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Hintergrund der Erfindung
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Gebiet der
gewerblichen Anwendung
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Die
Erfindung betrifft eine Quecksilber-Hochdrucklampe und ein Verfahren
für deren
Herstellung. Die Erfindung betrifft insbesondere eine Quecksilber-Höchstdrucklampe,
bei welcher ein Entladungsgefäß mit wenigstens
0.16 mg/mm3 Quecksilber gefüllt ist,
bei welcher der Quecksilber-Dampfdruck während des Betriebs wenigstens
110 atm beträgt, und
welche als Hintergrundlicht einer Flüssigkristall-Anzeigenvorrichtung
oder dergleichen verwendet wird.
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Beschreibung
des Standes der Technik
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Bei
einer Flüssigkristall-Anzeigenvorrichtung vom
Projektionstyp besteht ein Bedarf an einer gleichmäßigen Beleuchtung
von Bildern auf einer rechteckigen Bildfläche mit einer ausreichenden Farbwiedergabe.
Es wird deshalb als Lichtquelle eine Metallhalogenidlampe verwendet,
welche mit Quecksilber sowie Metallhalogeniden gefüllt sind.
Die Metallhalogenidlampen wurden in letzter Zeit noch weiter verkleinert,
so dass sie mehr und mehr Punktlichtquellen darstellen. In der Praxis
werden Metallhalogenidlampen mit einem äußerst kleinen Abstand zwischen
den Elektroden eingesetzt.
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Ausgehend
von diesem Hintergrund wurden in letzter Zeit statt Metallhalogenidlampen
Lampen mit einem äußerst hohen
Quecksilber-Dampfdruck vorgeschlagen, welcher beispielsweise bei
mindestens 200 bar (ca. 197 atm) liegt. Hierbei wird durch eine
Erhöhung
des Quecksilber-Dampfdrucks
die Streuung des Lichtbogens unterdrückt (konzentriert) und ferner
eine weitere Erhöhung
der Lichtintensität angestrebt.
Diese Lampen sind beispielsweise in der Japanischen Offenlegungsschrift
HEI 2-148561 und dem entsprechenden US-Patent 5,109,181 sowie in der
Japanischen Offenlegungsschrift HEI 6-52830 und dem entsprechenden
US-Patent 5,497,049 offenbart.
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US 338 23 96 A offenbart
eine Quecksilberhochdrucklampe mit 0.12 mg/mm
3 Quecksilber
und 5 × 10
–4 bis
5 × 10
–2 μmol/mm
3 Halogengehalt. Das Halogen wird der Lampe
in Form eines Alkalihalogenids zugeführt.
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Im
US-Patent 5,109,181 ist eine Quecksilber-Hochdrucklampe offenbart,
bei welcher ein mit einem Elektrodenpaar aus Wolfram versehenes
Entladungsgefäß mit einem
Edelgas, wenigstens 0.2 mg/mm3 Quecksilber
und einem Halogen im Bereich von 1 × 10–6 bis
1 × 10–4 μmol/mm3 gefüllt
ist. Diese Lampe wird mit einer Wandbelastung von größer/gleich
1 W/mm2 betrieben. Der Grund für die Zugabe
einer Quecksilbermenge größer/gleich
0.2 mg/mm3 liegt in einer Verbesserung der
Farbwiedergabe durch eine Erhöhung
des Quecksilberdrucks und des kontinuierlichen Spektrums im Bereich
der sichtbaren Strahlen, insbesondere im Rotbereich. Der Grund für die Wandbelastung
von größer/gleich 1
W/mm2 liegt in dem Bedarf an einer Temperaturerhöhung in
dem kühlsten
Bereich, um den Quecksilberdruck zu erhöhen. Der Grund für die Zugabe
des Halogens ist eine Verhinderung der Schwärzung der Röhrenwand, was dem Patent zu
entnehmen ist. Der Grund für
die Festlegung der Halogenmenge im Bereich von 1 × 10–6 bis
1 × 10–4 μmol/mm3 ist jedoch nicht beschrieben. Beschrieben
ist ferner auch, dass das Halogen in Form von Methylenbromid (CH2Br2) zugegeben wird.
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Andererseits
ist in US-Patent 5,497,049 offenbart, dass zusätzlich zu den vorstehend beschriebenen
Quecksilbermenge, der Wert der Wandbelastung, die Halogenmenge,
die Form des Entladungsgefäßes sowie
der Abstand zwischen den Elektroden festgelegt ist und ferner als
Halogensorte Brom verwendet wird. Der Grund für die Zugabe des Broms liegt
in einer Verhinderung der Schwärzung
der Röhrenwand.
Ab einer Zugabe von 10–6 μmol/mm3 Brom wird
eine ausreichende Wirkung erzielt. Ferner wird gezeigt, dass bei
einer Brommenge von mehr als 10–4 μmol/mm3 die Elektroden geätzt werden. Ferner ist beschrieben,
dass diese Lampe als eine Projektor-Lichtquelle geeignet ist und
dass der Aufrechterhaltungsgrad der Beleuchtung der Bildfläche eines Flüssigkristall-Projektionsfernsehgerätes besser
ist als bei einer herkömmlichen
Lampe.
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Aufgrund
der in den vorstehend beschriebenen Druckschriften des Standes der
Technik offenbarten Spezifikationen wurde eine Vielzahl der Lampen
hergestellt, in einen Flüssigkristall-Projektor eingebaut
und Versuche im Hinblick auf die Beleuchtungsintensität der Bildfläche durchgeführt. Im
Ergebnis wurde ersichtlich, dass in der Realität nach einem Betrieb der Lampen
von einigen hundert Stunden die Beleuchtungsintensität der Bildfläche erheblich
verringert war.
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Diese
Verringerung der Strahlungslichtintensität resultierte aus einer milchigen
Eintrübung
eines Teils des Entladungsgefäßes. Ferner
breitet sich die milchige Eintrübung
rasch aus, sobald sie einmal in einem Teil des Entladungsgefäßes entstanden
ist. Die Entstehung sowie die Ausbreitung dieser milchigen Eintrübung führen zu
einer Schwärzung
der Röhrenwand,
ferner treten zusätzlich
Verformungen sowie Abnutzung der Elektrodenspitzen auf. Es wurde herausgefunden,
dass durch synergistische Einflüsse
eine Verringerung der Beleuchtungsintensität der Bildfläche verursacht
wird.
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Hierbei
ist der Mechanismus der Entstehung der milchigen Eintrübung in
dem Entladungsgefäß und der
Ausbreitung der entstandenen milchigen Eintrübung nicht ganz klar. Als Folge
der von den Erfindern gesammelten und überprüften Untersuchungen wird jedoch
folgendes vermutet:
Bei einer Entladung in einem Gasgemisch
aus Quecksilberdampf mit einem äußerst hohen
Druck, wobei die Menge an zugefügtem
Quecksilber wenigstens 0.16 mg/mm3 beträgt, und
dem Edelgas wird Excimer-Licht von Quecksilber-Edelgas in einem Wellenlängenbereich
zwischen Edelgas-Excimer-Licht und einer Quecksilber-Resonanzlinie
mit einer Wellenlänge
von 185 nm erzeugt. Wenn als Edelgas Ar, Kr und Xe verwendet werden,
entsteht jeweils Edelgas-Excimer-Licht
mit Wellenlängen
von ca. 126 nm, 146 nm sowie 172 nm. Da der Quecksilber-Druck sehr
hoch ist, nimmt die Linienbreite der Resonanzlinie der Quecksilberatome
mit 185 nm zu. Die Lichtintensität
mit Wellenlängen,
welche kürzer sind
als die der Resonanzlinie, wird relativ verstärkt. Zugleich entsteht zwischen
dem Edelgas-Excimer-Licht und dem Licht der Wellenlänge 185
nm Quecksilber-Edelgas-Excimer-Licht.
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Bei
einer derartigen Quecksilber-Höchstdrucklampe
werden das Excimer-Licht durch das Edelgas (Licht mit den Wellenlängen von
126 nm, 146 nm und 172 nm), das Licht mit den Wellenlängen, welche
kürzer
sind als die Resonanzlinie der Quecksilberatome bei 185 nm, sowie
das Quecksilber-Edelgas-Excimer-Licht (nachfolgend wird dieses "UV-Strahlung kurzer
Wellenlängen" genannt) im Bandbereich
von ca. 126 nm bis 185 nm, äußerst gut ausgestrahlt.
Diese UV-Strahlung
kurzer Wellenlängen
weist auf der Innenseite des Entladungsgefäßes eine äußerst große Bestrahlungsdichte auf,
weil die Wandbelastung des Entladungsgefäßes groß ist.
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Andererseits
besteht eine Tendenz, dass der Wellenlängenbereich, in welchem die
Absorption durch das das Entladungsgefäß bildende Quarzglas erfolgt,
in Richtung auf längere
Wellenlängen
verschoben wird, wenn die Temperatur des Entladungsgefäßes hoch
wird. Bei einer Quecksilber-Hochdrucklampe mit einem hohen Wert
der Wandbelastung von größer/gleich
0.8 W/mm2 weist das Quarzglas eine sehr
hohe Temperatur auf, wodurch die ausgestrahlte UV-Strahlung kurzer
Wellenlängen von
dem Quarzglas absorbiert wird.
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Das
heißt
dass bei einer Quecksilberlampe mit einem äußerst hohen Quecksilber-Dampfdruck sowie
einer äußerst hohen
Wandbelastung UV-Strahlung kurzer Wellenlängen in einer Intensität ausgestrahlt
wird, welche mit der UV-Strahlung mit kurzen Wellenlängen einer üblichen
Quecksilberlampe nicht vergleichbar ist, und diese UV-Strahlung
kurzer Wellenlängen
befindet sich in einem Zustand, in welchem sie von dem Quarzglas
leicht absorbiert wird.
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Wenn
die vorstehend beschriebene UV-Strahlung mit kurzen Wellenlängen von
dem Quarzglas absorbiert wird, wird die Bindung von Silizium (Si)
mit Sauerstoff (O), welche das vorstehend beschriebene Quarzglas
bildet, zerstört
wodurch eine Dehnungs-Spannung und somit eine fundamentale Veränderung
der Oberflächenzusammensetzung der
Quarzglasoberfläche
entstehen. Bestrahlung mit der UV-Strahlung kurzer Wellenlängen verursacht Verdampfung
von Si oder SiO, aus welchem das Quarzglas besteht, und das Si oder
SiO wird an der unmittelbar benachbarten Oberfläche des Quarzglases adsorbiert.
Wenn große
Mengen UV-Strahlung kurzer Wellenlängen absorbiert werden, entstehen deshalb
auf der Oberfläche
des Quarzglases feine konvexe oder konkave Stellen, wodurch vermutlich die
milchige Eintrübung
auftritt.
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In
diesem Fall ist die absorbierte Menge an UV-Strahlung kurzer Wellenlängen in
einem Zustand, in welchem die Oberfläche des Quarzglases rein ist, relativ
klein. Es besteht jedoch eine Tendenz, dass das Ausmaß der Absorption
desto größer wird,
je mehr Verunreinigungen vorhanden sind. Daher ist es wünschenswert
während
des Betriebs der Lampe eine Regelung zu haben die den Effekt hat,
dass die Innenoberfläche
des Quarzglases keine Verunreinigungen aufweist. Aus diesem Grund
ist es notwendig, das Mischen von Stoffen, welche Verunreinigungen
im Entladungsgefäß verursachen,
während
der Lampenherstellung so weit wie möglich zu vermeiden.
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Hierbei
ist Kohlenstoff ein verunreinigender Stoff, der besonders schwierig
zu handhaben ist, weil er in der Herstellungsumgebung der Lampe
in Form von verschiedenen organischen Verbindungen vorkommt.
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Wenn
in einem Teil des Quarzglases die milchige Eintrübung entsteht, wird durch mehrfach
Reflexion des Lichtes, welches Infrarotstrahlung enthält, Wärme absorbiert,
wodurch die Temperatur dieses milchig eingetrübten Teiles ansteigt. Als Folge
davon verschiebt sich das von dem Quarzglas absorbierte Licht zu
längeren
Wellenlängen
hin, wodurch die Absorption der UV-Strahlung kurzer Wellenlängen von dem
Quarzglas noch mehr beschleunigt wird. Man kann sich vorstellen,
dass als Folge davon auch die Bildung der feinen konvexen oder konkaven
Stellen beschleunigt wird und dass deshalb die milchige Eintrübung rasch
fortschreitet.
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Ferner
verdampft Si oder SiO aus der Röhrenwand,
wenn die Bindung von Si und 0 des Quarzglases durch UV-Bestrahlung
zerstört
wird. Das verdampfte Si oder SiO haftet an den E lektrodenspitzen an
und senkt den Schmelzpunkt des Wolframs ab, was eine Verformung
sowie Abnutzung der Elektrodenspitzen sowie eine Schwärzung der
Röhrenwand durch
Wolfram verursacht.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Quecksilber-Hochdrucklampe
anzugeben, bei welcher eine Entstehung sowie ein Fortschreiten der milchigen
Eintrübung
in dem das Entladungsgefäß bildenden
Quarzglas vorteilhaft verhindert werden kann, und bei welcher somit,
bei einer Verwendung einer Quecksilber-Hochdrucklampe als Lichtquelle für einen
Flüssigkristall-Projektor oder dergleichen, eine
rasche Abnahme der Bildflächen-Beleuchtungsintensität verhindert
wird.
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Erfindungsgemäß wird die
Aufgabe in einer Quecksilber-Hochdrucklampe, welche ein Entladungsgefäß aus Quarzglas
aufweist, das ein gegenüberliegend
angeordnetes Elektrodenpaar aus Wolfram enthält und welches eine Menge Quecksilber vonwenigstens
0.16 mg/mm3, Edelgas sowie wenigstens ein
Halogen enthält,
und bei welcher die Wandbelastung bei größer/gleich 0.8 W/mm2 liegt, dadurch gelöst, dass die Einfüllungsmenge
des Halogens im Bereich von 2 × 10–4 bis
7 × 10–3 μmol/mm3 festgelegt ist.
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Gemäß einem
anderen Aspekt der Erfindung wird die Aufgabe in einem Verfahren
zur Herstellung einer Quecksilber-Hochdrucklampe, in dem ein Entladungsgefäß aus Quarzglas
eingegenüberliegend angeordnetes
Elektrodenpaar aus Wolfram enthält, Quecksilber
in einer Menge von mindestens 0.16 mg/mm3,
Edelgas und wenigstens ein Halogen in Form einer Halogenverbindung
und in der die Wandbelastung wenigstens 0.8 W/mm2 beträgt, dadurch gelöst, dass
das wenigstens eine Halogen in Form einer kohlenstofffreien Halogenverbindung
in das Entladungsgefäß eingefüllt wird.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung wird die Aufgabe in Verbindung mit
einem der oben beschriebenen Aspekte der Erfindung dadurch gelöst, dass
die mittlere OH-Radikal-Konzentration
in einem Bereich, welcher von der Innenoberfläche des vorstehend beschriebenen
Entladungsgefäßes ausgehend
eine Tiefe von 0.2 mm aufweist, nicht höher als 20 ppm ist.
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Die
Lösung
der Aufgabe wird darüber
hinaus dadurch vereinfacht, dass Quecksilberhalogenid als Halogenverbindung
benutzt wird, insbesondere wenn es an einem Bauteil oder einem Teil
eines Bauteils der Lampe angelagert wird.
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Ein
weiterer Faktor der zusätzlich
zur Lösung der
Aufgabe beiträgt,
ist dass die zugegebene Menge an Edelgas bei größer/gleich 5 kPa liegt.
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Zur
Lösung
der Aufgabe, das heißt,
zur vorteilhaften Verhinderung der Entstehung sowie der Ausbreitung
der milchigen Eintrübung
der Röhrenwand
des Entladungsgefäßes wird
folgendes vorgeschlagen:
- 1. Verringerung der
UV-Strahlung kurzer Wellenlängen,
welche zur Oberfläche
der Röhrenwand (Quarzglas)
gelangt.
- 2. Verminderung der Verunreinigungen, welche die UV-Strahlung
kurzer Wellenlängen
häufig
absorbieren, konkret, die Verringerung von Kohlenstoff.
- 3. Reformierung des Quarzglases an sich, so dass es eine ausreichende
Beständigkeit
gegen UV-Strahlung kurzer Wellenlängen aufweist.
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Im
Bezug auf die erste oben beschriebene Lösung der Aufgabe, also bei
der Zugabe von wenigstens einem Halogen in einer vorgegebenen Menge,
konkret in einer Menge von 2 × 10–4 μmol/mm3 bis 7 × 103 μmol/mm3, durch die Einfüllung von mindestens 2 × 10–4 μmol/mm3 Halogen wird die UV-Strahlung kurzer Wellenlängen durch
diese Halogene) aus einer entsprechenden halogenhaltigen Verbindung vorteilhaft
absorbiert. Als Folge davon verringert sich die Menge an UV-Strahlung
kurzer Wellenlängen, welche
zu der Röhrenwand
(dem Quarzglas) des Entladungsgefäßes gelangt. Das bedeutet dass
die Entstehung sowie die Ausbreitung der milchigen Eintrübung, welche
infolge der Bestrahlung des Quarzglases mit UV-Strahlung kurzer
Wellenlängen
sowie infolge der Absorption von UV-Strahlung kurzer Wellenlängen auftritt,
vorteilhaft verhindert werden kann. Ferner kann, da die Einfüllungsmenge
der Halogene nicht unbeschränkt
ist, sondern auf kleiner/gleich 7 × 10–3 μmol/mm3 beschränkt
ist, die Verformung sowie Abnutzung der Elektroden, welche durch überschüssige Halogene
verursacht werden, auf ein Maß reduziert
werden, welches keinen Einfluss auf die Praxis hat.
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Quecksilber-Hochdrucklampen,
welche mit mindestens einem Halogen in dem vorstehend beschriebenen
Mengenbereich gefüllt
sind, sind aus einigen Druckschriften des Standes der Technik bekannt
(beispielsweise aus der Japanischen Patent Offenlegungsschrift SHO
49-5421). Bei derartigen herkömmlichen
Lampen wird jedoch unter Ausnutzung des Halogenzykluses eine sogenannte
Schwärzung
verhindert, die dadurch entsteht, dass das die Elektroden bildende
Wolfram auf der Innenseite des Entladungsgefäßes (dem Quarzglas) anhaftet.
Erfindungsgemäß wird dagegen
das Halogen in das Entladungsgefäß eingefüllt, um
die UV-Strahlung kurzer Wellenlängen
zu absorbieren. Absorption der UV-Strahlung kurzer Wellenlängen innerhalb
des Entladungsgefäßes verhindert
vorteilhaft, dass die UV-Strahlung kurzer Wellenlängen zu
dem Quarzglas gelangt.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, entsteht diese UV-Strahlung kurzer
Wellenlängen
dadurch, dass bei einer Entladung im Mischgas aus Quecksilberdampf
mit einem äußerst hohen
Druck und Edelgas Excimer-Licht von Quecksilber-Edelgas in einem Wellenlängenbereich
zwischen dem Edelgas-Excimer-Licht und einer Quecksilber-Resonanzlinie
von 185 nm entsteht. Die Entladungsbedingungen der in den vorstehend
beschriebenen Druckschriften des Standes der Technik beschriebenen
Quecksilberlampen dienen dazu, UV-Strahlung mit kurzen Wellenlängen, welche
unter völlig
anderen Bedingungen entsteht, vorteilhaft zu absorbieren. Die Entladungsbedingungen
bei der Erfindung sind konkret:
- – Die zugeführte Menge
des Quecksilbers ist wenigstens 0.16 mg/mm3;
- – Die
Wandbelastung beträgt
mindestens 0.8 W/mm2 ;
- – Edelgas
wird zugeführt.
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Eine
vorteilhafte Absorption der UV-Strahlung kurzer Wellenlängen, welche
unter diesen spezifischen Bedingungen entsteht, war beim Stand der Technik überhaupt
nicht vorhanden.
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In
der zweiten oben beschriebenen Lösung der
Aufgabe ist das Entladungsgefäß mit mindestens einem
Halogen in Form einer kohlenstofffreien Halogenverbindung gefüllt. Bei
einer herkömmlichen Quecksilberlampe
ist das Entladungsgefäß mit einer kohlenstoffhaltigen
Halogenverbindung, wie Methylenbromid (CH2Br2), gefüllt.
Der Kohlenstoffgehalt in dem Entladungsgefäß wird größer. Durch die Adsorption hiervon
an das Quarzglas während
des Betriebs der Lampe wird die UV-Strahlung kurzer Wellenlängen absorbiert.
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In
dem Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Quecksilber-Hochdruckampe
jedoch wird das Halogen in Form einer Verbindung, welche keinen
Kohlenstoff enthält,
wie beispielsweise in Form von Quecksilberbromid und dergleichen,
eingefüllt
um die Absorption der UV-Strahlung kurzer Wellenlängen durch
Kohlenstoff vorteilhaft zu verhindern. Die Absolutmenge des Kohlenstoffes
in dem Entladungsgefäß wird deshalb
kleiner. Die UV-Strahlung mit kurzen Wellenlängen, welche durch den an der
Innenseite des Quarzglases anhaftenden Kohlenstoff absorbiert wird,
kann deshalb in einem vernachlässigbaren
Bereich bleiben, auch wenn eine kleine Menge Kohlenstoff beim Lampenherstellungsvorgang
unerwünschterweise
in das Entladungsgefäß eingemischt
wird. Folglich kann die Entstehung und die Ausbreitung der milchigen
Eintrübung
des Quarzglases vorteilhaft verhindert werden.
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In
der erfindungsgemäßen Quecksilber-Hochdrucklampe,
in welcher die mittlere OH-Radikal-Konzentration
in einem Bereich, welcher von der inneren Oberfläche des Entladungsgefäßes ausgehend
eine Tiefe von 0.2 mm aufweist, höchstens 20 ppm ist, findet
folgendes Anwendung.
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Die
milchige Eintrübung
des Quarzglases entsteht durch das Wachstum von feinen Kristallen aufgrund
einer Umordnung des glasartigen SiO2. Je höher die
Temperatur, desto häufiger
tritt Kristallisation auf. Ferner reagiert glasartiges SiO2 empfindlich auf Verunreinigungen an der
Oberfläche
und breitet sich durch Bildung von Kristallisationskeimen an der Oberfläche ins
Innere des Quarzglases aus. Die Geschwindigkeit des Kristall-Wachstums
wird in diesem Fall durch die Glasviskosität bestimmt und ist beeinflusst
von dem Grad des Mangels an Sauerstoff, der OH-Konzentration sowie dem Gehalt an Verunreinigungen.
Das heißt
dass bei wasserfreiem Quarzglas, welches weniger Sauerstoff enthält, die
Viskosität
höher ist
als bei wasserfreiem Quarzglas, bei dem Sauerstoff das stöchiometrischen
Bedingungen erfüllt. Ferner
wird die Viskosität
auch bei Glas mit einer niedrigen OH-Konzentration höher.
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In
jedem Fall wird die Ausbreitungsgeschwidigkeit der Entglasung bei
derselben Temperatur verringert. Wenn Verunreinigungen hinzukommen
wird die Glasviskosität
in den meisten Fällen
verringert. Im Hinblick auf Aluminium wird die Glasviskosität höher, je
größer das
Verhältnis
des Aluminiums zu dem koexistierenden Alkali, das heißt Aluminium
/ (Lithium + Natrium + Kalium) ist. Das bedeutet, dass die Geschwindigkeit
des Kristallwachstums verringert wird.
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Durch
die Maßnahme,
dass die mittlere OH-Radikal-Konzentration in einem Bereich, welcher von
der Oberfläche
auf der Emissionsraumseite des Quarzglases als Entladungsgefäß ausgehend
eine vorgegebene Tiefe aufweist, kleiner/gleich einem vorgegebenen
Wert ist, kann man die Menge der Absorption der UV-Strahlung mit
kurzen Wellenlängen durch
diesen Quarzglasbereich erheblich verringern. Die Reduzierung der
OH-Konzentration ermöglicht es,
die Viskosität
des Quarzglases zu erhöhen.
Dadurch wird ermöglicht,
die Geschwindigkeit des Fortschreitens der milchigen Eintrübung nach
innen in ausreichendem Maß zu
begrenzen, auch wenn auf der Innenoberfläche dieses Quarzglases die
milchige Eintrübung
auftritt. Das bedeutet, dass durch die Festlegung der OH-Radikal-Konzentration
des Quarzglases die Beständigkeit
gegen UV-Strahlung mit kurzen Wellenlängen verbessert wird.
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Bei
der vorstehend beschriebenen Technik wird als Emissionsmetall Quecksilber
in einer Menge von mindestens 0.16 mg/mm3 eingefüllt, und
die Wandbelastung beträgt
mindestens 0.8 W/mm2. Unter diesen Bedingungen
mit äußerst hohem
Druck wird UV-Strahlung kurzer Wellenlängen mit hoher Intensität erzeugt.
Ausgehend von diesem Umstand wird die Entstehung der milchigen Eintrübung des Quarzglases
durch die UV-Strahlung kurzer Wellenlängen und hoher Intensität verhindert
und zugleich ihr Wachstum reduziert. Das bedeutet, dass die Erfindung
sich auf eine Quecksilber-Höchstdrucklampe mit
den vorstehend beschriebenen Entladungs-Bedingungen bezieht. Daher geht es in
diesem Fall nicht um die Festlegung einer OH-Konzentration im gesamten Quarzglas
, aus welchem das Entladungsgefäß besteht,
als vielmehr um die Festlegung der OH-Konzentration in einem begrenzten
Bereich der inneren Oberfläche
des Quarzglases. Für
die Lösung der
Aufgabe der Erfindung ist die Festlegung der mittleren OH-Radikal-Konzentration
im gesamten Quarzglas nicht wichtig.
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Bei
der Festlegung der Menge an eingefülltem Halogen, wie oben beschrieben
und der Festlegung der OH-Radikal- Konzentration wie ebenfalls beschrieben,
reduziert die Zugabe einer vorgegebenen Menge an Halogen die UV-Strahlung
kurzer Wellenlängen,
welche das Quarzglas erreichen, während bei der Festlegung der
OH-Radikal-Konzentration des Quarzglases die Beständigkeit
des Quarzglases verbessert wird.
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Durch
die Zugabe des Halogens als kohlenstofffreie Verbindung kann der
absolute Kohlenstoffgehalt im Entladungsgefäß reduziert werden und ferner
wird durch die Festlegung der OH-Radikal-Konzentration
des Quarzglases eine Verbesserung der Beständigkeit des Quarzglases angestrebt.
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Da
die Menge des in dem Entladungsgefäß eingemischten Kohlenstoffes
reduziert werden kann, kann folglich die Absorption von UV-Strahlung
kurzer Wellenlängen
durch das Quarzglas wesentlich verringert und somit die milchige
Eintrübung
des Quarzglases vorteilhaft verhindert werden.
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Das
Quecksilberhalogenid zieht nur geringe Feuchtigkeit an. Daher kann
auch der Gehalt des in dem Entladungsgefäß eingemischten Wassers vermindert
werden. Dies erzielt deshalb den Vorteil, dass beim Starten der
Entladung kein gegenteiliger Einfluss auf die Elektroden ausgeübt wird.
Ferner wird bei der hermetischen Versiegelung verhindert, dass im
Fall eines Entladungsgefäßes ohne
Abgasrohr die erwärmten
Bauelemente der Lampe mit Methylenbromid reagieren, und dass SiO2 an den Elektroden anhaftet und auf die
Start-Leistung negative Einflüsse
ausübt.
Als Folge davon kann die Verformung sowie Abnutzung der Elektroden
noch weiter verringert werden.
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Wenn
Quecksilberhalogenid, welches auf einem Bauelement oder einem Teil
eines Bauelements der Lampe angelagert und gemeinsam mit diesem Bauelement
in das Entladungsgefäß eingebracht wird,
kann auf diese Weise im Vergleich zu der herkömmlichen Einfüllung als
Feststoffpulver, ein kleines Entladungsgefäß mit einer höheren Genauigkeit
mit Halogen befüllt
werden. Diese Maßnahme
ist insbesondere im Fall eines Innenvolumens des Entladungsgefäßes von
nicht mehr als 150 mm3 äußerst wirksam. Elektroden sind
als Bauelemente der Lampe für
die Auftragung geeignet. Der Grund hierfür liegt darin, dass die Elektroden
Bauteile sind, welche man in das Entladungsgefäß einschiebt und somit die auf
ihnen aufgebrachten Ablagerungen ebenfalls in den Entladungsraum
hineinragen. Die Bauelemente beschränken sich jedoch nicht auf
Elektro den. Man kann die Halogenverbindung beispielsweise auch durch
Niederschlag auf der Innenoberfläche
des Entladungsgefäßes und
dergleichen in das Entladungsgefäß einbringen.
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Dadurch
dass das Edelgas bei der Einfüllung einen
Druck von wenigstens 5 kPa hat, und dass das Quecksilbers in einer
Menge zugeführt
wird, durch die im Betrieb hoher Druck erreicht werden kann, kann
die Lichtintensität
noch weiter gesteigert werden und zugleich das kontinuierliche Spektrum
im Bereich des sichtbaren Lichtes, insbesondere im Rotbereich, verstärkt werden.
Zum Starten der Entladung ist jedoch Edelgas nötig. Bei der erfindungsgemäßen Quecksilber-Hochdrucklampe ist
die zugegebene Menge an Quecksilber groß. Beim Ausschalten der Lampe
gibt es deshalb viele Fälle,
in welchen sich das Quecksilber an den Fußpunkten der Elektroden ansammelt.
Wenn in diesem Zustand die Entladung gestartet wird, wird zwischen
den Spitzen der Elektroden keine Entladung erzeugt. Die Entladung entsteht
immer häufiger
in der Weise, dass die Fußpunkte
der Elektroden Leuchtflecke sind. Wenn eine derartige abnorme Entladung
auftritt, verdampft das Wolfram oder spritzt durch "Sputtern" ab, was eine Schwärzung der
Innenoberfläche
des Entladungsgefäßes verursacht.
Die erfindungsgemäße Lampe weist
eine äußerst hohe
Wandbelastung auf, was einer kleinen Fläche der Röhrenwand entspricht. Die Schwärzung tritt
dementsprechend heftig auf. Wenn aber der Druck des Edelgases auf
größer/gleich
5 kPa festgelegt wird, entsteht häufiger eine Entladung zwischen
den Elektrodenspitzen, wobei die Entladungsstrecke zwischen den
Spitzen am kürzesten ist.
Dadurch tritt keine abnorme Entladung mehr auf und das vorstehend
beschriebene Problem wird somit beseitigt.
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Erfindungsgemäß wird die
Entstehung und die Ausbreitung der milchigen Eintrübung des
Quarzglases durch UV-Strahlung kurzer Wellenlängen, welche durch das Einfüllen einer
großen
Menge Quecksilbers und Edelgas entsteht, verhindert. Als Edelgas
werden beispielsweise Argon, Xenon und Krypton verwendet. Um den
vorstehend beschriebenen Vorteil zu erhalten, entspricht die zugegebene Menge
Edelgas vorzugsweise wenigstens 5 kPa.
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Im
Folgenden wird die Erfindung anhand einiger in den Figuren dargestellter
Ausführungsbeispiele
weiter erläutert.
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Kurze Beschreibung
der Figuren
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1.
zeigt einen Querschnitt einer erfindungsgemäßen Quecksilber-Hochdrucklampe;
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2.
zeigt einen Graph der spektralen Verteilungsfunktion der erfindungsgemäßen Quecksilberhochdrucklampe;
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3.
zeigt einer Tabelle mit experimentellen Ergebnissen welche die Wirkungsweise
der Erfindung zeigen; und
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4.
zeigt einen Graph der experimentellen Ergebnisse welcher die Wirkungsweise
der Erfindung verdeutlicht.
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Detaillierte
Beschreibung einer bevorzugten Ausführung
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1 zeigt
eine erfindungsgemäße Quecksilber-Hochdrucklampe
mit einem Entladungsgefäß 2 aus
Quarzglas im Zentrum und schmalen hermetisch abgesiegelten Teilen 3 welche
an die entgegengesetzten Enden des Entladungsgefäßes angrenzen. Im Innenraum
des Entladungsgefäßes 2,
(nachfolgend wird dieser "Emissionsraum" genannt) befinden sich
ein Paar von Elektroden 4, die mit einem Abstand von ca.
1.2 mm zueinander angeordnet sind. Die rückwärtigen (äußeren) Enden der Elektroden 4 ragen
in die hermetisch abgeschlossenen Teile 3 hinein und sind
jeweils mit einer Metallfolie 5 verschweißt. Mit
den anderen Enden der Metallfolien 5 sind Außenanschlüsse 6 verbunden.
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In
dem Emissionsraum sind als Emissionsstoff Quecksilber und ferner
als Betriebs-Startgas ein Edelgas, wie Argon, Xenon und dergleichen,
eingefüllt.
Das Edelgas ist auch ein Emissionsstoff, welcher bei einem stationären Betrieb
Quecksilber-Excimer-Licht emittiert. Hierbei beträgt die Einfüllungsmenge
des Quecksilbers wenigstens 0.16 mg/mm3, wodurch
der Dampfdruck in einem stabilen Betrieb bei größer/gleich 110 atm liegt.
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Diese
Quecksilber-Hochdrucklampe weist beispielsweise einen maximalen
Außendurchmesser von
10.5 mm, einen maximalen Innendurchmesser von 4.5 mm, eine Emissionsraum-Länge (die Länge in Achsrichtung der Lampe)
von 10.0 mm, eine Einfüllungsmenge
des Quecksilbers von 17 mg, ein Innenvolumen des Emissionsraums
von 75 mm3, eine Innenoberfläche des
Emissionsraums von 100 mm2, eine Wandbelastung
von 1.5 W/mm2 sowie eine Nennleistung von
150 W auf.
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2 zeigt
schematisch die spektrale Verteilung des vorstehend beschriebenen
Beispiels einer Quecksilber-Hochdrucklampe. Wie aus der Zeichnung
ersichtlich, erfolgt eine effektive Strahlung im sichtbaren Bereich
mit Wellenlängen
von ca. 380 nm bis 780 nm. Insbesondere im Rotbereich mit Wellenlängen von
600 nm bis 780 nm erfolgt eine kontinuierliche Strahlung mit hoher
Intensität,
welche im Vergleich zu einer Lampe mit einer Einfüllungsmenge des
Quecksilbers von nicht mehr als 0.05 mg/mm3 erheblich
vergrößert wurde.
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Nachfolgend
wird ein Experiment im Hinblick auf die Bildflächen-Beleuchtungsintensität beschrieben,
wobei in der erfindungsgemäßen Quecksilber-Hochdrucklampe
die Menge des eingefüllten
Halogens verändert
wurde. Bei dem Versuch wurden, wie in 3 veranschaulicht
wird, acht Quecksilber-Hochdrucklampen verwendet, und nur die Einfüllungsmenge
des Halogens (des Broms) wurde verändert, wobei die sonstigen
Bedingungen im wesentlichen mit den Werten bei dem vorstehend beschriebenen
einen Beispiel identisch waren. Das heißt, die Quecksilbermenge sowie
das Innenvolumen des Emissionsraums sind bei den jeweiligen Lampen
in sehr geringem Maß unterschiedlich.
Diese Unterschiede beruhen jedoch nur auf Produktionsfehlern, und
jede Lampe gibt im sichtbaren Bereich ein vorteilhafte kontinuierliche
Strahlung ab.
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Hierbei
wurde die Einfüllung
des Halogens (des Broms) folgendermaßen durchgeführt:
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Die
erforderliche Menge Halogen (Brom) wurde vor der Montage im Vakuum
in Form von Quecksilberbromid auf die Elektrodenoberflächen auf
den Seiten der sekundären
Abdichtung aufgedampft. Ferner wurde die tatsächlich zugeführte Menge
wurde mittels Ionen-Chromatographie
durch das Säulen-Anreicherungsverfahren
quantitativ bestimmt. Das Innenvolumen des Emissionsraums wurde
ermittelt durch Eintauchen in ein Lösungsmittel, dessen Brechungsindex
ungefähr
dem Brechungsindex des Quarzglases entspricht, und ablesen der Koordinaten
der Innenoberfläche
mit einer Mikrometerschraube mit einer anschließenden Berechung.
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Jede
Entladungslampe wurde ununterbrochen in einem Modus "2 Stunden und 45
Minuten in Betrieb und anschließend
15 Minuten ausgeschaltet" betrieben.
Durch die visuelle Beobachtung des Entladungsgefäßes in bestimmten zeitlichen
Abständen und
durch ein Projektor-Optik-System
wurde der Aufrechterhaltungsgrad der Beleuchtungsintensität gemessen.
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3 zeigt
das Ergebnis der visuellen Beobachtung des Entladungsgefäßes nach
100 Stunden sowie den Aufrechterhaltungsgrad der Beleuchtungsintensität nach 2000
Stunden. Daraus wird ersichtlich, dass bei einer Einfüllungsmenge
des Halogens von kleiner/gleich 1.2 × 10–4 μmol/mm3 nach 100 Stunden im oberen Bereich des
Entladungsgefäßes eine
Schwärzung
sowie eine Entglasung zu sehen waren und dass nach 2000 Stunden
der Aufrechterhaltungsgrad der Beleuchtungsintensität auf maximal
50 % in großem
Maß verringert
wurde. Bei einer Halogen-Einfüllungsmenge
von 7.34 × 10–3 μmol/mm3 wurde nach 100 Stunden an den Fußpunkten
der Elektroden eine Schwärzung
in äußerst hohem
Maß entdeckt.
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Aus
diesem Ergebnis kann man auch entnehmen, dass zur Verhinderung der
Entstehung von Schwärzung
und Entglasung im Entladungsgefäß eine bestimmten
Menge Halogen eingefüllt
werden sollte und dass die Untergrenze der Halogen-Einfüllungsmenge
vorteilhafterweise bei konkret 2.0 × 10–4 μmol/mm3 liegt. Als Lichtquelle für einen
Flüssigkristall-Projektor
ist es günstig,
zumindest 50 % der Beleuchtungsintensität über mindestens 2000 Stunden aufrechtzuerhalten.
Bei Fernsehgebrauch sind 10000 Stunden nötig. Es wird ersichtlich, dass
zur Erfüllung
dieser Be dingungen, die Halogen-Einfüllungsmenge größer oder
gleich dem vorstehend beschriebenen unteren Grenzwert sein muss.
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Wenn
die Halogen-Einfüllungsmenge
größer wird,
treten keine Probleme der Schwärzung
oder der Entglasung des Entladungsgefäßes und der Abnahme der Bildflächenbeleuchtungsintensität auf. Es
tritt jedoch in der Nähe
der Fußpunkte
der Elektroden eine Adsorption des Wolframs in äußerst hohem Maß auf. Das
heißt,
zur Verhinderung eines derartigen negativen Effekts ist es bevorzugt,
dass die Einfüllungsmenge
höchstens
etwa 7.0 × 10–3 μmol/mm3 beträgt.
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Nachfolgend
wird ein Versuch beschrieben, bei welchem die Entstehung sowie die
Ausbreitung der milchigen Eintrübung
des Quarzglases durch die OH-Radikal-Konzentration verhindert werden.
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Bei
dem Versuch wurden fünf
Quecksilber-Höchstdrucklampen
mit der vorstehend beschriebenen Spezifikation hergestellt, wobei
die OH-Radikal-Konzentration in einem Bereich, welcher von der Innenoberfläche des
Quarzglases ausgehend eine Tiefe von 0.2 mm aufweist, auf 200 ppm, 100
ppm, 50 ppm, 20 ppm sowie 10 ppm geändert wurde und die zugegebene
Menge Halogen 1 × 103 μmol/mm3 betrug. Bei jeder Entladungslampe wurde die
Zeit gemessen, nach welcher die milchige Eintrübung des Quarzglases 20 % der
Oberfläche
der gesamten Innenseite des Emissionsraums des Entladungsgefäßes überschritten
hat. In 4 wird das Ergebnis gezeigt,
wobei die Ordinatenachse die Zeit darstellt, in welcher der milchig
eingetrübte
Bereich des Quarzglases 20 % der Flächengröße der Innenfläche der
Leuchtröhre
des Entladungsgefäßes erreicht
hat, während
die Abszissenachse die OH-Radikal-Konzentration darstellt. Die Figur
zeigt, dass bei einer OH-Radikal-Konzentration von höchstens
20 ppm in einem Bereich, welcher von der Innenoberfläche des
Quarzglases ausgehend eine Tiefe von 0.2 mm aufweist, die für einen
Flüssigkristall-Projektor erforderliche
Zeit von 2000 Stunden aufrechterhalten wird.
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Die
erfindungsgemäße Quecksilber-Hochdrucklampe
ist nicht auf Gleichstrom- und Wechselstrom-Betriebssysteme beschränkt, sondern
kann auf jedes Betriebssystem angewendet werden.
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Wirkung der
Erfindung
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Wie
oben beschrieben wird mit einer erfindungsgemäßen Quecksilber-Hochdrucklampe
in der ein Entladungsgefäß ein Paar
entgegengesetzter Wolframelektroden, eine Quecksilbermenge von mindestens
0.16 mg/mm3, Edelgas und wenigstens ein
Halogen enthält
und in der die Wandbelastung mindestens 0.8 W/mm2 beträgt die folgende
Wirkung erzielt:
- 1. Durch das Merkmal, dass
die Halogen-Einfüllmenge
im Bereich von 2 × 10–4 μmol/mm3 bis 7 × 10–3 μmol/mm3 liegt, kann UV-Strahlung kurzer Wellenlängen durch
dieses Halogen oder Halogen aus einer entsprechenden Halogenverbindung
vorteilhaft absorbiert werden. Daher kann die Menge an UV-Strahlung
kurzer Wellenlängen, welche
durch Abstrahlung zu der Oberfläche
der Röhrenwand
(Quarzglas) des Entladungsgefäßes gelangt,
erheblich verringert werden.
- 2. Durch das Merkmal, dass das Halogen als kohlenstofffreie
Verbindung eingefüllt
ist, kann die Menge des in das Entladungsgefäß eingefüllten Kohlenstoffes wesentlich
reduziert werden. Auf diesem Weg wird es möglich, die Menge der UV-Strahlung
kurzer Wellenlängen,
welche von der Innenoberfläche
der Röhrenwand
(Quarzglas) des Entladungsgefäßes absorbiert
wird, zu verringern.
- 3. Die Maßnahme,
dass die mittlere OH-Radikal-Konzentration in einem Bereich der
Röhrenwand
mit einer Tiefe von 0.2 mm von der Innenoberfläche des Entladungsgefäßes ausgehend
bei höchstens
20 ppm liegt, ermöglicht
es die Viskosität
des Quarzglases zu erhöhen.
Folglich kann die Beständigkeit
des Quarzglases gegen UV-Strahlung mit kurzen Wellenlängen verbessert
werden.