DE69009449T2 - Turbogebläse für laser und laseroszillator, der dieses benutzt. - Google Patents

Turbogebläse für laser und laseroszillator, der dieses benutzt.

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Laserturbogebläse für den Zwangsumlauf von Lasergas in einem Gaslaser zur Werkstückbearbeitung und einen Laseroszillator, der von einem derartigen Laserturbogebläse Gebrauch macht und insbesondere ein Laserturbogebläse, das Lager mit verlängerten Wartungszeiten aufweist sowie eine verbesserte Zuverlässigkeit und Beständigkeit, sowie einen Laseroszillator unter Verwendung eines derartigen Laserturbogebläses.
  • Bisherige Kohlenstoffdioxid (CO&sub2;)-Gaslaser-Oszillatoren entwickeln eine hohe Ausgangsleistung und liefern Laserstrahlen hoher Qualität und werden weithin für Laserbearbeitungszwecke eingesetzt, wie dem Schneiden von metallischen oder nicht-metallischen Werkstoffen und dem Schweißen von metallischen Werkstoffen. Insbesondere finden Kohlenstoffgaslaser in Verbindung mit CNC (Rechnergesteuerte numerische Steuerung) Systemem als CNC-Laserbearbeitungsvorrichtungen weithin Verwendung für Anwendungszwecke, bei denen Werkstücke komplexer Form mit hoher Geschwindigkeit und großer Genauigkeit hergestellt werden sollen.
  • Eine bekannte Kohlenstoffdioxid (CO&sub2;)-Gaslaser-Oszillatoreinrichtung wird nachfolgend anhand der Zeichnung beschrieben.
  • Fig. 6 der Zeichnung zeigt insgesamt eine bekannte Kohlenstoffdioxid (CO&sub2;)-Gaslaser-Oszillationseinrichtung. Die Einrichtung besteht aus einem Entladungsrohr 31 mit einem optischen Resonator, der einen Auskoppelspiegel 32 und einen Vollreflexionsspiegel 33 aufweist, die jeweils an entgegengesetzten Enden des Entladungsrohrs 31 angeordnet sind. An den äußeren Umfangsflächen des Entladungsrohres 31 liegen Metallelektroden 34, 35, von denen die Elektrode 34 an Masse liegt und die Metallelektrode 35 an eine HF-Energieversorgung 36 angeschlossen ist. Diese liefert eine HF-Spannung an die Metallelektroden 34, 35, um eine Glühentladung im Entladungsrohr 31 zur Laseranregung zu erzeugen. Ein Laserstrahl wird längs einer optischen Achse 43 im Entladungsrohr 31 erzeugt und verläßt das Entladungsrohr 31 durch den Auskoppelspiegel 32 auf einer optischen Achse 44.
  • Vor dem Start der Einrichtung wird diese insgesamt mit einer Vakuumpumpe 42 evakuiert und ein Ventil 41 geöffnet, um Lasergas mit einer bestimmten Menge aus einem Behälter 40 in die Einrichtung einzuführen, bis der Gasdruck in der Einrichtung einen bestimmten Wert erreicht. Die Einrichtung wird von der Vakuumpumpe 42 kontinuierlich evakuiert und auch das Lasergas wird durch das Ventil 41 kontinuierlich zugeführt, so dar ein Teil des Lasergases ständig durch frisches Gas ersetzt wird, während der Gasdruck in der Einrichtung auf dem bestimmten Wert gehalten wird. Auf diese Weise kann das Innere der Einrichtung durch Lasergas nicht kontaminiert werden.
  • In Fig. 6 zirkuliert ein Gebläse 39 das Lasergas in der Einrichtung, um das Lasergas zu kühlen. Bei dem Kohlenstoffdioxid (CO&sub2;)-Gaslaser werden etwa 20% der aufgewendeten elektrischen Leistung in einen Laserstrahl umgewandelt, wohingegen der Rest der aufgewendeten elektrischen Leistung zum Heizen des Lasergases verbraucht wird. Da die Verstärkung der Laseroszillation theoretisch proportional gleich der absoluten Temperatur T³ 1/2 ist, erfordert dies eine Zwangskühlung des Lasergases, um den Oszillationswirkungsgrad zu steigern.
  • In der in Fig. 6 dargestellten Einrichtung strömt das Lasergas durch das Entladungsrohr 31 mit einer Geschwindigkeit von etwa 100 m/s in Pfeilrichtung zu einer Kühleinheit 38. Die Kühleinheit 38 dient hauptsächlich zum Abführen der von der elektrischen Entladung im Lasergas erzeugten thermischen Energie. Das Gebläse 39 komprimiert dann das gekühlte Lasergas. Das komprimierte Lasergas wird dann in das Entladungsrohr 31 durch eine weitere Kühleinheit 37 geführt. Die Kühleinheit 37 dient zum Abführen der von der Verdichtung des Lasergases im Gebläse 39 herrührenden Wärme, bevor das Lasergas wieder in das Entladungsrohr 31 strömt. Die Kühleinheiten 37, 38 sind bekannt und werden nicht näher erläutert.
  • Das Gebläse 39 kann entweder ein Rootsgebläse oder ein Turbogebläse sein. Fig. 7 der Zeichnung zeigt den Aufbau eines bekannten Turbogebläses für einen Laser. Das Turbogebläse besitzt ein Gebläserad 1, das auf einer Welle 2 mit einem Rotor 3 befestigt ist. Der Rotor 3 und ein Stator 4 sind Teile eines HF-Motors. Das Gebläserad 1 wird mit hoher Drehzahl von etwa 100.000 UPM vom HF-Motor angetrieben. Infolge der hohen Drehzahl des Gebläserades 1 ist der Platzbedarf des Turbogebläses kleiner als der des Rootsgebläses, das bei langsameren Drehzahlen rotiert.
  • Die Welle 2 ist in zwei Rollenlagern 5, 6 gelagert, von denen je eines auf jeder Seite des HF-Motors angeordnet ist. Die Rollenlager 5, 6 werden mit Fett geschmiert, um die Kontamination des Lasergases zu vermeiden, die sonst durch Schmierölfilm verursacht wäre.
  • Das Lasergas gelangt von der Kühleinheit 38 in das Turbogebläse in Pfeilrichtung 8 und verläßt das Turbogebläse in Pfeilrichtung 7 zum Kühlgebläse 37.
  • Die bekannte Laseroszillationseinrichtung, wie sie in den Fig. 6 und 7 dargestellt ist, besitzt folgende Nachteile:
  • Bei der hohen Drehzahl von bis zu 100.000 UPM des bekannten Turbogebläses sucht sich das Fett zu zersetzen und wird frühzeitig aufgebraucht. Im besonderen hat der Motor einen Wirkungsgrad von etwa 75%, wobei der Rest (25%) der verbrauchten Leistung in Wärme umgewandelt wird. Hat deshalb der Motor eine Leistung von 2 kW, dann fallen etwa 667 W als Wärme an. Etwa 567 W des Wärmeverlustes kommen aus den Eisen- und Kupferverlusten des Stators 4, während etwa 100 W von den Kupferverlusten des Rotors 3 herrühren.
  • Wird der Rotor 3 auf diese Weise aufgeheizt, so steigt seine Temperatur auf 100ºC oder mehr. Der Stator 4 kann durch eine Wasserkühlung gekühlt werden, die um den Stator 4 angeordnet ist, doch kann der Rotor 3 nicht mit Wasser gekühlt werden, da er mit hoher Drehzahl rotiert. Der Motor kann auch nicht durch Luft gekühlt werden, da bei einem atmosphärischen Druck von 0,1 im Motor nur Lasergas vorhanden ist.
  • Somit gelangt die vom Rotor 3 erzeugte Wärme durch die Welle 2 zu den Lagern 5, 6 der Welle 2, heizt diese auf und erhöht die Temperatur der Lager 5, 6. Die Lager 5, 6 arbeiten bis zu einer Temperatur von etwa 80ºC einwandfrei. Oberhalb der Temperatur von etwa 80ºC verringert sich die Lebensdauer der Lager für jeden Temperaturanstieg von 10ºC um die Hälfte, da sich das Lagerschmiermittel bei höheren Temperaturen zersetzt.
  • Werden die Lager ständig diesen Betriebszuständen ausgesetzt, so werden sie zerstört. Es muß daher für gewöhnlich das Fett erneuert werden oder die Lager werden alle 1000 Stunden erneuert. Es ist daher ein großer Wartungsaufwand bisher erforderlich gewesen.
  • Das Fett wird von der in den Lagern 5, 6 herrschenden Temperatur verdampft und der Fettdampf mischt sich mit dem Lasergas. Dieses Fettdampfgemisch kontaminiert die optischen Komponenten, verringert die Laserleistung und ändert die Betriebsweise.
  • In der bekannten Bauart sitzt das Gebläserad 1 in dem Durchgang, durch den ein großer Teil des Lasergases zirkuliert. Deshalb wird das Gebläserad 1 stets gekühlt und die Temperatur des Lagers 5 neben dem Gebläserad 1 erhöht sich nicht ernstlich. Das vom Gebläserad 1 entfernte Lager 6 wird jedoch vom Lasergas nicht gekühlt, so daß das Lager 6 unmittelbar von dem Temperaturanstieg betroffen ist und mit hoher Wahrscheinlichkeit Schaden leidet.
  • Die Erfindung entstand im Hinblick auf die vorgenannten Nachteile. Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein Laserturbogebläse zu schaffen, dessen Lager vor einem Temperaturanstieg geschützt sind, und das eine hohe Zuverlässigkeit und Dauerhaftigkeit besitzt.
  • JP-A-58-14589 offenbart ein Turbogebläse für einen Laser mit einer Welle und einem Gebläserad an einem Ende, mit zwei Lager zum Lagern der Welle und einem Motor zum Antrieb der Welle, wobei gemäß der Erfindung das Turbogebläse dadurch gekennzeichnet ist, daß im Betrieb von einem Lasergas gekühlte Kühlrippen an der Welle befestigt und zwischen dem Motor und dem vom Gebläserad entfernten Lager angeordnet sind.
  • Ein derartiges Gebläse wird vorzugsweise für einen Laseroszillator verwendet.
  • Die vom Rotor des Motors erzeugte Wärme wird von den Kühlrippen an der Welle abgegeben und kann somit nicht zu den Lagern übertragen werden. Die Kühlrippen werden von einem Teil des Lasergases zwangsgekühlt, so daß dadurch die Kühlwirkung stark ansteigt. Die Wartungszeit für das Fett in den Lagern sowie für die Lager selbst wird vergrößert und damit wird der Arbeitsaufwand für die Erneuerung des Fettes und das Auswechseln der Lager verringert. Auch wird die Zuverlässigkeit der Lager erhöht.
  • Die Zeichnung zeigt:
  • Fig. 1 einen Querschnitt eines Laserturbogebläses gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
  • Fig. 2 eine Ansicht der Gesamtanordnung einer Laseroszillationseinrichtung unter Einsatz des Laserturbogebläses nach Fig. 1;
  • Fig. 3 eine Detaildarstellung der Kühlrippen des Laserturbogebläses gemäß Fig. 1;
  • Fig. 4 einen Querschnitt eines Laserturbogebläses gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;
  • Fig. 5 einen Querschnitt eines Laserturbogebläses nach einer dritten Ausführungsform der Erfindung;
  • Fig. 6 eine Ansicht der Gesamtanordnung einer bekannten Kohlenstoffdioxid (CO&sub2;)-Gaslaser-Oszillationseinrichtung und
  • Fig. 7 einen Querschnitt durch ein bekanntes Laserturbogebläse.
  • Fig. 1 zeigt ein Laserturbogebläse in einer ersten Ausführungsform der Erfindung. Die der Anordnung in Fig. 7 entsprechenden Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht näher erläutert. Das Gebläserad 1 ist als Zentrifugalrad dargestellt, kann aber auch diagonalen oder axialen Durchfluß haben.
  • Das Laserturbogebläse in dieser Ausführungsform unterscheidet sich vom bekannten Laserturbogebläse dadurch, daß an der Welle 2 gasgekühlte wärmeabstrahlende Rippen 11 befestigt sind. Die Kühlrippen 11 liegen zwischen dem Rotor 1 und dem vom Gebläserad 1 entfernten Lager 6. Ein Gehäuse 12 des Laserturbogebläses hat einen Durchlaß für ein kühlendes Lasergas, das über die Kühlrippen 11 in Pfeilrichtung 9 und 10 strömt. Die vom Rotor 3 erzeugte Wärme wird von den Kühlrippen 11 abgeführt, die vom Lasergas gekühlt werden und heizt somit nicht das Lager 6 auf.
  • Die Räume im Lager 5, 6 zwischen den Rollen und Haltern zwischen den inneren und äußeren Laufringen werden mit einer bestimmten Fettmenge gefüllt.
  • Fig. 2 zeigt die Gesamtanordnung einer Laseroszillationseinrichtung mit dem in Fig. 1 dargestellten Laserturbogebläse. Die mit Fig. 6 baugleichen Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht näher erläutert.
  • In dieser Ausführungsform strömt ein Teil des zirkulierenden Lasergases zu einem Turbogebläse 21, um die in Fig. 1 gezeigten Kühlrippen 11 zu kühlen. Genauer gesagt wird ein Teil des in der Kühleinheit 37 gekühlten Lasergases durch eine Rückführleitung 22 in Pfeilrichtung 9 in das Turbogebläse 21 gesaugt. Das Lasergas, das die Wärme von den Kühlrippen 10 aufgenommen hat, strömt in Pfeilrichtung 10 und durch eine Leitung 23 zurück zum Lasergas-Kreislauf. Das zurückgeführte Lasergas wird in der Kühleinheit 38 gekühlt und zirkuliert in der Einrichtung.
  • Im Gegensatz zum bekannten Turbogebläse wird der größte Teil der vom Rotor 3 des Motors erzeugten Wärme über die Kühlrippen 11 abgeführt. Wegen der Kühlrippen 11 ist das Lager 6 vom Rotor 3 weiter entfernt angeordnet, der als Wärmequelle dient und ist damit der Wärme vom Rotor 3 weniger ausgesetzt.
  • Da die Kühlrippen 11 vom Lasergas zwangsweise gekühlt werden, wird die vom Rotor 3 erzeugte und durch die Welle 2 sich ausbreitende Wärme an den Kühlrippen 11 abgeführt.
  • Die Wärmemenge q, die vom Kühlsystem abgestrahlt wird, ist durch folgende Gleichung definiert:
  • q = h A (T2 - T1)
  • wobei q = Betrag der abgestrahlten Wärme (W)
  • h = Wärmeübergangskoeffizient (W/m²K)
  • A = Bereich, in dem sich die Wärme ausbreitet (m²)
  • (T2 - T1) = Temperaturdifferenz (K).
  • Der Wärmeübergangskoeffizient h des Kühlsystems, basierend auf einer Zwangskonvektion eines Gases, wird mit Zuhilfenahme der Nusselt-Zahl Nu (dimensionslos) wie folgt wiedergegeben:
  • h = Nu k/d,
  • wobei Nu = Nusselt-Zahl (Durchschnitt)
  • k = Übergangskoeffizient (W/m²K) des Gases und
  • d = Länge (Durchmesser).
  • Fig. 3 zeigt im einzelnen die in Fig. 1 dargestellten Kühlrippen. Es sei angenommen, daß die Kühlrippen eine axiale Länge von 30 mm besitzen, jede Kühlrippe eine Dicke t1 von 2 mm hat und die Kühlrippen in einem Abstand t2 von 2 mm angeordnet sind. Die Kühlrippen 11 haben einen Außendurchmesser D1 von 40 mm und einen Innendurchmesser D2 von 14 mm.
  • Bei einem Gasdurchsatz von 0,018 m³/s mit der Gastemperatur T1 = 20ºC und der Temperatur T2 der Welle 2 von 100ºC beträgt die von den Kühlrippen 11 abgegebene Wärmemenge etwa 97 W. Die Kühlrippen 11 sind deshalb ausreichend wirksam, da die vom Rotor 3 entwickelte Wärmemenge etwa 100 W beträgt. Ein mit Kühlrippen 11 durchgeführter praktischer Versuch zeigte, daß mit ihnen die Temperatur der Welle 2 von etwa 110ºC auf etwa 50ºC abgesenkt werden konnte.
  • Fig. 4 zeigt ein Laserturbogebläse in einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. Gleiche Bauteile wie in Fig. 1 sind mit gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht näher erläutert.
  • Der Unterschied der zweiten Ausführungsform gegenüber dem in Fig. 1 gezeigten Laserturbogebläse besteht nur darin, daß Kühlrippen 15 zusätzlich zu den Kühlrippen 11 vorgesehen sind. Die Kühlrippen 15 liegen zwischen dem Lager 5 nahe dem Gebläserad 1 und dem Rotor 3. Das Gehäuse 12 hat einen Durchlaß für kühlendes Lasergas, das über die Kühlrippen 15 in Pfeilrichtung 13 zum Pfeil 14 strömt. Die vom Rotor 3 erzeugte Wärme wird von den Kühlrippen 11,15 abgeführt, die vom Lasergas gekühlt werden und erreicht nicht die Lager 5, 6.
  • Fig. 5 zeigt eine dritte Ausführungsform der Erfindung, bei der Ölfilmdämpfer um die Lager 5, 6 des Laserturbogebläses in Fig. 1 angeordnet sind, um Lagerschwingungen zu dämpfen.
  • Jeder Ölfilmdämpfer besteht aus einer Büchse 51, O-Ringen 52, 53 und einem Ölfilm, der zwischen dem Gehäuse 12 und der Büchse 11 eingefüllt ist.
  • Die inneren Laufringe der Rollenlager 5, 6 sind an der Welle 2 befestigt, während die Außenlaufringe an den Büchsen 51 befestigt sind. Das Gehäuse 12 und die Büchsen 51 sind voneinander im Abstandsbereich von 10 bis 100 u entfernt, wobei die Abstände mit Fett oder Öl gefüllt sind. Die O-Ringe 52, 53 dienen zum Isolieren des Fettes bzw. Öls in den Abständen gegenüber dem Lasergas.
  • Mit einer derartigen Anordnung werden vom Rotieren des Gebläserades 11 und der Welle 2 mit hoher Drehzahl herrührende Schwingungen von einem fluiddynamischen Effekt der Ölfilmdämpfer gedämpft.
  • Auch wenn Rollenlager für die vorgenannten Ausführungsformen beschrieben worden sind, können auch Kugellager Verwendung finden. Die Lager können auch aus Keramik bestehen.
  • Für die vorgenannten Ausführungsformen verlängert sich die Lebensdauer der Lager von etwa 500 bis 1000 Stunden bekannter Lager bis zu einem Bereich von 5000 und bis zu 15000 Stunden, da die Lager bei geringeren Temperaturen arbeiten. Außerdem sind Wartungsvorgänge wie das periodische Nachfüllen von Fett oder Erneuern der Lager und Fett nicht mehr nötig.
  • Wie vorstehend erläutert, wird die Zuverlässigkeit und Betriebsdauer des Laserturbogebläses verbessert, da ein Temperaturanstieg in den Lagern vermieden wird, und sind Wartungsvorgänge wie ein periodisches Nachfüllen von Fett oder das Auswechseln von Lagern und Fett unnötig.

Claims (7)

1. Turbogebläse für einen Laser mit einer Welle (2) und einem am Ende der Welle angeordneten Gebläserad (1) mit zwei Lagern (5,6) für die Welle und mit einem Motor (3,4) zum Antrieb der Welle, dadurch gekennzeichnet, daß im Betrieb von einem Lasergas gekühlte Kühlrippen (11) an der Welle befestigt und zwischen dem Motor und dem vom Gebläserad entfernten Lager (6) angeordnet sind.
2. Turbogebläse nach Anspruch 1, bei dem die Kühlrippen (11,15) auf beiden Seiten des Motors (3,4) angeordnet sind.
3. Turbogebläse nach Anspruch 1 oder 2, ferner mit einem mit jedem Lager kombinierten Ölfilmdämpfer (51,52,53).
4. Turbogebläse nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Lager (5,6) Kugellager sind.
5. Turbogebläse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Lager Rollenlager sind.
6. Turbogebläse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Lager keramisch sind.
7. Laseroszillator mit einem Entladungsrohr (31) zum Erzeugen einer elektrischen Entladung in einem Gas zur Laseranregung, mit einem optischen Resonator zum Hervorrufen einer Laserschwingung und einem Gaskreislauf mit einem Gebläse (21) und Kühleinheiten (37,38) zum Zwangskühlen des Lasergases, bei dem das Gebläse ein Turbogebläse nach einem der vorhergehenden Ansprüche aufweist.
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