DE68904532T2 - Glasbeschichtungsvorrichtung. - Google Patents

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachglas durch Richten eines Reaktionsgases gegen die Glasoberfläche, wobei die Vorrichtung einen Gasströmungsbegrenzer einschließt.
• EP-A-0060627 offenbart eine Vorrichtung zur Regulierung der Substrattemperatur bei einem kontinuierlichen Plasmaabscheideverfahren, bei welchem eine Kathode der Plasmaabscheidevorrichtung als eine Leitung für die Strömung von Reaktionsgas zur Plasmaregion wirkt und Prallwände zur Erzielung einer verbesserten Gleichförmigkeit der Gasströmung einschließt.
• Es ist bekannt, daß Beschichtungen mit wünschenswerten Eigenschaften für Bauzwecke unter Verwendung gasförmiger Reaktionsmittel hergestellt werden können, die sich auf der heißen Glasoberfläche abscheiden. So wurden Siliziumbeschichtungen, die als Solarsteuerbeschichtungen nützlich sind, durch Pyrolisierung eines Silan enthaltenden Gases auf einer heißen Glasoberfläche hergestellt, und es wurden zahlreiche Vorschläge gemacht, andere Beschichtungen aus anderen passenden gasförmigen Reaktionsmitteln zur Solarkontrolle und mit niederer Emissionsfähigkeit (hoher Infrarotreflektion) herzustellen. Unglücklicherweise erwies es sich in der gewerblichen Praxis als schwierig, ausreichend gleichförmige Beschichtungen der geforderten Dicke zu erzielen.
• Die UK-Patentschrift 1507996 offenbart eine Vorrichtung zur Beschichtung von Flachglas, bei welcher sich ein Gasverteiler quer über die Breite der zu beschichtenden Glasoberfläche hinweg erstreckt. Der Gasverteiler schließt ein Mittel zum Freigeben eines Gases aus einer Gasspeiseleitung in einen Führungskanal gleichförmig über die Breite des Kanals hinweg ein, wobei sich der Kanal im Betrieb quer über die Breite des zu beschichtenden Glases erstreckt. Der Führungskanal ist so gestaltet, daß er das Gas veranlaßt, im wesentlichen parallel zu der zu beschichtenden Glasoberfläche unter laminaren Strömungsbedingungen zu fließen. Das Freigabemittel umfaßt einen Gasströmungsbegrenzer, der aus einer Anordnung von Kanälen mit kleiner Querschnittsfläche zwischen der Speiseleitung und dem Führungskanal besteht. Das Muster der Kanäle wird von einer Waffelplatte gebildet, die eine Mehrzahl gekräuselter Metallstreifen umfaßt, die, wie in Fig. 3 der Beschreibung dargestellt, "außer Phase" angeordnet sind.
• Die internationale Patentschrift wo 85/01522 offenbart eine Vorrichtung zur Beschichtung eines Bandes aus vorlaufendem Glas, bei welcher ein Beschichtungsgas ein Kastengehäuse und eine Reihe von abwechselnden konvergierenden und divergierenden Durchgängen durchfließt. Das Gas tritt aus dem Kasten auf das Glas in einer gleichförmigen laminaren Strömung konstanter Geschwindigkeit quer über die Breite des Glases aus.
• Obwohl im Zusammenhang mit diesen beiden bekannten Vorschlägen festgestellt wird, daß sich gleichförmige Beschichtungen auf der Glasunterlage erzielen lassen, haben die Anmelder nichtsdestoweniger gefunden, daß diese Vorschläge in der Praxis auf technische Probleme stoßen, welche die Gleichförmigkeit der Gasströmung über das Glas hinweg und daher die Gleichförmigkeit der Beschichtungen reduzieren können. Insbesondere neigen die Waffelplatten der UK-Patentschrift 1 507 996 zu einer Blockierung, die auf Verunreinigungen in dem System zurückgeht. Auch müssen in bestimmten Anwendungsfällen die gasförmigen Reaktanten die Waffelplatte bei hohen Temperaturen, beispielsweise 300 bis 400º passieren und bei derartigen Temperaturen können sich die Metallstreifen leicht verziehen oder aus ihrer Position heraus gleiten. Diese Phänomene können die Gleichförmigkeit der Gasströmung reduzieren. Bei der Vorrichtung nach der internationalen Patentschrift WO85/01522 bestimmt eine Mehrzahl von Wandgliedern die konvergierenden und divergierenden Durchlässe. Jedes dieser Wandglieder hat ein Ende, das an einer äußeren Wand der Vorrichtung befestigt ist und ein freies Ende, welches im kleinen Abstand von der gegenüberliegenden Außenwand angeordnet ist und dazwischen einen engen Schlitz bestimmt. Bei hohen Temperaturen können sich die Wandglieder verformen und hierdurch die Größe des engen Schlitzes verändern. Dies kann die Gleichförmigkeit der Gasströmung beeinflussen. Daneben kann es schwierig sein, diese Vorrichtung mit dem erforderlichen Standard an Genauigkeit herzustellen.
• Die vorliegende Erfindung zielt darauf ab, die Nachteile der oben beschriebenen, älteren Vorschläge zu überwinden.
• Dementsprechend vermittelt die Erfindung eine Vorrichtung zum Beschichten von Flachglas durch Richten eines Reaktionsgases über die Glasoberfläche, wobei die Vorrichtung einschließt: einen Gasströmungsbegrenzer mit einer Kammer, die befähigt ist, einen Vorrat an Reaktionsgas aufzunehmen und einen Strom des Reaktionsgases über das zu beschichtende Flachglas abzugeben, eine Reihe von wenigstens zwei Begrenzungen, von denen jede Begrenzung ein Plattenglied umfaßt, das sich quer über die Kammer erstreckt und eine Mehrzahl von durchgehenden Öffnungen aufweist, und einen Gasströmungsablenker am Auslaß des Begrenzers.
• Die Öffnungen jedes Plattengliedes können gleichförmig verteilt sein.
• Vorteilhafterweise sind die Öffnungen benachbarter Plattenglieder miteinander außer Flucht.
• Vorzugsweise sind die Öffnungen in jedem Plattenglied in einer Reihe angeordnet.
• Die Öffnungen können kreisrunde Löcher sein. Vorzugsweise haben die Löcher einen Durchmesser von 2 bis 10 mm, insbesondere 2 bis 5 mm. Zum Zwecke einer stabilen Gasströmung ist es vorzuziehen, daß jedes Plattenglied eine Dicke hat, die wenigstens das Doppelte des Durchmessers der Löcher in diesem Plattenglied ist.
• Die Gestalt, die Abmessungen und relativen Positionen der Öffnungen können bei verschiedenen Plattengliedern variieren.
• Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist ein erstes Plattenglied in der Nähe eines Einlasses für den Begrenzer und ein zweites Plattenglied in der Nähe eines Auslasses für den Begrenzer gelegen. Vorzugsweise liegen die Öffnungen in dem dem Auslaß für den Begrenzer am nächsten gelegenen Plattenglied in engeren Abständen als in den dem Einlaß für den Begrenzer am nächsten gelegenen Plattenglied.
• Der Gasströmungsablenker kann ein Ablenkglied umfassen, das in der Nähe der Öffnungen des zweiten Plattengliedes angeordnet ist.
• Zwischen den ersten und zweiten Plattengliedern kann ein drittes Plattenglied zusätzlich vorgesehen werden.
• Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nunmehr lediglich als Beispiel mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen:
• Fig. 1 eine vertikale Schnittansicht durch einen Gasströmungsbegrenzer ist, der in eine Vorrichtung zur Beschichtung von Flachglas gemäß der Erfindung eingeschlossen ist; und
• Fig. 2 eine Draufsicht eines Teiles eines langgestreckten Plattengliedes des Gasströmungsbegrenzers aus Fig. 1 ist.
• Mit Bezug auf Fig. 1 ist ein Gasströmungsbegrenzer, der allgemein mit 2 bezeichnet ist, über einem vertikalen Kanal 4 angeordnet, der zwischen zwei Blöcken 6, 8 aus Graphit ausgebildet ist, die ihrerseits quer über einem (nicht dargestellten) Band aus Glas aufgehängt sind, welches sich von links nach rechts bewegt. Der vertikale Kanal 4 erstreckt sich quer über das zu beschichtende Band aus Glas. Der Gasströmungsbegrenzer 2 bildet einen Teil eines Gasverteilers, der von einer ähnlichen Anordnung sein kann, wie in der UK-Patentschrift 1507996 dargestellt ist, deren Offenbarung hierin unter Bezugnahme eingeschlossen wird. Ein Auslaß 10 des Gasströmungsbegrenzers 2 ist mit dem vertikalen Kanal 4 ausgerichtet. Ein Einlaß 12 des Gasströmungsbegrenzers 2 ist bei der dargestellten Ausführungsform mit einem Verteiler 14 in Form eines fächerförmigen Joches verbunden. Der fächerförmige Verteiler 14 hat eine vordere (oder mit Bezug auf die Richtung des Glasvorschubes stromaufwärts gelegene) Wand 16 und eine hintere (oder mit Bezug auf die Richtung des Glasvorschubs stromabwärts gelegene) Wand 18, die jeweils die Gestalt eines umgekehrten Fächers haben. Die vorderen und hinteren Wände 16, 18 konvergieren in Richtung aufeinander zu, wenn die Breite des fächerförmigen Joches in Richtung nach unten zunimmt.
• Der Gasströmungsbegrenzer 2 umfaßt Paare einander gegenüberliegender, langgestreckter Wände 20, 22 und 21, 23, die eine langgestreckte Kammer 24 bestimmen. Die langgestreckten Wände 20, 22 und 21, 23 verlaufen quer über das zu beschichtende Glasband hinweg, wobei die Wände 20 und 21 stromaufwärts gelegene Wände und die Wände 21 und 23 stromabwärts gelegene Wände sind. Einander gegenüberliegende Stirnwände 26 sind an jeder Stirnseite der langgestreckten Kammer 24 vorgesehen, wobei jede Stirnwand 26 parallel zur Vorschubrichtung des Glasbandes angeordnet ist. Am Einlaß 12 des Gasströmungsbegrenzers 2 ist eine Einlaßbegrenzung 27 angeordnet, die ein langgestrecktes Einlaßplattenglied 28 umfaßt, welches sich quer über die Kammer 24 erstreckt. Das Einlaßplattenglied 28 ist abgedichtet zwischen einander gegenüberliegenden Paaren horizontaler Platten 30, 32 befestigt, wobei jedes Paar der Platten 30, 32, z.B. durch Verschweißung, mit einer jeweiligen langgestreckten Wand 20, 22 und dem fächerförmigen Verteiler 14 verbunden ist. Die Platten jedes Paares 30, 32 sind durch Schraubverbinder 34 fest miteinander verbunden. (Nicht dargestellte) Dichtungen sind zwischen jedem Paar der Platten 30, 32 und dem Einlaßplattenglied 28 angeordnet.
• Fig. 2 zeigt das Einlaßplattenglied 28 im einzelnen. Eine Reihe von Öffnungen 36, die entlang der Längsrichtung des Einlaßplattengliedes 28 verläuft ist durchgehend durch das Plattenglied 28 vorgesehen, wobei die Öffnungen 36 den Einlaß 12 mit dem Rest der Kammer 24 verbinden. Die Öffnungen 36 sind kreisförmige Löcher. Die Löcher haben vorzugsweise einen Durchmesser von 2 bis 10 mm. Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform haben die Löcher 36 einen Durchmesser von 4 mm und ihre Mittelpunkte sind jeweils 20 mm voneinander entfernt. Die Reihe der Löcher 36 ist an einer stromaufwärts gelegenen Seite der langgestreckten Kammer 24 gelegen, d.h. die Reihe der Löcher 36 liegt näher bei der stromaufwärts gelegenen Wand 22 als bei der stromabwärts gelegenen Wand der Kammer 24.
• In der Nähe des Auslasses 10 des Gasströmungsbegrenzers 2 ist eine Auslaßbegrenzung 38 angeordnet. Die Auslaßbegrenzung 38 ist im wesentlichen von derselben Konstruktion wie die Einlaßbegrenzung 27, indem sie ebenfalls ein langgestrecktes Auslaßplattenglied 40 umfaßt, welches abgedichtet zwischen zwei einander gegenüberliegenden Paaren von Platten 42, 44 angeordnet ist, wobei die obere Platte jedes dieser Paare von Platten 42, 44 beispielsweise durch Verschweißung mit einer betreffenden Längswand 21, 23 verbunden ist. Die Platten 42, 44 sind von dem Auslaßplattenglied 40 durch (nicht dargestellte Dichtungen) getrennt. Die Platten 42, 44 sind durch Schraubverbinder 46 fest miteinander verbunden, die auch die Platten 42, 44 und hierdurch den Gasströmungsbegrenzer 2 fest an einer Platte 48 halten, die an den Oberseiten der Graphitblöcke 6, 8 befestigt ist. Das Auslaßplattenglied 40 ist mit einer Reihe von Löchern 52 mit einem Durchmesser von 4 mm versehen, deren Mittelpunkte jeweils 10 mm voneinander entfernt sind. Die Reihe der Löcher 42 ist an der stromaufwärts gelegenen Seite der langgestreckten Kammer 24 angeordnet.
• Ein Gasströmungsablenker 54 ist am Auslaß 10 des Gasströmungsbegrenzers unter dem Auslaßplattenglied 40 angeordnet. Der Gasströmungsablenker 54 umfaßt ein langgestrecktes L-förmiges Glied 56, das mit dem unteren des Paares der Platten 42 einstückig und in der Nähe der Löcher 52 angeordnet ist. Der freie Arm 58 des L-förmigen Gliedes 56 erstreckt sich nach oben zum Auslaßplattenglied 40 hin und bestimmt dazwischen einen Spalt 60, durch den das Reaktionsgas aus den Löchern 52 passieren muß, nachdem es von dem horizontalen Arm 62 des L-förmigen Gliedes 56 abgelenkt wurde.
• Der Zweck des Gasströmungsablenkers 54 besteht darin, bestimmte lokalisierte Erhöhungen der Gasströmung, welche auftreten können, zu beseitigen. So besteht eine Tendenz der Gasströmung in der unmittelbaren Nachbarschaft jedes der Löcher 52 in dem Auslaßplattenglied 40 an der stromabwärts gelegenen Seite des Plattengliedes 40 intensiver zu sein. Die Anwesenheit des Gasströmungsablenkers 44 gleicht diese lokalisierten, gesteigerten Intensitäten der Strömung aus.
• Eine Zwischenbegrenzung 64 ist zwischen den Einlaß- und Auslaßbegrenzungen 27, 38 angeordnet. Die Zwischenbegrenzung 64 hat den gleichen Aufbau wie die Einlaßbegrenzung 27 und umfaßt ein langgestrecktes Zwischenplattenglied 26 mit einer Reihe von Löchern 68. Das Zwischenplattenglied 26 ist abgedichtet zwischen einander gegenüberliegenden Paaren horizontaler Platten 70, 72 befestigt, die beispielsweise durch Verschweißung an den langgestreckten Wänden 20, 21 bzw. 22, 23 befestigt sind. (Nicht dargestellte) Dichtungen sind zwischen den Platten 70, 72 und dem Zwischenplattenglied 66 angeordnet, und die Platten 70, 72 sind durch Schraubverbinder 74 fest zusammengehalten. Die Reihe der Löcher 68 des Zwischenplattengliedes 66 ist im Gegensatz zu den Einlaß- und Auslaßplattengliedern 28, 40 an einer stromabwärts gelegenen Seite der langen Kammer 24 angeordnet, d.h. die Reihe der Löcher 68 liegt näher bei den stromabwärts gelegenen Wänden 22, 23 als bei den stromaufwärts gelegenen Wänden 20, 21 der Kammer 24. Diese Anordnung führt dazu, daß die Reihen der Löcher benachbarter langgestreckter Plattenglieder relativ zueinander nicht in einer Linie liegen. Bei einer bevorzugten Ausführungsform, bei der die Löcher in den Plattengliedern einen Durchmesser von 4 mm haben, haben die Plattenglieder jeweils eine Dicke von 10 mm.
• Nachstehend wird die Betriebsweise des Gasströmungsbegrenzers 2 beschrieben.
• Der Gasströmungsbegrenzer 2 bildet einen Teil einer Beschichtungsvorrichtung, die quer über einem vorrückenden Band aus Glas aufgehängt ist. Die Beschichtungsvorrichtung kann einen oder mehrere der vertikalen Kanäle 4 aufweisen sowie eine entsprechende Anzahl von Gasströmungsbegrenzern 2, jenachdem, ob eines oder mehrere Reaktionsgase separat in eine Beschichtungskammer über dem Glasband eingführt werden sollen. Der oder jeder vertikale Kanal liegt oberhalb dem Band aus Glas, und wenn mehr als ein vertikaler Kanal vorliegt, sind die Kanäle in Reihe in Richtung entlang der Vorschubrichtung des Glasbandes angeordnet. Stromabwärts des oder der vertikalen Kanäle ist eine Abgasleitung vorgesehen.
• Wenn das Glasband ein flotierendes Glas ist, kann die Breite des Glasbandes etwa 3 m betragen. Jeder vertikale Kanal und jeder Gasströmungsbegrenzer muß von gleicher Länge wie die Breite des zu beschichtenden Glases sein, so daß das Reaktionsgas gleichförmig über die Glasoberfläche hinweg aufgebracht werden kann. Dementsprechend kann der Gasströmungsbegrenzer etwa 3 m lang sein und es ist dieses Längenerfordernis, welches zu den Problemen des Standes der Technik geführt hat, wie sie oben im Zusammenhang mit der Herstellung einer gleichförmigen Gasströmung über die gesamte Breite des zu beschichtenden Glases hinweg erwähnt wurden.
• Mit Hilfe der vorliegenden Erfindung werden diese Probleme dadurch überwunden, daß jede Begrenzung festgeklemmt wird und in jeder Begrenzung Öffnungen vorgesehen werden, deren Verteilung und Größe genau eingesteuert werden kann und die keinen signifikanten Veränderungen als Folge einer unterschiedlichen thermischen Expansion in verschiedenen Teilen des Gasverteilers unterworfen sind.
• Ein Reaktionsgas, das in einem Trägergas verdünnt ist, wird in den Einlaß 12 des Gasströmungsbegrenzers 2 durch den fächerförmigen Verteiler 14 hindurch eingeführt. Das Gas trifft auf den Einlaßbegrenzer 27 und wird mit hoher Geschwindigkeit durch die Öffnungen 36 gedrückt. Der Druckabfall an den Öffnungen 36, welche das Einlaßplattenglied 28 durchdringen, ist größer als derjenige entlang dem Einlaß 12. Die Begrenzung 27 ist dementsprechend bestrebt, das Gas zu veranlassen, sich gleichmäßig über die Länge der Kammer 24 hinweg zu verteilen. Die Strömung wird dann durch die Öffnungen 28 in dem Zwischenplattenglied 66 der Zwischenbegrenzung 64 gedrückt. Die Öffnungen 68 sind mit den Öffnungen 36 der Einlaßbegrenzung 27 nicht in einer Linie ausgerichtet. Dementsprechend verhindert dies einen Düseneffekt, d.h., ein Gasstrahl kann nicht durch eine Öffnung 36 in der Einlaßbegrenzung 27 hindurchtreten und dann direkt durch eine entsprechende Öffnung 68 in der Zwischenbegrenzung 64, ohne abgelenkt zu werden. Wiederum wird das Gas durch die Öffnungen 68 mit hoher Geschwindigkeit gedrückt und ein Druckaufbau auf der Einlaßseite der Zwischenbegrenzung 64 veranlaßt einen weiteren Ausgleich der Gasströmung entlang der Länge der Zwischenbegrenzung 64. In ähnlicher Weise wird anschließend das aus den Öffnungen 68 austretende Gas durch die Öffnungen 52 in der Auslaßbegrenzung 34 gedrückt. Da die Öffnungen 68, 52 in den Zwischen- und Außenbegrenzungen nicht miteinander ausgerichtet sind, wird der oben erwähnte Düseneffekt verhindert. Das Gas tritt aus den Öffnungen 52 in der Auslaßbegrenzung 38 als eine Gasströmung aus, die über die Länge des Gasströmungsbegrenzers 2 im wesentlichen gleichförmig ist, d.h. über die Breite des Glasbandes hinweg. Das Gas wird von dem Gasströmungsablenker 54 abgelenkt und durch den Spalt 60 gedrückt. Der Gasströmungsablenker 64 verhindert, daß Gasstrahlen aus den Öffnungen 52 direkt auf das Glasband auftreffen, was zu lokalen Bereichen gesteigerter Beschichtungsdicke führen und einen Streifeneffekt auf der Beschichtung veranlassen könnte. Aus dem Spalt 60 tritt eine gleichförmige Gasströmung aus und wird nach unten dem Kanal 4 entlang zum Glasband hin gelenkt.
• Die Vorteile des beschriebenen Gasströmungsbegrenzers liegen darin, daß jede Begrenzung im wesentlichen durch die hohen Temperaturen von etwa 300 bis 400º C, die man gewöhnlich antrifft, unbeeinflußt bleiben. Da für jede Öffnung in der Begrenzung der gesamte Umfang jeder Öffnung durch eine einzige Platte bestimmt ist, wird die Größe jeder Öffnung (und daher die Verteilung der Gasströmung) nicht durch Unterschiede in der thermischen Ausdehnung zweier separater Glieder beeinflußt. Dies steht in Gegensatz zu der Situation, bei welcher das Gas durch einen Schlitz strömt, der zwischen den Kanten zweier separater Glieder bestimmt ist, wenn Unterschiede in der thermischen Ausdehnung zwischen den beiden Gliedern leicht zu Unregelmäßigkeiten in der Schlitzbreite führen können. Es ist schwer genug, enge Schlitze regelmäßiger Breite über eine Entfernung von etwa 3 m hinweg zu produzieren; wenn derart schmale Schlitze den hohen Temperaturen unterworfen werden, wie sie bei der Beschichtung eines heißen Bandes flotierenden Glases anzutreffen sind, besteht eine Gefahr, daß die Schlitze sich verformen und zu ungleichförmigen Gasströmungen führen. Die vorliegende Anordnung, die auf einer Reihe von Löchern in einem Plattenglied beruht, ist gegenüber diesen Verformungsproblemen nicht empfindlich. Obwohl die Dimensionen der Löcher durch die Temperatur beeinflußt werden, tendieren die Löcher insgesamt dazu, sich in gleichem Maße zu expandieren und vermitteln eine gleichförmigere Gasströmung über die Breite des Gasströmungsbegrenzers hinweg.
• Obwohl, wie oben angegeben, der Gasströmungsbegrenzer 3 in breit sein kann, sind die Verformungsprobleme der bekannten Systeme durch die vorliegende Erfindung überwunden oder zumindest gemildert. Auch kann jedes Plattenglied relativ einfach durch Bohren und Ausräumen der Löcherreihe in dem Plattenglied hergestellt werden. Jede Begrenzung ist durch die benachbarte Platte voll abgedichtet und dies gewährleistet es, daß das Gas gezwungen wird, allein durch die Öffnungen zu fließen, die ihrerseits vorbestimmte Abmessungen und Abstände haben. Dies ermöglicht eine ordnungsgemäße Kontrolle über die Gleichförmigkeit der Gasströmung, die quer über das Glasband hinweg aufrechterhalten werden muß.
• Die Anzahl der Begrenzungen im Gasströmungsbegrenzer kann erwünschtenfalls verändert werden, je nach dem besonderen Beschichtungsanwendungsfall. So kann beispielsweise bei bestimmten Anwendungen die Zwischenbegrenzung 66 weggelassen werden; in diesem Falle ist es erwünscht, die Reihe der Löcher 68 an der stromabwärts gelegenen Seite der langgestreckten Kammer 24 zu haben, um ein "Ausdüsen" durch die miteinander ausgerichteten Löcher in den Reihen der Löcher 36 und 52 zu verhindern.
• Darüber hinaus können die Größe, der Abstand und die Positionen der Löcher in den Begrenzungen variiert werden. Daneben können auch die Gestalt, die Abmessungen und die relativen Positionen der Löcher in den verschiedenen Plattengliedern variieren.

Claims (10)

1. Vorrichtung zum Beschichten von Flachglas durch Richten eines Reaktionsgases über die Glasoberfläche, wobei die Vorrichtung einschließt: einen Gasströmungsbegrenzer (2) mit einer Kammer (24), die befähigt ist, einen Vorrat an Reaktionsgas aufzunehmen und einen Strom des Reaktionsgases über das zu beschichtende Flachglas abzugeben, eine Reihe von wenigstens zwei Begrenzungen (27, 64, 38), von denen jede Begrenzung (27, 64, 38) ein Plattenglied (28, 66, 40) umfaßt, das sich quer über die Kammer (24) erstreckt und eine Mehrzahl von durchgehenden Öffnungen (36, 68, 52) aufweist, und einen Gasströmungsablenker (54) am Auslaß (10) des Begrenzers (2).

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Öffnungen (36, 68, 52) jedes Plattengliedes (28, 66, 40) gleichförmig verteilt sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Öffnungen (36, 68, 52) benachbarter Plattenglieder (28, 66, 40) miteinander außer Flucht sind.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Öffnungen (36, 68, 52) in jedem Plattenglied (28, 66, 40) in einer Reihe angeordnet sind.

5. Vorrichtung nach einem voranstehenden Anspruch, bei der die Öffnungen (36, 68, 52) kreisrunde Löcher sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, bei der die Löcher einen Durchmesser von 2 mm bis 10 mm haben.

7. Vorrichtung nach einem voranstehenden Anspruch, bei der die Gestalt, Abmessungen und relative Positionen der Öffnungen (36, 68, 52) bei verschiedenen Plattengliedern (38, 66, 40) variieren.

8. Vorrichtung nach einem voranstehenden Anspruch, bei der ein erstes Plattenglied (28) in der Nähe eines Einlasses (12) für den Begrenzer (2) und ein zweites Plattenglied (40) in der Nähe eines Auslasses (10) für den Begrenzer (2) gelegen ist.

9. Vorrichtung nach einem voranstehenden Anspruch, bei der die Öffnungen (38, 68, 52) in dem dem Auslaß (10) für den Begrenzer (2) am nächsten gelegenen Plattenglied in engeren Abständen liegen als in dem dem Einlap (12) für den Begrenzer (2) am nächsten gelegenen Plattenglied (28).

10. Vorrichtung nach einem voranstehenden Anspruch, bei der der Gasströmungsablenker (54) ein Ablenkglied (56) umfaßt, das in der Nähe der Öffnungen (52) des zweiten Plattengliedes (40) angeordnet ist.