JPH02167842A - 平ガラスの被覆装置 - Google Patents

平ガラスの被覆装置

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JPH02167842A
JPH02167842A JP1265306A JP26530689A JPH02167842A JP H02167842 A JPH02167842 A JP H02167842A JP 1265306 A JP1265306 A JP 1265306A JP 26530689 A JP26530689 A JP 26530689A JP H02167842 A JPH02167842 A JP H02167842A
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ガラス面に対して反応ガスを指向させること
により平ガラスを被覆する装置であって、ガス流れ収束
器を有する装置に関する。
高温ガラス面で分解するガス状反応体を使用して、建設
用途に対しての所望の性状を備える被覆を行うことは従
来から既知である。高温ガラス面にシラン含有ガスを熱
分解することにより、太陽光線制御被覆として有用な珪
素被覆を行って来た。
他の適当なガス状反応体から他の太陽光線制御及び低輻
射率(高い赤外線反射)被覆を行う方法が提示されて来
た。不運にも、所要の厚さで満足できる程度に均一な被
覆を達成する商業的実施は困難であった。
英国特許明細書第1507996号は、ガス分配器が被
覆すべきガラス面の幅を横切って延びている、平ガラス
の被覆装置を開示している。ガス分配器は、ガス供給ダ
クトから案内通路に通路の幅を横切って均一にガスを送
出する手段を有している。
使用している通路は被覆すべきガラスの幅を横切って延
びている。案内通路は、ガスが層流の流れ条件の下で被
覆すべきガラス面にほぼ平行に流れるような形状になっ
ている。送出する手段は、ガス流れ収束器を備えている
、ガス流れ収束器は、供給ダクトと案内通路との間の小
さな断面積の通路のアレーにより構成されている。通路
のアレーは、前記明細書の第3図に示すように、″゛違
相′に配置された複数のけん細金属帯状体を備えるワツ
フルプレートから構成されている。
国際出願特許明細書第WO85101522号は動いて
いるガラスのリボンを被覆する装置を開示している。そ
の装置では、被覆ガスは、一連の交互に収束し次いで末
広がりになる通路を収容する箱を通過する。ガスは、ガ
ラスの幅を横切って一定速度の均一な層流で箱から出て
ガラス向かう。
これらの従来技術の両者とも、ガラス基体に均一な被覆
を達成したと報告されているが、しかしながら、本出願
人は、これらの技術は、ガラスの上のガスの流れの均一
性を、従って及び被覆の均一性を低下させる技術的問題
に遭遇する。特に、英国特許明細書第1507996号
のワツフルプレートは装置の不純物のために閉塞しがち
である。同じく、ある応用例では、ガス状反応体は、3
00−400゜のような高温度でワツフルプレートを通
過しなければならない。そのような高温では、金属帯状
体は変形し、又は位置がずれがちになる。これらの現象
はガス流れの均一性を低減する。国際特許出願明細書第
WO35101522号の装置では、複数の壁部材が収
束しかつ末広がりする通路を形成する。
これらの壁部材は、各々一端が装置の外壁に固定してあ
り、その自由端は対向する外壁からある距離離隔してい
る。かつ、壁部材はその間に狭いスロットを形成してい
る。高温では、壁部材は変形し、狭いスロットの寸法は
変化する。これは、ガス流れの均一性に影響を与える。
更に、装置を所要の精度で製作することは困難である。
本発明の目的は、上述の従来技術の欠点を克服する事で
ある。
本発明は反応ガスをガラス面に指向させることにより平
ガラスを被覆する装置を提供することである。この装置
はガス流れ収束器を有している。
このガス流れ収束器はチャンバーと、一連の少なくとも
2個の収束部とを備え、チャンバーは供給された反応ガ
スを受け入れ、かつ被覆中の平ガラスの上に反応ガスの
流れを送出するようになっており、収束部の各々はチャ
ンバーを横切って延びる板部材を備え、かつこの板部材
は板部材を貫通する複数の孔を有している。
各板部材の孔は均一に配置されている。
好適には、隣接している板部材の孔が相互に一直線状を
なす配置にはなっていない。
好適には、各板部材の孔は一列に配置されている。
孔は円形の穴である。好適には、孔は2mmから10m
m、特に2m+y+から5n+mの直径を有している。
安定したガス流れのためには、好適には、各板部材は、
その板部材の孔の直径の少なくとも2倍の厚みを有する
べきである。
孔の形状と、寸法と、及び相対的位置とは、異なる板部
材ごとに変化する。
1個の好適配置では、第1板B、’t−tは収束器の人
口に隣接し、かつ第2坂部材は収束器の出口に隣接して
いる。好適には、孔は、収束器の入口に最も近接してい
る板部材おけるよりも収束器の前記出口に最も近接して
いる板部材においてより近接した間隔で配置されている
ガス収束器には、出口に最も近い第2板部材とガラスと
の間で収束器の出口にガス流れ偏向器が設けである。ガ
ス流れ偏向器には、ガス流れ偏向部材が第2板部材の孔
に隣接して配置しである。
追加として、第3板部材を第1と第2板部材の間に設け
ることもできる。
添付図面を参照して、例を挙げて本発明の詳細な説明す
る。
(実施例) 第1図に示す通り、2が付しであるガス流れ収束器は黒
鉛の2個のブロック6及び8の間に形成される縦の通路
4の上に取り付けられている。黒鉛は左から右に動くガ
ラスのリボン(図示してない)を横切って吊るされてい
る。縦通路4は被覆されているガラスのリボンの上を横
断して延びている。ガス流れ収束器2は、英国特許明細
書第1507996号に開示されてるガス分配器に似た
構成のガス分配器の一部を構成している。尚、その記載
をここでは参照して引用している。ガス流れ収束器2の
出口10は縦通路4に整列している。図示の実施例では
、ガス流れ収束器2の入口12は量定形の分配器14に
結合されている。量定形の分配器14は前部壁16(又
はガラスの動きの方向に関しては上流)と後部壁18(
又はガラスの動きの方向に関しては下流)とを有してい
る。その各々は逆さにした扇の形状をしている。扇尾部
の幅が下流の方向に拡大するにつれて、前部壁と後部壁
16.18とは互いの方向に集中する。
ガス流れ収束器2は対に戊って対向している壁20、2
2.及び21.23を備えている。その壁は細長いチャ
ンバー24を形成している。細長い壁20.22及び2
1.23 は被覆されつつあるガラスのリボンを横切っ
て延びている。壁20と21は上流側の壁で、壁22と
23は下流側の壁である。対向している端部壁26は細
長いチャンバー24の各端部に設けである。
各端部壁26はガラスのリボンの動きの方向に平行に配
列されている。
ガス流れ収束器2の人口12には、チャンバー24を横
切って延びる細長い人口板部材28を備える収束部27
が配置しである。人口板部材28は対となって対向して
いる水平板30.32の間に締めつけるようにして固定
しである。板30.32の器財は、それぞれの細長い壁
20.22に、及び扇尾形分配器14に、例えば溶接で
接合されている。器財30.32の板はねじ山付き継ぎ
手34により緊密に相互に結合されている。ガスケット
(図示してない)は板30.32の器財と入口板部材2
8との間に配置されている。
第2図は入口板部材28をより詳細に示している。
人口板部材28の長さに沿って延びる一列の孔36が人
口板部材28を貫通して設けである。孔36は入口12
をチャンバー24の残部に結合している。孔36は円形
の穴である。穴は好適には21T1mから10mmの直
径を有している。1個の特に好適な実施例では、孔36
は4mmの直径を有し、かつ20mm間隔にその中心を
有している。孔36の列は細長いチャンバー24の上流
側に配置されている。即ち、孔36の列はチャンバー2
4の下流壁22より上流壁20により近い位置にある。
。 出口収束部38がガス流れ収束器2の出口10に隣接し
て配置されている。出口収束部38は、2枚の対向する
対となっている板42.44の間に締めつけるようにし
て固定しである細長い出口板部材40を備えている。前
記対の板42.44の各々の上の板は、それぞれの細長
い壁21.23に溶接により接合されていると言う点で
、出口収束部38は入口収束部27と同じほぼ構成に戊
っている。板42.44はガスケット(図示してない)
により出口板部材40から分離されている。板42.4
4は、ねじ山付き継ぎ手46により相互に緊密に結合さ
れている。ねじ山付き継ぎ手は、黒鉛のブロック6.8
の頂部に固定しである板48に板42.44を、従って
及びガス流れ収束器2を強固に取り付けている。出口板
部材40には、4mmの直径とl Qmm間隔の中心を
有する1列の孔52が設けである。1列の孔52は細長
いチャンバー24の上流側に配置されている。
ガス流れ偏向器54は出口板部材40の下でガス流れ収
束器2の出口10に取り付けである。ガス流れ偏向器5
4は前記対の板42の下の板と一体に或っている細長い
L字状部材56を備え、かつ孔52に隣接して配置され
ている。L字状部材56の自由アーム58は、出口板部
材40に向かって上方に延びて、その間に間隙60を形
成する。L字状部材56の水平アーム62によって偏向
された後、孔52からの反応ガスはその間隙を通って流
れなければならない。
ガス流れ偏向器54の目的は、ガス流れに生じるある局
部的増加を除去することである。
板部材40の下流側にある出口板部材40の孔52の各
々に非常に近接した所で、ガス流れがより強い傾向があ
る。ガス流れ偏向器54の存在により、流れのこれら局
部的に増大した強さが平準化される。
中間収束部64は入口と出口の収束部27.38との間
に配置されている。中間収束部64は入口収束部27と
同じ構成を有し、1列の孔68を備える細長い中間板部
材66を備えている。中間板部材66は対向している対
の水平板70.72の間に締めつけるように固定しであ
る。板70.72は細長い壁20.21と22゜23に
例えば溶接により接合されている。ガスケット(図示し
てない)板70.72と中間板部材66との間に配置さ
れている。フランジ70.72はねじ山付き継ぎ手74
により緊密に結合されている。中間板部材66の一列の
孔68は、人口板部材28と出口板部材40と対照的に
、細長いチャンバー24の下流側に配置されている。即
ち、−列の孔68は、チャンバー24の上流壁20.2
1より下流壁22.23により近く位置している。この
配置により、隣接の細長い板部材の孔の列は相互に一直
線状にはない。好適実施例では、板部材の孔が4mmの
直径を有する場合、板部材はlQmmの厚みを有する。
ガス流れ収束器2の操作を以下に述べる。
ガス流れ収束器2は、ガラスの前進するリボンを横切っ
て吊っである被覆装置の一部を構成している。被覆装置
は1個又は2個以上の縦の通路4を有し、対応するガス
流れ収束器2の数は、1個又は2個以上の反応ガスをガ
ラスのリボンの上の被覆チャンバーに別個に導入すべき
かどうかに依存している。各縦通路はガラスのリボンの
上に存在し、2以上の縦通路がある場合には、通路は、
ガラスのリボンの動きの方向に沿う方向に直列に位置す
る。排気ダクトは縦通路の下流に設けである。
リボンのガラスが平ガラスである場合、ガラスのリボン
の幅は、約3mである。各縦通路と各ガス流れ収束器は
被覆されるガラスの幅と同じ長さでなければならない。
そうすれば、反応ガスをガラス面に均一に指向させるこ
とができる。従って、ガス流れ収束器は約3m長さであ
る。かつ、これが、被覆されるガラスの全幅にわたる均
一なガス流れを達成することに関して、上に言及した従
来技術の問題に通じる長さの要件である。
本発明においては、各収束部を緊密に締めつけ、かつ各
収束部に孔を設けることにより、これらの問題を克服し
ている。孔の分布と寸法とは、正確に制御することがで
き、かつガス分配器の異なる部品の差別的熱膨張の結果
として生じる有意の変動を受けない。
坦体ガスで希釈した反応ガスを量定形分配器14を介し
てガス流れ収束器2の入口12に供給する。
ガスは人口収束部27に衝突し、高速で孔36を貫通す
るよう強制される。人口板部材28を貫通している孔3
6での圧力降下は人口12での圧力降下より大きい。収
束部27は、チャンバー24の長さに沿って均一にガス
を分散するのを助ける。次いで、流れは中間収束部6!
1の中間板部材66の孔68を貫通するように強制され
る。孔68は人口収束部27の孔36とは一直線になっ
ていない。従って、これはジェット効果を防止する。即
ち、ガスのジェットが入口収束B27の1個の孔36を
、次いで偏流することなく中間収束部64の対応する孔
68を直接貫通することはできない。再び、ガスは高速
で孔68を貫通するように強制され、中間収束部64の
人口側に生じる圧力は、中間収束部64の長さに沿った
ガス流れを一層均一化する。同じように、孔68から出
るガスは出口収束部34の孔52を貫通するように強制
される。中間及び外側収束部の孔68.52は整列して
ないので、上に言及したジェット効果を防止できる。ガ
ス流れ収束器2の長さにわたり、即ちガラスのリボンの
幅にわたりほぼ均一なガス流れとして、ガスは出口収束
部38の孔52から出る。ガスはガス流れ偏向器54に
より偏向して、間隙60を貫通ずるように強制される。
ガス流れ偏向器54は、孔52からのガスのジエ”)ト
がガラスのリボンに直接衝突するのを防止している。も
し直接衝突すると、被覆厚みの厚い領域が偏在し、かつ
被覆に条が生じる結果となる。均一なガス流れが間隙6
0から出て、かつガラスのリボンに向かって通路4に沿
って下方に向かう。
上述のガス流れ収束器の利点は、典型的に遭遇する約3
00−400°Cの高温によっても、各収束部がほぼ影
響されないという事である。収束部の基孔にとって、基
孔の全周は単一の板により形成されているので、基孔〈
及び従ってガス流れの分散)は2個の分離部材の熱膨張
の相違により影響されない。2個の部材の間の熱膨張の
相違がスロットの幅の不規則性に通じ易い場合に、2個
の別個の部材の縁部の間に形成されるスロットをガスが
流れると言う状況と、これは対照的である。約3mの距
離にわたり規則的な幅の狭いスロットを作ることは困難
である。特に、平ガラスの高温のリボンを被覆する場合
に遭遇する高温にそのような狭いスロットが置かれると
、スロットが変形し、かつガスの不均一な流れを生じる
危険がある。板部材の一連の孔に依存する、本発明に係
る装置は、問題の変形を受けにくい。孔の寸法は温度に
より影響されるが、孔は全て同じ程度に拡大し、かつガ
ス流れ収束器の幅を横切って均一なガス流れにする。
上に示したように、ガス流れ収束器を3mの幅にしても
、従来技術の装置の変形に係る問題は克服されるか、又
は少なくとも本発明により軽減される。同じく、板部材
に一列の孔を明けかつIJ−マをかけることにより、比
較的容易に各板部材を製作することができる。各収束部
は隣接する板により充分に封止される。これにより、ガ
スは、予め決めた寸法と間隔とを有する孔だけを貫通し
て流れるように拘束されることが保証される。これは、
ガラスのリボンを横切るガスの流れの均一性を維持する
ための適切な制御手段となる。
特定の被覆プロセスに応じて、ガス流れ収束器の収束部
の数を所望の通りに変更することができる。従って、例
えば、ある適用において、中間板部材66を省略するこ
とができる。この場合、孔36の列と孔52の列の整列
した孔をジェットが貫通するのを防止するため、細長い
チャンバー24の下流側に孔68の列を設けるのが望ま
しい。
更に、収束部の孔の寸法、間隔、及び位置を替えことが
できる。更に、孔の形状、寸法、及び相対位置を異なる
板部材に対して変えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る平ガラスを被覆するための装置に
組み込むガス流れ収束器の立面断面図;第2図は第1図
のガス流れ収束器の細長い板部材の一部の平面図である
。 2・・・ガス流れ収束器  4・・・通路6.8・・・
黒鉛のブロック 10・・・ガス流れ収束器の出口 12・・・ガス流れ収束器の人口 14・・・量定形分配器   16・・・前部壁18・
・・後部壁 20、−24.22.23・・・細長い壁24・・・チ
ャンバー 27・・・入口収束部 28・・・入口板部材 30、32・・・水平板 34・・・ねじ山付き継ぎ手 36・・・孔 40・・・出口板部材 46・・・ねじ山付き継ぎ手 48・・・板 54・・・ガス流れ偏向器 58・・・アーム 62・・・水平アーム 66・・・中間板部材 70、72・・・水平板 26・・・端部壁 38・・・出口収束部 42、44・・・板 52・・・孔 56・・・1字形部材 60・・・間隙 64・・・中間収束部 68・・・孔 74・・・ねじ山付き継ぎ手 第62図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、反応ガスをガラス面に指向させることにより平ガラ
    スを被覆する装置であって、この装置はガス流れ収束器
    を有し、このガス流れ収束器はチャンバーと、一連の少
    なくとも2個の収束部とを備え、前記チャンバーは供給
    された反応ガスを受け入れ、かつ被覆中の前記平ガラス
    の上に前記反応ガスの流れを送出するようになっており
    、前記収束部の各々は、前記チャンバーを横切って延び
    る板部材を備え、かつ前記板部材はこの板部材を貫通す
    る複数の孔を有することを特徴とする平ガラスの被覆装
    置。 2、各板部材の前記孔は均一に配置されていることを特
    徴とする請求項1に記載の平ガラスの被覆装置。 3、隣接している板部材の前記孔は相互に一直線状をな
    す位置には配置されていないことを特徴とする請求項1
    又は2に記載の平ガラスの被覆装置。 4、各板部材の前記孔は一列に配置されていることを特
    徴とする請求項1から3のうちいずれか1項に記載の平
    ガラスの被覆装置。 5、前記孔は円形の穴であることを特徴とする請求項1
    から4のうちいずれか1項に記載の平ガラスの被覆装置
    。 6、前記孔は2mmから10mmの直径を有しているこ
    とを特徴とする請求項5に記載の平ガラスの被覆装置。 7、前記孔の形状と、寸法と、及び相対的位置とは、異
    なる板部材ごとに変化することを特徴とする請求項1か
    ら6のうちいずれか1項に記載の平ガラスの被覆装置。 8、第1板部材は前記収束器の入口に隣接し、かつ第2
    板部材は前記収束器の出口に隣接している、ことを特徴
    とする請求項1から7のうちいずれか1項に記載の平ガ
    ラスの被覆装置。 9、前記孔は、前記収束器の前記入口に最も近接してい
    る板部材におけるよりも前記収束器の前記出口に最も近
    接している板部材においてより近接した間隔で配置され
    ている、ことを特徴とする請求項1から8のうちいずれ
    か1項に記載の平ガラスの被覆装置。 10、ガス流れ偏向器が前記収束器の前記出口に設けて
    あることを特徴とする請求項1から9のうちいずれか1
    項に記載の平ガラスの被覆装置。 11、前記ガス流れ偏向器には、流れ偏向部材が前記第
    2板部材の前記孔に隣接して配置してあることを特徴と
    する請求項10に記載の平ガラスの被覆装置。
JP1265306A 1988-10-14 1989-10-13 平ガラスの被覆装置 Expired - Lifetime JP2534368B2 (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8824103A GB2227754A (en) 1988-10-14 1988-10-14 Gas flow restrictor for glass coating apparatus
GB8824103.9 1988-10-14

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JPH02167842A true JPH02167842A (ja) 1990-06-28
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US (1) US4995340A (ja)
EP (1) EP0369602B1 (ja)
JP (1) JP2534368B2 (ja)
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DE (1) DE68904532T2 (ja)
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GB (1) GB2227754A (ja)

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