DE6925166U - Rollenbahn fuer aetzmaschinen od. dgl. - Google Patents

Rollenbahn fuer aetzmaschinen od. dgl.

Info

Publication number
DE6925166U
DE6925166U DE6925166U DE6925166U DE6925166U DE 6925166 U DE6925166 U DE 6925166U DE 6925166 U DE6925166 U DE 6925166U DE 6925166 U DE6925166 U DE 6925166U DE 6925166 U DE6925166 U DE 6925166U
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rollers
roller conveyor
pressure rollers
diameter
roller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE6925166U
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Hoellmueller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE6925166U priority Critical patent/DE6925166U/de
Publication of DE6925166U publication Critical patent/DE6925166U/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors 
    • B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)

Description

Hans Höllniüller 7033 Herrenberg/Württ. In Steingrafeen 19
für ÄtzaascMnen od. dgl.
33Ie vorliegende JSrfindraig "betrifft eine für Ätzmascliinen geeignete Hollenoahn, in der im Bereich der zwischen den einzelnen Behandlxingslcamsern angeordneten Schleusen Quetsch- -p/alzenpaare eingeschaltet sind.
Bei der verwendung derartiger Quetschwalzen tritt innner v/leder die Schwierigkeit auf, daß das plattenartige Ätzgut im Verlauf des Durchganges durch die Behandlungskananer eine leichte Wölbung erfährt, so daS die Vorderkante des Behandlungsgutes leicht abgehoben ist. Dieses aber hat wieder zur Folge, da£ das plattenähnliche Behandlungsgut nur schwer toil den oben!legenden .iietschwalzen erfaßt wird und sich so Tor dem ersten ^uetsehwelzenpaar staut.
Diese Schwierigkeit wird erfindungsgemäj nun dadurch behoben, daS den In der Vorschubx'lchtung vor den <juetschwalsenpaareu liegender, "ollen der besagten Rollenbahn cuf diesen aufsitzende Andrückrollen zugeordnet sind, die auf einer
federnd gelagerten Antriebsv/elle sitzen und
cer gr ißer, beispiclsv;eise ? bis 4 Ώεΐ ;~r.3er rls oer Du-rchaescer der Hellen der Rollenbahn 1st.
- 2 - 23. 6. 1969
Die federnde lagerung der die Andrückrollen tragenden gemeinsamen Antriebswelle ermöglicht dabei ein Ausweichen der Antriebsrollen, sodaß das plattenähnliche Ätzgut auch unterschiedliche Wandstärken aufweisen kann, dennoch aber ein beiderseitiges Anliegen der Rollen der Rollenbahn sowie auch der Andrückrollen an den beiden Seiten des plattenähnlichen Ätzgutes gewährleistet ist. Durch diese besonderen Abmessungen der Andrückrollen ds,gegen wird die leicht angehobene Torderkante des augeführten, plattenähnlichen Ätsgutes "von den Andrückrollen erfaßt und gegen die benachbarten Rollen der Rollenbahn gedrückt. Damit aber wieder ist gewährleistet, daß das die betreffende Behandlungskainmer verlassende plattenähnliehe Ätzgut nunmehr gestreckt den folgenden Quetschwalzen zugeführt wird.
TJm ein Erfassen der Vorderkante des plattenähnlichen Ätzgutes noch z-u verbessern, ist es vorteilhaft, wenn die Andrückrollen mit einem aus einem gegenüber dem Ätzmittel ssstä—äigen Material bestellenden, eine rauhe oder griffige Oberfläche aufweisenden Reifen versehen sind.
Sine besonders sweeiolienliche Ausbildung der federnden Lagerung der AntriebsweXl-e -särä erfinäimgsgeinäß dadurch erreicht, daß die I&gax dez? die Andrückrolle^, tragenden Antriebswelle sich gev/eils über Druckfedern an einem feststehenden Segenlager abstützen.
Eine beispielsweise Ausfülirungsforjn der erfindungsgemäßen Rollenbahn ist auf des? Zeichnung aargestellt.
23. 6. 1969
Es zeigen:
Fig. 1 einen teilv/eisen Längsschnitt der Rollenbahn
und
Fig. 2 einen Schnitt gemäß der Linie ?-2.
Die Fig. 1 zeigt einen Längsschnitt eines Teiles jj
der mit 1 bezeichneten Rollenbahn, der im Bereich des |
Endes einer mit 2 bezeichneten Behandlungskammer sowie | der sich anschließenden Schleuse 3 liegt. Die einzelnen Rollen dieser Rollenbahn 1 sind dabei mit 4 bezeichnet und sitzen jeweils auf gemeinsamen, von außen her gleichmäßig angetriebenen Antriebswellen 5. Die zur Schleuse 3 gehörigen : Quetschfaltenpaare dagegen sind mit 6 und 7 bezeichnet und von im Querschnitt halbkreisförmigen Rinnen 8 umgeben, durch die die durch die Quetschwalzen 6/7 zurückgehaltene !Flüssigkeit nach auSen abfließen kann.
Oberhalb der den Quetschwalzenpaares 6,7 /""" die Rollen 4' tragenden Antriebswelle 5r ist eine mit
9 bezeichnete Antriebswelle angeordnet, auf der jeweils mit den So Ilen 4' zusammenwirkende Andrückrollen 10 sitzen. Der Durchmesser D dieser Andrückrollen 10 ist ^ dabei 2 bis 3 mal so groß wie der Durchmesser d der $Jk z Rollen 4T. Außerdem tragen diese Aadrückrollen 10 jeweils einen mit 11 bezeichneten Reifen, der aus einem gegenüber dein Ätzmittel beständigen Material besteht und eine griffige Ob e rflache aufwei st.
-4-
lilt
I I 1
(c
- 4 - 23. 6. 1969
Die "beiden ait 12 "bezeichneten Enden der Antriebswelle sind elastisch, gelagert und stützen sich an unter der Wirkung von Druckfedern 15 stehenden Lagerschalen H ab. Biese lagerschale?! 14 sind wieder in mit 15 "bezeichneten Aussparungen der Seitenwände 16 gelagert, wo "bei die Druckfedern 13 sich an feststehenden, mit 17 "bezeichneten G-egenlagem abstützen. Weiterhin sind in den Seitenwänden "Langlöcher 18 eingearbeitet, die ein Anheben der Antriebswelle 9 in Richtung des Pfeiles 19 ermöglichen, gleichseitig aber wieder durch mit 20 bezeichnete Scheiben gegenüber der Behandlungskanmer 2 abgedeckt sind. Der Antrieb der Antriebswelle 9 erfolgt dabei über Zahnräder sowie die sieh hieran anschlieSenden Antriebsritzel Ms 24-
¥ird mm in der in der ?ig. 1 dargestellten Weise eine bereits gsätste, leicht gewölbte Platte 25 öen Andrückyflil jam IjQ in V■? nlyfaTmg «äs PfgÜBS 26 ga3-C--g!-gül3T'±. KQ Wird •die vorderkante 27 von den Reifen 11 der Andrückrollen
ttJ^^ CiIiL VL^Ji"
intriebsTi'/ells 51 sitzenäen Eollen 41 der Rollenbahn 1 gedrückt. Somit ist geiüänrleistei;, daß die Platte 25 gestreckt äen nacägesenalteten <uetsehwalsenpaaren 6/7 zuge
692516

Claims (5)

- 5 - 23. 6. 1969 SchutzansTsruche:
1. Rollenbahn für Atzmasehinen od. dgl. 3 in der walzenpaare eingeschaltet sind3 dadurch gekeg
j daß den In der YorschuDrlehirüng (2S) ircr den
walzenpaaren (6,7) liegenden Rollen (41) auf 5lesen
aufsitzende Andrückrollen (10) zugeordnet sind, die suf einer gemeinsamen, federnd gelagerten lntrle*rc--=lle (S.) sitzen.
2. Rollenbaini nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet3 da3 die Andrückrollen (10) einen größeres Durchmesser (U) als die Rollen (4) der Rollenbahn (1) haben.
3. Rollenbahn, nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser (D) der Andrückrollen (10) 2 Ms 4 BaI größer ist als der Durchmesser (d) der Rollen (4) öer Rollenbahn (1).
4. Rollenbahn nach Anspruch 1 bis 3, dadurch ge3cexrn?siclinst9 daß die Andrückrollen (10) mit einem aus einem gegenüber dem Ätzmittel beständigen Material bestehendem, eine rauhe oder griffige Oberfläche aufweisenden Reife» «(11) versehen sind.
5. Rollenbahn nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Lager (14) der die Andrückrollen (10) tragenden Antriebswelle (9) sich jeweils über Druckfedern (13)
an einem feststehenden Gegenlager (17) abstützen.
S/.
DE6925166U 1969-06-23 1969-06-23 Rollenbahn fuer aetzmaschinen od. dgl. Expired DE6925166U (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE6925166U DE6925166U (de) 1969-06-23 1969-06-23 Rollenbahn fuer aetzmaschinen od. dgl.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE6925166U DE6925166U (de) 1969-06-23 1969-06-23 Rollenbahn fuer aetzmaschinen od. dgl.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE6925166U true DE6925166U (de) 1969-10-23

Family

ID=34122638

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE6925166U Expired DE6925166U (de) 1969-06-23 1969-06-23 Rollenbahn fuer aetzmaschinen od. dgl.

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE6925166U (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3905345A1 (de) * 1989-02-02 1989-07-27 Gerlach Kay Vorrichtung zum reibschluessigen antrieb eines gegenstands, insbesondere einer trommel
DE19536358A1 (de) * 1995-09-29 1997-04-03 Heidelberger Druckmasch Ag Vorrichtung zum Bogentransport
DE10200356A1 (de) * 2002-01-08 2003-07-17 Bhs Corr Masch & Anlagenbau Transport-Einheit
DE102012210099A1 (de) * 2012-06-15 2013-12-19 Robert Bosch Gmbh Rollenförderer

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3905345A1 (de) * 1989-02-02 1989-07-27 Gerlach Kay Vorrichtung zum reibschluessigen antrieb eines gegenstands, insbesondere einer trommel
DE19536358A1 (de) * 1995-09-29 1997-04-03 Heidelberger Druckmasch Ag Vorrichtung zum Bogentransport
DE10200356A1 (de) * 2002-01-08 2003-07-17 Bhs Corr Masch & Anlagenbau Transport-Einheit
US6869003B2 (en) 2002-01-08 2005-03-22 Bhs Corrugated Maschinen- Und Anlagenbau Gmbh Conveyor unit
DE102012210099A1 (de) * 2012-06-15 2013-12-19 Robert Bosch Gmbh Rollenförderer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60226042T2 (de) SCHWEIßDRAHTZUFÜHRVORRICHTUNG
DE2931141C3 (de) Vorrichtung zum axialen Hin- ud Herbewegen einer Reibwalze
DE2028386A1 (de) Massagevorrichtung
DE2817958A1 (de) Foerderbandkurve
DE3148176A1 (de) Vorrichtung zum transportieren von foerdergut
DE6925166U (de) Rollenbahn fuer aetzmaschinen od. dgl.
DE102005039108A1 (de) Einrichtung zum Führen eines Unterriemchens in Streckwerken
DE2123529C3 (de) Rollenlager zur längsbeweglichen Lagerung eines Teiles auf einer ebenen Lauffläche, insbesondere Rollenumlaufschuh
DE2129871A1 (de) Krankenbahre
DE2653276C2 (de) Riemchenstreckwerk für Spinnereimaschinen
EP0506994A1 (de) Förderrollenbahn mit Riemenantrieb
DE3836646C2 (de) Faserkräuselvorrichtung
DE2359351A1 (de) Schaelmaschine fuer mandelartige fruechte
DE2631723C2 (de) Vorrichtung zum kontinuierlichen Abziehen bzw. Transportieren von langgestrecktem Gut
DE1251188B (de) Prägewalze fur die Behandlung von insbesondere thermoplastischen Warenbahnen
DE2227582A1 (de) Vorrichtung zum falten von bogen aus papier, folien oder dergleichen
EP0478822B1 (de) Vorrichtung zum Schälen von gekochten Eiern
DE1457945A1 (de) Erntemaschine fuer halmfoermiges Gut
DE102011107047A1 (de) Rückensteifer Kettenantrieb
EP3686133A1 (de) Längsförderer, insbesondere rollenbahn mit eingriffsschutz
DE1189897B (de) Spinnmaschinenstreckwerk mit einem auf Fuehrungsgliedern gefuehrten Riemchen und damit zusammenwirkenden Druckmitteln zwischen dem Ausgangswalzenpaar und dem Eingangswalzenpaar
AT266021B (de) Rolleneinführung für Walzwerke
DE3021683C2 (de) Walze für ein Doppel-Duo-Reversier-Walzgerüst
DE2049817A1 (en) Stretching cylinder - for tensile rubber material with an air cushion between cylinder and material
AT138983B (de) Führungsrahmen für die endlosen Riemen von Streckwerken für Textilvorgespinste.