DE3784291T2 - Faseroptisches verschiebungsmessgeraet. - Google Patents

Faseroptisches verschiebungsmessgeraet.

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DE3784291T2 DE8787308149T DE3784291T DE3784291T2 DE 3784291 T2 DE3784291 T2 DE 3784291T2 DE 8787308149 T DE8787308149 T DE 8787308149T DE 3784291 T DE3784291 T DE 3784291T DE 3784291 T2 DE3784291 T2 DE 3784291T2
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Description

    Hintergrund der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen der Verschiebung, und insbesondere eine neue und verbesserte faseroptische Vorrichtung zum Messen der Verschiebung mit der Möglichkeit zu einem stark vergrößerten Arbeitsabstand und Meßbereich.
  • Faseroptische Vorrichtungen zum Messen der Verschiebung, die ein gegabeltes Faserbündel in Kombination mit einer Lichtquelle sowie einen Photodetektor oder einen anderen geeigneten Lichtempfänger zum Messen von Verschiebungen verwenden, sind bekannt. Eine derartige Vorrichtung ist im US-Patent Nr. 3,327,584 von Kissinger beschrieben und umfaßt ein Faserbündel, das an einem Ende in getrennte Arme geteilt ist. Ein Arm enthält Übertragungsfasern, und der andere Arm enthält Empfangsfasern. Das andere bzw. gemeinsame Ende enthält ein gemeinsames Bündel von Übertragungs- und Empfangsfasern. Wenn die Vorrichtung so angeordnet ist, daß die Vorderseite des gemeinsamen Endes des Faserbündels dicht an einem reflektierenden Target liegt, trifft das von den Übertragungsfasern kommende Licht auf das Target und wird zu den Empfangsfasern zurückreflektiert, von wo es zu einem Lichtsensor oder einem anderen Lichtempfänger geleitet wird. Die Menge des reflektierten Lichtes wird mit dem Abstand zwischen der Endfläche der Fasern in dem gemeinsamen Bündel und der Oberfläche des Target in Beziehung gesetzt sowie mit dem Durchmesser der Fasern, der numerischen Apertur der Fasern, der geometrischen Verteilung der Übertragungs- und Empfangsfasern, der Gesamtzahl von Fasern, und mit dem Reflexionsvermögen der Targetoberfläche. Wenn also der Zwischenraum zwischen dem Bündel und dem Target immer größer wird, ausgehend von einer Position des direkten Kontakts der Endfläche des Bündels mit der Oberfläche des Target, treffen immer größere Mengen Licht auf die Empfangsfasern in einem im wesentlichen linearen Verhältnis zur Verschiebung des Target. Die Menge des reflektierten Lichtes erreicht ein Maximum und nimmt dann aber ab, sobald die Endfläche des Bündels und das Target um mehr als etwa 127 um auseinanderliegen.
  • Verbesserungen gegenüber Vorrichtungen der eben beschriebenen Art sind auch im stand der Technik bekannt. Die im US- Patent Nr. 3,940,608 von Kissinger et al. beschriebene Vorrichtung umfaßt einen Sensorkopf mit einem Paar Projektionslinsen, die so angeordnet sind, daß die Endfläche des gemeinsamen Bündels an ein Ende der Linse angrenzt, während das andere Ende der Linse neben dem Objekt positioniert sein kann, dessen Verschiebung ermittelt werden soll. In einem vorgegebenen Abstand von dem Target erzeugt die Linse das Bild der Endfläche des gemeinsamen Bündels auf dem Objekt und wirft dieses Bild zurück auf die Endfläche, so daß das von den zu der Lichtquelle gehörigen Fasern übertragene Licht zu sich selbst zurückgeschickt wird. Genau in diesem Abstand, der als Bildbrennpunkt bekannt ist, hat die relative Stärke des von dem Sensor erfaßten Lichtes ein deutliches Minimum, da das Licht auf die übertragungsfasern und nicht auf die Empfangsfasern zurückreflektiert wird. Wenn das Objekt bis zu einem Punkt diesseits oder jenseits des Bildbrennpunktes verschoben wird, wird das auf die Endfläche zurückreflektierte Bild defokussiert, so daß von dem übertragenen Licht mehr auf die Empfangsfasern reflektiert und zu der Lichtempfangseinrichtung übertragen wird, um ein Ausgangssignal zu erzeugen, das die Target-Verschiebung angibt.
  • Der mit dem Patent Nr. 3,940,608 erreichte Vorteil liegt in einer Vergrößerung des Arbeitsabstandes (der Abstand zwischen dem Sensorkopf und der zu messenden Oberfläche) um einen Faktor von etwa 100, d. h. von Hundersteln eines Millimeters bis zu Millimetern. Außerdem erkennt das Patent Nr. 3,940,608, daß durch Einstellen des Zwischenraumes zwischen dem Ende der Faser und der Linse der Arbeitsabstand wirksam verändert werden kann. Trotz der Änderung des Arbeitsabstandes bleiben jedoch für eine bestimmte Linsenanordnung die Empfindlichkeit und der Dynamikbereich der im Patent Nr. 3,940,608 gezeigten Anordnung im wesentlichen konstant.
  • Darüberhinaus ist die im Patent Nr. 3,940,608 erläuterte Vorrichtung ein hochempfindliches Meßgerät, das möglicherweise nur begrenzt einsetzbar ist zur Messung einer Verschiebung gegenüber einer Oberfläche, die Verunreinigungen unterworfen ist, die das Reflexionsvermögen der Targetoberfläche beeinträchtigen. Wenn beispielsweise eine Platte mit der hochempfindlichen Vorrichtung gemäß dem Patent Nr. 3,940,608 gemessen wird, kann eine relativ geringe Menge Schmutz zu einem falschen Meßwert führen, weil nur ein relativ kleiner Punkt eines gebündelten Lichtstrahls auf die Targetoberfläche auftrifft.
  • Die vorliegende Erfindung ist eine Verbesserung gegenüber der Vorrichtung zum Messen von Verschiebungen nach dem Patent Nr. 3,940,608, da sie das Messen von Verschiebungen in wesentlich größeren Arbeitsabständen von einem Target und in wesentlich größeren Dynamikbereichen ermöglicht.
  • Außerdem kann die Empfindlichkeit der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Messen von Verschiebungen eingestellt werden, was die Wahrscheinlichkeit falscher Meßwerte infolge einer Verschmutzung der Targetoberfläche in den Fällen einschränkt, in denen eine solche Verunreinigung möglich ist.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bestimmen der Verschiebung eines Objektes, die eine faseroptische Leitung umfaßt, wie sie allgemein im US-Patent Nr. 3,940,608 von Kissinger et al. gezeigt und beschrieben ist. Der Sensorkopf von Kissinger et al. wird durch einen verbesserten Sensorkopf gemäß der Erfindung ersetzt.
  • Der Sensorkopf im Patent Nr. 3,940,608 verwendet Rücken-an- Rücken angeordnete Projektionslinsen, die ein Objektiv bilden, das relativ unempfindlich ist bezüglich der Position der Faser gegenüber dem Objektiv, und das einen Lichtpunkt erzeugt, der bei allen Sensorpositionen (bei einem bestimmten Objektiv) im wesentlichen gleich groß ist. Gemäß der Erfindung werden die Rücken-an-Rücken angeordneten Linsen von Kissinger et al. durch eine einzige Fokussierlinse ersetzt, die in der Lage ist, das Bild des Endes der Faserleitung auf unendlich einzustellen, und es ist eine Einrichtung angegeben, mit der die Faser in bezug auf die Linse so angeordnet wird, daß die Position der Faser in bezug auf die Linse verändert werden kann. Bei Verwendung einer einzigen Fokussierlinse und nicht einer Rücken an Rükken angeordneten Linsenanordnung gemäß dem Patent Nr. 3,940,608 kann der Benutzer die generelle Form der Ansprechkennlinie dem jeweiligen Anwendungszweck anpassen, indem er lediglich den Abstand zwischen dem Ende der Faser und der Linse einstellt.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnung
  • Die kurze Zusammenfassung oben sowie weitere Aufgaben und Vorteile der Erfindung sind anhand der folgenden ausführlichen Beschreibung in Verbindung mit der beiliegenden Zeichnung am besten zu verstehen. Darin zeigen:
  • Fig. 1 eine schematische Darstellung einer faseroptischen Vorrichtung zum Messen der Verschiebung von der Art, um die es bei der Erfindung geht;
  • Fig. 2 eine graphische Darstellung der Ansprechkennlinie einer bekannten Vorrichtung;
  • Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Sensorkopfes gemäß der Erfindung;
  • Fig. 4 eine graphische Darstellung von drei Ansprechkennlinien, die der Sensorkopf von Fig. 3 erzeugt; und
  • Fig. 5 eine graphische Darstellung der gemäß der Erfindung mit dem auf unendlich eingestellten Objektiv erzeugten Ansprechkennlinie.
  • Ausführliche Beschreibung
  • In Fig. 1 ist die Meßvorrichtung dargestellt, mit der die Erfindung verwendet werden soll. Die Vorrichtung ist im Kissinger-Patent '608 dargestellt und umfaßt eine glasfaseroptische Leitung 10 von allgemein Y-förmiger Konfiguration. Die Endfläche 12 von einem Arm 14 der faseroptischen Leitung 10 ist im Bereich einer geeigneten Lichtquelle 20 angeordnet, und die Endfläche 18 des anderen Armes 16 ist im Bereich eines Photosensor oder eines anderen geeigneten Lichtempfängers 22 angeordnet, der das von der Lichtquelle 20 übertragene Licht empfängt. Die Leitungsarme 14 und 16 bilden ein gemeinsames Bündel 23 lichtleitender Fasern am Fuß das Y, das an einem Ende eines Sensorkopfes 24 befestigt ist, dessen anderes oder Arbeitsende 26 im Bereich der Oberfläche eines Objektes 30 positioniert werden kann, dessen Verschiebung oder Position ermittelt werden soll.
  • Die Ansprechkennlinie der relativen Lichtstärke des Systems nach dem Kissinger-Patent '608 ist in Fig. 2 dargestellt. Die dynamischen Meßbereiche sind in der Zeichnung angegeben. Wie zu sehen ist, hat die Kennlinie auf jeder Seite des Bildbrennpunktes ein Maximum, wobei dieser Brennpunkt der Brennweite der Linse entspricht. Der Dynamikbereich im vorderen Abschnitt der Kennlinie reicht von etwa 0,5 bis 1 cm, und weil das Bild scharf dargestellt ist, ist der Dynamikbereich um den Nullpunkt sehr klein. In der hier verwendeten Weise bezeichnet der Begriff "Dynamikbereich" die geeignete maximale Distanz, die zur Messung zwischen einem Maximum und einem Minimum auf der Verschiebungskurve verwendet werden kann. So ist es zwar möglich, verschiedene Entfernungen durch Einstellen der Linsenposition zu messen (siehe Fig. 7 des Kissinger-Patents '608), doch der Dynamikbereich bleibt relativ konstant. Eine Veränderung der Linsenposition ist also erforderlich, um Targetabstände in der Größenordnung von 2,5 mm zu ändern. Wie aus den steil verlaufenden Kennlinien hervorgeht, bleibt auch die Empfindlichkeit relativ konstant bei einer bestimmten Linsenkonfiguration, was, wie oben erwähnt, die Brauchbarkeit der Meßvorrichtung einschränken kann.
  • Bei der vorliegenden Erfindung wird eine einzelne Linse und nicht ein Paar Mikroskoplinsen wie im Kissinger-Patent '608 verwendet. Die Linse kann auf unendlich eingestellt werden und sollte einen geringen Abbildungsfehler und eine breite Blendenöffnung besitzen. In der hier verwendeten Weise versteht man unter "einstellen" das Positionieren des scharfen Bildes der Vorderseite der Leitung 23. Wenn beispielsweise der Bildbrennpunkt bei etwa 1 cm erscheint (siehe Fig. 2), bedeutet dies, daß ein scharfes Bild der Vorderseite der Leitung 23 in diesem Abstand von der Vorderseite des Sensorkopfes erscheint.
  • Gemäß der Erfindung kann jede beliebige einer Vielzahl von handelsüblichen Linsen verwendet werden. In der bevorzugten Ausführungsform wurde eine Mikroskoplinse mit einer numerischen Apertur von 0,25 und einer Brennweite von 16 mm verwendet. Der Unterschied zu der Linse nach Kissinger besteht darin, daß gemäß der vorliegenden Erfindung Änderungen in der Position der Faser in bezug auf die Linse zu großen Änderungen in der Brennweite und der Größe des abgebildeten Lichtpunktes am Bildbrennpunkt führen, während vergleichbare Änderungen der Faserposition in bezug auf die Rückenan-Rücken ausgebildete Linsenanordnung nach Kissinger wenig oder keine Änderungen der Brennweite und Größe des abgebildeten Lichtpunktes am Bildbrennpunkt bewirken.
  • In Fig. 3 ist der Aufbau eines Sensorkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung schematisch dargestellt. Die faseroptische Leitung 23 (Fig. 1) endet in einer Vorderseite 32. Die bei 34 schematisch dargestellte Linse ist in einem herkömmlichen Gehäuse 36 angeordnet, das eine Gewindebohrung 38 umfaßt. Beispielsweise kann die Linse 34 eine der im Kissinger-Patent gezeigten Projektionslinsen sein. Die Faser 23 ist in einer komplementären, mit einem Gewinde versehenen Hülse 40 geführt, die in die Bohrung 38 geschraubt und durch eine Verriegelungseinheit 42 gesichert werden kann. Bei diesem Aufbau kann die Position der Endfläche 32 der Faserleitung 23 in bezug auf die Linse 34 fein eingestellt werden. Normalerweise kann der Bildbrennpunkt in einem Bereich von 0 bis unendlich liegen, wenn die Faser 23 über einen Bereich von 6,35 mm bewegt wird.
  • Fig. 3 zeigt auch die Auswirkungen des Einstellens der Position der Faseroptik in bezug auf die Linse. Vier getrennte Positionen A bis D sind hier gezeigt, wobei Position A die am weitesten entfernte Position und Position D die am nächsten gelegene Position der Faser in bezug auf die Linse ist. Wenn die Entfernung zwischen Faser und Linse zwischen den Positionen A bis D eingestellt wird, ändert sich die Position des Bildbrennpunktes, wie auf der rechten Seite der Abbildung gezeigt ist, wobei sich auch die Größe des abgebildeten Bildes (oder Lichtpunktes) entsprechend ändert. Die Größenänderung des Lichtpunktes deutet auf eine wesentliche Änderung der Empfindlichkeit zwischen den Positionen A und D hin. Wie oben erwähnt, kann die Möglichkeit zur Änderung der Empfindlichkeit eine wichtige Überlegung bei faseroptischen Meßvorrichtungen in industriellen Anwendungen sein.
  • Die Erfindung beinhaltet auch die Möglichkeit, wesentlich größere Abstände zu messen, als dies bei der Vorrichtung nach Kissinger möglich ist, und auch den Dynamikbereich zu verändern, d. h. den Bereich zu vergrößern, in dem die Vorrichtung an einer einzigen Position der Faser in bezug auf die Linse verwendet werden kann. Dies geht aus Fig. 4 hervor, die drei aktuelle Kurven der Lichtstärke in bezug auf den gemäß der Erfindung erzielten Abstand vom Target zeigt. Im Vergleich zu den vergleichbaren Kurven von Fig. 7 bei Kissinger wird der Abstand zwischen den Nullen in Zentimetern und nicht in Millimetern gemessen. Außerdem nimmt bei der Erfindung mit der Änderung der Brennweite auch der Dynamikbereich zu, und die Empfindlichkeit (zu erkennen an der Schärfe der Null) nimmt ab. Diese Möglichkeit der individuellen Anpassung der Ansprechkennlinie verbessert die Brauchbarkeit der Erfindung wesentlich, da die Steigung der Kurve entsprechend den Toleranzen des zu messenden Teils, den herrschenden Umgebungsbedingungen und dem vorhandenen Licht eingestellt werden kann.
  • Ein weiterer wichtiger Vorteil der Erfindung liegt in der Möglichkeit, auf unendlich einzustellen. Wie nachfolgend erläutert, vergrößert dies nicht nur deutlich den Dynamikbereich der Vorrichtung, sondern es werden damit außerdem Redundanzen vermieden, die jeder Vorrichtung innewohnen, bei der die Ansprechkennlinie auf jeder Seite des Bildbrennpunktes ein Maximum hat. Wenn beispielsweise, wie in Fig. 2 gezeigt, Entfernungen zwischen 7,62 und 12,7 mm gemessen würden, würde eine Reflexionslichtstärke von 50% viermal erfaßt werden, was vier verschiedenen Positionen des Sensorkopfes in bezug auf das Target entspricht. Mehrfachsensoren oder komplexe Signalverarbeitungsvorrichtungen sind in solchen Fällen erforderlich, um festzustellen, welche der vier möglichen Positionen tatsächlich erfaßt wurde. Wenn die Linse jedoch gemäß der vorliegenden Erfindung auf unendlich eingestellt ist, erhält man die in Fig. 5 gezeigte Ansprechkennlinie, bei der es kein Minimum und infolgedessen keine Redundanzen gibt. Wenn die Linse gemäß der Erfindung auf unendlich eingestellt ist, wie in Fig. 5 gezeigt, reicht der Dynamikbereich bis etwa 13 cm.
  • Bei der individuellen Anpassung der Ansprechkennlinie kommt es zu einem Ausgleich zwischen Empfindlichkeit und Dynamikbereich - je größer der Dynamikbereich umso kleiner die Empfindlichkeit; in vielen Situationen ist jedoch die eine oder andere dieser Überlegungen von größerer Bedeutung. Bei der Anwendung der Erfindung hängen die Messungen wohl ab von der Lage der Null (z. B. feststellen, ob ein Teil innerhalb der vorgeschriebenen Toleranzen liegt) oder von der Form der Ansprechkennlinie (z. B. bei analogen Messungen).

Claims (4)

1. Optische Vorrichtung zur Bestimmung der Verschiebung oder Lage eines Objektes (30), wobei die Vorrichtung eine Lichtquelle (20) und einen Lichtempfänger (22) umfaßt, der von der Lichtquelle ausgesandtes Licht empfängt, sowie eine Y-förmig angeordnete faseroptische Leitung (10), wo das Ende des einen Armes (12) im Bereich der Lichtquelle angeordnet ist und das Ende des anderen Armes (18) im Bereich des Lichtempfängers angeordnet ist, wobei die Leitungsarme ein gemeinsames Bündel optisch leitender Fasern (23) in dem Fuß des Y bilden, von denen einige Übertragungsfasern sind, die Licht von der Lichtquelle zu einer Oberfläche des Objektes leiten, und einige sind Empfangsfasern, die das von der Oberfläche des Objektes reflektierte Licht zu dem Lichtempfänger leiten, so daß die Leitung normalerweise Licht von der Lichtquelle leitet sowie Reflexionslicht, das auf eine Endfläche des gemeinsamen Bündels auftrifft, zu dem Lichtempfänger leitet, wobei die Vorrichtung ferner einen Sensorkopf (24) umfaßt, dessen eines Ende (26) in der Nähe des Objektes positioniert werden kann, dessen Verschiebung oder Lage zu messen ist, wobei der Sensorkopf eine Linseneinrichtung (36) umfaßt und eine Einrichtung (40), die die Position der Linseneinrichtung in bezug auf die Endfläche einstellt, dadurch gekennzeichnet, daß die Linseneinrichtung (36) so positioniert werden kann, daß das Bild der Endfläche (32) auf Unendlich eingestellt wird.
2. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Position der Linseneinrichtung (34) in Bezug auf die Endfläche (32) so ist, daß das Bild der Endfläche im Unendlichen liegt.
3. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstelleinrichtung eine Einrichtung umfaßt, die die Position der Linseneinrichtung (34) in bezug auf die Endfläche (32) einstellt.
4. Optische Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Endfläche (32) durch eine Schraubengewindeeinrichtung (38) in einem Gehäuse (36) eingestellt wird, und daß die Linseneinrichtung (34) sicher in dem Gehäuse (36) befestigt ist.
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