DE69614906T2 - Anode eines flachen Bildschirms mit Widerstandsstreifen - Google Patents

Anode eines flachen Bildschirms mit Widerstandsstreifen

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Description

  • Die Erfindung betrifft Anoden für Flachbildschirme. Sie betrifft insbesondere die Realisierung von Verbindungen von Leuchtelementen einer Anode für Farbbildschirme, beispielsweise Farbbildschirme mit Mikrospitzen.
  • Fig. 1 zeigt den Aufbau eines Flachbildschirms mit Mikrospitzen der erfindungsgemäß eingesetzten Bauart.
  • Solche Mikrospitzen-Bildschirme werden hauptsächlich durch eine Kathode 1 mit Mikrospitzen 2 und ein Gate 3 gebildet, das mit Löchern 4 versehen ist, die den Positionen der Mikrospitzen 2 entsprechen. Die Kathode 1 ist so angeordnet, daß sie einer Kathodolumineszenz-Anode 5 gegenüberliegt, die auf einem Glassubstrat 6 ausgebildet ist, das die Bildschirmoberfläche bildet.
  • Die Funktionsweise und der detaillierte Aufbau eines Beispiels eines solchen Mikrospitzen- Bildschirms wird in dem US-Patent 4,940,916 beschrieben, das auf das Commissariat à 1'Energie Atomique übertragen ist.
  • Die Kathode 1 ist in Spalten angeordnet und auf dem Glas durch Kathodenleiter gebildet, die maschenartig aus einer leitenden Schicht angeordnet ist. Die Mikrospitzen 2 sind an einer Widerstandsschicht 11 angeordnet, die auf den Kathodenleitern aufgebracht ist, und sind innerhalb von Maschen angeordnet, die durch die Kathodenleiter definiert sind. Fig. 1 zeigt teilweise das Innere einer Masche ohne die Kathodenleiter. Die Kathode 1 ist einem Gate 3 zugeordnet, das in Reihen angeordnet ist. Der Schnittpunkt einer Gatereihe und einer Spalte der Kathode 1 definiert einen Pixel.
  • Diese Vorrichtung benutzt das zwischen der Kathode 1 und dem Gate 3 erzeugte elektrische Feld, so daß Elektronen von den Mikrospitzen 2 auf Phosphorelemente 7 der Anode 5 übertragen werden. Bei Farbbildschirmen ist die Anode 5 mit wechselnden Phosphorelementstreifen 7r, 7b, 7g versehen, wobei jeder einer Farbe entspricht (rot, blau, grün). Die Streifen sind voneinander durch ein Isoliermaterial 8 getrennt.
  • Die Phosphorelemente 7 sind auf Elektroden 9 aufgebracht, die durch entsprechende Streifen aus einer transparenten, leitfähigen Schicht, beispielsweise aus Indium- und Zinnoxid (ITO), gebildet sind.
  • Die Gruppe aus roten, blauen, grünen Streifen werden abwechselnd bezüglich der Kathode 1 polarisiert, so daß die von den Mikrospitzen 2 eines Pixels der Kathode/des Tores (Gate) abgeleiteten Elektronen abwechselnd zu den gegenüberliegenden Phosphorelementen 7 jeder Farbe gerichtet werden.
  • Die Steuerung des Phosphorelements 7 (des Phosphorelements 7g in Fig. 1), das mit Elektronen von den Mikrospitzen 2 der Kathode 1 beschossen werden soll, fordert eine selektive Steuerung der Polarisierung der Phosphorelemente 7 der Anode 5 für jede Farbe.
  • Fig. 2 zeigt schematisch einen Anodenaufbau eines herkömmlichen Farbfernsehbildschirmes.
  • Fig. 2 zeigt teilweise eine perspektivische Ansicht einer Anode 5, die auf bekannte Weise hergestellt ist. Die auf dem Substrat 6 aufgebrachten Anoden-Elektrodenstreifen 9 werden außerhalb des Nutzbereichs des Bildschirms für jede Farbe der Phosphorelemente verbunden, um mit einer Steuereinrichtung (nicht dargestellt) gekoppelt zu werden. Zwei Verbindungspfade 12 und 13 von Anodenelektroden 9g bzw. 9b werden für zwei der drei Farben von Phosphorelementen erreicht. Eine Isolierschicht 14 (die mit gestrichelten Linien in Fig. 2 angedeutet ist) ist auf den Verbindungspfad 13 aufgebracht. Ein dritter Verbindungspfad 15 ist über Leiter 16, die auf der Isolierschicht 14 aufgebracht sind, mit den Streifen von Anodenelektroden 9r verbunden, die für die Phosphorelemente der dritten Farbe ausgeführt sind.
  • Im allgemeinen werden die Gatereihen 3 bei einer Spannung von annähernd 80 Volt polarisiert, während die Phosphorelementstreifen (z.B. 7g in Fig. 1), die erregt werden müssen, bei einer Spannung von annähernd 400 Volt polarisiert, wobei die anderen Streifen (z.B. 7r und 7b in Fig. 1) bei null Volt polarisiert sind. Die Spalten der Kathode 1, dessen Potential für jede Gatereihe 3 die Helligkeit des Pixels bestimmt, das durch den Schnittpunkt der Kathodenspalte und der Gatereihe in der in Betracht stehenden Farbe definiert, werden mit entsprechenden Spannungen beaufschlagt, die in einem Bereich zwischen einem maximalen Emissionspotential und einem Null Emissionspotential (beispielsweise 0 bzw. 30 Volt) liegen.
  • Die Werte der Polarisierungsspannungen werden durch die Eigenschaften der Phosphorelemente 7 und Mikrospitzen 2 bestimmt.
  • Herkömmlicherweise findet keine Elektronenemission unterhalb einer Spannungsdifferenz von 50 Volt zwischen der Kathode und dem Gate statt, und die maximale genutze Emission entspricht einem Spannungsunterschied von 80 Volt.
  • Die Spannungsdifferenz zwischen der Anode und der Kathode hängt von dem Elektrodenabstand ab. Zur Erhöhung der Helligkeit des Bildschirms ist eine maximale Spannungsdifferenz erwünscht, die einen so breit wie möglichen Elektrodenabstand fordert. Die Struktur des Elektrodenabstands jedoch, die Abstandshalter (nicht dargestellt) umfaßt, die Schattenbereiche auf dem Bildschirm erzeugen können, falls sie überdimensioniert sind, hindert diesen Elektrodenabstand daran, zuzunehmen. Daher ist der Elektrodenabstand eines herkömmlichen Bildschirms annähernd 0,2 mm. Deswegen ist es notwendig, eine Anoden-Kathoden- Spannung zu wählen, die bezüglich der Bildung von elektrischen Lichtbogen kritisch ist. Die zerstörerischen elektrischen Lichtbögen können aufgrund der geringsten Unregelmäßigkeit des Abstands auftreten, der eine Mikrospitze oder die Gateschicht von den Phosphorelementen der Anode trennt. Außerdem sind derartige Unregelmäßigkeiten wegen der geringen Größe der Komponenten und der angewendeten Herstellungstechnik des Anoden- und Kathodengates unvermeidbar.
  • Auf der Seite der Kathode begrenzt die Widerstandsschicht 11 die Bildung von zerstörerischen Kurzschlüssen zwischen den Mikrospitzen und dem Gate.
  • Jedoch können auf der Anodenseite elektrische Lichtbögen zwischen dem Gate 3 und den Anodenphosphorelementen 7 auftreten, die polarisiert sind, um die Elektronen, die von der Mikrospitze 2 (z.B. die Leuchststoffe (Phosphor) 7g in Fig. 1) emittiert sind, anzuziehen. Elektrische Lichtbogen können auch zwischen zwei benachbarten Phosphorelementstreifen (z. B. 7g und 7r in Fig. 1) wegen der Spannungsdifferenz zwischen den beiden Streifen auftreten.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, die oben erwähnten Nachteile zu vermeiden, indem eine Anode für einen flachen Bildschirm geschaffen wird, welche die Gefahr von zwischen der Anode und dem Gate oder zwischen benachbarten Phosphorelementstreifen der Anode auftretenden, elektrischen Lichtbogen auszuschließen, ohne die Helligkeit des Bildschirms zu beeinträchtigen.
  • Um diese Aufgabe zu lösen, schafft die Erfindung eine Anode für einen Flachbildschirm mit wenigstens einer Gruppe Phosphorelementstreifen, die über entsprechenden Elektrodenstreifen angeordnet sind, die voneinander durch eine Isolierschicht getrennt sind, die den Phosphorelementstreifen gegenüberliegende Löcher umfaßt, und wenigstens einem Leiter, der die Elektrodenstreifen der Gruppe verbindet, wobei jeder Elektrodenstreifen durch einen Widerstandsstreifen zum Aufnehmen eines Phosphorelementstreifens und wenigstens einem ersten Polarisationsstreifen gebildet ist, der zu diesem parallel ist und sich an den Verbindungsleiter anfügt, wobei der Polarisationsstreifen einen niedrigeren Widerstandswert in Bezug auf den Widerstandswert des Widerstandsstreifens aufweist, dem er zugeordnet ist.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist jeder Widerstandsstreifen durch zwei parallele Polarisationsstreifen eingegrenzt, wobei jeder Polarisationsstreifen sich an den Verbindungsleiter anfügt.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung bestehen die Widerstandsstreifen aus einem transparenten und elektrisch leitenden Nicht-stöchiometrischen Oxid, wobei der Widerstandswert der Widerstandsstreifen durch den Sauerstoffanteil des Oxids bestimmt ist.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung sind die Widerstandsstreifen und die Polarisationsstreifen aus demselben Material hergestellt, dessen Widerstandswert in einem mittleren Abschnitt, welcher die Phosphorstreifen aufnehmen soll, höher als in den seitlichen Abschnitten ist, die an den Verbindungsleiter angefügt sind.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist die Isolierschicht als Maske zur Erhöhung des Widerstandswertes der Widerstandsstreifen durch Glühen in einer Sauerstoffatmosphäre verwendet.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung ist der Widerstandswert der Widerstandsstreifen durch die Dicke der Streifen bestimmt.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung wird die Isolierschicht als eine Ätzmaske in einem Prozess zum Verringern der Dicke der Widerstandsstreifen verwendet.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung umfaßt die Anode drei Gruppen alternierender Widerstandsstreifen, die Phosphorelemente tragen, die jeweils einer Farbe entsprechen, sowie wenigstens drei Verbindungsleiter der Widerstandsstreifen, die den Widerstandsstreifen der selben Farbe zugeordnet sind.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung haben alle Widerstandsstreifen, welche dem selben Verbindungspfad zugeordnet sind, denselben Widerstandswert.
  • Gemäß einer Ausführung der Erfindung sind die Widerstandsstreifen aus Indium- oder Zinnoxid hergestellt.
  • Die vorstehenden und andere Gegenstände, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden durch die folgende, detaillierte, nicht einschränkende Beschreibung der Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen offensichtlich, in denen zeigen:
  • Fig. 1 und 2, wie oben beschrieben ist, den Stand der Technik und das auftretende Problem;
  • Fig. 3 eine Teilquerschnittsansicht einer ersten Ausführung einer erfindungsgemäßen Anode für einen Flachbildschirm;
  • Fig. 4 eine Teilquerschnittsansicht einer zweiten Ausführung einer erfindungsgemäßen Anode für einen Flachbildschirm;
  • Fig. 5 eine Teilquerschnittsansicht einer dritten Ausführung einer erfindungsgemäßen Anode für einen Flachbildschirm;
  • Fig. 6 eine Teilquerschnittsansicht einer vierten Ausführung einer erfindungsgemäßen Anode für einen Flachbildschirm;
  • Fig. 7 eine Teilquerschnittsansicht einer fünften Ausführung einer erfindungsgemäßen Anode für einen Flachbildschirm; und
  • Fig. 8 ein Ersatzschaltbild für einen Mikrospitzenschirm mit einer erfindungsgemäßen Anode.
  • Aus Gründen der Klarheit sind die Figuren nicht maßstabsgetreu gezeichnet, und die gleichen Bauteile sind mit den gleichen Bezugszeichen in den verschiedenen Figuren bezeichnet.
  • Fig. 3 ist eine Querschnittsansicht von einigen Phosphorelementstreifen einer Anode für einen flachen Bildschirm gemäß einer ersten Ausführung der Erfindung.
  • Ein charakteristisches Merkmal der Erfindung besteht darin, daß jeder Streifen 17 von Anodenelektroden jeweils einen Widerstandsstreifen 18 umfaßt, der die Phosphorelemente 7 und zumindest einen parallelen Polarisationsstreifen 19 trägt. Vorzugsweise wird, wie in den Figuten dargestellt ist, jeder Widerstandsstreifen 18 längsseitig von zwei Polarisationsstreifen 19 begrenzt.
  • Auf diese Weise wird eine erfindungsgemäße Anode durch ein transparentes Substrat 6, z.B.. aus Glas, durch parallele Streifen 18 aus einem elektrisch leitenden und transparenten Material. wie ein Indium- oder Zinnoxid, gebildet. Jeder Streifen 18 trägt einen entsprechenden Phosphorelementstreifen 7. Jeder Streifen 18 wird von zwei seitlichen, hochleitfähigen Polarisationsstreifen 19, z.B. aus Aluminium, Kupfer oder Gold, begrenzt. Für einen Farbbildschirm sind diese Streifen 19 an einem ihrer Enden mit einem Verbindungspfad (nicht dargestellt) der Phosphorelementstreifen 7 der gleichen Farbe verbunden.
  • Eine Eigenschaft der Erfindung besteht darin, daß die Polarisationsstreifen derart erhalten werden, daß sie bezüglich des Widerstandswerts des die Streifen 18 bildenden Materials einen niedrigen Widerstandswert haben. Auf diese Weise bilden die Widerstandsstreifen 18 einen lateralen Zugangswiderstand hin zu jedem Pixel des Bildschirms.
  • Zu diesem Zweck werden gemäß dieser ersten Ausführung spezifische Eigenschaften einer transparenten Oxidschicht verwendet. Es kann z.B. eine Schicht aus einem Indiumoxid (In&sub2;Ox), ein Zinnoxid (SnOx) oder ein Indium- und Zinnoxid (ITO) herangezogen werden.
  • Die Dicke und der Sauerstoffanteil der Oxidschicht werden optimiert, um jedem Streifen 18 den gewünschten Widerstandswert und die gewünschte Transparenz zu verleihen.
  • Vorzugsweise ist das eingesetzte Oxid ein Indium- oder Zinnoxid. Die Verwendung eines derartigen Oxids ist insofern vorteilhaft, als dessen Widerstandswert leicht kontrollierbar ist, um dem Streifen den gewünschten Widerstand zu verleihen, weil der Widerstandswert eines solchen Streifens mit dem Sauerstoffanteil zunimmt. Um den Widerstandswert eines Indium- oder Zinnoxids zu erhöhen, wird ein Glühschritt in einer Sauerstoffatmosphäre bei einer Temperatur in einem Bereich von 300 bis 400ºC durchgeführt.
  • Ein weiterer Vorteil eines Indium- oder Zinnoxids besteht darin, daß es eine bessere Transparenz als ITO aufweist.
  • Vorzugsweise wird eine transparente und elektrisch leitfähige Oxidschicht mit einer reduzierten Dicke verwendet, um die Widerstandsstreifen 18' zu bilden.
  • Die Fig. 5 und 6 zeigen zwei weitere Ausführungen einer erfindungsgemäßen Anode. Gemäß dieser Ausführungen sind alle Widerstands- und Polarisationsstreifen aus einem transparenten und elektrisch leitfähigen Oxid hergestellt.
  • Fig. 5 ist eine Querschnittsansicht einiger Phosphorelementstreifen, die eine Anode für einen Flachbildschirm gemäß einer dritten Ausführung der Erfindung bilden.
  • Die Anode ist aus Elektrodenstreifen 17' gebildet, die aus einem transparenten und elektrisch leitfähigen Oxid hergestellt ist, dessen mittlerer Abschnitt 18 mit einem hohen Widerstandswert als Widerstandsstreifen dient und von zwei seitlichen Bereichen 19' begrenzt ist, die einen minimalen Widerstandswert haben und als Polarisationsstreifen fungieren. Der Unterschied im Widerstandswert wird durch einen Sauerstoffanteil erhalten, der bei den lateralen Bereichen 19' und dem mittleren Abschnitt 18 unterschiedlich ist. Zu diesem Zwecke sind die Streifen 17' aus einer Oxidschicht, beispielsweise Indium oder Zinn, mit einem minimalen Widerstandswert gebildet. Anschließend wird die Isolierschicht 8, beispielsweise aus einem Silikonoxid, aufgebracht und bei den mittleren Bereichen 18 freigeätzt, welche die Phosphorelementstreifen 7 aufnehmen sollen. Die Schicht 8 wird anschließend als Maske verwendet, um den Widerstandswert der mittleren Abschnitte 18 zu erhöhen, indem ihr Sauerstoffanteil durch Glühen in einem Ofen in einer Sauerstoffatmosphäre bei einer Temperatur von annähernd 400ºC erhöht wird.
  • Fig. 6 ist eine Querschnittsansicht von einigen Phosphorelementstreifen, die eine Anode für einen Flachbildschirm gemäß einer vierten Ausführung der Erfindung bilden.
  • In dieser Ausführung ist die Anode auch durch die Elektrodenstreifen 17' aus transparentem und elektrisch leitfähigem Oxid gebildet, dessen mittlerer Abschnitt 18' mit einem hohen Widerstandswert als ein Widerstandsstreifen dient und von zwei lateralen Abschnitten 19' begrenzt ist, die einen minimalen Widerstandswert aufweisen und als Polarisationsstreifen dienen. Im Gegensatz dazu ist in diesem Fall der Widerstandswert für die mittleren Abschnitte 18' und seitlichen Abschnitte 19' identisch und entsprechen vorzugsweise einem minimalen Widerstandswert. Der hohe Widerstandswert der mittleren Bereiche 18' wird durch Vorsehen einer geringen Dicke in diesen Bereichen erhalten. Die Isolierschicht 8 wird als eine Ätzmaske zum Ätzen der mittleren Abschnitte 18' verwendet.
  • Um den Schutz der Phosphorelemente, die am nächsten zu den Polarisationsstreifen liegen, zu verbessern, ist es möglich, gemäß einer in der Fig. 7 dargestellten fünften Ausführung der Erfindung die Isolierschicht 8 so vorzusehen, daß sie die Widerstandsstreifen überlappt. Auf diese Weise wird ein dazwischen liegender Widerstandsbereich 18" ohne Phosphorelemente und durch eine Schicht 8 geschützt zwischen den Polarisationsstreifen und den mittleren Abschnitten 18' erzeugt. Ein solches Überlappen wird beispielsweise durch Positionieren der verwendeten Maske erreicht, um die Widerstandsstreifen bezüglich der Maske zu definieren, die zum Ätzen der Schicht. 8 eingesetzt wird.
  • In Fig. 7 bestehen die Polarisationsstreifen aus einem Metall, z.B. aus Aluminium. Die lateralen Bereiche 19' von Oxidstreifen können auch als Polarisationsstreifen für die Ausführungen nach den Fig. 5 und 6 eingesetzt werden:
  • Selbstverständlich können die oben beschriebenen Ausführungen in einzelnen Elektrodenstreifen kombiniert werden.
  • Auf diese Weise können beispielsweise Streifen aus einem transparenten und elektrisch leitfähigen Oxid, z.B. aus Aluminium, das einen hohen Widerstandswert in einem von den Polarisationsstreifen begrenzten mittleren Abschnitt aufweist, geschaffen werden. Diese Polarisationsstreifen werden über den seitlichen Oxidbereichen angeordnet. Die Isolierschicht, welche die Polarisationsstreifen und die lateralen Abschnitte aus einem leitfähigen und transparenten Oxid bedeckt, wird noch als eine Ätzmaske und/oder zum Erhöhen des Sauerstoffanteils verwendet.
  • Die elektrische Verbindung der Elektrodenstreifen 17 oder 17', wird in Fig. 8 dargestellt, die das elektrische, gleichwertige Diagramm eines Mikrospitzenfarbbildschirms mit einer erfindungsgemäßen Anode zeigt. Diese elektrische Verbindung ist der ähnlich, die mit Bezug auf Fig. 2 offenbart ist, außer, daß die Verbindungspfade 21 die Polarisationsstreifen 19 oder 19' und nicht länger direkt die Streifen 18 oder 18' verbinden, die die Phosphorelemente 7 aufnehmen. Auf diese Weise wird das Ansteuern einer erfindungsgemäßen Anode auf übliche Weise erreicht.
  • Während des Polarisierens einer vorbestimmten Gatereihe wird jeder Phosphorelementstreifen 7r, 7g oder 7b individuell gegen elektrische Lichtbogen durch einen Widerstand Ra in Serie zwischen diesem Streifen und dem Verbindungspfad 21 geschützt, welchem er zugeordnet ist. Der Wert des Widerstands Ra, der durch die Widerstandsschicht 18 oder 18' gebildet ist, ist derart, daß er den Strom in dem Elektrodenstreifen 17 oder 17' auf einen Wert begrenzt, der dazu gewählt ist, das Auftreten von zerstörerischen elektrischen Lichtbogen zu vermeiden, ohne einen erheblichen Abfall der Anodenspannung zu verursachen. Der Widerstandswert Ra entspricht tatsächlich dem lateralen Widerstand, der durch die Widerstandsstreifen 18, 18' zwischen den Phosphorelementen 7 und den Polarisierungsstreifen 19 oder 19' gebildet sind.
  • Fig. 8 zeigt die Mikrospitzen der Kathode 1 in Form einer Mikrospitze für jedes Pixel, während in der Praxis einige Tausend Mikrospitzen pro Bildschirmpixel vorgesehen sind. Auf diese Weise wird ein Widerstand Rk gebildet, der der Widerstandsschicht 11 zwischen den · Kathodenleitern und den Mikrospitzen entspricht. Der Widerstand Rk homogenisiert die Elektronenemission der Mikrospitzen 2 und verhindert das Auftreten von elektrischen Kurzschlüssen zwischen dem Gate 3 und den Mikrospitzen 2. Der Widerstand Ra, der durch den Widerstandsstreifen 18 oder 18' gebildet ist, ist elektrisch in Reihe mit dem Widerstand Rk für jedes Pixel geschaltet.
  • Es soll klar sein, daß der Widerstand Ra erheblich höher als der Widerstand Rk für ein Pixel gewählt sein kann, ohne einen erheblichen Spannungsabfall in den Widerstandsstreifen zu verursachen, weil die Polarisationsspannung (annähernd 400 Volt) der Anodenstreifen im allgemeinen höher als die Differenz in dem Gatekathodenpotential ist, an dem der Widerstand Rk einwirkt. Der Wert des Widerstand Rk ist im allgemeinen annähernd 400 kΩ für eine Polarisationsspannung der Gatereihen von annähernd 80 Volt und einer Polarisationsspannung Vk der Kathodenspalten in einem Bereich von 0 bis 30 Volt.
  • Anhand eines spezifischen Beispiels für einen typischen Stromverbrauch von 10 uA pro Pixel und für eine 400 V Polarisationsspannung Va der Streifen 19 oder 19' können Streifen 18 oder 18' mit einem Widerstandswert von annähernd 200 Ω.cm eingesetzt werden. Solche Streifen, die annähernd 50 nm dick sind, besitzen einen Schichtwiderstandswert von annähernd 40 MΩ pro Quadrat. Für einen Pixel mit einer 300-um-Seite bildet dieser Wert einen Gesamtwiderstand Ra von annähernd 2 MΩ. Dies ermöglicht, den Spannungsabfall in dem Widerstandsstreifen auf annähernd 20 Volt zu begrenzen. Ein solcher Widerstandswert vermeidet das Auftreten von zerstörerischen elektrischen Lichtbogen, indem der Strom in jedem Streifen 19 oder 19' auf annähernd 200 uA begrenzt ist, während die Helligkeit des Bildschirmes erhalten bleibt.
  • Es soll klar sein, daß der Zusatz dieses Widerstandes Ra die Schaltgeschwindigkeit der Anodenreihen nicht beeinträchtigt, da der Widerstand der Polarisationsstreifen niedrig bleibt (wenige kΩ), und das Produkt ihres Widerstands mit der Kapazität der Anodenreihen (wenige nF) einem Zeitabschnitt entspricht, der konstant viel geringer als die Schaltzeit der Anode ist (wenige Millisekunden).
  • Die Strombegrenzung, die individuell für jeden Anodenelektrodenstreifen vorgesehen ist, vermeidet ferner das Auftreten von Lichtbogen zwischen zwei benachbarten Streifen, mit unterschiedlichen Potentialen.
  • Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß der Widerstand Ra für alle Pixel des Bildschirms gleich ist. Tatsächlich ist für einen bestimmten Pixel der Widerstand unabhängig von dem Abstand, der diese Pixel von dem Verbindungspfad 21 trennt, wodurch der Widerstandswert der Polarisationsstreifen 19 oder 19' gering ist.
  • Es soll klar sein, daß Fachleute verschiedene Modifikationen an den oben offenbarten bevorzugten Ausführungen vornehmen können. Insbesondere kann jedes Bestandteil, das als die die Anode bildenden Schichten beschrieben ist, durch ein oder mehrere Bauteile ersetzt werden, die die gleiche Funktion aufweisen.
  • Wo sich die Beschreibung auf einen Farbbildschirm bezieht, kann die Erfindung zudem auch auf einfarbige Bildschirme angewendet werden, die eine Anode mit parallelen Phosphorelementstreifen aufweist. Die Erfindung ist auch auf einen Mehrfarbbildschirm anwendbar, bei dem Bereiche oder Sektoren, die einige Pixel bedecken, einer Farbe zugeordnet sind. Die Erfindung kann außerdem auf einen Farbbildschirm angewendet werden, bei dem die Anodenstreifen nicht geschaltet sondern kontinuierlich polarisiert werden. In diesem Falle ist ein einziger Verbindungspfad notwendig, jedoch sind die Pixel anodenseitig in Unterpixel aufgeteilt, wobei jedes Unterpixel einer Farbe zugeordnet ist und derart angeordnet ist, daß sie dem entsprechenden Anodenstreifen gegenüberliegt.

Claims (10)

1. Anode (5) für einen Flachbildschirm umfassend wenigstens eine Gruppe Phosphorelementstreifen (7), die über entsprechenden Elektrodenstreifen angeordnet sind, die voneinander durch eine Isolierschicht (8) getrennt sind, welcher bei den Phosphorelementstreifen (7) offen ist, und wenigstens einen Leiter (21), welche die Elektrodenstreifen der Gruppe verbindet, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Elektrodenstreifen (17, 17') aus einem Widerstandsstreifen (18, 18') zum Aufnehmen eines Phosphorelementstreifens (7) und wenigstens einem ersten Polarisationsstreifen (19, 19') gebildet ist, der zu diesem parallel ist und sich an den Verbindungsleiter (21) anfügt, wobei der Polarisationsstreifen (19, 19') einen niedrigen Widerstandswert in bezug auf den Widerstandswert des Widerstandsstreifens (18, 18'), dem er zugeordnet ist, aufweist.
2. Anode für einen Flachbildschirm nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Widerstandsstreifen (18, 18') durch zwei parallele Polarisationsstreifen (19, 19') eingegrenzt ist, wobei jeder Polarisationsstreifen (19, 19') sich an den Verbindungsleiter (21) anfügt.
3. Anode für einen Flachbildschirm nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsstreifen (18, 18') aus einem transparenten und elektrisch leitenden nicht-stöchiometrischen Oxid bestehen, wobei der Widerstandswert der Widerstandsstreifen durch den Sauerstoffanteil des Oxids bestimmt wird.
4. Anode für einen Flachbildschirm nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsstreifen (18, 18') und die Polarisationsstreifen (19') aus demselben Material hergestellt sind, dessen Widerstandswert in einem mittleren Abschnitt (18, 18'), welcher die Phosphor-Elementstreifen (7) aufnehmen soll, höher ist als in seitlichen Abschnitten (19'), die an den Verbindungsleiter (21) angefügt sind.
5. Anode für einen Flachbildschirm nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (8) als eine Maske zur Erhöhung des Widerstandswertes der Widerstandsstreifen (18) durch Glühen in einer Sauerstoffatmosphäre verwendet wird.
6. Anode für einen Flachbildschirm nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Widerstandswert der Widerstandsstreifen (18') durch die Dicke dieser Streifen bestimmt wird.
7. Anode für einen Flachbildschirm nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierschicht (8) als eine Ätzmaske in einem Prozeß zum Verringern der Dicke der Widerstandsstreifen (18') verwendet wird.
8. Anode für einen Flachbildschirm nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sie drei Gruppen (r, g, b) alternierender Widerstandsstreifen (18, 18') aufweist, welche Phosphorelemente (7) tragen, die jeweils einer Farbe entsprechen, sowie wenigstens drei Verbindungsleiter (21) der Widerstandsstreifen (19, 19'), die den Widerstandsstreifen (18, 18') derselben Farbe zugeordnet sind.
9. Anode für einen Flachbildschirm nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß alle Widerstandsstreifen (18, 18'), welche demselben Verbindungspfad (21) zugeordnet sind, denselben Widerstandswert haben.
10. Anode für einen Flachbildschirm nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsstreifen (18, 18') aus Indium- oder Zinnoxid hergestellt sind.
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