DE68918300T2 - Laser-bearbeitete Polymere. - Google Patents

Laser-bearbeitete Polymere.

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Description

  • Die Erfindung betrifft die Laser-Bearbeitung von polymeren Materialien und durch Laser-Bearbeitung entstandene Gegenstände.
  • Das US-Patent 4 617 085 beschreibt ein Verfahren zur Abtragung von organischem Material von einer organischen Schicht durch photochemischen Abbau mit Hilfe von UV-Licht mit einer Wellenlänge von 193 Nanometer von einem ArF-Excimer-Lasers. Die Abtragungsgeschwindigkeit soll durch die Verwendung von Polymergemischen und Copolymeren erheblich erhöht werden, bei denen die aliphatischen organischen Polymereinheiten, wie z. B. Acrylate oder Methacrylate, zusammen mit aromatischen, organischen Monomeren und organischen Polymeren mit aliphatischen Einheiten, wie Methacrylaten, und aromatischen Einheiten, wie Styrolen mit aromatischen Seitenringen vorliegen.
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Polymerklassen, die hervorragende Laser-Bearbeitungseigenschaften besitzen, gegebenenfalls mit vorteilhafter Ausstattung und/oder Wellenlängen, zur Herstellung von laserbearbeiteten Gegenständen mit reduzierter und vorzugsweise ohne Verkohlung des Polymers. Das Ausbleiben einer Verkohlung ist vorteilhaft, da eine Verkohlung die Tendenz hat, die umliegende Polymeroberfläche zu verschmutzen, so daß eine saubere Verarbeitung, z. B. für elektronische Mikroschaltkreise, enorm erschwert wird.
  • Ein erster Aspekt der Erfindung ist demnach ein durch Laser- Abtragung bearbeiteter Gegenstand, dessen durch Laser abgetragenes Material aus folgendem besteht: (a) aromatischem und/oder amorphem Polyamidmaterial oder (b) polymerem Material, das in seiner Polymerkette sich wiederholende Grundgerüsteinheiten, einschließlich aromatischer Grundgerüstringe und aliphatischer Grundgerüstketten, hat, mit der Maßgabe, daß die aliphatischen Ketten mindestens vier Kohlenstoffatome haben, wenn das Material ein Polyester ist.
  • Ein zweiter Aspekt der Erfindung liegt in der Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines Gegenstands aus polymerem Material, das folgendes aufweist: Bearbeiten eines Körpers aus polymerem Material durch Laser-Abtragung mit einer Laserwellenlänge, einer Leistungsdichte und einer Energiefluenz, die ausreichen, um Bereiche des genannten Körpers zu entfernen, wobei der Körper zumindest teilweise aus folgendem besteht: (a) aromatischem und/oder amorphem Polyamidmaterial oder (b) polymerem Material, das in seiner Polymerkette sich wiederholende Grundgerüsteinheiten, einschließlich aromatischer Grundgerüstringe und aliphatischer Grundgerüstketten, hat, mit der Maßgabe, daß die aliphatischen Ketten mindestens vier Kohlenstoffatome haben, wenn das Material ein Polyester ist. Vorzugsweise haben die Polyester im Grundgerüst eine aliphatische Kette mit mindestens vier Kohlenstoffatomen zwischen jedem aromatischen Kern im Grundgerüst und dem nächsten aromatischen Kern im Grundgerüst.
  • Selbstverständlich haben viele der polymeren Materialien, die bei den Gegenständen und Verfahren gemäß der Erfindung verwendet werden, aromatische Ringe in der polymeren Grundgerüstkette, welche den vorliegenden Polymeren Eigenschaften verleihen, die sich von der im obengenannten US-Patent beschriebenen Polymerklasse unterscheiden, die nur aromatische Seitenringe hat. Die vorliegenden Polymere eignen sich gut zur Abtragung durch Laser und zur Laser-Verarbeitung; unter diesem Begriff versteht man jedes Verfahren des Formens, der Formgebung, des Schneidens, Perforierens, Ätzens, Markierens bzw. der Musterbildung oder der sonstigen Veränderungen jeder Art von physischen Dimensionen eines aus polymerem Material bestehenden Körpers durch Laserbestrahlung, um eine Abtragung durch photochemische Zersetzung des polymeren Materials zu bewirken, wobei die Strahlung entweder als gezielter bzw. eng gebündelter Strahl oder über einen breiteren Bereich verteilt aufgebracht wird.
  • Die Laserbestrahlung kann jegliche, den gewünschten Abtragungseffekt erzeugende Wellenlänge haben, und wenn die Laserbestrahlung nachfolgend als "Licht" bezeichnet wird, soll sich dies nicht auf einen bestimmten Bereich der Strahlungswellenlänge beziehen. Ultraviolettes Laserlicht wird, vor allem bei Wellenlängen unter 400 Nanometer, bevorzugt. Zu den besonders interessanten Wellenlängen gehören auch die von Excimer-Lasern erzielten Wellenlängen, z. B. 351, 337, 308, 249, 222, 193 und 157 Nanometer, wobei die Wahl bis zu einem gewissen Grad von der Anwendung abhängt. Mit einer Wellenlänge von 193 nm können zum Beispiel sehr kleine Details aufgelöst werden, während man bei 248 nm und mehr, vorzugsweise 308 nm, eine größere Auswahl an optischen Medien zur Verfügung hat und die Laserstrahlen nicht durch ein Vakuum geschickt werden müssen, da sie nicht in erheblichem Maß von der Luft absorbiert werden. Licht mit einer Wellenlänge von 308 nm, vorzugsweise von einem XeCl-Excimer-Laser, ist besonders günstig, da die Gase in diesen Lasern eine wesentlich höhere Lebensdauer als die meisten anderen Gassysteme haben. KrF-Excimer-Laserlicht mit 249 nm ist ebenfalls günstig, z. B. für feinere lithographische Merkmale oder um Chromophorenzugabe zu einigen Polymeren zu vermeiden.
  • Die für die Gegenstände und Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung genannten Polymere sind die obenangeführten Polyamide und/oder haben in ihrem Grundgerüst aromatische Ringe und aliphatische Ketten, wobei mit diesem Term (entsprechend der obigen Maßgabe für Polyester) Ketten, die einen Teil einer Polymergrundgerüst bildenden Ketten mit mindestens 2, vorzugsweise mindestens 4 und in vielen Fällen mehr als 6, 8 oder 10 Kohlenstoffatomen gemeint sind, wobei die Kohlenstoffatome einen Teil des Polymergrundgerüstes bilden, ausgenommen Carbonylkohlenstoffatome und jegliche möglicherweise vorhandenen aliphatischen Seitengruppen. Cyclische, aliphatische Ketten sind in diesem Begriff eingeschlossen. Sind aliphatische Seitengruppen enthalten, so enthält die Grundgerüstkette plus die Seitengruppen insgesamt mindestens 3, vorzugsweise mindestens 5 und häufig mindestens 7, 9 oder 11 Kohlenstoffatome insgesamt.
  • Es hat sich herausgestellt, daß die genannten Polymere mit dieser Kombination aus aromatischen Ringen und aliphatischen Ketten im Grundgerüst für das Laser-Abtragungsverfahren geeignet sind und daß dabei wenig oder keine Verkohlung auftritt.
  • Die genannten Polymere können zum Beispiel aus den Polyetherestern, den obengenannten Polyamiden und den Polyimiden gewählt werden. Die Polymere können mit geeigneten, den Laser- Bearbeitungseffekt noch verstärkenden, chromophoren Materialien, wie z. B. aromatischen Carbonylverbindungen, dotiert werden, wobei ein Beispiel Benzophenon ist.
  • Für eine Form dieser Erfindung verwendet man für die Gegenstände und Verfahren eine Klasse der aufgeführten Polymere, die meist keine Dotierung erfordern, wobei diese Polyetherester, vor allem die Polyetherester-Block-Copolymere, vorzugsweise mit den genannten aromatischen Ringen im Grundgerüst der Esterblöcke sind. Die bevorzugten Copolymere weisen auch aliphatische Ketten im Grundgerüst der Esterblöcke auf. Die bevorzugten Copolymere können aliphatische Ketten und keine aromatischen Ringe im Grundgerüst der Etherblöcke haben. Die aliphatischen Ketten der bevorzugten Copolymere haben vorzugsweise 4 Kohlenstoffatome, weiter bevorzugt 4 Methylengruppen; ein besonders bevorzugtes Copolymer ist ein Polyetherester aus Polyesterblöcken der Formel
  • für sich wiederholende Einheiten und aus Polyetherblöcken der Formel
  • für sich wiederholende Einheiten.
  • Für eine weitere Form der Erfindung verwendet man für die Gegenstände und Verfahren Polyamide, die aromatische Polyamide mit aromatischen, vorzugsweise von der Phthalsäure abgeleiteten Ringen, im polymeren Grundgerüst sein können, und/oder amorphe Polyamide, vorzugsweise mit aromatischen Ringen und aliphatischen Ketten im Grundgerüst. Besonders bevorzugte Polyamide sind
  • (A) Polyamide, die auf der Kondensation von Terephthalsäure mit Trimethylhexamethylendiamin (das vorzugsweise ein Gemisch aus 2,2,4- und 2,4,4-Trimethylhexamethylendiamin- Isomeren enthält) basieren, oder
  • (B) Polyamide, die durch die Kondensation von einem oder mehreren Bisaminomethylnorbornan-Isomeren mit einer oder mehreren aliphatischen, cycloaliphatischen oder aromatischen Dicarbonsäuren, beispielsweise Terephthalsäure, gebildet sind und fakultativ eine oder mehrere von Aminosäuren oder Lactam, beispielsweise Epsilon-Caprolactam-Comonomeren, aufweisen, oder
  • (C) Polyamide, die auf Einheiten basieren, die von Laurinlactam, Isophthalsäure und Bis(4-amino-3- methylcyclohexyl)methan abgeleitet sind, oder
  • (D) Polyamide, die auf der Kondensation von 2,2-Bis(p-aminocyclohexyl)propan mit Adipin- und Azelainsäuren basieren, sowie Polyamide, die auf der Kondensation von Trans-cyclohexan-1,4-dicarbonsäure mit den vorstehend in (A) genannten Trimethylhexamethylendiamin-Isomeren basieren, oder
  • (E) Polyamide, die auf Einheiten basieren, die von m-Xylylendiamin und Adipinsäure abgeleitet sind,
  • und vor allem jene, in denen das Polyamid amorph ist.
  • Weitere Beispiele schließen amorphe Polyamide ein - sind aber nicht auf diese beschränkt -, die durch eine der folgenden allgemeinen Formeln definiert sind:
  • Mit der Maßgabe, daß einige R- oder R'-Gruppen aromatische Ringe und einige aliphatische Ketten sind, können die R und R' unabhängig voneinander ein Alkylenrest, im allgemeinen mit etwa einem bis etwa 30 Kohlenstoffatomen, vorzugsweise mit ungefähr zwei bis ungefähr 20 Kohlenstoffatomen und am meisten bevorzugt mit etwa zwei bis etwa 10 Kohlenstoffatomen, oder ein Cycloalkylen- oder Arylenrest, im allgemeinen mit etwa 3 bis etwa 30 Kohlenstoffatomen, vorzugsweise mit ungefähr zwei bis ungefähr 20 Kohlenstoffatomen und am meisten bevorzugt mit etwa zwei bis etwa 10 Kohlenstoffatomen, oder ein gemischter Alkyl-Cycloalkylrest, im allgemeinen mit etwa 4 bis etwa 30 Kohlenstoffatomen, vorzugsweise mit etwa vier bis etwa 20 Kohlenstoffatomen, weiter bevorzugt mit ungefähr vier bis ungefähr 10 Kohlenstoffatomen sein; oder R kann auch mit folgender Struktur (11) dargestellt werden:
  • Jedes R² und R³ in obengenannter Formel steht unabhängig voneinander für Wasserstoff oder einen Alkylrest, im allgemeinen mit einem bis etwa 15 Kohlenstoffatomen, vorzugsweise mit etwa einem bis ungefähr fünf Kohlenstoffatomen, einem Cycloalkylrest mit etwa 3 bis etwa 16 Kohlenstoffatomen, vorzugsweise mit etwa fünf bis etwa zehn Kohlenstoffatomen, einen gemischten Alkyl-Cycloalkylrest mit etwa 6 bis etwa 20 Kohlenstoffatomen, vorzugsweise mit etwa 6 bis etwa 10 Kohlenstoffatomen. In einer bevorzugten Ausführungsform ist jedes R² ein Methyl und jedes R³ ein Wasserstoff. Jedes n steht jeweils für eine ganze Zahl, vorzugsweise aus dem Bereich zwischen etwa 10 und etwa 500 000.
  • Zu geeigneten Polyamiden gehören folgende Beispiele: amorphe Polyamide, die aus einem Verhältnis von 50 : 50 aus Hexamethylendiamin und einer Mischung aus gleichen Teilen Terephthalsäure und Isophthalsäure abgeleitet sind; amorphe Polyamide, die aus Isophthalsäure/Bis(4-amino-3-methylcyclohexyl) methan/Laurinlactam abgeleitet sind; und amorphe Polyamide, die aus Dimethylterephthalat und einem Gemisch von 50 : 50 aus 2,2,4- und 2,4,4-Trimethylhexamethylendiamin abgeleitet sind, die allesamt eine Kristallinität von weniger als 2% aufweisen, das heißt einen amorphen Charakter von mehr als 98% haben, und dergleichen sowie Mischungen aus zwei beliebigen oder mehreren von diesen.
  • In denjenigen Aspekten der Erfindung, in denen die bearbeitete Oberfläche Polyimide enthält, ist es bevorzugt, daß das polymere Material ein Polyimid aufweist, in dessen Grundgerüst sich aus Pyromellitimid abgeleitete, aromatische Ringen befinden. Es kann ebenfalls bevorzugt sein, daß das polymere Material ein Polyimid aufweist, in dessen Grundgerüst sich aliphatische Ketten mit einer Länge von mindestens zehn Kohlenstoffatomen befinden, insbesondere solche, bei denen das Polyimid aus 1,12-Dodecamethylen-Pyromellitimid oder 1,13-Tridecamethylen-Pyromellitimid abgeleitet ist.
  • Weitere aromatische/aliphatische Polymere, die nützlich sein können, schließen folgende ein: Polyester, z. B. Polyalkylenterephthalat und insbesondere Polytetramethylenterephthalat sowie cycloaliphatische Diol/Terephtalsäure-Copolymere, z. B. Copolymere aus Terephthalat- und Isophthalat-Einheiten mit 1,4-Cyclohexandimethyloxy-Einheiten, Polysulphide, Polyether, z. B. Polybutylenether-Copolymere und insbesondere Polyetherester, wie z. B. solche Polyetherester, die Polytetramethylen- Ether- und Polytetramethylenterephthalat-Blöcken aufweisen.
  • Bevorzugte Copolyester sind die Polyetheresterpolymere, die aus Terephthalsäure, Polytetramethylenetherglykol und 1,4- Butandiol abgeleitet sind. Dies sind ungeordnete Block- Copolymere mit kristallinen, harten Blöcken mit der sich wiederholenden Grundeinheit:
  • und mit weichen, amorphen, elastomeren Polytetramethylenetherterephthalat-Blöcken der sich wiederholenden Grundeinheit
  • mit einem Molekulargewicht von etwa 600 bis 3 000, das heißt n = 6 bis 40.
  • Weitere bevorzugte Polymere umfassen solche, die auf Polyether- und Polyamidblöcken basieren, vor allem die sogenannten "Polyetheresteramid-Blockcopolymeren" mit den sich wiederholenden Grundeinheiten von
  • wobei A für eine Polyamidseguenz mit einem Durchschnittsmolekulargewicht im Bereich von 300 bis 15 000, vorzugsweise von 800 bis 5000, steht, und B für eine lineare oder verzweigte Polyoxyalkylensequenz mit einem durchschnittlichen Molekulargewicht im Bereich von 200 bis 6000, vorzugsweise von 400 bis 3000, steht.
  • Vorzugsweise wird die Polyamidsequenz aus Alpha, Omega- Aminocarbonsäuren, Lactamen oder Diamin/Dicarbonsäure- Kombinationen, die Kohlenstoffketten mit C&sub4; bis C&sub1;&sub4; aufweisen, gebildet, wobei die Polyoxyalkylensequenz auf Ethylenglykol, Propylenglykol und/oder Tetramethylenglykol basiert, und wobei die Polyoxyalkylensequenz zwischen 5 und 85%, insbesondere zwischen 10 und 50% des Gewichts des gesamten Blockcopolymers ausmacht. Diese Polymere und ihre Herstellung sind in den GB- Patentschriften Nr. 1 473 972, 1 532 930, 1 555 644, 2 005 283 A und 2 011 450 A erläutert.
  • Vorzugsweise hat das Polymer ein C:H-Verhältnis von nicht mehr als 0,9, bevorzugter von nicht mehr als 0,75, am meisten bevorzugt von nicht mehr als 0,65 und insbesondere von nicht mehr als 0,55.
  • Liegt das polymere Material in Form eines Flächenkörpers vor und sind durch Laser-Bearbeitung Durchgangslöcher durch den Flächenkörper gebildet, können die Gegenstände und Verfahren der vorliegenden Erfindung zu kommerziell verwertbaren, einachsig elektrisch leitenden Gegenständen verarbeitet werden, wie z. B. denjenigen, die in der Veröffentlichung EP-A-0 213 774 oder in den gleichzeitig anhängigen britischen Patentanmeldungen 8 802 567, 8 802 565, 8 802 566, 8 815 447.1, 8 819 895.7 und 8 823 053.7 beschrieben sind, deren Erläuterungen hier durch Bezugnahme einbezogen wird. Für diese Zwecke sind Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Gegenstände und Verfahren besonders nützlich, bei denen die laserbearbeiteten, polymeren Materialien einen laminaren Flächenkörper aufweisen, der mindestens eine Schicht aus Polyimidmaterial und mindestens eine Schicht aus Polyamidmaterial besitzt, vorzugsweise ein Polyamid der oben beschriebenen Art, um die Oberflächenverschmutzung, wie oben beschrieben, zu vermeiden.
  • Solche laminaren Flächenkörper können nützlich sein zur Herstellung von einachsig elektrisch leitenden Gegenständen, wie es in der europäischen Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer EP-A-0 123 774 oder den obengenannten, gleichzeitig anhängigen britischen Patentanmeldungen beschrieben ist. Zu diesen Zwecken wird Polyimid bevorzugt, das mindestens 50%, bevorzugterweise mindestens 75%, weiter bevorzugt mindestens 85% seiner ursprünglichen Dehnung nach dem Eintauchen in Wasser mit einem pH-Wert von 10 bei 100ºC für vier Tage gemäß ASTM D882 beibehalten kann.
  • Es wird leicht zu verstehen sein, daß ein ausreichend vollständig cyclisiertes Polyimid, das weniger als 15%, bevorzugterweise weniger als 10% und weiter bevorzugt weniger als 5% und, falls möglich, im wesentlichen keine offenen, cyclischen Säureimide oder uncyclisierte Säureamidgruppen aufweist, eher in der Lage ist, heiße, alkalische Metallisierbäder zu überstehen, als nicht vollständig cyclisierte Polyimide, wie Kapton (Warenzeichen). Das Polyimid, ob es vollständig cyclisiert ist oder nicht, wird vorzugsweise aus der Polymerisation von 4,4'-Biphenyldianhydrid und (4,4'-Diaminobiphenyl oder 4,4'-Diaminobiphenylether oder Phenylendiamin) abgeleitet, wobei jegliche Verkohlung des Polyimids bei diesen Laminaten eine geringere Rolle spielt, da das Polyimid nicht an der dem Durchbohrungslaser ausgesetzten Oberfläche des Laminats vorhanden sein muß.
  • Die derzeit mehr bevorzugten, kommerziell verfügbaren Polyimide sind diejenigen, die unter dem Warenzeichen "UPILEX" von Ube/ICI angeboten werden. Eines von diesen, "UPILEX R", soll ein relativ vollständig cyclisiertes Polymer sein, mit einer sich wiederholenden Grundeinheit, die von Biphenyldianhydrid und Diaminodiphenylether abgleitet ist, nämlich
  • Am meisten bevorzugt ist jedoch "UPILEX S", das eine sich wiederholende Grundeinheit haben soll, die von demselben Anhydrid und Phenylendiamin abgeleitet ist, nämlich
  • Die Erfindung kann außerdem besonders zweckmäßig sein für die Herstellung von Photoresistenten (z. B. zur Herstellung von Mikroschaltkreisen oder flexiblen Leiterplatten), die einen laserbearbeiteten Gegenstand der hier beschriebenen Art in Form einer Schicht aufweisen und mit den hierin beschriebenen Laser-Bearbeitungsverfahren hergestellt werden. Für diese Zwecke sind die lösungsmittelgießbaren oder schleuderbeschichtbaren, amorphen, polymeren Materialien besonders von Vorteil.
  • Einige der Polymere haben ganz gegen die Erwartungen auch den zusätzlichen Vorteil, daß man sie durch UV-Licht vernetzen kann, wenn es mit Leistungsdichten aufgebracht wird, die unter denen liegen, die zur Laser-Bearbeitung notwendig sind. Dies kann vor allem bei der Herstellung von Photoresistenten, ob sie nun laserbearbeitet sind oder nicht, von Nutzen sein.
  • Spezielle Beispiele, bei denen die angegebenen Polymere bei Raumtemperatur und normalen Luftverhältnissen mit der angegebenen Wellenlänge laserbearbeitet wurden, erläutern die Erfindung genauer. Dabei bedeutet "NC", daß keine Verkohlung sichtbar war, "S", daß leicht bzw. kaum erkennbare Verkohlung vorhanden war; "C", steht für Verkohlung und "H" für starke Verkohlung. Die mit C* nach der Beispielnummer gekennzeichneten Beispiele dienen dem Vergleich mit anderen Beispielen gemäß der Erfindung. Vergleichsbeispiele Beispiel Nr. Typ sich wiederholende Grundeinheit 1C* Aromatischer Polyester 2C* Aromatischer Polyester 3 Aromatischer Polyester 4 Aromatischer Polyester 5 Aromatischer Polyetherester 6C* Aromatisches Polysolfon 7C* Polyaryletherketon 8C* Aromatisches Polyimid 9C* Aromatisches Polyimid Beispiel Nr. Typ sich wiederholende Grundeinheit 10 Aromatisches Polyamid 11 Aromatisches Polyamid 12 Aromatisches Polyamid 13 Aromatisches/aliphatisches Polyimid 14 Aromatisches/aliphatisches Polyimid 15*C Aromatisches Polyetherimid 16 Aromatisches Polyetheramid 17*C Polystyrol 18 Parylen
  • Die kommerziell erhältlichen aromatischen Polyetheramide beim Beispiel Nr. 16 umfassen eine Polyamidsequenz aus Alpha, Omega-Aminocarbonsäuren, Lactamen oder Diamin/Dicarbonsäure- Kombinationen mit C&sub4;- bis C&sub1;&sub4;-Ketten und einer Polyoxyalkylensequenz auf der Basis von Ethylenglykol, Propylenglykol und/ oder Tetramethylenglykol, wobei die Polyoxyalkylensequenz zwischen 5 und 85%, insbesondere zwischen 10 und 50%, des Gewichts des gesamten Blockcopolymers ausmacht.

Claims (29)

1. Ein durch Laserabtragung bearbeiteter Gegenstand, bei dem das durch Laser abgetragene Material zumindest teilweise aus folgendem besteht: (a) aromatischem und/oder amorphem Polyamidmaterial oder (b) polymerem Material, das in seiner Polymerkette sich wiederholende Grundgerüsteinheiten, umfassend aromatische Grundgerüstringe und aliphatische Grundgerüstketten, hat, mit der Maßgabe, daß die aliphatischen Ketten mindestens 4 Kohlenstoffatome haben, wenn das Material ein Polyester ist.
2. Verfahren zum Herstellen eines Gegenstands aus polymerem Material, das folgendes aufweist: Bearbeiten eines Körpers aus polymerem Material durch Laserabtragung mit einer Laserwellenlänge, einer Leistungsdichte und einer Energiefluenz, die ausreichen, um Bereiche des genannten Körpers zu entfernen, wobei der Körper zumindest teilweise aus folgendem besteht: (a) aromatischem und/oder amorphem Polyamidmaterial oder (b) polymerem Material, das in seiner Polymerkette sich wiederholende Grundgerüsteinheiten, umfassend aromatische Grundgerüstringe und aliphatische Grundgerüstketten, hat, mit der Maßgabe, daß die aliphatischen Ketten mindestens 4 Kohlenstoffatome haben, wenn das Material ein Polyester ist.
3. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das polymere Material ausgewählt ist aus Polyetherestern und Polyimiden, die aromatische Ringe und aliphatische Ketten in dem Polymergrundgerüst haben.
4. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 3, wobei das polymere Material ein Polyetherester-Blockcopolymer aufweist, das aromatische Ringe in dem Grundgerüst der Esterblöcke hat.
5. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 4, wobei außerdem aliphatische Ketten in dem Grundgerüst der Esterblöcke vorhanden sind.
6. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 3, 4 oder 5, wobei aliphatische Ketten und keine aromatischen Ringe in dem Grundgerüst der Etherblöcke vorhanden sind.
7. Gegenstand oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zumindest einige der genannten aliphatischen Ketten mindestens vier Kohlenstoffatome enthalten.
8. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 4, wobei das Copolymer Polyesterblöcke der Formel
für sich wiederholende Einheiten und Polyetherblöcke der Formel
für sich wiederholende Einheiten aufweist.
9. Gegenstand oder Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Polyamid in seinem Grundgerüst aromatische Ringe hat, die von einer Phthalsäure abgeleitet sind.
10. Gegenstand oder Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei das polymere Material ein Polyamid aufweist, das (A) auf der Kondensation von Terephthalsäure mit Trimethylhexamethylendiamin (das bevorzugt ein Gemisch aus 2,2,4- und 2,4,4-Trimethylhexamethylendiamin-Isomeren enthält) basiert oder
(B) durch die Kondensation von einem oder mehreren Bisaminomethylnorbornan-Isomeren mit einer oder mehreren aliphatischen, cycloaliphatischen oder aromatischen Dicarbonsäuren, beispielsweise Terephthalsäure, gebildet ist und fakultativ eine oder mehrere von Aminosäure oder Lactam, beispielsweise Gamma-Caprolactam-Comonomeren, aufweist oder
(C) auf Einheiten basiert, die von Laurinlactam, Isophthalsäure und Bis(4-amino-3-methylcyclohexyl)methan abgeleitet sind, oder
(D) auf der Kondensation von 2,2-Bis(p-aminocyclohexyl)propan mit Adipin- und Azelainsäuren basiert, sowie Polyamide, die auf der Kondensation von Transcyclohexan-1,4-dicarbonsäure mit den vorstehend in (A) genannten Trimethylhexamethylendiamin-Isomeren basieren, oder
(E) auf Einheiten basieren, die von m-Xylylendiamin und Adipinsäure abgeleitet sind.
11. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 3, wobei das polymere Material ein Polyimid aufweist, das in seinem Grundgerüst aromatische Ringe hat, die von Pyromellitimid abgeleitet sind.
12. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 3 oder 11, wobei das polymere Material ein Polyimid aufweist, das in seinem Grundgerüst aliphatische Ketten mit mindestens 10 Kohlenstoffatomen hat.
13. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 11, wobei das Polyimid von 1,12-Dodecamethylenpyromellitimid oder 1,13- Tridecamethylenpyromellitimid abgeleitet ist.
14. Gegenstand oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das laserbearbeitete polymere Material amorph ist.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 14, wobei das Laser-Bearbeiten bei einer UV-Wellenlänge erfolgt, die bevorzugt größer als 248 nm ist.
16. Verfahren nach Anspruch 15, wobei das Laser-Bearbeiten mit einem XeCl- oder KrF-Excimer-Laser erfolgt.
17. Gegenstand oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das polymere Material mit einer aromatischen Carbonylverbindung dotiert ist, um das Laser-Bearbeiten zu verbessern.
18. Gegenstand oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das laserbearbeitete polymere Material einen laminaren Flächenkörper aufweist, der mindestens eine Schicht aus Polyamidmaterial und mindestens eine Schicht aus Polyimidmaterial hat.
19. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 18, wobei die Polyamidschicht(en) ein Polyamid nach Anspruch 10 aufweist (aufweisen)
20. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, wobei die Polyimidschicht(en) ein Polyimid nach einem der Ansprüche 11 bis 13 aufweist (aufweisen).
21. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, wobei das Polyimid durch Polymerisation von 4,4'-Biphenyldianhydrid und (4,4'-Diaminobiphenyl oder 4,4'-Diaminobiphenylether oder Phenylendiamin), bevorzugt p-Phenylendiamin abgeleitet ist.
22. Gegenstand oder Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 21, wobei das Polyimidmaterial fähig ist, mindestens 50%, bevorzugt mindestens 75%, mehr bevorzugt mindestens 85% seiner ursprünglichen Dehnung nach dem Eintauchen in Wasser mit einem pH-Wert von 10 bei 100ºCfür 4 Tage gemäß ASTM D882 beizubehalten.
23. Gegenstand oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das polymere Material in Form eines Flächenkörpers vorliegt und Durchgangsbohrungen durch den Flächenkörper durch Laserbearbeitung gebildet sind bzw. werden.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 23, wobei das polymere Material durch Schleuderbeschichten auf ein tragendes Substrat aufgetragen wird.
25. Gegenstand oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zumindest ein Teil des polymeren Materials durch Belichten mit Laserlicht mit geringerer Energie als der für das Laser-Bearbeiten verwendeten Energie vernetzt ist bzw. wird.
26. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1, 3 bis 14 und 17 bis 24, wobei der Gegenstand in Form einer Photoresistschicht auf einem Substrat vorliegt.
27. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 24, wobei der hergestellte Gegenstand eine polymere Photoresistschicht ist.
28. Gegenstand oder Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das polymere Material einen Polyester aufweist.
29. Gegenstand oder Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das polymere Material ein C:H-Verhältnis von nicht mehr als 0,9, bevorzugt nicht mehr als 0,65 hat.
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