-
Diese Erfindung betrifft YAG-Laserbearbeitungsmaschinen und insbesondere eine
YAG-Laserbearbeitungsmaschine gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 zur
Präzisionsbearbeitung von Dünnschichten, um beispielsweise eine feine oder winzige
Struktur bei der Herstellung von gedruckten Leiterplatten oder bei der Herstellung
von Halbleitern direkt zu zeichnen.
Stand der Technik
-
Ein YAG-Laser ist durch eine Schwingungswellenlänge mit relativ kurzer
Wellenlänge, wie z.B. 1,06 um, und durch einen hohe mittlere Ausgangsleistung
gekennzeichnet, und ist als Vorrichtung relativ kompakt. Der YAG-Laser wurde bereits im
großem Umfang auf den Gebieten der Bearbeitung von Kleinteilen und der
Feinbearbeitung eingesetzt.
-
Obwohl Feinbearbeitung genannt, besteht die Feinbearbeitung, die
herkömmlicherweise z. B. im Bereich der Halbleiterherstellung möglich war, in der
Markierungsbearbeitung von IC-Gehäusen und der Reparatur oder Korrekturbearbeitung oder in
der Retusche von Fehlern in einer Photomaske, welche bei einem Herstellungsschritt
eines IC's verwendet wird.
-
Es kann nicht unbedingt das als Feinbearbeitung bezeichnet werden, bei dem die
Fähigkeiten und die Eigenschaften des Lasers ausreichend genutzt werden.
-
Es besteht ein großes Problem bei der Realisierung einer hochpräzisen
Feinbearbeitung darin, den Durchmesser eines auf ein Werkstück aufgebrachten Laserstrahls
fein oder miniaturisiert und präzise zu gestalten. Insbesondere besteht ein Problem
darin, wie ein Laserstrahl effektiv zu bündeln, zu reduzieren oder fein zu gestalten
ist. Ferner besteht ein Problem darin, wie ein feiner Strahl unter stabilen
Bedingungen
arbeiten werden kann, d.h., unter konstanten Bedingungen, bei denen
Bearbeitungsveränderungen aufgrund einer Veränderung der Bearbeitungsgeschwindigkeit
und einer Schwingung der Vorrichtung und Veränderungen der
Oszillationsbedingungen eines Oszillators minimiert werden.
-
In Anbetracht des Vorstehenden hat der Erfinder der vorliegenden Erfindung eine
Entwicklung einer YAG-Laserbearbeitungsmaschine begonnen, bei der die
Eigenschaft des YAG-Lasers ausreichend genutzt wird, so daß eine hochpräzise
Feinbearbeitung möglich wird, und eine Struktur direkt auf eine Photomaske geschrieben
werden kann, die beispielsweise bei einem Herstellungsschritt für gedruckte
Leiterplatten mit hoher Packungsdichte oder bei einem Herstellungsschritt von Halbleitern
eingesetzt wird.
-
Insbesondere ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine
YAG-Laserbearbeitungsmaschine für die präzise Bearbeitung dünner Schichten bereitzustellen, bei
der die vorstehend diskutierten Probleme gelöst und z.B. die Bearbeitung von
Photomasken und dergl. bei der Halbleiterherstellung verwendeter Teile möglich gemacht
werden kann.
Offenbarung der Erfindung
-
Erfindungsgemäß ist eine YAG-Laserbearbeitungsmaschine zur
Dünnschichtpräzisionsbearbeitung geschaffen, welche aufweist: einen Bearbeitungsmaschinenkörper,
in dem ein von einem Oszillator, der einen gütemodulierten Oszillationsstatus (Q-
switch) erzeugt, zur Oszillation angeregter Laserstrahl an ein optisches System mit
einer Vielzahl von Linsen angelegt wird, und von einem am vorderen Ende des
optischen Systems angeordnetem Kondensor auf die Form eines Punktes gebracht wird,
um auf ein Werkstück aufgebracht zu werden, einen XY-Tisch für die Lagerung des
Werkstücks und eine Grundplatte, auf welcher der Maschinenkörper und der XY-
Tisch montiert sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Maschine mit einer
Begrenzungseinrichtung mit einer Durchgangsbohrung vorgegebener Größe ausgestattet
ist, die an einer Stelle zwischen entsprechenden Linsen des optischen Systems
angeordnet ist, wodurch ein äußerer Umfangsanteil des Laserstrahls beim Durchgang
durch die Bohrung der Begrenzungseinrichtung abgeschnitten wird, um dessen
Durchmesser zu reduzieren.
-
In der vorliegenden YAG-Laserbearbeitungsmaschine wird der äußere
Umfangsanteil des Laserstrahls durch die Begrenzungseinrichtung abgeschnitten, wodurch der
Strahldurchmesser reduziert wird. Dieses beruht jedoch auf der Kenntnis, daß auch
dann, wenn dieser äußere Umfangsanteil vernichtet wird, insoweit praktisch kein
Einfluß auf den Wirkungsgrad der Bearbeitungsenergie in Hinsicht auf die
Energieverteilung im Falle der Dünnschichtbearbeitung ausgeübt wird.
-
Ferner können durch den Umstand, daß der Strahldurchmesser auf diese Weise
reduziert wird, schlechte oder defekte Komponenten mit Zufallsspitzen, die im
äußeren Umfangsanteil des Laserstrahls eingeschlossen oder enthalten sind, entfernt
werden, so daß der Strahlpunkt noch präziser gemacht werden kann.
-
Der Grund dafür, daß die Begrenzungseinrichtung zwischen den Linsen des
optischen Systems angeordnet ist, besteht darin, eine Beschädigung der
Begrenzungseinrichtung durch den Laserstrahl zu vermeiden. Insbesondere kann, da der zwischen
den Linsen des optischen System aufgeweitete Laserstrahl entsprechend dem
Vergrößerungsverhältnis entsprechend in der Energiedichte reduziert ist, damit
gerechnet werden, daß die Begrenzungseinrichtung nicht beschädigt wird, wenn der
Laserstrahl aufgeweitet ist.
-
Bei der YAG-Laserbearbeitungsmaschine mit dem vorstehenden Aufbau zieht man
es vor, daß der Maschinenkörper mit einer Verschlußeinrichtung zur Ausführung
einer EIN/AUS-Steuerung zum Aufbringen des Laserstrahls in der Form versehen ist,
daß diese sich an einer Stelle außerhalb des Oszillators befindet.
-
Insbesondere ist es damit möglich, die EIN/AUS-Steuerung zum Aufbringen des
Laserstrahls durch die Verschlußeinrichtung auszuführen, die sich außerhalb des
Oszillators
befindet. Es kann somit vermieden werden, daß das Stoppen/Starten des
Oszillators während des Bearbeitungsvorgangs ausgeführt wird. Demzufolge ist es
möglich, die Präzisionsbearbeitung noch stabiler auszuführen. Obwohl die Q-switch-
Oszillation (Güteoszillation) eine stabile Oszillation erzeugen kann, wenn die Q-
switch-Oszillation die Oszillation im allgemeinen kontinuierlich ausführt, weist die
Q-switch-Oszillation insbesondere eine Eigenart dahingehend auf, daß die
Ausgangsleistung in einen Anfangsstadium des Starts bei Einsatzbeginn und bei einem
Start nach einem Stop der Oszillation zwischendurch instabil ist. Diese leichte
Instabilität der Ausgangsleistung übt eine nicht geringe Beeinträchtigung bzw.
beträchtlichen Einfluß auf die Präzisionsbearbeitung der Dünnschicht aus. Bei der
vorliegenden Maschine kann es jedoch vermieden werden, daß das Stoppen/Starten des
Oszillators während der Bearbeitung ausgeführt wird. Somit ist es möglich, den Einfluß
der Instabilität in der Ausgangsleistung im Anfangsstadium des Startvorgangs zu
vermeiden.
-
Ferner zieht man es bei einer derartigen YAG-Laserbearbeitungsmaschine vor, daß
der Maschinenkörper mit einer Oberwellenresonator-Einrichtung ausgestattet ist,
um den Laserstrahl auf eine Oberwelle (harmonische Welle) umzusetzen.
-
Insbesondere durch den Umstand, daß der Laserstrahl auf eine Oberwelle umgesetzt
wird, kann eine weitere Verkleinerung des Strahlpunktdurchmessers erreicht
werden. Die Verkleinerung des Strahlpunktdurchmessers aufgrund dieser Oberwelle
bewirkt eine große und rasche Veränderung hinsichtlich der Bearbeitung der
Dünnschicht im Vergleich zu einem Fall mit einer Grundwellenlänge von 1,06 um.
Obwohl natürlich der Durchmesser mechanisch reduziert werden kann, weist
insbesondere die auf hohe Dichte bringende Wirkung der durch Oberwellenresonanz
erzeugten Energie bezüglich der Dünnschichtbearbeitung eine unerwartete Eignung auf. Es
wird möglich, eine Präzisionsbearbeitung auszuführen, bei der das im Falle der
Grundwellenlänge mögliche Auftreten von Drossflecken in keinem Falle vorkommt.
-
Des weiteren zieht man es bei einer derartigen YAG-Laserbearbeitungsmaschine vor,
daß die Grundplatte aus massivem Stein ausgebildet und auf mehreren Standbeinen
unter Zwischenschalten entsprechender pneumatischer Federn befestigt wird.
Insbesondere durch den Umstand, daß die Grundplatte auf diese Weise ausgebildet
ist, ist die Grundplatte bezüglich Schwingung extrem stabilisiert. Es wird möglich,
den winzigen, von den vorgenannten Elementen erzeugten Strahlpunkt noch
genauer auf das Werkstück aufzubringen, was eine weitere Verbesserung der
Bearbeitungspräzision erlaubt.
-
Darüber hinaus zieht man bei einer derartigen YAG-Laserbearbeitungsmaschine
ferner vor, daß die X-Bewegung und Y-Bewegung betreffenden Daten des XY-Tisches
als Impulssignale von einem Kodierer empfangen werden, die Daten von einer
ODER-Schaltung verarbeitet werden, und die Impulsaufbringung des Laserstrahls
auf der Basis eines Ausgangssignals von der ODER-Schaltung gesteuert wird.
-
Insbesondere durch eine derartige Steuerung kann die Impulsaufbringung des
Laserstrahls durch konstante Abstandsintervalle unabhängig von den XY-Bewegungen
ausgeführt werden.
-
Somit kann ein als Instabilisierung des Abschneidezustands bezeichnetes Phänomen
aufgrund von Schwankungen der Bewegungsgeschwindigkeit des Werkstücks
vermieden werden. Die Effektivität des von den vorgenannten entsprechenden
Elementen erzeugten kleinen Punktstrahls kann weiter in den praktischen Betrieb umgesetzt
werden. Es kann ein Versuch gemacht werden, die Verarbeitungspräzision weiter zu
verbessern.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
-
Es stellen dar:
-
Fig. 1 eine Seitenaufrißansicht einer YAG-Laserbearbeitungsmaschine;
-
Fig. 2 eine schematische Anordnungsansicht eines Maschinenkörpers;
-
Fig. 3 eine schematischen Anordnungsansicht, welche eine Beziehung zwischen
einem parallelisierenden optischen System und einer Drossel- oder
Begrenzungseinrichtung und einer Verschlußeinrichtung darstellt; und
-
Fig. 4 eine Ansicht eines Steuersystems einer Steuereinrichtung für einen
Laserstrahl.
Beste Art der Ausführung der Erfindung
-
Eine Ausführungsform der Erfindung wird nachstehend beschrieben.
-
Eine der Ausführungsform entsprechende YAG-Laserbearbeitungsmaschine 1 weist
einen Maschinenkörper 2, einen XY-Tisch 3 und eine Grundplatte 4 auf, auf welcher
der Maschinenkörper 2 und der XY-Tisch 3, wie in Fig. 1 dargestellt, befestigt sind.
-
Wie in Fig. 2 dargestellt, ist der Maschinenkörper 2 mit einem Oszillator 10, einer
Oberwellenresonator-Einrichtung 11 und einem optischen System 12 ausgestattet.
Wie in Fig. 3 dargestellt, ist der Maschinenkörper 2 mit einer Drossel- oder
Begrenzungseinrichtung 13 und einer Verschlußeinrichtung 14 innerhalb des optischen
Systems 12 ausgestattet.
-
Der Oszillator 10 ist mit einem YAG-Stab 15, einem Paar reflektierender Front- und
Rückseitenspiegel 16 und 16, einem Gütemodulator (Q-switch) 17 und einer Apertur
18 ausgestattet, und so angeordnet, daß die Güteschalter-Oszillation durch Betrieb
des Güteschalters 17 ausgeführt werden kann. Ferner weist ein zur Oszillation
angeregter Laserstrahl B einen Strahldurchmesser auf, welcher durch die Apertur 18 auf
einen konstanten Durchmesser gebracht wird. Hier bedeutet "konstanter
Durchmesser" einen konstanten Durchmesser, welcher so weit wie möglich innerhalb eines
vom Oszillator 10 zur Schwingung anregbaren Bereichs eingeschränkt ist. In diesem
Beispiel beträgt der konstante Durchmesser 1,3 mm.
-
Die Oberwellenresonator-Einrichtung 11 ist für die Oberwellenumsetzung des
Laserstrahls B, welcher vom Oszillator 10 mit einer Wellenlänge von 1,06 mm zur
Oszillation angeregt wird, vorgesehen, und in diesem Beispiel wird eine
Oberwellenresonator-Einrichtung verwendet, welche eine zweite Oberwelle (Wellenlänge: 532 nm)
erzeugen kann.
-
Das optische System 12 weist ein parallelisierendes optisches System 19, welches die
Parallelität des Laserstrahls B aus dem Oszillator 10 weiter steigert, einen Kondensor
20 zur Bündelung des von dem parallelisierenden optischen Systems 19 emittierten
Laserstrahls B in die Form eines Brennpunkts zur Aufbringung auf ein Werkstück M
und einen Reflektionsspiegel 21 auf, der dazu vorgesehen ist, einen optischen Pfad
um 90º an einer Stelle zwischen dem parallelisierenden optischen System 19 und
dem Kondensor 20 zu ändern oder zu verändern.
-
Wie in Fig. 3 dargestellt, weist das parallelisierende optische System 19 eine
vergrößernde konkave Linse 22, eine parallelisierende konvexe Linse 23, eine verkleinernde
konvexe Linse 24 und eine parallelisierende konkave Linse 25 in von der Einfallseite
her angeordneter Reihenfolge auf. Der das parallelisierende optische System 19
durchlaufende Laserstrahl B wird von der parallelisierenden konvexen Linse 23
unter der Bedingung, daß der Laserstrahl B um eine vorgegebene Vergrößerung, in
diesem Beispiel fünffach (5-fach), durch die vergrößernde konkave Linse 22 vergrößert
wird, parallelisiert, dann durch die verkleinernde konvexe Linse (24) auf 1/5
verkleinert, und danach durch die parallelisierende konvexe Linse 25 parallelisiert,
wodurch eine höhere Parallelisierung erreicht wird.
-
Die Begrenzungseinrichtung 13 ist für eine weitere Verkleinerung des Durchmessers
des von dem Oszillator 10 mit dem Durchmesser von 1,3 mm zur Oszillation
angeregten Laserstrahls B vorgesehen, um einen Brennpunktdurchmesser des
Brennpunktes mittels des Kondensors 20 weiter zu reduzieren. Die
Begrenzungseinrichtung 13 ist als Plattenelement mit einer Durchgangsbohrung 26, deren
Durchmesser beispielsweise 1mm ist, ausgebildet, was einem erforderlichen
Kompressionsgrad zur Verfeinerung entspricht. Die Begrenzungseinrichtung 13 ist zwischen
der parallelisierenden konvexen Linse 23 und der verkleinernden konvexen Linse 24
so angeordnet, daß ein Mittelpunkt der Durchgangsbohrung 26 am Mittelpunkt des
optischen Pfades angeordnet ist. Die Begrenzungseinrichtung 13 ist so angeordnet,
daß sie den Laserstrahl B in einem Abschnitt außerhalb der Durchgangsbohrung 26
abfängt oder abschneidet. In diesem Zusammenhang wird die
Begrenzungseinrichtung 13 durch eine im Durchmesser zur Durchgangsbohrung 26 der
Begrenzungseinrichtung 13 unterschiedliche ersetzt, wodurch es möglich ist, den
Kompressionsgrad zur Verfeinerung zu ändern.
-
Dementsprechend verhält sich der das parallelisierende optische System 19, in das
die Begrenzungseinrichtung 13 eingesetzt ist, durchlaufende Laserstrahl B so, daß
ein Durchmesser des parallelisierenden Systems 19 mechanisch durch die
Begrenzungseinrichtung 13 an einer Stelle zwischen der parallelisierenden konvexen Linse
23 und der verkleinernden konvexen Linse 24 verkleinert und eine schlechte oder
mangelhafte Zusammensetzung an einem äußeren Umfangsanteil entfernt wird. Der
Laserstrahl B tritt in die verkleinernde konvexe Linse 24 in einem Zustand von
beispielsweise 1 mm Durchmesser, bei dem die mangelhafte Zusammensetzung
entfernt ist, ein, und der Laserstrahl B wird weiter verkleinert. Letztlich wird der
Laserstrahl B auf ein Durchmesser von 0,2 mm gebracht und fällt auf den Kondensor 20.
Als Ergebnis wird ein Brennpunktdurchmesser von etwa 2 bis 5 um erzeugt, was
beachtlich verkleinert oder im Vergleich zu dem herkömmlichen beachtlich dünn oder
fein ist. Eine Bearbeitung, bei der eine Struktur direkt auf eine Photomaske, die
beispielsweise zur Herstellung von Halbleiterschaltungen der 4-Megabit-Klasse
verwendet werden, geschrieben wird, und ferner eine Bearbeitung wie die, bei der eine
Struktur direkt auf ein Substrat jedes einzelnen Halbleiters geschrieben wird, sind
ebenfalls möglich geworden. In diesem Zusammenhang ist ein Zustand oder Status
des Laserstrahls B, bei dem die Begrenzungseinrichtung 13 nicht verwendet wird, in
der Figur durch eine Doppelpunkt-Strich-Linie dargestellt.
-
Die Verschlußeinrichtung 14 ist zwischen der parallelisierenden konvexen Linse 23
und der verkleinernden konvexen Linse 24 ähnlich wie die Begrenzungseinrichtung
13 angeordnet. Die Verschlußeinrichtung 14 ist für die Ausführung der EIN/AUS-
Steuerung der Bestrahlung oder Aufbringung des Laserstrahls B auf das Werkstück
M vorgesehen. Auf diese Weise wird die EIN/AUS-Steuerung zur Aufbringung des
Laserstrahls durch die Verschlußeinrichtung 14 ausgeführt, welche außerhalb des
Oszillators 10 angeordnet ist, wodurch eine Präzisions- oder Feinbearbeitung
weiterhin stabil durchgeführt werden kann. Insbesondere kann durch die Verwendung der
Verschlußeinrichtung 14 vermieden werden, das Stoppen/Starten des Oszillators
während der Bearbeitung durchzuführen, so daß es möglich ist, die Beeinträchtigung
oder den Einfluß einer Ausgangsleistungsinstabilität im Anfangsstadium des
Startvorgangs zu vermeiden. In diesem Zusammenhang können bekannte Elemente als
detaillierte Ausführung der Verschlußeinrichtung 14 verwendet werden, und es
wird auf deren Beschreibung verzichtet.
-
Der Grund dafür, daß die Begrenzungseinrichtung 13 und die Verschlußeinrichtung
14 zwischen der parallelisierenden konvexen Linse 23 und der verkleinernden
konvexen Linse 24 angeordnet sind, besteht darin, Beschädigungen der Begrenzungsein
richtung 13 und der Verschlußeinrichtung 14 durch den Laserstrahl B zu vermeiden.
Der Laserstrahl B ist insbesondere, wie vorstehend beschrieben, an einer Stelle
zwischen der parallelisierenden konvexen Linse 23 und der verkleinernden konvexen
Linse 24 fünffach (5-fach) aufgeweitet, und eine Energie des Laserstrahls B ist auf
1/5 reduziert. Aus diesem Grunde kann, wenn die Begrenzungseinrichtung 13 und
die Verschlußeinrichtung 14 hier angeordnet sind, eine Beschädigung der
Begrenzungseinrichtung 13 und der Verschlußeinrichtung 14 vermieden werden
-
Der XY-Tisch 3 ist mit einer Steuereinrichtung für den Laserstrahl ausgestattet, wie
sie in einer in Fig. 4 gezeigten Steuersystemansicht dargestellt ist. Die
Steuereinrichtung für den Laserstrahl detektiert den Betriebszustand eines (nicht dargestellten)
Motors, der als Antriebsquelle für den XY-Tisch 3 dient, oder die Bewegung des XY-
Tisches 3 durch einen Linearkodierer oder Rotationskodierer. Durch eine ODER-
Schaltung 27 wird eine logische Summe oder ein Additionsergebnis unter
Berücksichtigung der sich auf die entsprechenden detektierten X-Bewegung und
Y-Bewegung beziehenden Daten gebildet, und ein Ausgangssignal davon wird über eine n-
fach-Schaltung 28 in eine Laseraufbring-Steuerschaltung 29 eingegeben.
-
Es werden insbesondere Impulssignale erhalten, die konstanten Abstandsintervallen
der jeweiligen X-Bewegung und Y-Bewegung entsprechen. Sobald irgendeines der
Impulssignale der jeweiligen X-Bewegung und Y-Bewegung vorliegt, wird die
Impulsbestrahlung oder Aufbringung des Lasers dem Impulssignal gemäß, ausgeführt.
Die Einfügung der n-fach-Schaltung bewirkt, daß für jede X-Bewegung und
Y-Bewegung die Anzahl der Laserstrahlimpulse zu n pro Einzelimpulssignal wird.
-
Auf diese Weise werden die die XY-Bewegungen betreffenden Daten als
Impulssignale von dem Kodierer erhalten. Auf der Basis der Daten wird die
Impulsaufbringung des Laserstrahls gesteuert, wodurch die Impulsaufbringung des Laserstrahls in
konstanten räumlichen Intervallen oder in einem Abstand ausgeführt werden kann,
die/der unabhängig von den Geschwindigkeiten der entsprechenden XY-Bewegung
ist. Somit kann ein als schlechte Qualität oder Minderwertigkeit eines
Abschneidezustands bezeichnetes Phänomen vermieden werden, welches sich aus einer Änderung
oder Schwankung in einer Bewegungsgeschwindigkeit des Werkstücks aufgrund
einer unvermeidlichen Abbremsung z.B. an einem Eckenabschnitt ergibt. Darüber
hinaus werden die Daten der XY-Bewegungen durch die ODER-Schaltung 27
verarbeitet, welche die Verarbeitung im Vergleich zu einem Rechner mit ziemlich hoher
Geschwindigkeit verarbeiten kann. Dadurch wird eine Bearbeitung mit einer im
Vergleich zur herkömmlichen Vorrichtung höheren Geschwindigkeit ermöglicht.
-
Die Grundplatte 4 besteht aus einem festen Stein mit relativ hohem spezifischen
Gewicht, wie z.B. Granit, und wird von vier (4) Standbeinen 31, 31... unter
Zwischenschaltung entsprechender Luft- oder pneumatischer Federn 31 unterstützt. In diesem
Zusammenhang sei erwähnt, daß bei diesem Beispiel jede der pneumatischen Federn
30 vom Balgentyp als "pneumatische Feder" eingesetzt wird. Die Erfindung sollte
jedoch nicht darauf beschränkt sein, und es können beliebige andere geeignete
Elemente verwendet werden.
-
Eine derartige Grundplatte 4 ist durch den Umstand gekennzeichnet, daß eine
Beeinträchtigung oder Beeinflussung durch Umgebungsschwingungen effektiv
unterdrückt werden können.
-
Insbesondere wirken eine wirksame Schwingungsabsorbierfähigkeit aufgrund der
pneumatischen Federn 30 und eine Fähigkeit zur Unterdrückung höherfrequenter
Schwingungen, aufgrund des Umstandes, daß die Grundplatte 4 in einem Stück aus
festem Stein besteht, zusammen, so daß von einem Fundament oder von einem
erhöhten Geschoß übertragene Umgebungsschwingungen effektiv unterdrückt
werden können.
Industrieller Anwendungsbereich
-
Wie vorstehend beschrieben, ist die erfindungsgemäße
YAG-Laserbearbeitungsmaschine so eingerichtet, daß der äußere Umfangsanteil des Laserstrahls durch die
Begrenzungseinrichtung abgeschnitten wird, wodurch der Strahldurchmesser
verengt oder verkleinert und zu einem präzisen gemacht wird, daß die
EIN/AUS-Steuerung der Laserstrahlaufbringung durch die außerhalb des Oszillators angeordnete
Verschlußeinrichtung ausgeführt wird, wodurch die Ausgangsleistung des
Laserstrahls stabilisiert wird, daß die Oberwellenresonator-Einrichtung vorgesehen ist,
um den Laserstrahl auf eine Oberwelle umzusetzen, wodurch versucht werden
kann, den Durchmesser des Strahlpunktes zu verkleinern und präziser zu machen,
daß die Grundplatte aus festem Stein besteht und auf den Standbeinen unter
Zwischenschaltung der pneumatischen Federn befestigt ist, wodurch versucht werden
kann, die Rüttelfestigkeit zu verbessern, und daß die die X-Bewegung und die
Y-Bewegung des XY-Tisches betreffenden Daten vom dem Kodierer als Impulssignale
erhalten werden und daß die Impulsaufbringung des Laserstrahls auf der Basis der
Daten gesteuert wird, wodurch die Bearbeitung bei schwankender
Bewegungsgeschwindigkeit des Werkstückes stabil gemacht werden kann, und demzufolge eine
sehr hochpräzise Bearbeitung ermöglicht wird, wie beispielsweise das direkte
Zeichnen der Struktur auf die Photomaske, welche in dem Herstellungsschritt gedruckter
Leiterplatten mit hoher Packungsdichte und im Herstellungsschritt von Halbleitern
verwendet wird.