DE69309418T3 - Koordinatenmessmaschine - Google Patents

Koordinatenmessmaschine

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DE69309418T3
DE69309418T3 DE1993609418 DE69309418T DE69309418T3 DE 69309418 T3 DE69309418 T3 DE 69309418T3 DE 1993609418 DE1993609418 DE 1993609418 DE 69309418 T DE69309418 T DE 69309418T DE 69309418 T3 DE69309418 T3 DE 69309418T3
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DE
Germany
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feet
coordinate measuring
measuring machine
measuring table
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DE1993609418
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DE69309418D1 (de
DE69309418T2 (de
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Anders Lindholm
Pettersson
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CE Johansson AB
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CE Johansson AB
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004Supports
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Koordinatenmessmaschine, die einen Unterteil, eine von dem Unterteil getragene Messeinrichtung und einen Messtisch aufweist, auf dem der zu messende Gegenstand angeordnet wird.
  • Koordinatenmessmaschinen werden verwendet, um die Koordinaten zahlreicher Punkte an der Oberfläche eines Gegenstandes mit außerordentlicher Genauigkeit zu bestimmen, um so das Aussehen des gemessenen Gegenstandes festzustellen. Z. B. kann eine Koordinatenmessmaschine verwendet werden, um die Koordinaten eines Prototyps zu messen, und die erhaltenen Messwerte werden dann verwendet, um eine Werkzeugmaschine bei der Herstellung eines Gegenstandes zu steuern, dessen Gestalt identisch mit dem gemessenen Gegenstand ist. Um die geforderte Messgenauigkeit zu erfüllen, werden Koordinatenmessmaschinen normalerweise mit großer Stabilität konstruiert, um so Verformungen in der Maschine zu verhindern, da eine Verformung dazu beiträgt, eine negative Auswirkung auf das Messergebnis zu haben.
  • WO 89/03505 offenbart eine Koordinatenmessmaschine, in welcher der Arbeitstisch auf dem Unterteil durch Blöcke abgestützt ist, die gleitfähig auf dem Unterteil abgestützt sind. Diese Anordnung soll den Arbeitstisch und den Unterteil gegenüber sowohl unterschiedlicher Ausdehnung und Zusammenziehung als auch gegenüber Verbiegungen isolieren, die durch das Gewicht des Werkstücks verursacht werden.
  • GB-A-2 080 954 beschreibt eine Koordinatenmessmaschine, die einen mit Rippen versehenen Grundrahmen aufweist, der entsprechende Hülsen bietet, die an den Schnittstellen von Rippen angeordnet sind, wobei jede Hülse in sich eine entsprechende, sich lotrecht erstreckende Stütze aufnimmt, deren unteres Ende auf dem Boden aufliegt und deren oberes Ende als Stütze für einen Messtisch mittels eines entsprechenden Lagerelements wirkt. Der Tisch ist durch den Grundrahmen lokalisiert aber nicht abgestützt, mittels Kupplungselementen in einer Weise frei von Spiel und Beanspruchungen, welche Elemente eine ringförmige Membran aufweisen können, die zwischen dem oberen Ende jeder Stütze und dem Rahmen angeordnet ist. Alternativ können die Kupplungselemente eine Kugel und einen Stift aufweisen, der an der Unterseite des Tischs befestigt ist und der in entsprechender Weise mit einer Kugelmuffe und einer geschlitzten Führung zusammenwirkt, die durch den Rahmen getragen sind.
  • Bei der vorliegenden Erfindung ist beabsichtigt, eine Verformung des Maschinenunterteils oder des Maschinenständers als Ergebnis von Biegelasten zu vermeiden, die durch den aufliegenden Tisch verursacht werden, wobei sich dieses Ziel auf alle Arten von Koordinatenmessmaschinen bezieht, die einen Unterteil oder einen Ständer aufweisen, der einen aufliegenden Tisch abstützt, auf dem der zu messende Gegenstand angeordnet wird und an dem die Säule oder die Säulen befestigt sind, die die Mess-Sonde der Maschine tragen.
  • Dieses Problem ist in den Fig. 1 bis 3 der beiliegenden Zeichnungen veranschaulicht, wobei diese Figuren schematisch eine Koordinatenmessmaschine der zuvor beschriebenen Art veranschaulichen, wobei ein zu messender Gegenstand 1 auf einem aufliegenden Tisch 2 angeordnet ist, der durch Füße 3 abgestützt ist, die auf einem Unterteil 4 ruhen. Eine Säule 5, die diese Elemente sowie Bewegungseinrichtungen trägt, die zum Bewegen der Sonde 6 in drei Richtungen unter rechten Winkeln zueinander benötigt werden, ist an dem Unterteil 4 befestigt. Der Unterteil 4 ist durch Füße 7 abgestützt. Fig. 2 ist eine teilweise geschnittene Ansicht der in Fig. 1 gezeigten Maschine von oben und zeigt die Füße 3 des aufliegenden Tischs an den Ecken eines imaginären gleichschenkeligen Dreiecks angeordnet.
  • Fig. 3 ist eine schematische, stark übertriebene Veranschaulichung, wie der Unterteil 4 prinzipiell durch einen zu messenden Gegenstand 1 verformt wird, der auf den Auflagetisch 2 gelegt ist. Es wird angenommen, daß der Schwerpunkt des Gegenstands mit dem Mittelpunkt des imaginären gleichschenkeligen Dreiecks zusammenfällt, das zwischen den Füßen 3 des aufliegenden Tischs 2 gezeichnet werden kann, wobei das Gewicht G des Gegenstands gleichmäßig zwischen den Füßen 3 verteilt wird und wobei der Unterteil einer punktförmigen Last G/3 an der Stelle der Füße 3 unterworfen wird. Der Auflagetisch (Unterteil) 4 wird daher einem Biegemoment unterworfen, das den Tisch veranlaßt, sich in der in Fig. 3 mit gestrichelten Linien stark übertriebenen Art und Weise zu biegen, wodurch der Tisch verformt wird und die Säule S veranlaßt, die an dem Tisch 4 befestigt ist, sich aus ihrer genau lotrechten Position herauszubewegen.
  • Diese Bewegung der Säule 5 wird durch die Wirkung des Gewichts des Gegenstands verursacht, der auf dem aufliegenden Tisch liegt, durch dessen Stellung auf dem Tisch und durch die Stellung seines Schwerpunkts. Eine Verformungs-Biegung des aufliegenden Tischs und eine daraus folgende Bewegung der Säule 5 aus ihrer genau lotrechten Stellung variiert daher in Abhängigkeit davon, wo der Gegenstand auf dem Tisch angeordnet wird und wie der Gegenstand angeordnet wird. Die Wiederholungsgenauigkeit der Koordinatenmessmaschine, d. h. eine Kontrollmessung, um sicherzustellen, daß ein hergestelltes Produkt mit einem Prototyp übereinstimmt, ist daher durch die oben beschriebene Biegedeformation beeinträchtigt. Jegliche Deformation des Auflagetischs hat andererseits nur eine unbedeutende Auswirkung, da jeder mit der Mess-Sonde 6 durchgeführte Messvorgang annimmt, daß das zu messende Objekt vorher ausgerichtet oder innerhalb des Bearbeitungsvolumens der Maschine aufgesetzt wurde, bevor der eigentliche Messvorgang durchgeführt wird.
  • Die vorgenannten Probleme werden gemäß der Erfindung mittels einer Messmaschine gelöst, wie sie in Anspruch 1 definiert ist. Dies stellt sicher, daß die Krafivektoren von den Tischfüßen durch die Füße des Unterteils hindurchgehen, unabhängig von jeglicher Deformation in dem Auflagetisch.
  • Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Koordinatenmessmaschine ruht jeder Fuß des Messtischs in einem entsprechenden halbsphärischen Napf, der auf dem Unterteil angeordnet ist.
  • Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel wird nun unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben:
  • Fig. 1 bis 3 sind eine Seitenansicht einer konventionellen Koordinatenmessmaschine, eine schematische Schnittansicht nach der Linie II-II in Fig. 1 und eine teilweise Seitenansicht, wobei diese Ansichten im vorstehenden mit der Absicht beschrieben wurden, die durch die Erfindung gelösten Probleme zu veranschaulichen;
  • Fig. 4 ist eine lotrechte Schnittansicht eines Unterteils und eines Auflagetischs einer Koordinatenmessmaschine gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
  • Fig. 5 ist eine Seitenansicht eines konventionellen Auflagetischs und zeigt den Tisch verformt durch das Gewicht des zu messenden Gegenstands in einer stark übertriebenen Weise; und
  • Fig. 6 ist eine Seitenansicht eines Lagerungsnapfes für einen Fuß eines Auflagetischs einer erfindungsgemäßen Koordinatenmessmaschine.
  • Die Fig. 4 und 6 veranschaulichen ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel des Unterteils 8 und des Auflagetischs 9 einer erfindungsgemäßen Koordinatenmessmaschine. Die Säule oder die Säulen, die die aktuelle Messeinrichtung trägt oder tragen, ist oder sind in den Zeichnungen nicht gezeigt, da eine solche Einrichtung nicht einen Teil der Erfindung bildet. Es sollte herausgestellt werden, daß die in den Fig. 1 bis 3 veranschaulichte konventionelle Messmaschine nur ein nicht beschränkendes Beispiel einer Messmaschine darstellt, auf das die Erfindung angewandt werden kann, und daß im Prinzip die Erfindung auf alle Koordinatenmessmaschinen angewandt werden kann, bei denen der zu messende Gegenstand auf einen Auflagetisch gelegt wird, der auf dem Maschinenunterteil ruht.
  • In dem in Fig. 4 veranschaulichten Ausführungsbeispiel hat der Auflagetisch drei Füße 10, die in der gleichen Weise wie die Füße 3 der in den Fig. 1 bis 3 veranschaulichten Maschine angeordnet sind, d. h. an den Ecken eines imaginären gleichschenkligen Dreiecks. Die Füße 10 des Auflagetischs 9 haben halbsphärische Oberflächen, die auf den Unterteil 8 zu weisen und in Lagerungsnäpfen 11 ruhen, die auf der oberen Oberfläche des Unterteils angebracht sind. Der Unterteil 8 ist mit Füßen 12 versehen, die unmittelbar unterhalb der Füße 10 an dem Auflagetisch angeordnet sind. Weil die Füße 10, 12 des Auflagetischs und des Unterteils lotrecht in einer Linie zueinander liegen, erhält man einen kontinuierlichen lotrechten Kraftfluß zwischen den entsprechenden Füßen des Tischs und des Unterteils, was bedeutet, daß ein auf den Auflagetisch aufgelegter Gegenstand nur den Unterteil mit Drucklasten beaufschlagt, da keine Momentenarme für die Krafivektoren auftreten, die durch entsprechende Füße an dem Tisch und an dem Unterteil wirken. Der Unterteil 8 wird daher nicht durch Biegung verformt.
  • Fig. 5 veranschaulicht schematisch und in übertriebener Weise, wie der Auflagetisch 2 der herkömmlichen, in Fig. 1 bis 3 veranschaulichten Koordinatenmessmaschine verformt wird, wenn er der Last eines zu messenden Gegenstands unterworfen wird. Wie in dieser Figur veranschaulicht ist, werden die Berührungspunkte zwischen den Füßen des Tischs 2 und dem Unterteil 4 bewegt und damit auch die Angriffspunkte der Krafivektoren, aufgrund der Deformation des Tischs. Eine solche Bewegung der Berührungspunkte schafft einen Momentenarm für den Kraftvektor durch die Tischfüße von entsprechender Größe, und es tritt ein Biegemoment auf, das den Unterteil verformen kann. Um sicherzustellen, daß eine Biegeverformung des Auflagetischs die Berührungspunkte zwischen den Füßen 10 des Tischs 9 und der oberen Oberfläche des Unterteils 8 nicht veranlaßt, sich zu bewegen, haben die Füße des Tischs 10 eine halbsphärische Gestalt an ihrer dem Unterteil benachbarten Seite. Infolgedessen liegen die Angriffspunkte der Krafivektoren durch die Tischfüße immer an derselben Stelle zentral oberhalb des Mittelpunkts der Füße des Unterteils, und der Unterteil wird nicht Biegemomenten als Ergebnis der Deformation des Tischs unterworfen. Um die Last über einen weiten Oberflächenbereich zu verteilen, ruhen die Füße 10 des Tischs 9 vorzugsweise in Lagerungsnäpfen 11, die an der oberen Oberfläche des Unterteils 8 angebracht sind. Diese Lagerungsnäpfe 11 werden bequemerweise an dem Unterteil 8 in einer Art und Weise angebracht, daß sie anzeigen, wie der Auflagetisch auf dem Unterteil angeordnet werden soll, und um sicherzustellen, daß der Auflagetisch richtig positioniert wird. Es ist jedoch notwendig, daß wenigstens zwei dieser Verbindungen zwischen den Näpfen 11 und dem Unterteil nachgiebig sind, um es so den Näpfen zu ermöglichen, sich zu bewegen, um thermische Expansionen und Toleranzfehler zu kompensieren.
  • Es ist zu verstehen, daß die Erfindung nicht auf das beschriebene und veranschaulichte Ausführungsbeispiel beschränkt ist und daß Abwandlungen innerhalb des Rahmens der Erfindung möglich sind. Z. B. können mehr als drei Füße vorgesehen werden, z. B. so, daß die Last auf mehrere Punkte verteilt wird oder daß die Neigungsstabilität des Auflagetischs erhöht wird. Ferner können die Füße des Tischs direkt auf den Unterteil aufgesetzt werden, wobei die Stellung der Füße des Unterteils auf irgendeine andere Weise als mittels der Lagerungsnäpfe markiert wird, z. B. durch an der Oberseite des Unterteils angebrachte Markierungen. Auch brauchen die Füße des Auflagetischs nicht sphärische Oberflächen zu haben, da das Biegemoment, das von den Berührungspunkten der Füße wegen der Deformation des Tischs herrührt, so klein ist, daß die erforderliche Genauigkeit oft aufrechterhalten werden kann. Die Erfindung ist daher nur durch den Umfang der nachfolgenden Ansprüche beschränkt.

Claims (2)

1. Koordinatenmeßmaschine mit einem Unterteil (8), einer von dem Unterteil getragenen Meßeinrichtung und einem Meßtisch (9), auf dem das zu messende Objekt angeordnet wird, wobei der Meßtisch (9) wenigstens drei Füße (10) hat, durch welche der Meßtisch auf dem Unterteil (8) ruht, und wobei der Unterteil die gleiche Anzahl von Füßen (12) aufweist, wie der Meßtisch, wodurch der Unterteil auf einer darunter liegenden Stützfläche ruht, dadurch gekennzeichnet, daß jeder dieser Füße direkt unterhalb einem entsprechenden Fuß (10) des Meßtischs angeordnet ist und daß jeder der Füße (10) des Meßtisches eine sphärische Oberfläche benachbart zu dem Unterteil (8) hat, so daß der Angriffspunkt der Kraftvektoren durch die Tischfüße oberhalb des Mittelpunkts der Füße (12) des Unterteils liegt.
2. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die sphärischen Oberflächen der Füße (10) des Meßtischs in halbsphärischen Näpfen (11) ruhen, die auf dem Unterteil (8) angeordnet sind.
DE1993609418 1992-12-22 1993-12-22 Koordinatenmessmaschine Expired - Lifetime DE69309418T3 (de)

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SE9203884A SE470223B (sv) 1992-12-22 1992-12-22 Koordinatmätmaskin

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DE69309418D1 DE69309418D1 (de) 1997-05-07
DE69309418T2 DE69309418T2 (de) 1997-10-09
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DE1993609418 Expired - Lifetime DE69309418T3 (de) 1992-12-22 1993-12-22 Koordinatenmessmaschine

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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19858428C2 (de) * 1998-12-17 2002-09-12 Leica Microsystems Koordinaten-Messanordnung
DE102005058504B3 (de) * 2005-12-02 2007-05-16 Zeiss Ind Messtechnik Gmbh Vorrichtung zum Bestimmen einer Messgröße an einem Messobjekt

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD152409A1 (de) * 1980-07-31 1981-11-25 Horst Donat Einrichtung zur ankopplung eines messtisches an das grundgestell einer messmaschine
US4495703A (en) * 1981-11-25 1985-01-29 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Coordinate measuring instrument
DE3690033T1 (de) * 1985-01-22 1987-04-02
US4594791A (en) * 1985-01-24 1986-06-17 The Warner & Swasey Company Bridge type coordinate measuring machine
US4763420A (en) * 1987-10-06 1988-08-16 Brown & Sharpe Manufacturing Company Base assembly for coordinate measuring machine

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Publication number Publication date
SE9203884D0 (sv) 1992-12-22
EP0604380B2 (de) 2001-03-07
SE9203884L (sv) 1993-12-06
DE69309418D1 (de) 1997-05-07
SE470223B (sv) 1993-12-06
DE69309418T2 (de) 1997-10-09
EP0604380A1 (de) 1994-06-29
EP0604380B1 (de) 1997-04-02

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