DE69423217T2

DE69423217T2 - Fluidflussventil

Info

Publication number: DE69423217T2
Application number: DE69423217T
Authority: DE
Inventors: J. Aliano; M. Barolli; J. Greenwood; Taeenon Lee
Original assignee: Carten Controls Inc
Current assignee: Carten Controls Inc
Priority date: 1993-07-16
Filing date: 1994-07-18
Publication date: 2000-06-21
Anticipated expiration: 2014-07-19
Also published as: IL110341A; US5385334A; JPH09502243A; KR960704185A; WO1995002778A1; DE69423217D1; EP0708898A1; IL110341A0; EP0708898A4; US5482254A; SG47436A1; KR100387921B1; EP0708898B1

Description

Gebiet der Technik

Die vorliegende Erfindung betrifft generell Ventile, und genauer, doch nicht in beschränkender Weise, ein neuartiges Durchflußventil, welches besonders nützlich bei Anwendungen ist, bei welchen ein Aufrechterhalten der Reinheit des Fluids, welches durch das Ventil hindurchfließt, entscheidend ist.

Stand der Technik

Durchflußventile finden breite Verwendung bei einer Vielzahl von Anwendungen zum Steuern des Fließens von Fluiden. Bei einigen Anwendungen ist es entscheidend, daß die Unreinheit des Fluids, welche durch das Ventil hindurchfließt, aufrechterhalten wird. Ein Beispiel einer derartigen Anwendung besteht in der Handhabung von Gas bei der Herstellung von Halbleitern.
Bekannte herkömmliche Ventile (siehe beispielsweise die Schrift EP-A-377 418, Fig. 3, welche eine Basis für den Oberbegriff von Anspruch 1 bildet) für derartige Anwendungen wie die letztere oben erwähnte weisen den Nachteil auf, daß es die Anordnung davon ermöglicht, daß Unreinheiten in die Gase eintreten, welche durch diese hindurchfließen. Beispielsweise verwenden derartige herkömmliche Ventile typischerweise als Dichtungselement eine relativ große Scheibe bzw. einen Stopfen, welche bzw. welcher aus einem synthetischen Material, wie etwa Kel-F, aufgebaut ist. Dieses relativ große Volumen eines synthetischen Materials absorbiert Feuchtigkeit, welche als Unreinheit in das Gas eintreten kann. Andere Unreinheiten, wie etwa andere Gase, können in ähnlicher Weise absorbiert werden. Ferner sind die Dichtungsscheiben bzw. -stopfen derartiger Ventile mittels Schrauben mit Köpfen angebracht, welche in den Strömungsweg hinein hervorstehen, wobei die Strömung unterbrochen wird und/oder dies zu einer Erzeugung von Verunreinigungsteilchen führt. Ferner weisen derartige Ventile häufig weitere derartige Vorsprünge bzw. scharfe Kanten auf, welche sich auch für eine Erzeugung von Verunreinigungsteilchen eignen.
Ein weiterer Nachteil einiger bekannter herkömmlicher Ventile besteht darin, daß es, wenn diese zu einer Verschlußposition bewegt werden, einen Abstreifvorgang zwischen Dichtungselementen gibt, wobei der Abstreifvorgang dazu vorgesehen ist, Abriebmaterial von den Flächen der Dichtungselemente abzustreifen. Durch dieses Merkmal wird selbstverständlich Verunreinigungsteilchenmaterie in das Fluid abgelöst, welches durch die Ventile hindurchfließt.
Ein weiterer Nachteil einiger bekannter herkömmlicher Ventile besteht darin, daß deren Aufbau bewirkt, daß diese größer sind, als dies mit einem verbesserten Aufbau erforderlich wäre.
Es ist die Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Durchflußventil zu schaffen, bei welchem das Volumen des Dichtungselements minimiert ist.
Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Durchflußventil vorzusehen, bei welchem es keine Vorsprünge bzw. scharfe Kanten gibt, welche zu einer Erzeugung von Verunreinigungsteilchen führen können.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Durchflußventil zu schaffen, welches keinen Abstreifvorgang zwischen Dichtungselementen vorsieht, wenn das Ventil geschlossen ist.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein Durchflußventil zu schaffen, welches von derart verbessertem Aufbau ist, daß es kleiner als herkömmliche Ventile ist.
Weitere Aufgaben der vorliegenden Erfindung werden, ebenso wie besondere Merkmale, Elemente und Vorteile davon, in der folgenden Beschreibung und den beigefügten Zeichnungsfiguren erläutert bzw. sind daraus ersichtlich.
Die vorliegende Erfindung schafft ein Durchflußventil mit einem Körper und einem beweglichen Element mit einer unteren Seite, wobei das bewegliche Element zwischen einer Position, welche sich in Abstand von einer Dichtungsposition in dem Körper befindet, wenn sich das Ventil in einer Öffnungsposition befindet, und der Dichtungsposition, wenn sich das Ventil in einer Verschlußposition befindet, beweglich ist, wobei ein ringförmiges Dichtungselement innerhalb des Außenumfangs der Unterseite des beweglichen Elements angeordnet ist, um sich in abdichtendem Eingriff mit einem Abschnitt des Körpers zu befinden, wenn sich das Ventil in der Verschlußposition befindet; dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtungselement innerhalb eines Flanschabschnitts des beweglichen Elements angeordnet ist, welcher um das bewegliche Element herum ausgebildet ist; die Unterseite des beweglichen Elements einen flachen Mittelabschnitt und einen Zwischenabschnitt umfaßt, welcher den flachen Mittelabschnitt mit dem Flanschabschnitt kreuzt und sich mit diesem verbindet; und die Kreuzung des Mittelabschnitts und der Zwischenabschnitte glatt und gerundet ist.

Kurze Beschreibung der Zeichnung

Ein Verständnis der vorliegenden Erfindung und der verschiedenen Aspekte davon wird durch Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungsfiguren erleichtert, welche lediglich zu Erläuterungszwecken vorliegen und nicht dazu beabsichtigt sind, den Umfang der Erfindung zu definieren, wobei:
Fig. 1 ist eine Seitenansicht, teilweise in Querschnitt, eines Durchflußventils, welches erfindungsgemäß aufgebaut ist.
Fig. 2 ist eine Perspektivansicht des Ventils von Fig. 1.
Fig. 3 ist ein fragmentarisches vergrößertes Detail eines Abschnitts von Fig. 1.

Beste Ausführungsweise der Erfindung

Es sei nun auf die Zeichnungsfiguren Bezug genommen, bei welchen ähnlichen bzw. identischen Elementen übereinstimmende Kennziffern in den verschiedenen Figuren davon gegeben wurden, und wobei eingeklammerte Bezüge auf Figurenzahlen den Leser zu den Ansichten leiten, auf welchen das Element (die Elemente), welches beschrieben wird (welche beschrieben werden) am besten zu sehen ist (sind), obwohl das Element (die Elemente) auch auf anderen Ansichten sichtbar ist (sind).
In Fig. 1 und 2 ist zunächst ein Durchflußventil dargestellt, generell durch die Bezugsziffer 10 angezeigt, welches erfindungsgemäß aufgebaut ist. Ein Ventil 10 umfaßt einen Körper 12 in der Gestalt eines generell hohlen rechteckigen Fest körpers, an welchen Einlaß- und Auslaßrohre 14 bzw. 16 geschweißt sind. Eine generell hohle äußere Zylinderschale 18 ist schräg bei dem proximalen Ende davon an der Oberseite des Körpers 12 bei einer darin definierten Öffnung mittels einer elliptischen Schweißstelle 20 angebracht (Fig. 2).
Ein generell hohler, zylindrischer Aufsatz 30 ist in Axialrichtung mittig innerhalb einer Außenschale 18 angeordnet und ist durch Anschweißen fest an einem kreisförmigen Aufsatzflansch 32 angebracht, welcher abnehmbar fest an dem distalen Ende einer Außenschale 18 mittels einer Vielzahl von Schrauben, wie bei 34, angebracht ist, welche in einen ringförmigen Flansch 36 gesteckt sind, welcher fest um den Außenumfang des distalen Endes der Außenschale herum angeordnet ist.
Es sei nun auf Fig. 1 Bezug genommen, lediglich für ein Verständnis der Innenelemente eines Ventils 10.
Ein Trapezgewindeschaft 40 mit einem Handrad 42, welches fest an dessen distalem Ende angebracht ist, und einem definierten Gewinde 44 längs dessen proximalem Ende ist in Axialrichtung mittig innerhalb eines Aufsatzes 30 angeordnet. Ein Schaft 40 ist innerhalb eines Aufsatzes 30 gegen eine radiale Bewegung in Bezug darauf mittels eines ringförmigen oberen Führungslagers 46, welches innerhalb des Innenumfangs des proximalen Endes des Aufsatzes angeordnet ist, und eines ringförmigen unteren Führungslagers 48, welches innerhalb des Innenumfangs des proximalen Endes des Aufsatzes angeordnet ist, befestigt. Ein oberes Führungslager 46 ist mittels eines Halterings 50 am Ort befestigt. Eine ringförmige Witterungsdichtung 51 befindet sich in abdichtendem Eingriff mit einem Trapezgewindeschaft 40 und dem distalen Ende eines Aufsatzes 30. In einer Rille, welche um den Innenumfang des proximalen Endes eines Aufsatzes 30 herum definiert ist und von dem distalen Ende des Aufsatzes ausgehend verläuft, ist eine ringförmige Trapezgewindemutter 60 angeordnet, in welche ein Gewinde 44 eines Trapezgewindeschafts 40 gesteckt ist. Eine Trapezgewindemutter 60 ist fest an dem distalen Ende eines Aufsatzes 30 mittels eines Gewindes und einer Heftverschweißung angebracht.
Die Verwendung eines Trapezgewindes, welches eine flache Oberfläche auf dem Außenumfang der Gewindegänge davon aufweist, ermöglicht es, daß das untere Führungslager 48 direkt an dem Gewinde anliegt. Dies ermöglicht es, die Länge eines Schafts 40 über herkömmlichen Ventilen dadurch zu verkürzen, daß die letzteren typischerweise zwei radiale Unterstützungslager auf dem gewindefreien Abschnitt des Schafts festlegen. Die letztere Anordnung erfordert es, daß der Schaft unnötig lang ist.
Benachbart zu dem proximalen Ende eines Trapezgewindeschafts 40 ist ein scheibenförmiger Schubboden 62 angeordnet, welcher in einer Ebene liegt, welche senkrecht zu der Hauptachse eines Aufsatzes 30 ist. Angeordnet zwischen einem Schubboden 62 und dem proximalen Ende eines Trapezgewindeschafts 40 und in Berührung mit dem letzteren befindet sich eine ringförmige Druckscheibe 64, welche in einer Ebene liegt, welche parallel zu der Ebene eines Schubbodens 62 ist. Angeordnet zwischen einer Druckscheibe 64 und einem Schubboden 62 ist eine ringförmige Wellenscheibe 66. Eine Schraube 68, deren Kopf in die untere Fläche eines Schubbodens 62 hinein kegelig ausgesenkt ist, ist in das proximale Ende eines Trapezgewindeschafts 40 gesteckt und daran durch Heftschweißen befestigt, wobei derart der Schubboden und die Druckscheibe 64 axial befestigt und eine Trapezgewindemutter 60 an dem proximalen Ende des Trapezgewindeschafts befestigt werden. Ein Schubboden 62 und das proximale Ende eines Trapezgewindeschafts 40 sind ebenfalls mittels einer quadratischen gewindefreien Nabe, welche unterhalb des Kopfs einer Schraube 68 ausgebildet ist, miteinander verbunden.
Ein Schubboden 62 und eine Druckscheibe 64 sind innerhalb eines generell zylindrischen, mittig hohlen Abschnitt 80 einer Sitzhalterung 82 bzw. eines beweglichen Elements angeordnet, wobei ein scheibenförmiges Drucklager 83 zwischen der unteren Fläche eines Schubbodens 62 und dem Boden des mittig hohlen Abschnitts angeordnet ist. Eine Druckscheibe 64 und daher eine Wellenscheibe 66 sind innerhalb eines mittig hohlen Abschnitts 80 mittels eines ringförmigen Halterings 84 befestigt, welcher in einer Rille angeordnet ist, welche um den oberen Umfang des mittig hohlen Abschnitts herum definiert ist, wobei die untere Fläche des Halterings an der oberen Fläche der Druckscheibe anliegt.
Um einen Aufsatz 30 herum befindet sich ein zylindrischer hohler Balg 90 und umhüllt diesen. Das proximale Ende eines Balgs 90 ist fest an dem Außenumfang eines Rands 92 angebracht, welcher als Erweiterung der oberen Fläche einer Sitzhalterung 82 um den Umfang eines mittig hohlen Abschnitts 80 der Sitzhalterung herum ausgebildet ist. Das distale Ende eines Balgs 90 ist fest an einem Rand 94 angebracht, welcher als Erweiterung der unteren Fläche der mittleren Öffnung eines ringförmigen Balgflansches 96 ausgebildet ist. Ein Balgflansch 96 ist fest zwischen einem Aufsatzflansch 32 und der distalen Kante einer Außenschale 18 gefangen, wobei eine Nickelfoliendichtung auf der unteren Seite des Balgflansches angeordnet ist. Ein ringförmiger, halbelastischer Sitzeinsatz 100 bzw. ein ringförmiges Dichtungselement ist fest innerhalb des Außenumfangs einer unteren Fläche einer Sitzhalterung 82 angeordnet, wobei die Befestigungseinrichtung davon unten beschrieben wird.
Ein Ventil 10 ist in Fig. 1 in seiner Öffnungsposition dargestellt. Ein Ventil 10 wird mittels einer Drehung eines Handrads 42 im Uhrzeigersinn, welche die Drehung eines Tra pezgewinderingschafts 40 im Uhrzeigersinn verursacht, in seine Verschlußposition versetzt. Dies bewirkt, daß eine Sitzhalterung 82 und die anderen daran angebrachten Elemente in einen Körper 12 hinein vorrücken, bis sich ein Sitzeinsatz 100 in abdichtendem Eingriff mit der Kante einer kreisförmigen Rille 102 befindet, welche in dem Körper definiert ist. Während dieses Vorrückens wird eine Sitzhalterung 82 mit einem Sitzeinsatz darin gegen eine Drehung durch einen Balg 90 festgehalten und ist gegen die Drehbewegung eines Schubbodens 62 durch eine Druckscheibe 83 isoliert, wobei dies gewährleistet, daß der Sitzeinsatz sich in Eingriff mit der Kante einer kreisförmigen Rille 102 ohne Abstreifbewegung befindet. Es sei darauf hingewiesen, daß sich wünschenswerterweise keine Elemente eines Ventils 10 in dem Strömungsweg eines Fluids befinden, welches durch das Ventil hindurchfließt, wenn sich das Ventil in seiner Öffnungsposition befindet. Ferner sei darauf hingewiesen, daß sämtliche Elemente eines Ventils 10, welche mit dem Fluid in Berührung kommen, glatt sind, wobei sich keine Vorsprünge bzw. scharfe Kanten darauf befinden, wobei derart die Gelegenheit zur Ausbildung von teilchenförmigen Verunreinigungen minimiert wird.
Für ein Verständnis des Aufbaus einer Sitzhalterung 82 und der Einrichtung zum Befestigen eines Sitzeinsatzes 100 an der Sitzhalterung sei nun auf Fig. 3 Bezug genommen. Eine Sitzhalterung 82 umfaßt einen ringförmigen Flanschabschnitt 110, welcher um den oberen Abschnitt des Außenumfangs der Sitzhalterung herum ausgebildet ist, und einen flachen unteren Mittelabschnitt 112. Ein Flanschabschnitt 110 und ein Mittelabschnitt 112 sind durch einen schrägen Zwischenabschnitt 114 verbunden. Es ist zu sehen, daß ein nach außen gewölbter Zwischenabschnitt 116 zwischen einem mittleren Abschnitt und Zwischenabschnitten 112 und 114 stark gerundet ist, wobei derart ein scharfer Vorsprung vermieden wird, welcher sich aus einem unterschiedlichen Aufbau ergeben könnte.
Ein Sitzeinsatz 100 weist einen generell rechteckigen Querschnitt auf und paßt fest anliegend in eine entsprechende Stufe 120, welche in der unteren Außenkante eines Flanschabschnitts 110 einer Sitzhalterung 82 definiert ist, wobei die untere Fläche des Sitzeinsatzes bündig mit der unteren Fläche des Flanschabschnitts ist. Ein einstückiger Rand 122 hängt von der unteren Kante des Außenumfangs eines Flanschabschnitts 110 ab und liegt benachbart zu der zylindrischen Außenfläche eines Sitzeinsatzes 100. Nachdem ein Sitzeinsatz 100 derart an einer Sitzhalterung 82 angebracht wurde, wird ein (nicht dargestelltes) ringförmiges Werkzeug mit einer geneigten Innenfläche über die untere Außenkante eines Sitzeinsatzes 100 gezwängt, wobei das distale Ende eines Rands 122 nach innen gebogen und der Sitzeinsatz am Ort arretiert wird.
Ein Rand 122 bedeckt die Außenseite eines Sitzeinsatzes 100 nicht vollständig, doch ein monolithischer ringförmiger Flansch 124, welcher um die untere Außenkante des Sitzeinsatzes herum ausgebildet ist, verläuft jenseits des Rands nach außen. Diese Anordnung hat zwei Funktionen. Erstens verhindert ein Flansch 124 ein Schaben einer Sitzhalterung 82 an der Innenfläche einer Außenschale 18, wenn ein Ventil 10 angeordnet wird. Zweitens absorbiert, wenn ein Ventil 10 in Betrieb ist, ein Flansch 124 Schockwellen und verhindert eine Metall-auf- Metall-Berührung.
Es ist zu ersehen, daß ein Sitzeinsatz 100 einen kleinen Oberflächenbereich aufweist, welcher lediglich groß genug ist, um eine Dichtung mit dem Rand einer Rille 102 in einem Körper 12 zu bewirken, und ein relativ kleines Volumen eines Materials umfaßt, in welchem lediglich ein relativ kleines Volumen einer Feuchtigkeitsverunreinigung oder anderer Verunreinigungen absorbiert werden kann, im Gegensatz zu herkömmlichen Ventilen. Die Breite eines Sitzeinsatzes 100 beträgt lediglich etwa vier bis fünf Prozent des Durchmessers einer Sitzhalterung 82.
Es ist wichtig zu bemerken, daß sich, wenn das Ventil 10 zu seiner Verschlußposition bewegt wird, die flache untere Fläche eines Sitzeinsatzes 100 in Eingriff mit dem Rand einer Rille 102 ohne jeglichen Abstreifvorgang befindet.
Wie oben bemerkt, ermöglicht die Anordnung, bei welcher nes Trapezgewindeschafts 40 angeordnet ist, eine Verkürzung einer Abmessung eines Ventils 10. Eine weitere Verkürzung wird dadurch erreicht, daß ein Sitzeinsatz 100 über einem unteren Abschnitt 112 einer Sitzhalterung 82 angeordnet wird.
Die Bauteile eines Ventils 10 können aus einem beliebigen Material hergestellt werden, welches für eine Handhabung des Fluids (der Fluide) geeignet ist, und ein Sitzeinsatz 100 wird in den meisten Fällen vorzugsweise aus Kel-F hergestellt. Es ist daher zu ersehen, daß die oben dargelegten Aufgaben neben denjenigen, welche in der vorangehenden Beschreibung erläutert werden bzw. daraus ersichtlich sind, wirksam erreicht werden und es, da gewisse Änderungen des obigen Aufbaus vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der Erfindung (wie durch die beigefügten Ansprüche definiert) abzuweichen, beabsichtigt ist, daß der vollständige Gegenstand, welcher in der obigen Beschreibung enthalten ist bzw. in den beigefügten Zeichnungsfiguren dargestellt ist, lediglich als erläuternd und nicht in einem beschränkenden Sinn zu interpretieren ist.
Es sei darauf hingewiesen, daß die Ausdrücke "untere (-s, - r)", "obere (-s, -r)" in den Ansprüchen eine relative Bedeutung, das heißt, daß "untere (-s, -r)" als "zu der Rille (102) hin orientiert" und "obere (-s, -r)" als "zu dem Aufsatz flansch (32) hin orientiert" zu verstehen ist, und keine absolute Bedeutung haben, da die tatsächliche Orientierung des Ventils von der in den Fig. 1 und 2 dargestellten Orientierung verschieden sein kann.
Ferner sei darauf hingewiesen, daß die folgenden Ansprüche dazu beabsichtigt sind, sämtliche allgemeinen und besonderen Merkmale der in der vorliegenden Schrift beschriebenen Erfindung und sämtliche Festlegungen des Umfangs der Erfindung (wie durch die beigefügten Ansprüche definiert) zu umfassen, welche sprachlich als dazwischenfallend bezeichnet werden können.

Claims

1. Durchflußventil (10) mit einem Körper (12) und einem beweglichen Element mit einer unteren Fläche, wobei das bewegliche Element zwischen einer Position, welche sich in Abstand von einer Dichtungsposition in dem Körper befindet, wenn sich das Ventil in einer Öffnungsposition befindet, und der Dichtungsposition, wenn sich das Ventil in einer Verschlußposition befindet, beweglich ist, wobei ein ringförmiges Dichtungselement (100) innerhalb des Außenumfangs der unteren Fläche des beweglichen Elements angeordnet ist, um sich in abdichtendem Eingriff mit einem Abschnitt des Körpers zu befinden, wenn sich das Ventil in der Verschlußposition befindet; dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtungselement (100) innerhalb eines Flanschabschnitts (110) des beweglichen Elements angeordnet ist, welcher um das bewegliche Element herum ausgebildet ist; die untere Fläche des beweglichen Elements einen flachen Mittelabschnitt (112) und einen Zwischenabschnitt (114) umfaßt, welcher den flachen Mittelabschnitt (112) kreuzt und diesen mit dem Flanschabschnitt verbindet; und die Kreuzung des Mittelabschnitts und der Zwischenabschnitte glatt und gerundet ist.

2. Durchflußventil nach Anspruch 1, ferner umfassend einen Schaft (40) mit einem glatten Abschnitt an dem distalen Ende davon und einem Gewindeabschnitt (44) an dem proximalen Ende davon; wobei das Dichtungselement in Betrieb an dem proximalen Ende des Schafts angebracht ist und eine Drehung des Schafts bewirkt, daß sich das Ventil zwischen der Öffnungsposition und der Dichtungsposition bewegt; wobei ein oberes Führungslager (46) gegen den glatten Abschnitt des Schafts angeordnet ist, um den Schaft gegen eine radiale Bewegung davon zu unterstützen; und ein unteres Führungslager (48) gegen den Gewindeabschnitt des Schafts angeordnet ist, um den Schaft gegen eine radiale Bewegung davon zu unterstützen.

3. Durchflußventil nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei das Dichtungselement innerhalb einer Stufe angeordnet ist, welche in einer unteren Kante eines Außenumfangs des beweglichen Elements definiert ist.

4. Durchflußventil nach Anspruch 3, wobei die Stufe im wesentlichen der Querschnittsgestalt des Dichtungselements entspricht; und das bewegliche Element einen Rand umfaßt, welcher von dem Außenumfang des beweglichen Elements abhängt, welches umliegend um mindestens einen Abschnitt des Außenumfangs des Dichtungsglieds angeordnet ist.

5. Durchflußventil nach Anspruch 4, wobei das Dichtungselement einen einstückigen ringförmigen Flansch aufweist, welcher jenseits des Außenumfangs des beweglichen Elements verläuft.

6. Durchflußventil nach Anspruch 4 oder Anspruch 5, wobei das distale Ende des Rands (122) des beweglichen Elements zu der Mitte des beweglichen Elements hin gebogen wird, um das Dichtungselement am Ort zu arretieren.

7. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das bewegliche Element eine glatte Fläche (glatte Flächen) und keine scharfen Kanten bzw. Vorsprünge aufweist, welche mit einem Fluid in Berührung kommen, welches durch das Ventil hindurchfließt.

8. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei sich das Dichtungselement axial in Abstand von der unteren Seite des beweglichen Elements befindet.

9. Durchflußventil nach Anspruch 8, wobei das Dichtungselement eine untere Fläche aufweist und derart innerhalb des beweglichen Elements angeordnet ist, daß die untere Fläche des Dichtungselements bündig mit der unteren Fläche des beweglichen Elements ist.

10. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei sich das Dichtungselement in Eingriff mit dem Abschnitt des Körpers befindet, ohne Abstreifvorgang zwischen dem Dichtungselement und dem Abschnitt des Körpers, während das bewegliche Element zu der Dichtungsposition bewegt wird.

11. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei der Abschnitt des Körpers ein Rand einer in dem Körper definierten Rille ist und sich eine flache Fläche des Dichtungsglieds in Eingriff mit dem Rand befindet, ohne Abstreifvorgang zwischen der flachen Seite und dem Rand, wenn das bewegliche Element zu der Dichtungsposition bewegt wird.

12. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei die Breite des Dichtungselements von der Größenordnung von etwa vier oder fünf Prozent der Breite des beweglichen Elements ist.

13. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 12, wobei das Ventil einen generell hohlen Körperabschnitt mit einer geradlinigen festen Gestalt mit Einlaß- und Auslaßöffnungen umfaßt, welche an gegenüberliegenden Flächen davon auf der Hauptachse des Körpers definiert sind, wobei an dem Körper ein generell hohler zylindrischer Schalenabschnitt angebracht ist, die Hauptachse des Schalenabschnitts bei einem schrägen Winkel zu der Hauptachse des Körperabschnitts angeordnet ist, der Körperabschnitt und der zylindrische Schalenabschnitt bei einer gemeinsamen elliptischen Öffnung schräg verbunden sind.

14. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei das Dichtungselement einen monolithischen Abschnitt davon umfaßt, welcher jenseits des Außenumfangs des beweglichen Elements verläuft.

15. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei das ringförmige Dichtungselement eine Dichtungsfläche aufweist, welche zu allen Zeitpunkten an einer im wesentlichen bündigen Schnittstelle mit einem Abschnitt der unteren Fläche verbunden ist, welcher dem ringförmigen Dichtungselement unmittelbar benachbart ist, wobei sich kein Spalt bzw. keine Flächenunterbrechung dazwischen befindet.

16. Durchflußventil nach einem der Ansprüche 1 bis 15, wobei das Dichtungselement an dem beweglichen Element angebracht ist, ohne daß eine Schraube durch das Dichtungselement hindurch verläuft.

17. Durchflußventil nach Anspruch 2 oder einem der Ansprüche 3 bis 16, wenn diese in Zusammenhang mit Anspruch 2 stehen, ferner umfassend ein Drucklager, welches zwischen einer oberen Fläche des beweglichen Elements und einem Schubboden (62) und in Berührung damit angeordnet ist; eine Druckscheibe (64), welche zwischen dem Schubboden und dem distalen Ende des Schafts angeordnet ist; eine Einrichtung zum Befestigen des aufnehmenden Schubbodens und der Druckscheibe an dem distalen Ende des Schafts; und eine ringförmige Wellenscheibe, welche zwischen dem Schubboden und der Druckscheibe angeordnet ist.