DE69932219T2

DE69932219T2 - Abgeschlossene Vorrichtung

Info

Publication number: DE69932219T2
Application number: DE69932219T
Authority: DE
Inventors: Toshiba Ceramics Co. Eiichi Nishiokitama-gun Toya; Toshiba Ceramics Co. Tomio Nishiokitama-gun Konn; Toshiba Ceramics Co. Tomohiro Nishiokitama-gun Nagata; Toshiba Ceramics Co. Norihiko Nishiokitama-gun Saito; Toshiba Ceramics Co. Sunao Nishiokitama-gun Seko; Hideyuki Iide-machi Nishiokitama-gun Yokoyama; Ken Sagamihara-shi Nakao; Takanori Sagamihara-shi Saito; Hisaei Sagamihara-shi Osanai; Toshiyuki Tachikawa Makiya
Original assignee: Toshiba Ceramics Co Ltd
Current assignee: Coorstek KK
Priority date: 1998-11-30
Filing date: 1999-11-30
Publication date: 2007-05-31
Anticipated expiration: 2019-12-01
Also published as: EP1006563A3; TW437023B; EP1006563A2; EP1006563B1; KR100334992B1; JP3434721B2; US6204488B1; DE69932219D1; JP2000164602A; KR20000035780A

Description

Hintergrund der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Abdichtanschluss und insbesondere einen Abdichtanschluss, der für einen Erhitzer verwendet wird, der ein Heizelement aufweist, welches in einem Quarzelement abgedichtet ist.
Beim Prozess der Herstellung von Halbleitern wird eine Silizium-Halbleiterscheibe oder dergleichen verschiedenen Wärmebehandlungen unterzogen.
Derartige Wärmebehandlungen erfordern nicht allein eine strikte Temperatursteuerung sondern ebenso eine reine Atmosphäre, die frei von Partikeln inklusive feinen Stäuben ist.
Zu diesem Zweck ist es erforderlich, dass ein Erhitzer für derartige Wärmebehandlungen ein gleichmäßiges Erwärmungsverhalten und erhöhte Eignungen der Steuerung des Temperaturanstiegs und des Absinkens sowie keinerlei Emissionen von verunreinigenden Gegenständen so wie Partikeln zeigt.
Als ein Beispiel eines Erhitzers für die Herstellung von Halbleitern ist ein Typ bekannt, bei dem ein Heizelement in einem Stützelement aus Quarzglas oder dergleichen zusammen mit einem nicht oxidierenden Gas abgedichtet ist.
Die Erfinder haben einmal einen verbesserten Erhitzer entwickelt, der dazu dient, Halbleiter Wärmebehandlungen zu unterziehen; bei diesem Erhitzer sind feine Karbon-Monofilamente in eine Vielzahl von Karbonfaser-Bündeln gebunden, die in ein Karbondraht-Heizelement gewebt sind, welches wiederum in einem Quarzglas-Stützelement zusammen mit einem nicht oxidierenden Gas abgedichtet ist. Dieser Erhitzer wurde schon in der japanischen Patentanmeldung H10-254513 (Veröffentlichungsnummer: JP 2000-021890) vorgeschlagen.
Dieses Karbondraht-Heizelement weist eine solch geringere Wärmekapazität als metallische Gegenstücke auf, dass es eine geringere Temperaturfluktuation sowie einen exzellenten Hochtemperatur-Widerstand in einer nicht oxidierenden Atmosphäre zeigt.
Darüber hinaus weist es, da eine Vielzahl von feinen Karbon-Monofilamenten bei der Herstellung dieses Karbondraht-Heizelements verwebt wurden, eine bemerkenswerte Flexibilität verglichen mit einem Heizelement eines festen Karbonelements auf, so dass es einen Vorteil in Bezug auf die strukturelle Variabilität und Bearbeitbarkeit aufweist.
Daher wird ein derartiges Heizelement, das in einem hitzeresistenten reinen Stützelement aus hochreinem Quarzglas oder dergleichen zusammen mit einem nicht oxidierenden Gas abgedichtet ist, keine Partikel erzeugen und ist als Erhitzer für die Herstellung von Halbleitern, wie eingangs genannt, höchst geeignet.
In diesem Zusammenhang erfordert ein Erhitzer, der das Karbondraht-Element als Heizelement verwendet, eine Anschlussvorrichtung zur Verbindung zwischen Anschlussdrähten, die aus Karbon-Erhitzer-Bündeln und Metalldrähten zusammengesetzt sind. Die Erfinder haben einige Anschlussvorrichtungen in der oben erwähnten früheren Anmeldung vorgeschlagen.
Unter Bezugnahme auf die 7 und 8 wird die Gliederung derartiger Erhitzer und Anschlussvorrichtungen, die in der früheren Anmeldung vorgeschlagen wurden, erläutert.
Ein Karbon-Erhitzer 50 weist einen im Wesentlichen integralen Aufbau auf, der durch Abdichten eines Paars von Erhitzerelementen 51 (Karbondraht-Heizelement) in einem plattenähnlichen Quarzglas-Stützelement 52 bereitgestellt wird.
Obwohl dies nicht gezeigt ist, wird das plattenähnliche Quarzglas-Stützelement 52 mit Räumen ausgebildet, innerhalb derer Erhitzerelemente 51 aufgenommen sind.
Das Erhitzerelement 51 steht mittels der Karbonfasern, die eine „flauschige" Oberfläche aufweisen, mit den Räumen in Kontakt.
Darüber hinaus weist das Erhitzerelement 51 ein Ende auf, das im Wesentlichen senkrecht auf eine Erhitzeroberfläche 52a gezogen und mit einer Molybdän(Mo)-Anschlussleitung 54 mittels eines Karbonanschlusses 53 und eines Verbinders 58 verbunden ist.
Darüber hinaus ist die Molybdän(Mo)-Anschlussleitung 54 mit einem Paar von Molybdän(Mo)-Anschlussleitungen 57 für Verbindung nach außen mittels einer plattenförmigen Molybdän(Mo)-Folie 56 verbunden.
In diesem Zusammenhang ist die Molybdän(Mo)-Folie 56 mittels eines Quarzglas-Rohrs 55 zusammen mit den jeweiligen Enden der Molybdän-Anschlussleitungen 54 und einem Paar derartiger externer Verbindungsleitungen 57 kniff-abgedichtet („pinch sealed").
Darüber hinaus sind diese Elemente in einem Glasrohr 55 angeordnet, um einen Abdichtanschluss auszubilden.
Nunmehr wird ein Abdichtanschluss gefordert, der einen geringeren elektrischen Widerstand aufweist, um die Erzeugung von Funken zu unterbinden, so dass es möglich ist, Energie zum Karbon-Heizelement zuzuführen.
Der Anschlussaufbau wird den oben angegebenen Erfordernissen genügen.
Der Abdichtanschluss ist jedoch auf eine solche Weise aufgebaut, dass der Karbonanschluss 53 mit der Molybdän(Mo)-Anschlussleitung 54 und den externen Verbindungsleitungen 57 mittels der Verbinder 58 verbunden ist, so dass sich ein komplizierter Aufbau ergibt und dessen Zusammenbau schwierig wird.
Darüber hinaus wird ein kompakter Abdichtanschluss gewünscht, der in Betracht zieht, dass verschiedene Vorrichtungen um den Erhitzer herum und in dessen Nähe angeordnet sind.
Zusammenfassung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die oben erwähnten technischen Probleme zu lösen und es ist deren Ziel, einen kompakten und leicht zusammenbaubaren Abdichtanschluss zur Verfügung zu stellen, der einen geringeren elektrischen Widerstand aufweist, um die Erzeugung von Funken zu verhindern, so dass es möglich ist, Energie zum Karbon-Heizelement zuzuführen.
Um das oben genannte Ziel zu erreichen, ist der Abdichtanschluss gemäß der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass er Heizelemente; interne Verbindungsleitungen, die elektrisch mit den Heizelementen zu verbinden sind; externe Verbindungsleitungen, von denen Energie zugeführt wird; einen Glaskörper, der mit einer Vielzahl von Nuten in dessen äußeren Oberflächen ausgebildet ist, um die internen und externen Verbindungsleitungen darin aufzunehmen; leitende Folien, die die internen und externen Verbindungsleitungen elektrisch verbinden; ein Glasrohr, um darin die internen und externen Verbindungsleitungen so aufzunehmen, dass deren Endabschnitte aus dem Glasrohr hervorstehen, wobei das Glasrohr an dem Glaskörper an dessen äußeren Oberflächen angeschmolzen ist; sowie ein Stopfenelement, um das Glasrohr an dessen Ende zumindest an der Seite der externen Verbindungsleitung zu verschließen, umfasst.
Es wird bevorzugt, dass der Glaskörper und das Glasrohr aus Quarzglas ausgebildet sind.
Es wird weiter bevorzugt, dass die internen und externen Verbindungsleitungen zwei Paare von internen Verbindungsleitungen und externen Verbindungsleitungen beinhalten und dass die internen und externen Verbindungsleitungen Elemente beinhalten, die entweder aus Molybdän oder Wolfram erzeugt worden. In diesem Fall wird noch mehr bevorzugt, dass die Dicke der Molybdän-Folien zwischen 20 und 40 μm beträgt. Der Grund hierfür ist der, dass der elektrische Widerstand bei weniger als 20 μm zu groß ist und dass keine Wahrscheinlichkeit vorliegt, das Glasrohr als Ergebnis der Oxidation und Expansion der Molybdän-Folie zu überhitzen und so zu zerstören. Auf der anderen Seite bewirkt der elektrische Widerstand von mehr als 40 μm ein Absinken des Abdichtverhaltens zwischen dem Glaskörper und dem Glasrohr und es besteht eine Möglichkeit eines Austritts von Luft, um die Molybdän(Mo)-Anschlussfolie und den Karbondraht-Anschluss zu oxidieren. Darüber hinaus wird bevorzugt, dass das Stopfenelement aus einem Zement erzeugt wurde, der hauptsächlich aus pulverisiertem Aluminiumoxid-Zementmaterial gebildet wurde. Insbesondere wird das pulverisierte Aluminiumoxid zu Wasser hinzugegeben, welches getrocknet wird, bis es sich abgesetzt hat.
Es wird des Weiteren bevorzugt, dass eine wärmebeständige, mit einem Harz beschichtete Schicht zwischen dem Harzkörper und dem Stopfenelement ausgebildet ist, dass die internen Verbindungsleitungen an deren Enden mit einem Rückhalteelement versehen ist, welches aus opakem Glas oder geschäumtem Glas erzeugt wurde, wobei das Rückhalteelement zu verwendet wird, die internen Verbindungsleitungen in dem Glasrohr zurückzuhalten, und dass das opake Glas und das geschäumte Glas aus Quarzglas ausgebildet sind.
Es wird darüber hinaus bevorzugt, dass das Heizelement auf Karbonfasern ausgebildet ist, die jeweils einen Durchmesser von 5 bis 15 μm aufweisen und in eine Vielzahl von Bündeln eingebunden sind und in gewirkte Seile oder Zöpfe gewebt sind.
Es wird darüber hinaus bevorzugt, dass die Karbonfaser weniger als 10 ppm Aschegehalte als Verunreinigungen enthalten.
Der Abdichtanschluss gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Glaskörper mit Nuten in dessen äußerer Oberfläche ausgebildet ist, um die internen und externen Verbindungsleitungen zurückzuhalten, und dass dort leitfähige Folien zur Verfügung gestellt sind, um die internen und externen Verbindungsleitungen so elektrisch zu verbinden, dass der Glaskörper innerhalb des Glasrohrs aufgenommen wird.
So aufgebaut wird eine Miniaturisierung effizienter als bei den konventionellen flachen Molybdän-Folien verwirklicht.
Darüber hinaus wird die Notwendigkeit für Verbinder eliminiert und ein einfaches Einführen der internen Verbindungsleitungen in die Anschlussleitungen hinein vervollständigt die Arbeit einer elektrischen Verbindung, um so den Betrieb zu vereinfachen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine teilweise geschnittene Ansicht eines Erhitzers, bei dem ein Heizelement abgedichtet ist und bei dem ein Abdichtanschluss gemäß der vorliegenden Erfindung daran angeordnet ist;
2 ist eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die sich auf den Abdichtanschluss bezieht;
3 ist eine perspektivische Ansicht eines Quarzglas-Körpers, der für den Abdichtanschluss gemäß der vorliegenden Erfindung zu verwenden ist;
4 ist eine Schnittansicht einer Modifikation der Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung;
5 ist eine Schnittansicht einer anderen Modifikation der Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung;
6 ist eine perspektivische Ansicht des stangenförmigen Erhitzers mit dem Abdichtanschluss gemäß der vorliegenden Erfindung, der daran angebracht ist;
7 ist eine Draufsicht auf den Erhitzer, der mit einem Erhitzerelement abgedichtet ist, das der Erfinder in der früheren Anmeldung vorgeschlagen hat;
8 ist ein Querschnitt aus 7; und
9 ist eine Ansicht, die den Grundriss des Karbondraht-Erhitzers zeigt.
Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Im Anschluss wird eine detaillierte Erläuterung unter Bezugnahme auf die anhängenden Zeichnungen gegeben.
In 1 weist ein Erhitzer 1, bei dem ein Heizelement abgedichtet ist, eine Heizoberfläche in Scheibenform auf, wie dies in 7 gezeigt ist, wobei Karbondraht-Heizelemente 3 in einem Quarzglas-Stützelement 2 abgedichtet sind.
Für dieses Karbondraht-Heizelement 3, das durch Verweben einer Vielzahl von Faserbündeln in einen Drahtaufbau angepasst ist, wird jedes Faserbündel aus einer Vielzahl von Karbonfasern bereitgestellt.
Wie in 7 gezeigt, sind diese Karbondraht-Heizelemente 3 in einem sogenannten „Zick-Zack"-Aufbau auf der Fläche des Quarzglas-Stützelements 2 angeordnet.
Die Drahtanordnung aus 7 kann jedoch frei verändert werden und ist nicht auf den Zick-Zack-Aufbau beschränkt.
Das Quarzglas-Stützelement 2 ist mit Räumen (im Wesentlichen Nuten 4) ausgebildet, um das Karbondraht-Heizelement 3 einzuschließen. Außer in Bezug auf die Existenz dieser Räume ist das Quarzglaselement 2 in ein im Wesentlichen festes Element eingebettet.
Das Quarz-Stützelement 2 ist aus einem plattenähnlichen Quarzglaselement (Hauptelement) 2b, das eine obere Oberfläche aufweist, die mit Nuten ausgebildet ist, in denen die Karbondraht-Heizelemente 3 aufgenommen sind, sowie einem plattenähnlichen Quarzglaselement (Dichtabdeckplatte) 2a zusammengesetzt, um die Rolle einer Abdeckung zu spielen und die Nuten von oben abzudichten.
In anderen Worten wird das Quarzglas-Stützelement 2 durch miteinander verschmelzen des plattenähnlichen Quarzglaselements (Hauptelements) 2b und eines Quarzglaselements (Dichtabdeckplatte) 2a, nachdem die Karbondraht-Heizelemente 3 in den Nuten angeordnet wurden und das Innere der Nuten in einen Zustand einer nicht oxidierenden Atmosphäre gebracht wurde, bereitgestellt.
Nunmehr wird ein konkretes Beispiel der Karbondrahtelemente A erläutert. Die Karbondrahtelemente A werden durch Verbindung von 300 bis 350 Karbonfaser bereitgestellt, die jeweils einen Durchmesser von 5 bis 15 μm, beispielsweise 7 μm aufweisen, in ein Bündel, wobei die Bündelung auf eine ähnliche Weise wie bei dem Karbondraht erfolgt. Etwa 9 dieser Bündel werden in einen Karbondraht in der Form eines gewirkten Seils oder eines Zopfs miteinander verwebt.
Somit wird sichergestellt, dass eine für das Heizelement bei hoher Temperatur in deren Längsrichtung gleichmäßig gehaltenen Adhäsionseigenschaften der Fasern aufrecht erhalten wird und so die Ungleichmäßigkeit der Erhitzung in Längsrichtung reduziert wird.
Der Grund für die Verwendung einer Vielzahl von miteinander gebündelten Karbonfaser, die jeweils einen Durchmesser von 5 bis 15 μm aufweisen, ist der, dass eine Faser mit einem Durchmesser von weniger als 5 μm keine ausreichende Festigkeit aufweist, um dem Webprozess in einem Heizelement einer gewünschten länglichen Form zu überdauern. Darüber hinaus sind derartige Fasern zu fein, um einen gewünschten Widerstand zu erhalten, wenn nicht zu viele Stränge von Fasern verwendet werden und die Verwendung derartiger Fasern somit unpraktikabel wird.
Auf der anderen Seite besteht ein Problem mit den Karbonfasern, die einen Durchmesser von mehr als 15 μm aufweisen und keine ausreichende Elastizität aufweisen, so dass es nicht nur schwierig wird, diese zu verweben, wenn sie in eine Vielzahl von Bündel von Karbonfasern verwebt werden, sondern auch einige dieser gebündelten Fasern reifen können, um so deren Festigkeit deutlich abzusenken.
In einem solchen Fall beträgt die Webspanne des Karbondrahts 2 mm bis 5 mm oder darüber, während die Oberflächen-Flauschigkeit der Karbonfasern 0,5 bis 2,5 mm hoch oder darüber hinaus ist.
In diesem Zusammenhang ist die „Flauschigkeit" ein Teil gebrochener Karbondrähte, die von deren äußerer Oberfläche hervorstehen, wie dies beim Bezugszeichen 3c in 9 gezeigt ist.
Die Kombination jedes Karbondraht-Heizelements und des später zu erläuternden Abdichtanschlusses stellt einen Aufbau zur Verfügung, bei dem das Karbondraht-Heizelement in Kontakt mit dem Quarzglas-Stützelement mittels der Flauschigkeit derart steht, dass eine partielle Degradierung bei hoher Temperatur verhindert wird, um eine Ungleichmäßigkeit der Erhitzung in Längsrichtung zu minimieren. Als Ergebnis hiervon ist es möglich, einen kompakten Erhitzer zur Verfügung zu stellen, der exzellent in seiner Heiz-Gleichmäßigkeit an der Unteroberfläche ist und für die Herstellung von Halbleitern geeignet ist.
Bei dem mit dem Heizelement gemäß der vorliegenden Erfindung abgedichteten Erhitzer 1 kann eine Vielzahl von Karbondraht-Heizelementen 3 verwendet werden und wenn eine Vielzahl derartiger Karbondraht-Heizelemente verwendet wird, wird deren Qualität in Bezug auf die Heiz-Eigenschaften noch mehr stabilisiert.
Vom Gesichtspunkt der Heiz-Gleichmäßigkeit, Stabilität in der Haltbarkeit und der Vermeidung von Stauberzeugung werden hochreine Karbonfasern bevorzugt. Insbesondere in dem Fall, bei dem der Erhitzer für Wärmebehandlungen von Halbleiterscheiben im Produktionsprozess der Halbleiter verwendet wird, wird eine Menge von Verunreinigungen in den Karbonfasern von weniger als 10 ppm in Bezug auf Aschegehalte (japanischer Industriestandard JIS R 7223-1979) bevorzugt. Darüber hinaus werden Verunreinigungsgehalte von weniger als 3 ppm noch mehr bevorzugt.
Für die Kombination eines derartigen Karbondraht-Heizelements mit den später zu erläuternden Abdichtanschlüsse wird die thermische Diffusion von Verunreinigungen in jedes Quarzglaselement, welches das Karbondraht-Heizelement und den abgedichteten Anschluss darstellt, verhindern. Als Ergebnis hiervon wird die Entglasung und Degradierung des Quarzglaselements derart verhindert, dass die Betriebsdauer des Abdichtanschlusses verlängert wird.
Das Karbondraht-Heizelement wird vorzugsweise durch Verbinden von 100 bis 800 Karbonfasern in ein Bündel bereitgestellt, die jeweils einen Durchmesser von 5 bis 15 μm aufweisen. Drei oder mehr derartiger Bündel, vorzugsweise 6 bis 13 derartiger Bündel werden vorzugsweise in einen Längsaufbau so wie einen Draht oder ein Band verwebt.
Wenn weniger als 100 Karbonfasern verbunden sind, sind 6 bis 12 derartiger Bündel unzureichend für die Sicherstellung einer vorab bestimmten Festigkeit und eines vorab bestimmten Widerstands. Daher wird ein Webprozess, bei dem eine ausreichende Anzahl von Bündeln miteinander verwoben werden, schwierig.
Zusätzlich können mit einer kleinen Anzahl von Bündeln die verwobenen Bündel als Ergebnis eines teilweisen Bruchs hiervon zu einem solchen Ausmaß sich lösen, dass es schwierig wird, den Aufbau beizubehalten.
Mit mehr als 800 Fasern werden auf der anderen Seite weniger Bündel erforderlich sein, um einen vorab bestimmten Widerstand zu erhalten und es ist schwierig, den gewebten Drahtaufbau beizubehalten.
Darüber hinaus wird das Karbondraht-Heizelement vorzugsweise so ausgestaltet, dass es einen elektrischen Widerstand von 1 bis 20 Ohm pro Meter und Stück bei einer Temperatur von 1000°C aufweist.
Der Grund ist der, dass dies notwendig ist, um das Heizelement auf die Transformatorkapazität in einer Heizvorrichtung für eine generelle Halbleiter-Herstellung anzupassen.
In anderen Worten ist es mit einem Widerstand von mehr als 20 Ohm pro Meter und Stück unmöglich, einen langen Erhitzer aufgrund dessen großen Widerstands zu haben, bei dem die Wärme zwischen den Anschlüssen verloren geht, um so ein Temperaturungleichgewicht zu bewirken.
Auf der anderen Seite ist es mit einem Widerstand von weniger als 1 Ohm pro Meter und Stück erforderlich, einen längeren Erhitzer zu haben, der aufgrund seines geringen Widerstand mehr als notwendig ist. Dies macht es wahrscheinlich, dass eine Temperatur-Unebenheit aufgrund der Irregularität des Aufbaus und der der Umgebungsatmosphäre, die oft mit einem langen Heizelement so wie einem Karbondraht, einem Karbonband oder dergleichen beobachtet wird, herrühren kann.
Der elektrische Widerstand des Karbondraht-Heizelements bei einer Temperatur von 1000°C wird vorzugsweise so eingestellt, dass er 2 bis 10 Ohm pro Meter und Stück aufweist, um einen hohen Grad an Zuverlässigkeit in Bezug auf die Eigenschaften sicherzustellen.
Die Anschlussleitungen 3a und 3b vom Karbondraht-Heizelement 3 sind beispielsweise senkrecht auf die Erhitzeroberfläche 1a von der Öffnung 2c, die einen Durchmesser von 10 mm aufweist und im Hauptelement 2b ausgebildet ist, gezogen.
Die Anschlussleitungen 3a und 3b sind in Quarzglasrohren 5a und 5b mit kleinem Durchmesser aufgenommen, an deren Endabschnitten 5c die Anschlussleitungen 3a und 3b mittels Karbondraht-Elementen A komprimiert sind, um darin aufgenommen zu werden.
Insbesondere werden die Anschlussleitungen 3a und 3b des Karbondraht-Heizelements 3 mittels einer Vielzahl von Karbondraht-Elementen A komprimiert, die parallel zur axialen Richtung der jeweiligen Quarzglasrohre 5a und 5b mit kleinem Durchmesser an deren Endabschnitten 5c angeordnet sind.
In diesem Zusammenhang ist die komprimierte Aufnahme nicht auf die Endabschnitte der Quarzglasrohre 5a und 5b mit kleinem Durchmesser beschränkt, sondern es können Karbondraht-Elemente A entlang der gesamten Länge der Rohre angeordnet sein.
Darüber hinaus wird ein konkretes Beispiel der Karbondraht-Elemente A im Folgenden erläutert. Eine Vielzahl von Karbonfasern, die dem Karbondraht-Heizelement 3 ähnlich sind und jeweils einen Durchmesser von 5 bis 15 μm aufweisen, beispielsweise etwa 300 bis 350 Karbonfasern mit einem Durchmesser von 7 μm werden in ein Bündel gebunden und 9 derartiger Bündel werden in ein gewirktes Seil, einen Zopf oder dergleichen mit einem Durchmesser von etwa 2 mm verwoben.
In diesem Fall trägt die Webspanne des Karbondrahts 2 bis 5 mm oder darüber hinaus, während die Oberflächen-Flauschigkeit des Karbondrahts eine Höhe von 0,5 bis 2,5 mm oder darüber hinaus aufweist.
In diesem Zusammenhang bedeutet „Flauschigkeit" einen Teil von gebrochenen Karbonfasern, die von der äußeren Oberfläche des Karbondrahts hervorstehen, wie dies beim Bezugszeichen 3c in 9 gezeigt ist.
Die Karbondraht-Elemente A werden vorzugsweise aus dem gleichen oder zumindest einem ähnlichen Material wie das des Karbondraht-Heizelements 3 erzeugt, vorausgesetzt dass sie in der Form eines gewirkten Seils oder eines Zopfs vorliegen. In diesem Zusammenhang bedeutet der Begriff „gleiche" vorzugsweise, dass der gleiche Karbonfaserdurchmesser, die gleiche Anzahl von gebundenen Karbonfasern, die gleiche Anzahl von Faserbündeln, das gleiche Wirkverfahren, die gleiche Webspanne, die gleiche Flauschigkeit und das gleiche Material vorliegen.
Wenn die Karbondrähte für die Wärmebehandlung von Halbleiterscheiben im Prozess der Herstellung von Halbleitern wie im Falle des Karbondraht-Heizelements 3 verwendet werden, wird bevorzugt, dass die Menge an in den Karbonfasern des Karbondrahts-Elements A enthaltenen Verunreinigungen weniger als 10 ppm in Bezug auf die Aschegehalte beträgt. Die Menge an derartigen in den Karbonfasern enthaltenen Verunreinigungen ist noch bevorzugter geringer als 3 ppm in Bezug auf die Aschegehalte.
Dann wird die Anzahl der Karbondraht-Elemente A, die in gegenüberliegenden Endabschnitten 5c der Quarzglasrohre 5a und 5b mit kleinem Durchmesser aufgenommen sind, vorzugsweise gleich oder größer als die des Karbondraht-Heizelements 3. Es wird noch mehr bevorzugt, dass wenn 5 oder mehr Karbondraht-Elemente A für jedes Karbondraht-Heizelement 3 vorliegen.
Insbesondere um die Anzahl der Karbondraht-Elemente A auf mehr als 5 mal der Anzahl der Anzahl der Karbondraht-Heizelemente zu erhöhen, beispielsweise 14 Karbondraht- Elemente A für 1 Karbondraht-Heizelement oder 12 Karbondraht-Elemente A für 2 Karbondraht-Heizelemente 3.
Darüber hinaus wird ein Quarzglasrohr 6 mit großem Durchmesser außerhalb der Quarzglasrohre mit kleinem Durchmesser 5a und 5b zur Verfügung gestellt, so dass ein Ende hiervon hermetisch verschmolzen ist, um die Öffnung 2c, aus denen die Anschlussleitungen 3a und 3b des Karbondraht-Heizelements 3 herausgezogen sind, einzuschließen.
In diesem Zusammenhang wird die Flanke des Quarzglasrohrs 6 mit großem Durchmesser mit einer Abzweigröhre 6a bereitgestellt, um Stickstoffgas einzuführen und zu verhindern, dass das Karbondraht-Heizelement 3 oxidiert wird. Diese Abzweigröhre 6a kann ebenso für die Reduzierung des Innendrucks des Erhitzers und des Anschlusses verwendet werden.
Im Anschluss wird eine Erläuterung in Bezug auf den abgedichteten Anschluss 20 gegeben.
Der abgedichtete Anschluss 20 setzt sich aus inneren Verbindungsleitungen 21a und 21b zusammen, die mit den Anschlussleitungen 3a und 3b, die in den Quarzglasrohren 5a und 5b aufgenommen sind, zu verbinden sind; und externen Verbindungsleitungen 22a und 22b, die mit einer nicht gezeigten Energiequelle zu verbinden sind; einem Quarzglasrohr 23, das einen Durchmesser aufweist, um entweder in das Quarzglasrohr 6 mit großem Durchmesser eingeführt zu werden oder dieses aufzunehmen; einen Quarzglaskörper 24, der so angepasst ist, dass er an die Innenwand des Quarzglasrohrs 23 passt; Molybdän(Mo)-Folien 25a und 25b, die leitende Folien für die elektrische Verbindung interner und externer Verbindungsleitungen, die um die äußere Oberfläche des Quarzglaskörpers 24 zurückgehalten werden, darzustellen; sowie ein Stopfenelement 26, um das Ende des Quarzglasrohrs 23 zu verschließen.
In diesem Zusammenhang können das Quarzglasrohr 6 mit großem Durchmesser und das Quarzglasrohr 23 mit einem gleichen Durchmesser erzeugt und miteinander an deren aneinanderstoßenden Enden miteinander verschmolzen werden.
Darüber hinaus kann der Quarzglaskörper 24 aus Vollmaterial bestehen oder hohl sein.
Die internen Verbindungsleitungen 21 und 21b sowie die externen Verbindungsleitungen 22a und 22b können aus einer Molybdän(Mo)- oder Wolfram(W)-Stange mit einem Durchmesser von 1 bis 3 mm erzeugt sein. Der Durchmesser der internen Verbindungsleitungen 21a und 21b sowie die externen Verbindungsleitungen 22a und 22b können wie erforderlich ausgewählt werden, vorausgesetzt dass ein Durchmesser von weniger 1 mm im Hinblick auf einen hohen elektrischen Widerstand nicht bevorzugt wird.
Auf der anderen Seite werden zu große Durchmesser ebenfalls nicht bevorzugt, da die Größe des Anschlusses selbst zu groß wird.
Die inneren Verbindungsleitungen 21a und 21b haben scharfe Spitzen, so dass die inneren Verbindungsleitungen leicht mit den Anschlussleitungen 3a und 3b durch einfaches Einsetzen hier hinein verbunden werden, wobei die Anschlussleitungen 3a und 3b innerhalb der Quarzglasrohre 5a und 5b mit kleinem Durchmesser komprimiert und aufgenommen sind.
In diesem Fall ist die Einführtiefe vorzugsweise 10 mm oder größer, um eine physikalische und elektrische Verkuppelung mit den Anschlüssen 3a und 3b zu gewährleisten.
Darüber hinaus werden die Spitzenenden der inneren Verbindungsleitungen 21a und 21b sowie die der externen Leitungen 22a und 22b in Nuten 24a aufgenommen, die in der äußeren Oberfläche des Quarzglaskörpers 24 ausgebildet sind, um die inneren und äußeren Verbindungsleitungen darin so zurückzuhalten, dass die äußeren Oberflächen der aufgenommenen inneren und äußeren Verbindungsleitungen nicht von der äußeren Oberfläche des Quarzglaskörpers 24 hervorstehen werden.
Darüber hinaus sind die inneren Verbindungsleitungen 21a, 21b und die äußeren Verbindungsleitungen 22a, 22b elektrisch voneinander durch den Quarzglaskörper isoliert, wenn sie in den Nuten 24a aufgenommen sind, und elektrisch durch die Molybdän(Mo)-Folien 25a und 25b miteinander verbunden, was später erläutert werden wird.
Die Molybdän(Mo)-Folien 25a und 25b sind an der äußeren Oberfläche des Quarzglaskörpers 24 so angebracht, dass sie sich daran entlang so erstrecken, dass die inneren Verbindungsleitungen 21a und die äußeren Verbindungsleitungen 22a ebenso wie die inneren Verbindungsleitungen 21b und die äußeren Verbindungsleitungen 22b elektrisch verbunden sind.
Die Molybdän(Mo)-Folien 25a und 25b sind voneinander über eine Distanz S beabstandet, um einen elektrischen Kurzschluss zu verhindern.
Obwohl eine Molybdän(Mo)-Folie für Leitungszwecke verwendet wird, kann ein anderes Material so wie Wolfram(W)-Folie anstelle dessen verwendet werden, obwohl Molybdän(Mo)-Folien in Bezug auf die Elastizität bevorzugt werden.
Darüber hinaus wird für das Blockiermaterial, um das Ende des Quarzglasrohrs 23 zu verstopfen, ein Zementelement, das aus pulverisiertem Aluminiumoxid (Al₂O₃) zusammengesetzt ist, zugeladen.
Das Zementelement wird durch Hinzufügen von Wasser zu pulverisiertem Aluminiumoxid (Al₂O₃) und Trockenabsetzen desselben bei einer Temperatur von 200°C bereitgestellt.
Die Molybdän(Mo)-Folien 25a und 25b reagieren mit Sauerstoff oder Feuchtigkeit bei einer Temperatur höher als 350°C, um dann oxidiert zu werden, wobei während der Oxidation ein Volumen expandiert.
Das Stopfenelement 26 verhindert die Expansion der Molybdän(Mo)-Folien 25a und 25b durch Blockieren der äußeren Atmosphäre, so dass verhindert wird, dass das Quarzglasrohr 23 zerbricht.
Als Stopfenelement kann Harz oder ein Zement unter Verwendung von pulverisiertem SiO₂ anstelle des Zement(Al₂O₃)-Elements verwendet werden, es wird jedoch bevorzugt, ein Zementelement unter Verwendung von Aluminiumoxid (Al₂O₃) als Hauptbestandteil im Hinblick auf die Wärmebeständigkeit und die Unterbindung der Bildung von trockenen Rissen zu verwenden.
Nachstehend wird das Verfahren zur Herstellung des abgedichteten Anschlusses erläutert werden.
Zuerst wird die Bildung eines Gases durch eine vorab bestimmte Wärmebehandlung eliminiert, bevor die Molybdän-Folien 25a, die inneren Verbindungsleitungen 21a und die äußeren Verbindungsleitungen 22a punktgeschweißt werden.
In anderen Worten werden die äußeren Verbindungsleitungen 22a, die innere Verbindungsleitung 21a sowie die Molybdänfolie 25a, die eine Breite von 8 mm und eine Dicke von 35 μm aufweist, verbunden und abgesichert.
In ähnlicher Weise werden die Molybdän(Mo)-Folie 25b, die innere Verbindungsleitung 21b und die äußere Verbindungsleitung 22b punktgeschweißt.
Dann werden die so verbundene externe Verbindungsleitung 22a und die innere Verbindungsleitung 21a durch Einsetzen in die Nut 24a, die im äußeren Umfang des Quarzglaselements 24 ausgebildet ist, zusammengesetzt.
Anschließend wird der so zusammengesetzte Quarzglaskörper 24 weit in das Quarzglasrohr 23 eingeführt, der für eine leichte Entgasung länger als der final abgedichtete Anschluss ausgebildet ist.
Nach der Einführung wird das Quarzglasrohr 23 durch Erhitzen mit einem Säure-Wasserstoffsäure-Gasbrenner von dessen Außenseite an einem Abschnitt aufgeweicht, an dem das Quarzglaselement 24 platziert ist.
Zu diesem Zeitpunkt wird das Quarzglasrohr 23 durch den Atmosphärendruck durch Druck an den Quarzglaskörper 24 angepasst, bis dieser verschmolzen ist, da der Innendruck des Quarzglasrohrs 23 reduziert ist.
Dann wird das Stopfenelement 26 in das Ende der äußeren Verbindungsleitung 22a des Quarzglasrohrs 23 eingesetzt, um dieses zu verschließen.
Nachdem das Stopfenelement 26 getrocknet und abgesetzt ist, wird eine Entgasung mittels einer Vakuumpumpe von oben derart durchgeführt, dass das Innere des Quarzglasrohrs 23, das leicht länger ausgebildet ist, mit einem Vakuum beaufschlagt ist.
Der mit dem oben beschriebenen Verfahren hergestellte abgedichtete Anschluss ist frei von Gasleckagen zwischen der inneren Verbindungsleitung 21a und 21b sowie der äußeren Verbindungsleitung 22a und 22b, die somit getrennt sind.
Im Anschluss wird die Art und Weise, in der der mit diesem Verfahren hergestellte abgedichtete Anschluss an dem Erhitzer 1, in dem das Heizelement abgedichtet ist, angebracht wird, erläutert.

1) Zuerst wird das Quarzglasrohr 6 mit großem Durchmesser, während ein Stickstoffgas durch den Strom in die Seitenröhre 6a injiziert wird, am Hauptelement 2b, das das Quarzglas-Stützelement 2 ausbildet, durch Schweißen angebracht. Zu diesem Zeitpunkt wird eine geeignete Glühbehandlung durchgeführt, um eine Rissbildung zu unterbinden.
2) Die Anschlussleitungen 3a und 3b, die aus einer Vielzahl von Karbondrähten zusammengesetzt sind, werden mit der Hilfe von Schnüren in das Glasrohr 5a und 5b mit kleinem Durchmesser gezogen.

Anschließend, werden das Quarzglasrohr 5a und 5b in die Anbringungslöcher 2c im Hauptelement 2 eingeführt.
In diesem Zusammenhang werden die Karbondraht-Anschlussleitungen 3a und 3b in die Quarzrohre 5a und 5b mit kleinem Durchmesser geführt und durch die Vielzahl von Karbondraht-Elementen A in das Innere der Quarzrohre 5a und 5b mit kleinem Durchmesser hinein und vollständig hindurch komprimiert.
Daher wird jede Bildung von Funken effektiv unterbunden.

3) Jedes Element ist wie in 1 derart angeordnet, dass das Glasrohr 6 mit großem Durchmesser am unteren Teil des Hauptelements 2b angeschweißt wird, während die Oxidation des Karbondraht-Heizelements 3 und der Anschlussleitungen 3a und 3b durch Injizieren von Stickstoffgas von der Seitenröhre 6a unterbunden wird.
4) Der auf diese Weise und wie vorher erläutert hergestellte abgedichtete Anschluss 20 wird von unten in das Quarzglasrohr 6 mit großem Durchmesser derart eingeführt, dass die inneren Verbindungsleitungen 21a und 21b in die Anschlussleitungen 3a und 3b für eine elektrische Verbindung eingeführt werden.
5) Anschließend wird Stickstoffgas von der Seitenröhre 6a hier hinein injiziert, während das Quarzglasrohr 6 mit großem Durchmesser und der abgedichtete Anschluss 20 miteinander an deren Verbindungen für die Anbringung des Abdichtanschlusses verschmolzen werden.
6) Danach wird eine Vakuumpumpe von der Seitenröhre 6a ausgeführt, um den Druck innerhalb des Erhitzers zu reduzieren.

Danach wird die Seitenröhre 6a einem Flamm-Schmelzbetrieb unterzogen, um den Erhitzer abzudichten und dann wird die Seitenröhre entfernt, wodurch die Anbringung des abgedichteten Anschlusses 20 abgeschlossen wird.
Wie vorab detailliert erläutert, trägt der abgedichtete Anschluss gemäß der vorliegenden Erfindung zur Miniaturisierung verglichen mit dem konventionellen Verfahren, bei dem eine plattenähnliche Molybdän-Folie verwendet wird, effektiver bei, da die vorliegende Erfindung durch Nuten gekennzeichnet ist, die in der Außenoberfläche des Glaskörpers ausgebildet sind, um die inneren und äußeren Verbindungsleitungen aufzunehmen, während eine leitende Folie zur Verbindung der inneren und äußeren Verbindungsleitungen entlang der Außenoberfläche des Glaskörpers derart zur Verfügung gestellt ist, dass der Glaskörper innerhalb des Glasrohrs aufgenommen wird.
Darüber hinaus eliminiert die vorliegende Erfindung die Notwendigkeit für konventionelle Verbinder und lediglich die Einführung innerer Verbindungsleitungen in die Anschlussleitungen ist für die Verwirklichung einer vereinfachten elektrischen Verbindung und einen leichten Zusammenbau ausreichend.
Nachstehend wird eine Erläuterung für eine Modifikation der ersten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die 4 und 5 angegeben.
Die in 4 gezeigte Modifikation wird mit einer Harz beschichteten Schicht 27 zwischen dem Quarzglaskörper 24 und dem Stopfenelement 26 ausgebildet.
Durch Bereitstellen der Harz beschichteten Schicht 27 kann der Kontakt der im Zementmaterial des Stopfenelements 26 enthaltenen Feuchtigkeit mit den Molybdän(Mo)-Folien 25a und 25b unterbunden werden. In anderen Worten könnten sich die Molybdän-Folien 25a und 25b andernfalls zum Zeitpunkt des Kontakts mit dessen Feuchtigkeit expandieren. Um einen Bruch des Quarzglasrohrs 23 durch eine derartige Expansion zu verhindern, wird die Harz beschichtete Schicht 27 zur Verfügung gestellt.
Als Material für die wärmebeständige, mit Harz beschichtete Schicht kann Silikon oder Teflon verwendet werden, wobei das erstgenannte bevorzugt wird.
Diese wärmebeständige, mit Harz beschichtete Schicht wird durch Aufbringen eines Harzmaterials im flüssigen Zustand auf die innere Oberfläche der Seite der äußeren Leitung des Glasrohrs mit kleinem Durchmesser, in dem ein Stopfenelement angeordnet ist, und ebenso auf die Seite der äußeren Leitung des Quarzglaskörpers 24 und durch Trocknung des Harzmaterials bereitgestellt. Im Hinblick auf die Bearbeitbarkeit wird Silikon bevorzugt.
Das Vorliegen der wärmebeständigen, mit Harz beschichteten Schicht ermöglicht es, die Oxidation der äußeren Molybdän-Verbindungsleitungen oder der Molybdän-Folien aufgrund des Wasserdampfs, der zu dem Zeitpunkt erzeugt wird, bei dem das Lösungsmittel, das zur Bildung des Stopfenelements verwendet wird, ausdampft, zu verhindern.
Im Anschluss weist die in 5 gezeigte Modifikation ein Rückhaltelement 28 aus geschäumten und opaken Quarzglas auf, um die inneren Verbindungsleitungen 21a und 21b an deren Endabschnitten zurückzuhalten.
Das so bereitgestellte Rückhalteelement 28 verhindert die Deformation der inneren Verbindungsleitungen 21a und 21b zum Zeitpunkt der Einführung in die Anschlussleitungen 3a und 3b. Das Rückhaltelement 28 schirmt ebenso die Wärme von der Seite des Heizelements ab, um eine Degradierung des Aufbaus zu verhindern, in dem das Quarzglasrohr 23 und das Quarzglaselement 24 miteinander verschmolzen sind. Das Rückhaltelement 28 kann ebenso aus opakem Glas bestehen.
Darüber hinaus werden andere Formen zur Verwendung des Abdichtanschlusses gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf 6 erläutert werden.
Der in 6 gezeigte Abdichtanschluss 20 stellt eine Anwendung in einem stangenförmigen Erhitzer 30 zur Verfügung.
Der stangeförmige Erhitzer 30 beinhaltet ein Quarzglasrohr 32 mit kleinem Durchmesser, um ein Karbondraht-Heizelement 31 aufzunehmen; ein Quarzglasrohr 33 mit großem Durchmesser, um das Quarzglasrohr 32 mit kleinem Durchmesser aufzunehmen; und den Abdichtanschluss 20, der in das Karbondraht-Heizelement 31 des Quarzglasrohrs 32 mit kleinem Durchmesser derart einzuführen ist, dass ein Quarzglasrohr 23 mit großem Durchmesser am Quarzglasrohr 33 mit großem Durchmesser angeschmolzen wird.
Das Bezugszeichen 31a in der Figur bezeichnet denjenigen Abschnitt, in dem das Karbondraht-Heizelement 31 so komprimiert wird, dass es in dem Glasrohr 32 mit kleinem Durchmesser aufgenommen wird.
Somit kann der Abdichterhitzer 20 gemäß der vorliegenden Erfindung nicht nur an dem plattenförmigen Erhitzer, wie er in der ersten Ausführungsform zu sehen ist, sondern ebenso an dem stangenförmigen Erhitzer 30 angebracht werden.
In den vorangenannten Ausführungsformen wurde Glas als Quarzglas erläutert, andere Arten von Gläsern inklusive Hochsilikatglas, Borsilikatglas, Aluminiumsilikatglas, Soda-Lime-Glas, Bleiglas oder dergleichen können beispielsweise als Material für einen Erhitzer verwendet werden, der die verschiedenen Lösungen erhitzt, die für eine Nassätzung oder einen Schleifprozess verwendet werden, und diese bei einer niedrigen Temperatur, beispielsweise unterhalb von 100°C, zu regeln.
Der Abdichtanschluss gemäß der vorliegenden Erfindung weist einen kleineren elektrischen Widerstand auf und ist in der Lage, eine Energie zum Erhitzungselement ohne Funkenerzeugung zuzuführen.
Darüber hinaus weist der Abdichtanschluss gemäß der vorliegenden Erfindung einen einfachen Aufbau auf und wird leicht so zusammengesetzt, dass die Anbringungsarbeit in kurzer Zeit ausgeführt wird.
Darüber hinaus verwirklicht der Abdichtanschluss gemäß der vorliegenden Erfindung das Ziel der Miniaturisierung und jede Beschränkung in der Anordnung von Vorrichtungen nahe dem Erhitzer wird minimiert.
Darüber hinaus verwirklicht die Kombination des Karbondraht-Heizelements und des Abdichterhitzers gemäß der vorliegenden Erfindung einen extrem kompakten und vorteilhaften Erhitzer für die Herstellung von Halbleiter, der eine exzellente Wärme-Gleichmäßigkeit unterhalb der Oberfläche aufweist.

Claims

Abdichtanschluss, umfassend Heizelemente (3); interne Verbindungsleitungen (21a, 21b), die elektrisch mit den Heizelementen (3) zu verbinden sind; externe Verbindungsleitungen (22a, 22b) von denen Energie zugeführt wird; leitende Folien (25a, 25b), die die internen (21a, 21b) und die externen (22a, 22b) Verbindungsleitungen elektrisch verbinden; dadurch gekennzeichnet, dass der Abdichtanschluss des Weiteren umfasst: einen Glaskörper (24), der mit einer Vielzahl von Nuten (24a) in dessen äußeren Oberflächen ausgebildet ist, um die internen (21a, 21b) und externen (22a, 22b) Verbindungsleitungen darin aufzubewahren; ein Glasrohr (23), um darin die internen (21a, 21b) und externen (22a, 22b) Verbindungsleitungen so aufzunehmen, dass deren Endabschnitte aus dem Glasrohr (23) hervorstehen, wobei das Glasrohr (23) an dem Glaskörper (24) an dessen äußeren Oberflächen angeschmolzen ist; und ein Stopfenelement (26), um das Glasrohr (23) an dessen Ende zumindest an der Seite der externen Verbindungsleitung zu verschließen.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 1 bezeichnet, wobei der Glaskörper (24) und das Glasrohr (23) aus Quarzglas ausgebildet sind.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 1 oder Anspruch 2 bezeichnet, wobei die internen (21a, 21b) und externen (22a, 22b) Verbindungsleitungen zwei Paare von internen Verbindungsleitungen und externen Verbindungsleitungen beinhalten.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 1 oder Anspruch 2 bezeichnet, wobei die internen (21a, 21b) und externen (22a, 22b) Verbindungsleitungen Elemente beinhalten, die entweder aus Molybdän oder Wolfram erzeugt wurden.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 1 oder Anspruch 2 bezeichnet, wobei die leitenden Folien (25a, 25b) Molybdänfolien beinhalten.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 1 oder Anspruch 2 bezeichnet, wobei das Stopfenelement (26) aus einem Zement erzeugt wurde, der hauptsächlich aus pulverisiertem Aluminiumoxid-Zementmaterial gebildet wurde.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 5 bezeichnet, wobei eine wärmebeständige, mit einem Harz beschichtete Schicht zwischen dem Glaskörper (23) und dem Stopfenelement (26) ausgebildet ist.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 1 bezeichnet, wobei die internen Verbindungsleitungen (21a, 21b) an deren Enden mit einem Rückhalteelement (28) versehen sind, das aus opakem Glas oder geschäumtem Glas erzeugt wurde, wobei das Rückhaltelement dazu verwendet wird, die internen Verbindungsleitungen in dem Glasrohr zurückzuhalten.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 8 bezeichnet, wobei das Glasrohr (23), das opake Glas sowie das geschäumte Glas aus Quarzglas ausgebildet sind.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 1 oder Anspruch 5 bezeichnet, wobei das Aufheizelement (3) aus Karbonfasern ausgebildet ist, die jeweils einen Durchmesser von 5 bis 15 μm aufweisen und in eine Vielzahl von Bündeln eingebunden sind und in gewirkte Seile oder Zöpfe gewebt sind.
Abdichtanschluss wie in Anspruch 8 bezeichnet, wobei die Karbonfasern weniger als 10 ppm Aschegehalt als Verunreinigungen enthalten.