DE4108391A1 - Kompensationseinrichtung fuer eine poliermaschine zur oberflaechenbehandlung von werkstuecken - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Kompensationseinrichtung für eine Poliermaschine zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken, mit einer Polierscheibe, mit einer Antriebseinrichtung für die Polierscheibe, mit einer Stelleinrichtung zur Einstellung des Abstandes der Polierscheibenachse vom Werkstück, wobei die Kompensationseinrichtung zur Kompensation des Anpreßdrucks der Polierscheibe auf das Werkstück dient und die Stelleinrichtung steuert.

Mittels Poliermaschinen ist die Oberflächenbehandlung von Werkstücken möglich, so daß die Werkstücke zum Beispiel dekorative Oberflächen aufweisen. Die zum Polieren der Werkstücke verwendeten Polierscheiben unterliegen während des Poliervorgangs einem Verschleiß, der zur Reduzierung des Polierscheibendurchmessers führt. Häufig werden Polierscheiben mit einem Durchmesser von etwa 1 Meter im Neuzustand verwendet, die auf einen Durchmesser von etwa 50 cm abgearbeitet werden. Um die Qualität der Politur sicherzustellen, ist es erforderlich, bei fortschreitender Verringerung des Polierscheibendurchmessers während des Poliervorganges den Anpreßdruck der Polierscheibe auf das Werkstück mittels Kompensationseinrichtungen zu kompensieren, so daß die Polierscheibe unabhängig von ihrem Durchmesser immer mit dem gleichen Anpreßdruck auf das Werkstück einwirkt.

Um dies sicherzustellen, ist es bekannt, als Maß für den Anpreßdruck der Polierscheibe auf das Werkstück die Stromaufnahme eines als Antriebseinrichtung für die Polierscheibe verwendeten elektrischen Motors zu messen. Diese gemessene Größe dient dann als Regelgröße für die Kompensation des Anpreßdrucks. Es ist auch bekannt, das Werkstück und die Polierscheibe mittels pneumatischer Zylinder gegeneinander zu pressen, in deren Zylinderkammern der pneumatische Druck konstant gehalten wird und bei Abweichungen entsprechend die Polierscheibe zum Werkstück zugestellt wird. Bei Verwendung von mindestens teilweise frei bewegbaren Werkstückhalterungen ist es weiterhin bekannt, diese Halterungen mittels Federvorspannung zur Polierscheibe zu führen und einen zusätzlich vorgegebenen Druck des Werkstücks auf die Polierscheibe zu erzeugen, um den Anpreßdruck der Polierscheibe auf das Werkstück zu kompensieren.

Alle vorgenannten und vorbekannten Kompensationseinrichtungen weisen die Nachteile auf, daß sie ungenau arbeiten und durch die prinzipbedingte Ungenauigkeit zu Qualitätsschwankungen der Politur des Werkstücks und zu nicht kalkulierbaren Standzeiten der Polierscheibe führen. Zudem beeinflussen rotationsunsymmetrische Werkstücke das Ergebnis der Kompensation des Anpreßdrucks gravierend. Die vorbeschriebenen Kompensationseinrichtungen können zumindest teilweise bei der Politur kleiner und konturenreicher Werkstücke nicht angewendet werden, da bei derartigen Werkstücken eine Referenzfläche zur indirekten oder direkten Messung des Anpreßdrucks nicht vorhanden ist. Zudem muß bei den vorbekannten Kompensationseinrichtungen immer während der Bearbeitung des Werkstücks gemessen werden, was zu einer Verlängerung der Bearbeitungszeit führen kann.

Die vorliegende Erfindung hat demgemäß die Aufgabe, eine Kompensationseinrichtung zur Kompensation des Anpreßdrucks der Polierscheibe auf das Werkstück zu schaffen, die es ermöglicht, die Polierqualität des Werkstücks in engen Grenzen zu halten und die Standzeiten der Polierscheiben besser als beim Vorbekannten zu kalkulieren.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Kompensationseinrichtung den Durchmesser der Polierscheibe mißt und daß die Stelleinrichtung den Abstand der Polierscheibenachse vom Werkstück abhängig vom gemessenen Durchmesser einstellt.

Dadurch, daß nicht wie beim Vorbekannten zur Kompensation Anpreßdrücke direkt oder indirekt gemessen und aufgebracht werden, sondern der Durchmesser der Polierscheibe unmittelbar ermittelt wird, ist die Kompensation des Anpreßdrucks aufgrund der Durchmesseränderung der Polierscheiben wesentlich direkter und genauer als beim Vorbekannten möglich. Weiterhin wird zur Kompensation des Anpreßdrucks nicht wie beim Vorbekannten ein entsprechender Gegendruck erzeugt sondern unmittelbar der Abstand der Polierscheibenachse vom Werkstück durch die Stelleinrichtung eingestellt.

Es wird also nicht wie beim Vorbekannten die Wirkung der Durchmesseränderung der Polierscheibe gemessen und nur unvollständig beseitigt, sondern die Durchmesseränderung als solche. Dadurch hat die erfindungsgemäße Kompensationseinrichtung gegenüber dem Vorbekannten den Vorteil, daß auch der Anpreßdruck der Polierscheibe auf das Werkstück wesentlich genauer kompensiert werden kann als beim Vorbekannten. Weiterhin sind anders als beim Vorbekannten keine aufwendigen Meß- und Einstelleinrichtungen zur Messung und Einstellung des Anpreßdrucks erforderlich, so daß die erfindungsgemäße Kompensationseinrichtung gegenüber dem Vorbekannten auch einfacher und kostengünstiger ist.

Schließlich kann bei der erfindungsgemäßen Kompensationseinrichtung der Durchmesser der Polierscheibe unabhängig von der Bearbeitung des Werkstücks, z. B. beim Bestücken gemessen werden. Auch kleine und konturenreiche Teile können berücksichtigt werden.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Kompensationseinrichtung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Kompensationseinrichtung einen Meßfühler aufweist, der während der Messung des Durchmessers den Außenumfang der Polierscheibe berührt. Die oben beschriebenen Poliervorgänge laufen in vergleichsweise verschmutzter Umgebung ab, da zur Politur der Werkstücke die Poliermaschine mit zusätzlichen flüssigen Schleif- und Poliermitteln versehen wird, die aufgrund der großen Umfangsgeschwindigkeit der Polierscheibe in die Umgebung der Polierscheibe weggeschleudert werden. Eine direkte berührende Messung des Polierscheibendurchmessers gewährleistet in dieser Umgebung auf sehr einfache und sehr kostengünstige Weise eine genaue Messung.

In diesem Zusammenhang kann der Meßfühler einen drehbar gelagerten, verschleißten Zylinder, insbesondere aus Hartmetall oder Wolframcarbid, aufweisen, der durch die rotierende Polierscheibe in Drehung versetzbar ist. Zusätzlich kann der Meßfühler einen Drehgeber aufweisen, der die Drehung des Zylinders mißt. Dadurch, daß der frei drehbar gelagerte Zylinder bei Anlage an den Polierscheibenumfang der Polierscheibe keinen nennenswerten Widerstand entgegensetzt, wird auf einfache Art und Weise ein Verschleiß des Meßfühlers und eine unnötige Verringerung des Polierscheibendurchmessers durch den Meßvorgang vermieden. Sobald der Drehgeber die Drehung des Zylinders mißt, kann davon ausgegangen werden, daß der Zylinder am Umfang der Polierscheibe anliegt.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Kompensationseinrichtung den Durchmesser der Polierscheibe periodisch mißt und/oder den Abstand periodisch einstellt, wobei die Periodendauer abhängig von der Betriebsdauer der Poliermaschine oder der Zahl der bearbeiteten Werkstücke ist. Diese periodische Messung oder Einstellung kann z. B. bei jedem Werkstückwechsel erfolgen, da mit einer Polierscheibe eine Vielzahl von Werkstücken poliert werden können. Durch die entsprechend große Zahl von erforderlichen Werkstückwechseln ist so eine quasi kontinuierliche Messung des Durchmessers und Einstellung des Abstandes möglich, ohne daß während des Poliervorganges die Polierscheibe und damit das Werkstück die Messung beeinflußt.

Um diese periodische Messung zu ermöglichen, ist es besonders vorteilhaft, wenn die Kompensationseinrichtung ein Stellglied aufweist, das den Zylinder periodisch an den Außenumfang der Polierscheibe bewegt. Am Zylinder kann weiterhin eine Bremse vorgesehen sein, die den Zylinder blockiert, wenn der Zylinder nicht an dem Außenumfang der Polierscheibe bewegt ist. Mit diesen Maßnahmen kann die Meßeinrichtung während der Zeitdauer, in denen keine Messung erfolgen soll, vollständig von der Polierscheibe entfernt werden. Durch die Bremse wird sichergestellt, daß während der Zeitdauer, in denen keine Messung erfolgen soll, eine durch andere Ursachen bewirkte Bewegung des Zylinders nicht zur Anzeige einer Anlage des Zylinders an dem Außenumfang der Polierscheibe führt.

Weiterhin ist es besonders vorteilhaft, in den Fällen, in denen das Werkstück um eine vorgegebene Strecke von der Ebene, in der die Polierscheibenachse durch die Stelleinrichtung bewegbar ist, abweicht, den Meßfühler um dieselbe Strecke von der Ebene abweichen zu lassen, um der Verschlechterung des Polierergebnisses durch Änderung des tangentialen Angriffswinkels der Polierscheibenoberfläche an dem Werkstück zumindest teilweise entgegenzuwirken. Dadurch, daß das Werkstück um die vorgegebene Strecke abweicht, ergibt sich ein Winkel zwischen der Ebene, in der die Polierscheibenachse durch die Stelleinrichtung bewegbar ist und der Stelle auf dem Werkstück, an der der größte Anpreßdruck des Werkstücks auf die Polierscheibe wirkt. Dieser Winkel wird als tangentialer Angriffswinkel bezeichnet und ist von dem Außendurchmesser der Polierscheibe abhängig. Aufgrund dieses tangentialen Angriffswinkels verschiebt sich der Punkt des größten Anpreßdrucks auf dem Werkstück mit sich ändernden Polierscheibendurchmesser, so daß z. B. bei einer Polierscheibe großen Durchmessers eine andere Stelle am stärksten poliert wird als bei einer Polierscheibe kleineren Durchmessers. Dieser ungewollte Effekt läßt sich teilweise dadurch kompensieren, daß der Meßfühler um dieselbe Strecke von der Ebene abweicht. Durch diese Maßnahme ist zwar der gesamte Anpreßdruck der Polierscheibe auf das Werkstück nicht nur kompensiert, sondern mit geringer werdenden Polierscheibendurchmesser erhöht. Diese Erhöhung des Gesamtanpreßdrucks ermöglicht es jedoch, die Stelle höchsten Anpreßdrucks, die bei einer z. B. neuen Polierscheibe bestimmt war, auch noch zu polieren, wenn die Polierscheibe ihren kleinsten zulässigen Polierscheibendurchmesser erreicht hat.

Um den oben beschriebenen Effekt, der das Polierergebnis ungünstig beeinflußt, weiter zu kompensieren, kann bei der Verwendung von Werkstückhalterungen, die zumindest in der Ebene der Polierscheibe frei bewegbar sind, eine zweite Kompensationseinrichtung zur Kompensation des tangentialen Angriffswinkels der Polierscheibe am Werkstück vorgesehen sein, die den Winkel des Werkstücks zum Polierscheibenumfang durch Steuerung der Halterung abhängig vom gemessenen Durchmesser einstellt. Mit diesen Maßnahmen ist eine nahezu vollständige Kompensation des tangentialen Angriffswinkels möglich, so daß auf einer Erhöhung des Gesamtanpreßdrucks der Polierscheibe auf das Werkstück grundsätzlich verzichtet werden kann. Sollte eine Poliermaschine verwendet werden, die zwar eine derartige frei bewegbare Halterung nicht vorsieht, so ist es jedoch möglich, eine zweite Stelleinrichtung vorzusehen, die die Polierscheibe senkrecht zur Verstellrichtung der ersten Stelleinrichtung in der Polierscheibenebene bewegt, so daß die Lage der Polierscheibenachse in der Ebene der Stelleinrichtungen relativ zum Werkstück abhängig von dem gemessenen Durchmesser eingestellt werden kann. Mit diesen Maßnahmen kann der gleiche Effekt erzielt werden, wie mit einer in der Ebene der Polierscheibe frei bewegbaren Werkstückhalterung.

Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Kompensationseinrichtung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigt

Fig. 1 schematisch einen Teil einer Poliermaschine, mit einem zu polierenden Werkstück und

Fig. 2 schematisch den gleichen Teil einer Poliermaschine mit den zusätzlichen Einrichtungsteilen der erfindungsgemäßen Kompensationseinrichtung.

In der Fig. 1 ist eine Polierscheibe (1) über eine Polierscheibenachse (3), mit einem elektrischen Antriebsmotor (2) drehfest verbunden. Die Polierscheibenachse (3) steht senkrecht zur Zeichnungsebene der Fig. 1. An dem Außenumfang der Polierscheibe (1) liegt ein Werkstück (4) an, dessen erster Punkt höchsten Anpreßdrucks oder auch Polierzentrum (P1) um eine vorgegebene Strecke (Y) von der Achse (X) hochgesetzt ist.

Das genannte Polierzentrum (P1) wurde durch Zurichtung des Werkstücks (4) an die Polierscheibe (1) mit einem ersten maximalen Durchmesser (D1) vorgegeben. Wenn nun mit fortschreitender Benutzung der Polierscheibe (1) der Durchmesser (D) der Polierscheibe auf den zweiten minimalen Durchmesser (D2) reduziert ist, so liegt das Polierzentrum nicht mehr im ersten Punkt (P1), sondern an einem zweiten Punkt (P2), der abhängig von der Größe und Formgestalt des Werkstücks stark in seiner Lage vom ersten Punkt (P1) abweicht.

Um nun bei sich ändernden Durchmesser (D) der Polierscheibe (1) eine Kompensation des Anpreßdrucks der Polierscheibe (1) auf das Werkstück (4) zu gewährleisten, ist der Abstand der Polierscheibenachse (3) vom Werkstück (4) abhängig von einer Radiusänderung (X1) einzustellen. Wird zu diesem Zweck das Werkstück (4) allein um einen Weg (X2) in der Fig. 1 nach links nachgeführt, so ergibt sich, wie in der Fig. 1 dargestellt, das Problem, daß das Werkstück (4) an dem ersten Punkt (P1) bei dem zweiten minimalen Durchmesser (D2) nicht mehr poliert wird. Um dieses Problem zu lösen, ist das Werkstück (4) um einen zusätzlichen Weg (X2′) zusätzlich in Fig. 1 nach links zu verstellen, der von der Exzentrizität (Y) des Punktes (P1) der von der X-Achse abhängt. Das heißt, insgesamt ist bei einer Änderung des Radius vom Betrag (X1), das heißt, bei einer Änderung des Polierscheibendurchmessers vom ersten Durchmesser (D1) auf den zweiten Durchmesser (D2) das Werkstück (4) insgesamt um einen Weg (X3), der sich als Summe von (X2) und (X2′) ergibt, in der Fig. 1 nach links zu bewegen.

Mit diesen Maßnahmen wird zwar sichergestellt, daß das Werkstück (4) auch beim minimalen Durchmesser (D2) noch am Punkt (P1) poliert wird. Dieser Punkt stellt dann jedoch nicht mehr das Polierzentrum dar, sondern der zweite Punkt (P2). Will man das Polierzentrum auch bei dem minimalen Durchmesser (D2) am ersten Punkt (P1) halten, so ist das Werkstück (4) um einen Winkel im Gegenuhrzeigersinn zu schwenken, der der Differenz eines tangentialen Angriffswinkels (W1) beim ersten Durchmesser (D1) der Polierscheibe (1) und eines zweiten tangentialen Angriffswinkels (W2) entspricht.

In der Fig. 2 ist die eigentliche Kompensationseinrichtung der Poliermaschine gemäß Fig. 1 dargestellt. In der Fig. 2 sind gleiche oder gleichwirkende Einrichtungsteile wie in der Fig. 1 mit den gleichen Bezugszeichen versehen. In der Fig. 2 ist zur Einstellung des Abstandes der Polierscheibenachse (3) vom Werkstück (4) eine Stelleinrichtung (5) vorgesehen, die einen Stellmotor (6) aufweist, welche eine Gewindestange (7) dreht. Auf der Gewindestange (7) ist ein Gewindestück (8) drehfest angeordnet, das abhängig von der Drehung der Gewindestange eine Verstellung der Polierscheibenachse (3) auf der X-Achse bewirkt.

Weiterhin weist die Stelleinrichtung (5) einen Positionsgeber (9) für die Polierscheibenachse (3) auf. Das Ausgangssignal des Positionsgebers (9) wird einer erfindungsgemäßen Kompensationseinrichtung (10) zugeleitet, die ihrerseits den Stellmotor (6) der Stelleinrichtung (5) steuert.

Die Steuerung des Stellmotors (6) durch die Kompensationseinrichtung (10) erfolgt abhängig von den Ausgangssignalen eines Meßfühlers (11), der den Durchmesser der Polierscheibe (1) durch Abtastung des Außenumfangs der Polierscheibe mißt. Zu diesem Zweck weist der Meßfühler (11) einen zweiten Stellmotor (12) auf, der eine zweite Gewindestange (14) dreht, auf der ein Zylinder (15) auf einem weiteren Gewindestück drehbar gelagert ist. Die Wegstellung des Zylinders (15) auf der zweiten Gewindestange (14) wird durch einen Meßwertgeber (13) ermittelt, die im vorliegenden Ausführungsbeispiel auf dem zweiten Stellmotor (12) angeordnet ist.

Weiterhin weist der Meßfühler (11) eine Bremse (16) auf mittels der der Zylinder (15) in seiner Drehung blockierbar ist. Der Meßfühler (11) weist schließlich einen Drehgeber (17) auf, der mit dem Zylinder (15) verbunden ist und der die Drehung des Zylinders (15) erfaßt.

Die Ausgangssignale des Drehgebers (17) und der Wegmeßeinrichtung (13) werden der Kompensationseinrichtung (10) zugeleitet, die wiederum abhängig von diesem Ausgangssignal den zweiten Stellmotor (12) und die Bremse (16) steuert. Die Kompensationseinrichtung gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel funktioniert folgendermaßen:

Periodisch z. B. während eines Wechsels des Werkstücks (4) durch Entnahme aus einer Halterung (H) und Einsetzen eines neuen Werkstücks (4) in die Halterung (H) wird der Zylinder (15) durch den zweiten Stellmotor (12) aus seiner in der Fig. 2 nah am Stellmotor (12) befindlichen rechten Position in Richtung auf den Außenumfang der Polierscheibe (1) bewegt. Zugleich wird durch die Kompensationseinrichtung (10) die Bremse (16) gelöst, so daß der Zylinder (15) frei drehbar ist. Sobald der Zylinder (15) den Außenumfang der Polierscheibe (1) berührt, wird der Zylinder (15) in Drehung versetzt, was die Kompensationseinrichtung (10) durch den Drehgeber (17) erfaßt. Sobald die Kompensationseinrichtung (10) die Drehung des Zylinders (15) erfaßt, steuert sie den zweiten Stellmotor (12) derart an, daß der Zylinder (15) von dem Außenumfang der Polierscheibe (1) in Richtung auf den zweiten Stellmotor (12) weggefahren wird und betätigt nach dem Verstellweg zugleich die Bremse (16), um den Zylinder (15) zum Stillstand abzubremsen und für die nachfolgende Messung eine Fehlmessung zu vermeiden.

Da die Lage des zweiten Stellmotors (12) relativ zur Mittelachse (5) der Polierscheibe (1) vorbekannt ist, ist damit der Vorgang der Messung des Polierscheibendurchmessers abgeschlossen. Mit diesem gemessenen Polierscheibendurchmesser steuert die Kompensationseinrichtung (10) nunmehr den Stellmotor (6) der Stelleinrichtung (5) derart an, daß ein Abstand (A) in Fig. 1 zwischen der Polierscheibenachse (3) und dem Werkstück (4) entsprechend dem neuen aktuellen gemessenen Durchmesser (D) der Polierscheibe eingestellt wird. Mittels des in der Stelleinrichtung (5) vorgesehenen Positionsgebers (9) kann die neu eingestellte Position der Polierscheibenachse (3) und damit der genannte Abstand (A) kontrolliert und gegebenenfalls korrigiert werden, so daß der Positionsgeber (9) gemeinsam mit dem Stellmotor (6) und der Kompensationseinrichtung (10) zusätzlich einen Lageregelkreis bildet.

Durch die Anordnung der Meßfühlereinrichtung (11) um eine Strecke (Y) von der X-Achse versetzt, wird der Durchmesser der Polierscheibe (1) genau an der Stelle gemessen, an der der Poliervorgang des Werkstücks (4) gewünscht ist. Mit dieser Maßnahme wird nicht nur eine Kompensation des Anpreßdrucks der Polierscheibe (1) auf das Werkstück (4) bewirkt, sondern auch eine zumindest teilweise Kompensation der Änderung des tangentialen Angriffswinkels (W). Soll eine weitere Kompensation des tangentialen Angriffswinkels erfolgen, so wird vorteilhaft der Werkstückhalter (H), der zu diesem Zweck in der Ebene der Polierscheibe (1) frei bewegbar sein muß, durch die Kompensationseinrichtung (10) derart angesteuert, daß das Werkstück (4) im Uhrzeigersinn der Fig. 1 geschwenkt wird. Eine andere Möglichkeit besteht darin, daß die Kompensationseinrichtung (10) zu diesem Zweck eine weitere Stelleinrichtung zur Verstellung der Polierscheibenachse (3) steuert, wobei die Verstellung durch die zweite Stelleinrichtung senkrecht zur Verstellung durch die erste Stelleinrichtung (5) erfolgen soll.

Claims (8)

1. Kompensationseinrichtung für eine Poliermaschine zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken, mit einer Polierscheibe, mit einer Antriebseinrichtung für die Polierscheibe, mit einer Stelleinrichtung zur Einstellung des Abstands der Polierscheibenachse vom Werkstück, wobei die Kompensationseinrichtung zur Kompensation des Anpreßdrucks der Polierscheibe auf das Werkstück dient und die Stelleinrichtung steuert, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensationseinrichtung (10) den Durchmesser der Polierscheibe (1) mißt und daß die Stelleinrichtung (5) den Abstand (A) der Polierscheibenachse (3) vom Werkstück (4) abhängig vom gemessenen Durchmesser (D) einstellt.

2. Kompensationseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensationseinrichtung (10) einen Meßfühler (11) aufweist, der während der Messung den Außenumfang der Polierscheibe (1) berührt.

3. Kompensationseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßfühler (11) einen drehbar gelagerten Zylinder (15) aufweist, der durch die rotierende Polierscheibe (1) in Drehung versetzbar ist und daß der Meßfühler (11) einen Drehgeber (17) aufweist, der die Drehung des Zylinders (15) mißt.

4. Kompensationseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensationseinrichtung (10) den Durchmesser (D) der Polierscheibe (1) periodisch mißt und/oder den Abstand (A) periodisch einstellt, wobei die Periodendauer abhängig von der Betriebsdauer der Poliermaschine oder der Zahl der bearbeiteten Werkstücke (4) ist.

5. Kompensationseinrichtung nach Anspruch 3 und Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensationseinrichtung (10) ein Stellglied (zweiter Stellmotor 12) aufweist, das den Zylinder (15) periodisch an den Außenumfang der Polierscheibe (1) bewegt und daß am Zylinder (15) eine Bremse (16) vorgesehen ist, die den Zylinder (15) blockiert, wenn der Zylinder (15) nicht an den Außenumfang der Polierscheibe bewegt ist.

6. Kompensationseinrichtung nach Anspruch 2, wobei das Werkstück (4) um eine vorgegebene Strecke (Y) von der Ebene, in der die Polierscheibenachse (3) durch die Stelleinrichtung (5) bewegbar ist, abweicht, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßfühler (11) um dieselbe Strecke (Y) von der Ebene abweicht.

7. Kompensationseinrichtung nach Anspruch 6, wobei das Werkstück (4) zumindest in der Ebene der Polierscheibe (1) durch eine Halterung (H) frei bewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite Kompensationseinrichtung zur Kompensation des tangentialen Angriffswinkels (W) der Polierscheibe (1) am Werkstück (4) vorgesehen ist, die den Winkel des Werkstücks (4) zum Polierscheibenumfang durch Steuerung der Halterung (H) abhängig vom gemessenen Durchmesser (D) einstellt.

8. Kompensationseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite Stelleinrichtung vorgesehen ist, die die Polierscheibe (1) senkrecht zur Verstellrichtung der ersten Stelleinrichtung (5) bewegt und daß eine zweite Kompensationseinrichtung zur Kompensation des tangentialen Angriffswinkels (W) vorgesehen ist, die die Lage der Polierscheibenachse (3) in der Ebene der Stelleinrichtungen relativ zum Werkstück (4) abhängig vom gemessenen Durchmesser (D) einstellt.