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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf Ladungspumpen- oder andere
Referenzspannungsschaltungen und genauer gesagt auf integrierte Schaltkreise
wie nicht-flüchtige
bzw. Flash-Speichereinrichtungen,
die eine Ladungspumpe beinhalten, um hohe Spannungen auf dem Chip
zu erzeugen.
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Beschreibung der verwandten
Technik
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Stromversorgungen
von integrierten Schaltkreisen sind typischerweise für 5 Volt
+/–10%
spezifiziert. Diese Schwankung der Versorgungsspannung kann einen
großen
Einfluß auf
die Menge von Strom haben, die von einem Schaltkreis auf dem Chip
abgezogen wird. Referenzspannungsschaltkreise wie Ladungspumpen
sind besonders anfällig
für diese Schwankung
bei den Eingangsspannungen. Der von einer Ladungspumpe erzeugte
Ausgangsstrom und der durch eine Ladungspumpe abgezogene Strom können deutlich
variieren, wenn die Stromversorgungsspannung zwischen 4,5 und 5,5
Volt schwankt.
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Es
werden Flash-EEPROM-Einrichtungen konzipiert, die hohe Spannungen
auf dem Chip zur Verwendung in den Lösch- oder Programmierzyklen für die Speicherarrays
erzeugen. Einige Systeme nach dem Stand der Technik sind nicht nur
auf die 5-Volt-Stromversorgung, sondern auch auf eine zusätzliche
Programmierstromversorgung von 12 Volt angewiesen, deren Spezifikation
eine Schwankung um +/–5%
erlaubt. Neuere Auslegungen verwenden nur die 5-Volt-Versorgung
und verwenden Ladungspumpen, um die höheren Potentiale und negativen Spannungen
zu entwickeln, die während
der Lösch- und
Programmierzyklen verwendet werden. Die Schwankungen der 5-Volt-Versorgungsspannung von
+/–10%
und resultierende Fluktuationen in dem produzierten oder abgezogenen
Strom können
jedoch einen große
Auswirkung auf die Leistung bzw. Leistungsfähigkeit der Lösch- und
Programmierzyklen haben. Für
konsistente Programmier- und Löschzyklen
ist es wünschenswert,
den Betrag des von solchen Schaltkreisen gelieferten Stroms zu steuern bzw.
zu regeln.
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US 5.414.669 offenbart eine
Ladungspumpe, die in der Lage ist, einen beträchtlichen Strom zu liefern.
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US 5.422.586 offenbart eine
Ladungspumpe, die in der Lage ist, hohen Strom bzw. eine hohe Stromstärke zu liefern.
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US 5.258.662 offenbart eine
leistungseffiziente Ladungspumpe mit einem variablen Frequenzoszillator,
der den Stromverbrauch in der Ladungspumpe durch Umschalten zwischen
Frequenzen reduziert.
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US 5.394.027 offenbart eine
Ladungspumpe, die in der Lage ist, bei niedrigen Spannungen betrieben
zu werden.
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US-A-5.193.198
beschreibt einen integrierten Ladungspumpenschaltkreis zum Verstärken einer
Stromversorgungsspannung und einen Stromversorgungsmultiplexer zum
Auswählen
zwischen der Ausgabe des Ladungspumpenschaltkreises und der Stromversorgungsspannung
gemäß einem
Steuersignal zur Auswahl der Stromversorgung.
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Im
Sinne von Anspruch 1 ist ein integrierter Ladungspumpenschaltkreis
bekannt, der an eine Stromversorgung mit einer Versorgungsspannung angeschlossen
ist, die innerhalb eines angegebenen Bereiches schwanken kann, mit:
einem
regelnden Schaltkreis, der an die Stromversorgung angeschlossen
ist, um eine geregelte Versorgungsspannung als Reaktion auf die
Versorgungsspannung zu liefern, wobei der regelnde Schaltkreis die
geregelte Versorgungsspannung so steuert, daß sie weniger schwankt als
die Versorgungsspannung, während
die Versorgungsspannung über
den angegebenen Bereich schwankt;
eine Ladungspumpe, die an
den regelnden Schaltkreis angeschlossen ist, die betrieben wird,
daß sie eine
Ausgabe- bzw. Ausgangsspannung als Reaktion auf die geregelte Versorgungsspannung
erzeugt, wobei die Ausgangsspannung größer ist als die Versorgungsspannung,
wobei die Ladungspumpe einen Pumpreferenzeingang und einen Pumptakttreiber zum
Erzeugen eines Pumptaktes für
die Ladungspumpe beinhaltet, wobei die geregelte Versorgungsspannung
an den Pumpreferenzeingang angeschlossen ist.
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Es
ist wünschenswert,
einen Ladungspumpenschaltkreis mit einem geregelten Stromverbrauch und
geregelter Ausgangsstromerzeugung zur Verfügung zu haben, der als Reaktion
auf die standardmäßige Versorgung
von nur 5 Volt funktioniert.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung steht ein integrierter
Ladungspumpenschaltkreis gemäß Anspruch
1 zur Verfügung.
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Dementsprechend
bietet die vorliegende Erfindung einen Ladungspumpenschaltkreis,
der eine Ausgangsspannung auf einem ausgewählten Niveau erzeugt, wobei
aber Schwankungen in dem an die Ladungspumpe gelieferten Strom geregelt
werden und Schwankungen in dem von der Ladungspumpe erzeugten Ausgangsstrom
geregelt werden.
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Die
Eingangs- und Ausgangsströme
werden von einem regelnden Schaltkreis geregelt, der an die Stromversorgung
von nur 5 Volt angeschlossen ist. Der regelnde Schaltkreis erzeugt
eine geregelte Versorgungsspannung als Reaktion auf die Versorgung von
nur 5 Volt. Somit schwankt die geregelte Versorgungsspannung weniger
als die Versorgung von nur 5 Volt, wenn die Versorgungsspannung über den spezifizierten
Bereich schwankt. Die Ladungspumpe ist an den regelnden Schaltkreis
angeschlossen und erzeugt die Ausgangsspannung als Reaktion auf
die geregelte Versorgungsspannung. Die Schwankungen in dem an die
Ladungspumpe gelieferten Strom und dem von der Ladungspumpe gelieferten
Strom werden gemäß diesem
Schaltkreis gegenüber
einer ungeregelten Ladungspumpe wesentlich reduziert.
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Die
geregelte Versorgungsspannung wird gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung durch einen MOS-Transistor erzeugt, dessen Drain an
die Stromversorgung angeschlossen ist und dessen Source die geregelte
Versorgungsspannung liefert. Das Gate des Transistors ist an eine
Referenzspannung angeschlossen, die leicht höher ist als die Versorgungsspannung.
Die Referenzspannung wird in einer Ausführungsform von einer Regulierladungspumpe
auf demselben integrierten Schaltkreis wie die Ladungspumpe, die
geregelt wird, erzeugt.
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Gemäß der Erfindung
ist nicht nur die Treiberspannung für die Ladungspumpe geregelt,
sondern auch die Takte, die in der Ladungspumpe verwendet werden,
werden mittels geregelter Treiber erzeugt.
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Ausführungsformen
der Erfindung können auch
als ein integrierter Schaltkreis mit einem Flash-EEPROM charakterisiert
werden, der an eine Stromversorgung wie ein System mit nur 5 Volt
angeschlossen ist, bei dem die Spezifikation der Stromversorgung
einen Schwankungsbereich von +/–10% zuläßt. Dieser
integrierte Schaltkreis beinhaltet ein Flash-EEPROM-Array und eine
Lese-, Programmier- und Löschsteuerung,
die an das Array angeschlossen ist. Ein spannungserzeugender Schaltkreis
liefert ein hohes Potential an das Array für Programmier- oder Löschvorgänge, abhängig von
den speziellen Ladungszuständen
der Zellen, die als die programmierten und gelöschten Zustände ausgewählt werden. Der spannungserzeugende
Schaltkreis beinhaltet einen regelnden Schaltkreis, der die geregelte Versorgungsspannung
erzeugt, so daß sie
weniger schwankt als die Versorgungsspannung, wenn die Versorgungsspannung über den
spezifizierten Bereich schwankt. Außerdem ist eine Ladungspumpe an
den regelnden Schaltkreis angeschlossen, die eine hohe, positive
Spannung oder negative Spannung in Abhängigkeit von der geregelten
Versorgungsspannung erzeugt.
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Gemäß einer
anderen Ausführungsform kann
die Erfindung als ein Ladungspumpenschaltkreis charakterisiert werden,
der einen kontrollierten Ausgangsstrom hat. Dieser Ladungspumpenschaltkreis
ist an eine Stromversorgung angeschlossen, die eine Versorgungsspannung
hat, die über
einen spezifizierten Bereich schwankt. Er weist eine erste Ladungspumpe
auf, die eine Referenzspannung in Abhängigkeit von der Versorgungsspannung
erzeugt. Ein Schaltkreis, der an die erste Ladungspumpe angeschlossen
ist und auf die Referenzspannung reagiert, erzeugt eine geregelte
Versorgungsspannung. Die zweite Ladungspumpe erzeugt eine geregelte
Ausgangsspannung in Abhängigkeit
von der geregelten Versorgungsspannung. Diese zweite Ladungspumpe
erzeugt einen Ausgangsstrom, und Schwankungen in dem von der zweiten
Ladungspumpe erzeugten Ausgangsstrom sind durch die geregelte Versorgungsspannung
begrenzt.
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Andere
Aspekte und Vorzüge
der vorliegenden Erfindung kann man bei Betrachtung der Figuren,
dem Lesen der detaillierten Beschreibung und der anschließenden Ansprüche verstehen.
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KURZBESCHREIBUNG
DER FIGUREN
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1 ist
ein Diagramm einer Ladungspumpe mit einer geregelten Versorgung
gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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2 stellt
den Vorladungsschaltkreis und die Hochzieh- bzw. Pull-up-Schaltkreise
dar, die bei der Ladungspumpe von 1 verwendet
werden.
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3 enthält Zeitdiagramme,
die zum Veranschaulichen der Funktionsweise der Ladungspumpe von 1 verwendet
werden.
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4 ist
ein Diagramm, das eine alternative Ausführung für den Vorladungsschaltkreis
zeigt, der in der Ladungspumpe von 1 verwendet
wird.
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5A und 5B stellen
Takttreiber für
die Ladungspumpen von 1 dar.
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6 ist
ein Schaltkreisdiagramm des Spannungsreglers, der bei der Ladungspumpe
von 1 verwendet wird.
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7 ist
eine schematische Darstellung des Takttreiber, der bei dem Spannungsregler
von 6 verwendet wird.
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8 ist
ein Zeitdiagramm für
die vier Phasentaktsignale bzw. Vier-Phasen-Taktsignale, die von
den Schaltkreisen von 7 erzeugt werden.
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9 ist
ein Blockdiagramm einer Ladungspumpe mit negativer Spannung mit
geregelten Takttreibern gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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10 ist
eine Simulationsgrafik, die den Ausgangsstrom gegen die Ausgangsspannung
der negativen Ladungspumpe von 9 darstellt,
wenn die Versorgungsspannung über
ihren spezifizierten Bereich schwankt, mit und ohne den Regler.
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11 ist
eine Simulationsgrafik, die den Eingangstreiberstrom für den Ladungspumpentakttreiber
von 9 für
spezifizierte Ausgangsspannungen zeigt, wenn die Versorgungsspannung über ihren
spezifizierten Bereich schwankt, mit und ohne den Regler.
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12 ist
ein heuristisches Blockdiagramm eines integrierten Flash-EEPROM-Schaltkreises, der die
geregelten positiven und negativen Spannungsgeneratoren der vorliegenden
Erfindung hat.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Eine
detaillierte Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform de vorliegenden
Erfindung wird mit Bezug auf die 1–12 geliefert. 1 stellt
den grundlegenden positiven Spannungserzeuger mit einem Versorgungsregler
zur Verwendung in einem integrierten Flash-EEPROM-Schaltkreis gemäß der vorliegenden
Erfindung dar. Dieser Spannungsgenerator beinhaltet einen Versorgungsregler 10,
der an die 5-Volt-Stromversorgung VDD angeschlossen
ist. Die 5-Volt-Stromversorgung
kann nach ihrer Spezifikation über
einen Bereich von 5 +/– 0,5 Volt
schwanken. Der Schaltkreis beinhaltet außerdem Ladungspumpentakttreiber-Schaltkreise 11, eine
erste Mehrstufen-Ladungspumpe 12, als Ladungspumpe A bezeichnet,
und eine zweite Mehrstufen-Ladungspumpe,
als Ladungspumpe B bezeichnet. Die Ladungspumpe B ist zum Zweck
der Beschreibung eines Beispiels der vorliegenden Erfindung auf
Transistorniveau dargestellt. Man erkennt, daß die Ladungspumpe A dieselbe
oder eine ähnliche
Auslegung haben sollte. Außerdem
werden in der Figur die internen Vorladungsschaltkreise 14 und interne
Pull-up-Schaltkreise 15 gezeigt, die mit beschrifteten
Knoten auf den Ladungspumpen verbunden sind, wie man mit Bezug auf die
Ladungspumpe B sehen kann. Die positive Programmierspannung auf
den Ausgängen
der Ladungspumpen werden auf den Leitungen 16 bzw. 17 geliefert
und an den Spannungsbegrenzer bzw. -erhalter angeschlossen, der aus
dem Transistor 18 und der Diode 19 besteht.
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Der
Versorgungsregler 10 erzeugt geregelte Versorgungsspannungen
VDR1 Und VDR2. Diese
geregelten Versorgungsspannungen werden auf der Leitung 20 an
die Ladungspumpentaktschaltkreise 11, die Ladungspumpe
A und die Ladungspumpe B geliefert. Die Ladungspumpe A wird von
der Versorgungsspannung VDR1 getrieben,
während
die Ladungspumpe B von der Versorgungsspannung VDR2 getrieben
wird.
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Die
Ladungspumpentaktschaltkreise 11 erzeugen die mit P1A bis
P4A auf der Leitung 21 und mit P1B bis P4B auf der Leitung 22 bezeichneten
Ladungspumpentakte. Die Taktsignale P1B bis P4B sind wie dargestellt
mit der Ladungspumpe B verbunden.
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Die
Ausgangsdiode 19 wird durch Anschließen eines vergrabenen Diffusionsbereiches
vom n-Typ an Leitung 17 gebildet, wobei der n-artigen verdeckte
Diffusionsbereich in einem p-Well gebildet wird. Der p-Well ist
geerdet. Die Vereinigung zwischen dem n-artigen verdeckten Diffusionsbereich und
der p-Well bildet die Diode 19 mit einer Durchbruchspannung
von ungefähr
7 Volt. Der Ausgangstransistor 18 hat in diesem Beispiel
eine Breite von 200 Mikron und eine Länge von 1,2 Mikron.
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Die
Ladungspumpe B erhält
als eine Referenzversorgungseingabe auf Leitung 9 die geregelte Versorgungsspannung
VDR2 am Knoten 30. Der Knoten 30 ist
an die Source des Transistors 31 und die Source des Transistors 32 angeschlossen.
Das Gate der Transistors 31 ist mit dem Knoten 33 verbunden. Die
Drain von Transistor 31 ist mit dem Knoten 34 verbunden.
Das Gate des Transistors 32 ist an den Knoten 34 und
die Drain von Transistor 32 ist mit dem Knoten 33 verbunden.
Ein MOS-Kondensator, der aus Transistor 35 gebildet wird,
ist mit seinem Gate an den Knoten 34 angeschlossen und
mit seiner Source und Drain an den Takteingang P4B. Ein MOS-Kondensator,
der von Transistor 36 gebildet wird, ist mit seinem Gate
an den Knoten 33 angeschlossen und mit seiner Source und
Drain an den Takteingang P1B.
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Die
Sources der Transistoren 37 und 38 sind mit dem
Knoten 33 verbunden. Das Gate von Transistor 37 und
die Drain von Transistor 38 sind an den Knoten 39 angeschlossen.
Das Gate von Transistor 38 und die Drain von Transistor 37 sind
an den Knoten 40 angeschlossen. Das Gate des durch den
Transistor 41 gebildeten MOS-Kondensators ist mit dem Knoten 40 und
seine Source und Drain sind mit dem Takteingang P2B verbunden. Auch
der Knoten 33 ist an das Gate und die Source von Transistor 42 angeschlossen.
Die Drain von Transistor 42 ist mit dem Knoten 39 verbunden.
Der Knoten 39 ist außerdem an
die Reihen-MOS-Kondensatoren, die von den Transistoren 43 und 44 gebildet
werden, angeschlossen. Das Gate des Transistors 43 ist
mit dem Knoten 39 verbunden und seine Source und Drain
sind mit dem Knoten 45 verbunden. Das Gate des Transistors 44 ist
mit dem Knoten 45 verbunden, und seine Source und Drain
sind an den Takteingang P3B angeschlossen.
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Der
Knoten 39 ist ferner mit dem Gate und der Source von Transistor 46 und
mit den Sources der Transistoren 47 und 48 verbunden.
Das Gate von Transistor 47 und die Drain von Transistor 48 sind
mit dem Knoten 49 verbunden. Das Gate von Transistor 48 und
die Drain von Transistor 47 sind mit dem Knoten 50 verbunden.
Auch die Drain von Transistor 46 ist mit dem Knoten 49 verbunden.
Der Knoten 50 ist mit den Reihen-MOS-Kondensatoren verbunden,
die von den Transistoren 51 und 52 gebildet werden.
Das Gate von Transistor 51 ist mit dem Knoten 50 verbunden.
Die Source und Drain von Transistor 51 sind mit dem Knoten 53 verbunden.
Das Gate von Transistor 52 ist mit dem Knoten 53 verbunden.
Die Source und Drain von Transistor 52 sind mit dem Takteingang P4B
verbunden. Der Knoten 49 ist mit den Reihen-MOS-Kondensatoren
verbunden, die von den Transistoren 54 und 55 gebildet
werden. Das Gate des Transistors 54 ist mit dem Knoten 49 und
seine Source und Drain sind mit dem Knoten 56 verbunden.
Das Gate des Transistors 55 ist mit dem Knoten 56 und
seine Source und Drain sind mit dem Takteingang P1B verbunden.
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Der
Knoten 49 ist auch mit dem Gate und der Source von Transistor 57 verbunden.
Die Drain von Transistor 57 treibt die Leitung 17 mit
der Ausgabe der Ladungspumpe B.
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In
diesem Beispiel sind die Transistoren 35, 41, 51 und 52 natürliche bzw.
inhärente
n-Kanal-Einrichtungen
mit einer Breite von 50 Mikron und eine Länge von 15 Mikron. Die Transistoren 31, 37 und 47 sind
inhärente
n-Kanal-Einrichtungen mit einer Breite von 20 Mikron und einer Länge von
1,2 Mikron. Die Transistoren 32, 38, 48, 42 und 46 sind
inhärente n-Kanal-Einrichtungen
mit einer Breite von 100 Mikron und einer Länge von 1,2 Mikron. Die Transistoren 36, 43, 54, 44 und 55 sind
inhärente
n-Kanal-Einrichtungen mit einer Breite von 300 Mikron und einer Länge von
100 Mikron. Der Ausgangstransistor 57 ist eine inhärente n-Kanal-Einrichtung
mit einer Breite von 200 Mikron und einer Länge von 1,2 Mikron. Eine "inhärente" n-Kanal-Einrichtung
hat keine Anreicherungsdotierung in dem Kanalbereich, die verwendet wird,
um die p-artige Dotierung über
die Substratstufen bzw. -niveaus in "normalen" n-Kanal-Einrichtungen hinaus zu steigern.
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Wie
oben erwähnt
gibt es Pull-up-Schaltkreise in Ladungspumpe B und ähnliche
Pull-up-Schaltkreise
in Ladungspumpe A, die mit den Knoten 34, 33, 39, 40, 49 und 50 verbunden
sind. Die Knoten, an die Pull-ups angeschlossen sind, sind in 1 mit N1,
N11, N2, N12, N3 und N13 beschriftet. Jeder von ihnen besteht aus
einem Transistor, dessen Gate und Source an die Versorgungsspannung
VDD angeschlossen und dessen Drain mit dem
Knoten, der heraufgezogen wird, verbunden ist. Die Größe dieser Transistoren
in diesem Beispiel ist 4 Mikron in der Breite und 1,2 Mikron in
der Länge.
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Außerdem sind
Vorladungsschaltkreise zwischen die Reihen-MOS-Kondensatoren bei
den Knoten 53, 45 und 56 geschaltet,
die mit INT1, INT2 und INT3 beschriftet sind. Die Vorladungsschaltkreise können die
in 2 oder 4 gezeigte Struktur annehmen.
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Wie
in 2 gezeigt sind zwei MOS-Kondensatoren in Reihe
geschaltet, die den MOS-Kondensator 60 und
den MOS-Kondensator 61 umfassen. Diese Kondensatoren können zum
Beispiel den Kondensatoren entsprechen, die von den Transistoren 54 und 55 in 1 gebildet
werden. Ein Vorladungsschaltkreis ist wie abgebildet an den Knoten 62 angeschlossen.
Der Vorladungsschaltkreis beinhaltet einen ersten Transistor 63 in
Reihe mit einem zweiten Transistor 64. Die Drain des ersten
Transistors ist über
die als Diode geschalteten Transistoren 65 und 66 an
die Versorgungsspannung angeschlossen. Die Source von Transistor 63 ist
mit dem Knoten 62 und mit der Drain von Transistor 64 verbunden.
Der Knoten 62 kann dem Knoten 56 (INT3) von 1 entsprechen.
Die Source von Transistor 64 ist mit Masse bzw. Erde verbunden.
Das Gate von Transistor 63 ist mit dem mit CLKB bezeichneten
Signal verbunden, welches ein Taktsignal ist. Das Gate von Transistor 64 ist
mit einem mit DISC bezeichneten Entladesignal verbunden.
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In 2 ist
außerdem
der Pull-up-Transistor 67 abgebildet, der mit dem Gate
des MOS-Kondensators 61 verbunden
ist. Somit ist das Gate des MOS-Kondensators 61 mit dem
Knoten 68 verbunden, mit welchem wiederum der Pull-up-Schaltkreis, der
auf Transistor 67 beruht, verbunden ist. Der Knoten 68 kann
dem Knoten 49 (N3) in 1 entsprechen.
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Mit
Bezug auf 3 wird die Funktionsweise des
Vorladungsschaltkreises beschrieben. Insbesondere ist das Signal
DISC anfangs hoch, wie bei 80 angegeben. Wenn das Signal
DISC hoch ist, hält
der Transistor 64 den Knoten 62 geerdet, normalerweise bei
Null Volt, wie bei 81 gezeigt. Der Pull-up-Schaltkreis 67 hält den Knoten 68 bei
ungefähr
4 Volt, wie bei 82 dargestellt. Wenn der Schaltkreis eingeschaltet
wird, fällt
das DISC-Signal auf niedrig bei Punkt 83. Das Taktsignal
CLKA, das an den MOS-Kondensator 60 von 2 angeschlossen
ist, beginnt die Reihenkondensatoren zu takten, wie abgebildet. Wenn
der Knoten 62 niedrig ist, ist der MOS-Kondensator 60 ausgeschaltet.
Somit hat die erste abfallende Flanke von Takt A bei 84 im
Wesentlichen keine Auswirkung auf den Knoten 62 oder den
Knoten 68. Nach dem Abfallen des Takts A bei Punkt 84 und nach
einem kurzen Intervall, das bei 85 angegeben ist, steigt
der Takt B bei 86 an. In ähnlicher Weise fällt der
Takt B bei 87 eine kurze Zeit, bevor der Takt A bei 88 ansteigt,
ab. Wenn der Takt B ansteigt und der Takt A niedrig ist, beginnt
der Knoten 62 durch den Transistor 63 wie bei 89 angegeben
aufzuladen. Auch der Knoten 68 folgt dem Knoten 62,
weil der Kondensator 61 immer an ist. Wenn der Takt B abfällt und
der Takt A während
des zweiten Zyklus hoch ist, ist der Knoten 62 noch nicht
hoch genug, um dem Kondensator 60 einzuschalten. Daher
gibt es keine Pumpaktion. Während
des nächsten
Zyklus von Takt B steigt der Knoten 62 weiter an, wie bei 90 angegeben,
wobei der Knoten 68 folgt. Er erreicht bei 90 eine Stufe
bzw. ein Niveau, das hoch genug ist, um den MOS-Kondensator 60 einzuschalten.
Zu diesem Zeitpunkt tritt eine Pumpaktion auf, wenn der Takt A ansteigt,
die den Knoten 62 um denselben Betrag hochtreibt, um die
der Takt A hochgeht, wie bei 92 angegeben. Wenn der Takt
A bei 93 abfällt,
fällt der
Knoten 62, wie bei 94 angegeben. Wenn der Takt
B ansteigt, wie bei 95 angegeben, lädt der Knoten 62 auf,
wie bei 96 angegeben, wodurch ein Niveau beibehalten wird, das
ausreicht, um den MOS-Kondensator 60 während des Pumpvorgangs eingeschaltet
zu halten.
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4 stellt
einen alternativen Vorladungsschaltkreis für die Ladungspumpe von 1 dar. 4 hat
Komponenten ähnlich
denen in 2 und verwendet die gleichen
Bezugszahlen für
gleiche Komponenten. Sie unterscheidet sich insofern, als der Vorladungsschaltkreis
von dem Transistor 70 und dem Invertierer 71 gebildet
wird. In dieser Ausführungsform
ist die Drain des Transistors mit dem Knoten 62 verbunden,
sein Gate mit dem CLKB-Signal und seine Source mit dem Ausgang des
Invertierers 71. Der Eingang des Invertierers 71 ist
mit dem DISC-Signal verbunden. Dieser Schaltkreis funktioniert im
Wesentlichen auf eine ähnliche
Weise wie der in 2, au ßer daß das Signal CLKB hoch sein muß, wenn
der Schaltkreis nicht arbeitet, um den Knoten 62 herunterzuziehen.
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Die
Taktsignale CLKA und CLKB sollten sich in den Ausführungsformen
der 2 und 4 nicht überlappen. Wenn sie es täten, könnte der
obere Transistor 60 in den frühen Zyklen, nachdem das Signal
CLKA hoch ist, einschalten, was zu einem negativen Pumpen bei der
nächsten
abfallenden Kante von CLKA führen
würde.
Dies kann den n-Kanal-Einrichtungen, die als Kondensatoren in diesem
Schaltkreis verwendet werden, Schaden zufügen.
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Die 5A und 5B stellen
Ladungspumpentaktschaltkreise dar, die in dem Schaltkreis von 1 verwendet
werden können.
Für gleiche Komponenten
in den 5A und 5B werden dieselben
Bezugszahlen verwendet, mit der Ausnahme der Ausgangssignale und
der Versorgungsspannungen, wie unten erläutert. 5A stellt
die Taktsignale P1A bis P4A bereit und 5B stellt
die Schaltkreise dar, die die Taktsignale P1B bis P4B erzeugen.
Wie man sehen kann, sind die Schaltkreise im Wesentlichen ähnlich.
Jeder enthält
einen Aktivierungseingang, V7EN auf der Leitung 100. Die
Taktsignale P11, P22, P33 und P44 werden als Eingangsgrößen bzw.
Eingaben an die NAND-Gatter 101, 102, 103 und 104 geliefert,
wobei die zweite Eingabe an die NAND-Gatter das Aktivierungssignal
auf der Leitung 100 ist. Die Ausgangsgrößen bzw. Ausgänge der
NAND-Gatter 101 bis 104 werden
durch entsprechende Invertierer 105, 106, 107, 108 geführt. Die
Invertierer werden durch die geregelte Versorgungsspannung VDR1 für
die Takttreiber in 5A und VDR2 für die Takttreiber
in 5B getrieben. Die Ausgangsgrößen der entsprechenden Invertierer
sind die Taktsignale P1A bis P4A bzw. P1B bis P4B.
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In
einem Beispiel bestehen die Invertierer aus einem p-Kanal-Transistor
in Reihe mit einem n-Kanal-Transistor. Der p-Kanal-Transistor für den Invertierer 105 hat
eine Breite von 45 Mikron und eine Länge von 0,8 Mikron. Der n-Kanal
für den
Invertierer 105 hat eine Breite von 26 Mikron und eine
Länge von
0,8 Mikron. Der p-Kanal für
den Invertierer 106 hat eine Breite von 7 Mikron und eine
Länge von
0,8 Mikron, während
der n-Kanal eine Breite von 4 Mikron und eine Länge von 0,8 Mikron hat. Für den Invertierer 107 hat
der p-Kanal eine Breite von 98 Mikron und eine Länge von 0,8 Mikron, und der
n-Kanal hat eine Breite von 52 Mikron und eine Länge von 0,8 Mikron. Für den Invertierer 108 hat
der p-Kanal eine Breite von 7 Mikron und eine Länge von 0,8 Mikron, und der
n-Kanal hat eine
Breite von 4 Mikron und eine Länge
von 0,8 Mikron.
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6 stellt
einen Reglerschaltkreis dar, der verwendet wird, um die Spannungen
VDR1 und VDR2 für den Schaltkreis
von 1 zu erzeugen. In dieser Ausführungsform beinhaltet der Regler
eine Ladungspumpe, insgesamt mit 120 bezeichnet, und einen
Spannungsteiler, mit 121 bezeichnet. Der Spannungsteiler 121 liefert
eine Referenzspannung, die leicht höher ist als die 5-Volt-Versorgung VDD zum Regulieren von Transistoren, die mit 122 bezeichnet
ist.
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Die
Ladungspumpe 120 wird durch die Versorgungsspannung VDD auf Leitung 125 versorgt und wird
aus inhärenten
n-Kanal-Einrichtungen gebildet, die wie folgt angeschlossen sind.
Die Leitung 125 ist folgendermaßen an die Sources der Transistoren 126 und 127 angeschlossen.
Das Gate von Transistor 126 und die Drain von Transistor 127 sind
mit dem Knoten 128 verbunden. Das Gate von Transistor 127 und
die Drain von Transistor 126 sind mit dem Knoten 129 verbunden.
Der Knoten 129 ist über
den MOS-Kondensator, der aus dem Transistor 130 gebildet
wird, an den Takt P4G angeschlossen. Somit ist das Gate von Transistor 130 mit
dem Knoten 129 und seine Source und Drain sind mit dem
Signal P4G verbunden. Außerdem
ist das Gate des zu einem MOS-Kondensator
gemachten Transistors 131 mit dem Knoten 128 und
seine Source und Drain sind mit dem Taktsignal P1G verbunden. Der
Knoten 128 ist ferner mit den Sources der Transistoren 132 und 133 verbunden.
Das Gate von Transistor 132 und die Drain von Transistor 133 sind
an den Knoten 134 angeschlossen. Das Gate von Transistor 133 und
die Drain von Transistor 132 sind an den Knoten 135 angeschlossen.
Der Knoten 135 ist mit dem Gate des als Kondensator geschalteten
Transistors 136 verbunden, dessen Source und Drain an das
Taktsignal P2G angeschlossen sind. Außerdem ist der Knoten 134 mit
dem Gate von Transistor 137 verbunden, der als ein Kondensator
mit seiner Source und Drain an das Taktsignal P3G angeschlossen
ist. Der Knoten 134 ist an die Source und das Gate von
Transistor 138 angeschlossen, dessen Drain mit dem Knoten 139 verbunden
ist. Der Knoten 139 ist mit der Source von Transistor 140 verbunden,
dessen Gate und Drain mit der Versorgungsspannung VDD verbunden sind.
Der Knoten 139 ist ferner mit dem Gate des als Kondensator
geschalteten Transistors 141 verbunden, dessen Source und
Drain mit Masse verbunden sind. Außerdem ist der Knoten 139 mit
der Kathode der Diode 142 verbunden, deren Anode mit Masse verbunden
ist. Die Diode 142 wird durch einen verdeckten n-Kanal-Diffusionsbereich
gebildet, der an den Knoten 139 angeschlossen und in einem
p-Well gebildet ist. Der p-Well ist an Masse angeschlossen, wodurch
die Anode der Diode gebildet wird. Somit stellt der Knoten 139 eine
Ausgangsspannung AVX7V von ungefähr
7 Volt bereit.
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Der
Ausgang der Ladungspumpe auf der Leitung 139 ist an den
Spannungsteiler 121 angeschlossen. Der Spannungsteiler 121 wird
vor allem aus einer Reihe von als Diode geschalteten p-Kanal-Transistoren
gebildet, die in n-Wells ausgebildet sind. Die p-Kanal-Transistoren
umfassen einen ersten inhärenten
Transistor 150, dessen Source mit der Leitung 139 und
dessen Drain mit dem Knoten N9 verbunden ist.
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Die
p-Kanal-Transistoren 151 bis 157 sind in Reihe
geschaltet und der n-Well und die Source jedes Transistors sind
mit dem vorhergehenden Knoten verbunden. Zum Beispiel sind der n-Well
und die Source von Transistor 151 an den Knoten N9 angeschlossen.
Die Drain jedes Transistors ist mit dem nachfolgenden Knoten verbunden.
Zum Beispiel ist die Drain von Transistor 151 mit dem Knoten
N8 verbunden. Das Gate jedes Transistors ist an den nächstfolgenden
Knoten angeschlossen. Zum Beispiel ist das Gate von Transistor 151 mit
dem Knoten N7 verbunden, und das Gate von Transistor 152 ist an
den Knoten N8 angeschlossen.
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Die
Drain von Transistor 157 ist an den Knoten N2 angeschlossen.
Das Gate und die Drain des inhärenten
n-Kanal-Transistors 158 sind an den Knoten N2 angeschlossen,
und seine Source ist an den Knoten N1 angeschlossen. Die Drain eines
inhärenten
n-Kanal-Transistors 159 ist an den Knoten N1 angeschlossen
und seine Source ist an den Knoten N0 angeschlossen. Das Gate von
Transistor 159 ist an den Knoten N1 angeschlossen. Die
Drain des n-Kanal-Transistors 160 ist an den Knoten N0
angeschlossen, und seine Source ist an Masse angeschlossen. Das
Gate von Transistor 160 ist an das Steuersignal V7EN angeschlossen.
Wenn das Signal V7EN an dem Gate von Transistor 160 an
ist, wird eine Referenzspannung an Knoten N9 erzeugt und auf der
Leitung 161 bereitgestellt. Außerdem ist an die Leitung 161 ein
inhärenter
n-Kanal-Transistor 162 angeschlossen, dessen Source mit
der Leitung 161 verbunden ist und dessen Gate und Drain
an die Versorgung VDD angeschlossen sind.
Ein p-Kanal-Transistor 162 ist ferner mit seiner Drain
an die Leitung 161 angeschlossen. Die Source von Transistor 163 ist
an die Leitung 139 angeschlossen. Außerdem ist das Gate von Transistor 163 an
die Leitung 139 angeschlossen. In ähnlicher Weise ist der n-Well von Transistor 163 mit
der Leitung 139 zurückverbunden. Diese
Konfiguration des Spannungsteilers erzeugt eine Spannung von ungefähr 6,3 Volt
auf der Leitung 161 und kann einfach angepaßt werden,
um eine Vielzahl von Referenzpotentialen wie 5,9 Volt, die höher als
VDD sind, bereitzustellen.
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Die
Referenzspannung auf der Leitung 161 hat einen Wert von
ungefähr
6,3 Volt, die leicht höher als
die Versorgungsspannung ist und als Referenzspannung für die Reglerschaltkreise 122 verwendet wird.
Die Reglerschaltkreise in 6 werden
von den n-Kanal-Transistoren 170 und 171 gebildet.
Das Gate von Transistor 170 ist auf der Leitung 161 mit dem
Knoten N9 verbunden und seine Drain ist mit der Versorgungsspannung
VDD verbunden. Die Source von Transistor 170 liefert
die Referenz VDR1. Ähnlich ist das Gate von Transistor 171 mit
der Referenzspannung auf der Leitung 161 verbunden, und
seine Drain ist mit der Versorgungsspannung VDD verbunden.
Die Source von Transistor 171 liefert die geregelte Versorgung
VDR2.
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Die
Transistoren 170 und 171 sind darauf gerichtet,
die Spannung an ihren Sources zu regeln, so daß sie in den Bereich von ungefähr 4,4 bis
4,8 Volt oder 4,6 ± 0,2
Volt fällt.
Die Transistoren 170, 171 sind in einer Ausführungsform
inhärente
Einrichtungen mit einer Breite von ungefähr 500 Mikron und einer Länge von
ungefähr
1,2 Mikron mit einer Gatespannung von 5,9 Volt. Sie können alternativ
mittels normaler MOS-Einrichtungen implementiert werden, d. h. mit
einem Anreicherungsimplantat in dem Kanalbereich, wie zum Beispiel
einer 400 Mikron mal 0,8 Mikron Einrichtung mit einem höheren Gatepotential
wie zum Beispiel 6,3 Volt. Die Versorgungsspannung VDR1 wird
auf einem Wert geregelt, der ungefähr gleich der Referenzspannung
VREF auf der Leitung 161 ist abzüglich der
Schwellwertspannung des Transistors. Wenn die Versorgungsspannung
VDD ansteigt, neigt die Referenzspannung
VDR1 dazu, ebenfalls anzusteigen, aber der
Schwellwertabfall des Transistors steigt wegen des n-Kanal-Substratregeleffektes
ebenso an. Dies regelt die Schwankung der Versorgungsspannung VDR1, so daß sie viel weniger schwankt
als VDD in dem angegebenen Bereich von 5 Volt
+/–10%.
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7 stellt
die Takttreiber für
die Ladungspumpe 120 dar, die in dem in 6 abgebildeten Reglerschaltkreis
verwendet werden. Diese Takttreiber sind ähnlich den in den 5A und 5B abgebildeten
mit der Ausnahme, daß die
Invertierer durch VDD getrieben werden statt
durch die geregelten Versorgungsspannungen. Somit werden diese Signale
durch das Signal auf der Leitung 180 aktiviert, die an
den Eingang der NAND-Gatter 181 bis 184 angeschlossen
ist. Die Taktsignale P11, P22, P33 und P44 sind als zweite Eingangsgrößen jeweils auf
die NAND-Gatter 181 bis 184 geschaltet. Die Ausgaben
bzw. Ausgänge
der NAND-Gatter 181 bis 184 treiben die Invertierer 185 bis 188.
Der Ausgang der Invertierer treibt die entsprechenden Takteingänge an der
Ladungspumpe 120. Die Ladungspumpe 120 ist dafür ausgelegt,
eine 7-Volt-Ausgabe mit einem Gleichstrom von weniger als 7 Mikroampere über den
Spannungsteiler 121 zu erzeugen. Somit ist es ein Generator
einer Referenzspannung mit relativ niedrigem Strom, der als ein
Regler für
die Ladungspumpen mit höherem
Strom verwendet wird, die für die
Hauptfunktionsschaltungen des integrierten Schaltkreises verwendet
werden.
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8 ist
das Zeitablaufdiagramm für
die vier Phasentakte bzw. Vier-Phasen-Takte, die verwendet werden,
um die vier in 1 abgebildeten Phasenladungspumpen
zu treiben. Das Diagramm enthält
Aufzeichnungen für
die Taktsignale P1B, P2B, P3B und P4B. Der Zeitablauf der Übergänge der
Taktsignale steuert die Funktion bzw. den Betrieb der Ladungspumpe,
wie Fachleute auf dem Gebiet erkennen. Die maximale Höhe aller
Impulse der Takte werden durch die geregelten Treiber wie in den 5A und 5B dargestellt
geregelt. Ähnliche
vier Phasentakte können
für die
in 6 abgebildete Ladungspumpe verwendet werden.
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9 liefert
ein schematisches Diagramm einer Ladungspumpe mit negativer Spannung,
die auf geregelten Versorgungsspannungen gemäß der vorliegenden Erfindung
beruht. In einer Figur stellt der Block 900 einen Ladungspumpenschaltkreis
wie den Ladungspumpenschaltkreis in Block 13 von 1 dar.
Um jedoch eine negative Spannung zu erzeugen, ist für den negativen
Ladungspumpenschaltkreis 900 der Versorgungseingang 901,
der der Leitung 9 von 1 entspricht,
mit Masse verbunden. Die Taktsignale F1 bis F4 sind mit ähnlichen
Ladungspumpenschaltkreisen in einer Vier-Phasen-Beziehung verbunden
wie Block 13 von 1, außer daß die Transistoren,
die verwendet werden, um die Ladungspumpe zu implementieren, p-Kanal-
anstelle von n-Kanal-Transistoren
sind. Dies führt
dazu, daß die
Ladungspumpe eine negative Spannung auf dem Ausgang 902 erzeugt.
Die Vier-Phasen-Taktsignale haben eine Zeitablaufbeziehung wie die
in 8 wiedergegebene, um die negative Spannung zu
erzeugen. In der Ausführungsform
von 9 werden die Taktsignale von den geregelten Takttreibern 903 und 904 erzeugt,
die wie in den 5A und 5B abgebildet
implementiert sind. Die Taktsignale F1 bis F4 entsprechen den Taktsignalen
P1B bis P4B in einer Ausführungsform
mit positiven Ladungspumpen.
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Die 10 und 11 stellen
die Verbesserung in der Leistung dar, die durch eine geregelte Ladungspumpe
für negative
Ausgangsspannung gemäß der vorliegenden
Erfindung gewährleistet
wird. In 10 ist die Ausgangsspannung
der Ladungspumpe gegen den Ausgangsstrom der Ladungspumpe für vier Bedingungen
eingetragen. Die ersten zwei Bedingungen, die durch den offenen
Kreis bzw. das offene Quadrat dargestellt sind, sind eine 5,6-Volt-Versorgung
bei Null Grad Celsius und eine 4,4-Volt-Versorgung bei 85 Grad Celsius,
die die Schwankungen der ungeregelten Versorgungsspannung im Ausgangsstrom über den
angegebenen Bereich der Eingangsversorgung darstellen. Somit wird bei
einer Ausgangsspannung der Ladungspumpe von minus 6 Volt der Ausgangsstrom
mit einer 4,4-Volt-Versorgung bei 85 Grad Celsius durch die Koordinate 300 bei
ungefähr
800 Mikroampere dargestellt. Für
dieselbe Ausgangsspannung mit einer 5,6-Volt-Versorgung bei Null
Grad Celsius wird der Ausgangsstrom durch die Koordinate 301 bei
ungefähr
2500 Mikroampere dargestellt. Somit variiert der Ausgangsstrom für eine angegebene
Ausgangsspannung für
den Ladungspumpenschaltkreis von 1 zwischen
ungefähr
800 Mikroampere und ungefähr 2500
Mikroampere oder einem Bereich von 3 : 1. Mit der geregelten Ladungspumpe
gemäß der vorliegenden
Erfindung werden die graphischen Darstellungen in den geschlossenen
Kreisen und geschlossenen Quadraten für 4,4 Volt bei 85 Grad Celsius
bzw. 5,6 Volt bei Null Grad Celsius abgebildet. Wie man sehen kann,
zeigt die Koordinate 302 bei minus 6 Volt die 4,4-Volt-Bedingung.
Diese Bedingung erzeugt einen Ausgangsstrom von ungefähr 750 Mikroampere.
Die Koordinate 303 zeigt den Ausgangsstrom bei minus 6
Volt für
5,6 Volt Versorgungsstrom bei Null Grad Celsius mit der geregelten Ladungspumpe.
Wie man sehen kann, liegt dieser Wert gerade oberhalb von 1100 Mikroampere.
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11 zeigt
die Schwankung im Strom, der durch den Ladungspumpentakttreiber
gezogen wird, unter dieselben Bedingungen mit den offenen Kreisen
und Quadraten, die den Bedingungen 4,4 Volt bzw. 5,6 Volt des ungeregelten
Ladungspumpentakttreibers entsprechen, und mit geschlossenen Kreisen und
Quadraten, die den Bedingungen 4,4 Volt bzw. 5,6 Volt des geregelten
Ladungspumpentakttreibers entsprechen. Wie man sehen kann, zieht
der Ladungspumpentakttreiber bei minus 6 Volt bei ungeregelter Versorgung
ungefähr
4,5 Milliampere, wie durch die Koordinate 306 dargestellt
ist. Bei 5,6 Volt bei ungeregelter Versorgung zieht der Ladungspumpentakttreiber
ungefähr
12 Milliampere, wie durch die Koordinate 307 dargestellt.
Mit der geregelten Versorgung ist der von dem Ladungspumpentakttreiber gezogene
Strom bei dem niedrigen Bereich von 4,4 Volt bei der Koordinate 308 dargestellt
und beträgt ungefähr 4 Milliampere.
In der hohen Spannungsbedingung der Versorgung bei 5,6 zieht der
geregelte Ladungspumpentakttreiber ungefähr 7 Milliampere, wie bei der
Koordinate 309 dargestellt. Somit kann man sehen, daß unter
den ungeregelten Bedingungen der von dem Ladungspumpentakttreiber
gezogene Strom bei einem Ausgang von minus 6 Volt über einen
Bereich von ungefähr
4,5 bis 12 Milliampere schwankt, während mit der geregelten Spannung
an dem Ladungspumpentakttreiber der Strom von 4 bis 6,5 Milliampere
schwankt. Dies ist eine wesentliche Verbesserung der Leistung für die Ladungspumpe gemäß der vorliegenden
Erfindung. Eine weiter verbesserte Steuerung der Fluktuation bzw.
Schwankung von Strömen
in dem Ladungspumpentakttreiber kann durch genaue Steuerung der
Pumpentaktfrequenz erzielt werden.
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12 stellt
eine bevorzugte Anwendung der geregelten Ladungspumpe der vorliegenden
Erfindung dar. Insbesondere ist ein integrierter Schaltkreis einer
Flash-EEPROM-Einrichtung dargestellt. Somit beinhaltet der integrierte
Schaltkreis von 12 ein Flash-EEPROM-Speicherarray 200,
das mit einer Mehrzahl von redundanten Speicherzellen 201 verbunden
ist, die zum Ersetzen ausgefallener Zellen in dem Hauptarray wie
in der Technik bekannt verwendet werden. Eine Mehrzahl von Referenzzellen 202 werden
mit Sensorverstärkern 207 zum
differentiellen Abtasten des Zustandes der Zellen in dem Speicherarray
verwendet.
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An
das Speicherarray 200 sind Wortleitungs- und Blockauswahl-Dekodierer 204 zur
horizontalen Dekodierung in dem Speicherarray angeschlossen. Außerdem sind
an das Speicherarray 200 der Spalten-Dekodierer und der
virtuelle Masseschaltkreis 205 zur vertikalen Dekodierung
in dem Array angeschlossen.
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An
den Spalten-Dekodierer und den virtuellen Masseschaltkreis 205 sind
die Programmierdaten-Eingabestrukturen 203 angeschlossen.
Somit stellen die Sensorverstärker 207 und
die Programmierdaten-Eingabestrukturen 203 Dateneingangs- und
-ausgangsschaltungen bereit, die an das Speicherarray angeschlossen
sind.
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Der
integrierte Flash-EEPROM-Schaltkreis wird typischerweise in einem
Nur-Lese-Modus, einem Programmiermodus und einem Löschmodus betrieben.
Daher ist die Modussteuerschaltung 206 mit dem Array 200 verbunden.
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Schließlich wird
gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung während
der Programmier- und Löschmodi
ein hohes positives oder ein negatives Potential an das Gate, die
Source und/oder die Drain der Speicherzellen angelegt. Daher werden
ein Generator negativer Spannung 208 wie die Ladungspumpe
von 9 und ein Generator positiver Spannung 209 wie
die Ladungspumpe von 1 zum Bereitstellen der verschiedenen
Referenzspannungen an das Array verwendet. Die Generatoren negativer
und positiver Spannungen 208 und 209 werden von
einem Reglerschaltkreis 210 wie oben beschrieben getrieben,
der seinerseits durch die Stromversorgungsspannung VDD auf
der Leitung 211 versorgt wird, die als 5 Volt und über einen
Bereich von +/–10%
schwankend spezifiziert ist.
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Dementsprechend
stellt die vorliegende Erfindung einen Ladungspumpenmechanismus
zur Verwendung bei Flash-EEPROM-Einrichtungen zur Verfügung, der
deutlich verbesserte Leistungseigenschaften zum Zweck des Betriebs
bei niedriger Leistung und zum Zweck konsistenter Programmier- und Löschoperationen
bietet. Die durch die vorliegende Erfindung gelehrte Technik unterdrückt die
Schwankung des Ausgangsstromes und des Treiberstromes, wenn die
Versorgungsspannung zwischen 5,6 Volt bei Null Grad Celsius und
4,4 Volt bei 85 Grad Celsius schwankt. Ferner reduziert sie nicht
den Ausgangsstrom am unteren Ende der Versorgungsspannung bei 4,4
Volt und 85 Grad Celsius. Die Schwankung in den Strömen beruht
hauptsächlich
auf den Taktfrequenzdifferenzen, die ungefähr das 1,8-Fache betragen.
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Während das
Vorstehende eine vollständige und
komplette Offenbarung der Erfindung liefert, liegen für Fachleute
auf dem Gebiet natürlich Änderungen,
Integrationen, alternative Implementierungen und Konstruktionen
auf der Hand, die nicht von dem Schutzumfang der Erfindung abweichen.
Daher sollten die vorstehenden Beschreibungen und Darstellungen
nicht als den Schutzbereich der Erfindung beschränkend ausgelegt werden, der
in den folgenden Ansprüchen
definiert ist.