DE69730116T2 - Verfahren zur inspektion einer integrierten schaltung - Google Patents

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Petrus Johannes VAN LAMMEREN
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/30Marginal testing, e.g. by varying supply voltage
    • G01R31/3004Current or voltage test

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Prüfung einer integrierten Schaltung, wobei die Schaltung eine Vielzahl von Teilschaltungen umfasst und das Verfahren die Ermittlung eines ersten Versorgungsstroms in einer Versorgungsleitung einer ersten Teilschaltung der Teilschaltungen umfasst.
  • Die Erfindung betrifft weiterhin eine integrierte Schaltung, die eine Vielzahl von Teilschaltungen umfasst und die eine Strommessanordnung für die Messung eines Versorgungsstroms in einer Versorgungsleitung mindestens einer der Teilschaltungen umfasst.
  • Solch ein Verfahren und Schaltung sind aus der japanischen Patentanmeldung, veröffentlich unter JP-A 62-278473, bekannt. Die bekannte Schaltung umfasst eine Anzahl von Teilschaltungen und eine Stromerfassungsschaltung. Jede Teilschaltung hat in ihrer Versorgungsleitung einen steuerbaren Schalter, der die Teilschaltung mit der Stromerfassungsschaltung verbinden kann, um Strom an die Teilschaltung zu legen. Zu einem bestimmten Moment werden eine oder mehrere der Teilschaltungen mit der Stromerfassungsschaltung verbunden und die Stromerfassungsschaltung misst die Ströme zu diesen angeschlossenen Teilschaltungen. Die nicht angeschlossenen Teilschaltungen erhalten keinen Strom und sind deshalb nicht betriebsbereit. Die bekannte Schaltung hat einen Nachteil darin, dass der ansteuerbare Schalter in der Versorgungsleitung der Teilschaltung das Verhalten der Teilschaltung auch dann beeinflusst, wenn ein solcher Schalter geschlossen ist. Abhängig von der Implementierung erzeugt der Schalter einen Spannungsabfall in der Versorgungsleitung und beeinflusst nachteilig das dynamische Verhalten der Teilschaltung. In der Praxis ist es wünschenswert, zugleich den Strom zu messen, der in eine Teilschaltung fließt, weil das die genaueste Strommessung ergibt. Die bekannte Schaltung hat dann den Nachteil, dass nur die eine, an die Stromerfassungsschaltung angeschlossene Teilschaltung betriebsbereit ist und die anderen Teilschaltungen nicht betriebsbereit bleiben. In dem Fall, dass die Teilschaltungen eng gekoppelt sind, wie zum Beispiel in einer komplexen analogen integrierten Schaltung, kann eine nicht betriebsbereite Teilschaltung einen nicht vor hersagbaren Einfluss auf den Stromverbrauch in einer anderen, betriebsbereiten Teilschaltung haben und sogar eine Teilschaltung beschädigen.
  • Eine Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren wie in der dargelegten An zu schaffen, welches die Schaltung in geringerem Maß beeinflusst und welches besser zu verwenden ist als das bekannte Verfahren. Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch ein Verfahren gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass über einen Abschnitt der Versorgungsleitung eine erste Spannung gemessen wird, während alle Teilschaltungen betriebsbereit sind, und dass die Ermittlung des ersten Versorgungsstroms auf Basis der ersten Spannung und des Widerstands des Abschnitts der Versorgungsleitung ausgeführt wird. Das Verfahren gemäß der Erfindung hat den Vorteil, dass keine zusätzlichen Komponenten in die Versorgungsleitung der Teilschaltung eingefügt werden. Das Verfahren nutzt den Effekt, dass ein Spannungsabfall in der Versorgungsleitung selbst wegen des inhärent vorhandenen Widerstands der Versorgungsleitung auftritt. Nach Messung des Spannungsabfalls über einem gegebenen Abschnitt der Versorgungsleitung kann der Versorgungsstrom basiert auf dem Widerstandwert der Versorgungsleitung berechnet werden. Ein weiterer Vorteil des Verfahrens gemäß der Erfindung ist, dass eine Teilschaltung betriebsbereit bleibt, auch in der Situation, wo ihr Versorgungsstrom nicht ermittelt wird. Das heißt, dass mögliche Wechselwirkungen zwischen Teilschaltungen alle so bleiben wie im normalen betriebsbereiten Modus und keine unvorhersagbaren Ströme fließen werden.
  • Eine Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung mit der Ermittlung eines zweiten Versorgungsstroms in einer Versorgungsleitung einer zweiten Teilschaltung ist dadurch gekennzeichnet, dass eine zweite Spannung über einem Abschnitt der Versorgungsleitung der zweiten Teilschaltung gemessen wird und dass die erste und zweite Spannung dadurch gemessen werden, dass eine einzelne Spannungsmessanordnung nacheinander an die Abschnitte der ersten Versorgungsleitung bzw. der zweiten Versorgungsleitung angeschlossen wird. Eine einzelne Spannungsmessanordnung reicht nun aus, um die Spannungen über die verschiedenen Abschnitte der Versorgungsleitungen der Teilschaltungen zu messen, anstatt einer Spannungsmessanordnung für jeden individuellen Abschnitt.
  • Eine Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Spannungen mit einem differentiellen Transistorpaar gemessen wird. Die Topologie von Schaltungen in der Praxis und der Prozess zu ihrer Herstellung sind derart, dass ein differentielles Transistorpaar für einen Bereich zu messen der Spannungswerte eingesetzt werden kann. Das differentielle Transistorpaar ist ein sehr einfaches Bauelement aus nur zwei Transistoren und erfordert so sehr wenige zusätzliche Komponenten zu der Schaltung. Außerdem ist der Eingangswiderstand des differentiellen Paars verglichen mit der von der Versorgungsleitung gespeisten Teilschaltung sehr hoch und es gibt keinen feststellbaren Einfluss auf die Versorgungsleitung durch das differentielle Paar.
  • Eine Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Spannungen in folgenden Schritten gemessen wird:
    • – Verbindung eines ersten Eingangs des differentiellen Transistorpaares mit einer ersten Seite des speziellen Abschnitts, Verbindung eines zweiten Eingangs des differentiellen Transistorpaares mit einer zweiten Seite des speziellen Abschnitts und Durchführung einer ersten Messung,
    • – Verbindung des ersten Eingangs des differentiellen Transistorpaares mit der zweiten Seite des speziellen Abschnitts, Verbindung des zweiten Eingangs des differentiellen Transistorpaares mit der ersten Seite des speziellen Abschnitts und Durchführung einer zweiten Messung,
    • – Kombination der ersten Messung und der zweiten Messung zu einem Ergebnis zur Verwendung als die gemessene Spannung über dem speziellen Abschnitt.
  • In dieser Ausführungsform ist die Genauigkeit einer DC-Messung durch Ausführung von Messungen mit miteinander vertauschten Verbindungen zu dem speziellen Abschnitt und der dabei erfolgten Eliminierung der Abweichung des differentiellen Transistorpaares erhöht. Diese Abweichung ist in beiden Messungen vorhanden und kann durch Kombination der zwei Messungen eliminiert werden.
  • Eine Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Versorgungsstrom mit einem für den speziellen Versorgungsstrom ermittelten Bereich verglichen wird, und dass die Schaltung zurückgewiesen wird, wenn der Versorgungsstrom aus diesem Bereich herausfällt. Durch Vergleich des gemessenen Versorgungsstroms mit einem zu erwartenden Standardwert können Fehler in der Schaltung festgestellt und, wenn vorhanden, kann die Schaltung zurückgewiesen werden. Fehler in einer Schaltung können zu einer Abweichung des Versorgungsstroms von dem Versorgungsstrom einer vollständig korrekten Schaltung führen. Durch genaues Messen des Versorgungsstroms kann die Existenz eines solches Fehlers in der Schaltung ermittelt werden. Die Genauigkeit eines solchen Tests kann durch Aufteilung der Schaltung in eine Anzahl von Teilschaltungen, wobei jede weniger Komponenten als die Originalschaltung hat, erhöht werden. Dann kann die Abweichung durch den Fehler im Vergleich zur Situation einer großen Schaltung mit vielen Komponenten besser erkannt werden. Dieses Verfahren gemäß der Erfindung kann zum Testen der Korrektheit von integrierten Schaltungen in verschiedenen Stadien des Produktionsprozesses, z. B. als Test auf einer Scheibe mit integrierten Schaltungen, aber auch für verschiedene Tests am fertigen Produkt, z. B. Zuverlässigkeitstests während des operationellen Lebens einer integrierten Schaltung benutzt werden.
  • Eine Ausführungsform des Verfahrens gemäß der Erfindung, welche die Ermittlung von mindestens zwei Versorgungsströmen für entsprechende Teilschaltungen umfasst, ist dadurch gekennzeichnet, dass ein Stromverhältnis zwischen einem ersten und einem zweiten der zwei Versorgungsströme bestimmt wird und dass die integrierte Schaltung zurückgewiesen wird, wenn das Stromverhältnis aus einem für das spezielle Stromverhältnis ermittelten Bereich herausfällt. Der Produktionsprozess der integrierten Schaltung beeinflusst beide Versorgungsströme in gleicher Weise, z. B. ein bestimmter Anstieg des Stroms. Durch Vergleich des Verhältnisses zwischen den beiden Strömen derselben Schaltung mit einem Standardwert statt eines Vergleichs des Absolutwerts des Stroms mit einem Standardwert wird der Einfluss des Produktionsprozesses auf den Test der Schaltung reduziert.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Prüfung einer integrierten Schaltung zu schaffen, wobei das Verfahren die Ermittlung eines Stroms in einer Signalleitung in der Schaltung umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass eine Spannung über einen Abschnitt der Signalleitung gemessen wird und dass die Ermittlung des Stroms auf der Basis der Spannung und des Widerstands des Abschnitts der Signalleitung durchgeführt wird. Das oben beschriebene Verfahren gemäß der Erfindung zur Ermittlung des Versorgungsstroms in einer oder mehrerer Versorgungsleitungen nutzt die Tatsache, dass eine Versorgungsleitung inhärent einen parasitären Widerstand hat. Nun hat auch eine Signalleitung in der Schaltung einen inhärent vorhandenen parasitären Widerstand. Deshalb kann ein Strom in einer solchen Signalleitung in ähnlicher Weise bestimmt werden wie der Strom in der Versorgungsleitung. In dem Verfahren gemäß der Erfindung wird der Signal strom auf nicht-invasive Art bestimmt, ohne das Hinzufügen von Komponenten oder Ähnlichem, was das Verhalten der Schaltung beeinflussen könnte, in die Signalleitung. Die Spannung über dem Abschnitt der Signalleitung kann gemessen werden, ohne merkbaren Einfluss auf die Schaltung zu verursachen. Diese Vorteile sind besonders wichtig für Signalleitungen, die empfindlich für externe Störungen sind.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine integrierte Schaltung der dargelegten Art zu schaffen, in welcher ein Versorgungsstrom in einer Teilschaltung in einer, mit der bekannten integrierten Schaltung verglichen, verbesserten Weise gemessen werden kann. Diese Aufgabe wurde gemäß der Erfindung in einer integrierten Schaltung erreicht, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Strommessanordnung eine Spannungsmessanordnung zur Messung der Spannung über einem Abschnitt der Versorgungsleitung umfasst. In dieser Schaltung kann der Versorgungsstrom in einer Versorgungsleitung ohne jegliche zusätzlichen Komponenten in der Versorgungsleitung gemessen werden. Solche zusätzlichen Komponenten könnten das operationelle Verhalten der Teilschaltung beeinflussen. Die Messung des Spannungsabfalls über einem Abschnitt der Versorgungsleitung und der Widerstand dieses Abschnitts machen es möglich, den Strom durch die Versorgungsleitung zu ermitteln. Außerdem hat die integrierte Schaltung gemäß der Erfindung den Vorteil, dass eine Teilschaltung auch während des Zeitraums, wo keine Messungen des Strom für die spezielle Teilschaltung gemacht wird, betriebsbereit bleibt.
  • Eine Ausführungsform der integrierten Schaltung gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Strommessanordnung Verbindungsmittel umfasst, um die Spannungsmessanordnung nacheinander an den Abschnitt der Versorgungsleitung und einen Abschnitt der Versorgungsleitung einer der weiteren Teilschaltungen anzuschließen. Der Vorteil einer solchen Schaltung ist, dass eine einzelne Spannungsmessanordnung ausreicht, um Messungen über mehrere Abschnitte von Versorgungsleitungen mehrerer Teilschaltungen zu machen. Das reduziert die Anzahl zusätzlicher, für die Messungen notwendiger Komponenten.
  • Eine Ausführungsform der integrierten Schaltung gemäß der Erfindung, die eine Auswerte- und/oder diagnostische Teilschaltung umfasst, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerte- und/oder diagnostische Teilschaltung ausgebildet ist, um das Ergebnis der Strommessanordnung zu verarbeiten und ein Ergebnis der Verarbeitung aus der Schaltung herauszuführen. Durch das Verarbeiten des Ergebnisses der Strommessanordnung in der Auswerte- und/oder diagnostischen Teilschaltung der integrierten Schaltung kann eine Beurteilung des Funktionierens der Schaltung ohne die Notwendigkeit externer Apparatur intern durchgeführt werden. Eine derartige Beurteilung kann mit einem funktionellen Test zur Verifikation, ob die Schaltung innerhalb spezifizierter Grenzen funktioniert, zusammenhängen. Außerdem kann bei regelmäßiger Durchführung einer solchen Beurteilung der Güteverlust der Schaltung über die Zeit bestimmt werden und die erwartete Lebensdauer der Schaltung abgeschätzt werden. Besonders in sicherheitskritischen Anwendungen ist eine solche Beurteilung wertvoll, um den Moment für einen Austausch der Schaltung zu bestimmen. Das Ergebnis der Auswerte- und/oder diagnostischer Teilschaltung kann auf verschiedene Weisen ausgegeben werden, abhängig von der gemachten Beurteilung. Beispiele sind eine Ausgabe in Form einer einfachen „Pass/Fail"-Indikation an einem Anschluss der Schaltung, und eine Ausgabe in Form einer Signatur von einem oder mehreren Wörtern aus mehreren Bits, die eine weitere Qualifikation der Ergebnisse umfassen. Solche Wörter können seriell über einen Anschluss der Schaltung ausgegeben werden.
  • Eine Ausführungsform der Schaltung gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Spannungsmessanordnung ein differentielles Transistorpaar umfasst. Das differentielle Transistorpaar hat einen hohen Eingangswiderstand und deshalb verglichen mit der von der Versorgungsleitung gespeisten Teilschaltung einen vernachlässigbaren Einfluss auf die Versorgungsleitung. Da das differentielle Transistorpaar nur zwei Transistoren erfordert, werden nur wenige zusätzliche Komponenten benötigt, um die Spannungsmessanordnung zu realisieren.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine integrierte Schaltung zu schaffen, die eine Strommessanordnung zum Messen des Stroms in einer Signalleitung in der Schaltung umfasst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Strommessanordnung eine Spannungsmessanordnung zum Messen einer Spannung über einem Abschnitt der Signalleitung umfasst. Das Ausnutzen der Tatsache, dass die Signalleitung einen inhärent vorhandenen Widerstand hat, der einen Spannungsabfall über einem Abschnitt der Signalleitung erzeugt, ist ein vorteilhaftes Verfahren zur Ermittlung des Stroms in einer solchen Signalleitung. Das Verfahren gemäß der Erfindung ist nicht-invasiv und hat einen vernachlässigbaren Einfluss auf das Verhalten der Schaltung.
  • Die Erfindung und die damit zusammenhängenden Vorteile werden mit Hilfe beispielhafter Ausführungsformen und den dazugehörigen schematischen Zeichnungen weiter erklärt. Dabei zeigen:
  • 1 schematisch eine Anwendung der Erfindung,
  • 2 schematisch eine Strommessanordnung gemäß der Erfindung,
  • 3 schematisch eine alternative Strommessanordnung gemäß der Erfindung,
  • 4 eine Implementierung der alternativen Strommessanordnung gemäß der Erfindung,
  • 5 das Impulsdiagramm der Signale, welche die Strommessanordnung gemäß der Erfindung steuern,
  • 6 einige Elemente einer integrierten Schaltung gemäß der Erfindung, und
  • 7 schematisch eine Anwendung der Erfindung für Signalströme. Entsprechende Merkmale in den verschiedenen Zeichnungen sind mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.
  • 1 zeigt schematisch eine Anwendung gemäß der Erfindung. In dieser Anwendung soll der Versorgungsstrom einer integrierten Schaltung gemessen werden, um die Qualität der Schaltung zu verifizieren. Ein Versorgungsstrom, der bis zu einem gewissen Grad von dem erwarteten Wert abweicht, deutet auf einen Fehler in der Schaltung hin und eine solche Schaltung wird dann zurückgewiesen. Wenn zu diesem Zweck der Versorgungsstrom der gesamten Schaltung gemessen würde, dann könnte die Existenz eines Fehlers nicht entdeckt werden. Die durch den Fehler verursachte Variation des Versorgungsstromsist dann, verglichen mit dem Gesamtversorgungsstrom, sehr klein. Wenn die Schaltung eine Anzahl kleinerer Teilschaltungen umfasst und der Versorgungsstrom zu solchen Teilschaltungen gemessen wird, ist die relative Variation im Versorgungsstrom der Teilschaltungen auf Grund eines Fehlers größer und kann zuverlässiger festgestellt werden. Die Aufteilung einer Schaltung in Teilschaltungen könnte bereits in Hinsicht auf das Design der Schaltung getan worden sein, z. B. ist die geforderte Funktion einer Schaltung in eine Anzahl von Teilfunktionen aufgeteilt, die nachfolgend als Teilschaltungen designt werden. Aber die Schaltung kann auch in Hinblick auf den Test, der die Messung des Stroms in den Teilschaltungen umfasst, geteilt oder weiter geteilt sein. Eine Schaltung, in der die Erfin dung erfolgeich angewendet wurde, wurde in 24 Teilschaltungen aufgeteilt. Jede einzelne Teilschaltung hatte einen durchschnittlichen Versorgungsstrom von 4,6 mA. Eine integrierte Schaltung 102 umfasst eine Anzahl von Teilschaltungen, symbolisiert durch die Blöcke 104, 106 und 108. Die Blöcke erhalten ihren Versorgungsstrom über die Versorgungsleitungen 112, 114 beziehungsweise 116 von einem Kontaktfleck 110. Der Versorgungsstrom zu einer Teilschaltung wird durch Messung des Spannungsabfalls über einen Abschnitt der speziellen Versorgungsleitung ermittelt. Die Versorgungsleitung hat einen bestimmten internen Widerstand und ein Strom, der durch die Versorgungsleitung fließt, wird einen Spannungsabfall erzeugen. Die Versorgungsleitung 112 hat Messpunkte M1 und M2 und zwischen diesen beiden Punkten wird eine Spannung gemessen. Der Strom durch die Versorgungsleitung 112 kann basierend auf dieser Spannung und dem Widerstand des Abschnitts zwischen M1 und M2 berechnet werden. Genauso hat die Versorgungsleitung 114 Messpunkte M3 und M4 und Versorgungsleitung 116 hat Messpunkte M5 und M6.
  • Die Ermittlung der Versorgungsströme entsprechend diesem Verfahren hat den Vorteil, dass alle Teilschaltungen in ihrem normalen Betriebszustand bleiben können. Wenn zum Beispiel der Versorgungsstrom zu Teilschaltung 104 durch Messung der Spannung zwischen M1 und M2 bestimmt wird, erhalten die Teilschaltungen 106 und 108 ihren Versorgungsstrom auf normale Weise und bleiben betriebsbereit. Das ist besonders vorteilhaft für eine integrierte Schaltung mit Teilschaltungen, die eng gekoppelt sind. Wenn in einer solchen Schaltung die Messung des Versorgungsstroms von zum Beispiel Teilschaltung 104 erfordern würde, die Teilschaltungen 106 und 108 abzuschalten, dann würde die Messung stark durch unvorhersagbare Ströme beeinflusst werden. Diese unvorhersagbaren Ströme treten auf, weil die Teilschaltungen 106 und 108 abgeschaltet werden und Teilschaltung 104 eng an sie gekoppelt ist. Außerdem könnten in einer solchen Schaltung sogar Beschädigung auftreten, wenn willkürlich Teilschaltungen betriebsbereit geschaltet werden, während andere außer Betrieb geschaltet werden. Ein weiterer Vorteil dieses Verfahren der Strommessung ist, dass weder die Teilschaltungen noch ihre Versorgungsleitungen modifiziert werden müssen, um die Messung zu ermöglichen. Das ist so, weil das Verfahren das Vorhandensein des Widerstands der Versorgungsleitung und den damit zusammenhängenden Spannungsabfall über einem Abschnitt der Versorgungsleitung ohne jegliche zusätzlichen Komponenten oder Schalter in der Versorgungsleitung nutzt. Um die Messgenauigkeit zu optimieren, können kleine Modifikationen an der Schaltung angewendet werden, z. B. die Einführen von einer Verzweigung in einer Versorgungsleitung oder eine neue Leitungsführung von einem Teil der Versorgungsleitung. Außerdem kann die Spannung mit einer Anordnung, die keinen feststellbaren Einfluss auf die Versorgungsleitung hat, gemessen werden. Das wurde mit einer Spannungsmessanordnung mit einer, verglichen mit der von der Versorgungsleitung gespeisten Teilschaltung, sehr hohen Impedanz realisiert.
  • Für das Empfangen von Leistung ist eine Schaltung, und auch eine Teilschaltung, mit einer Seite an eine Stromversorgung und mit der anderen Seite an Masse angeschlossen. Die Leitung, welche die Schaltung mit der Stromversorgungsleitung verbindet, wird dann Versorgungsleitung genannt und kann als „wahre" Versorgungsleitung betrachtet werden, und die Leitung, welche die Schaltung mit Masse verbindet, wird die Masseleitung genannt. Die Erfindung kann dazu verwendet werden, den Strom in der „wahren" Versorgungsleitung zu ermitteln, wie auch dazu, den Strom in der Masseleitung zu ermitteln. So soll im Zusammenhang mit dieser Erfindung „Versorgungsleitung" so verstanden werden, dass sie sowohl eine wahre Versorgungsleitung wie auch die Masseleitung beinhaltet.
  • Der überall in diesem Dokument benutzte Begriff „integrierte Schaltung" soll so verstanden werden, dass er nicht nur „traditionelle" ICs mit einer elektronischen Schaltung auf einem Halbleitersubstrat, sondern auch Anordnungen mit Zusammensetzungen dieser Substrate, so wie Multichipmodule und Anordnungen, die auf anderen Technologien wie „Silicon On Isolator" beruhen, umfasst. Absolut erforderlich für den Typ Schaltung, auf den die Erfindung angewendet werden kann, ist, dass die Leitungen, die einen Strom transportieren, einen inhärenten parasitären Widerstand haben, der einen Spannungsabfall, der für die Messung des Stroms benutzt werden kann, erzeugt. Außerdem kann die Erfindung auf eine elektronische Schaltung unabhängig vom spezifischen Typ der elektronischen Schaltung angewendet werden. Sie kann für analoge Schaltungen genauso wie für digitale Schaltungen und Mixed-Signal-Schaltungen verwendet werden.
  • 2 zeigt schematisch eine Strommessanordnung gemäß der Erfindung. Die Strommessanordnung 202 kann den Strom in der Versorgungsleitung der in 1 gezeigten Teilschaltung messen. Das ist explizit für die Versorgungsleitung 112 mit den Messpunkten M1 und M2 und für die Versorgungsleitung 114 mit den Messpunkten M3 und M4 gezeigt. Die Spannungen über den Messpunktpaaren werden mit der Spannungsmessanordnung 204 bzw. 206 gemessen. Die Spannungsmessanordnung ist in 2 als ein differentielles Transistorpaar dargestellt. Dies ist eine spezielle Realisierung ein differentielles Transistorpaar dargestellt. Dies ist eine spezielle Realisierung der Spannungsmessanordnung und viele andere Realisierungen sind möglich. Der Ausgang der Spannungsmessanordnung wird über die Leitungen 208 und 210 zur weiteren Verarbeitung übertragen. Das kann intern in der Schaltung geschehen, aber der Ausgang kann auch zur externen Behandlung, z. B. durch irgendeine Testapparatur, an Testkontaktflecke übertragen werden. Ein Schieberegister 212 steuert die Aktivierung der Spannungsmessanordnung, indem logische Signale entsprechende Schalter aktivieren. Das Signal Q1 selektiert die spezielle Spannungsmessanordnung 204 durch Aktivierung von Schalter 214. Das Schieberegister 212 ist ausgebildet, um das Signal IN unter Kontrolle des Taktsignals CLK, das die nachfolgenden Signal Qi veranlasst, H (High) zu werden, durch das Register zu schieben. Das verursacht die Aktivierung der nachfolgenden Schalter 214215 und, dadurch, der nachfolgenden Spannungsmessanordnungen 204206. Nun ist in der Ausführungsform mit differentiellen Transistorpaaren als Spannungsmessanordnung ein Kippschalter 216 vorhanden, der die Spannungsmessanordnung veranlasst, zwei Messungen vorzunehmen, wobei die Verbindung zu den Messpunkten M1 und M2 zwischen den Messungen umgepolt wird. Kippschalter 216 wird durch ein Signal, das durch ein UND-Gatter 218 aus den Signalen CLK und Q1 erzeugt wird, gesteuert. Transistoren eines differentiellen Paares haben einen kleinen gegenseitigen Unterschied, der eine Abweichung in einer Spannungsmessung erzeugt. Um nun die DC-Messung mit so einem differentiellen Paar zu verbessern, werden, wie oben beschrieben, zwei Messungen mit umgepolten Verbindungen zu den Messpunkten gemacht. Die Abweichung ist in beiden Messungen vorhanden und durch Kombinieren beider Messungen zu einem Ergebnis wird die Abweichung eliminiert. Das Kombinieren kann durch Berechnung des Durchschnittswertes aus den absoluten Werten der zwei Messungen realisiert werden. Der Kippschalter wird als optionales Element zur Verbesserung der Genauigkeit der DC-Messung mit einem differentiellen Transistorpaar verwendet. Wenn eine verbesserte Genauigkeit nicht nötig ist oder wenn AC-Messungen gemacht werden, kann auf den Kippschalter verzichtet werden. Auch wenn die Spannungsmessanordnung in anderer Weise als durch ein differentielles Transistorpaar realisiert wird, kann der Kippschalter nicht erforderlich sein.
  • 3 zeigt schematisch eine alternative Strommessanordnung gemäß der Erfindung. Die Strommessanordnung 302 hat eine einzelne Spannungsmessanordnung 304, die unter der Kontrolle des Schieberegisters 212 mit den Messpunkten M1 und M2 oder M3 und M4 verbunden werden kann. Das Signal IN passiert das Schieberegister und verursacht, dass die nachfolgenden Signal Qi H werden und dabei die nachfolgenden Schalter 306308 aktivieren. Die Schalter verbinden die Spannungsmessanordnung 304 mit den entsprechenden Messpunkten. Außerdem gibt es einen optionalen Kippschalter 310, der die Spannungsmessanordnung veranlasst, zwei Messungen an jedem der Messpunktepaare mit umgepolten Anschlüssen auszuführen. Der Kippschalter ist nun unter der Kontrolle des Taktsignals CLK. Der Vorteil dieser Strommessanordnung ist, dass nur eine Spannungsmessanordnung notwendig ist, um Messungen an einer möglicherweise großen Zahl von Punkten durchzuführen. Dann sind weniger Komponenten in der Strommessanordnung notwendig. In einer Schaltung, in der die Erfindung angewendet wurde, wurde die Spannung an 24 Paaren von Messpunkten gemessen.
  • 4 zeigt eine Implementierung der alternativen Strommessanordnung gemäß der Erfindung. Element 402 generiert Taktimpulse phi 1 und phi2 aus dem Taktsignal CLK wie in 5 gezeigt. In 4 sind die Leitungen, die diese Impulse verteilen, aus Gründen der Klarheit nicht gezeigt und die entsprechenden Verbindungen sind durch die Namen der Impulse symbolisiert. Der Schalter 306 ist durch die Transistoren 404 und 406 und der Schalter 308 durch die Transistoren 408 und 410 implementiert. Das Schieberegister umfasst verschiedene Sektionen, wie Sektion 412, wobei jede ein spezielles Schaltsignal Qi generiert. Eine solche Sektion enthält eine serielle Verbindung von einem Transistor 414 unter der Kontrolle des Taktimpulses phi1, einem Puffer 416, einem Transistor 418 unter der Kontrolle von phi2 und einem Puffer 420. Das Signal IN wird in zwei Zyklen des Taktsignal CLK durch eine Sektion des Schieberegisters geschoben, wie aus dem Impulsdiagramm in 5 gesehen werden kann. Die Signale Q (Q1–Qi) empfangen nacheinander den Signalimpuls IN und aktivieren die speziellen Transistoren (404 und 406 bis 408 und 410), welche die Spannungsmessanordnung 304 mit den speziellen Messpunkten (M1 und M2 bis M2 und M4) verbinden. Der optionale Kippschalter 310 ist durch 4 Transistoren implementiert, welche die Spannungsmessanordnung unter der Kontrolle von phil und phi2 auf zwei verschiedene, entgegengesetzte Weisen mit den Messpunkten verbinden.
  • 5 zeigt das Impulsdiagramm der Signale, welche die Strommessanordnung gemäß der Erfindung steuern. Diese Figur zeigt das zeitabhängige Verhalten der in der in 4 gezeigten Strommessanordnung benutzten Signale. Das Signal IN wird durch das Schieberegister geschoben und macht die nachfolgenden Signale Qi H. Wenn das Sig nal Q1 H ist, wird der Schalter 306 aktiviert und die Spannungsmessanordnung 304 wird mit den Messpunkten M1 und M2 verbunden. Wenn Signal Qi H ist, wird Schalter 308 aktiviert und die Spannungsmessanordnung 304 wird mit den Messpunkten M3 und M4 verbunden.
  • 6 zeigt einige Elemente einer integrierten Schaltung gemäß der Erfindung. Die integrierte Schaltung 602 umfasst eine Teilschaltung 604 mit einer Versorgungsleitung 606, die mit dem Kontaktfleck 608 verbunden ist. Der Versorgungsstrom in der Versorgungsleitung 606 kann mit einer Strommessanordnung 610 gemäß der Erfindung ermittelt werden. Die integrierte Schaltung umfasst weiterhin eine Auswerte- und/oder diagnostische Teilschaltung 612, welche die Strommessanordnung 610 steuert und Daten von dieser empfangen kann. Die Auswerte- und/oder diagnostische Teilschaltung und die Strommessanordnung können so ausgebildet werden, den Strom in Versorgungsleitungen von vielen anderen Teilschaltungen der integrierten Schaltung zu messen. Mit einer solchen Auswerte- und/oder diagnostische Teilschaltung können verschiedene Tests implementiert werden. Es ist möglich, einen sogenannten eingebauten Selbsttest (BIST) zu implementieren, der durch ein Signal von außen, das über den Kontaktfleck 614 an die Auswerte- und/oder diagnostische Teilschaltung transferiert wird, gestartet wird. Das Ergebnis des Selbsttests kann über denselben Kontaktfleck 614 ausgegeben werden. Außerdem ist es möglich, einen Test zu implementieren, der die Zuverlässigkeit der Schaltung verifiziert. Regelmäßige Messungen können das Ausmaß des Güteverlustes der integrierten Schaltung zeigen und können für sicherheitsrelevante Anwendungen die Notwendigkeit, die Schaltung zu einem bestimmten Moment auszutauschen, erkennen lassen. Ein Beispiel solchen Güteverlusts ist die sogenannte Elektromigration, welche einen Effekt auf die Versorgungsleitung hat und ein Anwachsen des Widerstands der Versorgungsleitung bewirkt.
  • Das Verfahren gemäß der Erfindung kann benutzt werden, die Korrektheit der integrierten Schaltung zu testen. Ein Versorgungsstrom zu einer Teilschaltung, der vom erwarteten Wert abweicht, deutet auf einen Fehler in der Teilschaltung hin. Nach dem Nachweisen eines solchen Fehlers in einem Test wird die integrierte Schaltung zurückgewiesen. Das Verfahren kann im Test des IDDQ-Stroms verwendet werden, wo eine bestimmte Klasse von Fehlern einen Anstieg in einem solchen Strom, der mit dem Verfahren gemäß der Erfindung gemessen werden kann, ergibt. Der aktuelle Versorgungsstrom einer Teilschaltung wird von bestimmten Parametern der Teilschaltung bestimmt, die von dem Produktionsprozess der integrierten Schaltung abhängen, z. B. der Widerstand der verschiedenen Leitungsbahnen in der Teilschaltung. Das heißt, dass der Versorgungsstrom einer speziellen Teilschaltung einer bestimmten integrierten Schaltung unterschiedlich zu dem Versorgungsstrom einer entsprechenden Teilschaltung einer gleichen integrierten Schaltung sein kann, die in einem unterschiedlichen Los produziert wurde, während beide Teilschaltungen korrekt sind. Das kann sogar für integrierte Schaltungen auf derselben Scheibe wahr sein. Wenn man also den Versorgungsstrom einer Teilschaltung mit einem standardisierten, zu erwartendem Wert vergleicht, muss man eine Streuung in dem gemessenen Strom erlauben, ehe man die integrierte Schaltung zurückweist, um das Zurückweisen einer korrekten Schaltung zu vermeiden. Eine Alternative, den absoluten Wertes des Versorgungsstroms einer Teilschaltung mit einem Standardwert zu vergleichen, ist es, das Verhältnis der Versorgungsströme von zwei Teilschaltungen derselben integrierten Schaltung mit einem Standardwert zu vergleichen. Wenn eine der Teilschaltungen einen Fehler hat, der eine Änderung im Versorgungsstrom verursacht, wird das gemessene Verhältnis von dem erwarteten Verhältnis abweichen und deshalb kann die integrierte Schaltung zurückgewiesen werden. Der Vorteil ist, dass das Verhältnis zweier Versorgungsströme weniger abhängig von dem Produktionsprozess der integrierten Schaltung ist als ein individueller Versorgungsstrom. Beide Versorgungsströme werden von dem Prozess in gleicher Weise beeinflusst, was eine vergleichbare Veränderung in beiden Strömen verursacht. Bei der Division eines Stroms durch den anderen hebt eine Änderung die andere Änderung in hohem Maße auf und die Nettoänderung des Verhältnisses ist gering.
  • Eine weitere Anwendung des Verfahrens gemäß der Erfindung ist ein Test auf das Vorhandensein und die korrekte Verbindung der Bonddrähte in einer integrierten Schaltung. Ein solcher Test wird an der integrierten Schaltung durchgeführt, nachdem sie in ein Gehäuse montiert wurde. Die Anwendung des Verfahrens ist besonders vorteilhaft, wenn die Schaltung mehrere Versorgungskontaktflecken hat, die mit Bonddrähten mit einem einzigen Versorgungsanschluss des Gehäuses verbunden werden sollen. Entsprechend dem Verfahren kann der Strom in jeder, mit einem entsprechenden Versorgungskontaktflecken verbundenen, Leitungen ermittelt werden. Ein Fehler in der Verbindung eines speziellen Bonddrahtes wird festgestellt, da ermittelt wird, dass in der entsprechenden Versorgungsleitung kein Strom vorhanden ist.
  • Das Verfahren gemäß der Erfindung kann verwendet werden, um einen Gleichstrom (DC), der durch eine Leitung der integrierten Schaltung fließt, zu messen. Das Verfahren kann durch wiederholten Messen der Spannung über dem Abschnitt der speziellen Leitung auch verwendet werden, einen Wechselstrom (AC) durch eine Leitung zu messen. Auf diese Weise kann auch das Einschwingverhalten im Versorgungsstrom gemessen werden.
  • 7 zeigt schematisch eine Anwendung der Erfindung für Signalströme. Die integrierte Schaltung 702 umfasst die Teilschaltungen 704, 706 und 708. Die integrierte Schaltung empfängt ein Eingangssignal an Kontaktfleck 710 und gibt das Signal über Kontaktfleck 712 aus. Das Eingangssignal wir zuerst von der Teilschaltung 704 verarbeitet, die ihr Ergebnis über die Signalleitung 714 an die Teilschaltung 706 liefert. Diese Teilschaltung 706 verarbeitet dieses Ergebnis und liefert ihr eigenen Ergebnis über die Signalleitung 716 an die Teilschaltung 708. Um die Ströme in den Signalleitungen 714 und 716 zu ermitteln, ist die Schaltung mit einer Strommessanordnung wie oben beschrieben versehen. Zwei Messpunke in der Signalleitung 714 sind mit der Messeinheit 718 verbunden. Diese Einheit umfasst eine Sektion von Schieberegistern und den entsprechenden Transistorschaltern wie in 4 beschrieben, z. B. Sektion 412 und Transistoren 408 und 410. Ähnlich sind zwei Messpunkte in der Signalleitung 716 mit der Messeinheit 720 verbunden. Die Einheiten 718 und 720 sind über die Leitung 722 miteinander verbunden, um das Signal IN zum nacheinander Aktivieren der Einheiten zu transportieren. Die Einheiten 718 und 720 sind mit einer Spannungsmessanordnung 724 – wie Anordnung 304 –, die optional einen Kippschalter 310 umfasst. Der Strom in der Signalleitung wird durch Messung des Spannungsabfalls zwischen den Messpunkten ermittelt. Dieser Spannungsabfall wird durch den internen, parasitären Widerstand der Signalleitung verursacht. Die Erfindung bietet eine flexible Weise, Signalströme an verschiedenen Plätzen in der integrierten Schaltung zu messen und erfordert nur einen kleinen Overhead einiger weniger Komponenten und einiger zusätzlicher Leitungen. Die Erfindung erfordert keine zusätzlichen Komponenten in der Signalleitung und erzeugt nur einen geringen Einfluss auf die Signalleitung.

Claims (13)

  1. Verfahren zur Prüfung einer integrierten Schaltung, wobei die Schaltung eine Vielzahl von Teilschaltungen umfasst und das Verfahren eine Ermittlung eines ersten Versorgungsstroms in einer Versorgungsleitung einer ersten Teilschaltung der Teilschaltungen umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Spannung über einem Abschnitt der Versorgungsleitung gemessen wird, während alle Teilschaltungen betriebsbereit sind, und dass die Ermittlung des ersten Versorgungsstroms auf Basis der ersten Spannung und des Widerstands des Abschnitts der Versorgungsleitung durchgeführt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, das die Ermittlung eines zweiten Versorgungsstroms in einer Versorgungsleitung einer zweiten Teilschaltung der Teilschaltungen umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass eine zweite Spannung über einem Abschnitt der Versorgungsleitung der zweiten Teilschaltung gemessen wird und dass die erste und die zweite Spannung dadurch gemessen werden, dass eine einzelne Spannungsmessanordnung nacheinander mit einem Abschnitt der ersten Versorgungsleitung beziehungsweise der zweiten Versorgungsleitung verbunden wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass Ausgangssignale der jeweiligen Messungen aus der integrierten Schaltung geführt werden.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Spannungen durch ein differentielles Transistorpaar gemessen wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine der Spannungen in den folgenden Schritten gemessen wird: – Verbindung eines ersten Eingangs des differentiellen Transistorpaares mit einer ersten Seite des speziellen Abschnitts, Verbindung eines zweiten Eingangs des differentiel len Transistorpaares mit einer zweiten Seite des speziellen Abschnitts und Durchführung einer ersten Messung, – Verbindung des ersten Eingangs des differentiellen Transistorpaares mit der zweiten Seite des speziellen Abschnitts, Verbindung des zweiten Eingangs des differentiellen Transistorpaares mit der ersten Seite des speziellen Abschnitts und Durchführung einer zweiten Messung, – Kombination der ersten Messung und der zweiten Messung zu einem Ergebnis zur Verwendung als die gemessene Spannung über dem speziellen Abschnitt.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Versorgungsstrom mit einem für diesen speziellen Versorgungsstrom ermittelten Bereich verglichen wird und die Schaltung zurückgewiesen wird, wenn der Versorgungsstrom aus dem Bereich herausfällt.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, das die Ermittlung von mindestens zwei Versorgungsströmen für jeweilige Teilschaltungen umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass ein Stromverhältnis zwischen einem ersten und einem zweiten der beiden Versorgungsströme ermittelt wird und die integrierte Schaltung zurückgewiesen wird, wenn das Stromverhältnis aus einem für das spezielle Stromverhältnis ermittelten Bereich herausfällt.
  8. Verfahren zur Prüfung einer integrierten Schaltung, wobei das Verfahren eine Ermittlung eines Stroms in einer Signalleitung in der Schaltung umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass eine Spannung über einem Abschnitt der Signalleitung gemessen wird und dass die Ermittlung des Stroms auf Basis der Spannung und des Widerstands des Abschnitts der Signalleitung ausgeführt wird.
  9. Integrierte Schaltung mit einer Vielzahl von Teilschaltungen und mit einer Strommessanordnung zur Messung eines Versorgungsstroms in einer Versorgungsleitung mindestens einer der Teilschaltungen, dadurch gekennzeichnet, dass die Strommessanordnung eine Spannungsmessanordnung zur Messung einer Spannung über einem Abschnitt der Versorgungsleitung umfasst.
  10. Integrierte Schaltung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Strommessanordnung Verbindungsmittel umfasst, um die Spannungsmessanordnung nacheinander mit dem Abschnitt der Versorgungsleitung und mit einem Abschnitt der Versorgungsleitung einer weiteren der Teilschaltungen zu verbinden.
  11. Integrierte Schaltung nach Anspruch 9 oder 10, welche Schaltung eine Auswerte- und/oder diagnostische Teilschaltung umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerte- und/oder diagnostische Teilschaltung ausgebildet ist, das Ergebnis der Strommessanordnung zu verarbeiten und ein Ergebnis der Verarbeitung nach außerhalb der Schaltung zu führen.
  12. Integrierte Schaltung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannungsmessanordnung ein differentielles Transistorpaar umfasst.
  13. Integrierte Schaltung mit einer Strommessanordnung zur Messung eines Stroms in einer Signalleitung in der Schaltung, dadurch gekennzeichnet, dass die Strommessanordnung eine Spannungsmessanordnung zur Messung einer Spannung über einem Abschnitt der Signalleitung umfasst.
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