DE679051C - Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung - Google Patents

Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung

Info

Publication number
DE679051C
DE679051C DET45471D DET0045471D DE679051C DE 679051 C DE679051 C DE 679051C DE T45471 D DET45471 D DE T45471D DE T0045471 D DET0045471 D DE T0045471D DE 679051 C DE679051 C DE 679051C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metallization
cathode sputtering
metal evaporation
insulating bodies
insulating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DET45471D
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Boto Graf Von Solms-Laubach
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Telefunken AG
Original Assignee
Telefunken AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Telefunken AG filed Critical Telefunken AG
Priority to DET45471D priority Critical patent/DE679051C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE679051C publication Critical patent/DE679051C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/35Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Metallisierung von Isolierkörpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstäubung bzw. Metallverdampfung Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Metallisierung von Isolierkörpern mittels Kathodenzerstäubung bzw. Metallverdampfung.
  • Es ist bekannt, auf Isolierkörper Metallschichten nach dem Verfahren der Kathodenzerstäubung aufzubringen. Bei diesem Verfahren tritt eine Erwärmung sowohl der Elektroden als auch der zu bestäubenden Körper auf. Die Erwärmung der Körper wird meistens als störend empfunden, und man ist in vielen Fällen bestrebt, sie herunterzusetzen. In anderen Fällen, speziell bei der Metallisierung von Keramik oder anderen wärmebeständigen Stoffen, kann die Erwärmung der Körper hingenommen werden. Bei den bekannten Verfahren, welche mit Kathodenzerstäubung arbeiten, werden in der Regel keine besonderen Maßregeln bezüglich der Erwärmung getroffen. So wird bei einem bekannten Verfahren die Metallisierung in einem Raum vorgenommen, dessen Wände aus Glas bestehen. Die Wärmeverluste durch Strahlung sind in diesem Fall ganz beträchtlich, weil die Wärmestrahlung ungehindert durch die Glaswände nach außen dringen kann.
  • Die vorliegende Erfindung geht von der Tatsache aus, daß bei hohen Körpertemperaturen die Haftfestigkeit der aufgestäubten Schichten wesentlich gesteigert werden kann. Diese Steigerung der Haftfestigkeit ist einmal dadurch zu erklären, daß bei hohen Temperaturen die Körperoberfläche besser von Verunreinigungen und adsorbierten Gasen gereinigt wird, dann aber auch ist es bei hohen Körpertemperaturen möglich, eine innigere Verbindung zwischen der Metallschicht und der Körperoberfläche, z. B. bei Keramik, zu erhalten.
  • Um dies zu erreichen, wird bei-der Metallisierung von Isolierkörpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstäubung bzw. Metallverdampfung gemäß der Erfindung die bei dem Verfahren entstehende Wärme durch Anordnung entsprechend geformter Wärmeisoliermittel am Abfluß gehindert, vorzugsweise auf einen kleinen Raum um den Isolierkörper und die Elektrode zusammengedrängt, so daß der zu metallisierende Isolierkörper während der Metallisierung auf hohe Temperaturen gebracht wird. Vorteilhaft wird durch eine gut wärmeisolierende Wand der Wärmefluß nach außen auf ein Minimum herabgedrückt.
  • Zur weiteren Steigerung der Körpertemperatur ist es möglich, noch zusätzlich eine Wärmequelle, z. B. einen Heizwiderstand, in diesen Raum zu bringen oder um ihn herum anzuordnen. Soweit es möglich ist, z. B. bei der Metallisierung von Spulen, ist es am günstigsten, diese zusätzliche Wärmequelle im Innern der Spule unterzubringen. Die Elektroden sind vorteilhaft so weit zu belasten, daß sie auf helle Glut kommen.- Durch Strahlung von den Elektroden wird dann die Oberfläche der zu-- metallisierenden Körper selbst bei an sich: hoher -Gesamttemperatur der Körper weiter auf noch höhere Temperatur gebracht. Zur Erreichung- einer guten Haftfestigkeit der Schichten ist eine außerordentlich hohe Temperatur gerade der Körperoberfläche erforderlich. Anzuwenden ist das Verfahren in allen Fällen, wo es auf eine- große-- Haftfestigkeit der Schichten ankommt.
  • Bei der Metallisierung nach dem Metallspritzverfahren ist es bekannt, den Werkstoff, welcher mit einer Metallschicht überzogen werden soll, zu erwärmen, um zwischen dem Werkstoff und den Metallteilchen eine chemische Reaktion bzw. Verbindung zu erhalten. Es müssen dann aber Werkstoff und Metall miteinander chemisch verwandt sein. Nachteilig ist bei diesen Verfahren, daß die erwärmten Metallpartikel an der Luft beim Metallisieren schnell oxydieren, so daß kein vollkommenes Ineinanderübergehen der Metalltröpfchen erzielt wird. Der elektrische Widerstand dieser Schichten ist daher recht beträchtlich, ferner neigen derartig hergestellte Metallüberzüge bei der Verwendung in der Hochfrequenztechnik zu Sprüherscheinungen.
  • In der Zeichnung sind zwei Ausführungsmöglichkeiten des Erfindungsgedankens dargestellt. In Abb. i bedeutet i das keramische Arbeitsstück, welches die. Form eines Zylinders besitzt, dessen Außenfläche mit einem Metallüberzug versehen werden soll. Das Arbeitsstück befindet sich innerhalb eines mit Wärmeisolation ausgekleideten Kastens 2 zwischen den die Kathodenzerstäubung bewirkenden Elektroden 3. Im Falle eines Wechselstrombetriebes können die beiden Elektroden gleichartig ausgebildet werden. Im Innern des zylindrischen Arbeitsstückes befindet sich eine Heizspule ¢. Durch das Wärmeschutzgefäß 2 wird erreicht, daß die bei der Kathodenzerstäubung entwickelte Wärme auf einen kleinen Raum beschränkt bleibt und nicht abstrahlen kann, so daß das Arbeitsstück eine höhere Temperatur annimmt, als es sonst der Fall wäre. Durch die Heizspule ¢ kann Strom geschickt werden, so .daß eine zusätzliche Wärmeentwicklung stattfindet und das Arbeitsstück auch auf ziemlich hohe Temperaturen gebracht werden kann. Unter Umständen genügt es selbstverständlich, entweder..den Wärmeschutzkasten 2 oder die zusätzliche Heizspule ¢ wegzulassen.
  • Eine andere Ausführungsmöglichkeit ist in Abb.-2 dargestellt. Es wird angenommen, daß das Arbeitsstück i keinen Hohlraum besitzt, in den ein -Heizwiderstand eingeführt werden könnte. Die Kathodenzerstäubung findet wieder innerhalb eines wärmedicht ummantelten Gefäßes 2 zwischen den Elektroden 3 statt. An der Innenseite des Gefäßes ist eine Heizwicklung 5 aufgebracht, durch welche eine zusätzliche Erwärmung des Innenraumes stattfindet. Die Heizwicklung ist durch einen Schirm 6 gegen den Raum, in dem die Kattodenzerstäubung stattfindet, abgeschirmt, damit nicht durch Metallniederschläge ein Kurzschluß der Wicklung entstehen kann.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Metallisierung von Isolierkörpernmit dem Verfahren der Kathodenzerstäubung bzw. Metallverdampfung, dadurch gekennzeichnet, daß die bei dem Verfahren entstehende Wärme durch Anordnung entsprechend geformter Wärmeisoliermittel am Abfluß gehindert wird, vorzugsweise auf einen kleinen Raum um den Isolierkörper' und die Elektrode zusammengedrängt wird, so daß der zu metallisierende Isolierkörper während der Metallisierung auf hohe Temperaturen gebracht wird. -
  2. 2. Metallisierung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die hohen Temperaturen der Isolierkörper durch eine zusätzliche Wärmequelle erreicht werden.
DET45471D 1935-06-26 1935-06-26 Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung Expired DE679051C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DET45471D DE679051C (de) 1935-06-26 1935-06-26 Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DET45471D DE679051C (de) 1935-06-26 1935-06-26 Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE679051C true DE679051C (de) 1939-07-27

Family

ID=7562048

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DET45471D Expired DE679051C (de) 1935-06-26 1935-06-26 Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE679051C (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1063006B (de) * 1956-04-18 1959-08-06 Hoerder Huettenunion Ag Elektrisches Entladungsgefaess zur Behandlung von in das Entladungs-gefaess eingebrachten Werkstuecken mittels elekttrischer Glimmentladung, a. B. zur Nitrierung von Stahlkoerpern
DE1287397B (de) * 1963-12-02 1969-01-16 Balzers Hochvakuum Verfahren zur Herstellung eines festhaftenden, elektrisch leitenden, loetfaehigen metallischen UEberzuges auf festen, anorganischen nichtmetallischen Traegerkoerpern, wie Glas oder Keramik

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1063006B (de) * 1956-04-18 1959-08-06 Hoerder Huettenunion Ag Elektrisches Entladungsgefaess zur Behandlung von in das Entladungs-gefaess eingebrachten Werkstuecken mittels elekttrischer Glimmentladung, a. B. zur Nitrierung von Stahlkoerpern
DE1287397B (de) * 1963-12-02 1969-01-16 Balzers Hochvakuum Verfahren zur Herstellung eines festhaftenden, elektrisch leitenden, loetfaehigen metallischen UEberzuges auf festen, anorganischen nichtmetallischen Traegerkoerpern, wie Glas oder Keramik
DE1287397C2 (de) * 1963-12-02 1973-08-02 Balzers Hochvakuum Verfahren zur Herstellung eines festhaftenden, elektrisch leitenden, loetfaehigen metallischen UEberzuges auf festen, anorganischen nichtmetallischen Traegerkoerpern, wie Glas oder Keramik

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2010471C3 (de) Verfahren zum Aufbringen von Flußmittel und zum Verlöten von Werkstücken aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen und in diesem Verfahren hergestellte Wärmetauscher
DE4235953C2 (de) Sputterquelle mit einer linearen Hohlkathode zum reaktiven Beschichten von Substraten
DE202015008791U1 (de) Persönliches elektronisches Abgabesystem
DE1490927B2 (de) Verfahren zur herstellung eines schichtwiderstandselementes unter verwendung von tantalnitrid
DE679051C (de) Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung
EP0849769B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Aussenbeschichtung von Lampen
DE2011215C3 (de) Elektrische Heizvorrichtung
DE1292061B (de) Matratzen bzw. Matten oder Filze aus synthetischen oder Naturfasern
DE2830504A1 (de) Glasbaustein mit einer transparenten zwischenwand und verfahren zu seiner herstellung
DE896407C (de) Verfahren zum UEberziehen von Glaskoerpern mit Schichten aus hochschmelzendem Metall
DE858718C (de) Verfahren zum Beseitigen des Wandbeschlages elektrischer Lampen und Lampe zur Durchfuehrung des Verfahrens
AT222769B (de) Verfahren zur Herstellung elektrisch leitender, nichtmetallischer Überzüge auf wärmebeständigen Trägern
DE4234590C1 (de) Verfahren zum beidseitigen kontinuierlichen Beschichten eines Substrats und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE10217277B4 (de) Verfahren zur metallischen Innenbeschichtung von Hohlkörpern, insbesondere von Strahlrohrelementen
DE2760397C2 (de)
AT222240B (de) Gefäß, insbesondere Entladungsgefäß, mit Elektroden
EP0169472A2 (de) Hohlleiterelement für Mikrowellen
DE2261217A1 (de) Verfahren zur herstellung von gasentladungs-anzeige- oder speichervorrichtungen
DE704846C (de) Elektrisches Entladungsgefaess mit einem oder mehreren mindestens teilweise die vakuumdichte Gefaesswand bildenden keramischen Bauteilen und Verfahren zu seiner Herstellung
AT386906B (de) Roentgenroehrenanode
DE19805079C2 (de) Vakuumofen zum Verlöten von Bauteilen im Vakuum
DE914521C (de) Glimmentladungsroehre zur Gleichspannungsregelung
DE810410C (de) Glimmentladungsroehre zur Verwendung als wirksamer Teil in einer elektrischen Schaltung
DE896691C (de) Anordnung von Gettern in Vakuumapparaten aus Metall
DE1299378B (de) Kochgeraet, insbesondere Brat- oder Backpfanne mit einer speziellen Kochoberflaeche