DE68915944T2 - Verfahren zur Vorbereitung eines Films auf Polyimid-Basis mit Metallfolie. - Google Patents

Verfahren zur Vorbereitung eines Films auf Polyimid-Basis mit Metallfolie.

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Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein verbessertes Verfahren für die Vorbereitung eines Filmes auf Polyimid-Basis mit einer Metallfolie, oder insbesondere betrifft die Erfindung ein verbessertes Verfahren für die Vorbereitung eines Filmes auf Polyimid-Basis mit einer Metallfolie, der als Werkstoff für flexible gedruckte Leiterplatten brauchbar ist.
  • Wie gut bekannt, steigt die Nachfrage nach gedruckten Leiterplatten in der Elektronikindustrie in den letzten Jahren schnell, zusammen mit dem Trend zu einer mehr und mehr kompakten, leichtgewichtigen und dünnen Konstruktion verschiedener elektronischer Geräte und Komponenten mit hoher Leistung. Demgemäß befindet sich der Hauptstrom der gedruckten Leiterplatten unter einem kontinuierlichen Wechsel von bekannten starren Leiterplatten zu flexiblen Leiterplatten, die weiter und weiter werdende Anwendungsfälle finden, die gedruckte Leiterplatten in hohen Quantitäten verbrauchen. Angesichts der zunehmenden Tatsache, daß sehr große und komplizierte elektronische Schaltkreise mit extremer Feinheit auf einer einzelnen flexiblen Leiterplatte ausgebildet werden, ist es von großer Wichtigkeit, daß das Substrat einer flexiblen gedruckten Leiterplatte hohe Dimensionsstabilität aufweist.
  • Bekannte Ausgangswerkstoffe für gedruckte Leiterplatten werden vorbereitet durch Laminieren einer Metallfolie, wie beispielsweise einer Kupferfolie, auf einem flexiblen Film eines synthetischen Harzes, wie beispielsweise Polyimid. Obwohl vorteilhaft aufgrund des relativ hohen Wärmewiderstandes, haben Polyimidfilme ein Problem, daß sie ein relativ hohes Feuchtigkeits-Absorbtionsvermögen aufweisen und dehnbar sind durch die Absorbtion atmosphärischer Feuchtigkeit unter einem Zustand hoher Feuchtigkeit und daß sie schrumpfbar sind, wenn sie unter einen Zustand niedriger Feuchtigkeit verbracht werden. Zudem wird der Prozeß des Laminierens eines Polyimidfilms und einer Metallfolie gewöhnlich durch Aufbringen einer beträchtlichen Spannung auf den laufenden Harzfilm ausgeführt, um eine Streckdehnung davon unter Berührung mit einer heißen Walze für die Laminierung unter Verwendung eines Bindemittels hervorzurufen. Eine derartige Streckdehnung ist naturgemäß Gegenstand einer nachfolgenden Entspannung, um die Dimensionsstabilität der darauf gebildeten gedruckten Leiterplatte nachteilig zu beeinflussen, um ernsthafte Beeinträchtigungen in einer feingemusterten oder großflächig ausgebildeten komplizierten gedruckten Leiterplatte hervorzurufen, die unter Verwendung eines derartigen Substrats vorbereitet wurde.
  • Sogar schlechter noch variiert die oben erwähnte Dimensionsstabilität von Herstellungspartie zu Herstellungspartie, so daß sogar die sorgfältigste Prozeßsteuerung im Laminierungsprozeß nicht die Störungen in den flexiblen gedruckten Leiterplatten lösen kann, die aus dem Polyimidfilm mit der Kupferfolie vorbereitet wurde. Dieses Problem ist ein Hauptfaktor, der das Feld akzeptabler Produkte flexibler gedruckter Leiterplatten trotz deren Design unter Berücksichtigung der nachfolgenden Schrumpfung der Substrat-Polyimidfilme beeinflußt.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung besitzt demgemäß eine Aufgabe, ein Verfahren für die Vorbereitung eines Filmes auf Polyimid-Basis mit einer Metallfolie vorzusehen, der als ein Substrat für flexible gedruckte Leiterplatten brauchbar ist ohne die oben beschriebenen Probleme und Störungen, die durch die Dimensionsinstabilität der Polyimidfilme hervorgerufen werden.
  • Demgemäß sieht die vorliegende Erfindung ein Verfahren vor zur Vorbereitung eines Harzfilmes auf Polyimid-Basis mit einer Metallfolie durch haftendes Verbinden einer Metallfolie mit wenigstens einer Oberfläche eines Harzfilmes auf Polyimid-Basis mir einer dazwischen angeordneten Schicht eines aushärtbaren Bindemittels in einem kontinuierlichen Laminatherstellungsprozeß durch Hindurchführen des polyimidbasierten Harzfilmes und der Metallfolie zwischen zwei heißen Laminierwalzen, das die Schritte umfaßt des
  • (a) Vorbehandeln eines polyimidbasierten Harzfilmes durch eine Aussetzung einem Niedrig-Temperatur-Plasma eines anorganischen Gases oder durch eine Wärmebehandlung bei einer Temperatur im Bereich von 80 bis 200ºC in derartigem Ausmaß, daß die lineare thermische Schrumpfung des so behandelten Films nicht 0,05 % in jede der Längs- und Querrichtungen überschreitet, durch Erwärmen bei 150ºC für 30 Minuten;
  • (b) Steuern der Spannung auf den zwischen den Laminierwalzen hindurchtretenden Harzfilm, um nicht 300 g/mm² zu überschreiten; und
  • (c) Halten der Oberflächentemperatur wenigstens einer der Laminierwalzen, mit denen der Harzfilm in Kontakt gelangt, im Bereich von 60 bis 120ºC.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Wie oben beschrieben, umfaßt die durch die vorliegende Erfindung vorgesehene Verbesserung (a) die Vorbehandlung des polyimidbasierten Harzfilmes vor der Laminierung bis zu einem bestimmten Ausmaß, (b) Steuern der Spannung auf den Harzfilm in dem Laminierprozeß, um nicht eine spezifizierte obere Grenze zu überschreiten und (c) Steuern der Oberflächentemperatur der Laminierwalzen, mit denen der laufende Harzfilm in Berührung ist, in einem spezifizierten Bereich. Wenn ein durch den Laminierprozeß mit der oben erwähnten Verbesserung vorbereiteter Harzfilm mit einer Kupferfolie als ein Substrat einer flexiblen gedruckten Leiterplatte verwendet wird, leidet das Substrat nur geringfügig unter Schrumpfung in dem Herstellungsprozeß, der ein photolithographisches Bemustern einer Widerstandsschicht, eine Ätzbehandlung und eine Kontaktierung mit einer geschmolzenen Lötlegierung beinhaltet, so daß flexible gedruckte Leiterplatten von herausragend hoher Dimensionsstabilität hergestellt werden können mit einer im großen Ausmaß verbesserten Produktivität.
  • Der in der Vorbereitung eines Harzfilmes mit einer Kupferfolie verwendete Harzfilm auf Polyimid-Basis gemäß der erfinderischen Verbesserung ist nicht beschränkend und gewerbliche Produkte jeder Klasse können verwendet werden. Gewerbliche Produkte von Polyimidharzfilmen weisen üblicherweise eine Breite von 500 bis 1016 mm und eine Dicke von 12.5 bis 125 um auf und werden in einer gerollten Form erhalten. Polyimidharze werden vorbereitet durch die Polykondensationsreaktion und zur Feuchtigkeitabsorbtion geeignet, so daß gewerbliche Produkte von Polyimidharzfilmen im allgemeinen eine große Schrumpfung in den Dimensionen zeigen. Die derartige Dimensionsinstabilität von Polyimidharzfilmen variiert von Rolle zu Rolle. Zur Information sei mitgeteilt, daß Polyimidharzfilme mit drei unterschiedlichen Dicken von 12.5 um, 25.0 um und 50.0 um, die von verschiedenen Rollen, wie sie gekauft wurden, entnommen wurden, der Messung der Wärmeschrumpfung ausgesetzt wurden durch Erhitzen bei 150ºC für 30 Minuten in den Längs- und Querrichtungen und die erhaltenen Werte mit fünf Probestücken gemittelt wurden, um jeweils 0.108 % für die 12.5 um dicken Filme, jeweils 0.102 % für die 25.0 um dicken Filme und 0.082 % in der Längsrichtung und 0.110 % in der Querrichtung für die 50 um dicken Filme zu ergeben. Daher unterliegen aus derartigen gewerblichen Produkten von Polyimidharzfilmen vorbereitete Substratlaminate als solche unvermeidbar einer ungünstig grossen thermischen Schrumpfung und deren Variation.
  • Dieses Problem kann gelöst werden gemäß der erfinderischen Verbesserung durch Minimieren der thermischen Schrumpfung der Polyimidharzfilme mit stabilisiertem und konditioniertem Schrumpfungsverhalten. Es wird nämlich der polyimidbasierte Harzfilm einer Vorbehandlung ausgesetzt vor der Laminierung mit einer Metallfolie, durch Aussetzen der Oberfläche an einer Atmosphäre aus Niedrig-Temperatur-Plasma oder durch eine Wärmebehandlung bei einer Temperatur im Bereich von 80 bis 200ºC für eine Zeitlänge im Bereich von 10 Minuten, wenn die Temperatur ausreichend hoch ist, bis 48 Stunden, wenn die Temperatur niedrig ist, in einem derartigen Ausmaß, daß der sich ergebende Harzfilm eine thermische Schrumpfung zeigt, die nicht 0.05 % in jeder der Längs- und Querrichtungen überschreitet, durch eine Wärmebehandlung bei 150ºC für 30 Minuten gemäß des Verfahrens, das in IPCF C211 spezifiziert ist. Es ist vorzuziehen, daß sowohl die Plasmabehandlung als auch die Wärmebehandlung unternommen werden, wobei jeweils eine Behandlung der anderen vorausgeht.
  • Das Verfahren für die Oberflächenbehandlung eines Harzfilmes durch ein Niedrig-Temperatur-Plasma per se ist gut bekannt. Es wird nämlich der Harzfilm kontinuierlich in eine Plasmabehandlungskammer eingeführt und durch sie hindurchgeführt, während die Atmosphäre innerhalb der Kammer unter einem reduzierten Druck von 0.001 bis 10 Torr, oder vorzugsweise, 0.01 bis 1 Torr mit einem anorganischen Gas gehalten wird. Niedrig- Temperatur-Plasma wird innerhalb der Plasmabehandlungskammer erzeugt durch Anlegen einer Gleich- oder Wechselspannung von etwa 0.1 bis 10 kV zwischen den Elektroden, die entweder innerhalb oder außerhalb der Kammer angeordnet sein können, um durch die Niedrigdruckatmosphäre des anorganischen Gases eine Glimmentladung zu bewirken. Die Zeitlänge, während der die Oberfläche des Harzes dem Niedrig-Temperatur-Plasma ausgesetzt ist, ist gewöhnlich im Bereich von 0.1 Sekunden bis etwa 100 Sekunden. Beispiele geeigneter anorganischer Gase beinhalten Edelgase, wie beispielsweise Argon, Sauerstoff, Stickoxid, Kohlenmonoxid, Luft und dergleichen.
  • Die Wärmebehandlung des Harzfilmes, die alternativ zu oder in Verbindung mit der oben erwähnten Plasmabehandlung ist, wird bei einer Temperatur im Bereich von 80 bis 200ºC ausgeführt unter Verwendung eines Heißluftumluftofens, Infrarotheizers und dergleichen. Durch das Unternehmen einer oder beider dieser Vorbehandlungsverfahren bis zum oben erwähnten Ausmaß, wird der Polyimidharzfilm getrocknet und befreit von möglicherweise im Film existierender innerer Spannung.
  • Der Polyimidharzfilm wird dann, nach der oben beschriebenen Vorbehandlung zur Konditionierung mit einer Folie eines Metalls, wie beispielsweise Kupfer auf wenigstens einer Oberfläche mit einer dazwischen angeordneten Schicht eines aushärtbaren Bindemittels auf einer Laminiermaschine laminiert. Das Verfahren des Maschinenlaminierens ist gut bekannt. Es wird nämlich der aus der Plasmabehandlungskammer oder dem Ofen für die Wärmebehandlung herauskommende laufende Harzfilm kontinuierlich beschichtet mit einem Bindemittel auf einer oder beiden Oberflächen unter Verwendung einer geeigneten Beschichtungsmaschine, wie beispielsweise einem Rollenbeschichter und dergleichen, gefolgt von Erhitzen auf einem in Reihe angeordneten Trockner, um das Lösungsmittel zu verdampfen, wenn das Bindemittel ein Lösungsmittel enthält, oder um in einen halbgetrockneten Zustand verbracht zu werden. Danach wird der bindemittelbehaftete Harzfilm unter einer Spannung zusammen mit einer Metallfolie in Kontakt mit der bindemittelbeschichteten Oberfläche des Harzfilms in Laminierwalzen eingeführt, die an einer erhöhten Temperatur gehalten werden, um Aushärten des aushärtbaren Bindemittels und eine haftende Verbindung der Metallfolie und des Harzfilms durch Drücken zwischen den Walzen mit der dazwischen angeordneten Bindemittelschicht zu bewirken.
  • Es ist wesentlich bei der Ausführung des oben beschriebenen Laminierverfahrens gemäß der Erfindung, daß einerseits die auf den laufenden Harzfilm durch die Laminierwalzen aufgebrachte Spannung nicht 300g/mm² überschreitet, um die Streckdehnung des Harzfilmes nach der Konditionierung durch die oben beschriebene Vorbehandlung zu minimieren. Es ist auch wesentlich, daß, andererseits die Oberflächentemperatur wenigstens einer der Laminierwalzen, mit denen der laufende Harzfilm in Berührung gelangt, auf einer relativ niedrigen Temperatur im Bereich von 60 bis 120ºC gehalten wird. Diese Bedingung der niedrigen Laminiertemperatur ist ein weiterer Faktor, um die Streckdehnung des einmal konditionierten Harzfilmes im Laminierprozeß zu minimieren, so daß der Harzfilm mit Metallfolie als das Produkt absolut frei ist von durch ein Schrumpfen des Harzfilms ausgebildeter Falten, um eine exzellente Dimensionsstabilität und Erscheinungsform aufzuweisen. Wenn die Spannung auf dem Harzfilm beim Laminieren zu groß ist, wird eine übermäßige Verlängerung im Harzfilm hervorgerufen, bevor der Film die Laminierwalzen erreicht, so daß der sich ergebende Harzfilm mit Metallfolie eine große Schrumpfung im Prozeß der Vorbereitung einer gedruckten Leiterplatte unter Verwendung des Films mit Metallfolie als das Substratmaterial zeigt, insbesondere, wenn der Harzfilm eine relativ kleine Dicke von beispielsweise 12.5 um oder 25.0 um aufweist. Wenn die Oberflächentemperatur der Laminierwalzen zu hoch ist, wird der Harzfilm beim Laminieren einem vergrößerten thermischen Schrumpfen ausgesetzt, so daß Falten in der Metallfolie ausgebildet werden könnten nach dem Laminieren. Wenn die Oberflächentemperatur der Laminierwalzen zu niedrig ist, würde andererseits dem halb ausgehärteten aushärtbaren Bindemittel nur eine unzureichende Fließfähigkeit und Haftfähigkeit vermittelt, so daß die Haftbindungsfestigkeit zwischen der Metallfolie und dem Harzfilm nicht hoch genug sein könnte, um einem Abblättern zu widerstehen. Der derartige Harzfilm mit Metallfolie wird dann in wünschenswerter Weise einer Wärmebehandlung, zum Beispiel in einem Ofen bei einer Temperatur von 80 bis 200ºC für eine Stunde bis mehreren zehn Stunden unterzogen, um ein vollständiges Aushärten des aushärtbaren Bindemittels zu bewirken.
  • Das zur haftenden Verbindung einer Metallfolie und eines Polyimidharzfilmes verwendete aushärtbare Bindemittel muß eine hohe Haftbindungsfestigkeit zeigen, um einem Abblättern zu widerstehen und eine hohe Temperaturwiderstandfähigkeit, um den beim Herstellungsverfahren von flexiblen gedruckten Leiterplatten mit dem Harzfilm mit Metallfolie als dem Substratwerkstoff angetroffenen erhöhten Temperaturen zu widerstehen, wie beispielsweise der Temperatur eines Bades geschmolzener Lötlegierungen. Beispiele geeigneter aushärtbarer Bindemittel schließen solche basierend auf einem Epoxidharz, NBR-phenolbasierten Harz, Phenol-Polyvinyl Buty-ralharz, Epoxy-NBR-Harz, Epoxy-modifiziertes Phenolharz, Epoxy-modifiziertes Nylonharz, Epoxy-modifiziertes Polyesterharz, Epoxy-modifiziertes oder unmodifiziertes Acrylharz, Polyamid-Epoxy-Phenolharz, Polyimidharz oder Silikonharz ein. Die auf der Oberfläche des Harzfilmes gebildete Bindemittelschicht sollte eine Dicke von vorzugsweise im Bereich von 5 bis 30 um aufweisen.
  • Verschiedene Arten von Metallfolien können zur Laminierung mit dem Polyimidharzfilm verwendet werden, um ein Substratmaterial für flexible gedruckte Leiterplatten zu ergeben, einschließlich Kupferfolien, Aluminiumfolien, Stahlfolien, Nickelfolien und dergleichen, von denen gerollte oder elektrolytische Kupferfolien eine Dicke von 18 bis 70 um gewöhnlich verwendet werden bei der Vorbereitung eines Harzfilmes mit Metallfolie für flexible gedruckte Leiterplatten.
  • Im folgenden werden Beispiele gegeben, um die Verbesserung der Erfindung detaillierter darzustellen, aber nicht die Erfindung in irgendeiner Art und Weise zu beschränken.
  • Beispiele 1 bis 5.
  • In jedem der Beispiele mit Ausnahme von Beispiel 2 wurde ein Polyimidharzfilm mit einer Breite von 508 mm und einer Dicke von 12.5 um (Kapton, ein Warenzeichen, hergestellt durch Toray Du Pont Co.) auf einer Rolle einer kontinuierlichen Niedrig- Temperatur-Plasma-Behandlung ausgesetzt. Die Atmosphäre innerhalb der Plasmabehandlungskammer wurde unter einem Druck von 0.1 Torr gehalten durch das Gleichgewicht einer kontinuierlichen Evakuierung und Einführung von Sauerstoffgas mit einer Rate von 1.0 Liter pro Minute. Niedrig-Temperatur-Plasma wurde innerhalb der Plasmabehandlungskammer erzeugt durch Anlegen einer hochfrequenten elektrischen Leistung von 30 KW bei einer Spannung von 2 kV und einer Frequenz von 110 kHz an einem Satz von vier Elektroden, die in einer diagonalen Anordnung angeordnet waren. Der Harzfilm wurde übertragen mit einer Geschwindigkeit von 50 m pro Minute entlang einer Bahn, welche die Anordnung der Elektroden umgab unter Aufrechterhaltung eines Abstands von 40 mm von der Oberfläche jeder Elektrode.
  • Bei den Beispielen mit Ausnahme von Beispiel 1 wurde der Polyimidharzfilm von 500 Meter Länge auf einer Rolle einer Wärmebehandlung ausgesetzt entweder vor der Plasmabehandlung (Beispiel 2) oder der Plasmabehandlung folgend (Beispiele 3 bis 5) für 12 Stunden bei einer Temperatur, die in Tabelle 1 untenstehend angedeutet ist. Die so plasma- und/oder wärmebehandelten Harzfilme wurden jeweils einem Test der thermischen Schrumpfung durch Erwärmen bei 150ºC für 30 Minuten in einem Ofen ausgesetzt, um die in Tabelle 1 gezeigten Ergebnisse zu erbringen, bei denen die (-) (minus) Zeichen für die thermische Schrumpfung der Filme stehen und die (+) (plus) Zeichen für die thermische Längung der Filme stehen.
  • Die so plasma- und/oder wärmebehandelten Harzfilme wurden jeweils auf einer Oberfläche an einem Walzenbeschichter mit einem Epoxy-modifizierten Phenolbindemittel in einer Beschichtungsdicke von 18 um nach Verdampfen des Lösungsmittels durch Durchtreten durch einen in Reihe angeordneten Trockner beschichtet, um in einen halb ausgehärteten Zustand verbracht zu werden und dann mit einer elektrolytischen Kupferfolie mit einer Dicke von 35 um, die auf die bindemittelbeschichtete Oberfläche des Harzfilmes in einer Laminiermaschine durch Durchtreten zwischen zwei Laminierwalzen aufgebracht wurde, um einen Liniendruck von 20 kg/Meter bei einer Liniengeschwindigkeit von 3 Meter/Minute zu ergeben. Tabelle 1 zeigt die Spannung in kg auf dem Harzfilm beim Laminieren und die Oberflächentemperatur in ºC der Laminierwalzen, mit denen der laufende Harzfilm in Kontakt verbracht wurde. Der aus der Laminiermaschine herauskommende Harzfilm mit Kupferfolie wurde in einer Rolle aufgespult und einer Nachbehandlung durch Erwärmen in einem Ofen zuerst bei 80ºC für 3 Stunden und dann bei 160ºC für 5 Stunden unterworfen, um das Bindemittel vollständig zu härten, gefolgt von einem Kühlen auf Raumtemperatur. Die Harzfilme mit Kupferfolie wurden einer Auswerteprüfung gemäß den unten beschriebenen Vefahren unterzogen, um die in Tabelle 1 gezeigten Ergebnisse zu erbringen.
  • Messung der thermischen Schrumpfung eines Polyimidharzfilmes
  • Die Messung der thermischen Schrumpfung des vorbehandelten Polyimidharzfilmes wurde ausgeführt entsprechend des in IPCF C241 spezifizierten Verfahrens durch Erwärmen bei 150ºC für 30 Minuten.
  • Messung der thermischen Schrumpfung des Kupferfolienlaminats
  • Der Harzfilm wurde nach Entfernen der Kupferfolie durch Ätzen einer Messung der thermischen Schrumpfung durch Erwärmen bei 150ºC für 30 Minuten gemäß des in IPCF C241 spezifizierten Verfahrens ausgesetzt.
  • Erscheinung des Harzfilmes mit Kupferfolie
  • Die Ergebnisse der visuellen Überprüfung des Erscheinungsbildes wurden in drei Bewertungen von A, B und C relativ zum Erscheinen von Falten in der Kupferfolie und Kräuselungen registriert, wobei die Bewertung A der absoluten Abwesenheit von Falten und Kräuselungen entspricht.
  • Haftverbindungsfestigkeit der Kupferfolie gegen Abblättern
  • Die Messung wurde ausgeführt entsprechend des in JIS C 6481 spezifizierten Verfahrens.
  • Wärmewiderstand gegen geschmolzene Lötlegierung
  • Die Messung wurde ausgeführt gemäß des in JIS C 6481 spezifizierten Verfahrens.
  • Vergleichsbeispiele 1 bis 4.
  • Die experimentellen Bedingungen waren in etwa die gleichen wie bei den Beispielen 1 bis 5 mit Ausnahme des Weglassens sowohl der Plasmebehandlung als auch der Wärmebehandlung für die Vorbehandlung des Harzfilm oder die Modifikation von einigen der Bedingungen bei der Vorbehandlung und/oder dem Laminierungsverfahren, wie in Tabelle 2 untenstehend gezeigt, die auch die Ergebnisse der Auswertetests der Produkte zeigt.
  • Beispiele 6 bis 11.
  • Die experimentellen Bedingungen waren in etwa die gleichen wie bei den Beispielen 1 bis 5 mit der Ausnahme, daß der Polyimidharzfilm eine Dicke von 25 um aufwies und die Bedingungen der Vorbehandlung und/oder des Laminierungsverfahrens modifiziert wurden, wie in Tabelle 3 untenstehend gezeigt, die auch die Ergebnisse der Auswertetests der Produkte zeigt. Bei den Beispielen 10 und 11 wurde der Polyimidharzfilm in Sandwich- Anordnung mit zwei Kupferfolien angeordnet, um einen Harzfilm mit doppelseitigen Kupferfolien zu ergeben.
  • Vergleichsbeispiele 5 bis 9.
  • Die experimentellen Bedingungen waren in etwa die gleichen wie bei den Beispielen 6 bis 11 mit Ausnahme des Weglassens sowohl der Plasmabehandlung als auch der Wärmebehandlung für die Vorbehandlung des Harzfilms oder die Modifikation einiger der Bedingungen bei der Vorbehandlung und/oder des Laminierungsverfahrens, wie in Tabelle 4 untenstehend gezeigt, die auch die Ergebnisse der Auswertetests der Produkte zeigt. Beim Vergleichsbeispiel 9 wurde der Polyimidharzfilm in Sandwich- Anordnung mit zwei Kupferfolien angeordnet, um einen Harzfilm mit doppelseitiger Kupferfolie zu ergeben. Tabelle 1 Beispiel Nr. Vorbehandlung Plasmabehandlung Temperatur ºC der Wärmebehandlung Schrumpfung des Films, % x 10&supmin;² Längsrichtung Querrichtung Laminierung Spannung, kg Temperatur der Walze, ºC Kupferfolienlaminat Ablösewiderstand kg/cm Längsrichtung Schrumpfung des Laminats, % x 10&supmin;² Längsrichtung Querrichtung Erscheinungsbild des Laminats Falten Kräuselung Tabelle 2 Vergleichsbeispiel Nr. Vorbehandlung Plasmabehandlung Temperatur ºC der Wärmebehandlung Schrumpfung des Films, % x 10&supmin;² Längsrichtung Querrichtung Laminierung Spannung, kg Temperatur der Walze, ºC Kupferfolienlaminat Ablösewiderstand kg/cm Schrumpfung des Laminats, % x 10&supmin;² Erscheinungsbild des Laminats Falten Kräuselung Tabelle 3 Beispiel Nr. Vorbehandlung Temperatur ºC der Wärmebehandlung Schrumpfung des Films, % x 10&supmin;² Längsrichtung Querrichtung Laminierung Spannung, kg Temperatur der Walze,ºC Kupferfolienlaminat Ablösewiderstand kg/cm Schrumpfung des Laminats, % x 10&supmin;² Erscheinungsbild des Laminats Falten Kräuselung Tabelle 4 Vergleichsbeispiel Nr. Vorbehandlung Plasmabehandlung Temperatur ºC der Wärmebehandlung Schrumpfung des Films, % x 10&supmin;² Längsrichtung Querrichtung Laminierung Spannung, kg Temperatur der Walze, ºC Kupferfolienlaminat Ablösewiderstand kg/cm Schrumpfung des Laminats, % x 10&supmin;² Erscheinungsbild des Laminats Falten Kräuselung

Claims (2)

1. Verfahren zur Vorbereitung eines Harzfilmes auf Polyimidbasis mit einer Metallfolie durch haftendes Verbinden einer Metallfolie mit wenigstens einer Oberfläche eines Harzfilmes auf Polyimidbasis mit einer dazwischen angeordneten Schicht eines aushärtbaren Bindemittels in einem kontinuierlichen Laminatherstellungsprozess durch Hindurchführen des polyimidbasierten Harzfilmes und der Metallfolie zwischen zwei heißen Laminierwalzen, das die Schritte umfaßt des:
(a) Vorbehandeln des polyimidbasierten Harzfilmes durch eine Aussetzung einem Niedrig-Temperatur-Plasma eines anorganischen Gases oder durch eine Wärmebehandlung bei einer Temperatur im Bereich von 80 bis 200ºC in derartigem Ausmaß, daß die lineare thermische Schrumpfung des so behandelten Filmes nicht 0,05 % in jede der Längs- und Querrichtung überschreitet, durch Erwärmen bei 150ºC für 30 Minuten;
(b) Steuern der Spannung auf den zwischen den Laminierwalzen hindurchtretenden Harzfilm, um nicht 300 g/mm² zu überschreiten; und
(c) Halten der Oberflächentemperatur wenigstens einer der Laminierwalzen, mit denen der Harzfilm in Kontakt gelangt, im Bereich von 60 bis 120ºC.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei bei der Vorbehandlung des polyimidbasierten Harzfilmes in (a) der Plasmabehandlung die Wärmebehandlung folgt.
DE1989615944 1988-11-15 1989-11-14 Verfahren zur Vorbereitung eines Films auf Polyimid-Basis mit Metallfolie. Expired - Fee Related DE68915944T2 (de)

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