DE69826274T2 - Verfahren und gerät zum messen der strukturen eines fingerabdrucks - Google Patents
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Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen von Strukturen in einem Fingerabdruck oder dergleichen, umfassend das Messen gewählter Eigenschaften der Fläche des Fingerabdrucks, d. h. von Kapazität oder spezifischem Widerstand, mit Hilfe einer eine Mehrzahl von Sensoren umfassenden Sensoranordnung, die in Berührung mit oder nahe an der Fläche positioniert ist.
- Eine Identifizierung durch die Verwendung von Fingerabdrücken ist in letzter Zeit auf Grund des zunehmenden Bedarfes an Sicherheit in Bezug auf z. B. Kreditkarten oder Computersysteme sowie die stark gestiegene Verfügbarkeit von Mustererkennungsalgorithmen in den Vordergrund getreten. Einige Systeme zur Erkennung von Fingerabdrücken sind am Markt bereits erhältlich. Die verwendeten Verfahren zur Aufzeichnung des Fingerabdrucks variieren.
- Einige der bisher bekannten Lösungen basieren auf Lichttechnik, die Licht mit einer oder mehreren Wellenlängen verwendet. Diese sind empfindlich gegenüber Schmutz und Verschmutzung, sowohl in der Fingerabdruck- als auch auf der Sensorfläche, und somit ist für beide eine Reinigung erforderlich.
- Eine weitere Alternative ist die Druckmessung, wie sie in der
US 5 559 504 , derUS 5 503 029 und derUS 4 394 773 beschrieben ist. Diese weist jedoch den Nachteil auf, dass die Sensorfläche gegenüber mechanischem/r Verschleiß und Beschädigung empfindlich wird, da der Sensor eine zumindest teilweise nachgiebige Fläche aufweisen muss. - Es wurden auch Temperatursensoren vorgeschlagen, z. B. in dem US Patent 4 429 413 und in der internationalen Patentanmeldung PCT/NO96/00082.
- Da Fingerabdrucksensoren einer langfristigen Verwendung unter variierenden und manchmal anspruchsvollen Bedingungen ausgesetzt sind, muss der Sensor eine robuste Fläche aufweisen und so unempfindlich wie möglich gegenüber einer Verschmutzung im Fingerabdruck und auf dem Sensor sein. Er muss in der Lage sein, die meisten Fingerabdrücke zu lesen, ohne von latenten Abdrücken aus einer vorangegangenen Verwendung gestört zu werden. In einigen Fällen, z. B. bei Kreditkarten oder Computertastaturen, wäre es auch vorteilhaft, wenn der Sensor kompakt gefertigt sein könnte.
- Im Hinblick auf die Kosten besteht auch ein Bedarf an einer Einfachheit und Minimierung der Anzahl der Teile.
- Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Sensor bereitzustellen, der einfach zu fertigen ist, was ihn kostengünstig in der Fertigung macht, und der auch relativ klein ist.
- Zusätzlich zu den oben erwähnten Lösungen wurde das Messen der Kapazität als ein Verfahren zum Messen von Fingerabdrücken versucht. Beispiele sind in der
US 4 353 056 und derUS 5 325 442 gezeigt. Während die Erhöhungen des Fingerabdrucks die Sensorfläche berühren, weisen die Vertiefungen einen geringen Abstand zur Sensorfläche auf, was in einer Differenz der an den verschiedenen Sensoren gemessenen Kapazität und/oder Leitung resultiert. Feuchtigkeit kann die Messungen beeinflussen, wenn diese jedoch gleichmäßig über den gesamten Fingerabdruck ist, kann eine Analyse des Kontrasts zwischen den Messungen ein Bild davon ergeben. - Alle oben erwähnten Lösungen beruhen auf der Grundlage zweidimensionaler Sensoranordnungen mit Abmessungen, die mit der Größe des Fingerabdrucks vergleichbar sind. Diese sind kostspielig und schwierig zu fertigen, da sie eine große Anzahl von Sensoren umfassen, die gleichzeitig die Fläche messen.
- Die
EP 735 502 - Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen von Strukturen in einem Fingerabdruck oder dergleichen bereit, zum Beispiel mit Hilfe eines der vorstehend beschriebenen Verfahren, die wie in den offen gelegten Ansprüchen 1 und 6 dargelegt gekennzeichnet sind.
- Da die Fläche der Sensoranordnung klein ist und im Vergleich zu den bekannten Lösungen wenige Sensoren enthält, ist sie kostengünstig und relativ einfach zu fertigen. Da der zu messende Fingerabdruck an der Sensoranordnung vorbei bewegt wird, gibt es keinen latenten Fingerabdruck, der von dem vorhergehenden Benutzer zurückgeblieben ist, was einen weiteren Vorteil in Bezug auf die bekannten Fingerabdrucksensoren darstellt.
- Da die Einzelheiten in den Fingerabdrücken klein sind, ist es auch schwierig, die Sensoren des Detektors klein genug auszubilden. Bei einer bevorzugten Ausführungsform umfassen die Vorrichtung und das Verfahren gemäß der Erfindung zwei oder mehrere parallele Reihen von Messpunkten, wobei jede Reihe von Messpunkten in der Längsrichtung mit einem geringeren Abstand als dem Abstand zwischen den Messpunkten verschoben ist, wobei die Sensoranordnung zwei oder mehrere parallele Reihen von mit gleichem Zwischenraum zueinander angeordneten Sensoren umfasst, die vorzugsweise in der Längsrichtung der Sensoranordnung verschoben sind. Dies stellt eine Möglichkeit zum Messen von Strukturen in dem Fingerabdruck, die kleiner sind als der Zwischenraum zwischen den Sensoren, bereit. Dies ist mit keinem der bisher bekannten Detektorsysteme möglich.
- Somit ist einzusehen, dass der Begriff „im Wesentlichen eindimensionale Anordnung" sich hier auf eine Anordnung mit einer Länge bezieht, die viel länger ist als ihre Breite, und die mehr als eine Reihe von Sensoren umfassen kann.
- Die Erfindung wird unten stehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, die eine mögliche Ausführungsform der Erfindung veranschaulichen.
-
1a und1b zeigen eine schematische Ansicht von zwei Versionen des Sensors. -
2a veranschaulicht von oben gesehen den Sensor in1b in Verwendung. -
2b zeigt einen Querschnitt der Situation von2a . -
3 zeigt eine schematische Ansicht einer Vorrichtung gemäß der Erfindung. -
4 zeigt einen Querschnitt einer Ausführungsform der Erfindung. -
5 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung. - In
1a ist eine einzelne lineare Anordnung von Sensoren1 gezeigt. Die Sensoren können von unterschiedlicher Art sein, wie z. B. Drucksensoren oder Temperatursensoren, vorzugsweise sind sie aber elektrische Leiter, die eine Möglichkeit zum Messen der Leitung, Impedanz oder Kapazität der unterschiedlichen Teile des Fingerabdrucks bereitstellen. Die zu messende Fläche wird in einer lotrechten Richtung in Bezug auf die Reihe der Sensoren bewegt. - Bei der bevorzugten Ausführungsform sind die Sensoren
1 elektrische Leiter, die durch ein Isoliermaterial3 wie z. B. Epoxid getrennt sind. Bei der gezeigten Ausführungsform umgibt ein elektrisch leitendes Material2 die Sensoren, die verwendet werden können, um ein Bezugspotenzial bereitzustellen. Somit kann die Leitung, Impedanz oder Kapazität durch den Fingerabdruck zwischen jedem der Sensoren1 und dem umgebenden Bezugsniveau gemessen werden. - Die gezeigte Ausführungsform mit Sensoren, die mit gleichem Zwischenraum zueinander angeordnet sind, ist bevorzugt, aber andere Lösungen, die z. B. Gruppen von Sensoren zum Messen bestimmter Teile des Fingerabdrucks umfassen, sind auch möglich.
- Die Verwendung eines oder mehrerer Sensors/en, der/die in einem oder mehreren gewählten Abstand/Abständen von der Sensorreihe angeordnet ist/sind, wird für eine Möglichkeit sorgen, durch Vergleichen der Signale von der Sensorreihe und des Zeitverlaufes oder der räumlichen Verschiebung zwischen den Messungen entsprechender Strukturen in der Fläche die Geschwindigkeit des Fingerabdrucks in Bezug auf den Sensor zu messen.
1b zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung, bei der die Sensoranordnung zwei Reihen von Sensoren1 umfasst. - Um die Strukturen in einem Fingerabdruck messen zu können, wird die Anordnung typischerweise 10 – 15 mm lang sein, mit einer Auflösung von 50 μm. Dies ist bei Verwendung einer einzelnen Reihe von Sensoren schwierig oder kostspielig zu erreichen. In
1b sind die Reihen leicht im Verhältnis zueinander verschoben. Wenn eine Fläche über die Sensoranordnung bewegt wird, werden die Messungen jedes der Sensoren in der zweiten Reihe zwischen die gemessenen Punkte der ersten Reihe fallen und für die erforderliche Auflösung bei einem größeren Abstand zwischen den Sensoren sorgen. Es sind drei oder mehr Reihen möglich, um die Auflösung weiter zu verbessern, aber mehr als fünf wären auf Grund des Abstandes zwischen den Reihen und des resultierenden Zeitverlaufes zwischen den Messungen der ersten und der letzten Reihe unpraktisch. Auch wäre eine Vorrichtung, die viele Reihen verwendet, empfindlich gegenüber der Richtung, in der sich der Finger bewegt. - Obwohl die in den Zeichnungen gezeigten Reihen mit gleichem Zwischenraum zueinander angeordnete Sensoren umfassen, können die verschobenen zweiten, dritten etc. Reihen einzelne oder Gruppen von Sensoren umfassen, die die Auflösung in bestimmten Teilen des Fingerabdrucks erhöhen und/oder Unterschiede der Geschwindigkeit unterschiedlicher Teile des Fingerabdrucks messen, sofern die Bewegungen ungleichmäßig sind. Auch können die zweite, dritte etc. Reihe einen Winkel in Bezug auf die erste Reihe von Sensoren aufweisen.
- Wenn eine Sensoranordnung verwendet wird, die zwei oder mehr Sensorreihen umfasst wie in
1b gezeigt, müssen die Messungen der unterschiedlichen Reihen kombiniert werden, um ein Signal bereitzustellen, das einer einzelnen Reihe von Sensoren entspricht. Dazu müssen die Signale von den Sensoren auf die Zeitverzögerung zwischen den Signalen von den Sensoren in unterschiedlichen Reihen eingestellt sein, und somit muss die Bewegung des Fingers im Verhältnis zur Sensoranordnung bekannt sein, entweder durch Bewegen des Fingers oder der Sensoranordnung mit einer gewählten Geschwindigkeit, oder durch Messen der Bewegung des Fingers. -
2a veranschaulicht, wie der Finger4 über einer Sensoranordnung in der zur Anordnung lotrechten Richtung bewegt wird. Um genaue Messungen zu erhalten, muss die Bewegung des Fingers gemessen werden. Zusätzlich zu dem oben erwähnten Verfahren, das die Korrelation von Messungen von unterschiedlichen Sensoren umfasst, kann dies auf viele Arten erfolgen, wie z. B. durch Vorsehen eines Drehzylinders in Berührung mit dem Finger, so dass die Drehung des Zylinders gemessen werden kann. Ein weiteres Beispiel kann die Verwendung einer dünnen Scheibe sein, an der der Finger positioniert werden kann, die zusammen mit dem Finger bewegt wird und mit der Vorrichtung verbunden ist, so dass die Geschwindigkeit der Scheibe gemessen werden kann. Vorzugsweise wird die Bewegung jedoch durch Korrelation oder Vergleichen der Signale von den verschiedenen Sensorreihen gemessen, und der Zeitverlauf oder die räumliche Verschiebung zwischen den Messungen entsprechender Strukturen in der Fläche wird ermittelt. Auf diese Weise können detailliertere Bilder von den einzelnen Bildern jeder Reihe von Sensoren gebildet werden. - Ein weiteres Verfahren zum Einstellen der Bewegung des Fingers besteht darin, die Abtastfrequenz an der Sensoranordnung aufrecht zu erhalten, während die Anzahl gemessener Reihen, die bei der Erzeugung des segmentierten Bildes der Fläche verwendet wird, und somit das Intervall der Messungen gemäß der Bewegung, eingestellt wird, um wenigstens eine Messung jedes Teils der Fläche zu erhalten. Wenn zum Beispiel der Fingerabdruck bei einer hohen Abtast- oder Messfrequenz langsam über den Sensor bewegt wird, können die redundanten Daten einfach vernachlässigt werden und das Bild des Fingerabdrucks umfasst jeden zweiten oder dritten Datensatz.
-
2b zeigt einen Querschnitt des auf dem Sensor1 angeordneten Fingers4 und zeigt auch eine übertriebene Ansicht der Erhöhungen5 und Vertiefungen6 in dem Fingerabdruck. -
3 zeigt eine vereinfachte Ansicht der Vorrichtung gemäß der Erfindung, umfassend Leiter7 von den Sensoren1 zu einem Verstärker und Multiplexer8 . Danach wird das Signal in einem A/D-Umwandler9 digitalisiert, bevor das digitale Signal an einen Computer10 mit einem beliebigen verfügbaren Computerprogramm, das in der Lage ist, das Signal zu analysieren, gesendet wird. - Ein Querschnitt einer realistischeren Ausführungsform, bei der ein Ende der mit engem Zwischenraum angeordneten Leiter
11 die Sensoren darstellt, und das andere Ende dieser Leiter mit einem Mikrochip verbunden ist, ist in4 gezeigt. Die Leiter11 können ein Teil einer mehrlagigen in Epoxid gegossenen Leiterplatte sein, und zwei oder mehrere Reihen von Sensoren erzeugen. Jeder Sensor1 würde etwa 35 × 50 μm aufweisen. Wenn die Sensoren in jeder Reihe mit einem Abstand zwischen den Mitten von 150 μm befestigt sind, wird die Auflösung bei drei verschobenen Reihen 50 μm betragen. -
5 zeigt eine Ausführungsform der Erfindung, bei der eine äußere zeitvariierende, z. B. oszillierende oder pulsierende Spannung12 durch den leitenden Bereich14 an der Seite des Sensorbereiches an den Finger angelegt wird. Ebenen mit einer konstanten Spannung13 sind nahe an und parallel zu den Leitern11 angeordnet. Dies verringert Einstreuungen und Störungen von äußeren Quellen und verbessert den Kontrast in dem durch die Messungen erzeugten Bild. Dies kann durch Verwendung einer mehrlagigen Leiterplatte, bei der sich eine oder mehrere von den leitenden Schichten bei einer konstanten Spannung befinden, realisiert sein. Eine Isolierschicht (nicht gezeigt) bedeckt vorzugsweise die Leiter1 ,11 und die abschirmenden Ebenen13 . Der leitende Bereich14 kann auch von einer Isolierschicht bedeckt sein, aber dies würde die Signalstärke verringern. Für eine bessere Leistung kann die oszillierende Spannung12 an beiden Seiten der Sensorfläche angelegt sein. Die oszillierende Spannung kann, wie oben erwähnt, eine Impulsfolge oder eine Sinusschwingung sein. - Bei einer Ausführungsform ist eine 100 kHz-Sinusschwingung an dem leitenden Bereich
14 angelegt, und jeder der Leiter11 ist durch einen Widerstand terminiert, und das Signal wird verstärkt und einem Demodulator, Multiplexer und A/D-Umwandler zugeführt. Ein Vorteil dieser Ausführungsform besteht drin, dass an den Leitern11 in dem Sensorbereich im Wesentlichen kein Signal vorliegt, wenn kein Finger vorhanden ist, womit Probleme mit Offset-Spannungen, die mit der Zeit und dem Drift in der Elektronik variieren, verringert werden. - Diese Lösung stellt eine Sensorvorrichtung bereit, die einfach mit Hilfe von Standardverfahren und somit kostengünstig gefertigt werden kann. Sie ist auch kompakt und robust. Wenn der gemessene Parameter der Widerstand ist, werden die Sensoren, die die Enden der Leiter sind, ihre Eigenschaften nicht ändern, wenn sie und das umgebende Epoxid sich abnutzen. Wenn die Kapazität gemessen werden soll, ist eine beständige Isolierschicht auf den Sensoren oder Leiterenden vorgesehen.
- Die bevorzugte Auslegung des Sensors lässt auch zu, dass die Auflösung besser ist als der Abstand zwischen den Sensoren, wodurch Einstreuungen zwischen den Sensoren verringert werden.
- Das Verfahren und die Vorrichtung gemäß der Erfindung können selbstverständlich auf viele verschiedene Arten genutzt werden und zusätzlich zur Kapazität und/oder Leitfähigkeit können verschiedene Eigenschaften gemessen werden, um eine Darstellung der gemessenen Fläche zu liefern. Optische Detektoren und vorzugsweise Sender können verwendet werden, so dass das wiedergegebene Bild des Fingerabdrucks bezüglich z. B. Kontrast und/oder Farbe analysiert werden kann.
- Die Sensoren können wie vorstehend erwähnt einfach die Enden von Leitern sein, die mit einem Mittel zum Messen der Kapazität und/oder Leitfähigkeit verbunden sind, oder sie können aus halbleitenden Materialien gefertigte Sensoren sein. Wenn die Kosten von Bedeutung sind, wäre Silizium ein bevorzugtes halbleitendes Material.
- Bei der Ausführungsform, welche Messungen der Kapazität umfasst, ist eine Isolierschicht (nicht gezeigt) zwischen den Leiterenden und dem Fingerabdruck vorgesehen.
- Eine weitere mögliche Ausführungsform innerhalb des Umfanges der Erfindung umfasst Sensorreihen von nicht mit gleichem Zwischenraum zueinander angeordneten Sensoren, die positioniert sind, um ausgewählte Teile des Fingerabdrucks zu messen.
Claims (14)
- Verfahren zum Messen von Strukturen in einem Fingerabdruck oder dergleichen, umfassend das Messen gewählter Eigenschaften der Fläche des Fingerabdrucks mithilfe einer eine Mehrzahl von Sensoren umfassenden Sensoranordnung, die in Berührung mit oder nahe an einem Teil der Fläche positioniert wird, umfassend das Messen der genannten Eigenschaften in wenigstens einer Reihe von Messpunkten entlang einem länglichen Teil der Fläche in bestimmten Zeitintervallen, wobei die Sensoranordnung eine im Wesentlichen eindimensionale Anordnung ist, Messen der genannten Eigenschaften mithilfe von wenigstens einem Messpunkt, der in einem gewählten Abstand von der genannten Reihe von Messpunkten in einer zur Achse der Reihe lotrechten Richtung positioniert wird, Bewegen der Fläche im Verhältnis zur Sensoranordnung in einer zur Sensoranordnung lotrechten Richtung, sodass die Messungen an verschiedenen oder teilweise überlappenden Teilen der Fläche durchgeführt werden, und Berechnen der genannten Bewegung anhand der genannten Messungen an der genannten Reihe von Sensoren und dem genannten wenigstens einen Sensor, Kombinieren der Messungen der gemessenen Teile der Fläche, um eine segmentierte zweidimensionale Darstellung der genannten Eigenschaften der Fläche bereitzustellen, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren kapazitive Sensoren sind, die durch eine Isolierhaut von der Fläche getrennt sind, wobei die genannten Sensoren die Aufgabe haben, die Kapazitätsänderungen entlang der Sensoranordnung zu messen, und dass eine variierende Spannung mithilfe einer von der Sensoranordnung separat platzierten Elektrode an die zu messende Fläche angelegt wird.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messpunkte der Anordnung entlang der genannten im Wesentlichen eindimensionalen Anordung im Wesentlichen gleich voneinander beabstandet sind.
- Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch das Messen der relativen Bewegung der Fläche und Einstellen des Intervalls der Messungen gemäß der Bewegung, um wenigstens eine Messung jedes Teils der Fläche zu erhalten.
- Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass jede Messung der Eigenschaften eines länglichen Teils der Fläche im Wesentlichen gleichzeitiges Messen der genannten Eigenschaften entlang wenigstens zwei Reihen von Messpunkten umfasst, von denen eine den genannten wenigstens einen Messpunkt umfasst, wobei jede Reihe von Messpunkten in der Längsrichtung mit einem dem Abstand zwischen den Messpunkten nicht gleichen Abstand verschoben ist, wobei die Sensoranordnung zwei oder mehr im Wesentlichen parallele Reihen von im Wesentlichen mit gleichem Zwischenraum zueinander angeordneten Sensoren umfasst, die vorzugsweise in der Längsrichtung der Sensoranordnung verschoben sind.
- verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegung durch Korrelation der Messungen von verschiedenen Messreihen gemessen wird, um den Zeitverlauf oder die räumliche Verschiebung zwischen den ähnlichen Strukturen an verschiedenen Reihen von Messpunkten festzustellen.
- Vorrichtung zum Messen von Strukturen in einem Fingerabdruck oder dergleichen, umfassend eine Sensoranordnung, die ausgeführt ist, um in Berührung mit oder nahe an einem Teil der Fläche des Fingerabdrucks positioniert zu werden, wobei die Sensoranordnung die Aufgabe hat, gewählte Eigenschaften der Fläche an einer Mehrzahl von Positionen zu messen, z.B. durch Messen von Kapazität oder spezifischem Widerstand, wobei die Sensoranordnung eine im Wesentlichen eindimensionale, wenigstens eine Reihe von Sensoren umfassende Anordnung ist, die zum Messen der genannten Eigenschaften in gewählten Zeitintervallen ausgeführt ist, wobei die Fläche eine relative Bewegung im Verhältnis zur Sensoranordnung hat mit einer zur Anordnung im Wesentlichen lotrechten Richtung, und die Vorrichtung wenigstens einen Sensor umfasst, der in einem gewählten Abstand von der genannten Reihe von Sensoren in einer zu der genannten Reihe lotrechten Richtung positioniert ist, und die Vorrichtung eine Mittel zum Kombinieren der Messungen in den verschiedenen Zeitintervallen zum Erhalten einer segmentierten zweidimensionalen Darstellung der Eigenschaften der Fläche hat, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren kapazitive Sensoren zum Messen von Kapazitätsänderungen entlang der Sensoranordnung sind und dass Spannungsversorgungsmittel zum Anlegen einer im Verhältnis zur Zeit variierenden Spannung an die zu messende Fläche separat von der Sensoranordnung platziert sind und dass ein dünner Isolator die Leiter in der Sensoranordnung von der zu messenden Fläche trennt, wobei die Sensoren im Wesentlichen die kapazitive Kopplung durch die Isolierschicht zwischen der zu messenden Fläche und den Leitern messen.
- Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die im Wesentlichen eindimensionale Sensoranordnung zwei oder mehr parallele Reihen von im Wesentlichen mit gleichem Zwischenraum voneinander beabstandeten Sensoren umfasst, wobei der genannte wenigstens eine Sensor in der genannten Anordnung enthalten ist.
- Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die genannten Sensorreihen in der Längsrichtung der Sensoranordnung mit einem dem Abstand zwischen den Sensoren nicht gleichen Abstand verschoben sind.
- Vorrichtung nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Einrichtung zum Finden der Bewegung der Fläche im Verhältnis zur Sensoranordnung umfasst.
- Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung Mittel zum Vergleichen der Signale von den verschiedenen Sensorreihen umfasst, um den Zeitverlauf oder die räumliche Verschiebung zwischen den ähnlichen Strukturen an den verschiedenen Sensorreihen zu finden.
- Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiter in der Sensoranordnung im Wesentlichen lotrecht zur zu messenden Fläche platziert sind und dass eine oder mehrere Ebenen konstanter Spannung nahe an und parallel mit den Leitern platziert sind, die sich im Wesentlichen bis zur Isolierschicht erstrecken.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren auch Elektroden umfassen, die Schwankungen des elektrischen Widerstands entlang der Sensoranordnung messen können.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren auch optische Melder und vorzugsweise optische Sender umfassen.
- Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoranordnung aus einem halbleitenden Material, vorzugsweise Silizium, hergestellt ist.
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