DE69109054T2 - Supraleitende Einrichtung mit extrem kurzer supraleitender Kanallänge aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu deren Herstellung. - Google Patents

Supraleitende Einrichtung mit extrem kurzer supraleitender Kanallänge aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu deren Herstellung.

Info

Publication number
DE69109054T2
DE69109054T2 DE69109054T DE69109054T DE69109054T2 DE 69109054 T2 DE69109054 T2 DE 69109054T2 DE 69109054 T DE69109054 T DE 69109054T DE 69109054 T DE69109054 T DE 69109054T DE 69109054 T2 DE69109054 T2 DE 69109054T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
superconducting
production
channel length
extremely short
length made
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69109054T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69109054T3 (de
DE69109054D1 (de
Inventor
Takao Nakamura
Hiroshi Inada
Michitomo Iiyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=26558442&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE69109054(T2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Priority claimed from JP2291198A external-priority patent/JP2614940B2/ja
Priority claimed from JP2291197A external-priority patent/JP2614939B2/ja
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Publication of DE69109054D1 publication Critical patent/DE69109054D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69109054T2 publication Critical patent/DE69109054T2/de
Publication of DE69109054T3 publication Critical patent/DE69109054T3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00—Superconducting devices
    • H10N60/20—Permanent superconducting devices
    • H10N60/205—Permanent superconducting devices having three or more electrodes, e.g. transistor-like structures 
    • H10N60/207—Field effect devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00—Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/825—Apparatus per se, device per se, or process of making or operating same
    • Y10S505/873—Active solid-state device
DE69109054T 1990-10-29 1991-10-29 Supraleitende Einrichtung mit extrem kurzer supraleitender Kanallänge aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu deren Herstellung. Expired - Lifetime DE69109054T3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2291198A JP2614940B2 (ja) 1990-10-29 1990-10-29 超電導素子および作製方法
JP2291197A JP2614939B2 (ja) 1990-10-29 1990-10-29 超電導素子および作製方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE69109054D1 DE69109054D1 (de) 1995-05-24
DE69109054T2 true DE69109054T2 (de) 1995-11-30
DE69109054T3 DE69109054T3 (de) 2002-05-02

Family

ID=26558442

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69109054T Expired - Lifetime DE69109054T3 (de) 1990-10-29 1991-10-29 Supraleitende Einrichtung mit extrem kurzer supraleitender Kanallänge aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu deren Herstellung.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5854493A (de)
EP (1) EP0484232B2 (de)
CA (1) CA2054477C (de)
DE (1) DE69109054T3 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69118106T2 (de) * 1990-10-31 1996-10-31 Sumitomo Electric Industries Aus extrem dünnem supraleitendem Oxydfilm gebildete supraleitende Einrichtung mit extrem kurzem Kanal und Verfahren zu dessen Herstellung
KR0148596B1 (ko) * 1994-11-28 1998-10-15 양승택 결정 입계 채널을 갖는 초전도 전계효과 소자와 그 제조방법
KR0175359B1 (ko) * 1995-12-15 1999-02-01 양승택 초전도체-절연체-초전도체 조셉슨 터널 접합구조의 제조방법
JP2002266072A (ja) * 2001-03-09 2002-09-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 積層膜および成膜方法
US20070254402A1 (en) * 2006-04-27 2007-11-01 Robert Rotzoll Structure and fabrication of self-aligned high-performance organic fets
US10367134B2 (en) 2017-06-07 2019-07-30 International Business Machines Corporation Shadow mask sidewall tunnel junction for quantum computing
FR3068518B1 (fr) * 2017-06-28 2019-08-30 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Procede de controle d'un dispositif quantique a qubit de spin

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6117983A (ja) * 1984-07-04 1986-01-25 日本原子力事業株式会社 原子炉緊急停止装置
US4831421A (en) * 1985-10-11 1989-05-16 International Business Machines Corporation Superconducting device
US5179426A (en) * 1987-08-04 1993-01-12 Seiko Epson Corporation Josephson device
DE3876228T2 (de) * 1988-01-15 1993-06-03 Ibm Feldeffektanordnung mit supraleitendem kanal.
JPH01268075A (ja) * 1988-04-19 1989-10-25 Seiko Epson Corp ジョセフソン電界効果トランジスタ
JPH01308086A (ja) * 1988-06-07 1989-12-12 Fujitsu Ltd 固体電子装置
JPH02192172A (ja) * 1989-01-19 1990-07-27 Fujitsu Ltd 超伝導トランジスタ

Also Published As

Publication number Publication date
DE69109054T3 (de) 2002-05-02
DE69109054D1 (de) 1995-05-24
CA2054477C (en) 1996-12-24
EP0484232B1 (de) 1995-04-19
EP0484232A2 (de) 1992-05-06
US5854493A (en) 1998-12-29
EP0484232A3 (en) 1992-08-12
EP0484232B2 (de) 2001-10-10
CA2054477A1 (en) 1992-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69119022D1 (de) Supraleitende Einrichtung mit ultradünnem Kanal aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu deren Herstellung
DE69123422D1 (de) Halbleiteranordnung mit ferroelektrischem material und verfahren zu deren herstellung
DE3852440D1 (de) Supraleitendes Mischoxidmaterial und Methode zu dessen Herstellung.
DE68925350D1 (de) Supraleitendes oxidmaterial und verfahren zur herstellung
DE69119190D1 (de) Supraleitende Einrichtung mit extrem dünnen supraleitenden Kanal aus oxydischem supraleitendem Material und Methode zu deren Herstellung
DE69209856D1 (de) Supraleitendes Oxidmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung
DE69218348T2 (de) Supraleitendes Bauelement mit extrem dünnen supraleitenden Kanal und Herstellungsverfahren
DE69109054T3 (de) Supraleitende Einrichtung mit extrem kurzer supraleitender Kanallänge aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu deren Herstellung.
DE69112520D1 (de) Supraleitende Dünnschicht-Oxydverbindung und Verfahren zu deren Herstellung.
DE69300940T2 (de) Josephson-Übergangseinrichtung aus oxidischem Supraleiter und Verfahren zu ihrer Herstellung.
DE69017112T2 (de) Supraleitende Dünnschicht aus Oxid und Verfahren zu deren Herstellung.
IT8820933A0 (it) Procedimento e dispositivo per scaricare le tensioni di un nastro in foglia termoplastico.
DE69210150D1 (de) Supraleitende Einrichtung mit extrem dünnen supraleitenden Kanal aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu deren Herstellung
DE69118106T2 (de) Aus extrem dünnem supraleitendem Oxydfilm gebildete supraleitende Einrichtung mit extrem kurzem Kanal und Verfahren zu dessen Herstellung
DE3853900D1 (de) Supraleitendes Material und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE69214102D1 (de) Supraleitendes Bauelement mit extrem dünnem Kanal aus supraleitendem Oxidmaterial und Herstellungsverfahren
DE69019181D1 (de) Supraleitfähiges Oxidmaterial und ein Verfahren zu seiner Herstellung.
DE69110328T2 (de) Thalliumoxidsupraleiter und Verfahren zu dessen Herstellung.
DE69218388D1 (de) Supraleitendes Bauelement mit extrem dünnem Kanal aus supraleitendem Oxyd und sein Herstellungsverfahren
DE69219816T2 (de) Supraleitende Dünnschicht mit mindestens einer isolierten Region, gebildet aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE69118107D1 (de) Supraleitende Einrichtung aus oxydisch supraleitendem Material
DE68925463D1 (de) Oxidsupraleitendes Material und Prozess zu dessen Herstellung
DE69116471D1 (de) Aktive Einrichtung mit oxydischem Supraleiter und deren Herstellungsprozess
DE69030356D1 (de) Tunnelübergangseinrichtung aus oxydisch supraleitendem Verbindungsmaterial und Methode zu ihrer Herstellung
DE69103853D1 (de) Oxidische Supraleiter und Verfahren zu ihrer Herstellung.

Legal Events

Date Code Title Description
8363 Opposition against the patent
8366 Restricted maintained after opposition proceedings
8328 Change in the person/name/address of the agent

Representative=s name: HAFT - KARAKATSANIS PATENTANWALTSKANZLEI, 80802 MU