DE69608066T3 - Optisches Gerät zum Abstandsmessen - Google Patents

Optisches Gerät zum Abstandsmessen Download PDF

Info

Publication number
DE69608066T3
DE69608066T3 DE69608066T DE69608066T DE69608066T3 DE 69608066 T3 DE69608066 T3 DE 69608066T3 DE 69608066 T DE69608066 T DE 69608066T DE 69608066 T DE69608066 T DE 69608066T DE 69608066 T3 DE69608066 T3 DE 69608066T3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
light receiving
optical
reflected
distance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69608066T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69608066D1 (de
DE69608066T2 (de
Inventor
Jun Sasagawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Topcon Corp
Original Assignee
Topcon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=17414226&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE69608066(T3) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Topcon Corp filed Critical Topcon Corp
Publication of DE69608066D1 publication Critical patent/DE69608066D1/de
Publication of DE69608066T2 publication Critical patent/DE69608066T2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69608066T3 publication Critical patent/DE69608066T3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4811Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06Systems determining position data of a target
    • G01S17/08Systems determining position data of a target for measuring distance only
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4816Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of receivers alone

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Abstandsmessvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 2.
  • 2. Beschreibung des Standes der Technik
  • Es ist eine Abstandsmessvorrichtung zum Messen eines Abstands von einer Messposition zu einem zu messenden Gegenstand derart bekannt, dass sichtbares/unsichtbares Licht oder moduliertes Licht oder Impulslicht, die jeweils als ein Messstrahl aus Licht verwendet werden, zu dem Gegenstand gestrahlt wird und von dem Gegenstand reflektiertes Licht durch eine Empfangs- und Umwandlungsvorrichtung empfangen wird.
  • Im Allgemeinen umfasst diese Art von Abstandsmessvor richtung hauptsächlich einen optischen Teil zum Ausstrahlen und Empfangen des Messlichts und einen elektronischen Teil zum Messen des Abstands durch Umwandlung des von dem optischen Teil empfangenen Messlichts in ein elektrisches Signal.
  • Der optische Teil zum Ausstrahlen und Empfangen des Messlichts enthält einen Lichtemissionsteil zum emittieren des Messlichts von einer Lichtquelle, ein optisches Beleuchtungssystem zum Aufstrahlen des Messlichts auf den Gegenstand, ein optisches Lichtempfangssystem zum Führen von von dem Gegenstand reflektiertem Licht und einen Lichtempfangsteil zum Empfangen des von dem optischen Lichtempfangssystem geführten reflektierten Lichts.
  • 5(A) ist eine schematische Ansicht, die eine optische Anordnung dieser Art von Abstandsmessvorrichtung zeigt. In 5(A) hat ein Lichtemissionsteil eine Lichtquelle 1 zum Emittieren von Messlicht. Das Messlicht wird von einem reflektierenden Spiegel 2 reflektiert und gelangt zu einer Objektivlinse 3, die als ein optisches Beleuchtungssystem dient. Das reflektierte Messlicht wird mittels der Objektivlinse 3 in im Wesentlichen parallele Lichtstrahlen geformt. Ein zu messender Gegenstand 4, welcher sich entlang einer optischen Achse der Objektivlinse 3 befindet, empfängt und reflektiert das parallele Messlicht. Das von dem Gegenstand 4 reflektierte parallele Messlicht wird zu der Objektivlinse 3 geführt.
  • Das Messlicht, welches wieder durch die Objektivlinse 3 hindurchgegangen ist, wird von dem reflektierenden Spiegel 2 reflektiert und auf einer Lichtempfangsvorrichtung 5 des Lichtempfangsteils abgebildet.
  • Für den zu messenden Gegenstand wird beispielsweise von einem Corner-Cube-Prisma (d. h. einem rückstrahlenden Prisma), das an dem Gegenstand 4 befestigt ist, wie in 5(A) gezeigt ist, einem lichtreflektierenden Blatt oder dem Gegenstand 4 selbst Gebrauch gemacht.
  • Wie in 5(A) gezeigt ist, sind bei der Abstandsmessvorrichtung von einem Einzellinsentyp, in welcher die einzige Objektivlinse 3 gemeinsam zwischen dem optischen Beleuchtungssystem und dem optischen Lichtempfangssystem verwendet wird, die beiden optischen Systeme so durch die Objektivlinse 3 voneinander getrennt, dass eines der optischen Systeme auf der oberen Seite und das andere auf der unteren Seite ist, oder dass das eine auf der rechten Seite und das andere auf der linken Seite ist, oder dass das eine auf der inneren Seite und das andere auf der äußeren Seite ist. Eine Abstandsmessvorrichtung von Zweilinsentyp ist ebenfalls bekannt, in welcher ein optisches Beleuchtungssystem und ein optisches Lichtempfangssystem ihre jeweilige Objektivlinse haben.
  • Bei der vorerwähnten Abstandsmessvorrichtung besteht eine Positionsdifferenz zwischen dem beleuchtenden parallelen Licht und dem reflektierten parallelen Licht, wie in 5(A) gezeigt ist, wenn ein Corner-Cube-Prisma als der zu messende Gegenstand 4 verwendet wird. Aus diesem Grund kann, selbst wenn das optische Beleuchtungssystem die Lichtquelle 1 und das optische Lichtempfangssystem den Lichtempfangssensor haben, die nicht auf derselben Achse positioniert sind, die Messung durchgeführt werden ungeachtet des Abstands zwischen der Messposition und dem zu messenden Gegenstand, mit anderen Worten, ungeachtet dessen, ob der Abstand groß oder klein ist.
  • Wenn andererseits ein lichtreflektierendes Blatt oder ein natürlicher Gegenstand ein zu messender Gegenstand 6 ist, wie in 5(B) gezeigt ist, wird das Messlicht, welches auf den Gegenstand 6 gefallen ist, reflektiert und gestreut mit dem Mittelpunkt am Punkt J1, an welchem das Licht auf den Gegenstand 6 aufgetroffen ist. Das lichtreflektierende Blatt ist mit rückstrahlenden feinen ballartigen Glasteilchen oder feinen Prismen an seiner Oberfläche versehen. Der natürliche Gegenstand hat bestimmte Reflexionseigenschaften.
  • Das Messlicht, welches auf den zu messenden Gegenstand gefallen ist, ist diffuses Reflexionslicht. Wenn ein Abstand zwischen der Vorrichtung und dem zu messenden Gegenstand groß ist, tritt reflektiertes Licht, welches im Wesentlichen parallel zu der optischen Achse der Objektivlinse 3 ist, in das optische Lichtempfangssystem ein. Aus diesem Grund kann der Lichtempfangsteil reflektiertes Licht empfangen, das für die Abstandsmessung erforderlich ist, selbst wenn das optische Beleuchtungssystem und das optische Lichtempfangssystem individuelle angeordnet sind.
  • Andererseits hat, wenn der Abstand zwischen diesen klein ist, das von dem zu messenden ,Gegenstand reflektierte und gestreute Licht, welches in, das optische Lichtempfangssystem eintritt, eine große Neigung mit Bezug auf die optische Achse der Objektivlinse 3. Aus diesem Grund ist das reflektierte Licht schwierig auf dem Lichtempfangssensor 5 abzubilden.
  • Demgemäß bildet die Objektivlinse 3 das von dem Gegenstand 6 reflektierte Licht an einer Position ab, die einen Abstand von dem Lichtempfangssensor 5 auf weist. Als eine Folge ist die tatsächlich von dem Lichtempfangssensor 5 empfangene Lichtmenge sehr klein, so dass die Abstandsmiessung schwierig wird.
  • Das Messverfahren, bei welchem das lichtreflektierende Blatt oder der natürliche Gegenstand als der zu messende Gegenstand 6 verwendet wird, wird aus dem Gesichtspunkt einer großen Verwendung verlangt, mit anderen Worten, es besteht keine Grenze dafür, was in der vorerwähnten Lichtwellen-Abstandsmessvorrichtung, die das Laserlicht als das Messlicht verwendet, gemessen wird.
  • Demgemäß könnte vorgeschlagen werden, dass, wenn die Messung eines kleinen Abstands durchgeführt wird unter Verwendung eines lichtreflektierenden Blattes oder eines natürlichen Gegenstands als den zu messenden Gegenstand 6, ein Prisma 7 (siehe 6(A)) oder eine Linse 8 (siehe 6(B)) für die Korrektur auf einem optischen Pfad zwischen der Objektivlinse 3 und, dem zu messenden Gegenstand 6 so angeordnet wird, dass ein Teil des von dem Gegenstand reflektiertem und gestreuten Lichts mittels des Prismas 7 oder der Linse 8 auf dem Lichtempfangsmaterial 5 abgebildet wird.
  • Wenn jedoch das Prisma 7 oder die Linse 8 verwendet wird, müssen das Prisma 7 oder die Linse 8 aus dem optischen Pfad entfernt werden, wenn die Messung eines großen Abstands durchgeführt wird, und müssen in den optischen Pfad eingefügt werden, wenn die Messung eines kleinen Abstands durchgeführt wird. Aus diesem Grund führen die hinzugefügten Teile für die Korrektur zu einem neuen Nachteil derart, dass die Kosten steigen und der Körper der Vorrichtung groß und schwer wird.
  • Darüber hinaus ist nachteiligerweise der Vorgang des Entfernens und Einfügens des, Prismas 7 oder der Linse 8, neben dem Messvorgang erforderlich. Weiterhin kann eine fehlerhafte Operation stattfinden, wenn die Abstandsmessung unter den Bedingungen durchgeführt wird, unter welchen beispielsweise das Prisma 7 oder die Linse 8 ungeachtet des Umstands eingefügt ist, dass von dem Corner-Cube 4 als einem zu messenden Gegenstand 6 Gebrauch gemacht wird oder das Prisma 7 oder die Linse 8 entfernt sind ungeachtet des Umstands, dass von dem lichtreflektierenden Blatt oder dem natürlichen Gegenstand als dem Gegenstand 6 Gebrauch gemacht wird.
  • Weiterhin beschreibt US-4 748 333 einen Oberflächenversetzungssensor, bei welchem ein vorbestimmtes Lichtmuster auf eine zu erfassende Oberfläche, welche einen optisch transparenten dünnen Film hat, projiziert wird. Eine Abweichung der Position des Lichtmusters, welches wieder fokussiert wird durch den von der Oberfläche reflektierten Lichtstrahl, wird optoelektrisch erfasst. Eine Vorrichtung zum Steuern des Öffnungswinkels ist vorgesehen, welche in den Pfand des Beleuchtungsstrahls so eingefügt ist, dass der Öffnungswinkel des Beleuchtungsstrahls, der das Beleuchtungsmuster in eine Ebene des Auftreffens enthaltend eine Normallinie senkrecht zu der zu erfassenden Oberfläche gesteuert wird. Auf diese 'Weise kann die Versetzung der Oberfläche mit einem hohen Grad von Genauigkeit erfasst werden, ohne nachteilig durch die Indifferenz der Strahlung, welche in Abhängigkeit von der Dicke des optisch transparenten dünnen Films verändert wird, beeinflusst zu werden.
  • Weiterhin offenbart die DE 43 16 348 A1 bereits eine Abstandsmessvorrichtung, die ein Lichtprojektionssystem mit einem optischen Lchtprojektionssystem zum Projizieren eines Messstrahls aus Licht auf einen zu messenden Gegenstand und ein Lichtempfangssystem mit einem optischen Lichtempfangssystem, um zu bewirken, dass eine Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung einen von dem Gegenstand reflektierten Lichtstrahl empfängt, aufweist. In dieser Vorrichtung wird ein Abstand von einer Messposition zu dem Gegenstand auf der Grundlage von reflektiertem Licht gemessen, das von der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung empfangen wurde. Eine Ablenkvorrichtung ist vorgesehen für die Ablenkung eines Teils eines reflektierten Lichtstrahls zu der Lichtempfangs- und- umwandlungsvorrichtung, wobei dieser Teil eines reflektierten Lichtstrahls schräg mit Bezug zu der optischen Achse von dem optischen Lichtempfangssystem zu der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung verläuft und die Ablenkvorrichtung sich derart an einer Position nahe des optischen Pfades befindet, dass ein reflektierter Lichtstrahl, der parallel zu der optischen Achse verläuft, nicht unterbrochen wird. Die Ablenkvorrichtung besteht aus einem Spiegel, der schräg mit Bezug auf die optische Achse angeordnet ist. Der Spiegel kann flach oder gekrümmt sein, so dass er das Licht in viele Richtungen reflektiert.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Distanzmessvorrichtung vorzusehen, mit der Messungen großer und kleiner Abstände durch die eine Vorrichtung durchgeführt werden können, bei der die Kosten für zusätzliche Teile, die für die Korrektur verwendet werden, verringert werden können, deren Körper klein und leicht gemacht werden kann und bei der der Wirkungsgrad des Messvorgangs verbessert werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Abstandsmessvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1(A) ist eine erläuternde Ansicht, die eine optische Abstandsmessvorrichtung in dem Fall der Durchführung der Messung eines großen Abstands gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 1(B) ist eine erläuternde Ansicht, welche eine Abstandsmessvorrichtung in dem Fall der Durchführung der Messung eines kleinen Abstands gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel nach der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 ist eine erläuternde Ansicht, die eine optische Abstandsmessvorrichtung in dem Fall der Durchführung der Messung eines kleinen Abstands gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 3 ist eine erläuternde Ansicht, welche eine optische Abstandsmessvorrichtung für den Fall der Durchführung der Messung eines kleinen Abstands gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 4 ist eine erläuternde Ansicht, die eine optische Abstandsmessvorrichtung für den Fall der Durchführung der Messung eines kleinen Abstands gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 5(A) ist eine erläuternde Ansicht, die eine her kömmliche optische Abstandsmessvorrichtung für den Fall der Durchführung der Messung eines großen Abstands zeigt;
  • 5(B) ist eine erläuternde Ansicht, die eine herkömmliche optische Abstandsmessvorrichtung für den Fall der Durchführung der Messung eines kleinen Abstands zeigt;
  • 6(A) ist eine erläuternde Ansicht, die eine herkömmliche optische Messvorrichtung für kurze Abstände für den Fall der Durchführung einer Messung eines kleinen Abstands mittels eines Prismas zeigt;
  • 6(B) ist eine erläuternde Ansicht, die eine herkömmliche optische Abstandsmessvorrichtung für den Fall der Durchführung der Messung eines kleinen Abstands mittels einer Linse zeigt.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Erstes Ausführungsbeispiel
  • Ein erstes Ausführungsbeispiel einer Abstandsmessvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung, welche auf eine Lichtwellen-Abstandsmessvorrichtung angewendet wird, wird nachfolgend mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben.
  • 1(A) ist eine optische Ansicht, die eine normale Messung unter Verwendung eines Corner-Cube erläutert.
  • 1(B) ist eine optische Ansicht, die eine Messung eines kleinen Abstands unter Verwendung eines lichtreflektierenden Blattes oder dergleichen erläutert.
  • In 1(A) umfasst eine Abstandsmessvorrichtung 10 eine Lichtquelle 11, einen reflektierenden Spiegel 12 zum Reflektieren eines Messstrahls aus Licht, der von der Lichtquelle 11 emittiert wurde, eine Objektivlinse 13, durch welche der von dem reflektierenden Spiegel 12 reflektierte Messstrahl aus Licht in parallele Lichtstrahlen umgewandelt wird, einen Corner-Cube 14, welcher an einem zu messenden Gegenstand (nicht gezeigt) befestigt ist und der tatsächlich gemessene Gegenstand wird, eine Ablenkvorrichtung 15 aus lichtstreuendem Material wie geschliffenem Glas und eine Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16.
  • Die Lichtquelle 11 und die Lichtempfangs- und- umwandlungsvorrichtung 16 befinden sich an Fokussierungspositionen der Objektivlinse 13. In 1(A) bezeichnet das Bezugszeichen Q1 einen mittleren optischen Pfad eines lichtemittierenden,systems zwischen der Lichtquelle 11 und dem Corner-Cube 14 und eines Lichtempfangssystems zwischen dem Corner-Cube 14 undder Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16, und das Bezugszeichen Q2 bezeichnet eine optische Achse eines optischen Systems. Der reflektierende Spiegel 12 reflektiert den Messstrahl aus Licht entlang der Achse Q2 und reflektiert das reflektierte Licht in einer Richtung senkrecht zu der Achse Q2.
  • Die Lichtquelle 11 emittiert sichtbares/unsichtbares Licht, moduliertes Licht oder Impulslicht als den Messstrahl aus Licht. Die Emissionszeiten der Lichtquelle 11 werden durch ein Steuerteil (nicht gezeigt) gesteuert.
  • Die Ablenkvorrichtung 15 befindet sich auf einem Lichtempfangspfad zwischen der Objektivlinse 13 und der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 nahe dieser. Die Ablenkvorrichtung 15 ist im Abstand von dem optischen Pfad angeordnet, um nicht das reflektierte Licht in einem Fall zu unterbrechen, in welchem das auf die Objektivlinse 13 fallende reflektierte Licht normalerweise auf der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 abgebildet wird, ohne durch die Objektivlinse 13 abgelenkt worden zu sein.
  • Anstelle des geschliffenen Glases kann als die vorerwähnte Ablenkvorrichtung 15 eine Ablenkvorrichtung eines Typs verwendet werden, die in der Lage ist, eine Streurichtung und einen Winkel frei einzustellen. Dieser Typ von Ablenkvorrichtung kann bewirken, dass das gestreute und reflektierte Licht wirksamer von der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 empfangen wird.
  • Wenn der Abstand von dem zu messenden Gegenstand gemessen wird, wird vorher der Corner-Cube 14 an zu messenden Gegenstand so befestigt, dass der Corner-Cube 14 der tatsächlich zu messende Gegenstand wird. Ein Messstrahl aus Licht von der Lichtquelle 11 wird dann auf den Corner-Cube 14 gestrahlt. Der Messstrahl aus Licht wird durch den reflektierenden Spiegel 12 reflektiert und geht durch eine auftreffende Seite der Objektivlinse 13 hindurch und wird in parallele Lichtstrahlen geformt. Danach werden die parallelen Lichtstrahlen durch den Corner-Cube 14 reflektiert. Zu dieser Zeit ist das reflektierte Licht parallel. Die parallelen reflektierten Lichtstrahlen werden durch eine Lichtempfangsseite der Objektivlinse 13 konvergiert und durch den reflektierenden Spiegel 12 reflektiert. Das von dem Spiegel 12 reflektierte Licht wird auf der Lichtempfangs- und- umwandlungsvorrichtung 16 abgebildet und in der Form eines elektrischen Signals herausgeführt. Ein Abstand zu dem zu messenden Gegenstand wird gemessen durch Mess- und Berechnungsbereiche (nicht gezeigt).
  • Andererseits wird, wie in 1(B) gezeigt ist, bei der Messung kleiner Abstände, wenn ein zumessender Gegenstand 17 ein lichtreflektierendes Blatt oder der natürliche Gegenstand ist, der Messstrahl aus Licht, welcher von der Lichtquelle 11 emittiert und durch die Objektivlinse 13 in parallele Ausrichtung gebracht wurde, an einer beleuchteten Position des zu messenden Gegenstands 17 gestreutes und reflektiertes Licht, wie durch Pfeile gezeigt ist. Aus diesem Grund hat das in das Lichtempfangssystem eintretende reflektierte Licht eine große Neigung mit Bezug auf die Achse Q2.
  • Ein Teil des gestreuten und reflektierten Lichts tritt schräg auf der Lichtempfangsseite der Objektivlinse 13 ein und wird durch den reflektierenden Spiegel 12 so reflektiert, wie es ist.
  • Zu dieser Zeit wird, da eine Versetzung einer Abbildungsposition stattfindet aufgrund des schrägen Auftreffens auf die Objektivlinse 13, das auf die Objektivlinse 13 konvergierte reflektierte Licht an einer Position abgebildet, an der das von dem reflektierenden Spiegel 12 reflektierte Licht nicht direkt in die Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 eintritt. Da die Ablenkvorrichtung 15 nach der vorliegenden Erfindung, welche zum Streuen und Übertragen des Lichtstrahls dient, außerhalb der Achse unmittelbar vor der Lichtempfangs- und- umwandlungsvorrichtung 16 angeordnet ist, tritt der von der Ablenkvorrichtung 15 abgelenkte Lichtstrahl in die Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 ein. Die Abstandsmessung kann auf der Grundlage dieses auftreffenden Lichtstrahls durchgeführt werden.
  • Der auf die Lichtempfangs- und- umwandlungsvorrichtung 16 auftreffende Lichtstrahl ist Licht, das durch weitere Ablenkung eines Teils des von dem zu messenden Gegenstand 17 gestreuten und reflektierten Lichts mittels der Ablenkvorrichtung 15 erhalten wurde. Da sich der zu messende Gegenstand 17 in einem kurzen Abstand befindet, tritt der Fall nicht auf, dass die Messung wegen mangelnder Lichtmenge nicht durchgeführt werden kann.
  • Demgemäß wird in dem Fall der Messung eines großen Abstand die Messung auf der Grundlage des parallelen Lichts, das von dem Corner-Cube 14 als dem zu messenden Gegenstand reflektiert wurde, durchgeführt. In dem Fall der Messung eines kleinen Abstands kann die Messung selbst dann durchgeführt werden, wenn der zu messende Gegenstand das lichtreflektierende Blatt oder der natürliche Gegenstand usw. anstelle des Corner-Cubes 14 ist. In diesem Fall kann, selbst wenn das lichtreflektierende Blatt oder der natürliche Gegenstand als zu messender Gegenstand die lichtstreuenden und -reflektierenden Eigenschaften hat, die Abstandsmessung durch die Ablenkvorrichtung 15, welche immer fixiert ist, durchgeführt werden. Weiterhin besteht keine Notwendigkeit, das optische System auf der Lichtempfangsseite mit einer speziellen Antriebsvorrichtung oder dergleichen zu versehen.
  • Demgemäß kann die Messung großer und kleiner Abstände mittels einer Vorrichtung durchgeführt werden. In dem Fall der Messung eines kleinen Abstands kann, selbst wenn der zu messende Gegenstand den Messstrahl aus Licht streut und reflektiert, die Abstandsmessung durchgeführt werden. Zusätzlich besteht keine Notwendigkeit, eine Antriebsvorrichtung zum Antrieb eines optischen Teils (Ablenkvorrichtung 15) zu verwenden, die für die Messung eines kleinen Abstands verwendet wird, durch welche gestreutes und reflektiertes Licht zu der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 geführt wird. Somit können die Kosten verringert wer den und ein Körper der Vorrichtung kann kleiner und leichter gemacht werden. Darüber hinaus kann, da die optischen Teile für die Messung eines kleinen Abstands fixiert sind, ungeachtet des Abstands und der lichtreflektierenden Eigenschaften des zu messenden Gegenstands die Abstandsmessung durch nur eine Operation durchgeführt werden ohne die herkömmliche Voroperation zum Einfügen und Entfernen des Prismas 7 oder der Linse 8. Daher kann der Wirkungsgrad der Durchführung verbessert werden.
  • Wie vorstehend erwähnt ist, ist bei der Abstandsmessvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung die Ab- lenkvorrichtung zum Ablenken wenigstens eines Teils des reflektierten Lichts auf dem optischen Pfad zwischen dem zu messenden Gegenstand und der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung nahe der letzteren angeordnet. Daher kann die Messung großer und kleiner Abstände durch eine Vorrichtung durchgeführt werden, und die Kosten für zusätzliche Teile für die Korrektur können verringert werden. Zusätzlich kann der Körper der Vorrichtung kleiner und leichter gemacht werden und der Wirkungsgrad der Durchführung kann verbessert werden.
  • Zweites Ausführungsbeispiel
  • 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel einer Abstandsmessvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Abstandsmessvorrichtung nach dem zweiten Ausführungsbeispiel ist praktischer und konkreter als die des ersten Ausführungsbeispiels. Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel wird nur der Fall der Messung eines kleinen Abstand beschrieben. Da die Abstandsmessvorrichtung nach dem zweiten Ausführungsbeispiel optisch dieselbe ist wie die nach dem ersten Ausfüh rungsbeispiel, sind dieselben Teile durch dieselben Bezugszeichen gekennzeichnet und die Beschreibung von diesen ist weggelassen (ebenso wie bei dem folgenden dritten, vierten und fünften Ausführungsbeispiel).
  • Die Abstandsmessvorrichtung 20 umfasst eine Lichtquelle 11, eine lichtemittierende Phase 21, ein Spaltprisma 22, einen reflektierenden Spiegel 12, eine Objektivlinse 13, einen zu messenden Gegenstand 17, eine Blende 23, ein ND-Filter (Graufilter) 24, eine Ablenkvorrichtung 15, ein BPF (Bandpassfilter) 25, ein Prisma 26, eine Lichtempfangsfaser 27, eine Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16, sowie Linsen 28 und 29.
  • Ein von der Lichtquelle 11 emittierter Beleuchtungsstrahl aus Licht geht durch die lichtemittierende Faser 21 hindurch und wird mittels des Spaltprismas 22 in Messlicht und Bezugslicht aufgespalten. Das gespaltene Messlicht wird durch den reflektierenden Spiegel 12 reflektiert und geht durch die Objektiv- linse 13 hindurch und wird in parallele Lichtstrahlen geformt. Die parallelen Lichtstrahlen werden durch den zu messenden Gegenstand 17 gestreut und reflektiert.
  • Ein Teil des von dem zu messenden Gegenstand 17 gestreuten und reflektierten Lichts wird durch die Lichtempfangsseite der Objektivlinse 13 konvergiert und durch den reflektierenden Spiegel 12 reflektiert. Das reflektierte Licht geht durch die Blende 23 hindurch, welche als ein Übertragungsschalter für das Messlicht und, das Bezugslicht dient, und wird durch das ND-Filter 24 auf eine bestimmte Lichtmenge eingestellt. Danach wird das eingestellte Licht durch die Ablenkvorrichtung 15 zu der Lichtempfangsfaser 27 ab gelenkt.
  • Von dem durch die Ablenkvorrichtung 15 abgelenkten reflektierten Licht geht nur. ein Teil, dessen Wellenlänge der des von der Lichtquelle 11 emittierten Lichts entspricht, durch das BPF 25 und das Prisma 26, welches das Messlicht und das Bezugslicht kombiniert, hindurch. Der Teil des reflektierten Lichts wird dann von einer Endfläche der Lichtempfangsfaser 27 empfangen. Danach wird das Licht, welches durch die Lichtempfangsfaser 27 hindurchgegangen ist, von der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 15 empfangen und als ein elektrisches Signal herausgeführt. Ein Abstand zu dem zu messenden Gegenstand wird durch einen Messbereich und einen Berechnungsbereich (nicht gezeigt) gemessen.
  • Andererseits wird das Bezugslicht des durch das Spaltprisma 22 gespaltenen Lichts durch das Spaltprisma 22 reflektiert und geht durch die Übertragungslinse 28 hindurch. Durch Betätigen des Übertragungsschalters geht das Bezugslicht durch die Blende 21 und die Übertragungslinse 29 hindurch. Das Bezugslicht wird dann durch das Prisma 26 reflektiert und geführt und durch die Lichtempfangsfaser 27 abgebildet und von der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 empfangen. Hierdurch wird das von der Lichtquelle 11 emittierte Bezugslicht unterschieden.
  • Wenn der zu messende Gegenstand als unendlich entfernt angesehen werden kann, wird von dem zu messenden Gegenstand reflektiertes Licht auf der Lichtempfangsseite der Objektivlinse konvergiert und durch den reflektierten Spiegel 12 reflektiert. Danach geht das reflektierte Licht durch die Blende 23, das ND- Filter 24, das BPF 25 und das Prisma 26 hindurch und wird dann durch die Lichtempfangsfaser 27 abgebildet. Nach dem Durchgang durch die Lichtempfangsfaser 27 wird das abgebildete Licht von der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 empfangen.
  • Drittes Ausführungsbeispiel
  • 3, zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel einer Abstandsmessvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Bei dem ersten Ausführungsbeispiel ist der Einzellinsentyp der Objektivlinse 13 in einen rechten und einen linken Teil geteilt, und die beiden Teile dienen als eine Lichtemissionsseite bzw. eine Lichtempfangsseite. Bei dem dritten Ausführungsbeispiel hat eine in 3 gezeigte Abstandsmessvorrichtung eine Objektivlinse 13a vom Zweilinsentyp, von denen die eine als eine Lichtemissionsseite und die andere als eine Lchtempfangsseite dienen.
  • Mit Ausnahme hiervon ist die Abstandsmessvorrichtung 30 im Wesentlichen dieselbe in ihrer optischen Ausbildung wie die des ersten Ausführungsbeispiels. So mit wird die Beschreibung hiervon weggelassen.
  • Viertes Ausführungsbeispiel
  • 4 zeigt ein viertes Ausführungsbeispiel einer Abstandsmessvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Bei dem vierten Ausführungsbeispiel hat eine in 4, gezeigte Abstandsmessvorrichtung 40 einen schrägen Spiegel 41, der auf einer Achse der Objektivlinse 13 angeordnet ist. Der schräge Spiegel 41 reflektiert einen von der Lichtquelle 11 emittierten Messstrahl aus Licht derart, dass der Messstrahl aus Licht in parallele Lichtstrahlen geformt wird, die dieselbe optische Achse wie die der Objektivlinse 13 haben. Weiterhin ist die Lichtempfangs- und – umwandlungsvorrichtung 16 auf derselben Achse wie der der Objektivlinse 13 angeordnet. Demgemäß geht der von der Lichtquelle 11 emittierte Messstrahl aus Licht durch die Mitte der Objektivlinse 13 hindurch und trifft auf den zu messenden Gegenstand. Danach geht von dem zu messenden Gegenstand reflektiertes Licht durch die Peripherie der Objektivlinse 13 hindurch.
  • Andererseits ist eine Ablenkvorrichtung 15' mit Lichtstreueigenschaften nahe der Lichtempfangs- und – umwandlungsvorrichtung 16 angeordnet. Die Ablenkvorrichtung 15' ist wie ein Ring geformt, dessen Mitte eine Öffnung hat, sodass der optische Pfad durch sie hindurchgehen kann. Wenn der zu messende Gegenstand ausreichend entfernt ist, um einen Abstand zu messen, wird das reflektierte Licht auf die Objektivlinse 13 konvergiert und geht durch die Mittelöffnung der Ablenkvorrichtung 15' hindurch. Das reflektierte Licht wird dann auf der Lichtempfangs- und- umwandlungsvorrichtung 16 abgebildet. Wenn der zu. messende Gegenstand 17 ein lichtreflektierendes Blatt oder der natürliche Gegenstand ist, wird ein Teil des gestreuten Lichts durch die Ablenkvorrichtung 15' von der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 empfangen.
  • Bei den vorgehenden Ausführungsbeispielen ist eine Ablenkvorrichtung beschrieben, welche Lichtablenkeigenschaften hat. Statt dessen kann die Ablenkvorrichtung beispielsweise aus einem lichtbrechenden Materi- al bestehen, durch welches eine Verwendung von gestreutem Licht durch ein Lichtstreublatt, emittiertem Licht durch ein Prisma oder eine Konkavlinse oder e mittiertem Licht, das nach der Durchführung der Bildformung durch eine Konvexlinse mit einer relativ kurzen Brennweite erhalten wurde, gemacht wird.
  • Fresnel-Linsen oder ein Feld von Linsen, welche durch Minimieren der vorgenannten Linsen und Differenzieren ihrer Brechrichtungen erhalten wurden und die an einer Oberfläche angeordnet sind, können als lichtbrechendes Material verwendet werden. Wenn eine zylindrische Linse verwendet wird, in welcher die Brechungsrichtungen der vorgenannten Linsen auf eine Richtung begrenzt sind, kann gestreutes Licht wirksamer zu der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 geführt werden.
  • Darüber hinaus kann anstelle dieser Art von lichtbrechendem Material ein lichtbeugendes Material zum Beugen von Licht mittels seiner Beugungsgitter verwendet werden. In diesem Fall durch Änderung der Gitterbreite gemäß einer auftreffenden Position des gestreuten Lichts das gestreute Licht wirksamer zu der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung 16 geführt werden. Weiterhin können die vorerwähnten Materialien als die Ablenkvorrichtung miteinander kombiniert werden.

Claims (1)

  1. Abstandsmessvorrichtung (10, 20, 30, 40), welche, aufweist: ein Lichtprojektionssystem mit einem optischen Lichtprojektionssystem (13, 13a) zum Projizieren eines Messstrahls aus Licht auf einen zu messenden Gegenstand (17); ein Lichtempfangssystem mit einem optischen Lichtempfangssystem (13, 13b), um zu bewirken, dass eine Lichtempfangs- und -umwandiungsvorrichtung (16) einen von dem Gegenstand (17) reflektierten Lichtstrahl empfängt; und eine Ablenkvorrichtung (15, 15') zum Ablenken eines Teils eines reflektierten Lichtstrahls zu der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung (16), wobei dieser Teil eines reflektierten Lichtstrahls schräg zu einer optischen Achse (Q1) von dem optischen Lichtempfangssystem (13, 13b) zu der Lichtempfangs- und -umwandlungsvor,richtung (16) verläuft und die Ablenkvorrichtung (15, 15') sich derart an einer Position nahe dem optischen Pfad befindet, dass ein reflektierter Lichtstrahl, der parallel zu der optischen Achse (Q1) verläuft, nicht unterbrochen wird; worin ein Abstand von einer Messposition zu dem Gegenstand (17) auf der Grundlage des von der Lichtempfangs- und -umwandlungsvorrichtung (16) empfangenen, reflektierten Lichts gemessen wird, dadurchge kennzeichnet, dass die Ablenkvorrichtung (15, 15') aus einem lichtstreuenden und lichtdurchlässigen Material besteht.
DE69608066T 1995-10-13 1996-10-14 Optisches Gerät zum Abstandsmessen Expired - Lifetime DE69608066T3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26522295 1995-10-13
JP7265222A JPH09105625A (ja) 1995-10-13 1995-10-13 距離測定装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE69608066D1 DE69608066D1 (de) 2000-06-08
DE69608066T2 DE69608066T2 (de) 2001-01-11
DE69608066T3 true DE69608066T3 (de) 2004-02-26

Family

ID=17414226

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69608066T Expired - Lifetime DE69608066T3 (de) 1995-10-13 1996-10-14 Optisches Gerät zum Abstandsmessen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5760905A (de)
EP (1) EP0768542B2 (de)
JP (1) JPH09105625A (de)
CN (1) CN1071890C (de)
DE (1) DE69608066T3 (de)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4332255B2 (ja) * 1999-05-14 2009-09-16 株式会社トプコン 距離測定装置
JP2000329517A (ja) * 1999-05-21 2000-11-30 Topcon Corp 距離測定装置
JP4328918B2 (ja) * 1999-05-21 2009-09-09 株式会社トプコン 距離測定装置
JP3723721B2 (ja) 2000-05-09 2005-12-07 ペンタックス株式会社 光波測距儀及びaf機能を有する光波測距儀
JP3634719B2 (ja) 2000-05-25 2005-03-30 ペンタックス株式会社 Af機能を有する光波測距儀
US6469777B2 (en) 2000-06-12 2002-10-22 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Surveying instrument having an optical distance meter
US6729530B2 (en) 2001-07-24 2004-05-04 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Fiber alignment apparatus and process using cornercube offset tool
US6412683B1 (en) * 2001-07-24 2002-07-02 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Cornercube offset tool
US7527186B2 (en) * 2001-07-24 2009-05-05 Kulicke And Soffa Industries, Inc. Method and apparatus for mapping a position of a capillary tool tip using a prism
US6705507B2 (en) 2001-07-24 2004-03-16 Kulicke & Soffa Investments, Inc. Die attach system and process using cornercube offset tool
US7523848B2 (en) * 2001-07-24 2009-04-28 Kulicke And Soffa Industries, Inc. Method and apparatus for measuring the size of free air balls on a wire bonder
JP4799502B2 (ja) * 2001-08-06 2011-10-26 株式会社ニコン・トリンブル 合焦式距離測定装置
CN1894593B (zh) * 2003-12-19 2010-04-28 莱卡地球系统公开股份有限公司 测量至远处和近处目标的距离的装置
CN2779424Y (zh) * 2005-03-24 2006-05-10 南京德朔实业有限公司 测距装置
CN2811945Y (zh) * 2005-08-08 2006-08-30 南京德朔实业有限公司 光学测距装置
JP4928338B2 (ja) * 2007-04-26 2012-05-09 浜松ホトニクス株式会社 光波距離計
DE102008014275B4 (de) * 2008-02-01 2017-04-13 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum Bestimmen einer Entfernung zu einem Objekt
US7701567B2 (en) * 2008-03-06 2010-04-20 Hong Kong Applied Science & Technology Research Institute Co., Ltd. Optoelectronic distance sensor
DE102011082570A1 (de) * 2011-09-13 2013-03-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Rotatorische Positionsmesseinrichtung
CN105807284B (zh) * 2016-04-29 2018-05-25 北醒(北京)光子科技有限公司 光学扫描测距装置
EP3614169A4 (de) * 2017-04-21 2020-03-25 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Abstandsmessvorrichtung und beweglicher körper
US10955544B2 (en) * 2018-06-14 2021-03-23 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Measurement setup, reference reflector as well as method for measuring attenuation

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3775012A (en) * 1971-07-07 1973-11-27 El Ab As Means for determining distance
GB1589817A (en) * 1977-06-17 1981-05-20 British Aerospace Rangefinders
JPS54126023A (en) * 1978-03-23 1979-09-29 Canon Inc Optical device
DE2817237B2 (de) * 1978-04-20 1980-10-16 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Rundsicht-Periskop mit Laser-Entfernungsmesser
JPS55114567A (en) * 1979-02-28 1980-09-03 Photo Composing Mach Mfg Co Ltd Method and apparatus for monitor display at photo- typesetting machine
JPS5923393B2 (ja) * 1979-03-08 1984-06-01 株式会社オプテック 光波距離計
SE450975B (sv) * 1981-08-07 1987-09-07 Geotronics Ab Anordning for operatorskommunikation i ett system for elektronisk distansmetning
US4559445A (en) * 1983-10-04 1985-12-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Wide angle optical transmitter/receiver
JPS61178684A (ja) * 1985-02-05 1986-08-11 Fuji Electric Co Ltd 光波測距装置
US4782239A (en) * 1985-04-05 1988-11-01 Nippon Kogaku K. K. Optical position measuring apparatus
US4748333A (en) * 1986-03-31 1988-05-31 Nippon Kogaku K. K. Surface displacement sensor with opening angle control
DE3634742A1 (de) * 1986-10-11 1988-04-21 Bosch Gmbh Robert Druckmessdose
JPH01134285A (ja) * 1987-11-20 1989-05-26 Nec Corp 測距装置
NL8801019A (nl) * 1988-04-20 1989-11-16 Philips Nv Roentgen spectrometer met dubbel gebogen kristal.
JP2911516B2 (ja) * 1990-02-02 1999-06-23 キヤノン株式会社 レーザードップラー速度計
JP3151581B2 (ja) * 1992-12-21 2001-04-03 株式会社トプコン 光波距離計
DE4316348A1 (de) * 1993-05-15 1994-11-17 Wild Heerbrugg Ag Vorrichtung zur Distanzmessung
US5446281A (en) * 1994-03-24 1995-08-29 Eaton Corporation Optical sensor with movable refraction element to adjust sensor range

Also Published As

Publication number Publication date
CN1155069A (zh) 1997-07-23
US5760905A (en) 1998-06-02
DE69608066D1 (de) 2000-06-08
EP0768542B2 (de) 2003-04-23
CN1071890C (zh) 2001-09-26
DE69608066T2 (de) 2001-01-11
EP0768542A1 (de) 1997-04-16
EP0768542B1 (de) 2000-05-03
JPH09105625A (ja) 1997-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69608066T3 (de) Optisches Gerät zum Abstandsmessen
DE69102941T2 (de) Strahlungsthermometer.
DE4337835B4 (de) Meßvorrichtung
DE102007036492B4 (de) Optische Sensorvorrichtung
DE102008020171B4 (de) Optische Sensorvorrichtung
DE69110370T2 (de) Beobachtungs- und Beleuchtungsvideosonde.
DE3515809C2 (de)
DE3100473C2 (de) Informationsmarkierungs-Anzeigeeinrichtung
DE102007027429B4 (de) Radareinrichtung und optischer Empfänger dafür
DE4339354A1 (de) Optisches System
DE19615601B4 (de) Elektrooptisches Koaxial-Abstandsmeßgerät
EP0152894B1 (de) Anordnung zur optischen Erfassung räumlicher Unebenheiten in der Struktur eines zu untersuchenden Objekts
DE102018201002A1 (de) Hintergrundbeleuchtungseinheit und Blickfeldanzeigevorrichtung
DE3143137C2 (de) Reflexions-ausblendende, fokussierende optische Vorrichtung
DE3519995C2 (de)
DE60226145T2 (de) Einrichtung für ein optisches system
DE10220890A1 (de) Optisches Beleuchtungssystem und -verfahren
EP3211470B1 (de) Vorrichtung zur beleuchtung einer zielmarke
EP0026741B1 (de) Messkopf für ein Densitometer
DE60035826T2 (de) Entfernungsmesser
DE2651720B2 (de) Optisches Suchersystem für eine Spiegelreflexkamera
DE3784291T2 (de) Faseroptisches verschiebungsmessgeraet.
EP0502165B1 (de) Optisches gerät, insbesondere zur messung der geschwindigkeit einer bewegten oberfläche mittels eines von einem laser ausgehenden messlichtstrahls
DE3537155A1 (de) Optisches schraegblicksystem fuer endoskope
DE102017202018A1 (de) Scannersystem mit einer Strahlquelle, einem Spiegel und einem prismatischen Element

Legal Events

Date Code Title Description
8363 Opposition against the patent
8366 Restricted maintained after opposition proceedings