko
Application filed by Mirae Corp filed Critical Mirae Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE69932391D1 publication Critical patent/DE69932391D1/de
Publication of DE69932391T2 publication Critical patent/DE69932391T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2862Chambers or ovens; Tanks

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft einen Modul-IC-Handhaber und insbesondere eine verbesserte Kammer für einen Modul-IC-Handhaber, welche ein Vorwärmelement zum geeigneten Erwärmen auf eine eingestellte Temperatur, während ein mit einer Mehrzahl von Modul-IC beschickter Träger bewegt wird, und eine Teststelle aufweist zum Ermöglichen einer Außen-Testvorrichtung, Tests durchzuführen, indem der Träger von einem Drücker verschoben wird.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Im wesentlichen ist, wie in 1 gezeigt, ein Modul-IC ein unabhängiger Schaltkreis, indem eine Mehrzahl von IC's und von Bauteilen 3 auf eine Seite oder auf beide Seiten eines Substrats 2 gelötet sind, und ist auf einer Hauptplatine montiert. Das Modul-IC dient zum Vergrößern einer Kapazität. In der 1 bezeichnet die Nummer 3a eine Schablone.
  • Der konventionelle Modul-IC-Herstellungs-Prozess weist die folgenden Probleme auf.
  • Eine Vorrichtung, in welcher das Modul-IC 1 in eine Test-Fassung zum Testen eingelegt wird und nach dem Ergebnis des Tests automatisch verteilt wird, so dass das Modul-IC 1 nicht in eine nicht gezeigte Kunden-Ablage eingelegt wird, sollte entwickelt worden sein. Jedoch sollte, da eine Vorrichtung wie diese noch nicht entwickelt worden ist, ein Bediener das Modul-IC aus der Ablage eines nach dem anderen zum Einlegen in die Test-Fassung extrahieren und den Test während einer vorbestimmten Zeit durchführen. Nach dem Test wird das Modul-IC nach dem Ergebnis des Tests zur Aufnahme in die Kunden-Ablage verteilt, wodurch die Arbeitseffizienz verschlechtert wird.
  • Inzwischen wurde vom Anmelder der Handhaber zum Selektieren eines guten Produkts von dem schlechten Produkt gemäß dem Ergebnis des Tests entwickelt, wobei das hergestellte Modul-IC zwischen den Vorgängen automatisch bewegt wird. In diesem Fall ist es möglich, ein Massenprodukt herzustellen, dessen Qualität jedoch ein wenig schlechter ist. D.h., dass Modul-IC kann nicht von der Kammer aus von dem Aufnehmer-Mittel gehandhabt werden, wodurch die Verlässlichkeit des Produkts verschlechtert wird.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Demnach ist es, wobei die Erfindung zum Lösen der obigen Probleme ausgebildet worden ist, eine Aufgabe, eine Kammer für einen Modul-IC-Handhaber bereitzustellen, in welchem ein Träger zum Beladen mit einer Mehrzahl von zu testenden Modul-IC's in einer Kammer angeordnet wird, so dass das Modul-IC auf eine vorbestimmte Temperatur erwärmt wird.
  • Eine andere Aufgabe ist, eine Kammer für einen Modul-IC-Handhaber bereitzustellen, welche eine Teststelle hat, in welcher ein Modul-IC zum Kontaktieren mit einem Manipulator längs angeordnet wird, so dass eine Auswechsel-Betätigung einfach durchgeführt werden kann.
  • Zum Erzielen der obigen Aufgaben stellt die Erfindung eine Kammer für einen Modul-IC-Handhaber wie in Anspruch 1 definiert bereit.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Ändere Aufgaben und Aspekte der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsformen mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen ersichtlich, in welchen:
  • 1 eine Vorderansicht eines konventionellen Modul-IC's ist;
  • 2 eine perspektivische Ansicht einer Kammer für einen Modul-IC-Handhaber gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist;
  • 3 eine perspektivische Unteransicht von der 2 ist;
  • 4 eine Schnittansicht von der Schnittlinie A-A in der 2 ist;
  • 5a eine Ansicht ist, welche die Lage zeigt, in welcher ein Träger in einer ersten Aufnahme-Nut eines Aufnahme-Stücks ist;
  • 5b eine Ansicht ist, welche eine Separat-Lage eines Trägers aus dem Aufnahme-Stück beim Anheben eines Betätigungs-Stücks zu einer Höchst-Stelle zeigt;
  • 5c eine Ansicht ist, welche einen einschrittigen Zuführ-Lage des Betätigungs-Stücks zeigt;
  • 5d eine Ansicht ist, welche die Lage zeigt, in welcher der einschrittige Zuführ-Träger in das Aufnahme-Stück durch Hineinfallenlassen des Betätigungs-Stücks in die Tiefst-Stelle aufgenommen wird;
  • 6 eine linksseitige Ansicht von 5a ist;
  • 7 eine perspektivische Ansicht ist, welche eine Teststelle einer Kammer für einen Modul-IC-Handhaber gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;
  • 8 eine Schnittansicht der Schnittlinie B-B aus der 7 ist;
  • 9 eine Draufsicht von 8 ist;
  • 10 eine Schnittansicht der Schnittlinie C-C in der 7 ist;
    wobei 10a eine Ansicht ist, welche die Anfangs-Lage zeigt, in welcher ein mit einem Modul-IC beschickter Träger an eine Test-Stelle geführt wird;
    und wobei 10b eine Ansicht ist, welche die Lage zeigt, in welcher ein Träger an eine Test-Fassung mittels eines Drückers zugeführt wird; und
  • 11 eine Vorderansicht ist, welche ein Träger-Zuführ-Steuerungs-Mittel zeigt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG EINES BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS
  • Wie in der 2 gezeigt ist, ist eine Kammer für einen erfindungsgemäßen Modul-IC-Handhaber, deren Unter-Platte 4, welche einen Einlass und einen Auslass hat, mit einem Aufnahme-Stück 6 eingerichtet, welches mit einer Aufnahme-Nut 6a zum daran Anordnen eines Trägers 5 ausgebildet ist.
  • Der in der Aufnahme-Nut 6a anzuordnende Träger 5 wird mit einer Mehrzahl von zu testenden Modul-IC's beschickt. Der Einlass und der Auslass sind mit einem nicht gezeigten Verschluss zum Öffnen/Schließen versehen, wenn der Träger 5 eingeführt/ausgeführt wird. Zudem sind an dem Träger-Beschickungs-Weg an der Längsrichtung und der Horizontalrichtung am Einlass und am Auslass Sensoren 7 und 8 zum Abtasten der Beschickungs-Lage des Trägers 5 angeordnet.
  • An der Seitenwand, welche nahe der Aufnahme-Nut 6a ist, an welche ein Träger 5 durch den Einlass hindurch angeordnet werden kann, ist ein nicht gezeigtes Wärme-Element zum Erwärmen des Modul-ICs 1 angeordnet, und eine Mehrzahl von nicht gezeigten Gebläsen sind zum Antreiben einer hohen Temperatur hin zu dem Träger 5 eingerichtet.
  • Außerdem ist auf der Innenseite des Aufnahme-Stücks 6 ein Betätigungs-Stück 9 zum Durchführen einer Aufwärts/Abwärts-Bewegung und einer Vorrück-/Rückzug-Bewegung angeordnet. Das Betätigungs-Stück 9 ist an einer tieferen Position als die obere Fläche der Aufnahme-Nut 6a angeordnet, wenn es in der Tiefst-Stelle ist, und es ist an einer höheren Position als das Aufnahme-Stück 6 angeordnet, wenn es in der Höchst-Stelle ist. Außerdem ist das Betätigungs-Stück 9 an seiner oberen Fläche mit einer Aufnahme-Nut 9a ausgebildet. Die Aufnahme-Nut 9a hat den gleichen Abstand zu dem Abstand der Aufnahme-Nut 6a des Aufnahme-Stückes 6. Dies liegt daran, dass der Träger 5 an dem Aufnahme-Stück 6 hin zu dem Beschickungs-Weg der Test-Stelle 100 in einem Schritt gemäß der Aufwärts-/Abwärts-Bewegung und der Vorrück-/Rückzugs-Bewegung des Betätigungs-Stücks 9 zugeführt werden soll. Hier kann das Betätigungs-Stück 9 an einem Bereich zwischen dem Aufnahme-Stück 6 montiert werden.
  • Das Betätigungs-Stück 9, welches in der Kammer zum Zuführen des Trägers 5 in einem Schritt montiert ist, führt die Aufwärts/Abwärts-Bewegung in einem Bereich zwischen der Höchst-Stelle und der Tiefst-Stelle mittels des Aufwärts-/Abwärts-Bewegungs-Mittels durch.
  • Wie in den 2 und 3 gezeigt, weist das Aufwärts-/Abwärts-Bewegungs-Mittel einen Zylinder 12, welcher an der Bodenfläche einer Montage-Platte 11 befestigt ist, eine Aufwärts-/Abwärts-Bewegungs-Platte 13, welche an dem Stab des Zylinders 12 befestigt ist, und die Führungs-Stäbe 14 auf, welche an einem Bereich zwischen der Aufwärts/Abwärts-Bewegungs-Platte 13 und dem Betätigungs-Stücks 9 befestigt sind.
  • Die Aufwärts-/Abwärts-Bewegungs-Mittel führen die Vorrück/Rückzugs-Bewegung in einer Stufe mit dem gleichen Abstand zwischen der Aufnahme-Nut gemäß des Vorrück/Rückzug-Bewegungs-Mittels durch.
  • Wie in den 3 und 5a gezeigt, weist das Betätigungs-Stück-Vorrück/Rückzug-Bewegungs-Mittel einen Schrittmotor 15, welcher an der Montage-Platte 11 befestigt ist, eine Kugelumlaufspindel 16, welche mit der Unter-Platte 4 der Kammer und der Montage-Platte 11 rotationslose gekuppelt ist, und einen Synchronriemen 18 zum Übertragen der Drehkraft des Schritt-Motors 15 auf die Kugelumlaufspindel 16 auf. Der Synchronriemen 18 ist um die Riemenscheiben 17 und 18 gewickelt, welche an der Achse des Schrittmotors 15 und der Kugelumlaufspindel 16 befestigt sind. Hier kann das Vorrück/Rückzug-Bewegungs-Mittel mit einem anderen Motor und Zylinder ausgebildet sein.
  • Da der Führungs-Stab 14, welcher zwischen der Aufwärts/Abwärts-Bewegungs-Platte 13 und dem Betätigungs-Stück 9 befestigt ist, die Vorwärts/Rückzug-Bewegung in einem vorbestimmten Bereich durchführt, sollte der Bewegungs-Bereich des Führungs-Stabes 14 maximal abgedichtet sein, so dass die Temperatur in der Kammer konstant gehalten wird. Zum Erzielen des Abdichtung-Zustandes wie diesen, ist, wie in den 4, 5a bis 5d gezeigt, die Unter-Platte 4 mit einem Langloch 4a ausgebildet und ist an ihrer oberen und unteren Fläche mit oberen und unteren Verschlüssen 19 und 20 zum Durchführen der Vorwärts/Rückzug-Bewegung mit den Führungs-Stäben 14 eingerichtet. Der obere und der untere Verschluss 19 und 20 sind auf einer Seite davon, d.h. der rechten Seite in der 5a, länger ausgebildet als der Zuführbetrag L des Führungs-Stabes 14. Dies liegt daran, dass verhindert werden kann, dass die hohe Temperatur in der Kammer durch das Langloch 4a hindurch emittieren kann, indem das Langloch 4a von dem oberen und von dem unteren Verschluss 19 und 20 verschlossen wird, obwohl das Betätigungs-Stück 9 in der Pfeilrichtung von der 2 zum Zuführen des Trägers 5 vorgerückt wird.
  • Wie in den 4 und 6 gezeigt, ist an der Unter-Platte 4 zum Verhindert, dass der untere Verschluss 20 abgelenkt wird, ein Befestigungs-Block 21 befestigt, und er ist an seiner oberen Seite mit einer Aufnahme-Nut 21a zum Aufnehmen des unteren Verschlusses ausgebildet und ist mit einem Langloch 21b mit derselben Größe des Langloches 4a der Unter-Platte 4 ausgebildet.
  • Zu diesem Zeitpunkt sollte die Aufnahme-Nut 21b in der Vorrück-Richtung des Führungs-Stabes 14 ausgebildet sein, so dass sie nicht länger als der Zuführbetrag L ist.
  • Wie in der 2 gezeigt, ist ein Zuführmittel an der oberen Seite der Teststelle zum Halten des mit dem Modul-IC 1 beschickten Trägers 5 montiert, was dabei auf die geeignete Test-Temperatur zum Hinführen zu der Test-Stelle 10 erwärmt wird. Der Träger 5 wird in einem Schritt zugeführt.
  • Das Zuführ-Mittel weist eine Kugelumlaufspindel 24, welche zwischen dem Ausleger 23, welcher an der oberen Seite des auf dem Beschickungs-Weg 22 der Test-Stelle 100 angeordneten Trägers 5 rotationslose montiert ist, ein Paar Führungs-Stäbe 25, welche auf beiden Seiten der Kugelumlaufspindel 24 befestigt sind, einen Läufer 26, welcher an der Schnecke der Kugelumlaufspindel 24 gekuppelt ist und auf den Führungsstab 25 zum Hin- und Herbewegen gesteckt ist, eine Druckplatte 27, welche an der Bodenfläche des Läufers 26 zum Drücken des Trägers 5 hin zu der Test-Stelle 100 gemäß der Bewegung des Läufers 26 befestigt ist, und einen Schrittmotor 28 aufweist, welcher an dem einen Ende der Kugelumlaufspindel 24 befestigt ist, welcher sich aus der Kammer zum Drehen der Kugelumlaufspindel 24 erstreckt.
  • Ein Arbeitsvorgang der Kammer für den Modul-IC-Handhaber mit der obige Konstruktion, wird nun erläutert.
  • Zuerst wird der Arbeitsvorgang des Zuführens des Trägers in die Kammer hinein erklärt.
  • Der Träger 5 wird in einer Horizontal-Lage an der Stelle zum Einlegen des Modul-ICs 1 gehalten. In der Lage, dass ein nicht gezeigtes in dem Träger 5 montiertes Verriegelungs-Element gedreht wird, wird eine Mehrzahl von Modul-IC's 1, welche von dem Aufnahme-Mittel gehalten wird, der Reihe nach dem zu beschickenden Träger 5 zugeführt. Danach wird das Verriegelungs-Element in den Anfangs-Zustand zurückgeführt. Daher wird an der oberen Fläche des Modul-IC's 1 von dem Verriegelungs-Element ein Druck angelegt und der Arbeitsvorgang des Einlegens des Modul-ICs 1 in den Träger 5 ist vervollständigt.
  • Nach dem die zu testenden Modul-IC's 1 in den Träger 5 eingelegt sind, wird der Träger 5 um 90 Grad von dem Rotator gedreht, so dass er an der ersten Aufnahme-Nut 6a des Aufnahme-Stückes 6 durch den Einlass der Kammer hindurch anordenbar ist.
  • In dieser Lage wird, wenn von dem Sensor 7 abgetastet wird, dass der Träger 5 derart an der ersten Aufnahme-Nut 6a angeordnet ist, das in dem Träger 5 beschickte Modul-IC 1 unter Testbedingungen erwärmt, da die hohe Temperatur vom dem Wärmelement und dem Gebläse während der vorbestimmten Zeit übertragen wird.
  • Während das Modul-IC 1 an der ersten Aufnahme-Nut 6a erwärmt wird, wird der Rotator in den Anfangszustand zum Halten eines neuen Trägers zurückgeführt. Zu diesem Zeitpunkt wird der Träger 5 an dem Aufnahme-Stück 6 mittels eines Schrittes gemäß der Aufwärts/Abwärts-Bewegung und der Vorwärts/Rückzug-Bewegung des Betätigungs-Stückes 9 zugeführt.
  • Die 5a ist eine Ansicht, welche die Lage zeigt, dass der Träger an der ersten Aufnahme-Nut des Aufnahme-Stücks angeordnet ist.
  • In dieser Lage wird, wenn der Zylinder 12 zum Ziehen des Stabes betätigt wird, der Träger 5 von der Aufnahme-Nut 6a getrennt, da ein Paar der Betätigungs-Stücke 9, welche mit der Aufwärts/Abwärts-Bewegungs-Platte 13 über die Führungs-Stäbe 14 verbunden sind, zu der Höchst-Stelle angehoben werden. D.h., da der Träger 5 an der Aufnahme-Nut 6a in der Lage, wenn er an der Aufnahme-Nut 9a des Betätigungs-Stücks 9 angeordnet ist, in die Höchst-Stelle angehoben wird, wird der Träger 5 aus dem Aufnahme-Stück 6 wie in der 5b gezeigt beseitigt. Die obige Betätigung ist möglich, da der Führungs-Stab 14 in den oberen und den unteren Verschluss 19 und 20 zum Aufwärts/Abwärts-Bewegen eingeführt ist.
  • Nach dem der Träger 5 aus dem Aufnahme-Stück 6 mittels des Betätigungs-Stücks 9 separiert ist, wird das Betätigungs-Stück 9 in einem Schritt wie in der 5b gezeigt gemäß der Fahrt des Schrittmotors 15 zugeführt. D.h., wenn die Drehenergie, welche von dem Schrittmotor 15 erzeugt wird, über den zu drehenden Synchronriemen 18 an die Kugelumlaufspindel 16 übertragen wird, werden der Zylinder 12 und das Vorwärts/Rückzug-Bewegungs-Mittel gleichzeitig in der wie in der 5b gezeigten Pfeilrichtung zugeführt, da die Montageplatte 11 an der Schnecke der Kugelumlaufspindel 16 gekuppelt ist.
  • Daher wird der Führungs-Stab 14, welcher in der Montage-Platte 11 eingeführt ist, wie in der 4 gezeigt, gemäß der Zuführung der Montage-Platte 11 zugeführt. Zu diesem Zeitpunkt wird, da der obere und der untere Verschluss 19 und 20 an der oberen Fläche und der unteren Fläche der Unter-Platte 4 mit dem Führungs-Stab 14 bewegt werden, das in der Unter-Platte 4 ausgebildete Langloch 4a von dem oberen und dem unteren Verschluss 19 und 20 im Schließzustand gehalten. Daher ist der Träger 5 wie in der 5 gezeigt, am rechten oberen Abschnitt der zweiten Aufnahme-Nut 6a, welche in dem Aufnahme-Stück 6, wie in der 5c gezeigt ist, ausgebildet.
  • Außerdem wird, wenn der Zylinder 12 wieder betätigt wird, das Betätigungs-Stück 9 an die Tiefst-Stelle gefahren, so dass der Träger 5 an der zweiten Aufnahme-Nut 6a des Aufnahme-Stücks 6 angeordnet werden kann. Daher hat der Träger seinen einschrittigen Arbeitsvorgang vervollständigt.
  • Nachdem der Träger 5 in einem Schritt zugeführt worden ist, wird das Betätigungs-Stück 9 in die Anfangslage, wie in der 5a gezeigt, durch die Fahrt des Schrittmotors 15 zurückgefahren. Es ist möglich, das Betätigungs-Stück 9 in die Anfangslage zurückzufahren, da die Tiefst-Stelle des Betätigungs-Stückes 9 tiefer als die obere Fläche der Aufnahme-Nut 6a ist.
  • Als nächstes wird ein neuer Träger durch den Einlass hindurch gemäß der Fahrt des Rotators zugeführt, so dass er an der ersten Aufnahme-Nut 6a angeordnet ist, welche in dem Aufnahme-Stück 6 ausgebildet ist. Daher werden, da die vorhergehende Betätigung durchgeführt wird, zwei Träger gleichzeitig hin zu der Teststelle 100 in einem Schritt zugeführt.
  • Nachdem der zuvor zugeführte Träger 5 dem Beschickungs-Weg 22 der Teststelle 100 zugeführt worden ist, ist die Druckplatte 27, welche an dem Läufer befestigt ist, an der Hinterseite (links in der Zeichnung) des Trägers 5, da der Läufer 26 in der durchgehenden Linie von der 2 zum Zuführen des Träger hin zu der Teststelle ist. Das heißt, in der Lage, in der der Träger 5 in dem Beschickungs-Weg der Teststelle 100 ist, wird das in den Träger 5 beschickte Modul-IC 1 in der Lage gehalten, so dass es zum Erfüllen der Testbedingungen erwärmt wird.
  • Nachdem der Träger 5 dem Beschickungs-Weg der Test-Stelle 100 zugeführt worden ist, wird von dem Sensor 8 die Lage abgetastet und der nicht gezeigte Verschluss des Auslasses wird geöffnet und zur selben Zeit wird die Kugelumlaufspindel 24 gemäß der Fahrt des Schrittmotors 28 gedreht, so dass der Läufer 26, welcher an die Schnecke der Kugelumlaufspindel 24 gekuppelt ist, hin zu der Teststelle 100 entlang dem Führungs-Stab 25 zugeführt wird.
  • Gemäß der Bewegung des Läufers 26 wird der Träger 5 hin zu der Teststelle 100 geführt. Wenn der Läufer in die Anfangs-Lage zurückgefahren ist, ist die Druckplatte 27 an der Hinterseite des Trägers 5, wobei das Erzeugen einer Störung verhindert wird.
  • Das Vorhergehende ist eine Beschreibung des Zuführens eines Trägers 5, welcher in die Kammer schrittweise zugeführt wird, und des Erwärmens zum Erfüllen der Test-Temperatur und des Zuführens desselben hin zu der Teststelle 100. Daher wird, solange der Träger 5 kontinuierlich in die Kammer hinein zugeführt wird, die gleich Betätigung kontinuierlich durchgeführt.
  • Ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nun mit Bezug auf die 7 bis 11 erläutert.
  • Wie in den 7 bis 11 gezeigt ist, weist die Kammer für den Modul-IC-Handhaber gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung ein Träger-Zuführ-Steuerungs-Mittel, welches an der Unter-Platte 115 der Kammer 114 vorgesehen ist, welche auf einer geeigneten Temperatur zum Erfüllen des Tests gehalten wird, zum Zuführen des mit Modul-IC's 1 beschickten Trägers 5, welche über die Außenseite der Kammer 114 getestet werden sollen, ein Träger-Zuführ-Führungs-Mittel zum Führen der Zuführung des Trägers 5, wobei der Träger 5 hin zu der zu testenden Fassungs-Anordnung 117 vorgerückt oder davon weggerückt wird, ein Drückmittel zum Anschieben des Trägers 5 hin zu der Fassungs-Anordnung 117 während des Tests, und ein Entnahme-Mittel zum Entnehmen des in den Träger 5 beschickten Modul-IC's 1 aus der Fassungs-Anordnung 117 nach dem Test.
  • Wie in den 8, 9 und 11 gezeigt, weist das Träger-Zuführ-Steuerungs-Mittel eine Zuführ-Platte 118 auf, welche an der die Kammer 114 ausbildenden Unter-Platte 115 in der gleichen Richtung wie die Zuführ-Richtung des Trägers 5 bewegbar montiert ist, einen befestigten Anschlag 119, welcher an der Zuführ-Platte 118 zum Steuern des Zuführens des Trägers 5 in die Kammer 114 hinein montiert ist, einen Betätigungs-Anschlag 121, welcher an der Basis der Achse 120 am Einlass der Trägers 5 zum Halten der Seite des Trägers 5 drehbar montiert ist, einen Zylinder 122, welcher an der Boden-Fläche der Zuführplatte 118 zum Drehen des Anschlags 121 an der Basis der Zuführung des Trägers 5 in die Kammer 114 hinein montiert ist, und eine Antriebseinheit auf, welche an der Bodenfläche der Zuführplatte 118 zum Zuführen der Zuführplatte 118 in der Horizontalen montiert ist.
  • Wie in der 8 gezeigt, sollte die Größe der Zuführ-Platte 118 zum Zuführen des Trägers 5 an die Außenseite der Kammer bestimmt sein, so dass ein Ablenken von ihrem Ende an der Kammer verhindert wird, obwohl der Träger 5 aus der Kammer vollständig entnommen wird. Hiermit soll verhindert werden, dass eine hohe Temperatur in der Kammer nach außen emittiert, da ein Auslass, d.h. ein Beschickungs-Weg der Zuführ-Platte, in der Kammer gemäß der Erstreckung der Zuführ-Platte 118 aus der Kammer erzeugt wird.
  • Gemäß der Zuführung des Trägers 5 in die Kammer 114 hinein, ändert ein Stift 123 seine Position, wobei er auf der Basis der Achse 120 während der Fahrt des Zylinders 122 einen Kreis zeichnet, da der Stab des Zylinders 122 zum Halten der Seite des Trägers 5 gemäß der Fahrt des Anschlags 121 an das eine Ende des Anschlags 121 zum Drehen an der Basis der Achse 120 eingeführt ist.
  • Zudem ist das andere Ende des Zylinders 122 an den Stift 124 rotationslos gekuppelt, so dass der Anschlag 121 gedreht werden kann, wobei der Stift 123 zentriert ist.
  • Wie in der 8 gezeigt ist, ist die Antriebs-Einheit zum Zuführen der Platte 118 ausgebildet, so dass die Kammer 114, nämlich deren Unter-Platte, mit der Kugelumlaufspindel 125 und dem montierten Motor 127 drehbar angeordnet ist zum Drehen der Kugelumlaufspindel 125. Zwischen der Riemenscheibe 128a und 128b, welche an der Kugelumlaufspindel 125 und der Achse des Motors 127 befestigt sind, ist der Synchronriemen 129 zum Übertragen der Kraft aus dem Motor 127 an die Kugelumlaufspindel 125 gewickelt.
  • Da die Kugelumlaufspindel 125, welche gemäß der Fahrt des Motors 127 gedreht wird, an den Läufer 130 gekuppelt ist, welcher an der Bodenfläche der Zuführplatte 118 befestigt ist, wird die Zuführplatte 118 horizontal entlang der Kugelumlaufspindel 125 bewegt, wenn die Kugelumlaufspindel 125 gemäß der Fahrt des Motors 127 gedreht wird.
  • Da die Antriebs-Einheit, wie in der 8 gezeigt, mit einer U-förmigen Schließ-Platte 126 bedeckt ist, welche so angeordnet ist, dass sie sich außerhalb der Kammer 114 erstreckt, wird das Innere und das Äußere der Kammer 114 von dem Läufer voneinander getrennt. Hiermit soll verhindert werden, dass die hohe Temperatur in der Kammer nach außen emittiert, da sich die Zuführplatte 118 nach außen zum Zuführen des Trägers 5 an die Außenseite der Kammer 114 nach dem Test erstreckt.
  • Wie in der 11 gezeigt, ist auf beiden Seiten des Läufers 130, welcher auf die Kugelumlaufspindel 125 gesetzt ist, ein Führungsblock 132 daran befestigt. Der Führungsblock 132 ist von der LM-Führung 131 geführt und ist in derselben Länge hergestellt. Hiermit soll der Reibwiderstand gleichmäßig verteilt werden, welcher erzeugt wird, wenn die Zuführ-Platte 118 von dem Führungsblock 132 und der LM-Führung 131 aufgrund des Drehens der Kugelumlaufspindel 125 horizontal bewegt wird, wodurch die Betätigung der Zuführ-Platte 118 stabilisiert wird.
  • Der Läufer 130 ist so konstruiert, dass ein Loch 130a zum Hindurchpassieren durch dessen Innenseite ausgebildet ist und ein wärmebeständiges Rohr 133 ist zwischen dem Zylinder 122 und dem Loch 130a angeschlossen und ein Hauptrohr 134 ist an das Loch angeschlossen, welches an dem anderen Ende ausgebildet ist, welches mit der Außenseite der Kammer 114 kommuniziert. Das wärmebeständige Rohr 133 wird verwendet, da die Temperatur in der Kammer 114 hoch ist, wenn eine Versorgungs-Leitung zum Zuführen von komprimierter Luft in den Zylinder 122 zum Antreiben des Zylinders 122 ausgebildet werden soll.
  • Das wärmebeständige Rohr 133 hat hohe Wärmewiderstands-Eigenschaften, er hat jedoch eine große Schwachstelle in der Transformation. Daher sollte, da durch die Horizontal-Bewegung der Zuführplatte 118 einfach eine Unterbrechung verursachen kann, wenn die gesamte Versorgungsleitung wie das wärmebeständige Rohr angebracht ist, das wärmebeständige Rohr 133 zwischen dem Zylinder angeschlossen werden. Zudem sollte das Loch 130a, welches in der Hochtemperatur-Kammer angeordnet ist, und die Hauptleitung 134 an dem Loch 130a angeschlossen sein, welches an der Außenseite der Kammern 114 angeordnet ist. Daher kann, wenn die Zuführplatte 118 geführt wird, eine Längen- und Größen-Transformation verhindert werden.
  • Die Träger-Zuführ-Führungs-Mittel zum Zuführen des Trägers 5 weist eine untere Führung 135, welche an der Zuführ-Platte 118 zum Vorrücken zu und zum Wegrücken von der Fassungs-Anordnung 117 montiert ist, eine obere Führung 137, welche an der Hinterplatte montiert ist, so dass sie hin zu der Fassungsanordnung 117 hingerückt und davon weggerückt werden kann, und LM-Führungen 138 und 139 zum Führen der Zuführung der oberen und der unteren Führungen auf.
  • Das Drück-Mittel zum Anschieben des Trägers 5 hin zu der Fassungs-Anordnung 117 während des Tests weist ein Paar Führungs-Stäbe 141, welche an die Frontplatte 140 bewegbar gekuppelt sind, einen Drücker 142, welcher am Frontende des Führungs-Stabes 141 zum Anschieben des Trägers 5 hin zu der Fassungs-Anordnung 117 gemäß des Vorrückens des Führungs-Stabes 141 montiert ist, einen an dem einen Ende des Führungs-Stabes 141 befestigten Halte-Block 145, welcher an der Außenseite der Kammer 114 angeordnet ist und an dem Ausleger 143 drehbar montiert ist und auf die Kugelumlaufspindel 144 gesteckt ist, und einen Motor 147 auf, welcher an dem Ausleger 143 zum Drehen der Kugelumlaufspindel 144 über den Synchronriemen 146 montiert ist.
  • Die Drehenergie, welche von dem Motor 147 erzeugt wird, kann an die Kugelumlaufspindel 144 über den Synchronriemen 146 übertragen werden. Der Synchronriemen 146 ist auf die Riemenscheibe 148a und 148b gewickelt, welche an einem Ende der Kugelumlaufspindel 144 befestigt ist.
  • An dem Front-Ende des Führungs-Stabes 141, welches gemäß der Drehung der Kugelumlaufspindel 144 mittels des Motors 147 vorgerückt und zurückgezogen wird, ist ein Halte-Rahmen 149 befestigt, welcher eine Führungs-Schiene 149a aufweist. Die an dem Halte-Rahmen 149 ausgebildete Führungs-Schiene 149a ist an dem Drücker 142 zum Anschieben des Trägers 5 hin zu der Fassungs-Anordnung 117 lösbar montiert. Hiermit soll ermöglicht werden, dass der ausgewechselte Drücker 142 schnell verwendet werden kann, wenn der Anschiebe-Abstand basierend auf der Änderung des Standard-Modus des in den Träger 5 beschickten Modul-IC's geändert wird.
  • Der an der Führungs-Schiene 149a montierte Drücker 142 des Führungs-Rahmens 149 sorgt dafür, dass die Ablenkung aus dem Halte-Rahmen 149 von den anderen Haltemitteln, wie beispielsweise einem nicht gezeigten Bolzen, während der Betätigung verhindert wird.
  • Das Entnahme-Mittel zum Entnehmen des in dem Träger 5 beschickten Modul-TC's 1 aus der Fassungs-Anordnung 117 nach dem der Test vervollständigt ist, weist einen oberen Verrieglungshebel 150, welcher an den beiden Seiten der oberen Führung 137 befestigt ist, zum Anziehen der oberen Seite des Trägers 5, indem die obere Seite des Drückers 142 in entgegengesetzter Richtung zur Fassungs-Anordnung 117 verriegelt wird, wenn das Drückmittel zurückgeführt wird, und einen unteren Verriegelungshebel 151 auf, welcher an dem unteren Zentral-Abschnitt des Halte-Rahmens 149 befestigt ist, zum Anziehen des unteren Abschnitts des Trägers 5 in der entgegengesetzten Richtung zur Fassungs-Anordnung 117, wenn das Drück-Mittel zurückgeführt wird.
  • Die Betätigung der Test-Stelle der Kammer für den Modul-IC-Handhaber mit der obigen Konstruktion wird nun erläutert.
  • Wie in der 8 gezeigt, wird, wenn der mit dem Modul-TC 1 beschickte Träger nicht in der Kammer 114, sondern in der Heizkammer angeordnet ist, der Anschlag 121 in der Drehlage im entgegengesetzten Uhrzeigersinn gehalten, wobei die Achse 120 zentriert ist, so dass sie an einer tieferen Stelle als die obere Fläche der oberen Führung 135 angeordnet ist. In dieser Lage wird, wenn die Druckplatte 152 den Befestigungs-Läufer 153 in der Zeichnung in die rechte Richtung drückt, wie der nicht gezeigte Verschluss geöffnet wird und die Kugelumlaufspindel 125 durch den Antrieb des Motors 127 gedreht wird, der Träger 5 hin zu der Kammer 114 geführt. Zu diesem Zeitpunkt wird der Träger 5 von der oberen und der unteren Führung 135 und 137 zu der Kammer 114 hin stabil geführt.
  • Nach dem der Träger 5 hin zu der Kammer 114 geführt worden ist und geprüft ist, dass dessen Frontende nicht mehr weiter zugeführt wird, indem dessen Frontende an dem Anschlag 119 verriegelt ist, wird der Läufer 153 in die Anfangs-Lage zurückgeführt und zum gleichen Zeitpunkt wird die Kammer 114 geschlossen, indem der Einlass-Verschluss geschlossen wird. Nach dem der Träger 5 mit dem zu testenden Modul-IC 1 der Kammer 114 zugeführt ist, wird komprimierte Luft in die Innenseite des Zylinders 122 über das Hauptrohr 134, das Loch 130a, welches in dem Läufer 130 ausgebildet ist, das Rohr 133 zugeführt, so dass dadurch der Zylinder 122 zum Anschieben des Stabes betätigt wird, da die komprimierte Luft ins Innere des Zylinders 122 zugeführt wird, welcher am unteren Abschnitt der Zuführ-Platte 118 angeordnet ist.
  • Wenn der Anschlag 121 im Uhrzeigersinn gedreht wird, wobei die Achse 120 durch das Vorrücken des Zylinder-Stabes zentriert ist, um der Seitenwand des Trägers 5 nahe zu sein, wird der Träger 5 in die obere und die untere Führung 135 und 137 eingeführt, so dass dessen Bewegung verhindert wird.
  • Danach wird, wenn, wie in der 10a gezeigt, der Motor 147 seine Drehenergie an die Kugelumlaufspindel 144 über den Synchronriemen übertragt, der Halteblock 145, welcher auf die Kugelumlaufspindel 144 gesteckt ist, in der Zeichnung in Linksrichtung vorgerückt. Deswegen wird der Halte-Rahmen 149, welcher an dem Halteblock 145 von dem Führungs-Stab 141 befestigt ist, mit dem Halte-Block 145 vorgerückt, so dass der Drücker 142, welcher an der Führungs-Schiene 149a des Halte-Rahmens 149 montiert ist, das in dem Träger 5 beschickte Modul-IC 1 hin zu der Fassungs-Anordnung 117 drückt.
  • Deswegen wird das Modul-IC 1, wie in den 10a und 10b gezeigt, mit einen elektrischen Strom an dem nicht gezeigten Tester verschaltet, welcher an der Test-Fassung 154 angeschlossen ist, so dass der Test für das Modul-IC 1 während der vorbestimmten Zeit durchgeführt wird.
  • Wie bei der vorhergehenden Beschreibung wird, wenn der Träger 5 durch das Vorrücken des Drückers 142 hin zu der Fassungs-Anordnung 117 vorgerückt wird, der Träger 5 von der LM-Führung 138 und 139, welche an der oberen und der unteren Führung 135 und 137 angeordnet sind, stabil zugeführt.
  • Nach dem Test in der vorgegebenen Zeit wird das Drück-Mittel von dem Antrieb des Motors 147 in die Anfangs-Lage zurückgeführt. Wenn das Drück-Mittel in die Anfangs-Lage zurückgeführt worden ist, wird das mit der Test-Fassung 154 verbundene Modul-IC 1 aus der Fassungs-Anordnung 117 mittels des Entnahme-Mittels 117 separiert.
  • Wenn der Drücker 142, welcher in der Zeichnung auf die rechte Seite bewegt ist, in die Anfangs-Lage zurückgeführt ist, wird der Träger 5 mit dem Drücker 142 zurückgezogen, da die obere und die untere Führung 135 und 137 von dem an dem Halte-Rahmen 149 befestigten unteren Verriegelungs-Hebel 151, welcher in die Nute 135a der unteren Führung 135 eingesetzt ist, und dem oberen Verriegelungs-Hebel 150 zusammen angezogen werden, welcher mit der Rückwärts-Fläche des Drückers 142 verbundenen ist. Deswegen wird das Modul-IC 1 aus der Test-Fassung 154 entnommen.
  • Wenn der Träger 5 mit 16 Modul-TC's 1 beschickt ist und an der Fassungs-Anordnung 117 vier Test-Fassungen 154 montiert sind, wird ein Test mit dem ersten, fünften, neunten und dreizehnten Modul-IC 1 durchgeführt, wenn mit dem Träger 5 mittels des Drück-Mittels und dem Entnahme-Mittel dessen erste Vorrück/Rückzug-Bewegung durchgeführt wird.
  • Nach dem die Zuführ-Platte 118 in einem Schritt (der Abstand zwischen dem in dem Träger beschickten Module IC) in der Zeichnung in der rechten Richtung zugeführt ist, wird ein Test für das zweite, sechste, zehnte und vierzehnte Modul-IC 1 durchgeführt, wenn mit dem Träger 5 dessen zweite Vorrück/Rückzug-Bewegung durchgeführt wird, und ein Test für das dritte, siebte, elfte und fünfzehnte Modul-IC 1 wird durchgeführt, wenn mit dem Träger 5 dessen dritte Vorrück/Rückzug-Bewegung durchführt wird, und ein Test für das vierte, achte, zwölfte und sechszehnte Modul-IC 1 wird durchgeführt, wenn mit dem Träger 5 dessen letzte Vorrück/Rückzug-Bewegung durchführt wird.
  • Der Abstand zum Zuführen der Zuführ-Platte 118 wird auf Basis der Anzahl der auf dem Träger 5 beschickten Module-IC's und der Anzahl der Test-Fassungen 154 ermittelt, welche in der Fassungs-Anordnung 117 montiert sind.
  • Nach dem der Test für alle Module IC vervollständigt ist, sollte der Träger 5 aus der Kammer 114 entnommen werden.
  • Für diese Betätigung wird, wenn die Kugelumlaufspindel 125 von der Fahrt des Motors 127 gedreht wird, die Zuführ-Platte 118 in der Zeichnung auf die rechte Seite bewegt, so dass sie dabei aus der Kammer 114 extrahiert wird, so dass sie nach der 8 positioniert ist, da die Kugelumlaufspindel 125 mit dem an der Bodenfläche der Zuführ-Platte 118 befestigten Läufer 130 eingeführt wird. Es ist selbstverständlich, dass der Einlass-Verschluss 155 vor der obigen Betätigung geöffnet wird.
  • Da der Abschnitt der Zuführ-Platte 118 in der Kammer 114 positioniert wird, wird die hohe Temperatur in der Kammer 114 nicht nach außen durch den Zuführ-Weg der Zuführ-Platte 118 hindurch emittieren, obwohl der Träger 5 aus der Kammer 114 durch die Fahrt des Motors 127 vollständig extrahiert wird.
  • Währenddessen wird die Zuführ-Platte 118 aus der Kammer 114 extrahiert, wobei die hohe Temperatur in der Kammer 114 nicht nach außen durch den unteren Abschnitt der Zuführ-Platte 118 emittiert wird, da der Läufer 130 innerhalb der Schließ-Platte 126 bewegt wird.
  • Nach dem der Träger 5 aus der Kammer 114 extrahiert worden ist, wird der Zylinder 122 wieder betätigt, so dass der Anschlag 121, welcher die Seite des Trägers 5 hält, gedreht wird, und der Träger 5 wird dabei aus der unteren Führung 135 von dem anderen Rotor extrahiert, so dass er gemäß dem Testergebnis an das Modul-IC verteilt wird.
  • Nach dem der Träger 5 aus der unteren Führung 135 von dem Rotor extrahiert ist, wird die Zuführ-Platte 118 an die Innenseite der Kammer 114 durch die Fahrt des Antriebsmittels zugeführt. Deswegen wird, da der Einlass-Verschluss geöffnet ist, aber der Auslass-Verschluss geschlossen ist, dabei das in einem neunen Träger beschickte Modul-IC an die Kammer zugeführt, so dass der Test für das Modul-TC durchgeführt wird.
  • Wobei ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben worden ist, ist es selbstverständlich, dass von einem Fachmann verschiedenartige Änderungen und Modifikationen durchgeführt werden können, ohne dass vom Umfang der Erfindung, wie in den beigefügten Ansprüchen definiert, abgewichen wird.

Claims (9)

  1. Kammer für einen integrierten Schaltkreis-, IC-Träger-Handhaber, aufweisend: eine Unter-Platte (4); mindestens ein Aufnahme-Stück (6), welches an der Unter-Platte (4) angebracht ist, wobei jedes Aufnahme-Stück (6) eine Mehrzahl von Nuten (6a) aufweist und wobei jede Nut (6a) zum Aufnehmen eines IC-Trägers (5) konfiguriert ist; eine Montage-Platte (11), welche an die Unter-Platte (4) gekuppelt ist; eine Aufwärts/Abwärts-Bewegungs-Platte (13), welche an der Montage-Platte (11) bewegbar angebracht ist; mindestens ein Betätigungs-Stück (9), wobei jedes Betätigungs-Stück (9) an der Aufwärts/Abwärts-Bewegungs-Platte (13) über Führungs-Stäbe (14) angebracht ist, wobei jeder Führungs-Stab (14) durch ein Langloch (4a) in der Unter-Platte (4) hindurchpassiert, wobei jedes Betätigungs-Stück (9) eine Mehrzahl von Nuten (9a) aufweist, wobei jede Nut (9a) zum Aufnehmen eines IC-Trägers (5) konfiguriert ist und wobei das mindestens eine Betätigungs-Stück (9) zum vertikalen Bewegen von IC-Trägern (5) weg von dem mindestens einen Aufnahme-Stück (6), zum horizontalen Bewegen der IC-Träger (5) relativ zu dem mindestens einen Aufnahmen-Stück (6) um einen Abstand gleich dem Intervall zwischen den Aufnahme-Stück-Nuten und zum vertikalen Bewegen der IC-Träger (5) zurück in den Eingriff mit dem mindestens einen Aufnahme-Stück (6) konfiguriert ist; und einen oberen und einen unteren Verschluss, welche zum Abdichten des Langloches (4a) um jeden des wenigstens einen dort hindurch passierenden Führungs-Stab (14) herum konfiguriert sind.
  2. IC-Träger-Handhaber gemäß Anspruch 1, ferner aufweisend einen Vertikal-Antrieb, welcher zum vertikalen Bewegen der Aufwärts/Abwärts-Bewegungs-Platte (13) und dem mindestens einen Betätigungs-Stück (9) relativ zu der Montage-Platte (11) konfiguriert ist.
  3. IC-Träger-Handhaber gemäß Anspruch 2, wobei, wenn das mindestens eine Betätigungs-Stück (9) in seine Höchst-Stelle bewegt ist, es über dem mindestens einen Aufnahme-Stück (6) angeordnet ist, und, wenn das mindestens eine Betätigungs-Stück (9) in seiner Unterst-Stelle bewegt ist, es wenigstens unter dem mindestens einen Aufnahme-Stück (6) angeordnet ist.
  4. IC-Träger-Handhaber gemäß Anspruch 2, wobei der Antrieb einen Kolben und einen Zylinder (12) aufweist.
  5. IC-Träger-Handhaber gemäß Anspruch 1, ferner aufweisend einen Horizontal-Antrieb, welcher zum horizontalen Bewegen der Montage-Platte (11) und dem mindestens einen Betätigungs-Stück (9) relativ zu der Unter-Platte (4) konfiguriert ist.
  6. IC-Träger-Handhaber gemäß Anspruch 5, wobei der Antrieb einen Schritt-Motor (15) und eine Kugelumlaufspindel (16), welche an einer von der Montage-Platte (11) und von der Unter-Platte (4) angebracht ist, und einen Gewinde-Block aufweist, welcher an der anderen von der Montage-Platte (11) und von der Unter-Platte (4) angebracht ist, wobei der Gewinde-Block an die Kugelumlaufspindel (16) gekuppelt ist.
  7. IC-Träger-Handhaber gemäß Anspruch 5, ferner aufweisend einen Vertikal-Antrieb, welcher zum vertikalen Bewegen der Aufwärts/Abwärts-Bewegungs-Platte (13) und dem mindestens einen Betätigungs-Stück (9) relativ zu der Montage-Platte (11) konfiguriert ist.
  8. IC-Träger-Handhaber gemäß Anspruch 1, wobei der mindestens eine Führungs-Stab (14) durch die Montage-Platte (11) und die Unter-Platte (4) hindurch passiert und wobei das mindestens eine Betätigungs-Stück (9) oben an dem mindestens einen Führungs-Stab (14) montiert ist.
  9. IC-Träger-Handhaber gemäß Anspruch 1, ferner aufweisend einen Betätigungs-Stück-Antrieb, welcher zum Bewegen des mindestens einen Betätigungs-Stückes (9) in Vertikal- und Horizontal-Richtung relativ zu dem mindestens einen Aufnahmestück (6) konfiguriert ist.
DE69932391T 1998-10-19 1999-10-19 Kammer für eine Handhabungsvorrichtung für ein IC-Modul Expired - Fee Related DE69932391T2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR9843685 1998-10-19
KR1019980043686A KR100277538B1 (ko) 1998-10-19 1998-10-19 모듈 아이씨 핸들러의 테스트 싸이트
KR1019980043685A KR100277539B1 (ko) 1998-10-19 1998-10-19 모듈 아이씨 핸들러의 챔버
KR9843686 1998-10-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69932391D1 DE69932391D1 (de) 2006-08-31
DE69932391T2 true DE69932391T2 (de) 2007-08-02

Family

ID=36794437

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69932391T Expired - Fee Related DE69932391T2 (de) 1998-10-19 1999-10-19 Kammer für eine Handhabungsvorrichtung für ein IC-Modul

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6607071B1 (de)
EP (1) EP0995998B1 (de)
JP (1) JP2000131386A (de)
DE (1) DE69932391T2 (de)
TW (1) TW482908B (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101339204B (zh) * 2007-07-05 2010-10-27 京元电子股份有限公司 匣盘输送装置
KR100941674B1 (ko) * 2008-01-29 2010-02-12 (주)테크윙 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드이송시스템 및 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버내에서의 캐리어보드 이송방법
DE102008057587A1 (de) * 2008-11-15 2010-05-20 Jörg von Seggern Maschinenbau GmbH Horizontalförderer zum Transport von Stückgütern
CN103630767B (zh) * 2012-08-20 2016-04-06 台达电子工业股份有限公司 测试设备及其可移动式测试室
CN104427832B (zh) * 2013-09-06 2017-03-01 纬创资通股份有限公司 快速拆装装置及电子设备
CN103722310A (zh) * 2013-11-14 2014-04-16 苏州昌飞自动化设备厂 一种电子元件的双侧边脚焊接机的壳体进料机构
JP2016023961A (ja) * 2014-07-16 2016-02-08 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3308977A (en) * 1965-10-04 1967-03-14 Ibm Automatic tray handler
US3322259A (en) * 1966-02-01 1967-05-30 Hohl Machine & Conveyor Co Inc Accumulating transfer conveyor
US3590987A (en) * 1969-09-17 1971-07-06 Dewey M Evans Lift and carry accumulator
US3823461A (en) * 1973-06-04 1974-07-16 Stromberg Carlson Corp Transport assembly
US4407406A (en) * 1981-10-26 1983-10-04 Western Electric Company, Incorporated Walking beam mechanism
JPS5931220A (ja) * 1982-08-13 1984-02-20 Hitachi Electronics Eng Co Ltd Icマガジン多列供給機構
US4715501A (en) * 1984-06-29 1987-12-29 Takeda Riken Co., Ltd. IC test equipment
US4687092A (en) * 1985-12-13 1987-08-18 Zenith Electronics Corporation Proportionally displaced coupled walking beams
US5203445A (en) * 1990-03-17 1993-04-20 Tokyo Electron Sagami Limited Carrier conveying apparatus
WO1992004989A1 (en) * 1990-09-24 1992-04-02 Sym-Tek Systems, Inc. Electronic device test handler
US5291986A (en) * 1992-11-16 1994-03-08 Aetna Life Insurance Company Printer exit retriever and conveyor
US5454466A (en) * 1993-10-21 1995-10-03 Visi-Trol Engineering Company Accumulating conveyor
US5788084A (en) * 1994-09-22 1998-08-04 Advantest Corporation Automatic testing system and method for semiconductor devices
US5675247A (en) * 1995-08-10 1997-10-07 Automation Technology, Inc. Dual head armature processing method and apparatus
JP3138201B2 (ja) * 1995-12-22 2001-02-26 株式会社しなのエレクトロニクス Icテストハンドラ

Also Published As

Publication number Publication date
EP0995998A2 (de) 2000-04-26
US6607071B1 (en) 2003-08-19
TW482908B (en) 2002-04-11
DE69932391D1 (de) 2006-08-31
EP0995998A3 (de) 2001-03-07
JP2000131386A (ja) 2000-05-12
EP0995998B1 (de) 2006-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0602397B1 (de) Instrument zum Bearbeiten der Oberfläche von Teilen in technischen Hohlräumen
DE3314961A1 (de) Analysegeraet zur photometrischen bestimmung eines parameters einer fluessigkeit
DE60209094T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Anschliessen von Kabeln
DE4119925A1 (de) Schraubenantriebsvorrichtung mit einem gurttraeger und fuehrungsmechanismus
DE3922437A1 (de) Drahtbearbeitungsvorrichtung
DE69932391T2 (de) Kammer für eine Handhabungsvorrichtung für ein IC-Modul
DE3715140A1 (de) Handhabungseinrichtung
DE102007019895A1 (de) Handler zum Testen von gepackten Chips
EP0204291B1 (de) Einrichtung zum Prüfen und Sortieren von elektronischen Bauelementen, insbesondere integrierten Chips
DE19833500B4 (de) Testkopf-Positioniereinrichtung für ein Halbleiterbauelement-Testgerät
EP1890817A1 (de) Thermocycler
DE19823933A1 (de) Lineare Bewegungseinrichtung
EP1902325B1 (de) Testvorrichtung zum testen von elektronischen bauelementen
DE2155418B2 (de) Vorrichtung zum Einsetzen von bolzenförmigen Werkstücken in Bohrungen einer Platte
DE3311792C2 (de) Vorrichtung zum Richten von Anschlußdrähten elektrischer Bauelemente
DE3039914A1 (de) Umformmaschine mit schmier- oder ausblaseinrichtung
WO1992019501A1 (de) Anordnung zum ordnen und binden eines langgestreckten gegenstandes, insbesondere eines kabelbaums
EP1145967B1 (de) Etikettenmagazin
DE3204873C2 (de) Vorrichtung zum automatischen Zuführen einer Probe in den Graphitrohrofen eines Atomabsorptionsspektrometers
DE3636088C1 (en) Device for insertion of an assembly into plug connectors and withdrawal of said assembly from plug connectors
DE2242258B1 (de) Zangenartige Vorrichtung zum Ab ziehen von Bauteilen
DE19943759C1 (de) Einrichtung zur Handhabung blattartiger Gegenstände, insbesondere zum Zufördern von Kuverts zu einer Kuvertierstation
WO1993011291A1 (de) Fadenklemm-einrichtung und -verfahren
DE3732055C2 (de)
EP4121788B1 (de) Testvorrichtung für prüfkarten

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee