DE68925233T2 - Mikrolithographischer Apparat - Google Patents

Mikrolithographischer Apparat

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Description

    GEBIET DER ERFINDUNG
  • Diese Erfindung betrifft Geräte für die Mikrolithographie und insbesondere betrifft sie eine elektromagnetische Ausrichtvorrichtung, die neben anderen möglichen Verwendungen insbesondere zur Verwendung bei der Ausrichtung von Wafern in einem Mikrolithographiesystem geeignet ist.
    • HINTERGRUND ZU DER ERFINDUNG
  • Das Patent US-A-4 506 204 zeigt eine elektromagnetische Ausrichtvorrichtung, die wenigstens drei Magnetanordnungen enthält, die in zueinander beabstandeter Beziehung gebracht sind, sowie wenigstens drei Spulenanordnungen, die so angebracht sind, daß der hohe Flußbereich der magnetischen Anordnungen durch sie hindurchtritt, weiter eine Vorrichtung zum Verbinden der Spulenanordnungen zur Bildung eines starren Aufbaus und eine Vorrichtung zum Steuern der Stromversorgung für die Spulen, so daß der Aufbau selektiv in den drei Freiheitsgraden bewegbar ist.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine weiterentwickelte elektromagnetische Ausrichtvorrichtung zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch eine elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst.
    • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • Kurz gesagt, beinhaltet die vorliegende Erfindung die Vorsehung einer elektromagnetischen Ausrichtvorrichtung mit folgenden Teilen: einen monolithischen Tisch, einen Basistisch, einen isolierten Bezugsaufbau, zwischen den monolithischen Tisch und den Basistisch zwischengefügte Kraftstellglieder zum Haltern und Positionieren des monolithischen Tisches im Raum, eine Steuervorrichtung zum Steuern der Position des monolithischen Tisches, und zwischen dem isolierten Bezugsaufbau und dem monolithischen Tisch angebrachte Sensoren zum Feststellen der Position des monolithischen Tisches und zum Ausgeben eines Signais an die Steuervorrichtung. Die Steuervorrichtung ist so aufgebaut und angeordnet, daß sie die festgestellte Position des monolithischen Tisches mit einer Sollposition des Tisches vergleicht und ein Fehlersignal an die Kraftstellglieder ausgibt. Die Vorrichtung enthält weiter eine Vorrichtung zum Steuern der Position des Basistisches, so daß dieser der ungefähren Position des monolithischen Tisches folgt.
  • In einer Ausführungsform der Erfindung enthalten die Kraftstellglieder ein an den Basistisch angebrachtes Spulenelement und einen getrennten, berührungsfreien Magnetaufbau, der an dem monolithischen Tisch angebracht ist.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung beinhalten die Sensoren Lasermeßsensoren für die drei Freiheitsgrade und kurzreichweitige berührungsfreie elektrooptische Sensoren für drei unterschiedliche Freiheitsgrade des monolithischen Tisches.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung enthält die Vorrichtung zum Steuern der Position des Basistischs wenigstens zwei getrennte berührungsfreie Sensoren und zwei lineare Servomotoren, die funktionell auf die berührungsfreien Sensoren ansprechen.
  • Gemäß noch einem weiteren Aspekt der Erfindung ist die Steuervorrichtung so aufgebaut und angeordnet, daß sie ein Beschleunigungsvorschubsignal liefert, das zusammen mit dem festgestellten Positionssignal zur Ausgabe eines modifizierten Steuersignals an die Kraftstellglieder führt. Die Steuervorrichtung ist zudem so aufgebaut und angeordnet, daß sie ein Beschleunigungsvorschubsignal liefert, das zusammen mit den Signalen von den berührungsfreien Sensoren zur Ausgabe eines modifizierten Steuersignals an die linearen Servomotoren führt.
  • Es werden die Probleme vermieden, die bei bestehenden Tischsystemen nach dem Stand der Technik die Leistungsfähigkeit begrenzen, einschließlich der Probleme von tiefen Resonanzfrequenzen, großen magnetischen Aufbauten und Reaktionslaststörungen in kritischen Baukomponenten. Die Vorteile der Erfindung bestehen in einer höheren Genauigkeit, einem modularen Aufbau, geringeren Kosten, einem kleineren und geringeren Gewicht und darin, daß keine Luftlagerungen notwendig sind.
  • Es wurden somit bisher relativ allgemein die wichtigeren Merkmale der Erfindung dargelegt, damit ihre ausführliche Beschreibung, die nun folgt, besser verständlich ist, und damit der vorliegende Beitrag zum Stand der Technik besser zu würdigen ist. Natürlich gibt es zusätzliche Merkmale der Erfindung, die hier im folgenden ausführlicher beschrieben werden. Der Fachmann wird erkennen, daß das Grundlegende dieser Offenbarung sofort als Basis für den Entwurf anderer Vorrichtungen zum Ausführen verschiedener Zwecke der Erfindung verwendbar ist. Es ist deshalb höchst wichtig, daß diese Offenbarung so angesehen wird, daß sie äquivalente Vorrichtungen beinhaltet, die nicht vom Grundgedanken und Bereich der Erfindung abweichen.
  • Mehrere Ausführungsformen der Erfindung sind zum Zwecke der Veranschaulichung und Beschreibung ausgewählt worden, die in den begleitenden Zeichnungen, die Gegenstand der Beschreibung sind, dargestellt sind.
    • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • In den Zeichnungen zeigen:
  • Fig. 1 eine perspektivische Explosionsansicht einer elektromagnetischen Ausrichtvorrichtung, die nach dem Prinzip der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist; und
  • Fig. 2 ein Blockdiagramm für die Steuerung der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung.
    • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG EINER DERZEIT BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • In der dargestellten Ausführungsform der Erfindung umfaßt die neue und verbesserte elektromagnetische Ausrichtvorrichtung einen monolithischen Tisch 10, einen X-Y Basistisch 12 und einen isolierten Bezugsaufbau 14, wie in Fig. 1 gezeigt ist.
  • Der X-Y Basistisch 12 ist ein herkmmlicher, mechanisch geführter X-Y Basistisch, der über einen Servoantrieb verfügt, um der ungefähren Position des monolithischen Tisches zu folgen. Er könnte für die Führungen reibungsfreie Lager aufweisen, wie zum Beispiel Kugellager oder Rollenlager. Luftlager könnten ebenfalls verwendet werden, sind jedoch nicht notwendig. Als Ergebnis könnte das Gerät bei Bedarf in einem Vakuum betrieben werden. Tatsächlich könnte die gesamte Ausrichtvorrichtung so aufgebaut werden, daß sie für gewisse Einrichtungen in einem Vakuum betreibbar ist, falls dies notwendig wäre.
  • Wie man am besten in der Fig. 1 sieht, enthält der Basistisch 12 eine Basisplatte 16, die auf dem Boden angebracht ist, wie bei 18 angedeutet ist, und einen beweglichen Rahmen 20. Der Rahmen 20 ist in der X-Richtung mittels eines linearen Servomotors 24 vor und zurück bewegbar, wie durch den Pfeil 22 angedeutet wird. Ein Tafelelement 26 ist an dem Rahmen 20 zur durch den Pfeil 28 angedeuteten Vor- und Zurückbewegung in der Y-Richtung mittels eines für diesen Zweck vorgesehenen linearen Servomotors 30 angebracht. Andere geeignete Antriebsvorrichtungen könnten anstelle der linearen Servomotoren 24 und 30 verwendet werden, beispielsweise Kugelrollspindeln, Drehmotoren oder Entsprechendes. Die Lager und Antriebsvorrichtungen für den Basistisch 12 müssen nicht sehr präzise sein. Sie müssen lediglich für nicht übermäßige Beschleunigungsgeschwindigkeiten geeignet sein. Folglich können sie relativ kostengünstig und kompakter sein, als es notwendig wäre, wenn beispielsweise ein Planarkraftmotor verwendet würde.
  • Wie man an der Fig. 1 sieht, enthält der monolithische Tisch 10 ein Blockteil 32, das eine Waferhalteeinrichtung 34 trägt, mit der ein Wafer 35 gehaltert wird. Dieser kompakte, genaue monolithische Tisch wird im Raum in seiner in sechs Freiheitsgraden gesteuerten Position gehalten durch Servos mit hoher Leistungsfähigkeit, die kurzhubige, berührungsfreie elektromagnetische Kraftstellglieder verwenden. Es sind vier Flachspulenstellglieder 36 vorgesehen, von denen jedes ein Flachspulenelement 38 enthält, das an dem X-Y Basistisch 12 angebracht ist, sowie einen getrennten, berührungsfreien Hochleistungspermanentmagneten 40, der an dem monolithischen Tisch 10 angebracht ist. Während es derzeit bevorzugt ist, das Spulenelement 38 an dem X-Y Basistisch 12 anzubringen und den Magneten 40 an dem monolithischen Tisch 10, um die Wärmedissipation und die Anzahl von an dem monolithischen Tisch angebrachten Drähten zu verringern, wäre es dennoch auch annehmbar, diese Elemente zu vertauschen. Während die Fig. 1 vier Flachspulenstellglieder darstellt, wäre es auch möglich, einen Betrieb mit einem Minimum von drei solchen Stellgliedern zu verwirklichen. Diese Stellglieder schaffen eine Bewegung des monolithischen Tisches 10 in drei Freiheitsgraden. Das heißt, zwei Stellglieder schaffen die Bewegung in der X-Richtung, wie durch die Pfeile 42 angezeigt ist, und die anderen beiden Stellglieder schaffen die Bewegung in der Y-Richtung, wie durch die Pfeile 44 angedeutet ist. Der monolithische Tisch wird durch gemeinsamen Antrieb aller Steliglieder in Drehung versetzt.
  • Es sind vier Fokalstellglieder 46 eines Lautsprecherspulentyps vorgesehen, von denen jedes ein zylindrisches Spulenelement, das an dem X-Y Basistisch 12 angebracht ist, und einen getrennten, berührungsfreien Hochleistungspermanentmagneten enthält, der an dem monolithischen Tisch 10 angebracht ist. Wie im Falle der Flachspulenstellglieder ist es bevorzugt, das Spulenelement aus dem X-Y Basistisch 12 und den Magneten an dem monolithischen Tisch 10 anzubringen, wobei es jedoch auch möglich ist, diese Elemente zu vertauschen. Während es möglich ist, ein Minimum von drei Fokalstellgliedern zu verwenden, sind jedoch vier bevorzugt. Diese Fokalstellglieder 46 schaffen zusätzliche drei Freiheitsgrade für den monolithischen Tisch 10, wie durch die Pfeile 47 veranschaulicht ist. Das heißt, der monolithische Tisch kann je nach Wunsch verkippt werden durch Auswahl der Betätigung eines bestimmten Paars von Stellgliedern. Wenn alle vier Stellglieder zugleich betätigt werden, kann der monolithische Tisch bezüglich des X-Y Basistisches angehoben oder abgesenkt werden. Der Abstand zwischen den beiden Tischen wird im allgemeinen in einem Bereich in der Größenordnung von ungefähr 1/32 Zoll aufrechterhalten. Die beschriebene Verwendung von Flachspulenstellgliedern und Stellgliedern des Lautsprechertyps ist bevorzugt, da diese Anordnung den Aufbau und Abbau vereinfacht. Das heißt, der monolithische Tisch kann buchstäblich von dem Basistisch entlang der Z-Achse abgehoben werden. Eine insgesamt aus Lautsprecherspulen bestehende Anordnung ist ebenfalls praktikabel.
  • Jegliche Fehlausrichtung zwischen dem monolithischen Tisch 10 und dem Basistisch 12 wird durch berührungsfreie Sensoranordnungen gemessen, von denen zwei mit dem Bezugszeichen 48 in der Nähe der Mitte des Basistisches und ihre passenden, mit 48' bezeichneten Teile in Mittennähe auf der Unterseite des monolithischen Tisches vorgesehen sind. Zwei einzelne Sensoren oder ein kombinierter Sensor können zur Messung der X und Y Positionen verwendet werden. Die Ausgabe aus diesen Sensoren wird elektronisch verstärkt und an die Servomotoren 24 und 30 zurückgeführt, um zu bewirken, das der Basistisch ungefähr der Bewegung des monolithischen Tisches folgt und die Ausrichtung der Kraftstellglieder aufrechterhält, wie nachfolgend ausführlicher beschrieben wird. Jegliche geeignete Art von berührungsfreien kurzreichweitigen Sensoren ist verwendbar, wie zum Beispiel ein Detektor mit einem Festkörperemitter und einer geteilten Photodiode, ein Kapazitätssensor, oder beispielsweise ein linear verstellbarer Differentialtransformer (LVDT). Der X-Y-Abstand oder die Position des Basistisches bezüglich des monolithischen Tisches ist die wichtige Größe. Der vertikale Abstand oder die Winkelbeziehung zwischen den beiden Tischen muß von diesen Sensoren nicht erfaßt werden.
  • Obwohl es nach der Geometrie so aussieht, daß der monolithische Tisch auf dem Basistisch angebracht ist, schwebt der monolithische Tisch tatsächlich im Raum über dem Basistisch, wobei seine Position durch die elektromagnetische Kraft der Steliglieder gesteuert wird. Solange die Spulen der Steuerglieder im Magnetfeld ihrer zugeordneten Magnetaufbauten bleiben und diese Aufbauten nicht berühren, ist die Position des monolithischen Tisches durch die Position des Basistisches nicht beeinflußt.
  • In einigen Anwendungen ist es zum Verhindern eines Überhitzens der Stellglieder bevorzugt, das Grundgewicht des monolithischen Tischs auszugleichen. Dies kann durch Verwendung von zentral angeordneten Permanentmagneten entweder unter Anziehung oder Abstoßung zwischen dem monolithischen Tisch und dem Basistisch erzielt werden, wie in Fig. 1 mit Bezugszeichen 49 gezeigt ist.
  • Das Gerät kann mit einer erweiterten Bewegung in einer vertikalen Ebene betrieben werden. Die Verwendung einer Kraftausgleichsvorrichtung an der vertikalen Achse des Basistisches kann in einigen Anwendungen notwendig sein.
  • Der isolierte Bezugsaufbau 14 umfaßt ein Halteteil 50, das am Boden 18 mittels Isolatoren oder Federn 52 angebracht ist. Das Halteteil trägt ein optisches Abbildungssystem 54 und äußere Regelschleifenfokussensoren 56. Eine Anzahl von unterschiedlichen optischen Abbildungssystemen ist verwendbar, wie zum Beispiel eine Belichtungsvorrichtung, eine Inspektionsvorrichtung oder ein Elektronenstrahl. Wenn das Gerät zur Belichtung von Wafern für die Halbleiterindustrie verwendet wird, wird ein getrennter Satz von Sensoren 56 in der Nähe der Abbildungsoptik 54 angebracht, die an verschiedenen Stellen direkt auf die Oberfläche des Wafers 35 messen. Die Sensoren werden dazu verwendet, der Waferoberfläche zu folgen, die Unebenheiten aufweisen kann. Diese Sensoren schaffen eine genaue Messung, müssen jedoch nicht so schnell sein wie die inneren Regelschleitensensoren, die hier im folgenden beschrieben werden. Jegliche geeignete Art von berührungsfreien Sensoren, wie beispielsweise Luftspaltfühler, Kappenfühler oder andere Arten von optischen Sensoren sind verwendbar.
  • Das Gerät ist wenigsten mit drei inneren elektrooptischen Regelschleifenfokussensoren 58 ausgestattet, die an den Ecken des monolithischen Tisches 10 angebracht sind, sowie mit drei entsprechenden Flachteilen 60, die an der Unterseite des Halteteils 50 angebracht sind. Die Verkippungsposition des monolithischen Tisches wird durch diese drei kurzreichweitigen, berührungsfreien elektrooptischen Sensoren in drei Freiheitsgraden gemessen. In einer Ausführungsart wird ein Strahl von der Spiegeloberfläche des Flachstücks 60 reflektiert, und falls sich der Spiegel näher herbewegt oder wegbewegt, zeigt ein Signal für eine kleine Zelle eine Veränderung, um dadurch Veränderungen durch die kleine Bewegung zwischen den Ecken des monolithischen Tisches und den drei Flachstücken festzustellen. Andere geeignete Arten, wie beispielsweise ein Kappenfühler, wären ebenfalls verwendbar.
  • Wenigstens drei Laserfühler-Flachspiegel-Interferometer 62 werden dazu verwendet, die Position des monolithischen Tisches 10 in den drei Freiheitsgraden X, Y und Theta festzustellen. Die Laserfühler 62 hängen an dem Halteteil 50 in einer Lage angrenzend an die Seiten 64 des Blockteus 32. Die Seiten 64 bilden Spiegel aufgrund von reflektierenden Beschichtungen oder von tatsächlich angebrachten Spiegeln. Das heißt, die Interferometer richten Strahlen auf die Seiten, um die X-, Y- und Theta-Bewegung des monolithischen Tisches festzustellen. Theta ist ein Maß der Drehung in der Ebene.
  • Es ist offensichtlich, daß die Leistungsfähigkeit des Geräts von den Laserfühlerinterferometern und den Bezugsflachteilen der kurzreichweitigen Sensoren abhängt, und davon, daß die optischen Abbildungsanordnungen auf einem gemeinsamen isolierten Aufbau angebracht sind, wodurch verhindert wird, daß Reaktionslasten des Tisches diese kritischen Komponenten stören.
  • Im wesentlichen wird die Position des monolithischen Tisches elektronisch mit einer vom Computer vorgegebenen Soliposition des Tisches verglichen. Der sich ergebende Fehler wird verstärkt an die Stellglieder zurückgeführt. Die Fig. 2 zeigt dies im einzelnen. Zum Zwecke der Klarheit ist eines der Systeme für die sechs Freiheitsgrade dargestellt, nämlich das X- System. Ein Computer oder Profilgenerator 66 wird verwendet. Der Profilgenerator oder die Anweisungsvorrichtung wird so programmiert, daß im voraus die X-Position bekannt ist, bei der der monolithische Tisch sein soll. Ein summierender Knoten 68 empfängt ein X-Positionssignal von dem Profilgenerator 66 und von dem interferometrischen Positionssensor 62. Die Fehlerausgabe aus dem summierenden Knoten 68 läuft durch einen Servokompensationsblock 70 zu einem summierenden Knoten 72. Der Servokompensationsblock dient als ein elektrisches System zur Netzwerkstabilisierung. Ein der Beschleunigung und der Vorschubposition entsprechendes Signal wird aus dem Profilgenerator 66 an den summierenden Knoten 72 abgegeben. Die Ausgabe aus dem summierenden Knoten 72 läuft durch eine Verstärkervorrichtung 74, um das Stellglied 36 anzutreiben.
  • Noch unter Bezug auf die Fig. 2 wird das Signal von der Sensoranordnung 48 durch einen Servokompensationsblock 76 zu einem summierenden Knoten 78 geleitet. Der Servokompensationsblock 76 dient als ein elektrisches System zur Netzwerkstabilisierung ähnlich dem Kompensationsblock 70. Ein Beschleunigungs- und Vorschubpositionssignal von dem Profilgenerator 66 wird ebenfalls dem summierenden Knoten 78 zugeleitet. Die Ausgabe aus diesem summierenden Knoten wird durch eine Verstärkervorrichtung 80 an zwei lineare Servomotorstellglieder 24 geleitet.
  • Auf ähnliche Weise werden alle Stellglieder durch ihre jeweiligen Sensoren in Verbindung mit Signalen aus dem Profilgenerator gesteuert, um den monolithischen Tisch wie auch den Basistisch zu positionieren.
  • Man kann somit erkennen, daß die vorliegende Erfindung in der Tat ein neues und verbessertes Gerät für die Mikrolithographie schafft, wobei die Position des monolithischen Tisches durch die Vibration des Basistisches nicht beeinflußt wird. Damit wird ermöglicht, daß der Basistisch von kostengünstigerer Art ist und ohne Isolation gegen Bodenvibrationen angebracht ist. Alle Reaktionslasten sowohl von dem monolithischen Tisch als auch von dem Basistisch werden direkt auf den Boden übertragen und stören daher nicht den isolierten Aufbau, gegenüber dem die Position des monolithischen Tisches elektrooptisch bestimmt wird.
  • Obwohl bestimmte Ausführungsformen der Erfindung hier zum Zwecke der Erläuterung offenbart sind, sind weitere Abwandlungen nach Studium dieser Beschreibung dem Fachmann auf dem einschlägigen Gebiet offensichtlich. Zur Bestimmung des Bereichs der Erfindung sollten demnach die beiliegenden Ansprüche dienen.

Claims (13)

1. Eine elektromagnetische Ausrichtvorrichtung mit:
einem monolithischen Tisch (10), einem Basistisch (12), einem isolierten Bezugsaufbau (14), einer an dem Basistisch (12) angebrachten Vorrichtung (36, 46) zur Halterung des monolithischen Tisches im Raum an vorbestimmten Positionen, einer an dem isolierten Bezugsaufbau angebrachten Vorrichtung (62) zum Feststellen der Position des monolithischen Tisches (10) und zum Ausgeben eines entsprechenden Signals an die Vorrichtung (36, 46) zur Halterung des monolithischen Tisches, und einer Vorrichtung (48, 24, 30) zum Steuern der Position des Basistisches (12) derart, daß er der ungefähren Position des monolithischen Tisches (10) folgt.
2. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Vorrichtung (36, 46) zur Halterung des monolithischen Tisches (10) eine Vorrichtung zum Steuern der Position des monolithischen Tisches in sechs Freiheitsgraden enthält.
3. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 2, wobei die Vorrichtung (48, 24, 30) zum Steuern der Position des Basistisches eine Vorrichtung zum Steuern der Position des Basistisches in drei Freiheitsgraden enthält.
4. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Vorrichtung (36, 46) zum Haltern des monolithischen Tisches elektromagnetische Kraftstellglieder enthält.
5. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 4, wobei jedes elektromagnetische Kraftstellglied ein an dem Basistisch (12) angebrachtes Spulenelement (38) und ein an dem monolithischen Tisch (10) angebrachtes getrenntes, berührungsfreies Magnetbauteil (40) enthält.
6. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 2, wobei die Vorrichtung (62, 48) zum Feststellen der Position des monolithischen Tisches Laserabstandssensoren (62) für drei Freiheitsgrade und kurzreichweitige, berührungsfreie elektrooptische Sensoren (58) für drei unterschiedliche Freiheitsgrade enthält.
7. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 3, wobei die Vorrichtung zum Steuern der Position des Basistischs wenigstens zwei getrennte berührungsfreie Sensoren und zwei lineare Servomotoren enthält, die funktionell auf die berührungsfreien Sensoren ansprechen.
8. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 7, wobei der monolithische Tisch (10) eine Vorrichtung zum Anbringen eines Halbleiterwafers (35) enthält, und wobei der isolierte Bezugsaufbau (14) eine Vorrichtung (50) zur Anbringung einer Abbildungsoptik (54) enthält, und wobei ein Satz von Sensoren (56) an dem isolierten Bezugsaufbau (14) angrenzend an die Abbildungsoptik (54) so angebracht ist, daß die Oberfläche des Wafers (35) zum Einstellen der Abbildungsoptik betrachtet wird.
9. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 1, die eine Steuervorrichtung zum Steuern der Position des monolithischen Tisches enthält, wobei die Steuervorrichtung eine Vorrichtung (68) zum Vergleich der festgestellten Position des monolithischen Tisches (10) mit einer Sollposition des Tisches enthält und ein Fehlersignal an die Vorrichtung (36) zum Positionieren des monolithischen Tisches ausgibt.
10. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 9, wobei die Steuervorrichtung einen Profilgenerator (66), einen ersten summierenden Knoten (68), der ein Positionssignal von der Vorrichtung (62) zum Feststellen der Position des monolithischen Tisches und von dem Profilgenerator (68) erhält und ein Signal ausgibt, einen zweiten summierenden Knoten (72), der das von dem ersten summierenden Knoten (68) ausgegebene Signal empfängt und ein Beschleunigungsvorschubsignal von dem Profilgenerator (68) empfängt und ein Signal an die Vorrichtung zur Positionierung des monolithischen Tisches (10) ausgibt, enthält.
11. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 10, wobei die Vorrichtung zum Steuern der Position des Basistisches (12) wenigstens zwei getrennte berührungsfreie Sensoren (48) und zwei lineare Servomotoren (24, 30) enthält, und wobei die Steuervorrichtung einen summierenden Knoten (78) enthält, der eine Ausgabe aus den berührungsfreien Sensoren empängt und ein zweites Beschleunigungsvorschubsignal von dem Profilgenerator (66) empfängt und ein Signal an die Servomotoren (24, 30) ausgibt.
12. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 11, wobei die Vorrichtung (36, 46) zum Haltern des monolithischen Tisches elektromagnetische Kraftstellglieder enthält.
13. Elektromagnetische Ausrichtvorrichtung gemäß Anspruch 9, wobei der monolithische Tisch eine Vorrichtung (34) zum Anbringen eines Halbleiterwafers (35) enthält, und wobei der isolierte Bezugsaufbau (14) eine Vorrichtung zum Anbringen einer Abbildungsoptik (52) enthält, und wobei ein Satz von Sensoren (56) an dem isolierten Bezugsaufbau angrenzend an die Abbildungsoptik derart angebracht ist, daß die Oberfläche des Wafers (35) zur Einstellung der Abbildungsoptik betrachtet wird.
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