DE68916207T2 - Diamantbeschichtetes Werkzeug, Substrate dafür und Verfahren zu dessen Herstellung. - Google Patents

Diamantbeschichtetes Werkzeug, Substrate dafür und Verfahren zu dessen Herstellung.

Info

Publication number
DE68916207T2
DE68916207T2 DE68916207T DE68916207T DE68916207T2 DE 68916207 T2 DE68916207 T2 DE 68916207T2 DE 68916207 T DE68916207 T DE 68916207T DE 68916207 T DE68916207 T DE 68916207T DE 68916207 T2 DE68916207 T2 DE 68916207T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
tungsten carbide
component
diamond coating
carbide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE68916207T
Other languages
English (en)
Other versions
DE68916207T3 (de
DE68916207D1 (de
Inventor
Hiroyuki C O Chuo-Kenkyush Eto
Noribumi C O Chuo-Kenk Kikuchi
Kei Nakahara
Toshihiko C O Tokyo-Se Okamura
Keiichi C O Tokyo-Seis Sakurai
Hironori C O Tokyo-S Yoshimura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=26391012&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE68916207(T2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Priority claimed from JP63322764A external-priority patent/JP2658324B2/ja
Priority claimed from JP5053489A external-priority patent/JP2653158B2/ja
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE68916207D1 publication Critical patent/DE68916207D1/de
Publication of DE68916207T2 publication Critical patent/DE68916207T2/de
Publication of DE68916207T3 publication Critical patent/DE68916207T3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0209—Pretreatment of the material to be coated by heating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/028—Physical treatment to alter the texture of the substrate surface, e.g. grinding, polishing
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0605—Carbon
    • C23C14/0611—Diamond
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only
    • C23C16/27—Diamond only
    • C23C16/271—Diamond only using hot filaments
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S76/00—Metal tools and implements, making
    • Y10S76/11—Tungsten and tungsten carbide
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/27—Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Werkzeugteil aus einem auf Wolframcarbid (WC) basierenden, zementierten Carbidsubstrat und einer darauf abgeschiedenen Diamantbeschichtung, in dem die Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem Substrat extrem hoch ist.
  • Ein herkömmliches diamantbeschichtetes Werkzeugteil aus auf Wolframcarbid basierendem, zementiertem Carbid, das in Werkzeugen, wie Schneideinsätzen, Stirnfräsern, Bohrern und dergleichen, Verwendung findet, wird hergestellt, indem man die Oberfläche des auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrats schleift, anschliessend das Substrat einer chemischen Ätzung mit verdünnter Salpetersäure, Schwefelsäure oder dergleichen unterwirft, um im äusseren Bereich des Substrats vorhandenes Cobalt (Co) zu entfernen, und eine Diamantbeschichtung mit einer mittleren Schichtdicke von 0,5 bis 20 um auf dem Substrat nach einer der bekannten Gasphasen-Abscheidungsmethoden abscheidet. Abgesehen von unvermeidbaren Verunreinigungen hat das zementierte Carbidsubstrat auf der Basis von Wolframcarbid normalerweise die im folgenden in Gew.% angegebene Zusammensetzung:
  • Cobalt als Binderphase-bildende Komponente: 1 bis 25 % wahlweise, als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase, wenigstens ein Material aus der Gruppe der Carbide von Metallen aus den Gruppen IVA, VA und VIA des Periodensystems und deren festen Lösungen: 0,5 bis 30 %; und
  • als restlichen Bestandteil der Zusammensetzung Wolframcarbid als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase.
  • Patent Abstract of Japan, Bd. 12, Nr. 263 (C-514) (3110), JP-A-63-45372, offenbart ein Werkzeugteil mit einem gesinterten Kern auf der Basis von Wolframcarbid und einer harten Legierung mit einem Gehalt von 1 bis 4 Gew.% Cobaltpulver. Dieses Werkzeugteil umfasst eine nach dem Formsintern bei niedrigem Druck aus der Gasphase abgeschiedenen Diamantbeschichtung.
  • EP-A-0 254 560 offenbart aus der Gasphase synthetisierte Diamanten und eine Methode zu deren Darstellung. Zur Herstellung von Diamanten mit einer hohen Vollkommenheit ist es wichtig, die Oberflächentemperatur des zu beschichtenden Substrats zu kontrollieren. Dann kann mit guter reproduzierbarkeit eine Diamantbeschichtung auf die Oberfläche des Substrats aufgebracht werden.
  • In dem oben genannten, herkömmlichen diamantbeschichteten Werkzeugteil aus auf Wolframcarbid basierendem, zementiertem Carbid ist jedoch die Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem Substrat gering. Daher zeigt sich bei der Verwendung solcher Teilen in Werkzeugen, die zum unterbrochenen Schneiden von Al-Si- Legierungen und dergleichen verwendet werden oder beim Schneiden unter besonderer Belastung, wie bei hoher Zuführgeschwindigkeit und grossen Schnittiefen, dass diese anfällig für die Ablösung der Diamantbeschichtung vom Substrat sind und daher die Lebensdauer der Werkzeuge relativ gering ist.
  • Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein diamantbeschichtetes Werkzeugteil mit einem auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrat zur Verfügung zu stellen, in dem die Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem Substrat extrem hoch ist.
  • Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein auf Wolframcarbid basierendes, zementiertes Carbidsubstrat, das zur Herstellung der vorgenannten diamantbeschichteten Werkzeugteile geeignet ist, zur Verfügung zu stellen.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung des vorgenannten Werkzeugteils zur Verfügung zu stellen.
  • Entsprechend dem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird ein Werkzeugteil mit einem zementierten Carbidsubstrat auf der Basis von Wolframcarbid und einer auf diesem Substrat abgeschiedenen Diamantbeschichtung zur Verfügung gestellt, wobei dieses auf Wolframcarbid basierende, zementierte Carbid, abgesehen von unvermeidbaren Verunreinigungen, 1 bis 25 Gew.% Cobalt als Komponente zur Bildung einer Binderphase und als restlichen Bestandteil Wolframcarbid als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase enthält. Bei der Röntgenbeugung an dem Substrat beobachtet man zwei Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; an der (211) indizierten Ebene von Wolframcarbid, wobei die beiden Beugungsreflexen Kα&sub1; und Kα&sub2; eine trogförmige Lücke einschliessen und die beiden Beugungsreflexe die Relation &sub1;/ &sub2; ≤ 35 erfüllen, wobei &sub1; und &sub2; die Höhen der beiden Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; gemessen von der Basislinie in der Lücke sind, wodurch die Bindungsstärke zwischen dem Substrat und der Diamantbeschichtung erhöht wird.
  • Ein zweiter Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist es, ein zementiertes Carbidsubstrat für diamantbeschichtete Werkzeugteile auf der Basis von Wolframcarbid zur Verfügung zu stellen, das zwei Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; an der (211) indizierten Ebene von Wolframcarbid zeigt, wobei die beiden Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; eine trogförmige Lücke einschliessen und die Relation &sub1;/ &sub2; ≤ 35 erfüllen sollen, wobei &sub1; und &sub2; die Höhen der beiden Reflexe Kα&sub1; und Kα&sub2;, gemessen von der Basislinie in der Lücke sind. Das vorgenannte zementierte Carbid auf der Basis von Wolframcarbid enthält, abgesehen von unvermeidbaren Verunreinigungen, 1 bis 25 Gew.% Cobalt als Komponente zur Bildung einer Binderphase, und als restlichen Bestandteil Wolframcarbid als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase.
  • Ein dritter Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es, ein folgende Schritte umfassendes Verfahren zur Herstellung von diamantbeschichteten Werkzeugteilen aus auf Wolframcarbid basierendem, zementiertem Carbid zur Verfügung zu stellen, wobei das zementierte Carbid auf der Basis von Wolframcarbid neben unvermeidlichen Verunreinigungen 1 bis 25 Gew.% Cobalt, als Komponente zur Bildung einer Binderphase, und als restlichen Bestandteil Wolframcarbid, als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase, enthält:
  • Sintern eines grünen Presslings zur Herstellung eines auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrats;
  • Schleifen des auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrats;
  • anschliessende Hitzebehandlung des auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrats bei einer Temperatur zwischen 1000 und 1600ºC im Vakuum oder unter einer nicht-oxidierenden Atmosphäre;
  • darauffolgend wird das Substrat einer chemischen Ätzung unterworfen, um im äusseren Bereich des Sbstrats vorhandenes Cobalt zu entfernen;
  • nachfolgendes Aufbringen einer Diamantbeschichtung auf dem Substrat nach einer Gasphasen-Abscheidungsmethode.
  • Fig. 1 zeigt die Röntgenbeugungsreflexe an der (211) indizierten Ebene von Wolframcarbid, wenn man ein erfindungsgemässes Substrat für Werkzeugteile röntgenografisch untersucht.
  • Die Erfinder haben beobachtet, dass herkömmliches diamantbeschichtetes, zementiertes Carbid auf der Basis von Wolframcarbid eine geringe Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem Substrat aufweist, da der durch das Schleifen entstandene Wolframcarbidstaub an der Oberfläche des Substrats anhaftet und dieser Staub die Ablösung der Diamantschicht vom Substrat verursacht. In weiteren Untersuchungen haben die Erfinder gefunden, dass eine Hitzebehandlung im Anschluss an das Schleifen des auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbids dazu führt, dass der Wolframcarbidstaub, der während des Schleifens entsteht, in der Bindephase gelöst und auf ungelöstem Wolframcarbid abgeschieden wird. Dies hat zur Folge, dass oberflächliches Wolframcarbid zu einer Kornvergrösserung führt, die Oberfläche rauh wird und die durch das Schleifen hervorgerufenen inneren Spannungen an der Oberfläche vermindert werden. Daher wird die Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem Substrat, wenn die Diamantbeschichtung bei der Herstellung eines diamantbeschichteten Werkzeugteils auf ein hitzebehandeltes Substrat aufgebracht wird, stark erhöht.
  • In einer nachfolgenden Analyse wurde auch gefunden, dass das Substrat des oben genannten diamantbeschichteten Werkzeugteils zwei Beugungsreflexe, Kα&sub1; und Kα&sub2;, an der (211) indizierten Ebene von Wolframcarbid im Röntgenbeugungsexperiment zeigt und dass die beiden Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; die Relation &sub1;/ &sub2; ≤ 35 erfüllen, wobei &sub1; und &sub2; die Höhen der Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2;, gemessen von der Basislinie der trogförmigen Lücke zwischen den beiden Beugungsreflexen Kα&sub1; und Kα&sub2; sind.
  • Im unterschied dazu beobachtet man bei der Röntgenbeugung an den Substraten herkömmlicher diamantbeschichteter Werkzeugteile einen oder zwei Beugungsreflexe an der (211) indizierten Ebene von Wolframcarbid. Im Falle, dass ein konventionelles Werkzeugteil zwei Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; zeigt, ist das Verhältnis von &sub1;/ &sub2; grösser als 35.
  • Das Verfahren zur Herstellung der vorgenannten erfindungsgemässen, diamantbeschichteten Werkzeugteile umfasst die Verarbeitung der pulverförmigen, in einem vorgeschriebenen Verhältnis gemischten Ausgangsmaterialien zu einem grünen Pressling, das Sintern des grünen Presslings bei einer Temperatur zwischen 1350 und 1500ºC, wobei ein auf Wolframcarbid basierendes, zementiertes Carbidsubstrat erhalten wird, das anschliessende Schleifen des auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrats, die nachfolgende Hitzebehandlung des geschliffenen Substrats bei einer Temperatur zwischen 1000 und 1600ºC im Vakuum oder unter einer nicht-oxidierenden Atmosphäre für eine vorgeschriebene Dauer, die darauffolgende chemische Ätzung des Substrats, um im äusseren Bereich des Substrats vorhandenes Cobalt zu entfernen, die anschliessende Aktivierung der Oberfläche des Substrats mit Ultraschallwellen und harten Partikeln, wie Diamantstaub, und schliesslich die Abscheidung einer Diamantbeschichtung auf dem Substrat nach einem Gasphasen- Abscheidungsverfahren.
  • Mit der oben genannten Hitzebehandlung wird der durch das Schleifen erzeugte Wolframcarbidstaub in der Binderphase gelöst und auf nicht-gelöstem Wolframcarbid abgeschiedenen. Dies hat zur Folge, dass das oberflächliche Wolframcarbid zu einer Kornvergrösserung führt, wodurch die Oberfläche rauh wird und interne, durch das Schleifen entstandene Spannungen in der Oberfläche, vermindert werden. Dadurch wird ein Substrat für ein diamantbeschichtetes Werkzeugteil erhalten, bei dem zwei Beugungsreflexe, Kα&sub1; und Kα&sub2;,beobachtet werden, die die Relation &sub1;/ &sub2; ≤ 35 erfüllen, wobei &sub1; und &sub2; die Höhen der Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2;, gemessen von der Basislinie in der trogförmigen Lücke zwischen den beiden Beugungsreflexen Kα&sub1; und Kα&sub2;, bedeuten, und die Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem Substrat stark erhöht ist.
  • Wird bei der Hitzebehandlung eine Temperatur unterhalb von 1000ºC gewählt, so zeigt das Substrat keine zwei voneinander getrennten Beugungsreflexe, woraus hervorgeht, dass die erwünschte Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem Substrat nicht erreicht wurde. Wird andererseits eine Temperatur oberhalb von 1600ºC gewählt, werden die Kristallite des Substrats so gross, dass die mechanische Belastbarkeit des Substrats vermindert wird. Schlimmer noch, die Oberfläche des Substrats wird besonders rauh, so dass das Substrat nicht mehr zur Herstellung eines Werkzeugteils verwendet werden kann. Im Falle dass das Werkzeugteil einen Schneideinsatz betrifft, beträgt die Dauer der Hitzebehandlung 30 bis 90 Minuten.
  • Das zementierte Carbidsubstrat auf der Basis von Wolframcarbid enthält, abgesehen von unvermeidbaren Verunreinigungen, 1 bis 25 Gew.% Cobalt als Komponente zur Bildung einer Binderphase, und als restlichen Bestandteil Wolframcarbid als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase.
  • Wenn der Cobaltanteil weniger als 1 Gew.% beträgt, wird die gewünschte Härte und mechanische Belastbarkeit nicht erreicht. Enthält das Substrat andererseits mehr als 25 Gew.% Cobalt, nimmt die Abriebfestigkeit des Substrats stark ab. Besonders im Falle eines Schneidwerkzeugs sollte der Cobaltanteil im Substrat vorzugsweise nicht mehr als 10 Gew.% betragen.
  • Das vorgenannte Substrat kann ausserdem als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase 0,5 bis 30 Gew.% wenigstens eines Materials aus der Gruppe der Carbide, Nitride und Carbonitride von Metallen aus den Gruppen IVA, VA und VIA des Periodensystems und deren festen Lösungen enthalten.
  • Die Carbide, Nitride und dergleichen werden zugesetzt, um die Abriebbeständigkeit des Substrats zu erhöhen, wobei deren Gesamtanteil vorzugsweise zwischen 0,5 und 30 Gew.% liegen sollte. Wenn der Gehalt an Carbiden, Nitriden und dergleichen weniger als 0,5 Gew.% beträgt, kann eine ausreichende Abriebfestigkeit nicht erreicht werden. Enthält das Substrat andererseits mehr als 30 Gew.% an Carbiden, Nitriden und dergleichen, nimmt die Härte des Substrats stark ab.
  • Die Diamantbeschichtung hat erfindungsgemäss eine durchschnittliche Schichtdicke von 0,5 bis 20 um. Wenn die Diamantschichtdicke weniger als 0,5 um beträgt, zeigt die Diamantbeschichtung nicht die gewünschte Abriebbeständigkeit. Beträgt deren Dicke mehr als 20 um, so wird die Diamantbeschichtung anfällig für Splitterung und nachfolgende Ablösung von dem Substrat.
  • Wie oben beschrieben, ist in dem erfindungsgemässen diamantbeschichteten Werkzeugteil aus auf Wolframcarbid basierendem, zementierten Carbid die Bindungsstärke zwischen dem auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrat und der Diamantbeschichtung des Werkzeugteils sehr hoch. Dies führt zu einer relativ langen Lebensdauer des Werkzeugs. Das diamantbeschichtete Werkzeugteil besitzt daher über längere Zeit eine überlegene Schnittleistung, wenn das Werkzeugteil in den oben genannten Schneidwerkzeugen, verschiedenen Formwerkzeugen oder Stanzwerkzeugen Verwendung findet, oder eine längere Lebensdauer in abriebfesten Teilen, wie Führungsrollen in Heisswalzstrassen, Falzrollen in Röhrenwerken und dergleichen.
  • Das erfindungsgemässe diamantbeschichtete Werkzeugteil aus auf Wolframcarbid basierendem, zementiertem Carbid und das Verfahren zu dessen Herstellung soll mit Hilfe eines Beispiels im Detail beschrieben werden.
    • BEISPIEL
  • Als pulverförmige Ausgangsmaterialien werden Wolframcarbidpulver, Metallcarbidpulver und Co-Pulver hergestellt, wobei jedes Pulver eine vorbestimmte durchschnittliche Korngrösse zwischen 0,5 und 10 um aufweist. Diese pulverförmigen Ausgangsmaterialien werden miteinander zu den in Tabelle 1 angegebenen Zusammensetzungen vermischt. Nach der 72-stündigen Nassvermischung der pulverförmigen Ausgangsmaterialien in einer Kugelmühle und anschliessender Trocknung wird das Pulver unter einem Druck von 1,5 t/cm² zu grünen Presslingen verarbeitet. Die so erhaltenen grünen Presslinge werden unter den folgenden Bedingungen zu zementierten Carbidsubstraten auf der Basis von Wolframcarbid gesintert, die im wesentlichen die gleiche Zusammensetzung haben wie die Mischungen: Druck: 1,3 Pa (1 x 10&supmin;² Torr), Heiztemperatur: vorbestimmte Temperatur zwischen 1350 und 1500ºC, Verweildauer: 90 Minuten. Die Oberfläche jedes zementierten Carbidsubstrats auf der Basis von Wolframcarbid wurde mit einer Schleifwerkzeug zu einem Schneideinsatzsubstrat geschliffen, der dem SPGN 120308-Standard nach ISO entspricht. Anschliessend wurde das Schneideinsatzsubstrat unter den folgenden Bedingungen hitzebehandelt:
  • Druck: 1,3 Pa (1 x 10&supmin;² Torr),
  • Heiztemperatur: vorbestimmte Temperatur zwischen 1000 und 1600ºC,
  • Verweildauer: 30 bis 90 Minuten.
  • Das in dem äusseren Bereich des hitzebehandelten Substrats vorhandene Cobalt wird durch eine 5-minütige Ätzung mit einer 5 %-igen Salpetersäure-Lösung entfernt.
  • Die Oberflächen des Schneideinsatzsubstrats wurden dann unter den folgenden Bedingungen röntgenografisch untersucht:
  • Quelle: Cu
  • Filter: Ni
  • Lampenspannung: 40 kV
  • Lampenstrom: 40 mA
  • Zeitkonstante: 5
  • Aufnahmerate: 40 mm/2θ (Grad)
  • maximale Aufnahme: 10.000 cps
  • Schneideinsatzsubstrate, aus deren Oberflächen das Cobalt entfernt wurde, werden in eine Dispersion von Diamantpulver in Alkohol, wobei das Pulver eine durchschnittliche Partikelgrösse von 15 um aufweist, eingetaucht und und unter folgenden Bedingungen aktiviert: Ultraschallfrequenz: 2000 Hz; Leistung: 240 W; Verweildauer: 15 Minuten. Das Substrate wird dann in einem Röhrenreaktor, bestehend aus einem Quarzrohr mit 120 mm Durchmesser und einem Glühfaden aus W (Metall) für eine bestimmte Zeit zwischen 3 und 10 Stunden unter folgenden Bedingungen einer Gasphasen-Abscheidungsreaktion unterworfen: normaler Druck: 35 Torr, Temperatur des Substrats: 850ºC, umgebendes Gas: CH&sub4;/H&sub2; = 0,01, wobei sich auf der Oberfläche des Schneideinsatzsubstrats eine Diamantschicht mit der in Tabelle 1 angegebenen mittleren Schichtdicke abscheidet. Auf diese Weise wurden die erfindungsgemässen diamantbeschichteten Schneideinsätze mit einem auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrat (1) bis (23) erhalten. Bei den erfindungsgemässen Schneideinsätzen (1), (2), (5), (9) und (10) wurde die chemische Ätzung zur Entfernung des im äusseren Bereich des Substrats vorhandenen Cobalts nicht durchgeführt. Bei den erfindungsgemässen Schneideinsätzen (9), (10), (15), (16), (20), (21) und (23) wurde die Aktivierung durch Ultraschall nicht durchgeführt.
  • Die so erhaltenen erfindungsgemässen Schneideinsätze (1) bis (23) wurden noch einmal röntgenografisch unter den oben genannten Bedingungen untersucht. Das heisst, sowohl das Substrat vor der Diamantbeschichtung und der Schneideinsatz nach der Diamantbeschichtung wurden röntgenografisch untersucht.
  • Bei der Röntgenanalyse zeigten das Substrat und der Schneideinsatz, wie in Fig. 1 dargestellt, zwei Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; an der (211) indizierten Ebene von Wolframcarbid. Anhand der beiden Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; wurde das für die erfindungsgemässen Schneideinsätze in Tabelle 1 wiedergegebene Verhältnis von &sub1; zu &sub2; berechnet.
  • Zu Vergleichszwecken wurden Vergleichs-Schneideinsätze (1) bis (23) mit der gleichen Zusammensetzung wie die erfindungsgemässen Schneideinsätze (1) bis (23) in einem fast gleichen Verfahren und unter fast gleichen Bedingungen wie die erfindungsgemässen Schneideinsätze hergestellt. Die Hitzebehandlung (zwischen 1000 und 1600ºC) nach dem Schleifen des auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrats wurde jedoch nicht durchgeführt. Sowohl das Vergleichs- Schneideinsatzsubstrat vor der Diamanbeschichtung, als auch der Schneideinsatz nach der Diamantbeschichtung wurden unter den gleichen Bedingungen wie oben beschrieben röntgenografisch untersucht.
  • Als nächstes wurden die erfindungsgemässen Schneideinsätze (1) bis (23) und die Vergleichs-Schneideinsätze (1) bis (23) einem Trockenschleiftest unterworfen. Es galten folgende Bedingungen:
  • Werkstück: Al - 12 % Si-Stahllegierungsblock
  • Schnittgeschwindigkeit: 550 m/min.
  • Schnittiefe: 1,5 mm
  • Zuführgeschwindigkeit: 0,15 mm/Zahn
  • Schnittzeit: 30 Minuten
  • Die erfindungsgemässen Schneideinsätze (1) bis (23) und die Vergleichs-Schneideinsätze (1) bis (23) wurden einem Trocken-Abdrehtest unterworfen. Es galten die folgenden Bedingungen:
  • Werkstück: Al - 12 % Si-Stahllegierungsstange
  • Schnittgeschwindigkeit: 1000 m/min
  • Schnittiefe: 1 mm
  • Vorschubgeschwindigkeit: 0,2 mm/Umdrehung
  • Schnittzeit: 30 Minuten
  • Die Schneideinsätze mit Ecken wurden zur Untersuchung aussortiert. Die Anzahl der Ecken, an denen sich die Diamantbeschichtung vom Schneideinsatzsubstrat abgelöst hatten, sind, bezogen auf 10, in Tabelle 1 angegeben.
  • Wie aus den in Tabelle 1 zusammengestellten Ergebnissen hervorgeht, beobachtet man bei der Röntgenanalyse aller erfindungsgemässen Schneideinsätze die beiden Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; an der (211)-indizierten Ebene von Wolframcarbid, die die Relation &sub1;/ &sub2; ≤ 35 erfüllen. Die erfindungsgemässen Schneideinsätze zeigten überlegene Schneidleistung, sowie geringe Ablösung der Diamantbeschichtung vom Schneideinsatzsubstrat und Abriebfestigkeit unter den drastischen Schnittbedingungen bei kontinuierlichem Hochgeschwindigkeitsschneiden oder beim Schneiden mit hoher Zuführgeschwindigkeit, da die Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrat gross war. Im Unterschied dazu zeigten die Vergleichs- Schneideinsätze bei der Röntgenanalyse einen oder zwei Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; und das Verhältnis &sub1;/ &sub2; war nicht geringer als 35. Die Diamantbeschichtungen lösten sich bei mehr als der Hälfte der Vergleichs- Schneideinsätze von der Oberfläche des auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrats ab und es wurde starker Abrieb beobachtet, da die Bindungsstärke zwischen der Diamantbeschichtung und dem Schneideinsatzsubstrat nicht ausreichend war. TABELLE 1 Substrat-Zusammensetzung (Gew.%) Anzahl der Ecken mit Diamantbeschichtungs-Abtrennung bez. auf 10 Probe Nr. Metallcarbid oder dessen Feststoff-Lösung Hitzebehandlung [Temperatur/Zeit (ºC/Std.)] Chemisches Ätzen Ultraschallbehandlung Durchschnittliche Dicke der Diamantbeschichtung (um) Trocken schleif test Abdrehtest vor der Diamantbeschichtung nach der Diamantbeschichtung Erfindungsgemässer Schneideinsatz Rest FORTSETZUNG TABELLE 1 Vergleichs-Schneideinsatz Rest FORTSETZUNG TABELLE 1 Rest : Chemische Ätzung oder Ultraschallbehandlung X: Keine chemische Ätzung oder Ultraschallbehandlung *1: Keine Hitzebehandlung; *2: ein Beugungsreflex; *3: ungewöhnlich hoher Anstieg der Oberflächenrauhigkeit

Claims (6)

1. Werkzeugteil mit einem auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrat und einer auf dem Substrat abgeschiedenen Diamantbeschichtung, dadurch gekennzeichnet, dass das auf Wolframcarbid basierende, zementierte Carbid, abgesehen von unvermeidbaren Verunreinigungen, 1 bis 25 Gew.% Cobalt als Komponente zur Bildung einer Binderphase und als restlichen Bestandteil Wolframcarbid als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase enthält;
das Substrat bei der Röntgenanalyse zwei Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; an der mit (211) indizierten Ebene von Wolframcarbid zeigt; und
die beiden Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; eine trogartige Lücke einschliessen und die Relation &sub1;/ &sub2; ≤ 35 erfüllen, wobei &sub1; und &sub2; die Höhen der Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2;, gemessen von der Basislinie in besagter Lücke sind, wodurch die Bindungsstärke zwischen dem Substrat und der Diamantbeschichtung erhöht wird.
2. Werkzeugteil gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Diamantbeschichtung eine durchschnittliche Schichtdicke von 0,5 bis 20 um aufweist.
3. Werkzeugteil gemäss den Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das auf Wolframcarbid basierende, zementierte Carbid 0,5 bis 30 Gew.% wenigstens eines Materials aus der Gruppe der Carbide, Nitride und Carbonitride von Metallen aus den Gruppen IVA, VA und VIA des Periodensystems und festen Lösungen dieser Carbide, Nitride und Carbonitride als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase und als restlichen Bestandteil Wolframcarbid als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase enthält.
4. Ein auf Wolframcarbid basierendes, zementiertes Carbidsubstrat für ein diamantbeschichtetes Werkzeugteil, dadurch gekennzeichnet, dass
das Substrat bei der Röntgenanalyse zwei Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; an der (211)-indizierten Ebene von Wolframcarbid zeigt; und
die beiden Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2; eine trogartige Lücke einschliessen und die Relation &sub1;/ &sub2; ≤ 35 erfüllen, wobei &sub1; ünd &sub2; die Höhen der Beugungsreflexe Kα&sub1; und Kα&sub2;, gemessen von der Basislinie besagter Lücke sind
wobei das auf Wolframcarbid basierende, zementierte Carbidsubstrat, abgesehen von unvermeidlichen Verunreinigungen 1 bis 25 Gew.% Cobalt als Komponente zur Bildung einer Binderphase und als restlichen Bestandteil Wolframcarbid als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase enthält.
5. Verfahren zur Herstellung eines Werkzeugteils mit einem auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrat und einer auf dem Substrat abgeschiedenen Diamantbeschichtung, das die folgenden Schritte umfasst:
(i) Sintern eines grünen Presslings, um ein auf Wolframcarbid basierendes, zementiertes Carbidsubstrat herzustellen; und
(ii) anschliessendes Abscheiden einer Diamantbeschichtung auf dem Substrat nach einer Gasphasenabscheidungsmethode;
gekennzeichnet durch den Schritt des Schleifens des auf Wolframcarbid basierenden, zementierten Carbidsubstrats und anschliessende Hitzebehandlung des geschliffenen Substrats bei einer Temperatur zwischen 1000 und 1600ºC im Vakuum oder unter einer nicht-oxidierenden Atmosphäre zwischen dem Schritt des Schleifen und dem Schritt der Diamantbeschichtung, und durch eine chemische Ätzung des Substrats, um im äusseren Bereich des Substrats vorhandenes Cobalt zu entfernen, zwischen dem Schritt der Hitzebehandlung und dem Schritt der Diamantbeschichtung, wobei das auf Wolframcarbid basierende, zementierte Carbidsubstrat, abgesehen von unvermeidbaren Verunreinigungen, 1 bis 25 Gew.% Cobalt als Komponente zur Bildung einer Binderphase und als restlichen Bestandteil Wolframcarbid als Komponente zur Bildung einer dispersen Phase enthält.
6. Verfahren gemäss Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat zusätzlich einer Ultraschallbehandlung zur Aktivierung der Oberfläche des Substrats durch harte Partikel zwischen dem Schritt der chemischen Ätzung und dem Schritt der Diamantbeschichtung unterworfen wird.
DE68916207T 1988-12-21 1989-12-21 Diamantbeschichtetes Werkzeug, Substrate dafür und Verfahren zu dessen Herstellung. Expired - Lifetime DE68916207T3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63322764A JP2658324B2 (ja) 1988-12-21 1988-12-21 ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製工具部材
JP5053489A JP2653158B2 (ja) 1989-03-02 1989-03-02 ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製工具部材

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE68916207D1 DE68916207D1 (de) 1994-07-21
DE68916207T2 true DE68916207T2 (de) 1994-11-17
DE68916207T3 DE68916207T3 (de) 1999-11-25

Family

ID=26391012

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE68916207T Expired - Lifetime DE68916207T3 (de) 1988-12-21 1989-12-21 Diamantbeschichtetes Werkzeug, Substrate dafür und Verfahren zu dessen Herstellung.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5068148A (de)
EP (1) EP0374923B2 (de)
DE (1) DE68916207T3 (de)
ES (1) ES2057084T5 (de)

Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE9002136D0 (sv) * 1990-06-15 1990-06-15 Sandvik Ab Cement carbide body for rock drilling, mineral cutting and highway engineering
DE4026607A1 (de) * 1990-08-23 1992-02-27 Kabelmetal Electro Gmbh Verfahren zur erhoehung der standzeit eines werkzeuges zum schaelen von straengen und draehten aus aluminium
JP3191878B2 (ja) * 1991-02-21 2001-07-23 三菱マテリアル株式会社 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法
US5236740A (en) * 1991-04-26 1993-08-17 National Center For Manufacturing Sciences Methods for coating adherent diamond films on cemented tungsten carbide substrates
US5786068A (en) * 1991-05-03 1998-07-28 Advanced Refractory Technologies, Inc. Electrically tunable coatings
US5352493A (en) * 1991-05-03 1994-10-04 Veniamin Dorfman Method for forming diamond-like nanocomposite or doped-diamond-like nanocomposite films
US5728465A (en) * 1991-05-03 1998-03-17 Advanced Refractory Technologies, Inc. Diamond-like nanocomposite corrosion resistant coatings
US5718976A (en) * 1991-05-03 1998-02-17 Advanced Refractory Technologies, Inc. Erosion resistant diamond-like nanocomposite coatings for optical components
EP0550763B1 (de) * 1991-07-22 1997-09-10 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Diamantverkleidetes hartmaterial und verfahren zu dessen herstellung
CA2091498C (en) * 1992-03-31 2001-12-11 William Kirk Houser Apparatus for shear-cutting a stack of amorphous steel strips
AT400041B (de) * 1993-03-26 1995-09-25 Plansee Tizit Gmbh Hartmetall-substrat mit diamantschicht hoher haftfestigkeit
US5585176A (en) * 1993-11-30 1996-12-17 Kennametal Inc. Diamond coated tools and wear parts
SE509362C2 (sv) * 1994-03-18 1999-01-18 Sandvik Ab Diamantbelagd kropp
US5560839A (en) * 1994-06-27 1996-10-01 Valenite Inc. Methods of preparing cemented metal carbide substrates for deposition of adherent diamond coatings and products made therefrom
US5674620A (en) * 1994-08-11 1997-10-07 Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corporation Diamond-coated composite cutting tool and method of making
US5571615A (en) * 1995-05-16 1996-11-05 Xrystallume Ultrasmooth adherent diamond film coated article and method for making same
US5571616A (en) * 1995-05-16 1996-11-05 Crystallume Ultrasmooth adherent diamond film coated article and method for making same
US5599144A (en) * 1995-06-23 1997-02-04 International Business Machines Corporation Low friction flute tungsten carbon microdrill
US6468642B1 (en) 1995-10-03 2002-10-22 N.V. Bekaert S.A. Fluorine-doped diamond-like coatings
US5638251A (en) * 1995-10-03 1997-06-10 Advanced Refractory Technologies, Inc. Capacitive thin films using diamond-like nanocomposite materials
US5795648A (en) * 1995-10-03 1998-08-18 Advanced Refractory Technologies, Inc. Method for preserving precision edges using diamond-like nanocomposite film coatings
AT411070B (de) * 1996-03-25 2003-09-25 Electrovac Verfahren zur herstellung eines substrates mit einer polykristallinen diamantschicht
US5716170A (en) * 1996-05-15 1998-02-10 Kennametal Inc. Diamond coated cutting member and method of making the same
US5869019A (en) * 1996-10-02 1999-02-09 Nanodyne Incorporated Synthesis of phase stabilized vanadium and chromium carbides
JPH10138027A (ja) * 1996-11-11 1998-05-26 Shinko Kobelco Tool Kk ドリル用超硬合金および該合金を用いたプリント基板穿孔用ドリル
US5701578A (en) * 1996-11-20 1997-12-23 Kennametal Inc. Method for making a diamond-coated member
EP0960219B1 (de) 1996-12-24 2002-06-19 Widia GmbH Verbundkörper, bestehend aus einem hartmetall-, cermet- oder keramiksubstratkörper und verfahren zu seiner herstellung
US6013980A (en) 1997-05-09 2000-01-11 Advanced Refractory Technologies, Inc. Electrically tunable low secondary electron emission diamond-like coatings and process for depositing coatings
US6344149B1 (en) 1998-11-10 2002-02-05 Kennametal Pc Inc. Polycrystalline diamond member and method of making the same
US6436204B1 (en) 1998-11-20 2002-08-20 Kennametal Pc Inc. Diamond coated cutting tools and method of manufacture
KR100305315B1 (ko) * 1999-04-09 2001-09-13 박호군 다이아몬드 막이 코팅된 절삭공구 및 그 제조방법
US6660329B2 (en) * 2001-09-05 2003-12-09 Kennametal Inc. Method for making diamond coated cutting tool
US8220489B2 (en) 2002-12-18 2012-07-17 Vapor Technologies Inc. Faucet with wear-resistant valve component
US7866343B2 (en) 2002-12-18 2011-01-11 Masco Corporation Of Indiana Faucet
US7866342B2 (en) 2002-12-18 2011-01-11 Vapor Technologies, Inc. Valve component for faucet
US8555921B2 (en) 2002-12-18 2013-10-15 Vapor Technologies Inc. Faucet component with coating
US8197936B2 (en) 2005-01-27 2012-06-12 Smith International, Inc. Cutting structures
US7377341B2 (en) 2005-05-26 2008-05-27 Smith International, Inc. Thermally stable ultra-hard material compact construction
US20070026205A1 (en) 2005-08-01 2007-02-01 Vapor Technologies Inc. Article having patterned decorative coating
US8020643B2 (en) * 2005-09-13 2011-09-20 Smith International, Inc. Ultra-hard constructions with enhanced second phase
US20070169419A1 (en) * 2006-01-26 2007-07-26 Ulterra Drilling Technologies, Inc. Sonochemical leaching of polycrystalline diamond
US8066087B2 (en) * 2006-05-09 2011-11-29 Smith International, Inc. Thermally stable ultra-hard material compact constructions
US8028771B2 (en) 2007-02-06 2011-10-04 Smith International, Inc. Polycrystalline diamond constructions having improved thermal stability
US7942219B2 (en) 2007-03-21 2011-05-17 Smith International, Inc. Polycrystalline diamond constructions having improved thermal stability
US9297211B2 (en) 2007-12-17 2016-03-29 Smith International, Inc. Polycrystalline diamond construction with controlled gradient metal content
US8083012B2 (en) 2008-10-03 2011-12-27 Smith International, Inc. Diamond bonded construction with thermally stable region
SE533070C2 (sv) * 2008-11-10 2010-06-22 Seco Tools Ab Sätt att tillverka skärverktyg
WO2010129811A2 (en) 2009-05-06 2010-11-11 Smith International, Inc. Cutting elements with re-processed thermally stable polycrystalline diamond cutting layers, bits incorporating the same, and methods of making the same
CA2760944A1 (en) 2009-05-06 2010-11-11 Smith International, Inc. Methods of making and attaching tsp material for forming cutting elements, cutting elements having such tsp material and bits incorporating such cutting elements
CN102482919B (zh) 2009-06-18 2014-08-20 史密斯国际有限公司 具有工程化孔隙率的多晶金刚石切削元件和用于制造这种切削元件的方法
JP5282911B2 (ja) * 2010-03-26 2013-09-04 三菱マテリアル株式会社 ダイヤモンド被覆切削工具
CN106811729A (zh) * 2015-12-01 2017-06-09 上海睿锆信息科技有限公司 实施晶态碳沉积加工前的处理工艺

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3882579A (en) * 1972-03-13 1975-05-13 Granville Phillips Co Anti-wear thin film coatings and method for making same
US4063907A (en) * 1975-07-28 1977-12-20 General Electric Company Modifying the surface of diamond particles
ZA762258B (en) * 1976-04-14 1977-11-30 De Beers Ind Diamond Abrasive compacts
AU518306B2 (en) * 1977-05-04 1981-09-24 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Sintered compact for use ina cutting tool anda method of producing thesame
US4156329A (en) * 1977-05-13 1979-05-29 General Electric Company Method for fabricating a rotary drill bit and composite compact cutters therefor
JPS5473392A (en) * 1977-11-24 1979-06-12 Sumitomo Electric Ind Ltd Coating chip for milling cutters
US4224380A (en) * 1978-03-28 1980-09-23 General Electric Company Temperature resistant abrasive compact and method for making same
JPS6018269B2 (ja) * 1980-07-24 1985-05-09 バブコツク日立株式会社 ステンレス鋼溶着部の製造方法
JPS603922B2 (ja) * 1980-09-03 1985-01-31 日本油脂株式会社 切削工具
JPS5747771A (en) * 1980-09-06 1982-03-18 Sumitomo Electric Industries Sintered body for linedrawing dice and manufacture
JPS58126972A (ja) * 1982-01-22 1983-07-28 Sumitomo Electric Ind Ltd ダイヤモンド被覆超硬合金工具
JPS6039408U (ja) * 1983-08-24 1985-03-19 三菱マテリアル株式会社 一部非研削超硬ドリル
JPS60207703A (ja) * 1984-03-30 1985-10-19 Mitsubishi Metal Corp 人工ダイヤモンド被覆工具部材
JPS6152541A (ja) * 1984-08-22 1986-03-15 Hitachi Ltd 恒温湿制御装置
US4698266A (en) * 1985-11-18 1987-10-06 Gte Laboratories Incorporated Coated cemented carbide tool for steel roughing applications and methods for machining
JPH07100858B2 (ja) * 1986-04-24 1995-11-01 三菱マテリアル株式会社 ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ
US4731296A (en) * 1986-07-03 1988-03-15 Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha Diamond-coated tungsten carbide-base sintered hard alloy material for insert of a cutting tool
US4900628A (en) * 1986-07-23 1990-02-13 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Gaseous phase synthesized diamond and method for synthesizing same
JPS63156082A (ja) * 1986-12-19 1988-06-29 日本油脂株式会社 高硬度焼結体
EP0272913B1 (de) * 1986-12-23 1993-03-10 De Beers Industrial Diamond Division (Proprietary) Limited Werkzeugeinsatz
NO881723L (no) * 1987-04-22 1988-10-24 Idemitsu Petrochemical Co Fremgangsmaate og innretning for fremstilling av diamanter.
US4764434A (en) * 1987-06-26 1988-08-16 Sandvik Aktiebolag Diamond tools for rock drilling and machining
JPH0773802B2 (ja) * 1987-07-10 1995-08-09 住友電気工業株式会社 被覆超硬合金工具
JPH01124573A (ja) * 1987-07-31 1989-05-17 Toshiba Ceramics Co Ltd 梱包具
JP2601284B2 (ja) * 1987-09-01 1997-04-16 株式会社石塚研究所 焼結ダイヤモンド複合体、及びその製造方法
EP0308676A3 (de) * 1987-09-25 1990-01-10 Siemens Aktiengesellschaft Spannungsarme Umhüllung für elektrische und elektronische Bauelemente, insbesondere Hybridschaltungen
JP2694663B2 (ja) * 1989-01-26 1997-12-24 スズキ株式会社 微分相関器
JPH02214166A (ja) * 1989-02-15 1990-08-27 Hitachi Ltd 半導体装置とその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0374923A3 (en) 1990-09-26
DE68916207T3 (de) 1999-11-25
EP0374923B1 (de) 1994-06-15
DE68916207D1 (de) 1994-07-21
EP0374923B2 (de) 1999-06-23
ES2057084T3 (es) 1994-10-16
ES2057084T5 (es) 1999-12-01
US5068148A (en) 1991-11-26
EP0374923A2 (de) 1990-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68916207T2 (de) Diamantbeschichtetes Werkzeug, Substrate dafür und Verfahren zu dessen Herstellung.
DE69204608T2 (de) Verfahren zur Herstellung von beschichteten Schleifmaterialien.
DE69025582T2 (de) Beschichteter Hartmetallkörper und Verfahren zu seiner Herstellung
DE69005348T2 (de) Oberflächenbeschichteter Werkzeugteil aus Hartmetall auf der Basis von Wolframcarbid.
DE68911468T2 (de) Mit Spannuten versehenes polykristallines Diamantwerkzeug und ein Verfahren zu dessen Herstellung.
DE3788673T2 (de) Mit Schleifkörnern überkrusteter Draht und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE3016971C2 (de)
DE69308091T2 (de) Mit mehreren metallschichten umhüllte diamantschleifmittel mit einer stromlos abgeschiedener metallschicht
DE68926914T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines oberflächenbeschichtetes zementiertes Karbides
DE3786869T2 (de) Oberflächenbeschichteter gesinterter Hartmetallegierungswerkstoff auf Wolframkarbid-Basis für Schneidwerkzeugeinsätze.
DE68917127T2 (de) Mehrfach metallbeschichtete hochabrasive verschleisspartikel.
DE10150413B4 (de) Diamantbeschichteter Körper, Verwendung des diamantbeschichtteten Körpers und Verfahren zu dessen Herstellung
DE60133705T3 (de) Werkzeug aus einem gesinterten Bornitrid Körper mit beschichteter Oberfläche
DE60026634T2 (de) Beschichteter Schneidwerkzeugeinsatz
DE69018220T2 (de) Verbindungswerkzeug.
DE3012199C2 (de) Sinterkörper aus Bornitrid mit einer Matrix aus MC↓x↓, MN↓x↓ und/oder M(CN)↓x↓ und Al und seine Verwendung
DE3874635T2 (de) Schneidwerkzeug.
DE3211047C2 (de)
DE69210874T2 (de) Ein diamantbeschichteter und/oder mit diamantartigem Kohlenstoff beschichteter Hartstoff
DE69731187T2 (de) Sintermaterial auf basis von hochdruckphasen-bornitrid
DE19980940B4 (de) Beschichtetes Hartmetall-Schneidwerkzeug
DE68913466T2 (de) Sputtertarget und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE3232869A1 (de) Diamantpressling fuer ein werkzeug und verfahren zu dessen herstellung
DE68921246T2 (de) Gesinterte, oberflächenveredelte Legierung mit und ohne Hartbeschichtung sowie Verfahren zur Herstellung der Legierung.
EP0330913B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Hartmetallkörpers und gesinterter Hartmetallkörper

Legal Events

Date Code Title Description
8363 Opposition against the patent
8366 Restricted maintained after opposition proceedings