DE69005877T2

DE69005877T2 - Poliervorrichtung.

Info

Publication number: DE69005877T2
Application number: DE69005877T
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Takamatsu; Katsunobu Ueda
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-04-19
Filing date: 1990-04-18
Publication date: 1994-05-19
Anticipated expiration: 2010-04-19
Also published as: KR900015852A; US5054244A; DE69005877D1; KR920003195B1; JPH02279275A; JP2977203B2; EP0393615B1; EP0393615A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Poliervorrichtung (Schleifvorrichtung) zum Polieren (Schleifen) von Werkstücken mit Hilfe eines Polierwerkzeugs (Schleifwerkzeugs), umfassend die Merkmale nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 bzw. 7.
Auf verschiedenen Industriegebieten werden vielfältige Bauteile mit sphärischen oder komplex gekrümmten Oberflächen verwendet. Einige dieser Bauteile, wie optische Linsen und Röntgenreflektoren, weisen mit hoher Präzision gekrümmte Spiegelflächen auf.
Eine Methode zur Ausbildung solcher Spiegelflächen ist das Hochpräzisions-Polierverfahren, bei dem ein weiches Polierwerkzeug aus Kunststoff oder Gummi bzw. Kautschuk für das Polieren von Werkstücken mit hoher Präzision bzw. Genauigkeit eingesetzt wird. Das Polierwerkzeug kann dabei eine konkave oder eine konvexe Oberfläche aufweisen. Ein Werkstück wird mit der Polier(ober)fläche des Polierwerkzeugs in Berührung gebcacht und dadurch poliert.
Neuerdings ist eine automatische Hochpräzisions-Polier- Vorrichtung entwickelt worden, die eine NC-Steuereinheit, ein Werkzeug zum Polieren eines Werkstücks, einen Elektromotor zum Antreiben des Werkzeugs unter der Steuerung durch die NC-Steuereinheit und einen Mechanismus zum Haltern des Werkzeugs und zum Ausüben einer Belastung bzw. Last vom Arbeitspunkt des Werkzeugs auf die Oberfläche des Werkstücks unter der Steuerung durch die NC-Steuereinheit umfaßt. Die NC-Steuereinheit steuert den Motor entsprechend Koordinaten (an), die Positionen oder Stellungen reprasen- tieren, welche das Werkzeug gegenüber dem Werkstück einnehmen muß, um damit das Werkzeug in eine gewünschte oder Soll-Stellung zu bewegen.
Eine andere Polier- und Schleifvorrichtung mit den Merkmalen nach den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 7 ist aus der EP-A1-0 034 659 bekannt. Bei dieser Vorrichtung übt das Werkzeug eine konstante Belastung auf die Oberfläche eines Werkstücks aus, wobei die konstante Belastung durch Feinbewegung bzw. -verstellung der Werkzeugspindel erreicht wird. Die Feinverstellung erfolgt durch Druckregelung in einem Hydraulikzylinder in Abhängigkeit von Signalen, die von Drahtdehnungsmeßstreifen erzeugt werden.
Für das gleichmäßige Polieren des Werkstücks über seine Gesamtoberfläche hinweg muß das Werkzeug während des Poliervorgangs jederzeit eine konstante Belastung von seinem Arbeitspunkt auf die Oberfläche des Werkstücks ausüben. Das Werkzeug kann jedoch nicht in so winzigen Schritten (genauestens) bewegt werden, daß sein Arbeits(angriffs)punkt längs der in der Oberfläche des Werkstücks gebildeten Spitzen (Erhebungen) und Vertiefungen mit Höhen und Tiefen in der Größenordnung von Nanometer (im Nanometerbereich) bewegt wird, so daß das Werkzeug unvermeidlich nicht jeden Teil der Werkstückoberfläche mit der gleichen Last beaufschlagen kann. Die Teite des Werkstücks werden (daher) mit unterschiedlichen Lasten poliert und erhalten dadurch unterschiedliche Oberflächen-Rauheitsgrade.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung einer Polier-(oder Schleif-)Vorrichtung, die jeden Teil oder Bereich der Oberfläche eines Werkstücks auch dann mit jeweils gleicher Belastung bzw. Last zu beaufschlagen vermag, wenn die Werkstückoberfläche komplex gekrümmt ist, und welche daher das Werkstück mit hoher Präzision zu polieren (schleifen) vermag.
Gegenstand der Erfindung ist eine Poliervorrichtung mit den Merkmalen nach Anspruch 1. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben. Gegenstand der Erfindung ist auch eine Schleifvorrichtung mit den Merkmalen nach Anspruch 7.
Ein Detektor detektiert die durch das Werkzeug auf das Werkstück ausgeübte Belastung bzw. Last und erzeugt ein diese Belastung bzw. Last repräsentierendes Signal, das der Steuereinheit zugespeist wird. Die Steuereinheit steuert das Element entsprechend der durch das Signal repräsentierten Last, und das Element verschiebt das Werkzeug in der gleichen Richtung, in welcher das Werkzeug das Werkstück mit der Last beaufschlagt, oder in der Richtung entgegengesetzt dazu, wobei die auf das Werkstück ausgeübte Last sich auf eine vorgeschriebene Größe ändert. Mit anderen Worten: die Höhen der Spitzen und die Tiefen der Vertiefungen, die auf bzw. in der Werkstückoberfläche geformt sind, werden in Form von Änderungen der durch den Detektor detektierten (erfaßten) Belastung bzw. Last detektiert, d.h. abgegriffen, wobei der Tisch entsprechend diesen Änderungen verschoben wird. Das Werkzeug beaufschlagt demzufolge jeden Bereich der Werkstückoberfläche mit der gleichen Last, so daß das Werkstück mit hoher Präzision poliert wird.
Ein besseres Verständnis dieser Erfindung ergibt sich aus der folgenden genauen Beschreibung anhand der beigefügten Zeichnungen, in denen zeigen:
Fig. 1 eine Plandarstellung einer Poliervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
Fig. 2 eine schematische Detaildarstellung des bei der Vorrichtung nach Fig. 1 vorgesehenen (Werkstück-)- Tisches,
Fig. 3 und 4 Wellenformen verschiedener, in der Vorrichtung benutzter Signale zur Erläuterung der Arbeitsweise der Vorrichtung und
Fig. 5 eine (schematische) Vorderansicht einer Schleifvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung.
Im folgenden ist eine Ausführungsform dieser Erfindung in Form einer Poliervorrichtung anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert.
Die in Fig. 1 dargestellte Poliervorrichtung umfaßt einen Poliermechanismus 1 , einen Datenpuffer (Zwischenspeicher) 2 und einen sog. Personal-Rechner 3. Der zum Polieren von Werkstücken ausgelegte Mechanismus 1 ist mit dem Datenpuffer 2 verbunden. Der Datenpuffer 2 ist seinerseits an den Personal-Rechner 3 angeschlossen, der wiederum einen Speicher zum Speichern von numerischen Daten für die Steuerung des Poliermechanismus aufweist und die numerischen Daten in Koordinatendaten umzuwandeln vermag. Der Datenpufffer 2 dient zum Zwischenspeichern der vom Personal-Rechner 3 ausgegebenen Koordinatendaten.
Der Poliermechanismus 1 umfaßt eine bewegbare oder verschiebbare Bühne 10, ein Lager 11, ein Polierwerkzeug 12, einen verschiebbaren Tisch 13, einen Halter 14 und ein Rohr 16. Das Werkzeug 12 ist im Lager 11 gelagert und mit einem über der verschiebbaren Bühne 10 angeordneten (nicht dargestellten) Elektromotor verbunden. Der Tisch 13 ist an der Oberseite der Bühne 10 angebracht. Der am Tisch 13 befestigte Halter 14 dient zum Halten bzw. Einspannen eines Werkstücks 15. Das Rohr 16 erstreckt sich schräg abwärts zum Halter 14, um zu dem durch den Halter 14 gehalterten bzw. in diesem eingespannten Werkstück 15 ein Schleifmittel zuzuspeisen.
Die verschiebbare Bühne 10 ist in einer waagerechten Ebene in einer X- und einer Y-Achsenrichtung verschiebbar; sie wird durch einen (nicht dargestellten) Elektromotor in Abhängigkeit von den im Datenpuffer 2 gespeicherten Koordinatendaten angetrieben.
Das Polierwerkzeug 12, allgemein als "Polierer" bekannt, besteht aus einem weichen Werkstoff, wie Pech, Kunststoff oder Gummi bzw. Kautschuk. Das Werkzeug 12 ist zusammen mit dem Lager 11 aufwärts und abwärts bewegbar und in Richtung des Pfeils gemäß Fig. 1 drehbar.
Gemäß Fig. 2 umfaßt der Tisch 13 zwei parallele, aus z.B. nichtrostendem Stahl hergestellte und übereinander angeordnete Platten 13a sowie zwei Seitenplatten 13b, welche die jeweiligen Enden der Platten 13a miteinander verbinden. Die Platten 13a und 13b bilden einen trapezförmigen Rahmen. Die oder jede erste Seitenplatte 13b ist an der Bühne 10 befestigt. Der Tisch 13 enthält ferner eine Lastverstärkungsplatte 13c, die aus dem gleichen Werkstoff wie die Platten 13a besteht, zwischen den Platten 13a angeordnet und am einen Ende an der ersten Seitenplatte befestigt ist. In jede Platte 13a sind in beiden Flächen derselben des gleichen Abschnitts zwei Nuten 13d eingestochen, so daß dieser Abschnitt der Platte 13a als Feder wirkt. Aufgrund der Federabschnitte der Platten 13a kann der Tisch 13 in kleinsten Schritten aufwärts und abwärts bzw. in der Bewegungsrichtung des Werkzeugs 12 bewegt werden. Bei der in kleinsten Schritten erfolgenden Aufwärts- oder Abwärtsbewegung des Tisches 13 bewegt sich der am Tisch 13 befestigte Halter 14 ebenfalls entsprechend mit dem Tisch mit aufwärts oder abwärts.
Gemäß Fig. 1 ist ernne Kugel 17 zwischen die obere Platte 13a und die Lastverstärkungsplatte 13c eingefügt wobei ein Vorsprung oder Ansatz 18 von der Unterseite der Platte 13c nach unten ragt. Die Kugel 17 steht in Punktberührung mit der Lastverstärkungsplatte 13c und überträgt die Bewegung oder Verschiebung der oberen Platte 13a auf die Platte 13c. Der Vorsprung bzw. Ansatz 18 besitzt einen rechteckigen Querschnitt.
Der Poliermechanismus 1 umfaßt ferner eine Lastmeßzelle 19 und ein piezoelektrisches Keramikelement 20. Gemäß Fig. 1 sind die Lastmeßzelle 19 und das Element 20 am einen Ende miteinander verbunden und im Spalt oder Zwischenraum zwischen der unteren Platte 13a und der Lastverstärkungsplatte 13c angeordnet. Das andere Ende der Lastmeßzelle 19 ist an der zweiten Seitenplatte 13b befestigt, während das andere Ende des piezoelektrischen Keramikelements 20 mit der einen Seite des Ansatzes 18 verbunden ist, um die Lastverstärkungsplatte 13c in kleinsten Schritten (minutely) zu verschieben. Ein vom Werkzeug 12 auf das im Halter 14 eingespannte Werkstück 15 ausgeübte Belastung oder Last wird somit über den Halter 14, die obere Platte 13a, die Kugel 17, die Lastverstärkungsplatte 13c, den Ansatz 18 und das piezoelektrische Keramikelement 20 auf die Lastmeßzelle 19 übertragen.
Das Rohr 16 dient jur Zuspeisung von Schleifmittel auf die Oberfläche des Werkstücks 15. Das Schleifmittel besteht beispielsweise aus Öl oder einer wäßrigen Lösung mit Diamant-, Siliziumcarbid- oder Ceroxid-(CeO&sub2;-)Teilchen.
Gemäß Fig. 1 enthält die Poliervorrichtung ferner eine Polierlast-Steuereinheit 21 , die ausgelegt ist zur Steuerung des piezoelektrischen Keramikelements 20 nach Maßgabe der durch die Lastmeßzelle 19 gemessenen Polierbelastung oder -last. Piese Schaltung enthält eine Komparatorschaltung 22, eine Gleichstromversorgung 23, eine Proportional-plus-Integralschaltung 24 und eine Treiberschaltung 25. Die Stromversorgung 23 legt eine Bezugsspannung V&sub2; an, welche einer gewünschten oder Soll-Polierlast, mit welcher das Werkstück 15 beaufschlagt werden soll, entspricht. Die Komparatorschaltung 22 vergleicht die von der Lastmeßzelle 19 abgegebene Spannung V&sub1; mit einer von einer Gleichstromversorgung 23 gelieferten oder angelegten Bezugsspannung V&sub2;, wobei sie ein die Differenz zwischen den Spannungen V&sub1; und V&sub2; repräsentierendes Differenzsignal erzeugt. Die Proportional- plus-Integralschaltung 24 führt eine Proportional-plus- Integraloperation oder -Verknüpfung an den von der Komparatorschaltung 22 erzeugten Differenzsignalen durch und generiert ein die Ergebnisse dieser Operation darstellendes Signal. Die Treiberschaltung 25 wandelt das Ausgangssignal der Schaltung 24 in eine Treiber- oder Ansteuerspannung V&sub3; um, die dem piezoelektrischen Keramikelement 20 aufgeprägt wird.
Im folgenden ist die Arbeitsweise der Poliervorrichtung beschrieben.
Zunächst wird das Werkzeug 12 relativ zu dem im Halter 14 eingespannten Werkstück 15 positioniert. Sodann wandelt der Personal-Rechner 3 die für das Polieren des Werkstücks. 15 erforderlichen numerischen Daten in Koordinatendaten um, die für den Antrieb bzw. die Ansteuerung des Poliermechanismus 1 benötigt werden. Die Koordinatendaten werden im Datenpuffer 2 abgelegt. Wenn sodann eine Bedienungsperson dem Poliermechanismus 1 einen Ansteuer- oder Antriebsbefehl eingibt, werden die Koordinatendaten aus dem Datenpuffer 2 dem Mechanismus 1 zugeführt. Das Werkzeug 12 wird in Drehung versetzt und abgesenkt, bis es mit dem Werkstück 15 in Berührung gelangt. Entsprechend den Koordinatendaten wird die Bühne 10 in der X- und Y- Achsenrichtung bewegt. Zwischenzeitlich wird das Schleifmittel über das Rohr 16 zum Werkstück 15 zugeführt. Das Werkstück 15 wird somit durch das rotierende Werkzug 12 poliert.
Die vom Werkzeug 12 auf das Werkstück 15 ausgeübte Last beaufschlagtsomit die Lastmeßzelle 19 über den Halter 14, die obere Platte 13a, die Lastverstärkungsplatte 13c und das piezoelektrische Keramikelement 20. Die Lastmeßzelle 19 erzeugt eine Spannung V&sub1;, die sich gemäß Fig. 3 mit der durch das Werkzeug 12 auf das Werkstück 15 ausgeübten Last ändert. Die Komparatorschaltung 22 vergleicht die Spannung V&sub1; mit der Bezugsspannung V&sub2; und erzeugt ein Signal, das die Differenz zwischen diesen Spannungen, d.h. V&sub1; - V&sub2; , angibt. Das Differenzsignal wird der Proportional-plus-Integralschaltung 24 eingespeist, welche ihrerseits das Differenzsignal zu einem Spannungssignal verarbeitet, welches die Differenz V&sub1; - V&sub2; aufhebt oder auslöscht. Dieses Spannungssignal wird der Treiberschaltung 25 zugespeist. Die Schaltung 25 wandelt das Spannungssignal in eine Ansteuer- oder Treiberspannung V&sub3; um, mit welcher das piezoelektrische Keramikelement 20 beaufschlagt wird. Infolgedessen zieht sich das piezoelektrische Keramikelement 20 in seiner Längsrichtung entsprechend der Ansteuer- oder Treiberspannung V&sub3; zusammen.
Wie aus Fig. 3 hervorgeht, vergrößert sich die Differenz V&sub1; -V&sub2; mit zunehmender, das Werkstück 15 beaufschlagender Belastung oder Last. Demzufolge erhöht sich die von der Treiberschaltung 25 ausgegebene Treiberspannung V&sub3;, so daß sich das piezoelektrische Keramikelement 20 weiter in seiner Längsrichtung zusammenzieht. Dabei wird die Lastverstärkungsplatte 13c in der in Fig. 1 durch einen Pfeil angegebenen Richtung (durch)gebogen, so daß sich die Kugel 17 und mit ihr die obere Platte 13a des Tisches 13 abwärts verlagert. Infolgedessen wird die durch das Werkzeug 12 auf das Werkstück 15 ausgeübte Last auf die gewünschte Größe bzw. den Sollwert verringert.
Wenn das Werkzeug 12 mit einem gegebenenfalls vorhandenen stufenförmigen Abschnitt oder Bereich des Werkstücks 15 in Berührung gelangt, ändern sich das von der Lastmeßzelle 19 ausgegebene Signal und das dem Piezoelektrischen Keramikelement 20 eingespeiste Signal auf die in Fig. 4 gezeigte Weise. Mit anderen Worten: die Belastung oder Last, mit welcher das Werkzeug 12 das Werkstück 15 beaufschlagt, ändert sich, wenn sich das Werkzeug 12 mit dem stufenförmigen Abschnitt oder Bereich in Berührung bewegt die Lastmeßzelle 19 spricht auf die Änderung der Polierlast an, wobei ein diese Änderung repräsentierendes Signal dem Keramikelement 20 über die Komparatorschaltung 22, die Proportional-plus-Integralschaltung 24 und die Treiberschaltung 25 zugespeist wird. Infolgedessen wird die vom Werkzeug 12 auf das Werkstück 15 ausgeübte Polierlast automatisch auf den Sollwert geändert. Der Tisch 13 bewegt sich demzufolge aufwärts und abwärts, wobei das Werkzeug 12 sich so verschiebt, daß sich sein Arbeitspunkt in kleinsten Schritten bzw. genauestens längs der komplex gekrümmten Oberfläche des Werkstücks 15 bewegt. Das auf diese Weise genauestens bewegte Werkzeug 12 poliert dabei das Werkstück 15 mit hoher Präzision.
Bei der beschriebenen ersten Ausführungsform der Erfindung wird das piezoelektrische Keramikelement 20 entsprechend der Differenz zwischen der gewünschten oder Soll- Polierlast und der durch das Werkzeug 12 auf das Werkstück 15 ausgeübten Polierlast angesteuert, wodurch der Tisch 13 in kleinsten Schritten bzw. genauestens (minutely) in der gleichen Richtung, in welcher das Werkzeug 12 das Werkstück 15 mit der Last beaufschlagt, oder in der entgegengesetzten Richtung bewegt wird. Das Werkzeug 12 übt somit die gewünschte oder Soll-Polierlast auf das Werkstück 15 aus. Mit anderen Worten: da sich der Tisch 13 aufwärts und abwärts bewegt oder verschiebt, wird der Arbeitspunkt des Werkzeugs 12 längs etwa auf der Oberfläche des Werkstücks 15 vorhandener Spitzen (Erhebungen) und Vertiefungen verschoben, so daß das Werkzeug 12 das Werkstück 15 mit hoher Präzision poliert Die Änderungen der Last, mit welcher das Werkzeug 12 das Werkstück 15 beaufschlagt, können - auch wenn sie sehr klein sind - mit hoher Genauigkeit detektiert werden, weil die Polierlast vom Werkstück 15 unmittelbar auf den Tisch 13 und von diesem auf das Keramikelement 20 und weiterhin auf die Lastmeßzelle 19 ausgeübt bzw. übertragen wird. Das von der Lastmeßzelle 19 ausgegebene und die Polierlast repräsentierende Signal wird als Steuersignal über die Polierlast-Steuereinheit 21 dem piezoelektrischen Keramikelement 20 zugespeist, so daß das Werkzeug 12 die gewünschte oder Soll-Polierlast auf jeden Bereich der Oberfläche des Werkstücks ausübt und damit das Werkstück mit hoher Präzision im Nanometerbereich poliert.
Fig. 5 veranschaulicht eine Schleifvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. In dieser Figur sind den Bauteilen von Fig. 1 entsprechende Bauteile mit den gleichen Bezugsziffern wie vorher bezeichnet. Wie aus Fig. 5 hervorgeht, entspricht die Schleifvorrichtung, abgesehen von den im folgenden erläuterten Punkten, der Vorrichtung gemäß Fig. 1.
Gemäß Fig. 5 ist ein Lager 33 mit einem über einem Werkstück 32 angeordneten (nicht dargesellten) Elektromotor gekoppelt. Ein napfförmiges Schleifwerkzeug 34 ist am Lager 33 angebracht bzw. in diesem gelagert. Am Werkzeug 34 ist eine Schleifscheibe 35 befestigt. Im Betrieb übt das Schleifwerkzeug 34 eine Schleifbelastung oder -last auf das Werkstück 32 aus. Entsprechend dieser Schleiflast erfährt ein piezoelektrisches Keramikelement 20 eine Ausdehnung oder Zusammenziehung, wodurch ein Tisch 13 in kleinsten Schritten (genauestens) aufwärts oder abwärts verschoben wird, d.h. in der Richtung, in welcher das Werkzeug 34 die Schleiflast auf das Werkstück 32 ausübt, oder in der dazu entgegengesetzten Richtung. Infolgedessen wird die durch das Werkzeug 34 auf das Werkstück 32 ausgeübte Belastung bzw. Last auf eine vorbestimmte, gewünschte oder Soll-Größe geändert.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt, vielmehr sind innerhalb des Rahmens der beigefügten Ansprüche verschiedene Änderungen und Abwandlungen möglich. Beispielsweise kann die Lastmeßzelle 19 durch einen Dehnungsmeßstreifen ersetzt werden.
Wie vorstehend beschrieben, umfaßt (die Poliervorrichtung gemäß der Erfindung ein Polierwerkzeug, einen Tisch zum Halten (Aufspannen) eines Werkstücks, ein Element zum Verschieben des Tisches in kleinsten Schritten im wesentlichen parallel zu der Richtung, in welcher das Werkzeug eine Last auf ein vom Tisch getragenes Werkstück ausübt, oder in der dazu entgegengesetzten Richtung, und einen Detektor zum Detektieren der vom Werkzeug auf das Werkstück ausgeübten Polierlast. Das genannte Element wird auf Echtzeitbasis entsprechend der durch den Detektor detektierten Last gesteuert, wodurch der Tisch in kleinsten Schritten (genauestens) derart verschoben wird, daß sich der Arbeitspunkt des Werkzeugs längs der gekrümmten Oberfläche des Werkstücks bewegt. Infolgedessen wird das Werkstück mit hoher Präzision poliert.

Claims

1. Poliervorrichtung, umfassend ein Werkzeug (12) zum Polieren einer Oberfläche eines Werkstücks (15),

einen Tisch (13) zum Tragen des Werkstücks (15),

eine Lastmeßeinheit (19) zum Messen der vom Werkzeug (12) auf das Werkstück (15) ausgeübten Last und zum Erzeugen eines die Last repräsentierenden elektrischen Signals sowie

eine Laststeuereinneit (21), dadurch gekennzeichnet, daß

der Tisch (13) in kleinsten Schritten in der gleichen Richtung wie die Richtung, in welcher das Werkzeug (12) eine Last auf das Werkstück (15) ausübt, oder in der dazu entgegengesetzten Richtung bewegbar ist und umfaßt:

einen im wesentlichen trapezförmigen Rahmen aus oberen und unteren Platten (13a), die jeweils erste und zweite Enden aufweisen und als eine Feder wirken, sowie zwei Seitenplatten (13b), von denen die eine zwischen die ersten Enden von oberen und unteren Platten (13a) und die andere zwischen die zweiten Enden von oberen und unteren Platten (13a) eingefügt ist,

eine unterhalb der oberen Platte (13a) angeordnete und als eine Feder wirkende Lastvergrößerungs- oder -verstärkungsplatte (13c) sowie

eine zwischen die obere Platte (13a) und die Lastverstärkungsplatte (13c) eingefügte und mit sowohl der oberen Platte (13a) als auch der Lastverstärkungsplatte (13c) in Punktberührung stehende Kugel (17),

daß eine mit dem Tisch (13) verbundene elektromechanische Wandlereinheit (20) zum Bewegen oder Verschieben des Tisches (13) in kleinsten Schritten nach Maßgabe eines elektrischen Signals vorgesehen ist und

daß die Laststeuereinheit die elektromechanische Wandlereinheit (20) nach Maßgabe des von der Lastmeßeinheit (19) erzeugten elektrischen Signals steuert.

2. Poliervorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die obere Platte (13a), die untere Platte (13a) und die Lastverstärkungsplatte (13c) mit Nuten versehen sind und dadurch als Federn wirken.

3. Poliervorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die elektromechanische Wandlereinheit (20) ein mit der Lastverstärkungsplatte (13c) und der Lastmeßeinheit (19) verbundenes piezoelektrisches Element ist.

4. Poliervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lastmeßeinheit (19) eine mit dem piezoelektrischen Element (20) verbundene Lastmeßdose ist.

5. Poliervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lastneßeinheit (19) eine Lastmeßdose ist.

6. Poliervorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Laststeuereinheit (21) einen Komparatorkreis (22) zum Vergleichen einer vorgeschriebenen Last mit der durch die Lastmeßeinheit (19) gemessenen Last und zum Erzeugen eines eine Differenz zwischen den Lasten repräsentierenden Differenzsignals, eine Proportional-plus- Integral-Schaltung (24) zum Durchführen einer Proportional- plus-Integral-Operation am Differenzsignal und zum Erzeugen eines Integrationssignals sowie einen Treiberkreis (25) zum Ansteuern der elektromechanischen Wandlereinheit (20) nach Maßgabe des Integrationssignals umfaßt.

7. Schleifvorrichtung, umfassend ein Werkzeug (34) zum Schleifen einer Oberfläche eines Werkstücks (32),

einen Tisch (13) zum Tragen des Werkstücks (32),

eine Lastmeßeinheit (19) zum Messen der vom Werkzeug (34) auf das Werkstück (35) ausgeübten Last und

eine Laststeuereinheit (21), dadurch gekennzeichnet, daß

der Tisch (13) in kleinsten Schritten in der gleichen Richtung wie die Richtung, in welcher das Werkzeug (34) eine Last auf das Werkstück (32) ausübt, oder in der dazu entgegengesetzten Richtung bewegbar ist und umfaßt:

daß die Laststeuereinheit (21) die elektromechanische Wandlereinheit (20) nach Maßgabe des von der Lastmeßeinheit (19) erzeugten elektrischen Signals steuert.