DE69225765T2

DE69225765T2 - Magnetaufzeichnungs- und Wiedergabesystem

Info

Publication number: DE69225765T2
Application number: DE69225765T
Authority: DE
Inventors: Kazuhiko Shinagawa-Ku Tokyo Hayashi; Kenji Shinagawa-Ku Tokyo Katori; Akihiko Shinagawa-Ku Tokyo Okabe
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1991-10-22
Filing date: 1992-10-21
Publication date: 1999-01-28
Anticipated expiration: 2012-10-22
Also published as: EP0538823A3; JP3104328B2; DE69225765D1; JPH05114103A; EP0538823B1; EP0538823A2; US5991126A

Description

Diese Erfindung betrifft ein senkrechtmagnetisches Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabesystem, umfassend eine Vorrichtung für Aufzeichnung und/oder Wiedergabe und ein senkrechtmagnetisches Aufzeichnungsmedium.
Auf dem Gebiet der Magnetaufzeichnung ist die senkrechte Magnetaufzeichnung für die Erhöhung der Aufzeichnungsdichte und die Verringerung der Wellenlänge von Vorteil.
Darüberhinaus muß das senkrechtmagnetische Aufzeichnungsmedium für diese senkrechte Magnetaufzeichnung eine hohe Koerzitivkraft und eine hohe magnetische Restflußdichte aufweisen. Zu diesen Anforderungen wurden vielfältige Forschungs- und Entwicklungsarbeiten durchgeführt. Einige typische starre senkrechtmagnetische Aufzeichnungsscheiben sind bereits vorgeschlagen worden, bei welchen die senkrechtmagnetischen Aufzeichnungsschichten sämtlich aus einer CoCr-Legierung hergestellt sind.
Da jedoch die Sättigungsmagnetflußdichte 4πMs dieser CoCr-Legierung so klein wie 0,4 bis 0,6 T (4 bis 6 kG (Kilogauss)) ist, ist das dazu proportionale reproduzierte Ausgangssignal niedriger als der handhabbare Pegel. Insbesondere wegen der Charakteristik der senkrechten Magnetaufzeichnung ist das reproduzierte Ausgangssignal eines langen Wellenlängenbereichs (λ > 1 um) sehr viel niedriger als das des magnetischen Aufzeichnungsmediums des Längstyps.
Obwohl das reproduzierte Ausgangssignal dazu tendiert, mit zunehmender Koerzitivkraft der CoCr-Schicht anzusteigen, weist darüberhinaus der Magnetkopf für die senkrechte Magnetaufzeichnung, insbesondere ein einpoliger Magnetkopf, eine niedrige Kopfeffizienz auf. Ebenso weisen die erhältlichen weichmagnetischen Kernmaterialien für den Magnetkopf unzureichende Sättigungsmagnetflußdichten auf. Das Bestreben, die Koerzitivkraft der CoCr- Schicht zu steigern, ist somit nicht effektiv.
Natürlich weist die Koerzitivkraft des dünnen CoCr-Legierungsfilms selbst eine Grenze auf oder beträgt äußerstenfalls 1,2 · 10&sup5; A/m (1500 Oe).
Obwohl ferner der Index der Aufzeichnungsdichte D&sub5;&sub0; (die Aufzeichnungsdichte, bei der das Ausgangssignal in Bezug auf das Ausgangssignal bei der langen Wellenlänge halbiert ist) mit der Zunahme des anisotropen Magnetfelds in der magnetischen Schicht ansteigt, ist dieser Index der CoCr-Legierung auf äußerstenfalls 3,2 · 10&sup5; A/m bis 4,8 · 10&sup5; A/m (4 bis 6 kOe) begrenzt.
Die senkrechte Koerzitivkraft Hcv der CoCr-basierten Legierung beträgt 1,2 · 10&sup5; A/m (1500 Oe) wie oben angegeben, wenn die Unterlage, auf welcher diese Legierung durch Sputtern oder dergleichen abgeschieden ist, auf etwa 150ºC aufgeheizt wird, ist jedoch nur so niedrig wie etwa 2,4 · 10&sup4; A/m (300 Oe), wenn die Unterlagentemperatur etwa gleich der Raumtemperatur ist. Das senkrechte quadratische Verhältnis (Mr/Ms) ist etwa 0,2. In diesem Fall ist die Sättigungsmagnetflußdichte Bs relativ niedrig und die Unterlagentemperatur für die Abscheidung muß hoch gehalten werden, damit die vertikale Koerzitivkraft Hcv erhöht werden kann. Daher muß die zu verwendende Scheibenunterlage eine hohe Hitzebeständigkeit aufweisen. Die Notwendigkeit für eine hohe Unterlagentemperatur bringt vielfältige fertigungsbezogene Nachteile mit sich.
Um diesem Problem zu begegnen, hat der Abtretungsempfänger der vorliegenden Anmeldung früher in den japanischen offengelegten Patentveröffentlichungen Nr. 2-74012, Nr. 2-74013 und 2-73510 ein auf einer CoPt-Gruppe basierendes Material oder einen hauptsächlich CoPt enthaltenden senkrechtmagnetischen Film vorgeschlagen. Dieser auf einer CoPt-Gruppe basierende senkrechtmagnetische Film hat eine ausreichend große Koerzitivkraft Hc, auch wenn die Filmdicke so weit gesteigert werden muß, daß sie groß genug ist. Zusätzlich muß die Temperatur von seiner Scheibenunterlage nicht notwendigerweise bei der Abscheidung erhöht werden und die Sättigungsmagnetflußdichte Bs ist ausreichend groß.
Wenn jedoch der konventionelle Magnetkopf für die Aufzeichnung und Wiedergabe bei dieser Art eines auf einer CoPt-Gruppe basierenden senkrechtmagnetischen Films verwendet wird, kann eine Aufzeichnung mit hoher Dichte und eine Wiedergabe mit hohem Ausgangssignal auch dann nicht durchgeführt werden, wenn von den Charakteristiken dieses Films effektiver Gebrauch gemacht wird.
Weichmagnetische Fe-A-N-Filme als auch Fe-A-N/Si-N-Vielfachschichtfilme, bei welchen A eines von Al, Ti, Ta oder Si ist, sind in Appl. Phys. Lett. 54 (12), 20. März 1989, Seiten 1181- 1182, offenbart.
Es ist somit eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein senkrechtmagnetisches Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabesystem anzugeben, welches eine senkrechtmagnetische Aufzeichnungsvorrichtung mit Aufzeichnung und eine senkrechtmagnetische Wiedergabevorrichtung aufweist, in welchen die vorgenannten beim Stand der Technik auftretenden Nachteile und Unzulänglichkeiten eliminiert werden können.
Insbesondere ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine senkrechtmagnetische Aufzeichnungs- und eine senkrechtmagnetische Wiedergabevorrichtung anzugeben, welche von einem senkrechtmagnetischen Aufzeichnungsmedium aus einer auf CoPt basierenden oder auf CoPtBO basierenden Legierung Gebrauch machen, um eine Aufzeichnung mit hoher Dichte und eine Wiedergabe mit hohem Ausgangssignal zu erzielen.
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein senkrechtmagnetisches Aufzeichnungsystem mit den Merkmalen des beigefügten Anspruchs 1 angegeben.
Die obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung von illustrativen Ausführungsformen davon deutlich, die im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen zu lesen sind, in welchen gleiche Bezugsziffern verwendet werden, um gleiche oder ähnliche Teile in den jeweiligen Ansichten zu identifizieren.
Fig. 1 ist eine schematische perspektivische Ansicht von einer Ausführungsform des senkrechtmagnetischen Aufzeichnungssystems der Erfindung;
Fig. 2 ist ein schematisches Querschnittsdiagramm von einem Beispiel des in der Vorrichtung der Erfindung verwendeten senkrechtmagnetischen Aufzeichnungsmediums;
Fig. 3 ist eine schematische Seitenansicht von einem Beispiel des in der Vorrichtung der Erfindung verwendeten Magnetkopfes;
Fig. 4 ist ein Querschnittsdiagramm eines anderen Beispiels des Magnetkopfes;
Fig. 5 ist ein Querschnittsdiagramm eines anderen Beispiels des Magnetkopfes;
Fig. 6 ist eine Seitenansicht eines anderen Beispiels des Magnetkopfes;
Fig. 7 ist ein Querschnittsdiagramm eines anderen Beispiels des Magnetkopfes;
Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht eines anderen Beispiels des Magnetkopfes;
Fig. 9 ist ein Graph der charakteristischen Kurven der Aufzeichnungsdichte.
Vor der Beschreibung der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Theorie und Konzept der vorliegenden Erfindung in Kürze beschrieben.
Gemäß dieser Erfindung, wie dargestellt durch eine schematische perspektivische Ansicht eines wesentlichen Teils eines Beispiels des Aufbaus in Fig. 1 und durch eine Querschnittsansicht eines Beispiels des magnetischen Aufzeichnungsmediums in Fig. 2, ist eine senkrechtmagnetische Aufzeichnungsvorrichtung für die Aufzeichnung auf einem senkrechtmagnetischen Aufzeichnungsmedium 2 mit einem senkrechtmagnetischen Film 1, welcher hauptsächlich CoPt enthält und von welchem die vertikale Koerzitivkraft Hcv 1,2 · 10&sup5; A/m (1500 Oe) oder mehr beträgt, durch Verwendung eines Aufzeichnungskopfes 4, von welchem zumindest der magnetische Spaltabschnitt (die Spitze des magnetischen Pols bei einem einpoligen Aufbau) aus einem weichmagnetischen Dünnfilm 3 gebildet ist, der eine Sättigungsmagnetflußdichte 4πMs von 1,9 T (19 kG) oder mehr aufweist und hauptsächlich Fe enthält, angegeben.
Zusätzlich wird gemäß dieser Erfindung der Aufzeichnungskopf 4 als ein Wiedergabekopf verwendet, wodurch die senkrechtmagnetische Aufzeichnungsvorrichtung als eine senkrechtmagnetische Wiedergabevorrichtung verwendbar gemacht wird.
Ebenso gemäß dieser Erfindung ist der senkrechtmagnetische Film 1 des senkrechtmagnetischen Aufzeichnungsmediums 2 aus einem dünnen auf CoPtBO basierenden Legierungsfilm oder einem artifiziellen Gitterfilm aus Co und Pt hergestellt.
Ferner ist gemäß dieser Erfindung der weichmagnetische Dünnfilm 3 des Magnetkopfes 4 aus einem dünnen auf Fe-N basierenden Legierungsfilm oder einer Vielfachschicht davon hergestellt.
Da gemäß der Vorrichtung der Erfindung, wie oben beschrieben, das verwendete senkrechtmagnetische Aufzeichnungsmedium 2 aus dem senkrechtmagnetischen Film 1 aus CoPt- Basismaterial mit einer vertikalen Koerzitivkraft Hcv von 1,2 · 10&sup5; A/m (1500 Oe) oder mehr geformt ist, und da der Magnetkopf 4 verwendet wird, von welchem der magnetische Spaltabschnitt oder der einpolige Abschnitt aus dem weichmagnetischen Dünnfilm 3 geformt ist, welcher eine Sättigungsmagnetflußdichte 4πMs von 1,9 T (19 kG) oder mehr aufweist und hauptsächlich Fe enthält, können die Charakteristiken der senkrechtmagnetischen Schicht des CoPt-Basismaterials voll ausgenutzt werden, so daß eine Aufzeichnung mit hoher Dichte und eine Wiedergabe mit hohem Ausgangssignal erzielt werden können.
Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
Diese Erfindung kann auf die magnetische Aufzeichnungsvorrichtung oder die magnetische Wiedergabevorrichtung angewandt werden, die zum Beispiel von den Aufzeichnungsmedien des sogenannten starren Scheibentyps Gebrauch machen.
Fig. 2 der beigefügten Zeichnungen ist ein schematisches Querschnittsdiagramm eines Beispiels eines senkrechtmagnetischen Aufzeichnungsmediums 2, zum Beispiel einer senkrechtmagnetischen starren Scheibe. Die nichtmagnetische Unterlage 6 wird präpariert und die Hilfsmagnetschicht 7, die Orientierungskontrollschicht 5, der senkrechtmagnetische Film 1 und die Schutz-/Schmierschicht 8 werden sequentiell auf jeder der glatten Hauptoberflächen der nichtmagnetischen Unterlage gebildet, wie dargestellt.
Alternativ kann die Scheibe als ein Einseitentyp, obwohl nicht dargestellt, gebildet werden, in welchem die Hilfsmagnetschicht 7, die Orientierungskontrollschicht 5, der senkrechtmagneti sche Film 1 und die Schutz-/Schmierschicht 8 sequentiell auf einer Hauptoberfläche der nichtmagnetischen Unterlage 6 gebildet werden.
Die nichtmagnetische Unterlage 6 kann aus einem starren Scheibenmaterial wie einer Glasunterlage, einer PC-(Polycarbonat-)Unterlage oder einer PMMC-(Polymethylmethacrylat- )Unterlage gebildet werden.
Die Hilfsmagnetschicht 7 kann durch Abscheiden von, zum Beispiel, NiFe, CoNbZr oder Co- TaZr, welche eine hohe magnetische Permeabilität aufweisen, oder ein quasihartes magnetisches Material wie FeCo mit einer Dicke von 0 bis 1000 nm durch Sputtern, Aufdampfen oder andere Techniken gebildet werden.
Die Orientierungskontrollschicht 5 ist der Film zur Kontrolle oder Steuerung der senkrechten Eigenschaft oder Orientierungseigenschaft des senkrechtmagnetischen Films 1 und sie kann durch Abscheiden von, zum Beispiel, Pt oder Pd mit einer Filmdicke von 0 bis 500 nm durch Sputtern, Aufdampfen oder anderen Techniken gebildet werden.
Der senkrechtmagnetische Film 1 kann durch Abscheiden eines CoPt-Gruppenmaterials, zum Beispiel eines auf CoPtB oder eines auf CoPtBO basierenden Materials, oder durch Abscheiden ultradünner Filme von abwechselnd Co und Pt als ein artifizieller Gitterfilm mit einer Dicke von 10 bis 500 nm durch Aufdampfen, Sputtern oder andere Techniken gebildet werden.
Mit anderen Worten weist der senkrechtmagnetische Film 1 eine Zusammensetzung von, zum Beispiel, (Coa Ptb Bc)100-x Ox, (a, b, c, x in Atom-%)
a + b + c = 100
0 ≤ b ≤ 50
0,1 ≤ c ≤ 30
0 ≤ x ≤ 15
Dieser Film kann eine andere Zusammensetzung aus [Coa Ptb Bc M¹d]100-x Ox aufweisen, (a, b, c, d, x in Atom-%)
a + b + c + d = 100
0 ≤ b ≤ 50
0,1 c ≤ 30
0 < d ≤ 30,0 < x ≤ 15
(M¹ ist Ti, Zr, V, Cr, Nb, Mo, Ta, W, Fe, Ni, Si, Al, Ge, Ga, In, Sn, Pb, Sb, Bi, P, Se, C, Zn, Cu, Ag, Au, Ru, Pd, Re).
Dieser Film kann eine andere Zusammensetzung aus (Coa Ptb M²c]100-x Ox aufweisen, (a, b, c, x in Atom-%)
a + b + c = 100
0 ≤ b ≤ 50
0,1 ≤ c ≤ 30
0 ≤ x ≤ 15
(M² ist Ti, Zr, V, Cr, Nb, Mo, W).
Die Schutz-/Schmierschicht 8 wird durch Abscheiden einer Kombination aus, zum Beispiel, C, TiO&sub2; oder ZrO&sub2; und einem Schmiermittel mit einer Dicke von 1 bis 50 nm gebildet.
Das zu verwendende Schmiermittel kann eine Fettsäure oder ein Metallsalz davon, ein Fettsäureamid, ein aliphatischer Alkohol oder ein Alkoxid davon, ein aliphatisches Amin, ein mehrwertiger Alkohol, ein Sorbitester, ein Mannitester, eine Schwefelfettsäure, ein Fettsäuremerkaptan, denaturiertes Silikonöl, Perfluoralkylethylenoxid, Perfluorpolyether und ähnliche Materialien, eine höhere Alkylsulfosäure oder ein metallisches Salz davon, eine Perfluoralkylsulfosäure oder ein Ammoniumsalz oder ein metallisches Salz davon, eine Perfluorsäure oder ein Carboxylat oder ein metallisches Salz davon, ein Perfluoralkylcarboxylester, ein Perfluoralkylcarboxylat oder dergleichen sein. Zusätzlich kann, um mit stringerenten Arbeitsbedingungen mitzuhalten und den Schmiereffekt aufrechtzuerhalten, ein Hochdruckadditiv dem oben angegebenen Poly-(N-Perfluoralkylcarbamoyl-)Derivativ bei einem Gewichtsverhältnis von etwa 30 : 70 zu 70 : 30 beigemischt werden.
Dieses Hochdruckadditiv erzeugt, wenn es in partiellen Kontakt mit Metall in der begrenzenden, geschmierten Region gebracht wird, Reibungswärme, um mit der Metalloberfläche zu reagieren, und erzeugt dabei einen Reaktionsproduktfilm, um Reibung und Abrieb zu vermeiden. Die bekannten Hochdruckadditive umfassen phosphorbasierte Hochdruckadditive wie Phosphorester, Phosphit und Phosphorsäureaminsalz, schwefelbasierte Hochdruckadditive wie fette und ölige Sulfide, Monosulfide und Polysulfide, halogenbasierte Hochdruckadditive wie Iodverbindungen, Bromverbindungen und Chlorverbindungen, organometallische Hochdruckadditive wie Thiophosphat, Thiocarbamatsalz und Metallalkyldithiocarbamat, und Komposittyp-Hochdruckadditive wie Dialkylthiophosphorsäureaminsalz, Thiophosphat und Thiophosphit.
Zusätzlich zu den oben angegebenen Schmiermitteln und Hochdruckadditiven kann, falls notwendig, ein Rostschutzmittel verwendet werden.
Die Rostschutzmittel, die verwendet werden können, können alle solchen Materialien sein, die üblicherweise als diese Art von Rostschutzmittel für Magnetaufzeichnungsmedien verwendet werden. Diese Mittel umfassen Phenole wie zweiwertiges Phenol, Alkylphenol und Nitrosophenol, Naphtol wie reines Naphtol und Nitro-, Nitroso-, Amino- oder halogensubstituiertes Naphtol, Chinon wie Methylchinon, Hydroxychinon, Aminochinon, Nitrochinon und Halogenchinon, Diallylketone wie Benzophenon und Derivative davon, oder Hydroxybenzophenon und Aminobenzophenon, heterozyklische Verbindungen enthaltend Stickstoffatome wie Acridin, 4-Chinolinol, Chinolinsäure und Riboflavin, heterozyklische Verbindungen enthaltend Sauerstoffatome wie Tocophenol, Guanosin, heterozyklische Verbindungen enthaltend Schwefelatome wie Sulfolan, Sulfolen und Dithian, Verbindungen enthaltend Mercaptogruppen wie Thiophenol, Dithizon und Thiooxin, Thiocarboxylsäure oder Thiocarboxylat wie Ethanethionsäure oder Rubeansäure, und thiazolbasierte Verbindungen wie Diazosulfid und Benzothiazolin. Obwohl jede der oben angegebenen Rostschutzmittel mit jedem der Schmiermittel vermischt werden können, ist es effektiver, wenn, zum Beispiel, die Oberfläche des vorher auf der nichtmagnetischen Unterlage 1 geformten ferromagnetischen Metallfilms 2 zuerst mit dem obigen Rostschutzmittel und dann mit dem Schmiermittel wie zwei separate Schichten überzogen wird.
Für die Aufzeichnung wird das senkrechtmagnetische Aufzeichnungsmedium oder eine starre Scheibe dieser Struktur von dem magnetischen Aufzeichnungskopf eines Einzelpoltyps oder eines Ringpoltyps, von welchem zumindest der magnetische Spaltabschnitt aus einem weichmagnetischen Material mit 4πMs > 19 kG hergestellt ist, abgerastert.
Der magnetische Wiedergabekopf kann ein Einzelpoltyp- oder ein Ringpoltyp- Magnetaufzeichnungskopf sein, welcher sowohl als Aufzeichnungskopf als auch als Wiedergabekopf dienen kann oder er kann ein Wiedergabekopf des Magnetwiderstandstyps oder des Mikrowellen-Wellenleiter-Typs ausschließlich für die Wiedergabe sein, welcher in der Lage ist, kurze Wellenlängen wiederzugeben und welcher separat von dem Aufzeichnungskopf angeordnet ist.
Der dünne weichmagnetische Film 3, welcher die Charakteristik 4πMs > 19 kG für den Gebrauch in dem magnetischen Aufzeichnungskopf erfüllt, kann aus den magnetischen Filmen bestehen, die hohe Verschleißfestigkeit, ein Bs von 19 kG oder mehr und die folgende Zusammensetzung aufweisen.
(Fea Mb)100-c-d Nc Od (a, b, c, d in Atom-%)
(M ist mindestens eines von Si, Al, Ta, B, Mg, Ca. Sr, Ba, Cr, Mn, Zr, Nb, Ti, Mo, V, W, Hf, Ga, Ge und Seltene Erden.)
0,1 ≤ b ≤ 5
a + b = 100
0,5 ≤ c ≤ 15
0,1 ≤ d ≤ 13
Vorzugsweise können dünne Fe-N-basierte Legierungsfilme oder Vielfachschichten davon, von welchen 4πMs 19 kG oder mehr oder 20 kG beträgt, mit Leichtigkeit erzielt werden.
Der magnetische Aufzeichnungskopf kann, zum Beispiel, eine nicht-schwebende Einzelpolsenkrechtmagnetische Kopfstruktur sein. Fig. 3 der beigefügten Zeichnungen ist eine schematische Seitenansicht eines Beispiels dieser Struktur. In diesem Fall kann der dünne weichmagnetische Film 3 als ein Hauptmagnetpol 22 auf einem Chipsubstrat 21 aus einem isolierenden Material, zum Beispiel Keramik, abgeschieden sein oder kann zwischen einem Paar von Chipsubstraten 21 sandwichartig eingeschlossen sein. Dann wird eine Kopfwicklung 23 aus einer Dünnfilmspule, einem Draht oder dergleichen um diesen Hauptmagnetpol 22 angeordnet.
Das Chipsubstrat 21 mit dem Hauptmagnetpol 22 wird auf einem Kernchip 24 aus Ferrit oder dergleichen montiert. Dieser Kernchip mit dem Chipsubstrat wird auf einem Kopfarm 25 montiert, um für eine Bewegung nach oben und nach unten geführt werden zu können. Somit wird das Chipsubstrat durch sein Gewicht einschließlich des Gewichts des Kernchips 24 nach unten gezogen, so daß sein Hauptmagnetpol 22 in Druckkontakt mit dem senkrechtmagnetischen Aufzeichnungsmedium 2 oder der starren Scheibe (harten Scheibe) mit dem erforderlichen Druck gebracht werden kann.
Wenn die als magnetisches Aufzeichnungsmedium verwendete starre Scheibe 2 die beidseitige Struktur annimmt, wie unter Bezugnahme auf die Fig. 2 beschrieben, wird derselbe Einzelpol-Magnetkopf 4 unter der Scheibe angeordnet und nach oben an die Rückseite des Mediums 2 durch einen Federmechanismus 26 oder dergleichen mit dem erforderlichen Druck gedrückt, so daß er in Druckkontakt mit der Scheibe 2 mit einem erforderlichen Druck gebracht werden kann, wie dargestellt in Fig. 3.
Fig. 4 der zugehörigen Zeichnungen ist eine schematische Querschnittsansicht einer anderen Einzelpol-Magnetscheibe. Wie dargestellt, ist die Kopfwicklung 23 einer Dünnfilmspule durch Dünnfilm- oder Dickfilmtechnologie auf einer isolierenden Schicht 28 aus Al&sub2;O&sub3; oder dergleichen abgeschieden, unter welcher ein Hilfsmagnetpol 27 aus Ni-Zn-Ferrit oder dergleichen liegt. Dann wird ein magnetisches Material für ein magnetisches Joch 29 auf der isolierenden Schicht 28 über der Kopfwicklung abgeschieden. Zusätzlich wird der Hauptmagnetpol 22 des oben erwähnten weichmagnetischen Dünnfilms 3 an dem Spitzenende des Jochs abgeschieden. Mit 30 gezeigt ist eine Schutzschicht, welche über dem Hauptmagnetpol 22 und dem Magnetjoch 29 gebildet ist.
Fig. 5 der zugehörigen Zeichnungen zeigt einen anderen Einzelpol-Magnetkopf. Wie dargestellt, ist die Kopfwicklung einer Dünnfilmspule auf, zum Beispiel, der isolierenden Schicht 28 abgeschieden, unter welcher der Hilfsmagnetpol 27 aus Ferrit oder dergleichen liegt. Dann wird das Magnetjoch 29 einer magnetischen Schicht über der Wicklung abgeschieden. Ein nichtmagnetisches Substrat 31 aus Keramik oder dergleichen ist angeordnet und der Hauptmagnetpol 22 des oben erwähnten weichmagnetischen Dünnfilms 3 ist auf dem nichtmagneti schen Substrat 31 gebildet, so daß seine Einzelpolstruktur magnetisch mit dem Spitzenende des Jochs 29 gekoppelt werden kann.
Fig. 6 der zugehörigen Zeichnungen ist eine Seitenansicht eines weiteren Einzelpol- Magnetkopfs. Wie dargestellt, werden nichtmagnetische Materialien 33, von denen jedes hohe Verschleißfestigkeit aufweist, auf den vorderen Enden eines Paars von magnetischen Kernen 32A und 32B aus Ferrit oder dergleichen abgeschieden, um solchermaßen als die Oberfläche gebildet zu werden, die mit dem Medium in Kontakt gebracht wird. Der Hauptmagnetpol 22 des weichmagnetischen Dünnfilms 3 wird, zum Beispiel, auf einem der Kerne abgeschieden. Dann werden die Kerne 32A und 32B mit ihren Vorderseiten aneinander befestigt, so daß der Hauptmagnetpol 22 zwischen den Kernen 32A und 32B eingesetzt ist. In diesem Fall ist die Kopfwicklung 23 um den Hauptmagnetpol 22 herum gewickelt.
Fig. 7 der zugehörigen Zeichnungen zeigt einen weiteren Einzelpol-Magnetkopf. Wie dargestellt, wird der weichmagnetische Dünnfilm 3 einer erforderlichen Dicke auf dem nichtmagnetischen Substrat 31 aus, zum Beispiel, Keramik abgeschieden und ferner wird derselbe weichmagnetische Dünnfilm oder ein anderer weichmagnetischer Film abgeschieden, um einen dickeren magnetischen Dünnfilm zu bilden, der sich von dem vorhergehenden weichmagnetischen Film nach rückwärts erstreckt und somit den Hauptmagnetpol 22 bildet. Dann wird die Kopfwicklung aus, zum Beispiel, der Dünnfilmspule auf dem Substrat 31 in derselben Weise abgeschieden, wie erwähnt unter Bezugnahme auf Fig. 4. Zusätzlich ist das Magnetjoch 29 aus NiFe oder dergleichen an dem Mittelpunkt der Wicklung derart abgeschieden, daß es mit dem Hauptmagnetpol 21 magnetisch gekoppelt ist, und es ist mit dem Schutzfilm 30 bedeckt.
Fig. 8 der zugehörigen Zeichnungen zeigt eine andere Struktur. Wie dargestellt, ist die magnetische Schicht des Hilfsmagnetpols 27 auf, zum Beispiel, dem nichtmagnetischen Substrat geformt und der. Hauptmagnetpol 22 des weichmagnetischen Dünnfilms 3 mit der obigen Charakteristik ist an dem Spitzenende der nichtmagnetischen Schicht geformt. Zusätzlich sind die die Kopfwicklung bildenden Spulenmuster 23A und 23B auf den oberen und unteren Oberflächen des Hauptmagnetpols 22 geformt.
Die obigen Beispiele des Magnetkopfs sind vom Einzelpoltyp. In diesem Fall, falls die eine hohe magnetische Permeabilität aufweisende Hilfsmagnetschicht 7 in dem senkrechtmagneti schen Aufzeichnungsmedium 2 angeordnet ist, kann der weichmagnetische Dünnfilm 3 des Hauptmagnetpols 22 effektiv ein aufzeichnendes Magnetfeld von der Spitze an den senkrechtmagnetischen Film 1 in der Richtung senkrecht dazu anlegen.
Wenn das senkrechtmagnetische Aufzeichnungsmedium 2 den senkrechtmagnetischen Film 1 nur auf einer Seite angeordnet aufweist, und wenn der Magnetkopf 4 in Kontakt mit dem oder gegenüberliegend der Seite des senkrechtmagnetischen Films 1 gebracht wird, kann der Hilfsmagnetpol auf der gegenüberliegenden Seite des Senkrechtaufzeichnungsmedium 2 angeordnet werden, so daß das Senkrechtaufzeichnungsmedium 2 zwischen den Hilfsmagnetpol und den Magnetkopf eingesetzt ist. In diesem Fall kann das vertikal aufzeichnende Magnetfeld effektiv an das senkrechtmagnetische Aufzeichnungsmedium 2 angelegt werden.

Claims

1. Senkrechtmagnetisches Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabesystem, umfassend eine Vorrichtung für Aufzeichnung und/oder Wiedergabe und ein senkrechtmagnetisches Aufzeichnungsmedium (2) mit einem senkrechtmagnetischen Film (1), welcher CoPt enthält und dessen Koerzitivkraft 1,2 · 10&sup5; Alm (1500 Oe) oder mehr beträgt, unter Verwendung eines Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabekopfes (4);

dadurch gekennzeichnet, daß

zumindest der magnetische Spaltabschnitt des Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabekopfes aus einem weichmagnetischen Dünnfilm (3) geformt ist, der eine Sättigungsmagnetflußdichte 4πMs von 1,9 T (19 kG) oder mehr aufweist und aus einem auf Fe-N basierenden dünnen Legierungsfilm mit der folgenden Zusammensetzung geformt ist:

(FeaMb)100-c-dNcOd (a, b, c, d in Atom-%)

a + b = 100

0,1 ≤ b ≤ 5

0,5 ≤ c ≤ 15

0,1 ≤ d ≤ 13

wobei M zumindest eines von B, Mg, Ca, Sr, Ba, Cr, Mn, Zr, Nb, Mo, V, W, Hf, Ga, Ge, und Seltene Erden ist, und zusätzlich dazu eines oder mehr von Si, Al, Ta, Ti.

2. Senkrechtmagnetisches Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabesystem nach Anspruch 1, bei welchem der senkrechtmagnetische Film (1) des senkrechtmagnetischen Aufzeichnungsmediums (2) aus einem auf CoPtBO basierenden dünnen Legierungsfilm oder einem artifiziellen Gitterfilm aus Co und Pt geformt ist.