DE69117389T2 - Flacher Dünnfilmmagnetkopf - Google Patents

Flacher Dünnfilmmagnetkopf

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Description

  • Die Erfindung betrifft einen flachen Dünnfilmmagnetkopf, und spezieller betrifft sie einen Magnetkopf mit Magnetowiderstandseffekt, wie er für kleine Spurbreiten geeignet ist.
  • In den Fig. 6 bis 8 ist ein herkömmlicher Dünnfilm-Magnetkopf vom Horizontal- oder vom sogenannten Planartyp dargestellt. Fig. 6 ist eine perspektivische Ansicht eines Magnetkopf-Schlittens; Fig. 7 ist eine schematische, vergrößerte Schnittansicht durch den Dünnfilm-Magnetkopf entlang der Richtung einer Spurbreite; und Fig. 8 ist eine schematische, vergrößerte Perspektivansicht eines magnetischen Spalts des Dünnfilm-Magnetkopfs.
  • In Fig. 6 bezeichnet die Bezugszahl 100 allgemein einen Magnetkopf-Schlitten mit einer Grundplatte 101. Die Grundplatte 101 ist auf einer einem (nicht dargestellten) magnetischen Aufzeichnungsmedium gegenüberstehenden Fläche mit einer sich in Laufrichtung erstreckenden Nut 102 versehen, so daß eine schienenähnliche ABS (Air Bearing Surface = Luftlagerfläche) 81 an den entgegengesetzten Seiten der Nut 102 ausgebildet ist. Die ABS 81 ist am hinteren Ende in bezug auf die Laufrichtung mit einer schrägen Fläche 104 versehen, um für ein gleichmäßiges Schweben über dem magnetischen Aufzeichnungsmedium zu sorgen. Ferner ist auf der ABS 81 an ihrem Vorderende in bezug auf die Laufrichtung ein planarer Dünnfilmmagnetkopf 90 ausgebildet.
  • Gemäß Fig. 7 ist der Dünnfilmmagnetkopf 90 in einer Aussparung 101a der Grundplatte 101 ausgebildet, die aus einem isolierenden Material wie Silizium besteht. Der Dünnfilmmagnetkopf 90 enthält einen Dünnfilm-Magnetkern 113 aus einem magnetischen Material wie Permalloy, einen im Dünnfilm-Magnetkern 113 ausgebildeten magnetischen Spalt 118, eine Leiterschicht 114, Isolatorschichten 115 und 75, eine Spule 116 und eine Schutzschicht 117, die einen Teil der ABS 81 bildet. Durch die Grundplatte 101 hindurch ist ein Durchgangsloch 112 ausgebildet, um in ihm die Leiterschicht 114 und die Isolierschicht 115 auszubilden.
  • Wie es aus Fig. 8 erkennbar ist, die den Spaltbildungsteil des Dünnfilm-Magnetkerns 113 zeigt, der den magnetischen Spalt 118 bildet, ist der Dünnfilm-Magnetkern 113 allgemein so ausgebildet, daß er in der Richtung der Spurbreite Tw allmählich breiter wird, je weiter er vom magnetischen Spalt 118 entfernt ist. Ferner ist der Spaltbildungsabschnitt des Dünnfilm-Magnetkerns 113 als Halsabschnitt 119 mit konstanter Breite, die die Spurbreite Tw festlegt, ausgebildet. Die Spule 116 ist eine Dünnfilmspule, die in einer Ebene unter dem Dünnfilm-Magnetkern 111 aufgewickelt ist.
  • Fig. 11 ist eine vertikale Schnittansicht durch einen Dünnfilmmagnetkopf mit Magnetowiderstandseffekt (was nachfolgend als MR-Typ bezeichnet wird) als ein Beispiel für den planaren Dünnfilmmagnetkopf 90. Gemäß Fig. 11 ist ein MR-Bauteil 126 in Form eines MR-Dünnfilms auf der Grundplatte 101 ausgebildet, und ein Dünnfilm-Magnetjoch 127 ist so ausgebildet, daß es mit entgegengesetzten Enden des MR-Bauteils 126 verbunden ist. Das Dünnfilm-Magnetjoch 127 ist in seinem zentralen Abschnitt mit einem magnetischen Spalt g versehen, der mit einer ABS 122 fluchtet. Ein Vormagnetisierungsleiter 128 zum Anlegen eines erforderlichen Vormagnetisierungsfelds an das MR-Bauteil 126 ist zwischen diesem MR-Bauteil 126 und dem Dünnfilm-Magnetjoch 127 unter dem magnetischen Spalt g so ausgebildet, daß das MR-Bauteil 126 in einem Bereich mit magnetowiderstandscharakteristik mit guter Linearität und hoher Empfindlichkeit betrieben wird. Auf dem Dünnfilm-Magnetjoch 127 ist außer im Spaltausbildungsabschnitt ein unmagnetischer Schutzfilm 129 ausgebildet, um einen Teil der ABS 122 zu bilden.
  • Wie es in Fig. 9 dargestellt ist, verfügt der Halsabschnitt 129 des Dünnfilm-Magnetjochs 127, der den magnetischen Spalt g bildet, über eine Breite, die die Spurbreite Tw festlegt. Wenn diese Spurbreite Tw relativ groß ist, wie ungefähr 10 µm oder mehr, erhält eine magnetische Hauptdomäne 130 eine geschlossene Magnetdomänenstruktur entlang der Richtung der Spurbreite Tw, d.h., daß eine Achse leichter Magnetisierung in der Richtung der Spurbreite Tw ausgebildet werden kann. Demgemäß kann der Magnetkopf durch Verdrehen der Magnetisierung für den Magnetfluß des aus dem magnetischen Spalt g eingebrachten Signals betrieben werden. Im Ergebnis ist das Barkhausen-Rauschen verringert, um lineares Ansprechverhalten zu erzielen.
  • Jedoch wurde in jüngerer Zeit verlangt, die Aufzeichnungsdichte weiter zu erhöhen, was es erforderlich macht, die Spurbreite Tw weiter zu verringern. Wenn die Spurbreite Tw kleiner als 10 µm, z.B. ungefähr 5 µm, wird, wird die Breite des den magnetischen Spalt g bildenden Halsabschnitts 129 klein und bewirkt einen großen Einfluß einer Formanisotropie, was zu Schwierigkeiten hinsichtlich der Ausrichtung der Magnetisierung in der Richtung der Spurbreite Tw wegen erhöhter statischer, magnetischer Energie führt. D.h., daß die Achse leichter Magnetisierung in der Richtung der Spaltlänge rechtwinklig zur Spurbreite Tw ausgerichtet wird (Fig. 10). Im Ergebnis sorgt eine Magnetdomänenwand in der Nähe des magnetischen Spalts g im magnetischen Joch 127 irreversibel für einen magnetischen Fluß eines Signals, wie beim Abspielen aus dem magnetischen Spalt g eingebracht, wodurch sich nichtlineares Ansprechverhalten zeigt. D.h., daß in den Abspielsignalverlauf Barkhausen-Rauschen aufgrund einer Bewegung von Magnetdomänenwänden eingebracht wird, oder daß sich die magnetische Permeabilität in der Nähe des magnetischen Spalts g verringert, so daß keine zufriedenstellende Abspielausgangsleistung erzielt werden kann.
  • Das vorstehende Problem tritt nicht nur bei einem Abspielmagnetkopf mit MR-Dünnfilm, wie vorstehend angegeben, auf, sondern auch bei einem planaren Aufzeichnungs(Abspiel)-Dünnfilmmagnetkopf mit elektromagnetischer Induktion mit einem solchen Aufbau, daß eine Dünnfilmspule oder dergleichen im wesentlichen um ein Magnetjoch gewickelt ist.
  • EP-A-0 298 417 offenbart einen magnetoresistiven (MR) Sensor, dessen zentraler, aktiver Bereich durch einen Vormagnetisierungsstrom vormagnetisiert wird, um für eine Vormagnetisierung in gewünschter Richtung zu sorgen.
    • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • In Fig. 1 ist ein wesentlicher Teil des erfindungsgemäßen Dünnfilmmagnetkopfs dargestellt. Wie es in Fig. 1 dargestellt ist, ist ein Dünnfilmmagnetkopf mit einem Dünnfilm- Magnetkern 72 mit einem magnetischen Spalt 71 im wesentlichen parallel zu einem (nicht dargestellten) magnetischen Aufzeichnungsmedium geschaffen; wobei dieser Dünnfilm-Magnetkern 72 ein Paar magnetische Teile 72A mit einander zugewandten Endflächen 73 aufweist, zwischen denen der magnetische Spalt 71 festgelegt ist, wobei die einander gegenüberstehenden Endflächen 73 eine eine Spurbreite Tw festlegende Breite aufweisen; wobei die magnetischen Teile 72A allmählich breiter werden, je weiter sie vom magnetischen Spalt 71 entfernt sind, so daß der Divergenzwinkel Θ erster einander gegenüberstehender Seitenkanten 74A und 75A der magnetischen Teile 72A, gegen die Richtung der Spaltlänge des magnetischen Spalts 71 auf dem Bereich 30º ≤ Θ ≤ 80º eingestellt ist. Die magnetischen Teile 72A verfügen über zweite einander gegenüberstehende Seitenkanten 74B und 75B, die sich im wesentlichen parallel zur Richtung der Spaltlänge des magnetischen Spalts 71 erstrecken.
  • Wie vorstehend angegeben, ist im Dünnfilmmagnetkopf 72 kein Halsabschnitt ausgebildet, und der Dünnfilm-Magnetkern 72 ist so ausgestaltet, daß die Breite der einander gegenüberstehenden Endflächen 73, zwischen denen der magnetische Spalt 71 liegt, die Spurbreite Tw festlegt, und die magnetischen Teile 72A allmählich breiter werden, je weiter sie vom magnetischen Spalt 71 entfernt sind. Demgemäß kann, obwohl die Breite der einander gegenüberstehenden Endflächen 73 auf kleiner als 10 µm eingestellt ist, eine Magnetdomänenstruktur in die in Fig. 2 dargestellte Struktur gebracht werden. D.h., daß die Achse leichter Magnetisierung in Übereinstimmung mit der Y-Richtung gebracht wird, wenn angenommen wird, daß die Richtung der Spaltlänge des magnetischen Spalts 71 die X-Richtung ist und die Richtung der Spurbreite Tw rechtwinklig zur Spaltlänge die Y-Richtung ist.
  • Demgemäß spricht, obwohl die Spurbreite Tw klein ist, die Magnetisierung des Dünnfilm-Magnetkerns 72 in der Nähe des magnetischen Spalts 71 linear auf einen vom magnetischen Spalt 71 beim Abspielen eingebrachten magnetischen Fluß an, um dadurch die Erzeugung von Barkhausen-Rauschen aufgrund einer Bewegung von Magnetdomänenwänden im Abspielsignalverlauf zu unterdrücken und um auch eine Verringerung der magnetischen Permeabilität in der Nähe des magnetischen Spalts 71 zu unterdrücken, d.h. an den einander gegenüberstehenden Endabschnitten der magnetischen Teile 72A des Dünnfilm-Magnetkerns 72, mit dem Ergebnis, daß eine ausreichende Abspielausgangsleistung erhalten werden kann.
  • Ferner ist in dem den magnetischen Spalt 71 bildenden Dünnfilm-Magnetkern 72 kein Halsabschnitt mehr vorhanden, und der Dünnfilm-Magnetkern 72 ist so aufgebaut, daß die magnetischen Teile 72A ausgehend vom magnetischen Spalt 71 so divergieren, daß der Divergenzwinkel Θ der ersten einander gegegenüberstehenden Seitenkanten 74A und 75A der magnetischen Teile 72A gegen die Richtung der Spaltlänge (d.h. die X- Richtung) des magnetischen Spalts 71 auf den Bereich 30º ≤ Θ ≤ 80º eingestellt ist und daß die magnetischen Teile 72A zweite einander gegenüberstehende Seitenkanten 74B und 75B aufweisen, die sich im wesentlichen parallel zur X-Richtung erstrecken. Demgemäß wird, obwohl die Spurbreite Tw auf weniger als 10 µm verringert ist, durch die magnetischen Teile 72A im Bereich entfernt vom Spaltbildungsabschnitt kein magnetischer Spalt ausgebildet, wie durch die Linie A-A in Fig. 1 dargestellt, und demgemäß kann Nachbarschaftsübersprechen oder Spurabweichungsübersprechen vermieden werden, um dadurch eine Wiedergabe mit geringen Störsignalen und hoher Qualität zu erzielen und die Betriebseigenschaften zu verbessern.
  • Fig. 1 ist eine Draufsicht auf einen wesentlichen Teil eines bevorzugten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Dünnfilmmagnetkopfs;
  • Fig. 2 ist eine schematische Draufsicht, die eine Magnetdomänenstruktur an einem magnetischen Spalt zeigt, der Teil des in Fig. 1 dargestellten Dünnfilmmagnetkopfs bildet,
  • Fig. 3 ist eine Schnittansicht entlang der Linie B-B in Fig. 1;
  • Fig. 4 ist eine Schnittansicht durch ein in Fig. 3 dargestelltes MR-Bauteil;
  • Fig. 5 ist eine Schnittansicht zum Erläutern eines Abspielbetriebs mit dem in Fig. 3 dargestellten Dünnfilm-Magnetkopf;
  • Fig. 6 ist eine perspektivische Ansicht eines bekannten Magnetkopf-Schlittens;
  • Fig. 7 ist eine Schnittansicht durch den bekannten Dünnfilmmagnetkopf;
  • Fig. 8 ist eine perspektivische Ansicht des magnetischen Spalts beim Stand der Technik;
  • Fig. 9 ist eine schematische Draufsicht, die die Magnetdomänenstruktur am magnetischen Spalt zeigt, der Teil des bekannten Dünnfilmmagnetkopfs bildet,
  • Fig. 10 ist eine Ansicht ähnlich der von Fig. 9, und sie zeigt die Magnetdomänenstruktur für den Fall, daß die Spurbreite weiter verringert wird; und
  • Fig. 11 ist eine Schnittansicht durch einen wesentlichen Teil eines bekannten MR-Dünnfilmmagnetkopfs.
    • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DES BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS
  • Nun wird unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 5 ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Dünnfilmmagnetkopfs beschrieben.
  • Gemäß Fig. 3, die ein Querschnitt entlang der Linie B-B in Fig. 1 ist und einen planaren MR-Joch vom Jochtyp mit einem MR-Bauteil zeigt, besteht ein Dünnfilm-Magnetkern 72 aus einem Paar oberer Joche 72A und einem unteren Joch 72B, die aus NiFe-Plattierungsfilmen oder dergleichen bestehen. Zwischen den oberen Jochen 72A und dem unteren Joch 72B ist eine aus Cu oder dergleichen hergestellte Dünnfilmspule 78 ausgebildet. Jedes obere Joch 72A ist mit einem allmählich nach oben ansteigenden Abschnitt versehen, der sich zu einer Oberseite hin erstreckt, die einem magnetischen Aufzeichnungsmedium gegenübersteht, d.h. sich zu einer ABS 81 erstreckt, und sie ist auch mit einem Spaltausbildungsabschnitt zum Ausbilden eines magnetischen Spalts 71 versehen. Der Spaltausbildungsabschnitt verfügt über eine mit der ABS 81 fluchtende Oberfläche. Ein MR-Bauteil 76 liegt unter dem magnetischen Spalt 71, und ein Vormagnetisierungsleiter 77 zum Erzeugen eines Vormagnetisierungsfelds liegt so unter dem MR-Bauteil 76, daß diese einander überkreuzen. Die Bezugszahlen 82 bezeichnen Isolatorschichten wie SiO&sub2;-Schichten.
  • Ein derartiger Dünnfilm-Magnetkopf wird auf die folgende Weise hergestellt. Als erstes wird das untere Joch 72B durch Flammenplattierung oder dergleichen auf einer aus Al&sub2;O&sub3; TiC, CaTiO&sub3;, Ferritkeramik, kristallisiertem Glas usw. bestehenden isolierenden Grundplatte 81 hergestellt. Dann wird die erste Isolatorschicht 82, wie eine SiO&sub2;-Schicht, auf dem unteren Joch 72B hergestellt, und auf der ersten Isolatorschicht 82 wird die Dünnfilmspule 78 mit vorgegebenem Muster ausgebildet. Dann wird die zweite Isolatorschicht 82, wie eine SiO&sub2;-Schicht, so ausgebildet, daß sie die Spule 78 ganz bedeckt. Dann werden die erste und die zweite Isolatorschicht 82 an ihren entgegengesetzten Enden durch RIE (reaktives Ionenätzen) oder dergleichen durchbohrt und die so hergestellten Bohrungen werden dann mit einem magnetischen Material wie NiFe aufgefüllt, um dadurch Verbindungsabschnitte 72C zum Verbinden der oberen Joche 72A mit dem unteren Joch 72B herzustellen. Dann wird der Vormagnetisierungsleiter 77 auf der zweiten Isolatorschicht 82 hergestellt, und dann wird die dritte Isolatorschicht 82 so ausgebildet, daß sie den Vormagnetisierungsleiter 77 ganz bedeckt. Dann wird das MR-Bauteil 76 auf der dritten Isolatorschicht 82 hergestellt, und danach wird die vierte Isolatorschicht 82 so hergestellt, daß sie das MR-Bauteil 76 ganz bedeckt. Die Herstellung des Vormagnetisierungsleiters 77 und des MR-Bauteils 76 können durch Musterätzung unter Verwendung von Photolithographie ausgeführt werden.
  • Gemäß Fig. 4, die eine schematische, vergrößerte Schnittansicht des MR-Bauteils 76 ist, besteht dieses MR-Bauteil 76 aus einem ersten und einem zweiten MR-Dünnfilm 76A und 76B aus NiFe-Schichten mit jeweils einer Dicke von ungefähr 300 Å und aus einer unmagnetischen Schicht 84, die zwischen den ersten und zweiten MR-Dünnfilm 76A und 76B eingefügt ist. Die unmagnetische Schicht 84 besteht aus SiO&sub2; und verfügt über eine Dicke von ungefähr 30 Å, so daß der erste und der zweite MR-Dünnfilm 76A und 76B, die jeweils eine Achse leichter Magnetisierung in der Richtung der Spurweite (d.h. der Y-Richtung) aufweisen, eine statische magnetische Verbindung erzeugen können, sie jedoch kaum eine Austauschwechselwirkung hervorrufen.
  • Gemäß Fig. 3 werden die zweite und vierte Isolatorschicht 82, die den Vormagnetisierungsleiter 77 und das MR-Bauteil 76 umgeben, sich verjüngend so geätzt, daß sie sich nach oben hin zum Spaltausbildungsabschnitt hin verjüngen. Dann wird die vierte Isolatorschicht 82 anisotrop mit Ausnahme eines Vorsprungs, der den magnetischen Spalt 81 bildet, geätzt. Dann werden die oberen Joche 72A auf der zweiten bis vierten Isolatorschicht 82, die wie oben angegeben geätzt ist, so hergestellt, daß sie mit den Verbindungsabschnitten 72C verbunden sind, was durch NiFe-Plattierung oder dergleichen und anschließendes Mustern des plattierten NiFe auf ein gewünschtes Muster erfolgt. Dann wird auf den oberen Jochen 72A die fünfte Isolatorschicht 82 als Schutzfilm aus SiO&sub2; oder dergleichen hergestellt und die Oberseite der fünften Isolatorschicht 82 wird poliert, um die ABS 81 herzustellen, wodurch ein Dünnfilmmagnetkopf erhalten wird.
  • Im wie vorstehend angegeben erhaltenen Dünnfilmmagnetkopf ist die Breite der einander gegenüberstehenden Endflächen 73 der oberen Joche 72A des Dünnfilm-Magnetkerns 72, die den magnetischen Spalt 71 zwischen sich festlegen, d.h. die in Fig. 1 dargestellte Spurbreite Tw, auf 5 µm eingestellt. Ferner sind die oberen Joche 72A an der rechten und linken Seite in bezug auf den magnetischen Spalt 71, wie in Fig. 1 gesehen, allmählich verbreitert, je weiter sie vom magnetischen Spalt 71 wegliegen. Der Divergenzwinkel Θ einer Seitenkante 74A des rechten oberen Jochs 72A gegen die Richtung der Spaltlänge des magnetischen Spalts 71 (d.h. die X-Richtung) ist auf ungefähr 45º eingestellt. Auf ähnliche Weise ist der Divergenzwinkel Θ einer Seitenkante 75A des linken oberen Jochs 72A gegen die X-Richtung auf ungefähr 45º eingestellt. Die Seitenkante 75A ist an der entgegengesetzten Seite zur Seitenkante 74A in bezug auf den magnetischen Spalt 71 ausgebildet. Ferner erstrecken sich die andere Seitenkante 74B des rechten oberen Jochs 72A und die andere Seitenkante 75B des linken oberen Jochs 72A im wesentlichen parallel zur X-Richtung. Das unterhalb des magnetischen Spalts 71 liegende MR-Bauteil erstreckt sich in der X-Richtung, und der unter dem MR-Bauteil 76 liegende Vormagnetisierungsleiter 77 erstreckt sich in der zur X-Richtung rechtwinkligen Y-Richtung. Wie vorstehend angegeben, sind die Seitenkanten 74A und 75A des rechten und linken oberen Jochs 72A, die symmetrisch zueinander in bezug auf den magnetischen Spalt 71 ausgebildet sind, mit ungefähr 45º gegen die X-Richtung schräggestellt. Demgemäß sind die oberen Joche 72A insgesamt mit ungefähr 45º in Uhrzeigerrichtung gegen die X-Richtung geneigt. Daher ist auch das untere Joch 72B um ungefähr 45º in Uhrzeigerrichtung gegen die X-Richtung geneigt, wobei die Dünnfilmspule 78 zwischen diesem und den oberen Jochen 72A liegt.
  • Bei diesem Aufbau kann der den magnetischen Spalt 71 bildende Spaltausbildungsabschnitt des Dünnfilm-Magnetkerns 72 ziemlich breit gemacht werden, obwohl die Spurbreite Tw so schmal ist, daß sie auf ungefähr 5 µm eingestellt ist. Demgemäß kann gemäß Fig. 2, die eine Magnetdomänenstruktur des Magnetkopfs zeigt, die Achse leichter Magnetisierung in Übereinstimmung mit der Richtung der Spurbreite, d.h. der Y-Richtung, gebracht werden, wodurch eine Verringerung der magnetischen Permeabilität vermieden ist und eine gute Abspielausgangsleistung erzielt wird.
  • Es wird erneut auf Fig. 1 Bezug genommen, gemäß der sich die Seitenkante 74B des rechten oberen Jochs 72A im wesentlichen parallel zur X-Richtung erstreckt. Anders gesagt, ist in einem von der Spur abweichenden Bereich, wie durch die Linie A-A in Fig. dargestellt, das rechte obere Joch 72A nicht vorhanden, und es ist kein magnetischer Spalt definiert, wodurch Nachbarschaftsübersprechen und Spurabweichungsübersprechen vermieden sind.
  • Es ist zu beachten, daß ein Abschirmungseffekt der oberen Joche 72A auf das MR-Bauteil 76 verloren ist, da jedes der oberen Joche 72A im von der Spur abweichenden Bereich fehlt. Da jedoch ein durch ein von außerhalb der Spur erzeugtes Signal hervorgerufener magnetischer Fluß nicht tatsächlich in der Richtung der Achse leichter Magnetisierung des MR- Bauteils 76 angelegt wird, wird dieses Signal kaum wiedergegeben. D.h., daß gemäß Fig. 5, die einen Abspielvorgang durch den Magnetkopf veranschaulicht, ein Abspielsignal dann erhalten wird, wenn ein Magnetisierungsübergangsabschnitt 86 eines magnetischen Aufzeichnungsmediums 85 an eine Position kommt, die gegen eine Position unmittelbar über dem magnetischen Spalt 71 versetzt ist, und ein magnetischer Fluß, der in einen Teil der oberen Joche 72A in der Richtung des Pfeils eingetreten ist, in der Richtung entlang der Achse schwerer Magnetisierung des MR-Bauteils 76 fließt.
  • Obwohl beim vorstehend angegebenen bevorzugten Ausführungsbeispiel der Divergenzwinkel Θ der Seitenkanten 74A und 75A des rechten und linken oberen Jochs 72A gegen die X-Richtung auf ungefähr 45º eingestellt ist, kann dieser Winkel Θ im Bereich 30º ≤ Θ ≤ 80º eingestellt sein. Es wurde klargestellt, daß in diesem Bereich kaum deutliches Übersprechen erzeugt wird. Ferner können die Seitenkanten 74B und 75B des rechten und linken oberen Jochs 72A, obwohl sie beim oben angegebenen bevorzugten Ausführungsbeispiel im wesentlichen parallel zur X-Richtung verlaufen, leicht gegen die X-Richtung schräggestellt sein, vorausgesetzt, daß kaum deutliches Übersprechen erzeugt wird.
  • Ferner kann der NiFe-Plattierungsfilm des Dünnfilm-Magnetkerns 72 beim oben angegebenen bevorzugten Ausführungsbeispiel durch einen FeCoNi-Plattierungsfilm, einen NiFe-Sputterfilm, einen FeAlSi-Sputterfilm, einen Sputterfilm aus einer Fe-Legierung oder einen amorphen, magnetischen Film wie einen solchen aus CoZrNb oder CoZrTa ersetzt werden. Die Aufzeichnungsspule 78 und der Vormagnetisierungsleiter 77 können aus einem gesputterten oder plattierten Al-Film anstatt aus einem gesputterten oder plattierten Cu-Film hergestellt werden.
  • Ferner ist zu beachten, daß die Erfindung beim vorstehend angegebenen bevorzugten Ausführungsbeispiel zwar auf einen ein Mr-Bauteil verwendenden planaren Dünnfilmmagnetkopf vom Jochtyp angewandt ist, daß sie jedoch auch auf einen Dünnfilmmagnetkopf angewandt werden kann, der eine Spule zum Ausführen von Aufzeichnungs- und Abspielvorgängen verwendet.
  • Es ist ersichtlich, daß an der erfindungsgemäßen Vorrichtung verschiedene Modifizierungen und/oder Hinzufügungen vorgenommen werden können, ohne vom wesentlichen Neuigkeitsmerkmal abzuweichen, wobei diese Modifizierungen und/oder Hinzufügungen durch die beigefügten Ansprüche definiert und geschützt sein sollen.

Claims (2)

1. Dünnfilmmagnetkopf mit einem Dünnfilm-Magnetkern mit einem magnetischen Spalt (g), wobei der Dünnfilmkern und der Spalt eine Aufzeichnungsfläche im wesentlichen parallel zu einem magnetischen Aufzeichnungsmedium zur Zusammenwirkung mit diesem bilden;
- wobei der Dünnfilm-Magnetkern ein Paar magnetische Teile (72A) miteinander gegenüberstehenden Endflächen aufweist, zwischen denen der magnetische Spalt gebildet ist, wobei die Breite der einander gegenüberstehenden Endflächen eine Spurbreite festlegt;
dadurch gekennzeichnet, daß
- die magnetischen Teile allmählich breiter werden, je weiter sie sich über die Aufzeichnungsfläche entfernt vom magnetischen Spalt erstrecken, so daß ein Divergenzwinkel zwischen jeder Seitenkante eines ersten Paars einander diagonal gegenüberstehender Seitenkanten der magnetischen Teile gegen die Richtung der Spaltlänge über den magnetischen Spalt auf den Bereich von 30º - 80º eingestellt ist; und
- das zweite Paar einander diagonal gegenüberstehender Seitenkanten der magnetischen Teile sich im wesentlichen parallel zur Richtung der Spaltlänge über den magnetischen Spalt erstreckt.
2. Magnetkopf nach Anspruch 1, der in Form eines planaren Dünnfilms vorliegt, wobei die magnetischen Teile obere magnetische Joche (72A) bilden und wobei der Magnetkopf ferner folgendes aufweist:
- ein unteres magnetisches Joch (72B);
- ein MR-Element (76), das zwischen den vom Spalt (71) entfernten Enden der oberen magnetischen Joche und dem unteren magnetischen Joch vorhanden ist; und
- einen Vormagnetisierungsleiter (77) zum Anlegen eines Vormagnetiesierungsfelds an das MR-Element.
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