TW440496B - Abrasive processing apparatus and method employing encoded abrasive product - Google Patents

Description

A7 44 〇4 9 6 -----------B7__ 五、發明說明（1 ) 發明範圍 本發明係關於物品研磨加工及更特別關於使用具有機械 “取製品識別資訊’索引資訊，伺服資訊，諸如此類圖樣 編碼研磨製品之物品研磨加工用之装置及方法。 發明背景 各種不同類型之自動研磨及拋光機械係已發展可研磨加 工各種不同成分及構型之物品。例如，在半導體工業中， 傳統之化學-機械鉋平（CMP)機具係可提供半導體晶圓之自 動鉋平與抛光。一自動晶圓拋光裝置範例係説明頒予Lund 之美國專利編號5,643,044及5,791,969中，並納於本發明以 供參考。 傳統自動抛光機械具’如説明於前述專利之機具，通常 係使用一以電腦爲基礎之控制系統，以控制一般之拋光加 工。使用於該機具之伺服控制加工通常係以一驅動馬達軸 之轉速爲基準’該馬達係驅動一研磨材料輕通過該機具。 該軸之速度係與一預定値相比較，及供應至該馬達之電壓 或電流藉一伺服控制機構調整，以使感應之軸速度與預定 之速度平衡。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用該方法.，係僅間接測量得研磨輥速度該方法之缺 點係在具有相當數量之因數可確實影嚮該研磨材料相對該 晶圓或抛光物品實際速度之計算。而且，當在拋光加工中 ，試圖定位研磨材料於一特定區域與—既定物品接觸時， 該傳統伺服方法係僅提供一有限之精準度^該等在傳統自 動拋光系統中固有之限制係對，如半導體晶圓，特定物品 適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚）

4 4 〇4 9 6 五、發明說明（2 ) 之南精进、標準加工與抛光能力，具有相當深之負面影嚮。

雖然傳統拋光方法係可提供某種自動程度，但在不同之 步驟中係仍需人工介入。例如，操作人員通常必須證實一 特殊型別之研磨製品係適於以人工方式加工一特殊型別之 物品。操作人員在這方面造成之錯誤通常係具有不利之結 果，通常會導致損傷或破壞貴重之物品及不預期之加工停 工。傳統拋光及研磨加工方法之其他概念係具有相似之自 動限制，如半自動或非自動清點系統，機械性能診斷系统 ，研磨製品/物品追賊系統’諸如此類之使用D 現有一需求係需要一系統及方法，該系統及方法係應可 提供研磨加工物品用之強化自動化及數據加工能量。現有 一特別需求係需要一改良方法，以在研磨加工中，控制矸 磨製品相對一種或更多物品之運動。現有一更進一步之需 求係需要一整體資訊系統，以提供現在傳統研磨或抛光機 具所未有之各種數據獲得及操縱能力。本發明係達成前述 之需求。 發明概要 本發明係關於一供研磨加工物品之裝置及方法。一研磨 製品係具有一以機械識別之資訊圖樣，該資訊係可具有不 同之型別與内容。該機械識別圖樣係於該研磨製品相對該 物trO運動時被讀取及係用以啓動一機具之操作，如一可連 帶控制研磨製品相對該物品運動之操作。機械識別圖樣係 可包括一種或更多可機械識別之電氣特性，光學特性，形 狀特性或磁性特性。讀取機械識別圖樣係可包括—種或更 本紙張尺度適用f國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------1----1 Λ-----：----訂-------- -線！ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 經濟部智慧財產局員X消费合作社印製 440496 A7 ______B7__—___ 五、發明說明（3 ) 多之以電氣’光學’機械或磁性方式讀取配置在該研磨製 品上之機械識別圖樣。 機械識別圖樣係可包括一種或更多之記號，突出部份， 凹進部份，孔，空白’顏色變化’條碼，磁性傳遞或周期 標記。機械識別圖樣係可包括一第一圖樣部份及—第二圖 樣部份’其中該第一圖樣部份顯示之一機械識別特性係不 同第二圖樣部份顯示之一機械識別特性。 機械識別圖樣係可包括一種或更多之索引資訊，伺服資 訊’校準資訊或研磨製品識別資訊。索引資訊係包括於圖 樣中及以其計算一或更多研磨製品接觸一已知物品之位置 。伺服資訊係單獨或與索引資訊組合而包括部份機械識別 圖樣’及係可用以控制研磨製品之運動，如該研磨製品相 對該物品運動之速度及方向。機械識別圖樣係更進一步包 括校準資訊，藉該資訊可執行研磨製品相對物品之校準改 變。 包括於機械識別圖樣之研磨製品識別資訊係可證明一特 別之研磨製品是否適於研磨加工一已知物品。研磨製品之 運動係可因證明研磨製品不適於研磨加工該知物品而停止 。機械識別圖樣係包括識別一處或更多處研磨製品故障區 域之資訊。該故障位置資訊係用以控制研磨製品運動，這 樣，可避免故障區域與該物品接觸。 研磨製品係可構成一具有固定長度之帶或構成一連續之 帶。例如，該帶係可構成一立體，複合式，固定帶適合供 鉋平一丰導體晶圓之用β該研磨製品係也可構成一可運動 本紙張尺度適用申國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I i H - Ϊ - n - i n I - t n n -- n I n 4—-*-r-SJ It n n 1 n In I (請先閱讀背面之注意事項再填窝本I ) Α7 Β7 五、發明說明（4 ) 之墊及一研磨薄漿。該墊係可在控制下相對該物品運動， 這樣，該墊及該研磨薄漿係以研磨方式接觸於該物品。配 置在該整之機械識別圖樣係於清洗操作後讀取。視該研磨 加工装置構型鬲定，機械識別圖樣係可在研磨製品（即塾及 研磨薄漿）接觸該物品前之第一讀取位置讀取及在研磨製品 接觸該物品後之第二讀取位置讀取，如在一清洗步驟之後 。研磨加工之物品係可包括一矽質物品，—玻璃物品，一 陶資;物品一複合式物品’一木質物品或一金尉物品。例 如’物品係包括一矽晶圓，鍺晶圓或砷化鎵晶圓，及半導 體元件製造相關連帶之結構。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 本發明其他實例係關於供研磨加工一物品用之研磨製品 。該研磨製品係包括一基礎層，該層具一第一表面及—第 一表面。一研磨材料係配置在該第一表面之上β —機械識 別圖樣係配置在第一表面及第二表面之任一表面上或配置 於兩表面之上，供產生一控制信號以控制研磨材料相對該 物品之運動。該第一或第二表面係構成該研磨製品之邊緣 。機械識別圖樣係可包括一種或更多之可機械識別之電氣 特性’光學特性’形狀特性或磁性特性。一件或更多之可 機械檢測凸耳係可附加於該研磨製品之上，其中—第一圖 樣部份係配置在研磨製品之第一或第二表面之任一或兩表 面上’及一第二圖樣部份係配置在一或更多凸耳之上。該 凸耳係可伸不而超過該研磨製品之一邊緣。機械識別圖樣 係可配置在附加於該研磨製品第一或第二表面之任一或兩 表面的標籤之上。 本紙張尺度適用中國國家標準（〇NS)A4規格（210 X 297公餐） f ^4(}ui S 6 A7 B7 五、發明說明（5 ) :據本發明原理之供研磨加工一物品之裝置係包括—支 ’以支樓—具有機械識別w樣研磨製品。-安裝夾 具係使該物品定位於該研磨製品之中，但不與該研磨製品 接觸。-致動器係致使該研磨製品相對該物品運動。一檢 測器係供檢測配置在該研磨製品之該機械識別圖樣用及 一控制器係藉該機械識別圖樣供控制該研磨製品相對該物 品運動之用。 遠檢測器係包括-具或更多之電氣檢測器，光學檢測器 ’機械檢測器或磁性檢測器。該檢測器係檢測機械識別圖 樣之一項或更多的索引資訊，伺服資訊，校準資訊或研磨 製品識別資訊。使用機械識別圖樣中之索引資訊，該控制 器係可計算該研磨製品之位置，即該研磨製品以研磨方式 接觸該物品之位置。控制係可更進一步使用該機械識別圖 樣中之伺服資訊控制該研磨製品相對該物品運動之速度。 伺服資訊係也可由該控制器使用以控制該研磨製品相對該 物品運動之方向。校準資訊係可更進一步納入機械識別圖 樣中，以供該控制器使用而控制該研磨製品相對該物品保 持正確對正。 本發明另一概念係關於獲得有關加工一件或更多件物品 資訊之方法。利用該機械識別圖樣讀取一配置在研磨製品 上之機械識別圖樣及存取一數據庫，以獲得該研磨製品之 識別。隨附於該已識別研磨製品加工產生之各種不同類 數據係儲存於數據庫。儲存之數據係可用於追蹤，會計 清點，處理，及統計目的之各種識別。 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS>A4規格（210 x297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線— 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 型 A7 44 〇4 9 6 --- -B7___ 五、發明說明（6 ) 點’處理’及統計目的之各種識別。 如數據庫顯示使用一特別研磨製品加工該物品係不適合 之疑問時’該方法會終止一物品之研磨加工。該數據庫係 也可儲存隨附於該研磨製品及該物品之一或兩者在一處或 更多處加工裝置之清點數據。使用特別研磨製品加工之物 品的全邵數據係可獲得及儲存於該數據庫中。各種不同類 型之加工數據係可輸至本裝置及/或遙控之處理器中α 供使用一研磨加工裝置加工一物品用之資訊獲得系統係 包括一控制器耦合於該研磨加工裝置，一檢測器係耦合於 該控制器及係檢測配置在該研磨加工裝置研磨加工該物品 用之该研磨製品上的一機械識別圖樣^ 一主處理器係耗合 至si·憶體’邊记憶體係儲存各種不同類型之加工數據。_ 介面係耦合該主處理器至研磨加工裝置之控制器。該主處 理器係自該控制器接收随附該研磨製品之識別資訊及鍺存 該研磨製品之識別資訊於該記憶體中。該主處理器或該控 制器係利用該研磨製品識別資訊轉換該機械識別圖樣爲對 應一致之研磨製品。 該主處理器係可視該控制器之位置而配置於本裳置上戍 以遙控方式配置。該記憶體係包括複數記憶元件，及每— έ己憶元件係可彼此鄭近配置或分散配置β該主處理器係操 作儲存在記憶體中之數據，以完成相當數量之識別，追縱 ’會計，清點，處理，及統計功能。 例如，用研磨加工裝置加工所得之物品一致性係儲存於 記憶體中，及該主處理器係以研磨製品識別資訊支持物品 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — — — — — — — — — — — —— 11 —- I I I I — IIIIIJI — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 44Q4 9 6 at _ B7 五、發明說明（7 ) 之一致性’以證明用研磨製品加工該物品之適當性。該主 處理器係根據無法證明用研磨製品加工該物品之適當性而 傳送一不能信號至控制器。該控制器係根據該不能信號使 該物品之研磨加工停土。該物品之一致性係使用各種不同 輸入裝置輸入於記憶體’其中包括如鍵盤，語音辨識裝置 ，光學掃瞄裝置，或條碼讀取機。 上述本發明概述係非説明本發明之每一實例或每一實作 。本發明之優點及成就係於參考下述詳細説明及申請專利 範圍與隨附圖式後當完全明瞭。 圖式簡單説明 圖1及圖2係説明一採用根據本發明原理資訊編碼研磨材 料帶的研磨加工裝置； 圖3 A及圖3 B係説明根據本發明原理之可编碼於研磨製品 並自其讀取的各種不同類型資訊圖樣； 圖4係説明供讀取配置在一研磨帶上資訊圖樣用之讀取裝 置的一實例； 圖5係説明供讀取配置在一研磨帶上資訊圖樣用之讀取裝 置的另一實例； 圖6係説明根據本發明原理之可編碼於研磨製品並自其讀 取的各種不同類型資訊圖樣之其他圖樣； 圖7係説明根據本發明原理控制研磨加工裝置之一控制系 統實例； 圖8係説明一資訊系統’該系統包括—與相當數量數據庫 相通之處理器’以根據本發明原理執行數據加工工作； -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ的7公釐） — — — — — — — — I! I----1.V· —------訂··---1111·1 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 44〇4|| at __________B7_______ 五、發明說明（8 ) 圖9係説明根據本發明使用特定研磨製品加工特定物品一 實例之自動加工步驟流程圖； 圖10係説明根據本發明追縱研磨加工特定物品數據一實 例之自動加工步驟流程圖：及 圖1 1説明根據本發明清點欲研磨之研磨製品及物品一實 例之自動加工步驟流程圖。 雖本發明可作不同之修改與替代係藉圖式中之實例説明 詳細説明。但應瞭解，本發明係不受限於所説明之特定實 例。相反係涵蓋申請專利範圍界定本發明精神與範圍内之 所有修改，及替代。 實例詳細説明 在下述圖説實例說明中，係參考随附圖式，並以圖説形 成各實例之一部份’説明本發明可實作。應瞭解，在不脱 離本發明範圍下，該實例係可利用及結構更改係可執行。 參閱圖式及特別參閲圖1知，#説明一研磨加工裝置2〇 ，該裝置係用一研磨製品達成研磨加工與研磨製品接觸之 物品的目的。在圖1所示實例中，該研磨製品構成—具有研 磨材料層之帶。應暸解，本發明所使用之研磨製品—詞係 包括各種構型之研磨製品構造及材料，及非僅限於帶_型製 品構型或其他在本發明説明之研磨製品構型研磨製品。 適於供根據本發明原理使用之研磨製品特別係包括_連 續構型或一履帶型構型。一具有圓或扁平構型之獨立研磨 製品係也考慮。應瞭解，具有其幾何圖形之他研磨製品係 也考慮。 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先間讀背面之注意事項再填寫本買Ί

^-----^----訂---------I 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 ^40496 五、發明說明（9 ) 而且，一適於供根據本發明原理使用之研磨製品係一立 體’複合式’之研磨帶。其他適合之研磨製品係包括一勢 ’一如與研磨薄漿合併使用之彈性材料墊。一包括拋光薄 膜，單獨使用或與一結構基板組合之研磨製品係可考慮， 如美國專利編號5,897,424中説明之抛光薄膜製品，並納入 本發明以供參考。因此，欲供本發明使用研磨製品係非僅 限於本發明特別説明之研磨製品構形。 根據圖1所示實例，一研磨帶30係自饋送輥28引入研磨 加工裝置20，在研磨加工時，該研磨帶3〇係以軸向方向運 動而通過裝置20之運輸機構，而後纏於一接收輥29之上。 研磨帶3 0係包括研磨複合式，該材料係相似於頒予 等I美國專利編號5,152,917説明之材料，並納於本發明以 供參考。 在一般操作中，一物品24係以夾具22固定之研磨加工裝 置20加工。在研磨加工時，夹具22通常係經控制運動—件 或多件物品24進出而接觸於硏磨帶3 〇 3帶3〇之無研磨材料 表面37係在台26表面之上運動。台26係於物品24受迫抵 於帶30時，藉夾具22之向下運動抵抗加於帶3〇之力量。 夹具22通常係以大致呈圓形或橢圓形之軌跡運動，而迫 使物品24抵於研磨帶3〇。裝置2〇研磨加工物品24之程度 係可彳制’如適當控制帶運動之方向與速度，夾具2 2之運 動’及物品2 4與該帶3 〇研磨表面3 5間之接觸力。例如，研 磨物24時’研磨帶3〇係可控制，使之以在固定長度或不 同長度作梯度增量方式之運動；以及研磨帶3 〇係也可控制 -12- 297公釐） {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 訂· -線- 44 〇4 9 6 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（10 ，使之以一致之連續方式，如以一特定之速度運動。另一 方式係研磨物品2 4藉央具2 2固定，而該研磨帶3 0係經控制 使之往復運動。 根據本發明原理，一研磨帶30之表面，如一無研磨材料 之表面37 ’係具有一圖樣，該圖樣可用讀取裝置32感應。 包括研磨材料之表面35係也具有一讀取裝置32可讀取之圖 樣。而且’研磨帶30之一邊緣或其兩邊緣係可具有該圖樣 。應瞭解’研磨帶30之一或更多表面係可具有一圖樣，該 圖樣可用讀取裝置32感應。應注意，研磨帶3〇之不同表面 係可具有不同之圖樣，進而代表不同類別之資訊。 配置在研磨帶30之一或更多表面上代表不同類別之資訊 的圖樣係有助於識別研磨帶3 0之特性及執行各種研磨加工 功能及收集加工操作資訊《如下述之詳細討論，在研磨帶 30上之資訊編碼係可指示研磨製品名稱，製造商，製造日 期，輥之编號’批號’及其他識別資訊。此外，圖樣資訊 係可包括索引圖樣，其係用以決定研磨帶3 0相對一參考位 置之位置，如輥之起動位置。而且，機械識別資訊圖樣經 讀取及翻譯後係可用以起動一機械操作，如當讀取到輥終 止圖樣或執行研磨帶3 〇清洗操作圖樣時之升高圖1所示拋 光夹具22 ’及或當在帶長度之每一叹處讀取一索引圖樣時 之起動台26之操作= 資訊圖樣係可包括伺服圖樣，該圖樣係用以便利控制研 磨帶之運動。例如，一研磨加工裝置2 〇之伺服控制系统係 可控制研磨帶30之速度，加速’及方向，及也係提供連續 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> ^----h----^-----III I, -13 - 〇4 9 β Α7 --------Β7_ 五、發明說明（11 ) 或步進式控制研磨帶之運動。而且’伺服圖樣係可單獨使 用或與索引圖樣合併使用，以定位或重定位一供研磨帶3 〇 以高精密度接觸一特定物品之特定區域。校準資訊係也可 以圖樣沿帶30之一條或更多條方式配置在研磨帶3〇上。例 如’一條或更多條校準圖樣係可以平行帶縱軸軸線方式配 置在带30上。校準圖樣係用以調研磨帶3〇之位置以保持帶 30加工通過研磨加工裝置2〇時應有之方向。 配置在研磨帶30上之圖樣資訊係呈各種形狀。一般而言 ，該圖樣資訊係顯示一特性，即該特性可藉一機器，裝置 或其他自動裝置識別。例如，配置在研磨帶3 〇上之圖樣係 可包括電氣特性’光學特性，形狀特性，磁性特性，或其 他特性或特性之合併，該等特性係可藉一自動裝置識別。 例如’圖式中所示之讀取裝置3 2係可以電氣，光學，機械 或磁性讀取圖樣之方式辨識一種或更多配置在研磨帶3〇配 置在研帶30的圖樣。 例如’配置在研磨帶30上之圖樣係可以印刷著色墨水或 染色劑於帶3〇上；以在帶3〇上打孔；以在帶3〇上形成凹點 或溝槽；以著色或減色方法形成圖樣爲帶一部份；以附加 印妥t標籤至帶3 〇 ;以附加不同導電性或光學特性之凸耳 於帶3〇之上；以在帶3〇上形成磁性傳遞圖樣等之方式製作 。每一種帶標記技術係各有其詢問標記之技術。該等詢問 技術係包括使用光學傳遞，光學反射，電氣傳導，機械感 傳’流體感傳’磁性讀取元件，及諸如此類。 圖樣係可呈現於不同之位置，包括，但不限於，即—條 本紙張尺度適財國國家標準（CNS)A4規格（ x 297公楚〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 ^ I I I ! I I I --I I I 1 I I · ( 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 A7 B7 440496 五、發明說明（12 ) 或多條橫跨帶30之反-帶圖樣；沿帶30 一邊或更多邊的圖 樣；在輥心3 1端帽處沿輥心3 1内表面之圖樣，或爲帶包装 材料之一部份。一單一帶30係可在更多位置（即跨_帶或反-帶）承載一件或更多件之圖樣，以接纳更多型別之感應装置 或延伸圖樣之使用。以範例及前述討論而言，構型相似或 不同之圖樣係可配置於多條橫跨帶30中或其他部份，及使 用不同之感應器讀取圖樣，以完成多琿功能，包括數據蒐 集，索引，伺服，校準或其他功能，如研磨機械之最佳性 能及檢測帶張力等。 根據本發明之一實例，研磨加工裝置2 0係包括一讀取裝 置3 2，如圖1所示，該裝置係安裝在研磨帶3 0下方。讀取 裝置32係可包括一光學感應器36及一發光源34。該發光源 3 4及光學感應器3 6係共同操作，以光感應辨識傳遞方式配 置在研磨帶30之上。讀取装置32，例如，係可包括一條碼 讀取機，該機係以已知技藝方式感應一系列之不同寬度及 間隔之平行條，如圖3 Α所示條碼5 6之條。 根據本發明之另一實例’讀取裝置3 2係構成掃瞄裝置， 以讀取預印研磨帶30上之記號。該記號係包括字母數字數 碼’該碼可藉光學確認或其他適合技術翻譯。該記號係更 進一步包括一字母數字數碼及其他文字或記號之组合，如 垂直，水平’斜線，及其他線段與呈各種不同形狀之幾何 圖形。 圖2所示實例’讀取裝置3 2係包括一發射器4 4及一檢測 器4 6，二者係在研磨帶3 〇之相對側邊協同操作，以光感應 -15- 本紙張尺度if用巾國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） ------------- '衣----K----訂.-----——* <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 44 〇4 經濟部智慧財產局員工消t合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（13 ) 可辨識之配置在研磨帶30之轉變。根據本實例，該資訊圖 樣係包括一系列穿過研磨帶30之孔。另一方式，係該圖樣 係包括一系列凹進部份或部份帶3 〇係呈透明，以充許—需 要量疋·光通過發射器44而至檢測器46。帶30之不透明度或 透射性變化係可藉發射器3 4及檢測器4 6之串聯檢測。 圖4及圖5所示實例係説明讀取裝置3 2，該裝置係以機械 方式與配置在帶30上之圖樣相互作用β例如，在圖4中， 讀取裝置32適於讀取配置在帶3〇底表面37之形狀圖樣。讀 取裝置32係包括一感應器70，該感應器係感應以蓋印或其 他方式配置在帶30底表面37之突出部份及凹進部份的形狀 變化。一轉換總成7 2係轉換機械感應圖樣資訊至對應之電 乱或光學信號。轉換總成72係更進一步包括解碼電路供感 應圖樣資訊解碼之用。感應圖樣資訊解碼係可另由下游電 路或遙控處理器完成。 圖5所示讀取裝置3 2實例係感應一沿研磨帶3 〇 一邊緣3 9 配置之資訊圖樣。該資訊圖樣係可相似前述參考圖4討論之 形狀變化。配置在研磨帶30—邊緣39之資訊圖樣係採缺口 構型。 另一種方式係圖4及圖5之資訊圖樣可沿研磨帶3 〇 —邊緣 3 9之連續進行的磁化層或帶或選擇部份以磁性轉變編蹲構 成。書寫至及讀取磁性資訊於磁化層或邊緣部份係可夢已 知之磁性錄製/書寫技術達成。在該實例中，包括一薄膜或 磁阻讀取元件之磁性讀取元件的感應器7 0及8 〇係不需接觸 磁性資訊編碼研磨帶3 0之邊緣或另一表面即可讀寫。 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） * 衣-----r---訂----I--11 > (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 440496 at _____B7___ 五、發明說明（14 ) 圖3A，圖3B，及圖ό所示之各種不同類型資訊圖樣係可 根據本發明原理編碼至及讀取於研磨帶30。圖3八係説明通 常利用平行間隔之標記編碼之各種不同編碼資訊。如前述 之討論’圖3 Α所示標記係印製記號，形狀變化，光學識別 變化，磁性轉換或其他形式之機械識別媒介之代表。應注 意’圖3 A所示圖樣係可配置在研磨帶3 〇之任何表面上。 在區域5 2之圖樣係説明一供索引或伺服目的使用之多通 道標記系列。區域5 2特別係包括三通道標記，即通道5 3， 54，及55。該二通道之標記係各具有不同之標記密度及與 相鄰標記間之間隔。例如，通道5 5之寬間隔標記係指示自 一標記至次一標記之大帶位移改變。通道5 4及5 3之標記係 指示較小之帶位移改變。通道數量及通道標記間隔之增加 係可提供更多之編碼方法，進而提供更精確之帶位移計算 及較大帶運動之控制。 區域5 8通常係代表一多通道之伺服圖樣，在研磨加工一 物品時’該圖樣可用以控制研磨帶30之運動。區域58係包 括四通道之伺服標記，即通道6〇，61，62及63。當研磨 帶30通過研磨加工裝置2〇時，區域58之多通道圖樣係也可 用以保持正確之校準。區域5 8之伺服標記係藉讀取裝置3 2 感應及傳送至一處理器，在研磨加工時，該處理器係翻譯 該飼服數據而控制研磨帶相對一件或更多件物品之運動。 熟於此技藝者當瞭解，已有相當數量之伺服技術使用於控 制研磨帶對應配置在研磨帶3 〇上之伺服標記的運動。例如 ’區域5 8所示伺服標記係代表一經常使用於伺服技藝之供 _ -17- 本紙張尺度適用中關家標準（CNS)削規格c视公爱） — — I1 — IIIII — 1^..11--：----訂.------! I . <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 4 4 〇4 9 5 a? --------B7 五、發明說明（15 ) 致動一加工閉合環路伺服控制用的正交猝發圖樣構型。該 伺服技術係披露於美國專利編號5,452，150及5,661，616中， 及適合用於本發明之研磨加工裝置。美國專利編號 5,4 5 2,15 0及5 ’6 61，616係納入本發明以供參考。 舉例邑之，區域5 8所示之伺服標記，係可單獨或與區域 5 2之索引標記共同使用’以於一片或更多片晶圓之中間層 抛光時，控制研磨帶之運動，使之引發新研磨。該伺服控 制處理器係可控制研磨帶以連續或增量方式運動。該伺服 標έ己係也可用於校正步驟，以校正該用以使研磨帶3〇通過 研磨加工裝置之伺服馬達β此外，該伺服標記係可用於重 定位研磨帶30至相對帶輸送機構之既定方位。例如，於加 工一系列晶圓時，研磨帶3 0係可緩慢前進，迅速重繞使帶 30用過之郅份定位於一清洗裝置中’而後迅速前進至拋光 站’以重複帶30至早期之定位。 索引標"I己及識別標記係可合併使用，以更精確地界定研 磨帶3 0用於抛光一特殊晶圓之區域。例如，一特殊物品之 加工拋光位置係可命名爲’標記於批號ΥΥΥ之輥XXX開始 識別標記8 2呎後，之2 3索引標記。 圖3Α所示圖樣係可更進一步用於識別使用中研磨帶之型 別’使用中特殊帶之一致性，及用以抛光一已知物品，如 一晶圓或一系列晶圓之帶3 0部份。藉感應帶標記圖樣，識 別標記係可以選擇方式提供索引標記功能。例如，“滚動開 始”及“滾動終止”識別標記係也可用以發送插入及/或轉換 模式信號至一特殊研磨加工機具。識別標記係可另配置在 18 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 我-----.1---訂-------!線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 4 049 > A7 ______Β7___ _ 五、發明說明（16 ) 隨附於硏磨帶3 0之一心芯或凸緣之上，如圖1所示配置在 館送輥2 8心芯3 1上之標記3 3。 圖3 B係説明可機械讀取圖樣之另一實例，該圖樣可供控 制，索引，及識別各種目的之用。圖3 B所示圖樣係包括一 開始欄72，該欄指示研磨加工開始時研磨帶3 0應在之位置 。開始欄7 2之後係一同步欄7 3，該欄指示一新資訊圖樣组 之開始。在一實例中，硏磨帶3 0係包括展跨於帶3 0全長之 一幀或更多幀的資訊圈樣，其中每一幀係皆包括相當數量 之區段。例如，一具有可使用長度8 0呎之研磨帶3 0係包括 一 80吸之單一傾及在該幢中具有8〇段之一叹區段。 圖3 B所示圖樣係更進一步包括一識別研磨製品（即其輥 號’批號）之識別棚7 4，及係更進一步包括如吸及对之索引 標記=一空隙棚，缺標記之（未示出），係也可包括，以供 伺服索引校正目的之用。一伺服猝發圖樣76係包括，以利 伺服索引及校正。該伺服猝發圖樣係包括1/4吋至1/8吋之 標記。該標記之尺寸與間隔係視分辨需求而定。滚動終止 標記77係可配置在接近研磨帶3〇之可使用末端。 圖6所示圖樣係一圖樣86，該圖樣包括可藉前述參考圖4 及圖5説明之機械讀取裝置32讀取的形狀變化。該圖樣86 係由在研磨帶3 〇軋穿之孔或一系列凹部及/或突出部份構成 之圖樣。圖樣8 6係可呈獨立磁性轉換，其係預印於研磨帶 3〇之上及於使用帶3〇研磨加工藉磁性讀取裝置Μ讀取。 參閲圖7知’係説明根據本發明原理執行控制研磨加工裝 置20之控制系統100實例β圖7所示系統1〇〇係包括一主處理 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)M規格咖x 297公爱） ------------3ic-----：----訂-------— ·線· C請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁> 44 04 9 6 A7 _______B7 _ 五、發明說明（17 ) 器102 ’該處理器係耦合至一圖樣檢測器。圖樣檢測器 110係接受藉圖樣讀取器112獲得之圖樣數據β圖樣讀取器 112係可感應與辨識研磨製品上各種不受構形之資訊圖樣編 碼。例如’圖樣讀取器丨丨2係可構形與功能相當或相似於前 述之讀取裝置3 2。圖樣檢測器110係發射對應圖樣讀取器 112讀取之圖樣的信號資訊至處理器1〇2。 處理器102係使用自圖樣檢測器} 1〇接收之伺服數據執行 任何已知之伺服技術。處理器102係也自圖樣檢測器110獲 得研磨製品之一致性及其他相關數據。研磨製品一致性數 據係可經一通信介面114發射至一資訊系統〗丨6供後續加工 之用。資訊系統116係可配置於裝置中或遙控之系統，及可 更進一步係一資訊分配或網路系統。通信介面114係具有一 適於資訊系統116數據通信及構型需求之構形及功能。例如 ，通信介面114可係一當地或廣大地區網路卡，電話介面， 微波或衛星介面’有線網路卡，輔助介面卡及諸如此類。 處理器102係以與驅動控制器1〇4協同方式執行。驅動控 制器104係耦合至研磨加工裝置之驅動機構及控制研磨加工 裝置中一研磨製品之運動。驅動控制器1〇4係更進一步耦合 至一具或更多具驅動感應器108，以感應研磨加工裝置操作 之各種參數。驅動機構106係也可接收一具或更多具驅動感 應器108之輸入信號。另一種方式係驅動感應器ι〇8可直接 耦合至處理器102 ’而非經驅動控制器〗〇4。應瞭解，處理 器102係可執行驅動控制器1〇4所執行之所有功能。同時也 應瞭解’圖樣解碼器110係可直接耗合至驅動控制器1 〇4， -20, 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) ·111111! « — It— — — — — . 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 經濟部智慧財產局員工消t合作社印製 f 44 04 9 6 A7 —_________B7__ 五、發明說明（18 ) 而非經處理器102。 驅動控制器Ϊ04係傳遞驅動信號至驅動機構1〇6，以調整 研磨加工裝置之操作，及特別調整研磨製品，如—研磨帶 之運動。驅動控制器104處理器102接收經圖樣解瑪器11〇解 碼之伺服及/或索引數據。根據一伺服方法，處理器1〇2係 自圖樣解碼器110接收伺服數據及產生一改正信號，指示需 更改預定之加工速度或方向。該處理器1〇2產生之改正彳含號 係發射至驅動控制器104，而後由驅動控制器1〇4發射一對 應驅動信號至驅動機構106執行改正。 根據本發明另一實例’及參閱圖8知，一本機主處理器 122係處理一研磨加工機械獲得，使用或產生之研磨加工及 製品相關數據。例如’本機主處理器122係提供圖7所示處 理器102之相似功能或係可經通信介面i 14耦合至處理器1〇2 本機主處理器122係與相當數量之數據庫相、'通，以供執行 相當數量之數據處理工作。圖8所示數據庫係僅代表可供本 機主處理器U2使用之資訊源及儲存庫。例如，本機主處理 器122係可經通信介面114及通道140與其他資訊系統及數據 庫相通。 本機主處理器122係可依圖9流程圖所示方式與—製品/物 品數據庫124相通。依此方式係可僅藉用於加工一物品之研 磨製品使加工自動化。例如，抛光一件或更多件之半導體 to圓使用不當之研磨製品係會使晶圓無法達預期之使用目 的’因此會成本損失嚴重。因此，應瞭解不使研磨製品與 物品誤配係非常重要。圖9所示之一研磨製品/物品驗證方 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----flilll — 1 !1!111 _ - I — — — — — — — I i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 44 04 9 6 A7 __B7 五、發明說明（19) 法係可避免誤配。 參閱圖9流程圖及圖7與圖8所示组件知，欲研磨加工之 物品的一致性係以200示之。物品之識別係可藉多項方法達 成’包括以掃瞄條碼方式識別該物品，經—輸入裝置（如鍵 盤，滑鼠’或語音輸入裝置），或其他電子及使用者致動之 裝置’人工輸入物品識別於製品/物品數據庫丨24中=加工 物w中使用之研磨製品係以202示之，如前述討論之自動方 法或人工輸入裝置一樣。 假定製品/物品數據庫124係包括一檢査表或其他數據庫 結構’其中具有可接受研磨製品型別之物品型別。該製品/ 物品數據庫124係可由本機主處理器122存取，及研磨製品 之一致性及受磨物品之一致性係以2〇4，2〇6與檢查表相比 較’以證明使用該研磨製品加工該受磨物品是否適當。如 適當，208即充許受磨物品之加工。 如處理器1 22決定係一失配，該失配可能係真失配或在因 製品/物品數據庫124中缺少該研磨製品或該受磨物品之型 別°不論失配原因為何’研磨加工即由210停止，直至失配 青;兄解除為止。一人工跨接能力係可配置，以該配置，該 製品/物品數據庫124中缺少之適當研磨製品及/或物品的一 致性資訊係藉一適當之輸入裝置輸入至218。如人工跨接 212成功’及前述缺少之研磨製品及/或物品—致性輸入於 218之製品/物品數據庫124檢查表，而後即充許2〇8之研磨 加工。如一失配仍然存在，研磨加工214即不充許並由216 產生一適當之警告’要求操作人員解決^ 圖10係說明，當追蹤研磨加工一特殊物品之加工相關數 •22- 衣纸張尺度適用申國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） $ ^^1 n HI n VI I. Ϊ l t n n n t^i ^^1 I tf {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 44〇4S6 A7 ---------B7 五、發明說明（2〇 ) 據時，處S器122所執行之處理步驟。圖8所示系.统12〇係包 括二追縱數據庫134，其中係可儲存及存取—已知物品及一 ，或更多件研磨製品之加工相關數據。初始，係由“Ο， 242獲得受磨物品及研磨製品之—致性。使用在研磨製品上 2該資訊圖樣，及藉物品及/或研磨製品條件之評估，一適 合用於加工該物品之研磨製品區域係由244決定。各種不同 已知技術，包括偏振光橢圓率測量儀技術，係可採用，以 決定受磨物品及/或研磨製品之情況。 如所使用之區域246係曾經使用，則該區域之適用性係由 248評估。如該區域係經決定不適用，一可接受區域係由 250選擇。該物品係由研磨製品選定區域252加工。物品， 研磨製ΡΟ ’研磨製品用以處理該物品之區域的一致性，以 及加工之相關數據（如抛光時間）係儲存於追縱數據庫Π4中 。如更進一步加工該物品係依256之需求，雖瞭解，如以不 同研磨製品更進一步加工該受磨物品時，該步驟242係必須 重複，但如需在相同裝置或不同裝置執行第二抛光步骤時 ，係仍應重複244-254加工步驟。儲存於追蹤數據庫134之 數據係可用於不同之用途，如證明符合工業標準（如一相關 之ISO標準）及其他所使用之可靠度。 本發明另一概念係關於一研磨加工操作之最佳化，即利 用本機主處理器122所獲得之數據及/或本機主處理器122可 存取之研磨機具控制器130儲存於一或更多數據庫中之數據 的最佳化。在一或更多加工周期中，一特殊物品及/或研磨 製品之不同加工參數，如加工速度，溫度，研磨接觸壓力 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本Ϊ > :衣-----1----訂-------線 — 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 44 〇4 9 6 五、發明說明（21 ) ’研磨製品張力等’係予以儲存。對—特殊加工所獲得之 其他重要數據係包括加工時間及研磨加工（如鉋平）效率及 品質。該數據最好係自動獲得’但也可用人工輸入法輸入。 該等性能數據係可用於本機主處理器122，以自尋最佳化 一研磨加工，如一晶圓之鉋平或抛光加工。本機主處理器 122係適於調整一或更多加工參數，以根據加工時間及/或 加工質最佳化一既定之研磨加工。操作中及而後之既定 加工的調整係可藉本機主處理器122完成。 參閱圖11知，本機主處理器122係也與一清點數據庫136 相通，以管理研磨製品及需研磨物品之清點。該清點數據 庫136係儲存有關配置在—處或更多處加工設備之研磨製品 及觉磨物品現有存量的數據。通常，存入設備之_新項目 係輸入於清點數據庫136中。當所存項目消耗後，如研磨製 品之耗用，或加工後，如研磨加工之物品，該清點數據庫 13 6係予修正，最好係以眞時爲基礎，以反應現有之可用庫 存量〇本機主處理器122係監控清點數據庫n6反應之研磨 製品及物品清點量2 60，262。本機主處理器122係也監控在 每一加工站或裝置處物品加工之量266。 當與清點數據庫13 6相互作用時，相當數量之功能係可藉 本機主處理器122執行。例如，本機主處理器122係可決定 在一處或更多處加工設備使用之研磨製品速度264。根據數 個因數，包括已往之數據，現有之指令，及未來之需求， 本機主處理m係可決定268是否具有足夠之特殊研磨製品 可供加工一既定數量物品之用。如本機主處理器122係決定 -24- 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 成-----„----訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟耶智慧財產局員工消費合作社印製 44 9 b A7 -___B7____ 五、發明說明（22 ) 一既定研磨製品之現存量已短缺或未來可能短缺時，該短 缺之研磨製品係以270識別及所需之量係由272決定。處理 器係可更進一步協調274以得所需之研磨製品。 本機主處理器122係可更進一步詢問276該特定物品是否 短缺。如係該物品短缺，則以278識別之，所需物品數量係 以280決定，及新物品係由282申請或製造相同之物品。 本機主處理器122係可與其他數據庫相通，其中包括一機 械統計數據庫128。有關供一處或更多處設備用研磨加工機 具之統計係可自機械統計數據庫128獲得及儲存於該庫中。 有利之機械參數係包括操作時間，維修及換班之停工時間 ’加工產量’機械感應數據，如研磨製品之使用，及其他 相關之機械數據。機具與人員之性能係可用儲存於機械統 計數據庫128中之數據評估。 一翻譯數據庫126係用於儲存各種編碼圖樣數據格式之解 碼資訊。例如，一特殊之研磨加工裝置係可配置多個讀取 裝置’每一裝置可感應配置在研磨製品之不同型別資訊圖 樣。例如，一讀取裝置係可使之讀取條碼，而第二讀取裝 置係可使之碩取文字數字記號。該此情況下，該翻譯數據 庫126係包括一.翻譯表’以轉換或解碼第—讀取裝置讀取之 條碼，使之轉成對應的電氣或光學信號。該翻譯數據庫126 係可更進一步包括一翻譯表’以轉換或解碼第二讀取裝置 II取之文字數字記號’使之轉成對應的電子或ASCII格式， 如光學字符辨識演算法所使用者。其他翻譯表係可用以支 援’修改，及更正該數據庫126 ’以便利解碼在研磨製品上 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公蜚） ------------- ^ ----— — —^-11· — 丨 — — 1! I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 〇4 五、發明說明（23 不同型別之編碼資訊圖樣。 —特別處理數據庫132係可自本機主處理器122存取，以 璃·應一已知研磨製品或受磨物品之特別處理或操作需求。 例如’一研磨帶係可能於製造時即在一特定位置具有特定 之缺點° 一資訊圖樣’如一資訊幀或獨立數據區段之標题 ’係可配置在研磨帶之上，通常係配置在該帶開始之處， 供識別缺點位置之用。該缺點位置資訊係另配置在帶心芯 或包裝材料之上。當讀取後，研磨機械控制器13〇係用該缺 點位置資訊’以避免於研磨加工中使用該缺點位置。 缺點位置資訊及其他特別處理資訊係可由研磨製品製造 商另行轉合於通信介面114之通信通路140傳輸至本機主處 理器122。應瞭解，通信介面114係可採用，以自耦合於本 機主處理器，或其他方式存取之數據庫接受及傳遞數據。 本發明各實例之前述説明係供圖説與説明之用。但非欲 澈底限制本發明前述之精細説明。以上述爲依據之修改與 變化係可行。例如，條碼，伺服碼，周期標記，諸如此類 係爲普遍熟知之技藝及係適合以與本發明原理一致之方式 用於研磨加工控制及數據獲得β標記之正確特性係視其服 務目的而定’及適當標記系統之選擇以各目的所用編碼方 式係精於此技藝者所熟知。 更進一步之範例，係該研磨製品具有一不同幾何形狀之 平面構型。該研磨製品係可呈長方形，圓形或橢圓形及可 作直線或旋轉運動。該研磨製品也可係具有固定長度之臀 ，以及連續性之帶。例如，該帶係可構成一三次元，複合 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（21CU 297公釐） (锖先閱讀背面之;i4事項再填寫本頁> ^-----„----訂 -----I!線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局MR工消費合作社印製 44〇496 Α7 Β7 五、發明說明（24 ) ，固定型之帶，以於半導體晶圓製造時，適合供鉋平中間 層之用。該研磨製品係可用於研磨加工矽，鍺，坤化鎵， 玻璃’陶瓷’金屬，複合式，及木製物品等各種用途。 而且，該研磨製品係構成一可相對可運動之墊及研磨薄 漿β該墊係在控制下根據本發明原理相對該物品運動，這 樣’該墊及該研磨薄漿係以研磨方式接觸於物品。配置在 該墊上之機械識別圖樣係可於清洗操作讀取。視研磨加工 装置之構型而定’機械識別圖樣係可於研磨製品接觸該物 品前，在第一讀取位置讀取及於研磨製品接觸該物品後， 在第二讀取位置讀取。 該研磨製品係也可具有複合式之構型，該構型係包括一 硏磨層附著於一基板或次·墊之上。該次-墊係可以資訊圖 樣編碼’或以另外或額外之資訊圖樣配置在該研磨層上。 複合式研磨製品之製造係可包括一硬板，如一聚碳_酸醋板 ’該板正反兩面皆具有磨料。一襯層係附著於該黏著層之 上，及該研磨材料層係配置在該襯層之上。一彈性層，如 一海綿墊’係附著於該硬板之另一面之上。該硬板係提供 該複合式研磨製品之局部強度，而該彈性墊則提供相當程 度之順從性。 本發明之範圍係不受前述説明之限制，而係由申請專利 範圍规範之。 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） — — — — — — — — — — —1*' 1 I I 1 I I I »IIIIIIJ* I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁>

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 2 〇496 六、申請專利範圍 供研磨加工一物品之方法，係包括： 提供一研磨製品，該製品係包括機械識别圖樣； 使該研磨製品相對該物品運動； 讀取該機械識別圖樣；及 使用該機械識別圖樣控制該研磨製品相對該物品之運 動。 " 根據申請專利範圍第丨項之方法’其中該讀取之機械識 別圖樣係包括一種或更多可機械識別之電氣特性，光學 特性’機械特性或磁性特性的機械識別圖樣； 該機械識別圖樣係包括一種或更多之索引資訊，伺服 資訊’校準·資訊或研磨製品識別資訊；及 研磨製品運動之控制係包括利用該伺服資訊控制該研 磨製品相對該物品之運動。 3根據申凊專利範圍第1項之方法，其中該機械識別圖樣 係包括索引資訊，及控制研磨製品運動係包括計算該研 磨製品之一位置，即該研磨製品利用該索引資訊接觸該 物品之位置。 4 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該機械識別圖樣 係包括索引資訊，及控制研磨製品運動係包括利用該索 引資訊控制該研磨製品相對該物品運動之方向。 5 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中該機械識別圖樣 係包括校準資訊，及控制研磨製品運動係包括利用該校 準資訊控制該研磨製品相對該物品之校準。 6 .根據申請專利範園第1項之方法，其中該機械識別圖樣 28 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公笼 ---I I-------- .衣-----r---訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 Α8 BS C3 D8 、申請專利範圍 係包括研磨製品識別資訊’該方法係更進_步包括^證 ’認證该研磨.製品係適於研磨加工該物品與否，其十控 制研磨製品運動係包括根據該研磨製品係適於研磨加工 該物品之認證失敗而不允許該研磨製品運動。 1'根據申請專利範圍第1項之方法，其中該機械識別圖樣 係包括至少一種可機械識別之電氣特性，光學特性，形 狀特性或磁性特性的機械識別圖樣。 8，根據申請專利範圍第1項之方法’其中該機械識別圖樣 係包括一種或更多之記號，突出部份，凹進部份，孔， 空白，顏色變化，條碼，磁性傳遞或周期標記。 9·根據申請專利範圍第1項之方法，其中該機械識別圖樣 係包括一第一圖樣部份及一第二圖樣部份，其中該第一 圏樣部份顯示之一機械識別特性係不同第二圖樣部份顯 示之一機械識別特性。 I 0 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中該機械識別圖樣 之讀取係包括識別一處或更多處該研磨製品故障區域之 資訊，及控制該研磨製品運動係包括利用該故障位置資 訊控制研磨製品運動，以避免該故障區域與該物品接觸。 II ·根據申請專利範園第1項之方法，其中該研磨製品係包 括一墊及一研磨薄漿，一拋光薄膜，或一織品帶。 1 2 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中該機械識別圖樣 之讀取係更進一步包括於該研磨製品接觸該物品前之在 第一讀取位置的讀取該機械識別圖樣及於該研磨製品接 ‘觸該物品後之在第二讀取位置的讀取該機械識別圖樣。 -29- 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公爱） (請先Μ讀背面之注音V事項再填寫本頁) -----Κ---訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 44〇49 6 A8 B8 C8 D8 其中該機械識別圖樣 光學特性，形狀特性 其中該機械識別圖樣 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 h 社 印 製 、申請專利範圍 1 3 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中該物品係包括— 矽，鍺，坤化鎵，玻璃，陶瓷，複合式，木製或金屬物 品，或一半導體晶圓。 14.根據申請專利範圍第丨項之方法，係更進一步包括該研 磨加工方法參數之最佳化，該參數係包栝一項或更多项 之研磨製品之速度，溫度，該研磨製品與該物品間之張 力或接觸壓力。 1 5 . —供研專加工一物品之研磨製品，係包括： 一基層，係具有一第一表面及一第二表面； 一研磨材料係配置該第一表面之上；及 一機械識別圖樣，係配置在該第一表面或該第二表面 之一或兩者之上，以供產生一控制該研磨製品相對該物 品運動之控制信號。 1 6 _根據申請專利範圍第1 5項之製品 . 係包括一可機械識別之電氣特性 或磁性特性的機械識別圖樣。 1 7 .根據申請專利範園第1 5項之製品 係包括記號’該記號係配置在該第一表面或該第二表面 之一或兩者之上。 18.根據申請專利範圍第15項之製品，其中該機械識別圖樣 係包括一處或更多之突出部份，凹部或缺口配置在該第 一表面或該第二表面之一或兩者之上。 1 9 .根據中清專利範園第1 5項之製品，其中該機械識別圖樣 ‘係包括條碼。 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） ---4-----„----訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   20.根據巾請專利範園第15項之m中該機械識別圖樣 係包括伺服，索引，或研磨製品識別資訊β 2ι. _中請專利範園第15項之製品，丨中該機械識別圖樣 係包括至少一第一圖樣部份及一第二圖樣部份，該第— 圖樣部份顯示之機械識別特性係不同於該第二圖樣部份。 22. 根據申請專利範圍第η項之製品，係更進—步包括一或 更多凸耳附著於該研磨製品之上，其中該第一圖樣部份 係配置夺該第一表面或該第二表面之—或兩者之上及該 第二圖樣部份係配置在一或更多凸耳之上。 23. 根據申請專利範圍第15項之製品，其中該第二表面係大 致平行於該第一表面。 24. 根據申請專利範圍第15項之製品，其中該第二表面係大 致垂直於該第一表面。 25‘根據申請專利範園第15項之製品，其中該研磨製品面係 具有一連續帶之構型，或一分離板之構型。 26.根據申請專利範圍第15項之製品，其中該研磨製品面係 包括一墊及一研磨薄漿，一抛光薄膜，或一織品帶。 2 7.根據申請專利範圍第1 5項之製品，其中該機械識別圏樣 係配置在一標籤之上，該標籤係可附著於該第一表面或 該第二表面之一或兩者之上。 2 8 . —供研磨加工一物品之裝置，係包括： 一支撑’係供支撑一研磨製品用，該研磨製品係包括 —機械識別圖樣； 一安裝夹具’係供使該物品與該研磨製品接觸或分離 -31 - 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 44 〇4 9 6 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 之用； 一致動器’供使該研磨製品相對該物品運動之用；及 —檢測器，係供該機械識別圖樣用；及 —控制器’係供利用該機械識別圖樣控制該研磨製品 相對該物品運動用。 29,根據申請專利範圍第28項之裝置，其中該檢測器係包括 —具或更多具之電氣檢測器，光學檢測器，機械檢測器 ，或磁力檢測器。 3 〇根據申請專利範圍第28項之裝置，其中該檢測器係檢測 該機械識別圖樣中一項或更多項之索引資訊，伺服資訊 ’校準資訊或研磨製品識別資訊。 31. 根據申請專利範圍第28項之裝置，其中該機械識別圖樣 係包括索引資訊，及該控制器係利用該索引資訊計算該 研磨製品之一位置，該研磨製品係在該處以研磨方式接 觸該物品。 32. 根據申請專利範圍第Μ項之裝置，其中該機械識別圖樣 係包括伺服資訊’及該控制器係利用該伺服資訊控制該 研磨製品相對該物品運動之速度。 3 3.根據申請專利範園第28項之裝置，其中該機械識別圖樣 係包括伺服資訊’及該控制器係利用該伺服資訊控制該 研磨製品相對該物品運動之方向。 34.根據申請專利範園第28項之裝置，其中該機械識別圖樣 係包括校準資訊’及該控制器係利用該校準資訊控制該 ’研磨製品相對該物品之校準。 -32 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公《 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ -----.1---訂---------. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A D A8 B8 C8 D8 力、申請專利範圍 3 5 .根據申請專利範圍第2 8項之裝置，其中該機械識別圖樣 係包括研磨製.品識別資訊，及該控制器係於移動該研磨 製品接觸該物品前，認證該研磨製品係適於研磨加工該 物品。 36·根據申請專利範園第28項之裝置，其中該機械識別圖樣 係包括識別一處或更多處該研磨製品故障區域之資訊， 及該控制器係利用該故障位置資訊控制該研磨製品之運 動’以避免該故障區域與該物品接觸。 37. 根據申請專利範園第28項之裝置，其中該物品係包括一 矽，鍺，砷化鎵’玻璃，陶瓷，複合式，木製或金屬物 品。 38. 根據申請專利範固第28項之裝置，其中該物品係包括一 半導體晶圓。 39_ —利用一研磨裝置獲得隨附加工物品之資訊的方法，該 方法係包括： 提供一包括一機械識別囷樣之研磨製品； 讀取該機械識別圖樣； 獲得茲研磨製品之識別，即自一數據庫，利用該機械 識別圖樣獲得； 產生數據’即利用該經識別之研磨製品產生随附加工 物品之數據；及 儲存該數據於數據庫中。 4〇·根據申請專利範圍第39項之方法，係更進一步包括： 識別該需加工之物品，即利用該研磨加工裝置識別該 -------------- 一-----r---訂·--------線, <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -33- A8 B8 C8 D8 ^^0496 六、申請專利範圍 需加工之物品； 認證，係利.用該數據庫認證用該經識別之研磨製品加 工該經識別之該物品的適合性。 4 1 .根據申請專利範圍第4 0項之方法，其中該物品係包括人 工或電子方式輸入該物品識別至數據庫中。 4 2 .根據申請專利範圍第3 9項之方法，係更進一步包括利用 該經識別之研磨製品，根據該經識別之該物品的加工適 合性認證失敗’而不允許加工該物品。 43·根據申請專利範圍第39項之方法，其中產生之數據係包 括產生該經識別之研磨製品加工該物品位置之數據。 44.根據申請專利範圍第39項之方法，其中產生之數據係包 括該經識別之研磨製品或該物品之一或二者的清點數據。 45_根據申請專利範圍第39項之方法，其中產生之數據係包 括使用該經識別之研磨製品加工一或更多該物品之統計。 4 6 .根據申請專利範園第3 9項之方法，其中產生之數據係包 括使用該經識別之研磨製品加工該物品之總數。 4 7 _根據申請專利範圍第3 9項之方法，係更進一步包括傳遞 儲存於該數據庫之加工數據至一遙控處理器。 4 8 . —供使用一研磨加工裝置獲得一物品加工有關資訊之系 統，該系統係包括： 一控制器，係耦合於該研磨加工裝置； 一檢測器，係耦合於該控制器，該檢測器係檢測該研 磨加工裝置使用之一研磨製品上配置之一機械識別圖樣 ，以研磨加工該物品； _ - - I I ] ---- - i -· - ----r I I I --------- I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 •34· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 4 04 9 6 g88 C8 ___D8 六、申請專利範圍 一主處理器，係耦合於記憶體；及 一介面，係辞合該主處理器至該研磨加工裝置之控制 器，該主處理器係自該控制器接收該研磨製品之識別資 訊及儲存該研磨製品之識別資訊於該記憶體中。 49.根據申請專利範圍第48項之系統，其中該主處理器或該 控制器係利用該研磨製品識別資訊轉換該機械識別圖樣 爲一對應該研磨製品之一致性。 5 0.根據申請專利範園第48項之系統，其中需用該研磨加工 装置加工之該物品的一致性係儲存於該記憶體中，及該 主處理器係以該物品一致性與該硏磨製品識別資訊共同 認證使用該研磨製品加工該物品之適合性。 51 ·根據申請專利範圍第50項之系統，其中該主處理器係根 據使用該研磨製品加工該物品適合性認證之失敗傳遞一 不允許信號至該控制器，該控制器即根據該不允許信號 不允許加工該物品。 52.根據申請專利範圍第48項之系統，係更進一步包括一輸 入裝置，該物品一致性係用該輸入裝置輸入至該記憶體 中；該輸入裝置係包括一鍵盤，一語音辨識裝置，一光 學掃瞄裝置，，或一條碼讀取機。 5 3.根據申請專利範圍第48項之系統，其中該控制器係產生 該經識別之研磨製品加工該物品位置之數據，該控制係 傳遞該數據至該主處理器。 5 4.根據申請專利範園第4 8項之系統，其中該控制器係產生 •該經識別之研磨製品或該物品之一或二者的清點數據。 -35- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ;r-----r---訂--------* 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 44〇496 六、申請專利範圍 5 5 .根據申請專利範圍第4 8項之系統，其中該控制器係產生 使用該經識別.之研磨製品加工一或更多該物品之統計數 據。 5 6 .根據申請專利範圍第4 8項之系統，其中該控制器係產生 使用該經識別之研磨製品加工該物品之總數數據。 -----------I I -----^---訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -36- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公茇）