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GEBIET DER
ERFINDUNG
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Diese
Erfindung betrifft im allgemeinen die Schleifbearbeitung von Gegenständen, und
insbesondere eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Schleifbearbeitung
von Gegenständen
unter Benutzung eines Schleifmittels, das mit einem maschinell lesbaren
Muster verschlüsselt
ist, das Information hinsichtlich der Identifizierung des Mittels,
Indexinformation, Servoinformation und dergleichen darstellt.
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ALLGEMEINER
STAND DER TECHNIK
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Es
sind verschiedene Typen automatisierter Schleif- und Poliermaschinen
zur Schleifbearbeitung von Gegenständen unterschiedlicher Zusammensetzung
und Konfiguration entwickelt worden. In der Halbleiterindustrie
sorgt zum Beispiel die Maschinerie der herkömmlichen, chemischmechanischen
Planarisierung (CMP) für
die automatisierte Planarisierung und das Polieren von Halbleiterscheiben.
Ein Beispiel einer automatischen Scheibenpoliervorrichtung wird
in den US-Patentschriften
5,643,044 und 5,791,969 an Lund beschrieben.
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Eine
herkömmliche,
automatisierte Poliermaschine wie die, die in dem oben identifizierten
Patenten beschrieben wird, benutzt typischerweise ein computerunterstütztes Steuersystem,
um den allgemeinen Polierprozess zu steuern. Der Servosteuerprozess,
der bei diesen Maschinerien benutzt wird, basiert typischerweise
auf der Wellendrehzahl eines Antriebsmotors, der eine Rolle Schleifmaterial
durch die Maschinerie antreibt. Die Wellendrehzahl wird mit einem
programmierten Wert verglichen und eine Spannung oder ein Strom,
der zum Moter gespeist wird, wird durch den Servosteuermechanismus
eingestellt, um die wahrgenommene Wellendrehzahl mit dem programmierten Drehzahlwert
auszugleichen.
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Unter
Benutzung dieser Verfahrensweise kann nur eine indirekte Messung
der Schleifrollendrehzahl erhalten werden. Solch eine Verfahrensweise
lässt eine
Reihe Faktoren außer
Betracht, die die Berechnung der tatsächlichen Drehzahl des Schleifmaterials
bezüglich
der Scheibe oder des zu polierenden Gegenstandes bedeutend beeinflussen
können.
Darüber
hinaus gewährleisten
diese herkömmlichen
Servoverfahrensweisen nur einen begrenzten Präzisionsgrad, wenn versucht
wird, während
des Poliervorgangs einen bestimmten Bereich eines Schleifmaterials
mit einem bestimmten Gegenstand in Kontakt zu bringen. Diese und
andere Einschränkungen,
die herkömmlichen,
automatisierten Poliersystemen eigen sind, können eine sehr negative Wirkung
auf die Fähigkeit
des Bearbeitens und des Fertigstellens bestimmter Gegenstände haben,
wie bei Halbleiterscheiben mit einem hohen Präzisionsgrad.
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Obwohl
herkömmliche
Polierverfahrensweisen einen gewissen Automatisierungsgrad gewährleisten,
erfordern viele dieser Verfahrensweisen bei verschiedenen Schritten
menschliches Eingreifen. Zum Beispiel muss ein Benutzer typischerweise
per Hand überprüfen, ob
eine bestimmte Art Schleifmittel für die Bearbeitung einer bestimmten
Art Gegenstand geeignet ist. Ein Fehler, der vom Benutzer in diesem
Zusammenhang begangen wird, hat im allgemeinen schädliche Ergebnisse,
die typischerweise zu Schäden
oder zur Zerstörung
wertvoller Gegenstände
oder zu unerwünschten
Bearbeitungsverzögerungen
führen.
Andere Aspekte herkömmlicher Polier-
und Schleifbearbeitungsverfahren sind bezüglich der Automatisierung ähnlich begrenzt,
wie die Benutzung von teilweise automatisierten oder nicht automatisierten
Inventarsystemen, Diagnosesystemen bezüglich der Maschinenleistung,
Datenverfolgungssystemen für
Schleifmittel/-gegenstände und dergleichen.
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DE-A-41
11 016 offenbart ein Identifizierungssystem für Schleifwerkzeuge, wobei Datenspeicher
benutzt werden, um Daten der Schleifwerkzeuge zu überwachen
und zu speichern. Die Daten werden durch den Schleifprozess erhalten
und von einer entsprechenden Steuerung erfasst und gespeichert. Um
die Verbindung der Daten mit dem entsprechenden Werkzeug zu ermöglichen,
wird ein Datenspeicher in Form eines magnetisierbaren oder optisch
beschreibbaren Codechips direkt auf ein Schleifrad oder ein Regulierungsrad
aufgebracht. Darüber
hinaus wird jeweils ein kombinierter Schreib-Lesekopf auf die Schleifmaschine aufgebracht,
so dass diese den Datenspeicher während des Arbeitsablaufs lesen
oder ihn beschreiben kann. Dies kann während der Anlaufphase der Schleifmaschine
stattfinden, um die Daten zu lesen, und während der Endphase, um die
aktualisierten Daten zu schreiben. Der Durchmesser, die Anzahl der
Schleifprozesse, die maximale Rotationsgeschwindigkeit oder ein
Oberflächenprofil
sind als Daten speicherbar.
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Es
besteht Bedarf an einem System und einem Verfahren zur Schleifbearbeitung
von Gegenständen,
das verbesserte Automatisierungs- und Datenverarbeitungsfähigkeiten
bereitstellt. Es besteht insbesondere ein Bedarf an einer verbesserten
Verfahrensweise zur Steuerung der Bewegung eines Schleifmittels
bezüglich
eines oder mehrerer Gegenstände
während
der Schleifbearbeitung. Es besteht des weiteren der Bedarf an einem
integrierten Informationssystem, das verschiedene Datenerfassungs- und Datenmanipulationsfähigkeiten
aufweist, die unter Benutzung herkömmlicher Schleif- oder Poliermaschinen
gegenwärtig
nicht verfügbar
sind. Die vorliegende Erfindung deckt diese und andere Bedürfnisse ab.
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KURZBESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (siehe Anspruch
8) und ein Verfahren (siehe Anspruch 1) zur Schleifbearbeitung eines
Gegenstandes. Ein Schleifmittel (siehe Anspruch 6) wird mit einem
maschinell erkennbaren Muster bereitgestellt, das Information aufweist,
die im Hinblick auf Typ und Inhalt unterschiedlich sein kann. Das
maschinell erkennbare Muster wird gelesen, während sich das Schleifmittel
bezüglich
des Gegenstandes bewegt, und benutzt, um einen maschinellen Arbeitsablauf
zu initiieren, wie einen Arbeitsablauf, der mit dem Steuern der
Bewegung des Schleifmittels bezüglich
des Gegenstandes in Verbindung steht. Das maschinell erkennbare
Muster kann maschinell erkennbare elektrische Eigenschaften, optische
Eigenschaften, topografische Eigenschaften oder magnetische Eigenschaften
aufweisen. Das Lesen des maschinell erkennbaren Musters kann das
elektrische, optische, mechanische oder magnetische Lesen des maschinll erkennbaren
Musters umfassen, das auf dem Schleifmittel bereitgestellt ist.
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Das
maschinell erkennbare Muster kann Kennzeichen, Vorsprünge, Vertiefungen, Öffnungen, Hohlräume, Farb- oder Pigmentveränderungen, Strichcodes,
magnetische Übergänge oder
periodische Kennzeichnungen aufweisen. Das maschinell lesbare Muster
kann einen ersten Musterbereich und einen zweiten Musterbereich
aufweisen, wobei der erste Musterbereich eine andere maschinell
erkennbare Eigenschaft aufweist als eine maschinell erkennbare Eigenschaft
des zweiten Musterbereichs.
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Das
maschinell erkennbare Muster kann Indexinformation, Servoinformation,
Ausrichtungsinformation oder Information hinsichtlich der Identifizierung
des Schleifmittels aufweisen. Das Muster kann Indexinformation aufweisen,
die benutzt wird, um eine oder mehrere Positionen des Schleifmittels
zu berechnen, an denen das Schleifmittel mit dem gegebenen Gegenstand
in Kontakt tritt. Servoinformation kann ebenfalls als Teil des maschinell
erkennbaren Musters umfasst werden, allein oder in Kombination mit
Indexinformation, und benutzt werden, um die Schleifmittelbewegung
zu steuern, wie zum Beispiel eine Geschwindigkeit oder eine Richtung,
in der sich das Schleifmittel bezüglich des Gegenstandes bewegt.
Das maschinell erkennbare Muster kann des weiteren Ausrichtungsinformation
aufweisen, mit der Veränderungen
in der Schleifmittelausrichtung bezüglich des Gegenstands erwirkt
werden können.
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Information
zur Identifizierung des Schleifmittels, die das maschinell erkennbare
Muster aufweist, kann zur Verifizierung benutzt werden, dass ein
bestimmtes Schleifmittel zur Schleifbearbeitung eines gegebenen
Gegenstandes geeignet ist. Die Bewegung des Schleifmittels kann
im Falle eine Versagens bei der Verifizierung, dass das Schleifmittel zur
Schleifbearbeitung des Gegenstandes geeignet ist, angehalten werden.
Das maschinell erkennbare Muster kann Information zur Identifizierung
einer Position einer oder mehrerer defekter Bereiche aufweisen.
Die Information hinsichtlich defekter Positionen kann benutzt werden,
um die Bewegung des Schleifmittels so zu steuern, dass Kontakt zwischen
den defekten Bereichen und dem Gegenstand vermieden wird.
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Das
Schleifmittel kann ein Gewebe bilden, das eine festgelegte Länge aufweist,
oder alternativ ein kontinuierliches Gewebe sein kann. Das Gewebe kann
zum Beispiel ein dreidimensionales, zusammengesetztes, festes Gewebe
sein, das zur Planarisierung einer Halbleiterscheibe geeignet ist.
Das Schleifmittel kann ebenfalls ein bewegliches Pad oder einen
Schleifschlamm bilden. Das Pad kann bezüglich des Gegenstandes gesteuert
bewegt werden, so dass das Pad und der Schleifschlamm schleifend mit
dem Gegenstand in Kontakt stehen. Das maschinell erkennbare Muster,
das auf dem Pad bereitgestellt ist, kann sodann als Reinigungsverfahren
gelesen werden. Je nach Konfiguration der Schleifbearbeitungsvorrichtung
kann das maschinell erkennbare Muster an einer ersten Leseposition
vor dem Schleifmittel (zum Beispiel Pad oder Schleifschlamm), das mit
dem Gegenstand in Kontakt steht, gelesen werden, und an einer zweiten
Leseposition nach dem Schleifmittel, das mit dem Gegenstand in Kontakt steht,
wie nach einem Reinigungsverfahren. Der Gegenstand, der der Schleifbearbeitung
unterzogen wird, kann einen Siliziumgegenstand, einen Glasgegenstand,
einen Keramikgegenstand, einen Verbundgegenstand, einen Holzgegenstand
oder einen metallischen Gegenstand aufweisen. Der Gegenstand kann
zum Beispiel eine Siliziumscheibe, eine Germaniumscheibe oder eine
Galliumarsenidscheibe und ähnliche
Strukturen aufweisen, die die Herstellung von Vorrichtungen für Halbleiterscheiben
betreffen.
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Eine
andere Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung betrifft ein Schleifmittel zur Schleifbearbeitung
eines Gegenstandes. Das Schleifmittel weist eine Grundschicht auf,
die eine erste Oberfläche
und eine zweite Oberfläche
aufweist. Ein Schleifmaterial ist auf der ersten Oberfläche angeordnet. Ein
maschinell erkennbares Muster ist auf der ersten und/oder der zweiten
Oberflächen
bereitgestellt, das zur Erzeugung eines Steuersignals benutzt wird,
um die Bewegung des Schleifmaterials bezüglich des Gegenstandes zu steuern.
Die erste oder die zweite Oberfläche
können
eine Kante des Schleifmittels bilden. Das maschinell erkennbare
Muster kann eine oder mehrere maschinell erkennbare elektrische
Eigenschaften, optische Eigenschaften, topografische Eigenschaften
oder magnetische Eigenschaften aufweisen. Ein oder mehrere maschinell
erkennbare Streifen können
an dem Schleifmittel befestigt werden, wobei ein erster Musterbereich
auf der ersten und/oder der zweiten Oberfläche des Schleifmittels bereitgestellt
ist, und wobei ein zweiter Musterbereich auf einem oder mehreren
Streifen bereitgestellt ist. Die Streifen können über eine Kante des Schleifmittels
hervorstehen. Das maschinell erkennbare Muster kann auf einem Etikett
bereitgestellt sein, das auf der ersten und/oder der zweiten Oberfläche des Schleifmittels
befestigt werden kann.
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Eine
Vorrichtung zur Schleifbearbeitung eines Gegenstandes gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung weist einen Träger auf, der ein Schleifmittel
stützt,
das ein maschinell erkennbares Muster aufweist, das darauf bereitgestellt
ist. Eine Montagevorrichtung bringt den Gegenstand mit dem Schleifmittel
in und außer
Kontakt. Eine Betätigungseinheit
wird bereitgestellt, um das Schleifmittel bezüglich des Gegenstandes zu bewegen.
Eine Erkennungseinheit erkennt das maschinell erkennbare Muster,
das auf dem Schleifmittel bereitgestellt ist, und eine Steuereinheit
steuert die Bewegung des Schleifmittels bezüglich des Gegenstandes unter Verwendung
des maschinell erkennbaren Musters.
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Die
Erkennungseinheit kann eine elektrische Erkennungseinheit, eine
mechanische Erkennungseinheit oder eine magnetische Erkennungseinheit aufweisen.
Die Erkennungseinheit erkennt Indexinformation, Servoinformation,
Ausrichtungsinformation oder Information hinsichtlich der Identifizierung des
Schleifmittels, die in dem maschinell erkennbaren Muster bereitgestellt
ist.
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Unter
Benutzung von Indexinformation, die in dem maschinell erkennbaren
Muster bereitgestellt ist, berechnet die Steuereinheit eine Position
des Schleifmittels, an der das Schleifmittel mit dem Gegenstand
schleifend in Kontakt steht. Die Steuereinheit kann des weiteren
eine Geschwindigkeit steuern, mit der sich das Schleifmittel bezüglich des
Gegenstandes bewegt, wobei Servoinformation benutzt wird, die das
maschinell erkennbare Muster aufweist. Die Servoinformation kann
ebenfalls von der Steuereinheit benutzt werden, um eine Richtung
der Schleifmittelbewegung bezüglich
des Gegenstandes zu steuern. Des weiteren kann das maschinell erkennbare
Muster Ausrichtungsinformation aufweisen, die von der Steuereinheit
benutzt werden kann, um eine angemessene Ausrichtung des Schleifmittels
bezüglich
des Gegenstandes beizubehalten.
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Vorzugsweise
weist das Verfahren der vorliegenden Erfindung das Erfassen von
Information bezüglich
der Verarbeitung einer oder mehrerer Gegenstände auf. Ein maschinell erkennbares
Muster, das auf einem Schleifmittel bereitgestellt ist, wird gelesen,
und es wird auf eine Datenbank zugegriffen, um unter Benutzung des
maschinell erkennbaren Musters eine Identifizierung des Schleifmittels
zu erhalten. Verschiedene Datentypen, die mit der Bearbeitung des
identifizierten Schleifmittels in Verbindung stehen, werden erzeugt
und in der Datenbank gespeichert. Die gespeicherten Daten können für verschiedene
Identifizierungs-, Datenverfolgungs-, Rechnungsführungs-, Inventar-, Datenhandhabungs-
und Statistikzwecke benutzt werden.
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Das
Verfahren kann die Deaktivierung einer Schleifbearbeitung eines
Gegenstandes umfassen, wenn eine Abfrage der Datenbank ergibt, dass
die Benutzung eines bestimmten Schleifmittels zur Bearbeitung des
Gegenstandes nicht geeignet ist. Die Datenbank kann ebenfalls Inventardaten
speichern, die mit den Schleifmitteln und den Gegenständen in
Verbindung stehen, die sich an einer odere mehreren Bearbeitungsanlagen
befinden. Daten, die mit dem Datendurchsatz von Gegenständen in
Verbindung stehen, die unter Benutzung eines bestimmten Schleifmittels
bearbeitet werden, können
in der Datenbank erfasst und gespeichert werden. Verschiedene Typen
von Bearbeitungsdaten können
lokalen und/oder entfernten Prozessoren mitgeteilt werden.
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Ein
System zur Erfassung von Information hinsichtlich der Bearbeitung
von Gegenständen
unter Benutzung einer Schleifbearbeitungsvorrichtung weist eine
Steuereinheit auf, die mit der Schleifbearbeitungsvorrichtung verbunden
ist. Eine Erkennungseinheit ist mit der Steuereinheit verbunden
und erkennt ein maschinell erkennbares Muster, das auf einem Schleifmittel
bereitgestellt ist, das von der Schleifbearbeitungsvorrichtung benutzt
wird, um die Schleifbearbeitung des Gegenstandes durchzuführen. Ein
Hostprozessor ist mit einem Speicher verbunden, der verschiedene
Typen von Bearbeitungsdaten speichert. Eine Schnittstelle verbindet
den Hostprozessor mit der Steuereinheit der Schleifbearbeitungsvorrichtung.
Der Hostprozessor erhält
von der Steuereinheit Identifizierungsinformation, die mit dem Schleifmittel
in Verbindung steht, und speichert die Information zur Identifizierung
des Schleifmittels in dem Speicher. Der Hostprozessor oder die Steuereinheit
wandeln das maschinell erkennbare Muster unter Verwendung der Information
hinsichtlich der Identifizierung des Schleifmittels in eine entsprechende
Schleifmittelidentität
um.
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Der
Hostprozessor kann bezüglich
der Steuereinheit lokal oder entfernt angeordnet sein. Der Speicher
kann mehrere physische oder virtuelle Speichervorrichtungen aufweisen,
und jede Speichervorrichtung kann bezüglich anderer Speichervorrichtungen
nah oder entfernt angeordnet sein. Der Hostprozessor kann mit Daten
arbeiten, die im Speicher gespeichert sind, um mehrere Identifizierungs-, Verfolgungs-,
Rechnungsführungs-,
Inventar-, Handhabungs- und Statistikfunktionen auszuüben.
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Zum
Beispiel kann die Identität
des zu bearbeitenden Gegenstandes unter Verwendung der Schleifbearbeitungsvorrichtung
in dem Speicher gespeichert werden, und der Hostprozessor bringt
die Gegenstandsidentität
mit der Information hinsichtlich der Identifizierung des Schleifmittels
in Verbindung, um zu verifizieren, dass die Bearbeitung des Gegenstandes
unter Benutzung des Schleifmittels geeignet ist. Der Hostprozessor
teilt der Steuereinheit im Falle einer erfolglosen Verifizierung,
dass die Bearbeitung des Gegenstandes unter Benutzung des Schleifmittels
geeignet ist, ein Sperrsignal mit. Die Steuereinheit sperrt die
Bearbeitung des Gegenstandes in Antwort auf das Sperrsignal. Die
Identität
des Gegenstandes kann unter Benutzung verschiedener Eingabevorrichtungen
in den Speicher eingegeben werden, die zum Beispiel eine Tastatur,
eine Spracherkennungsvorrichtung, eine optische Scannvorrichtung
oder einen Strichcodeleser umfassen.
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Die
voranstehende Kurzdarstellung der vorliegenden Erfindung hat nicht
die Absicht, jede Ausführungsform
oder jede Anwendung der vorliegenden Erfindung zu beschreiben. Vorteile
und Errungenschaften werden zusammen mit einem vollständigeren
Verständnis
der Erfindung im Hinblick auf die folgende, detaillierte Beschreibung
und Ansprüche
in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen verdeutlicht und
veranschaulicht werden.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 und 2 zeigen
Schleifbearbeitungsvorrichtungen, die ein Gewebe aus Schleifmaterial
verwenden, das gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung mit Information verschlüsselt ist;
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3A und 3B stellen
Muster verschiedener Informationstypen dar, die gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung auf einem Schleifmittel verschlüsselt und
von einem Schleifmittel gelesen werden können;
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4 stellt
eine Ausführungsform
einer Lesevorrichtung zum Lesen eines Informationsmusters dar, das
auf einem Schleifgewebe bereitgestellt ist;
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5 stellt
eine andere Ausführungsform
einer Lesevorrichtung zum Lesen eines Informationsmusters dar, das
auf einem Schleifgewebe bereitgestellt ist;
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6 stellt
ein anderes Muster verschiedener Informationstypen dar, die gemäß den Prinzipien der
vorliegenden Erfindung auf einem Schleifmittel verschlüsselt und
von einem Schleifmittel gelesen werden können;
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7 veranschaulicht
eine Ausführungsform
eines Steuersystems, das angewendet werden kann, um eine Schleifbearbeitungsvorrichtung
gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung zu steuern;
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8 ist
eine Veranschaulichung eines Informationssystems, das einen Prozessor
aufweist, der mit mehreren Datenbanken kommuniziert, um gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung mehrere Datenverarbeitungsaufgaben auszuführen;
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9 stellt
in Form eines Flussdiagramms mehrere Schritte bezüglich eines
automatisierten Prozesses dar, bei dem nur bestimmte Schleifmittel benutzt
werden, um bestimmte Gegenstände
gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zu bearbeiten;
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10 stellt
in Form eines Flussdiagramms mehrere Schritte bezüglich eines
automatisierten Prozesses dar, bei dem prozessbezogene Daten verfolgt
werden, die mit der Schleifbearbeitung eines bestimmten Gegenstandes
gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung in Verbindung stehen; und
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11 stellt
in Form eines Flussdiagramms mehrere Schritte bezüglich eines
automatisierten Prozesses dar, der ein Inventar von Schleifmitteln und
Gegenständen
verwaltet, die gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung einer Schleifbearbeitung unterzogen werden
sollen.
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Während die
Erfindung verschiedenen Modifikationen und alternativen Formen unterliegt,
sind ihre Besonderheiten durch Beispiele in den Zeichnungen dargestellt
worden und werden nun detailliert beschrieben. Es versteht sich
jedoch, dass keine Beschränkung
der Erfindung auf die einzelnen Ausführungsformen beabsichtigt ist.
Vielmehr wird der Schutzbereich der Erfindung durch die angehängten Ansprüche definiert.
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DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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In
der folgenden Beschreibung der dargestellten Ausführungsformen
wird auf die beiliegenden Zeichnungen Bezug genommen, die ein Teil
davon sind und in denen durch Veranschaulichung mehrere Ausführungsformen
dargestellt werden, in denen die Erfindung Anwendung finden kann.
Es versteht sich, dass die Ausführungsformen
benutzt und strukturelle Veränderungen
vorgenommen werden können,
ohne den Schutzbereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
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Bezüglich der
Zeichnungen und insbesondere bezüglich 1 wird
eine Schleifbearbeitungsvorrichtung 20 dargestellt, die
ein Schleifmittel zur Schleifbearbeitung von Gegenständen verwendet, die
mit dem Schleifmittel in Kontakt gebracht werden. In der Ausführungsform,
die in 1 dargestellt ist, bildet das Schleifmittel ein
Gewebe, das mit einer Schicht Schleifmaterial versehen ist. Es versteht sich,
dass der Begriff Schleifmittel im Kontext der vorliegenden Erfindung
viele Typen von Schleifmittelkonstruktionen unterschiedlicher Konfigurationen und
Materialien umfasst und nicht auf eine Konfiguration des Gewebemitteltyps
oder auf andere Schleifmittelkonfigurationen beschränkt ist,
die hierin spezifisch beschrieben werden.
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Insbesondere
umfasst ein Schleifmittel, das für
die Benutzung gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung geeignet ist, solche, die eine kontinuierliche
Konfiguration oder eine bandartige Konfiguration aufweisen. Ein
diskretes Schleifmittel, das eine runde oder tellerförmige Konfiguration
aufweist, wird ebenfalls in Betracht gezogen. Es versteht sich, dass
Schleifmittel mit anderen geometrischen Formen ebenfalls in Betracht
gezogen werden.
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Des
weiteren kann ein Schleifmittel, das für die Benutzung gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung geeignet ist, als dreidimensionales, zusammengesetztes
Schleifgewebe verwendet werden. Eine andere geeignete Schleifmittelkonstruktion weist
in Kombination mit einem Schleifschlamm ein Pad wie ein elastisches
Pad auf. Ein Schleifmittel, das eine Läpp- oder Polierschicht aufweist, wird allein
oder in Kombination mit einem strukturierten Substrat ebenfalls
in Betracht gezogen, wie ein Läppschichtmittel,
das in US-Patentschrift Nr. 5,897,424 beschrieben und hiermit durch
Bezugnahme vollständig
aufgenommen wird. Demgemäß ist ein Schleifmittel,
das für
die Verwendung im Kontext der vorliegenden Erfindung bestimmt ist,
nicht auf die Schleifmittelformen beschränkt, die hierin beschrieben
werden.
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Gemäß der in 1 dargestellten
Ausführungsform
wird ein Schleifgewebe 30 von einer Zuführrolle 28 in die
Schleifbearbeitungsvorrichtung 20 eingeführt, bewegt
sich während
der Schleifbearbeitung in Längsrichtung
durch den Transportmechanismus der Vorrichtung 20 und wird
auf eine Aufnahmerolle 29 gewickelt. Das Schleifgewebe 30 kann Schleifmischungen
umfassen, die denen ähnlich sind,
die in US-Patentschrift Nr. 5,152,917 an Pieper et al. beschrieben
und hiermit durch Bezugnahme vollständig aufgenommen werden.
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In
einem allgemeinen Arbeitsablauf wird ein Gegenstand 24,
der unter Benutzung der Schleifbearbeitungsvorrichtung 20 bearbeitet
werden soll, in der Vorrichtung 22 angeordnet. Die Vorrichtung 22 wird
typischerweise gesteuert, um einen oder mehrere Gegenstände 24 mit
dem Schleifgewebe 30 während
der Schleifbearbeitung in und außer Kontakt zu bringen. Die
Oberfläche 37 des
Gewebes 30, die kein Schleifmaterial aufweist, bewegt sich über der
Oberfläche
eines Tisches 26. Der Tisch 26 hält den Kräften stand,
die durch die Abwärtsbewegung
der Vorrichtung 22 auf das Gewebe 30 ausgeübt werden, wenn
die Gegenstände 24 gegen
das Gewebe 30 gedrängt
werden.
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Die
Vorrichtung 22 bewegt sich typischerweise in einer im wesentlichen
ringförmigen
oder ellipsenkreisförmigen
Weise, während
sie die Gegenstände 24 gegen
das Schleifgewebe 30 drängt.
Der Schleifbearbeitungsgrad der Gegenstände 24, die von der
Vorrichtung 20 bearbeitet werden, ist durch das angemessene
Steuern der Geschwindigkeit und der Richtung der Gewebebewegung,
der Bewegung der Vorrichtung 22 und der Kontaktkraft zwischen den
Gegenständen 24 und
der Schleifoberfläche 35 des
Gewebes 30 steuerbar. Das Schleifgewebe 30 kann
zum Beispiel gesteuert werden, um sich zunehmend bei einer festgelegten
Länge oder
bei veränderbaren
Längenschritten
zu bewegen. Das Schleifgewebe 30 kann ebenfalls gesteuert
werden, um sich gleichmäßig und
kontinuierlich zu bewegen, wie mit einer bestimmten Geschwindigkeit
während
der Schleifbehandlung eines Gegenstandes 24. Alternativ
oder außerdem
können
die Gegenstände 24 feststehend
von der Vorrichtung 22 gehalten werden, während das
Schleifgewebe 30 auf gesteuerte Weise vor und zurück bewegt
wird.
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Gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung wird eine Oberfläche des Schleifgewebes 30, wie
eine Oberfläche 37,
die kein Schleifmaterial aufweist, mit einem Muster bereitgestellt,
das von einer Lesevorrichtung 32 wahrgenommen werden kann. Die
Oberfläche 35,
die Schleifmaterial aufweist, kann ebenfalls mit einem Muster bereitgestellt
werden, das von der Lesevorrichtung 32 gelesen werden kann. Darüber hinaus
können
eine oder beide Kanten des Schleifgewebes 30 mit einem
Muster bereitgestellt werden. Man wird zu schätzen wissen, dass eine oder
mehrere Oberflächen
des Schleifgewebes 30 mit einem Muster bereitgestellt werden
können,
das von der Lesevorrichtung 32 wahrgenommen werden kann.
Es wird darauf hingewiesen, dass verschiedene Oberflächen des
Schleifgewebes 30 mit verschiedenen Mustern bereitgestellt
werden können,
die wiederum verschiedene Informationstypen darstellen können.
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Das
Muster, das auf einer oder mehreren Oberflächen des Schleifgewebes 30 bereitgestellt wird,
kann verschiedene Informationstypen darstellen, die beim Identifizieren
der Eigenschaften des Schleifgewebes 30 un beim Ausführen mehrerer Schleifbearbeitungsfunktionen
und Arbeitsabläufe der
Informationssammlung und -verarbeitung nützlich sind. Wie weiter unten
detaillierter beschrieben werden wird, kann die Information, die
auf dem Schleifgewebe 30 verschlüsselt ist, den Schleifmittelnamen,
Hersteller, Herstellungsdatum, Rollennummer, Postennummer und andere
Identifizierungsinformation angeben. Die Musterinformation kann
außerdem
Indexinuster aufweisen, die benutzt werden, um die Position des
Schleifgewebes 30 bezüglich
einer Bezugsposition wie einer Rollenanfangsposition zu bestimmen.
Des weiteren kann das maschinelle erkennbare Informationsmuster,
wenn es gelesen und interpretiert wird, benutzt werden, um einen
Maschinenarbeitsablauf auszulösen,
wie das Auslösen des
Hochfahrens der in 1 dargestellten Poliervorichtung 22,
wenn ein Rollenendemuster gelesen oder ein Reinigungsverfahren des
Schleifgewebes 30 und/oder des Tisches 26 durchgeführt wird,
wenn ein Indexinuster zum Beispiel bei jedem Fuß Gewebelänge gelesen wird.
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Das
Informationsmuster kann ebenfalls Servomuster aufweisen, die benutzt
werden, um die Steuerung der Schleifgewebebewegung zu ermöglichen.
Zum Beispiel kann ein Servosteuersystem der Schleifbearbeitungsvorrichtung 20 die
Geschwindigkeit, die Beschleunigung und die Richtung des Schleifgewebes 30 steuern
und ebenfalls für
die kontinuierliche oder schrittweise Steuerung der Schleifgewebebewegung
sorgen. Des weiteren können
die Servomuster allein oder in Verbindung mit Indexmustern benutzt
werden, um einen bestimmten Bereich des Schleifgewebes 30 anzuordnen
und erneut anzuordnen, um mit einem bestimmten Gegenstand bei einem
hohen Präzisionsgrad
in Kontakt zu treten.
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Ausrichtungsinformation
kann entlang einer oder mehrerer Bahnen des Gewebes 30 ebenfalls auf
dem Schleifgewebe 30 gemustert sein. Zum Beispiel können eine
oder mehrere Bahnen von Ausrichtungsmustern auf dem Gewebe 30 bereitgestellt
werden, die im wesentlichen parallel zur Längsachse des Gewebes verlaufen.
Die Ausrichtungsmuster können benutzt
werden, um die Position des Schleifgewebes 30 anzupassen
und eine gewünschte
Richtungsausrichtung beizubehalten, während sich das Gewebe 30 durch
die Schleifbearbeitungsvorrichtung 20 fortbewegt.
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Die
Musterinformation, die auf dem Schleifgewebe 30 bereitgestellt
wird, kann mehrere Formen annehmen. Im allgemeinen kann die Musterinformation
eine Eigenschaft aufweisen, die von einer Maschine, einer Vorrichtung
oder einer anderen automatisierten Anwendung erkannt werden kann.
Das Muster, das auf dem Schleifgewebe 30 bereitgestellt wird,
kann zum Beispiel eine elektrische Eigenschaft, eine optische Eigenschaft,
eine topografische Eigenschaft, eine magnetische Eigenschaft oder
eine andere Eigenschaft oder eine Kombination von Eigenschaften
aufweisen, die von einer automatisierten Anwendung erkannt werden
können.
Zum Beispiel kann die in den Figuren dargestellte Lesevorrichtung 32 durch
elektrisches, optisches, mechanisches oder magnetisches Lesen des
Musters ein oder mehrere Muster lesen, die auf dem Schleifgewebe 30 bereitgestellt
sind.
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Als
nicht einschränkende
Beispiele kann das Muster, das auf dem Schleifgewebe 30 bereitgestellt ist,
durch Drucken einer Pigmenttinte oder -farbe auf das Gewebe 30 hergestellt
werden; durch Bilden eines Lochmusters durch das Gewebe 30;
durch Bilden eines Musters mit Vertiefungen und Rillen in der Oberfläche des
Gewebes 30; durch Bilden des Musters als Bestandteil des
Gewebes, wie das Hinzufügen
oder Weglassen von Farbstoffen; durch Befestigen vorbedruckter Etikettenmaterialien
an das Gewebe 30; durch Befestigen von Streifen, die bezüglich Leitfähigkeit
und optischer Eigenschaften hinsichtlich des Gewebes 30 unterschiedlich
sind; oder durch Bilden eines Musters mit magnetischen Übergängen auf
dem Gewebe 30. Entsprechend jeder Gewebemarkierungstechnik
gibt es viele Techniken zur Abfrage der Markierungen. Diese Abfragetechniken
können
die Benutzung optischer Transmission, optischen Reflexionsgrades,
elektrischer Leitfähigkeit,
mechanischer Sonden, fluidischer Sonden, magnetischer Leseelemente
und dergleichen umfassen.
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Die
Position der Muster kann in mehreren Formen vorliegen, die umfassen,
aber nicht beschränkt
sind auf Untergewebemuster in einzelnen oder vielfachen Bahnen quer über das
Gewebe 30; Muster entlang einer oder mehrerer Kanten des
Gewebes 30; Muster entlang der inneren Oberfläche des
Rollenkerns 31, auf der Kappe des Rollenkerns 31,
oder als Teil des Gewebeverpackungsmaterials. Ein einzelnes Gewebe 30 kann
ein oder mehrere Muster an mehr als einer Position aufweisen (zum Beispiel
Unter- oder Kreuzgewebe), um mehr als einen Typ Sensorvorrichtung
aufzunehmen oder um den Nutzen der Muster auszuweiten. Als Beispiel, und
wie vorstehend beschrieben, können
Muster ähnlicher
oder unterschiedlicher Konfiguration in vielfachen Bahnen quer über das
Gewebe 30 oder auf anderen Teilen des Gewebes 30 angeordnet
werden, und getrennte Sensoren können
benutzt werden, um die Muster zum Ausführen einer Reihe von Funktionen
zu lesen, umfassend Datensammlungs, Index-, Servo-, Ausrichtungsfunktionen
oder andere Funktionen wie zum Beispiel die Optimierung der Schleifmaschinenleistung
und das Erkennen der Gewebespannung.
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Gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung weist die Schleifbearbeitungsvorrichtung 20 eine
Lesevorrichtung 32 auf, die in 1 unter
dem Schleifgewebe 30 montiert dargestellt ist. Die Lesevorrichtung 32 kann
einen optischen Sensor 36 und eine Lichtquelle 34 aufweisen.
Die Lichtquelle 34 und der optische Sensor 36 wirken
zusammen, um unterscheidbare Übergänge optisch
wahrzunehmen, die auf dem Schleifmaterial 30 bereitgestellt sind.
Die Lesevorrichtung 32 kann zum Beispiel einen Strichcodeleser
aufweisen, der mehrere parallele Striche unterschiedlicher Breite
und Abstands wahrnimmt, wie die Striche des Strichcodes 56,
der in 3A in einer Weise dargestellt
ist, die auf dem Fachgebiet bekannt ist.
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Gemäß einer
anderen Ausführungsform kann
die Lesevorrichtung 32 eine Scannvorrichtung bilden, die
auf dem Schleifgewebe 30 vorgedruckte Kennzeichen liest.
Die Kennzeichen können
alphanumerische Zeichen aufweisen, die unter Benutzung optischer
Zeichenerkennung oder anderer geeigneter Techniken interpretiert
werden können.
Die Kennzeichen können
des weiteren eine Kombination alphanumerischer Zeichen und anderer
Zeichen und Markierungen aufweisen, wie vertikale, horizontale, diagonale
und andere Linien und Symbole, die in verschiedenen geometrischen
Konfigurationen vorliegen.
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Bezüglich der
Ausführungsform,
die in 2 dargestellt ist, kann die Lesevorrichtung 32 einen Sender 44 und
eine Erkennungseinheit 46 aufweisen, die an gegenüberliegenden
Seiten des Schleifgewebes 30 zusammenwirken, um optisch
unterscheidbare Übergänge wahrzunehmen,
die darauf bereitgestellt sind. Gemäß dieser Ausführungsform kann
das Informationsmuster mehrere Öffnungen durch
das Schleifgewebe 30 aufweisen. Alternativ kann das Muster
mehrere Vertiefungen oder Bereiche des Gewebes 30 aufweisen,
die genügend
lichtdurchlässig
sind, um eine erforderliche Menge Licht von dem Sender 44 zur
Erkennungseinheit 46 durchzulassen. Variationen in der
Lichtundurchlässigkeit oder Übertragbarkeit
des Gewebes 30 können
durch gemeinsame Benutzung des Senders 34 und der Erkennungseinheit 46 erkannt
werden.
-
Die
Ausführungsformen,
die in 4 und 5 dargestellt sind, veranschaulichen
Lesevorrichtungen 32, die mechanisch mit Mustern zusammenwirken,
die auf dem Gewebe 30 bereitgestellt sind. Zum Beispiel
ist in 4 eine Lesevorrichtung 32 so angeordnet,
dass sie topologische Muster liest, die auf der unteren Oberfläche 37 des
Gewebes 30 bereitgestellt sind. Die Lesevorrichtung 32 kann
einen Sensor 70 aufweisen, der topologische Variationen
wie Vorsprünge
und Vertiefungen wahrnimmt, die auf die untere Oberfläche 37 des
Gewebes 30 gestanzt oder anderweitig darauf bereitgestellt
sind. Eine Umwandlungsanordnung 72 kann bereitgestellt werden,
um die mechanisch wahrgenommene Musterinformation in ein entsprechendes
elektrisches oder optisches Signal umzuwandeln. Die Umwandlungsanordnung 72 kann
des weiteren einen Entschlüsselungskreislauf
zum Entschlüsseln
der wahrgenommenen Musterinformation aufweisen. Das Entschlüsseln der
wahrgenommenen Musterinformation kann alternativ durch einen nachgeschalteten Kreislauf
oder einen entfernt positionierten Prozessor durchgeführt werden.
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Die
Ausführungsform
der Lesevorrichtung 32, die in 5 dargestellt
ist, nimmt ein Informationsmuster wahr, das entlang einer Kante 39 des Schleifgewebes 30 bereitgestellt
ist. Das Informationsmuster kann topologische Variationen ähnlich der oben
bezüglich 4 beschriebenen
aufweisen. Das Informationsmuster, das entlang der Kante 39 des Schleifgewebes 30 bereitgestellt
ist, kann ebenfalls die Form von Kerben annehmen, die eine gekerbte Kantenkonfiguration
bereitstellen.
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Alternativ
kann das Informationsmuster aus 4 und 5 magnetische Übergänge bilden,
die auf einer magnetisierbaren Schicht oder einem Streifen verschlüsselt sind,
die kontinuierlich oder auf ausgewählten Bereichen entlang einer
Kante 39 des Schleifgewebes 30 verlaufen. Das
Beschreiben und Lesen magnetischer Information auf und von der magnetisierbaren
Schicht oder den Kantenbereichen kann unter Benutzung mehrerer bekannter
magnetischer Aufzeichnungs-/Schreibtechniken durchgeführt werden.
In dieser Ausführungsform
brauchen Sensoren 70 und 80, die ein magnetisches
Leseelement wie eine Dünnschicht
oder ein magnetwiderstandsbeständiges
Leseelement aufweisen, nicht in physischen Kontakt mit der Kante
oder der anderen Oberfläche
des Schleifgewebes 30 zu treten, die mit magnetischer Information
verschlüsselt
ist.
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Die 3A, 3B und 6 veranschaulichen
Muster verschiedener Informationstypen, die gemäß den Prinzipien der Erfindung
auf dem Schleifgewebe 30 verschlüsselt sein und davon gelesen werden
können. 3A veranschaulicht
mehrere unterschiedliche Formen verschlüsselter Information, die im
allgemeinen parallele Markierungen benutzt. Wie oben beschrieben,
können
die Markierungen, die in 3A dargestellt
sind, gedruckte Kennzeichen, topologische Variationen, optisch unterscheidbare
Variationen, magnetische Übergänge oder
andere Formen maschinell erkennbarer Medien repräsentieren. Es wird darauf hingewiesen,
dass die Muster, die in 3A dargestellt
sind, auf jeder Oberfläche
des Schleifgewebes 30 bereitgestellt werden können.
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Das
Muster in Bereich 52 stellt mehrere Markierungen mit vielfachen
Kanälen
dar, die für
Index- oder Servozwecke benutzt werden können. Insbesondere weist der
Bereich 52 drei Markierungskanäle auf, nämlich die Kanäle 53, 54 und 55.
Die Markierungen der drei Kanäle
verändern
sich je nach Markierungsdichte und relativem Abstand zwischen benachbarten
Markierungen. Die weiter auseinanderliegenden Markierungen von Kanal 55 können zum
Beispiel große
Gewebeverlagerungsveränderungen
von einer Markierung zur nächsten
anzeigen. Die Markierungen von Kanal 54 und 53 können kleinere
Veränderungen
in der Gewebeverlagerung anzeigen. Das Erhöhen der Kanalanzahl und des
relativen Abstands zwischen den Kanalmarkierungen sorgt für eine erhöhte Auflösung des
Verschlüsselungsschemas
und somit für
eine präzisere
Berechnung der Gewebeverlagerung und für eine größere Steuerung der Gewebebewegung.
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Der
Bereich 58 stellt im allgemeinen ein Servomuster mit vielfachen
Kanälen
dar, das benutzt werden kann, um die Bewegung des Schleifgewebes 30 während der
Schleifbearbeitung eines Gegenstandes zu steuern. Der Bereich 58 weist
vier Servomarkierungskanäle
auf, nämlich
Kanal 60, 61, 62 und 63. Das
Muster mit vielfachen Kanälen
an dem Bereich 58 kann ebenfalls benutzt werden, um eine
angemessene Ausrichtung beizubehalten, während sich das Schleifgewebe 30 durch
die Schleifbearbeitungsvorrichtung 20 bewegt. Die Servomarkierungen von
Bereich 58 werden von einer Lesevorrichtung 32 wahrgenommen
und einem Prozessor mitgeteilt, der die Servodaten interpretiert,
um die Bewegung des Schleifgewebes bezüglich eines oder mehrerer Gegenstände während der
Schleifbearbeitung zu steuern. Der Fachmann wird zu schätzen wissen,
dass viele bekannte Servotechniken angewendet werden können, um
die Bewegung des Schleifgewebes als Antwort auf Servomarkierungen,
die auf dem Schleifgewebe 30 bereitgestellt sind, angemessen
zu steuern. Die Servomarkierungen, die in Bereich 58 dargestellt
sind, können
zum Beispiel ein Quadratur-Burst-Muster einer Konfiguration repräsentieren, die
oft in der Servotechnik benutzt wird, um eine Servosteuerung mit geschlossenem
Regelkreis eines Prozesses zu bewirken. Die Servotechniken, die
zum Beispiel in US-Patentschriften
Nr. 5,452,150 und 5,661,616 beschrieben werden, können für die Verwendung
in einer Schleifbearbeitungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung
angepasst werden. US-Patentschriften Nr. 5,452,150 und 5,661,616
werden hiermit jeweils durch Bezugnahme vollständig aufgenommen.
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Die
Servomarkierungen, die in Bereich 58 dargestellt sind,
können
beispielsweise alleine oder in Verbindung mit den Indexmarkierungen
von Bereich 52 benutzt werden, um die Bewegung des Schleifgewebes
zu steuern, um frisches Schleifmittel bereitzustellen, wenn die
Zwischenschichten einer oder mehrerer Halbleiterscheiben poliert
werden. Der Servosteuerungsprozessor kann die Bewegung des Schleifgewebes
kontinuierlich oder zunehmend steuern. Die Servomarkierungen können ebenfalls
in einem Kalibrierverfahren benutzt werden, um den Servomotor zu
kalibrieren, der benutzt wird, um das Schleifgewebe 30 durch
die Schleifbearbeitungsvorrichtung zu indexieren. Außerdem können die
Servomarkierungen benutzt werden, um das Schleifgewebe 30 in
eine bekannte Ausrichtung bezüglich
des Gewebetransportmechanismus zurückzuversetzen. Das Schleifgewebe 30 kann
zum Beispiel während der
Bearbeitung mehrerer Scheiben langsam fortbewegt und schnell zurückgespult
werden, um den benutzten Bereich des Gewebes 30 innerhalb
einer Reinigungsvorrichtung zu positionieren, und dann schnell zur
Polierstation fortbewegt werden, um ein früheres Positionieren des Gewebes 30 zu
wiederholen.
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Indexmarken
und Identifizierungsmarkierungen können in Kombination benutzt
werden, um den Bereich des Schleifgewebes 30 näher zu definieren, der
zum Polieren einer spezifischen Scheibe benutzt wurde. Zum Beispiel
können
die Polierpositionen, die mit der Bearbeitung eines spezifischen
Gegenstandes in Verbindung stehen, als 23 Indexmarken nach der Identifizierungsmarkierung 82 Fuß vom Beginn der
Rolle XXX des Postens YYY beschrieben werden.
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Ein
in 3A dargestelltes Muster kann des weiteren benutzt
werden, um den benutzten Schleifgewebetyp, die Identität des bestimmten,
benutzten Gewebes und den Bereich des benutzten Gewebes 30 zu
idententifizieren, um einen gegebenen Gegenstand zu polieren, wie
eine Scheibe oder eine Abfolge von Scheiben. Durch das Wahrnehmen
der Gewebemarkierungsmuster können
die Identifizierungsmarken optional die Indexmarkenfunktion bereitstellen.
Zum Beispiel können
die Identifizierungsmarken „Anfang
der Rolle" und „Ende der
Rolle" ebenfalls
benutzt werden, um einen Unterbrechungs- und/oder Umschaltmodus
auf einer bestimmten Schleifbearbeitungsmaschine zu signalisieren.
Identifizierungsmarkierungen können
alternativ auf einem Kern oder einem Flansch bereitgestellt werden,
die mit dem Schleifgewebe 30 in Verbindung stehen, wie
die Markierungen 33, die auf dem Kern 31 der in 1 dargestellten
Zuführrolle 28 bereitgestellt
sind.
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3B stellt
eine andere Ausführungsform eines
maschinell erkennbaren Musters dar, das für verschiedene Steuerungs-
Index- und Identifizierungszwecke benutzt werden kann. Das in 3B dargestellte
Muster weist ein Anfangsfeld 72 auf, das die Position des
Schleifgewebes 30 anzeigt, an der die Schleifbearbeitung
initiiert werden kann. Nach dem Anfangsfeld 72 ist ein
Synchronisierungsfeld 73 angeordnet, das den Anfang eines
neuen Blocks Musterinformation anzeigt. In einer Ausführungsform weist
das Schleifgewebe 30 einen oder mehrere Rahmen einer Musterinformation
auf, die die Länge des
Gewebes 30 umspannen, wobei jeder Rahmen eine Anzahl von Blöcken enthält. Zum
Beispiel kann ein Schleifgewebe 30, das eine zweckdienliche
Länge von
80 Fuß aufweist,
einen Einzelrahmen von 80 Fuß und
80 Blöcke
von jeweils 1 Fuß innerhalb
des Einzelrahmens aufweisen.
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Das
in 3B dargestellte Muster weist des weiteren ein
ID-Feld 74 auf, das das Schleifmittel (zum Beispiel Rollennummer,
Postennummer) identifiziert und des weiteren Indexmarkierungen aufweist, wie
Fuß- und
Zoll-Indexmarkierungen.
Ein Lückenfeld
(nicht dargestellt), das keine Markierungen aufweist, kann ebenfalls
zum Zweck der Servoindexkalibrierung umfasst werden. Ein Servo-Burst-Muster 76 wird
umfasst, um das Servoindexieren und Kalibrieren zu erleichtern.
Das Servo-Burst-Muster kann Marken von 1/4 Zoll bis 1/8 Zoll umfassen.
Die Größe und der
Abstand der Marken kann je nach Auflösungsanforderungen verändert werden.
Die Endrollenmarkierungen 77 können in der Nähe des Endes des
Nutzbereichs des Schleifgewebes 30 bereitgestellt werden.
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Das
in 6 dargestellte Muster stellt ein Muster 86 dar,
das topologische Variationen aufweist, die von einer mechanischen
Lesevorrichtung 32 des vorher bezüglich 4 und 5 beschriebenen Typs
gelesen werden können.
Das Muster 86 kann ein Muster von Öffnungen bilden, die durch
das Schleifgewebe 30 oder eine Reihe Vertiefungen und/oder
Vorsprünge
gestanzt werden können.
Das Muster 86 kann ebenfalls diskrete, magnetische Übergänge darstellen,
die auf dem Schleifgewebe 30 vorbeschrieben und von einer
magnetischen Lesevorrichtung 32 während der Schleifbearbeitung
unter Verwendung des Gewebes 30 gelesen werden.
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Bezüglich 7 wird
eine Ausführungsform eines
Steuersystems 100 veranschaulicht, das angewendet werden
kann, um eine Schleifbearbeitungsvorrichtung 20 gemäß den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung zu steuern. Das System 100,
das in 7 dargestellt ist, weist einen Hauptprozessor 102 auf,
der mit einem Musterdecoder 110 verbunden ist. Der Musterdecoder 110 empfängt Musterdaten,
die von einer Musterleseeinheit 112 gewonnen werden. Die
Musterleseeinheit 112 kann ein Informationsmuster wahrnehmen
oder erkennen, das auf einem Schleifmittel verschlüsselt ist,
das viele unterschiedliche Formen aufweist. Zum Beispiel kann die
Musterleseeinheit 112 bezüglich Form und Funktion der
vorher beschriebenen Lesevorrichtung 32 entsprechen oder
ihr ähnlich
sein. Der Musterdecoder 110 überträgt Signalinformation, die dem
Muster entspricht, das von der Musterleseeinheit 112 zum
Prozessor 102 gelesen wird.
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Der
Prozessor 102 umfasst alle bekannten Servotechniken, die
die Servodaten benutzen, die von dem Musterdecoder 110 empfangen
werden. Der Prozessor 102 erhält ebenfalls die Schleifmittelidentität und andere
verwandte Daten von dem Musterdecoder 110. Die Daten hinsichtlich
der Schleifmittelidentität
können
zur nachfolgenden Verarbeitung über
eine Kommunikationsschnittstelle 114 an ein Informationssystem 116 übetragen
werden. Das Informationssystem 116 kann ein lokales oder
entferntes System sein und des weiteren ein verteiltes oder ein vernetztes
Informationssystem darstellen. Die Kommunikationsschnittstelle 114 weist
eine Form und Funktionalität
auf, die die Anforderungen an die Datenkommunikation und Konfiguration
des Informationssystems 116 erfüllt. Zum Beispiel kann die
Kommunikationsschnittstelle 114 eine lokale Netzwerkkarte
oder eine Weitverkehrs-Netzwerkkarte, eine telefonische Schnittstelle,
Mikrowellen- oder Satellitenschnittstelle, Kabelnetzwerkkarte, periphere
Schnittstellenkarte und dergleichen sein.
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Der
Prozessor 102 wendet eine Servomethodik in Verbindung mit
einer Antriebssteuereinheit 104 an. Die Steuereinheit 104 ist
mit dem Antriebsmechanismus der Schleifbearbeitungsvorrichtung verbunden
und steuert die Bewegung eines Schleifmittels in der Schleifbearbeitungsvorrichtung.
Die Antriebssteuereinheit 104 ist des weiteren mit einem oder
mehreren Antriebssensoren 108 verbunden, die mehrere Parameter
des Arbeitsvorgangs der Schleifbearbeitungsvorrichtung wahrnehmen.
Der Antriebsmechanismus 106 kann ebenfalls Eingabesignale von
einem oder mehreren Antriebssensoren 108 empfangen. Alternativ
können
die Antriebssensoren 108 direkt mit dem Prozessor 102 verbunden
werden, und nicht durch die Antriebssteuereinheit 104. Man
wird zu schätzen
wissen, dass der Prozessor 102 konfiguriert werden kann,
um alle Funktionen auszuführen,
die von der Antriebssteuereinheit 104 ausgeführt werden.
Man wird ebenfalls zu schätzen wissen,
dass der Musterdecoder 110 direkt mit der Antriebssteuereinheit 104 und
nicht durch den Prozessor 102 verbunden werden kann.
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Die
Antriebssteuereinheit 104 teilt dem Antriebsmechanismus 106 Antriebssignale
mit, um den Arbeitsvorgang der Schleifbearbeitungsvorrichtung und
insbesondere die Bewegung des Schleifmittels, wie eines Schleifgewebes,
auszurichten. Die Antriebssteuereinheit 104 empfängt Servo-
und/oder Indexdaten von einem Prozessor 102, die vorher
von dem Musterdecoder 110 entschlüsselt werden. Gemäß einer
Servoverfahrensweise empfängt
der Prozessor 102 Servodaten von dem Musterdecoder 110 und
erzeugt ein Berichtigungssignal, das eine Veränderung angibt, die zur Bewirkung
einer gewünschten Bearbeitungsgeschwindigkeit
oder Richtungsänderung
notwendig ist. Das Berichtigungssignal, das von dem Prozessor 102 erzeugt
wird, wird zur Antriebssteuereinheit 104 übertragen,
die wiederum ein entsprechendes Antriebssignal zum Antriebsmechanismus 106 überträgt, um die
Veränderung
zu bewirken.
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Gemäß einer
anderen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung und mit Bezug auf 8, verarbeitet
ein lokaler Hostprozessor 122 Schleifbearbeitungs- und
Schleifmitteldaten, die von einer Schleifbearbeitungsmaschine erfasst,
benutzt oder erzeugt werden. Der lokale Hostprozessor 122 kann zum
Beispiel eine ähnliche
Funktionalität
bereitstellen wie der Prozessor 102, der in 7 dargestellt ist,
oder mit dem Prozessor 102 über die Kommunikationsschnittstelle 114 verbunden
sein. Der lokale Hostprozessor 122 kommuniziert mit mehreren
Datenbanken, um mehrere Datenverarbeitungsaufgaben auszuführen. Die
in 8 dargestellten Datenbanken repräsentieren
nur wenige der möglichen
Informationsquellen und Repositories, die für den lokalen Hostprozessor 122 verfügbar sein
können.
Zum Beispiel kann der lokale Hostprozessor 122 mit anderen
Informationssystemen und Datenbanken über die Kommunikationsschnittstelle 114 und
den Kommunikationskanal 140 kommunizieren.
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Der
lokale Hostprozessor 122 kann mit einer Mittel-/Gegenstandsdatenbank 124 auf
eine Art und Weise kommunizieren, die im Flußdiagramm von 9 beschrieben
ist. Es kann erwünscht
sein, den Prozess zu automatisieren, bei dem nur bestimmte Schleifmittel
benutzt werden, um bestimmte Gegenstände zu bearbeiten. Zum Beispiel
kann das Polieren einer oder mehrerer Halbleiterscheiben unter Benutzung
eines ungeeigneten Schleifmittels dazu führen, dass die Scheiben für ihren
Bestimmungszweck unbrauchbar werden, was oft einen kostspieligen Materialverlust
in der Größenordnung
von Tausenden von Dollar pro Scheibe oder Scheibenset bedeutet.
Man wird dementsprechend zu schätzen
wissen, dass das Vermeiden einer Fehlanpassung des Schleifmittels
und -gegenstandes wichtig ist. Eine Methodik zur Verifizierung eines
Schleifmittels/-gegenstandes,
die in 9 dargestellt ist, kann angewendet werden, um
das Auftreten solcher unerwünschter
Fehlanpassungen vorteilhaft zu vermeiden.
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Bezüglich des
Flußdiagramms
von 9, und des weiteren bezüglich mehrerer Komponenten, die
in 7 und 8 dargestellt sind, wird die
Identität
des Gegenstandes, der der Schleifbearbeitung unterzogen werden soll,
als 200 indentifiziert. Das Identifizieren des Gegenstandes kann
auf verschiedene Arten und Weisen erreicht werden, umfassend das
Scannen eines Strichcodes, der den Gegenstand identifiziert, die
manuelle Eingabe der Gegenstandsidentifizierung in die Mittel-/Gegenstandsdatenbank 124 über eine
Eingabevorrichtung (zum Beispiel eine Tastatur, Maus oder sprachlich
aktivierte Eingabevorrichtung) oder die Verwendung anderer elektronischer
Mittel und Mittel, die von einem Benutzer betätigt werden. Das Schleifmittel,
das bei der Bearbeitung des Gegenstandes benutzt werden soll, wird
von den vorstehend beschriebenen automatisierten Verfahrensweisen
oder von den manuellen Eingabemitteln auch als 202 identifiziert.
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Es
wird vorausgesetzt, dass die Mittel-/Gegenstandsdatenbank 124 eine
Verweistabelle oder eine andere Datenbankstruktur aufweist, die
die Gegenstandstypen mit geeigneten Schleifmitteltypen in Verbindung
bringt. Der lokale Hostprozessor 122 greift auf die Mittel-/Gegenstandsdatenbank 124 zu, und
die Schleifmittelidentität
und die Identität
des zu bearbeitenden Gegenstandes werden mit einer Verweistabelle
verglichen 204, 206, um zu verifizieren, ob die
Bearbeitung des Gegenstandes unter Verwendung des Schleifmittels
geeignet ist. Wenn sie geeignet ist, wird die Bearbeitung des Gegenstandes
aktiviert 208.
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Wenn
eine Fehlanpassung von dem Prozessor 122 ermittelt wird,
kann dies auf Grund einer echten Fehlanpassung oder möglicherweise
auf Grund einer Auslassung eines neuen Schleifmittel- oder Gegenstandstyps
in der Mittel-/Gegenstandsdatenbank 124 geschehen. Ungeachtet
der Gründe
für die Fehlanpassung
wird die Schleifbearbeitung angehalten 210, bis der Fehlanpassungszustand
behoben ist. Eine manuelle Aufhebungs-Fähigkeit kann bereitgestellt
werden, von der eine geeignete Schleifmittel- und/oder Gegenstandsidentität, die irrtümlicherweise von
der Mittel-/Gegenstandsdatenbank 124 ausgelassen worden
ist, unter Verwendung einer geeigneten Eingabevorrichtung eingegeben
wird 218. Wenn die manuelle Aufhebung erfolgreich ist 212,
wird die vorher ausgelassene Schleifmittel- und/oder Gegenstandsidentität in die
Verweistabelle der Mittel-/Gegenstandsdatenbank 124 eingegeben 218 und
die Schleifbearbeitung wird aktiviert 208. Wenn die Fehlanpassung
andauert, wird die Schleifbearbeitung deaktiviert 214 und
eine angemessene Warnmitteilung wird zur Behebung durch einen Benutzer erzeugt 216.
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10 veranschaulicht
mehrere Prozessschritte, die von einem Prozessor 122 ausgeführt werden,
wenn prozessbezogene Daten verfolgt werden, die mit der Schleifbearbeitung
eines bestimmten Gegenstandes in Verbindung stehen. Das in 8 dargestellte
System 120 weist eine Verfolgungsdatenbank 134 auf,
wobei prozessbezogene Daten, die mit einem gegebenen Gegenstand
und einem oder mehreren Schleifmittelln in Verbindung stehen, gespeichert
werden können
und darauf zugegriffen werden kann. Zunächst wird die Identität des Gegenstandes
und des Schleifmittels erhalten 240, 242. Unter Benutzung
der Information, die auf dem Schleifmittel gemustert ist, und durch
die Auswertung des Zustandes des Gegenstandes und/oder des Schleifmittels wird
ein geeigneter Bereich des Schleifmittels ermittelt 244,
das zur Bearbeitung des Gegenstandes benutzt werden soll. Mehrere
bekannte Techniken, umfassend die Techniken, die ein Ellipsometer
verwenden, können
verwendet werden, um den Zustand des Gegenstandes und/oder Schleifmittels
zu ermitteln.
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Wenn
der Bereich, der zur Benutzung vorgesehen ist, vorher benutzt worden
ist 246, wird eine Auswertung der Eignung des Bereichs
durchgeführt 248.
Wenn der Bereich als ungeeignet ermittelt wird, wird ein geeigneter
Bereich ausgewählt 250.
Der Gegenstand wird wie vorgesehen unter Benutzung des ausgewählten Bereichs
des Schleifmittels bearbeitet 252. Die Identität des Gegenstandes,
der Bereich des Schleifmittels, das zur Behandlung des Gegenstandes
benutzt wird, und andere prozessbezogene Daten (zum Beispiel die
Polierzeit) werden in der Verfolgungsdatenbank 134 gespeichert.
Wenn eine weitere Bearbeitung des Gegenstandes erforderlich ist 256,
wie ein zweites Polierverfahren auf der gleichen oder einer anderen
Vorrichtung, werden die Prozessschritte 244-254 wiederholt,
obwohl es sich versteht, dass Schritt 242 wiederholt werden
würde,
wenn ein anderes Schleifmittel zur weiteren Bearbeitung des Gegenstandes
benutzt werden sollte. Die Daten, die in der Verfolgungsdatenbank 134 gespeichert
sind, können
auf mehrer Arten und Weisen angewendet werden, wie zum Nachweis
der Einhaltung von Industriestandards (zum Beispiel ein relevanter ISO-Standard)
und anderer Verwendungen, die mit der Betriebssicherheit verbunden
sind.
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Ein
anderer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft die Optimierung
eines Schleifbearbeitungsablaufs durch die Benutzung von Daten,
die von dem lokalen Hostprozessor 122 und/oder der Schleifmaschinen-Steuereinheit 130 erfasst
werden, die in einer oder mehreren Datenbanken gespeichert werden,
auf die der lokale Hostprozessor 122 zugreifen kann. Mehrere
Prozessparameter wie Prozessgeschwindigkeit, Temperatur, Schleifkontaktdruck, Schleifmittelspannung
etc., die mit einem bestimmten Gegenstand und/oder Schleifmittel
in Verbindung stehen, können
während
eines oder mehrerer Bearbeitungsabläufe gespeichert werden. Andere
wichtige Daten, die für
einen bestimmten Prozess erfasst werden, können die Bearbeitungszeit und
Schleifbearbeitungeffizienz und -qualität (zum Beispiel Planarisierung)
umfassen. Die Daten werden vorzugsweise automatisch erfasst, können aber
auch unter Benutzung einer manuellen Eingabeverfahrensweise eingegeben
werden.
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Diese
historischen Leistungsdaten können von
dem lokalen Hostprozessor 122 benutzt werden, um einen
Schleifprozess selbst zu optimieren, wie eine Scheibenplanarisierung
oder ein Polierprozess. Der lokale Hostprozessor 122 kann
einen oder mehrere Prozessparameter anpassungsfähig ausrichten, um einen gegebenen
Schleifprozess bezüglich
der Bearbeitungszeit und/oder -qualität zu optimieren. Ausrichtungen
bezüglich
eines gegebenen Prozesses können
von dem lokalen Hostprozessor 122 bei gerade ablaufenden
Arbeitsprozessen und zukünftigen
Prozessen vorgenommen werden.
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Bezüglich 11 kommuniziert
der lokale Hostprozessor 122 ebenfalls mit einer Inventardatenbank 136,
um das Inventar von Schleifmitteln und Gegenständen zu verwalten, die der
Schleifbearbeitung unterzogen werden sollen. Die Inventardatenbank 136 speichert
Daten, die den derzeitigen Bestand von Schleifmitteln und Gegenständen betreffen,
die an einer oder mehreren Bearbeitungsanlagen angeordnet sind.
Im allgemeinen werden neue Lagerbestände, die in eine Anlage aufgenommen werden,
in die Inventardatenbank 136 eingegeben. Während Lagerbestände aufgebraucht
werden, wie es der Fall bei Schleifmitteln ist, oder bearbeitet
werden, wie es der Fall bei Gegenständen ist, die der Schleifbearbeitung
unterzogen werden, wird die Inventardatenbank 136 vorzugsweise
auf einer Echtzeitbasis aktualisiert, um die derzeitige Bestandsverfügbarkeit
und -nutzbarmachung widerzuspiegeln. Der Prozessor 122 überwacht 260, 262 den
Inventarstand der Schleifmittel und Gegenstände, die in der Inventardatenbank 136 widergespiegelt
sind. Der Prozessor 122 überwacht auch 266 den Durchsatz der
Gegenstände,
die an jeder Bearbeitungsstation oder -vorrichtung bearbeitet werden.
-
Verschiedene
Funktionen können
von dem Prozessor 122 ausgeführt werden, wenn dieser mit der
Inventardatenbank 136 interagiert. Zum Beispiel kann der
Prozessor 122 die Geschwindigkeit der Schleifmittelbenutzung
an einer oder mehreren Bearbeitungsanlagen ermitteln 264.
Basierend auf mehreren Faktoren, umfassend historische Daten, gegenwärtige Bestellungen
und geplante, zukünftige
Bedürfnisse,
kann der Prozessor 122 ermitteln 268, ob eine
ausreichende Menge eines bestimmten Schleifmittels vorrätig ist,
um eine gegebene Anzahl bestimmter Gegenstände rechtzeitig zu bearbeiten. Wenn
der Prozessor 122 ermittelt, dass ein derzeitiger oder
zukünftiger
Mangel eines gegebenen Schleifmittels vorliegt oder wahrscheinlich
vorliegen wird, werden die Schleifmittel, die ungenügend vorrätig sind,
identifiziert 270 und die Menge jedes benötigten Schleifmittels
wird ermittelt 272. Der Prozessor kann des weiteren das
Bestellen der benötigten Schleifmittel
koordinieren 274.
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Der
Prozessor 122 kann außerdem
abfragen 276, ob bestimmte Gegenstände ungenügend vorrätig sind. Wenn dem so ist,
werden die Gegenstände, die
ungenügend
vorrätig
sind, identifiziert 278, die benötigten Mengen jedes Gegenstandes
werden ermittelt 280 und ein neuer Vorrat der benötigten Gegenstände wird
erworben 282, wie durch das Bestellen oder Herstellen derselben.
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Der
lokale Hostprozessor 122 kann mit anderen Datenbanken kommunizieren,
die eine maschinelle Statistikdatenbank 128 aufweisen.
Statistiken, die die Schleifbearbeitungsmaschinerie für eine oder mehrere
Anlagen betreffen, können
in der maschinellen Statistikdatenbank 128 erfasst und
gespeichert werden. Wichtige maschinelle Parameter können die Zeit
des Arbeitsablaufs, Unterbrechungen auf Grund von Instandhaltung
und Schichtwechseln, Bearbeitungsdurchsatz, maschinelle Sensordaten
wie die Schleifmittelbenutzung und andere maschinenebezogene Daten
umfassen. Die Maschinen- und Belegschaftsleistung kann unter Benutzung
der Daten ausgewertet werden, die in der maschinellen Statistikdatenbank 128 gespeichert
sind.
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Eine Übersetzungsdatenbank 126 kann
benutzt werden, um Entschlüsselungsinformation
für mehrere
verschlüsselte
Musterdatenformate zu speichern. Zum Beispiel kann eine bestimmte
Schleifbearbeitungsvorrichtung mit vielfachen Lesevorrichtungen
ausgestattet sein, die jeweils Informationsmuster unterschiedlicher
Art wahrnehmen können,
die auf einem Schleifmittel bereitgestellt sind. Eine Lesevorrichtung
kann zum Beispiel konfiguriert sein, um Strichcodes zu lesen, während eine
zweite Lesevorrichtung konfiguriert sein kann, um alphanumerische Kennzeichen
zu lesen. In diesem Fall kann die Übersetzungsdatenbank 126 eine Übersetzungstabelle aufweisen,
um Strichcodes, die von der ersten Lesevorrichtung gelesen worden
sind, in entsprechende elektrische oder optische Signale umzuwandeln
oder zu entschlüsseln.
Die Übersetzungsdatenbank 126 kann
des weiteren eine Übersetzungstabelle
aufweisen, um die alphanumerischen Kennzeichen in entsprechende
elektronische oder ASCII-Formen
umzuwandeln, wie durch die Benutzung eines Algorithmus zur Erkennung
von optischen Zeichen. Andere Übersetzungstabellen
können
in der Übersetzungsdatenbank 126 unterstützt, modifiziert
und aktualisiert werden, um das Entschlüsseln von Informationsmustern unterschiedlicher
Art zu ermöglichen,
die auf dem Schleifmittel verschlüsselt sind.
-
Der
Prozessor 122 kann auf eine besondere Handhabungsdatenbank 132 zugreifen,
um besondere Handhabungs- oder Arbeitsablaufanforderungen an ein
gegebenes Schleifmittel oder einen Gegenstand zu erfüllen. Zum
Beispiel kann ein Schleifgewebe an bestimmten Positionen, die zum
Zeitpunkt der Herstellung identifiziert werden, bestimmte Defekte
aufweisen. Ein Informationsmuster wie ein Dateikopf eines Informationsübertragungsblocks oder
eines separaten Datenblocks können
auf dem Schleifgewebe, typischerweise am Anfang des Gewebes, zum
Identifizieren der Position, der Defekte bereitgestellt werden.
Diese Information bezüglich defekter
Positionen kann alternativ auf dem Gewebekern oder Verpackungsmaterial
bereitgestellt werden. Wenn die Information bezüglich defekter Positionen gelesen
wird, wird sie von der Steuereinheit 130 der Schleifmaschine
benutzt, um das Benutzen der defekten Positionen während der
Schleifbearbeitung zweckmäßig zu vermeiden.
-
Die
Information bezüglich
defekter Positionen und jede andere besondere Handhabungsinformation
kann alternativ von dem Schleifmittelhersteller zum lokalen Hostprozessor 122 über einen
Kommunikationskanal 140 übertragen werden, der mit einer
Kommunikationsschnittstelle 114 verbunden ist. Es versteht
sich, dass die Kommunikationsschnittstelle 114 verwendet
werden kann, um Daten von allen Datenbanken zu übertragen und zu empfangen, die
mit dem Hostprozessor 122 verbunden sind oder auf die der
Hostprozessor 122 anderweitig zugreifen kann.
-
Die
vorstehende Beschreibung der unterschiedlichen Ausführungsformen
der Erfindung ist zum Zweck der Veranschaulichung und Beschreibung
präsentiert
worden. Sie soll nicht erschöpfend sein
oder die Erfindung auf die exakte, offenbarte Form beschränken. Viele
Modifikationen und Variationen sind angesichts der vorstehend beschriebenen Lehre
möglich.
Zum Beispiel sind Strichcodes, Servocodes, periodische Markierungen
und dergleichen auf dem Fachgebiet gut bekannt und können zur
Benutzung in der Schleifbearbeitungssteuerung und Datenerfassung
auf eine Art und Weise angepasst werden, die mit den Prinzipien
der vorliegenden Erfindung vereinbar ist. Die exakte Beschaffenheit
der Marken hängt
von dem Zweck ab, dem sie dienen sollen, und die Auswahl eines geeigneten
Markierungssystems und Verschlüsselungsschemas
für jeden
Zweck liegt im Rahmen der Fähigkeiten
einer normalen Fachkraft.
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Als
weiteres Beispiel kann das Schleifmittel eine Hobelmaschinenkonfiguration
aufweisen, die unterschiedliche geometrische Formen annehmen kann.
Das Schleifmittel kann rechteckig, rund oder elliptisch geformt
sein und für
geradlinige Bewegungen oder Rotationsbewegungen konfiguriert sein.
Das Schleifmittel kann auch die Form eines Gewebes annehmen, das
eine festgelegte Länge
aufweist, oder alternativ ein kontinuierliches Gewebe sein. Das
Gewebe kann zum Beispiel ein dreidimensionales, zusammengesetztes,
festes Gewebe bilden, das zur Planarisierung von Zwischenschichten
während
der Herstellung einer Halbleiterscheibe geeignet ist. Das Schleifmittel
kann auch zur Schleifbearbeitung von Silizium-, Germanium-, Galliumarsenid-,
Glas-, Keramik-, Verbund- und Holzgegenständen für viele Anwendungen benutzt
werden.
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Des
weiteren kann das Schleifmittel ein relativ bewegliches Pad und
einen Schleifschlamm bilden. Das Pad kann gemäß den Prinzipien der vorliegenden
Erfindung bezüglich
des Gegenstandes gesteuert bewegt werden, so dass das Pad und der Schleifschlamm
mit dem Gegenstand in Schleifkontakt stehen. Das maschinell erkennbare
Muster, das auf dem Pad bereitgestellt ist, kann nach dem Reinigungsvorgang
gelesen werden. Je nach Konfiguration der Schleifbearbeitungsvorrichtung
kann das maschinell erkennbare Muster an einer ersten Leseposition
vor dem Schleifmittel gelesen werden, das mit dem Gegenstand in
Kontakt steht, und von einer zweiten Leseposition nach dem Schleifmittel
gelesen werden, das mit dem Gegenstand in Kontakt steht.
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Das
Schleifmittel kann auch eine zusammengesetzte Ausführung aufweisen,
die eine Schleifschicht umfasst, die an einem Substrat oder einem Unter-Pad
befestigt sein kann. Das Unter-Pad kann mit einem Informationsmuster
verschlüsselt
sein, und alternativ oder außerdem
kann das Informationsmuster auf der Schleifschicht bereitgestellt
sein. Das zusammengesetzte Schleifmittel kann so hergestellt werden,
dass es eine starre Platte wie eine Polycarbonatplatte aufweist, über der
ein doppelseitiger Klebstoff bereitgestellt wird. Eine Zusatzschicht
wird an dem Klebstoff befestigt und die Schleifmaterialschicht wird
auf der Zusatzschicht bereitgestellt. Eine elastische Schicht wie
ein Schaumpad kann an der anderen Seite der starren Platte befestigt
werden. Die starre Platte sorgt für die lokalisierte Steifheit
des zusammengesetzten Schleifmittels, während das elastische Pad ein
Maß allgemeiner
Elastizität
bereitstellt.
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Es
wird beabsichtigt, dass der Schutzbereich der Erfindung nicht durch
diese detaillierte Beschreibung eingeschränkt wird, sondern durch die
hier angefügten
Ansprüche.