DE69313517D1 - Ladungsträgerstrahlgerät und Verfahren zum Betrieb desselben - Google Patents
Ladungsträgerstrahlgerät und Verfahren zum Betrieb desselbenInfo
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4166720A JPH05343019A (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 荷電粒子線装置およびその観察方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69313517D1 true DE69313517D1 (de) | 1997-10-09 |
DE69313517T2 DE69313517T2 (de) | 1998-04-02 |
Family
ID=15836509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69313517T Expired - Fee Related DE69313517T2 (de) | 1992-06-03 | 1993-06-02 | Ladungsträgerstrahlgerät und Verfahren zum Betrieb desselben |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5393977A (de) |
EP (1) | EP0573891B1 (de) |
JP (1) | JPH05343019A (de) |
DE (1) | DE69313517T2 (de) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3109785B2 (ja) * | 1993-12-21 | 2000-11-20 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ装置 |
JP3483293B2 (ja) * | 1994-04-01 | 2004-01-06 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡用画像処理装置 |
JP3453247B2 (ja) * | 1996-05-23 | 2003-10-06 | 日本電子株式会社 | 走査電子顕微鏡およびその制御方法 |
JP2004500542A (ja) | 1998-09-03 | 2004-01-08 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | 電子出現分光法を用いる欠陥の化学分析 |
WO2000014519A1 (en) * | 1998-09-03 | 2000-03-16 | Kla-Tencor Corporation | Chemical analysis of defects using electron appearance spectroscopy |
JP2001235438A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Jeol Ltd | 像観察方法および走査電子顕微鏡 |
JP2002352762A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-06 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
JP2003007244A (ja) * | 2001-06-25 | 2003-01-10 | Jeol Ltd | 荷電粒子線装置における像の表示方法および荷電粒子線装置、並びに分析装置における像の表示方法及び分析装置 |
JP2003014610A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP4014917B2 (ja) * | 2002-04-11 | 2007-11-28 | 株式会社キーエンス | 電子顕微鏡及び電子顕微鏡の操作方法 |
JP2004006219A (ja) * | 2002-04-11 | 2004-01-08 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP4014916B2 (ja) * | 2002-04-11 | 2007-11-28 | 株式会社キーエンス | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2004132867A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-30 | Shimadzu Corp | 基板検査装置 |
JP2004158358A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡の操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP4039933B2 (ja) * | 2002-11-08 | 2008-01-30 | 株式会社キーエンス | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡の操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP4057892B2 (ja) * | 2002-11-08 | 2008-03-05 | 株式会社キーエンス | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡の操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP4111805B2 (ja) * | 2002-11-11 | 2008-07-02 | 日本電子株式会社 | X線分析装置 |
JP3991945B2 (ja) * | 2003-08-11 | 2007-10-17 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡 |
US7414243B2 (en) * | 2005-06-07 | 2008-08-19 | Alis Corporation | Transmission ion microscope |
JP2005326206A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Jeol Ltd | 分析条件シート及び分析条件記録媒体並びに試料分析装置 |
EP1670028B1 (de) * | 2004-12-07 | 2017-02-08 | JEOL Ltd. | Apparat zur automatischen Korrektur eines Strahls geladener Teilchen |
JP2006190567A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線装置 |
JP5276860B2 (ja) * | 2008-03-13 | 2013-08-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
JP5677770B2 (ja) * | 2009-06-25 | 2015-02-25 | オリンパス株式会社 | 医療診断支援装置、バーチャル顕微鏡システムおよび標本支持部材 |
DE102010056337A1 (de) * | 2010-12-27 | 2012-06-28 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Teilchenstrahlsystem und Spektroskopieverfahren |
JP6796517B2 (ja) * | 2017-03-03 | 2020-12-09 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3748467A (en) * | 1971-09-07 | 1973-07-24 | Nibon Denshi K K | Scanning electron microscope |
JPS521869B2 (de) * | 1972-07-11 | 1977-01-18 | ||
NL7609574A (nl) * | 1975-09-03 | 1977-03-07 | Siemens Ag | Werkwijze voor de beeldweergave van de uit- gangsinformaties van een toestel dat een objekt aftast. |
JPS57212754A (en) * | 1981-06-24 | 1982-12-27 | Hitachi Ltd | Electron-beam controller for electron microscope |
JPS63231856A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等の制御方法 |
JP2685603B2 (ja) * | 1989-10-20 | 1997-12-03 | 日本電子株式会社 | 電子線装置 |
JPH03145045A (ja) * | 1989-10-27 | 1991-06-20 | Shimadzu Corp | 分析条件設定方法 |
-
1992
- 1992-06-03 JP JP4166720A patent/JPH05343019A/ja active Pending
-
1993
- 1993-06-01 US US08/069,573 patent/US5393977A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-06-02 EP EP93108866A patent/EP0573891B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-06-02 DE DE69313517T patent/DE69313517T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05343019A (ja) | 1993-12-24 |
EP0573891B1 (de) | 1997-09-03 |
DE69313517T2 (de) | 1998-04-02 |
EP0573891A1 (de) | 1993-12-15 |
US5393977A (en) | 1995-02-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |