DE1063006B - Elektrisches Entladungsgefaess zur Behandlung von in das Entladungs-gefaess eingebrachten Werkstuecken mittels elekttrischer Glimmentladung, a. B. zur Nitrierung von Stahlkoerpern - Google Patents
Elektrisches Entladungsgefaess zur Behandlung von in das Entladungs-gefaess eingebrachten Werkstuecken mittels elekttrischer Glimmentladung, a. B. zur Nitrierung von StahlkoerpernInfo
- Publication number
- DE1063006B DE1063006B DED22786A DED0022786A DE1063006B DE 1063006 B DE1063006 B DE 1063006B DE D22786 A DED22786 A DE D22786A DE D0022786 A DED0022786 A DE D0022786A DE 1063006 B DE1063006 B DE 1063006B
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- discharge vessel
- heat dissipation
- discharge
- vessel according
- treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/34—Methods of heating
- C21D1/38—Heating by cathodic discharges
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Discharge Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein elektrisches Entladungsgefäß zur Behandlung von in sein Inneres
eingebrachten Werkstücken mittels elektrischer Glimmentladung, insbesondere zur Nitrierung von Stahlkörpern,
mit im Innern vorgesehenen, das Werkstück umgebenden Abschirmmitteln. Bei der Benutzung derartiger
Gefäße entstehen häufig Schwierigkeiten dadurch, daß das zu behandelnde Werkstück keine
regelmäßige Gestalt hat. Dies hat zur Folge, daß die Temperatur an der zu behandelnden Oberfläche nicht
an allen Stellen gleich ist. Handelt es sich z. B. um das Nitrieren von Stahlkörpern, so soll bekanntlich
durch die Glimmentladung bewirkt werden, daß ionisierte Moleküle aus dem das Werkstück umgebenden
Gas auf die Werkstückoberfläche transportiert werden. Zugleich erzeugt die Entladung die Wärme, die
nötig ist, den Körper auf Diffusionstemperatur zu bringen. Da die Stärke der Diffusionsschicht von der
Temperatur abhängt, entstehen durch ungleiche Oberflächentemperaturen unerwünschte Unterschiede in
der Güte der Behandlung. Soll z. B. die Innenfläche eines rohrförmigen Werkstückes nitriert werden,
dessen Wandstärke, vom einen zum anderen Ende hin abnimmt, so ist die von der Glimmentladung der
Innenfläche pro Flächeneinheit zugeführte Wärmemenge überall gleich. Sie ist im stationären Fall
außerdem gleich der von der Außenfläche des Rohres abgestrahlten Wärmemenge. Da aber an Stellen großer
Wandstärke eine größere strahlende Außenfläche vorhanden ist, nimmt der Körper an diesen Stellen eine
niedrigere Temperatur an als an Stellen geringerer Wandstärke, wo eine entsprechend kleinere strahlende
Fläche zur Verfügung steht. Entsprechendes gilt für alle Körper, ausgenommen solche, die zufällig so
regelmäßig geformt sind, daß sich aus der Form allein eine überall gleiche Oberflächentemperatur ergibt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine hinreichend gleichförmige Temperaturverteilung auch
dann zu erhalten, wenn der zu behandelnde Körper keine regelmäßige Gestalt im vorstehenden Sinne hat.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung derart geformte und angeordnete Abschirmmittel vor,
daß die vom .Werkstück durch Strahlung und Leitung abgeführte Wärmemenge so gesteuert wird, daß
Temperaturunterschiede zwischen einzelnen Stellen der Werkstückoberfläche im wesentlichen ausgeglichen
werden.
Es ist bekannt, bei der Metallisierung von Körpern nach dem Verfahren der Kathodenzerstäubung oder
Metallverdampfung dem zu metallisierenden Körper durch wärmeisolierende Abschirmung oder durch zusätzliche
Beheizung eine verhältnismäßig hohe Temperatur zu geben, da die nach diesen Verfahren aufgebrachten
Metallüberzüge häufig größere Haft-Elektrisches Entladungsgefäß
zur Behandlung von in das Entladungsgefäß eingebrachten Werkstücken
mittels elektrischer Glimmentladung,
z.B. zur Nitrierung von Stahlkörpern
zur Behandlung von in das Entladungsgefäß eingebrachten Werkstücken
mittels elektrischer Glimmentladung,
z.B. zur Nitrierung von Stahlkörpern
Anmelder:
Dortmund-Hörder Hüttenunion
Aktiengesellschaft,
Dortmund, Rheinische Str. 173
Dortmund, Rheinische Str. 173
festigkeit zeigen, wenn das Werkstück während der Aufbringung des Überzuges relativ heiß ist. Diese
Maßnahme beeinflußt die- örtliche Temperaturverteilung
auf der Oberfläche des Werkstückes nicht und vermag daher Temperaturunterschiede, die sich aus
den genannten Gründen ergeben, nicht auszugleichen.
Als Abschirmmittel kann in einer Ausführungsform der Erfindung ein die Wärmeabfuhr steuernder
Schirm dienen, der mit Aussparungen versehen ist, die. der verlangten Verteilung der Wärmeabfuhr entsprechend
bemessen und angeordnet sind. Statt dessen kann auch ein Schirm benutzt werden, der aus
mehreren in Abstand voneinander liegenden Schichten verschiedener Ausdehnung besteht, die der verlangten
Verteilung der Wärmeabfuhr entsprechend bemessen und angeordnet sind. Weiterhin kann der die Wärmeabfuhr
steuernde. Schirm aus wärmeisolierendem Stoff bestehen, dessen veränderliche Wandstärke wiederum
der verlangten Verteilung entsprechend bemessen ist. Schließlich kann die Abschirmung auch aus einem
Heizkörper bestehen, und zwar insbesondere aus einer Heizwendel mit veränderlichem, der verlangten
Wärmeabfuhr entsprechend bemessenem Windungsabstand.
Endlich ist es auch möglich, mindestens einen Teil der Abschirmung zwecks Regelung der Oberflächentemperatur
während der Behandlung verstellbar anzuordnen. ■ -■ .
909 580/226
Die Zeichnung veranschaulicht vier Ausführungsbeispiele der Erfindung im Längsschnitt durch den
zu behandelnden Körper und die ihn umgebenden Abschirmungen. In allen gezeichneten Beispielen besteht
der zu behandelnde Körper aus einem Rohr 10 mit zylindrischer Bohrung .11 und von einem Ende zum
anderen Ende hin abnehmenden Außendurchmesser und ■ entsprechender Verringerung der Wandstärke.
Durch die Glimmentladung soll die Innenfläche 12 des Körpers behandelt, beispielsweise nitriert, werden. Zu
diesem Zweck wird ein mit der Rohrachse zusammenfallender Stab 13 angeordnet, der als Anode der Glimmentladung
dient, während das Rohr 10 als Kathode geschaltet wird. Die nötige Durchführung für die elektrischen
Zuleitungen ist in der Zeichnung fortgelassen.
Die zwischen der Fläche 12 und der Anode 13 brennende Glimmentladung erhitzt den Körper auf
die für die Behandlung nötige Temperatur, die beispieleweise
500° C betragen soll. Würde die Behandlung ohne weitere Umkehrungen geschehen, so würde
zufolge der nicht überall gleichen Wandstärke des Rohres 10 die Temperatur an der zu behandelnden
Fläche am oberen Ende des Rohres am kleinsten und am unteren Ende am größten sein, weil die zur Verfügung
stehende abstrahlende Außenfläche 14 von oben nach unten abnimmt.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 1 wird das so entstehende unerwünschte Temperaturgefälle dadurch
beseitigt, daß das Behandltmgsgefäß 15 auf der Innenseite eine Auskleidung 16 aus wärmeisolierendem
Stoff erhält, deren Wandstärke von oben nach unten nach einer bestimmten Funktion abnimmt. Diese
Auskleidung wirkt als Abschirmung. Die von ihr nach außen abgeführte Wärmemenge ist in den Zonen
großen Querschnitts am kleinsten, so daß das Rohr 10 in diesen Zonen eine höhere Temperatur annimmt als
in dem anfänglich betrachteten Fall ohne Abschirmung. Die Funktion, nach der sich die Wandstärke
der Auskleidung 16 ändert, kann durch Vorausberechnung oder experimentell leicht so bestimmt
werden, daß die zu behandelnde Fläche 12 des Körpers .an allen Stellen die. gleiche Temperatur annimmt.
..
Bei der Ausführungsform nach Fig. 2 dient zur Abschirmung ein konzentrisch zum Körper 10 angeordneter
Blechzylinder 17, der mit Aussparungen 18 versehen ist, deren Weite nach unten zunimmt. Diese
Aussparungen setzen die abschirmende Wirkung, von oben nach unten gerechnet, stetig herab. Ihre Abmessungen
können wiederum experimentell oder durch Vorausberechnung so bestimmt werden, daß die
Temperatur an der zu behandelnden Fläche überall gleich ist. In Fig. 2 ist ferner ein den Zylinder 17 umgebender,
in axialer Richtung verstellbarer zusätzlicher Zylinder 19 vorgesehen, der zur Feinregelung
dient. Während der Behandlung kann die Temperatur des Körpers 10 durch geeignete Fenster in der Wandung
des Entladungsgefäßes von außen, optisch überwacht werden. Zeigt sich an einzelnen Stellen eine
zu, niedrige Temperatur, so wird der Zylinder 19 so verstellt, daß die Temperatur auf den nötigen Betrag
ansteigt.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 3 dient zur Abschirmung
ein System ineinandergeschachtelter Blechzylinder 20, 21, 22 und 23 von verschiedener Länge.
Die abschirmende Wirkung dieser Zylinder, die in kleinen radialen Abständen 25 voneinander liegen, ist
dort, wo vier Zylinder ineinanderstecken, also vier abschirmende Schichten hintereinandergeschaltet. sind,
am stärksten. In der gezeichneten Anordnung nimmt demgemäß die abschirmende Wirkung von oben nach
unten ab. Die Funktion, nach der dies geschieht, ist zwar, streng genommen, nicht stetig. Doch hat sich
gezeigt, daß die Temperatur an der zu behandelnden 5 Oberfläche 12 sich auf diese Weise gleichwohl innerhalb
der zulässigen Grenzen halten läßt.
Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 ist der zu behandelnde Körper 10 von einer elektrisch geheizten
Wendel 26 umgeben, deren Windungen in allmählich
ίο zunehmendem Abstand 27 voneinander liegen, so- daß
die Heizwirkung der Wendel auf den Körper 10 von oben nach unten stetig abnimmt. Bei den Ausführungsformen nach den Fig. 1. bis 3 ensteht die abschirmende
Wirkung lediglich dadurch, daß ein Teil der vom behandelten Körper ausgestrahlten Wärme auf den Körper
reflektiert wird. Bei der Ausführungsform nach Fig. 4 ist diese Wirkung ebenfalls vorhanden. Hauptsächlich
aber sorgt die Wendel 26 für gleichmäßige Oberflächentemperatur dadurch, daß gesondert erzeugte
Wärme auf den Körper gestrahlt wird. Die als Beispiel gewählte Widerstandsbeheizung kann
auch durch eine andere Form der Heizung, etwa durch Induktion oder durch eine zusätzliche Glimmentladung,
ersetzt werden.
'In der Erläuterung der Ausführungsbeispiele ist einfachheitshalber lediglich der Wärmeübergang
durch Strahlung berücksichtigt worden. Entsprechendes gilt für die in geringem Maße neben der Strahlung
auch bestehenden Wärmeleitung.
Claims (7)
1. Elektrisches Entladungsgefäß zur Behandlung von in das Entladungsgefäß eingebrachten Werkstücken
mittels elektrischer Glimmentladung, z. B. zur Nitrierung von Stahlkörpern, mit im Innern
des Entladungsgefäßes vorgesehenen, das Werkstück umgebenden Abschirmmitteln, gekennzeichnet
durch derart geformte und angeordnete Abschirmmittel, daß die vom Werkstück durch
Strahlung und Leitung abgeführte Wärmemenge so gesteuert wird, daß Temperaturunterschiede
zwischen einzelnen Stellen der Werkstückoberfläche im wesentlichen ausgeglichen werden.
2. Entladungsgefäß nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein die Wärmeabfuhr steuernder
Schirm (17) mit Aussparungen (18) versehen ist, die der verlangten Verteilung der Wärmeabfuhr
bemessen und angeordnet sind.
3. Entladungsgefäß nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein die Wärmeabfuhr steuernder
Schirm aus mehreren in Abstand voneinander liegenden Schichten (20, 21. 22, 23) verschiedener
Ausdehnung besteht, die der verlangten Verteilung der Wärmeabfuhr entsprechend bemessen und angeordnet
sind.
4. Entladungsgefäß nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein die Wärmeabfuhr steuernder
Schirm.(16) aus wärmeisolierendem Stoff besteht, dessen veränderliche Wandstärke der verlangten
Verteilung der Wärmeabfuhr entsprechend bemessen ist.
5. Entladungsgefäß nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine aus einem Heizkörper bestehende
Abschirmung.
6. Entladungsgefäß nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Heizkörper aus einer
Heizwendel (26) mit veränderlichem, der ver-
langten Wärmeabfuhr entsprechend bemessenem Windungsabstand (27) besteht.
7. Entladungsgefäß nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Teil (19) der
Abschirmung zwecks Regelung der Obernächentemperatur während der Behandlung verstellbar
angeordnet ist.
In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 679 051.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
©909 580/226 7.59
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DED22786A DE1063006B (de) | 1956-04-18 | 1956-04-18 | Elektrisches Entladungsgefaess zur Behandlung von in das Entladungs-gefaess eingebrachten Werkstuecken mittels elekttrischer Glimmentladung, a. B. zur Nitrierung von Stahlkoerpern |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DED22786A DE1063006B (de) | 1956-04-18 | 1956-04-18 | Elektrisches Entladungsgefaess zur Behandlung von in das Entladungs-gefaess eingebrachten Werkstuecken mittels elekttrischer Glimmentladung, a. B. zur Nitrierung von Stahlkoerpern |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1063006B true DE1063006B (de) | 1959-08-06 |
Family
ID=7037580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DED22786A Pending DE1063006B (de) | 1956-04-18 | 1956-04-18 | Elektrisches Entladungsgefaess zur Behandlung von in das Entladungs-gefaess eingebrachten Werkstuecken mittels elekttrischer Glimmentladung, a. B. zur Nitrierung von Stahlkoerpern |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1063006B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2332336A1 (fr) * | 1975-11-21 | 1977-06-17 | Vide & Traitement Sa | Procede et four pour la realisation de traitements de metaux par bombardement ionique |
FR2337206A1 (fr) * | 1975-12-29 | 1977-07-29 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Appareil de nitruration ionique par decharge luminescente |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE679051C (de) * | 1935-06-26 | 1939-07-27 | Telefunken Gmbh | Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung |
-
1956
- 1956-04-18 DE DED22786A patent/DE1063006B/de active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE679051C (de) * | 1935-06-26 | 1939-07-27 | Telefunken Gmbh | Metallisierung von Isolierkoerpern mit dem Verfahren der Kathodenzerstaeubung bzw. Metallverdampfung |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2332336A1 (fr) * | 1975-11-21 | 1977-06-17 | Vide & Traitement Sa | Procede et four pour la realisation de traitements de metaux par bombardement ionique |
FR2337206A1 (fr) * | 1975-12-29 | 1977-07-29 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Appareil de nitruration ionique par decharge luminescente |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3686735T2 (de) | Hochfrequenzheizapparat mit elektrischem heizgeraet. | |
DE69114605T2 (de) | Beheizbare Walze. | |
DE3237183C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines kornorientierten, elektromagnetischen Stahlbandes oder - bleches | |
DE1063006B (de) | Elektrisches Entladungsgefaess zur Behandlung von in das Entladungs-gefaess eingebrachten Werkstuecken mittels elekttrischer Glimmentladung, a. B. zur Nitrierung von Stahlkoerpern | |
DE3632027C1 (de) | Verfahren und Vakuumbedampfungsanlage zum Metallisieren von Folienoberflaechen | |
EP0423486B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Werkstücken mittels Bogenentladung | |
DE3326514A1 (de) | Hochfrequenzheizgeraet | |
EP1079022A2 (de) | Beheizter Zylinder | |
DE3518808A1 (de) | Beheizbare glaettwerk- und kalanderwalze | |
EP0796934B1 (de) | Beheizte Galette zum Erwärmen synthetischer Fäden | |
DE2753190A1 (de) | Einrichtung zur ionennitrierung | |
DE3601634C2 (de) | Vorrichtung zum Regeln oder Begrenzen der Temperatur von Strahlungs- oder Kontaktheizkörpern | |
DE69617922T2 (de) | Elektrische Heizanordnung und ihr Herstellungsverfahren | |
DE2415152A1 (de) | Kathodenanordnung fuer eine wanderfeldroehre | |
DE60036575T2 (de) | Glühkerze und Verfahren zum Herstellung derselben | |
DE2430653B2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Vakuumaufdampfen eines photoleitfähigen Materials aus mindestens zwei Elementen auf ein Substrat | |
DE69717576T2 (de) | Emittierende Heizungsradiatoranordnung | |
DE2512297A1 (de) | Strahlungsheizelement | |
DE2122657C3 (de) | Entladungsröhre für einen Gaslaser | |
DE1765672C3 (de) | Niederfrequenz-Induktionserhitzer für die Wärmebehandlung von Blöcken aus Eisenwerkstoff | |
DE1564310A1 (de) | Elektronenstrahlerzeuger | |
DE8910492U1 (de) | Infrarot-Strahlungsheizgerät | |
DE707223C (de) | Rohrfoermige, mittelbare geheizte Kathode fuer Mehrfachroehren | |
EP1763592B1 (de) | Befestigungseinheit für zündeinheiten und vorrichtung zur kohlenstoffabscheidung | |
DE648516C (de) | Gleichrichterroehre mit Bogenentladung zwischen einer oder mehreren Anoden und einer Gluehkathode |