DE60318124T2

DE60318124T2 - Einrichtung zur handhabung elektronischer komponenten und verfahren für temperaturanwendung in einer handhabungseinrichtung für elektronische komponenten

Info

Publication number: DE60318124T2
Application number: DE60318124T
Authority: DE
Inventors: Hiroto Nakamura
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2003-06-04
Filing date: 2003-06-04
Publication date: 2008-12-04
Anticipated expiration: 2023-06-05
Also published as: US20060104692A1; TW200503939A; CN1802568A; EP1637892A4; JPWO2004109304A1; EP1637892B1; EP1637892A1; AU2003242036A1; WO2004109304A1; DE60318124D1

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen, wobei die Vorrichtung in der Lage ist, eine Anordnung für elektronische Einrichtungen zu handhaben, wie beispielsweise ein Streifenformat, das eine Mehrzahl von IC-Einrichtungen oder andere elektronische Einrichtungen aufweist, um an der Mehrzahl von elektronischen Einrichtungen in der Anordnung für elektronische Einrichtungen einen Test durchzuführen, sowie ein Verfahren zum Anwenden einer Temperatur in der Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen.
TECHNISCHER HINTERGRUND
Wenn eine elektronische Einrichtung, wie beispielsweise eine IC-Einrichtung, hergestellt wird, wurde herkömmlich eine Einrichtung zum Testen von elektronischen Einrichtungen verwendet, um zu testen, ob die hergestellte elektronische Einrichtung fehlerhaft ist oder nicht, etc. Bei einer derartigen Einrichtung zum Testen von elektronischen Einrichtungen fördert eine Einrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen, die Handhaber genannt wird, elektronische Einrichtungen, bringt jede der jeweiligen elektronischen Einrichtungen mit einem Testkopf bei einer vorgegebenen Temperatur elektrisch in Kontakt, und nachdem ein Test mittels einer Haupttesteinrichtung (Tester) durchgeführt wurde, werden die elektronischen Einrichtungen in Kategorien von einwandfrei und fehlerhaft etc. entsprechend dem Testergebnis eingeordnet.
Bezüglich einer Form der zu testenden elektronischen Einrichtung, welche durch einzelnes Packen jeder elektronischen Einrichtung (einer IC-Einrichtung etc.) für gewöhnlich erhalten wird, wird jedoch, um die Effizienz des Tests zu verbessern, eine Anordnung für elektronische Einrichtungen verwendet, wie beispielsweise ein Streifenformat, das durch Ausformen einer Mehrzahl elektronischer Einrichtungen auf einem Träger oder Band (Bezugnahme auf 2(a)) erhalten wird, und in einigen Fällen getestet.
Nun wird ein Handhaber gemäß dem Stand der Technik zum Testen eines Streifenformats von elektronischen Einrichtungen erläutert. Wie in 5 dargestellt ist, weist ein Handhaber 1P gemäß dem Stand der Technik einen Speicherbereich 11P zum Speichern von Vortest- und Nachtest-Streifenformaten 2, eine Kammer mit konstanter Temperatur 15P zum Anwenden einer vorgegebenen Temperatur auf die Streifenformate 2 einschließlich eines oberen Bereichs des Testkopfs 5, einen Ladeabschnitt 12P zum Senden des Vortest-Streifenformats 2, das in dem Speicherbereich 11P gespeichert ist, zu der Kammer mit konstanter Temperatur 15P, und einem Entladeabschnitt 14P zum Herausnehmen und Klassifizieren des Nachtest-Streifenformats 2, das in der Kammer mit konstanter Temperatur 15P einem Test unterzogen wurde, auf. Es wird darauf hingewiesen, dass die Streifenformate 2 in dem Speicherbereich 11P in einem Zustand gespeichert werden, in dem sie in einem Magazin 3 gehalten werden, das in der Lage ist, eine Mehrzahl von Streifenformaten 2 zu halten, indem diese gestapelt werden.
Die Vortest-Streifenformate 2 werden einzeln in den Ladeabschnitt 12P herausgenommen und zu der Kammer mit konstanter Temperatur 15P gefördert. Nachdem sie in der Kammer mit konstanter Temperatur 15P für eine vorgegebene Zeit verbleiben, bis eine vorgegebene Temperatur erreicht ist, werden die Streifenformate 2 gegen den Testkopf 5 gedrückt und getestet. Wenn der Test zu Ende ist, werden die Nachtest-Streifenformate 2 in vorgegebene Magazine 3 geladen und in dem Entladeabschnitt 14P entsprechend den Testergebnissen in Kategorien klassifiziert, wie beispielsweise in einwandfreie und fehlerhafte.
Bei dem Handhaber 1P gemäß dem Stand der Technik wird, damit die Streifenformate effektiv in der Kammer mit konstanter Temperatur 15P verbleiben, eine Mehrzahl von Streifenformaten 2 schrittweise in einem beabstandeten Zustand, bei dem vorgegebene Intervalle verbleiben und in dem sie nicht miteinander in Kontakt kommen, zugeführt, um in der Kammer mit konstanter Temperatur 15P zu verbleiben. Damit die Streifenformate 2 als solche verbleiben, wird die Kammer mit konstanter Temperatur 15P groß, und die Einrichtung zum schrittweisen Zuführen von Streifenformaten 2 wie oben angegeben erfordert eine komplizierte Gestaltung. Des Weiteren wird, da die Streifenformate in einem ungeschützten Zustand gehandhabt werden, die Wartung im Fall von Störungen schwierig.
In US 2002/0149389 wird eine Einrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen beschrieben, wie sie in den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 7 offen bart sind. Sie weist eine Eingangsablage-Einbrennplatte auf, die eine Mehrzahl von elektronischen Kontakten aufweist, die auf einer Schnittstellenfläche zum Errichten einer elektrischen Verbindung durch Zusammenwirken mit einer oder mehreren Verarbeitungsablagen, zwischen den Anschlüssen der Einrichtungen in Form von integrierten Schaltungen (IC) und einem Tester. Ein oder mehrere Eingangsablage-Einbrennplatten können jeweils mit mindestens einer Verarbeitungsablage verbunden werden, so dass eine Mehrzahl von Einrichtungen in Form von integrierten Schaltungen einem Einbrennen oder einem anderen elektrischen Test unterzogen werden können, ohne die Einrichtungen in Form von integrierten Schaltungen von den Verarbeitungsablagen zu entfernen, wodurch die Zeit und die Kosten in Verbindung mit Einrichtungen zum Handhaben von integrierten Schaltungen während der Herstellung reduziert werden können.
In US 5,184,068 wird eine Vorrichtung zum automatischen Vorlegen von elektronischen Einrichtungen an einen Tester zum Testen beschrieben. Eine Mehrzahl von Trägern wird zyklisch in einer geschlossenen Schleife von einem Ladebereich, in dem die elektronischen Einrichtungen auf die Träger geladen werden, durch eine Vortest-Kammer, wie beispielsweise eine "soak"-Kammer, von der Vortest-Kammer zu einer Teststufe, in der die Einrichtungen vorzugsweise von dem Träger angehoben werden, um mit einem Testkopf-Kontakt zum Testen in Kontakt zu kommen, von der Teststufe zu einer Nachtest-Kammer, wie beispielsweise einer "un-soak"-Kammer, durch die Nachtest-Kammer zu einer Entladestufe, wo die elektronischen Einrichtungen von den Trägern entladen werden, und dann von der Entladestufe zurück zur Ladestufe gefördert, um dort einen neuen Satz ungetesteter elektronischer Einrichtungen aufzunehmen.
Die vorliegende Erfindung berücksichtigt die geschilderten Umstände und es ist ihr Ziel, eine Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen sowie ein Temperaturanwendungsverfahren in einer Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen vorzusehen, die geeignet sind, einen Temperaturanwendungs-Bereich zu verkleinern und zu vereinfachen und die Wartung zu verbessern.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen wie in Anspruch 1 definiert vorgesehen.
Mit dem Ausdruck "Fördern zu einem Temperaturanwendungs-Bereich" wird sowohl das "Fördern in den Temperaturanwendungs-Bereich" hinein als auch das "Fördern direkt vor den Temperaturanwendungs-Bereich" bezeichnet.
Bei der Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen gemäß der Erfindung ist, wenn auf eine Anordnung für elektronische Einrichtungen, die in dem Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten wird, eine Temperatur angewendet wird, eine herkömmliche schrittweise Zuführeinrichtung mit einer komplizierten Gestaltung nicht erforderlich, und die Gestaltung des Temperaturanwendungs-Bereichs kann vereinfacht werden. Des Weiteren ist im Vergleich zu einer derartigen schrittweisen Zuführeinrichtung der Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen in der Lage, Anordnungen für elektronische Einrichtungen in engen Abständen zu halten, so dass die Anzahl der Anordnungen für elektronische Einrichtungen pro Volumeneinheit in dem Temperaturanwendungs-Bereich erhöht werden kann und eine Verkleinerung des Temperaturanwendungs-Bereichs erzielt werden kann.
Des Weiteren wird auf die Anordnungen für elektronische Einrichtungen eine Temperatur angewendet, wenn diese in einem Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden und sich nicht in ungeschütztem Zustand befinden, so dass Störungen verringert werden und die Wartbarkeit gut ist.
Andererseits werden mit der Fördereinrichtung nicht die Anordnungen für elektronische Einrichtungen selber gefördert, sondern der Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen, so dass ein Fördern auf einfache Weise und mit einer einfachen Gestaltung möglich ist.
Bei der Erfindung kann der Temperaturanwendungs-Bereich eine vorgegebene Temperatur auf Anordnungen für elektronische Einrichtungen anwenden, die in einem Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden, der von dem Halter-Förderer gefördert wird. Somit ist eine Umladeeinrichtung an einem Einlass des Temperaturanwendungs-Bereichs überflüssig.
Vorzugsweise ist der Temperaturanwendungs-Bereich mit einem Halter-Förderer zum Fördern des Halters für Anordnungen für elektronische Einrichtungen versehen, so dass ein Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen, der von dem Halter-Förderer da hin gefördert wird, den Temperaturanwendungs-Bereich durchläuft und aus dem Temperaturanwendungs-Bereich herausgenommen wird. Somit ist es möglich, den Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen auf sanfte Weise zu halten.
Der Temperaturanwendungs-Bereich kann mit einem Temperaturanwendungs-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen versehen sein, und er kann des Weiteren eine Umladeeinrichtung zum Umladen von Anordnungen für elektronische Einrichtungen aufweisen, die in einem Förderer-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden und von dem Halter-Förderer zu dem Temperaturanwendungs-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gefördert werden.
Somit kann der Temperaturanwendungs-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen vorab auf eine vorgegebene Temperatur eingestellt werden, so dass das Anwenden der Temperatur auf die Anordnungen für elektronische Einrichtungen in einer kurzen Zeit durchgeführt werden kann und die Effizienz des Tests verbessert werden kann.
Der Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen kann einen Öffnungsbereich aufweisen, der in der Lage ist, Anordnungen für elektronische Einrichtungen herein- und herauszulassen, sowie einen Haltebereich für Anordnungen für elektronische Einrichtungen zum Halten einer Mehrzahl von Anordnungen für elektronische Einrichtungen, die von dem Öffnungsbereich mit vorgegebenen Abständen eingeführt sind, und Halteabstände für Anordnungen für elektronische Einrichtungen in dem Förderer für den Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen, und die Halteabstände für die Anordnungen für elektronische Einrichtungen in dem Temperaturanwendungs-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen sind so eingestellt, dass sie im Wesentlichen gleich sind; der Halter-Förderer kann den Förderer-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen zu einer Position fördern, wo ein Öffnungsbereich des Förderer-Halters für Anordnungen für elektronische Einrichtungen einem Öffnungsbereich des Temperaturanwendungs-Halters für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gegenüber liegt; und die Umladeeinrichtung kann Anordnungen für elektronische Einrichtungen, die von dem Förderer-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden, umladen, indem sie zu dem Temperaturanwendungs-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gleiten gelassen werden.
Somit können, da die Anordnungen für elektronische Einrichtungen auf sehr einfache Weise von dem Förderer-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen zu dem Temperaturanwendungs-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen umgeladen werden können, die Anordnungen für elektronische Einrichtungen sehr effizient in den Temperaturanwendungs-Bereich eingebracht werden, verglichen mit dem Fall des einzelnen Ladens einer Anordnung für elektronische Einrichtungen in eine schrittweise Zuführeinrichtung wie im Stand der Technik.
Gemäß der Erfindung kann die Anordnung für elektronische Einrichtungen ein Streifenformat sein, und der Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen kann so ausgestaltet sein, dass er in der Lage ist, eine Mehrzahl von Streifenformaten horizontal mit vorgegebenen Abständen zu halten. Es wird darauf hingewiesen, dass die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt ist, und dass zum Beispiel die Anordnung für elektronische Einrichtungen ein Wafer, eine Ablage, welche eine Mehrzahl elektronischer Vorrichtungen hält, oder insbesondere eine Testablage sein kann, die an dem Testkopf angebracht werden kann und in der Lage ist, darin gehaltene elektronische Einrichtungen mit dem Testkopf elektrisch in Kontakt zu bringen.
Mit einem zweiten Gegenstand gemäß der Erfindung wird ein Verfahren zum Anwenden einer vorgegebenen Temperatur auf eine Anordnung für elektronische Einrichtungen in einer Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen, die in der Lage ist, eine Anordnung für elektronische Einrichtungen zu handhaben, um die elektronischen Einrichtungen der Anordnung für elektronische Einrichtungen zu testen, gemäß Anspruch 6 vorgesehen.
Gemäß diesem zweiten Gegenstand der Erfindung ist eine herkömmliche schrittweise Zuführeinrichtung mit einer komplizierten Gestaltung nicht erforderlich und die Gestaltung des Temperaturanwendungs-Bereichs kann vereinfacht werden. Des Weiteren ist, ebenfalls im Vergleich zu einer derartigen schrittweisen Zuführeinrichtung, der Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen in der Lage, Anordnungen für elektronische Einrichtungen mit engen Abständen zu halten, so dass die Anzahl an Anordnungen für elektronische Einrichtungen pro Volumeneinheit in dem Temperaturanwendungs-Bereich erhöht werden kann und eine Verkleinerung des Temperaturanwendungs-Bereichs erzielt werden kann.
Des Weiteren wird die Temperatur auf die Anordnungen für elektronische Einrichtungen in einem Zustand angewendet, in dem sie in dem Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden, und nicht in einem ungeschützten Zustand, so dass Störungen reduziert werden und die Wartbarkeit gut ist.
Bezüglich des Förderns kann statt der Anordnungen für elektronische Einrichtungen selber der Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gefördert werden, so dass es möglich ist, die Fördereinrichtung zu vereinfachen und auf einfache Weise zu fördern.
Die von dem Förderer-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehaltenen und zu dem Temperaturanwendungs-Bereich geförderten Anordnungen für elektronische Einrichtungen können in einen Temperaturanwendungs-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen umgeladen werden, der an dem Temperaturanwendungs-Bereich vorgesehen ist, und eine vorgegebene Temperatur kann auf die von dem Temperaturanwendungs-Halter gehaltenen Anordnungen für elektronische Einrichtungen angewendet werden.
Der Temperaturanwendungs-Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen kann vorab auf eine vorgegebene Temperatur einstellt werden, so dass die Temperaturanwendung auf die Anordnungen für elektronische Einrichtungen in einer kurzen Zeit durchgeführt werden kann und die Testeffizienz verbessert werden kann.
Es wird darauf hingewiesen, dass gemäß dem zweiten Gegenstand der vorliegenden Erfindung eine vorgegebene Temperatur auf die in dem Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehaltenen Anordnungen für elektronische Einrichtungen, die zu dem Temperaturanwendungs-Bereich gefördert wurden, angewendet werden kann. Aufgrund dieser Tatsache wird ein Umladeschritt am Einlass des Temperaturanwendungs-Bereichs unnötig.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGSFIGUREN
1 ist eine seitliche Gesamtansicht einer Vorrichtung zum Testen einer elektronischen Einrichtung einschließlich eines Handhabers gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2(a) ist eine perspektivische Ansicht, in der ein Beispiel eines Streifenformats dargestellt ist, und 2(b) ist eine perspektivische Ansicht, in der ein Beispiel eines Magazins dargestellt ist.
3 ist eine schematische perspektivische Ansicht zur Erklärung der Handhabung von Magazinen und Streifenformaten bei einem Handhaber gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
4 ist eine schematische perspektivische Ansicht zur Erklärung der Handhabung von Magazinen und Streifenformaten bei einem Handhaber gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
5 ist eine schematische perspektivische Ansicht zur Erklärung der Handhabung von Magazinen und Streifenformaten bei einem Handhaber gemäß dem Stand der Technik.
BESTE ART UND WEISE ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Untenstehend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung basierend auf den Zeichnungsfiguren erläutert.
Erste Ausführungsform
Zunächst wird eine Gesamtgestaltung der Vorrichtung zum Testen elektronischer Einrichtungen, die mit einer Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen (nachstehend als "Handhaber" bezeichnet) versehen ist, gemäß der ersten Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung erläutert. Wie in 1 dargestellt ist, weist eine Vorrichtung 10 zum Testen elektronischer Einrichtungen einen Handhaber 1, einen Testkopf 5 und eine Haupttesteinrichtung 6 auf. Der Handhaber 1 führt einen Vorgang des aufeinanderfolgenden Förderns von zu testenden elektronischen Einrichtungen zu Sockeln, die an dem Testkopf 5 vorgesehen sind, durch, wobei die elektronischen Vorrichtungen, für die der Test beendet ist, entsprechend der Testergebnisse klassifiziert werden und in vorgegebenen Haltern gespeichert werden.
Die an dem Testkopf 5 vorgesehenen Sockel werden mittels eines Kabels 7 mit der Haupttestvorrichtung 6 elektrisch verbunden, verbindet die an den Sockeln entfernbar angebrachten elektronischen Einrichtungen über das Kabel 7 mit der Haupttestvorrichtung 6 und führt einen Test an den elektronischen Einrichtungen mittels eines elektrischen Testsignals von der Haupttestvorrichtung 6 durch.
In dem unteren Bereich des Handhabers 1 ist eine Steuereinrichtung hauptsächlich zum Steuern des Handhabers 1 enthalten, und ein Raum 8 ist an einem Teil davon vorgesehen. Der Testkopf 5 ist auf frei ersetzbare Weise in dem Raum 8 angeordnet, und elektronische Einrichtungen können auf Sockeln auf dem Testkopf 5 über ein an dem Handhaber 1 gebildetes Durchgangsloch angebracht werden.
Es wird darauf hingewiesen, dass bei der vorliegenden Ausführungsform ein Streifenformat 2 wie in 2(a) dargestellt getestet wird und das Streifenformat 2 in dem Magazin 3 wie in 2(b) dargestellt gehalten wird
Das Streifenformat weist, wie in 2(a) dargestellt ist, einen Träger (oder ein Band) 21 und eine Mehrzahl von elektronischen Einrichtungen 22, wie beispielsweise IC-Einrichtungen, auf, die auf dem Träger 21 ausgeformt sind. Da externe Anschlüsse der elektronischen Vorrichtungen 22 auf der unteren Fläche des Trägers 21 auf dem Streifenformat 2 ungeschützt sind, können die elektronischen Einrichtungen 22 in einem Zustand auf dem Streifenformat 2 getestet werden.
Das Magazin 3 ist im Ganzen als ein quadratischer Zylinder ausgeformt, wie in 2(b) dargestellt ist, und weist Öffnungsbereiche 31 und 31 auf, die in der Lage sind, die Streifenformate 2 einzulassen und auszulassen, sowie eine Mehrzahl konvexer Vorsprünge 32, die bei vorgegebenen Abständen horizontal an den inneren Seitenwänden ausgeformt sind. Die Mehrzahl von konvexen Vorsprüngen 32 bildet einen Streifenformat-Haltebereich 33. Der Streifenformat-Haltebereich 33 hält eine Mehrzahl von Streifenformaten 2, die von der Öffnung 31 horizontal bei vorgegebenen Abständen eingeführt sind.
Der Handhaber 1 weist, wie in 3 dargestellt ist, einen Speicherbereich 11, einen Ladebereich 12, einen Sammelabschnitt 13 für leere Magazine, einen Entladebereich 14 und eine Kammer mit konstanter Temperatur 15 auf.
In dem Speicherbereich 11 werden Magazine 3, die Vortest-Streifenformate 2 halten, leere Magazine 3 und Magazine 3, die Nachtest-Streifenformate 2 halten, gespeichert. Der Speicherbereich 11 ist mit einer Fördereinrichtung zum Fördern von Magazinen 3 in Richtung der Y-Achse und einem Aufzug zum Aufwärts- und Abwärtsbewegen der Magazine 3 in Richtung der Z-Achse (nicht dargestellt) versehen.
Der Ladeabschnitt 12 ist ein Bereich zum Senden der Magazine 3, die Vortest-Streifenformate 2 halten, von dem Speicherbereich 11 in die Kammer mit konstanter Temperatur 15 und ist mit einer Fördereinrichtung zum Fördern der Magazine 3 in Richtung der Y-Achse und der Richtung der Y-Achse (nicht dargestellt) versehen.
Der Sammelbereich 13 für leere Magazine ist ein Bereich zum Sammeln von leeren Magazinen 3 aus der Kammer mit konstanter Temperatur 15 und um diese in den Speicherbereich 11 zurückzubringen und ist mit einer Fördereinrichtung versehen, um die Magazine 3 in Richtung der Y-Achse (nicht dargestellt) zu fördern.
Der Entladeabschnitt 14 ist ein Bereich zum Herausnehmen und Klassifizieren von Nachtest-Streifenformaten 2, die in der Kammer mit konstanter Temperatur 15 einem Test unterzogen wurden, und ist mit einer Fördereinrichtung zum Fördern der Streifenformate 2 in Richtung der X-Achse und in Richtung der Y-Achse und Einführen in vorgeschriebene Magazine 3 (nicht dargestellt) versehen.
Die Kammer mit konstanter Temperatur 15 ist ein Bereich zum Anwenden einer vorgegebenen Temperatur (hohe Temperatur oder niedrige Temperatur) auf die Streifenformate 2 und Durchführen eines Tests an den Streifenformaten 2 und ist so gestaltet, dass sie einen oberen Bereich auf dem Testkopf 5 beinhaltet. In der Kammer mit konstanter Temperatur 15 ist eine Fördereinrichtung zum Herausnehmen der Streifenformate 2 aus dem Magazin 3 und um diese nach oberhalb des Testkopfs 5 zu fördern vorgesehen (nicht dargestellt). Die Kammer mit konstanter Temperatur 15 ist bei der vorliegenden Ausführungsform mit einem Magazineinlass an einem Endbereich in Richtung der X-Achse (auf der linken Seite in 3), einem Streifenformat-Auslass an dem anderen Endbereich in Richtung der X-Achse (auf der rechten Seite in 3) und einem Magazinauslass an dem vorderen Bereich (Vorderseite in 3) versehen.
Die Fördereinrichtungen zum Fördern der Magazine 3 können beliebiger Art sein und beispielsweise Fördereinrichtungen unter Verwendung eines Bandes, das in der Lage ist, die Magazine 3 zu laden und zu bewegen, wobei diese verwendet werden können, die durch Kombinieren einer Schiene und eines Ladeelements erhalten werden, das geeignet ist, sich auf der Schiene zu bewegen, oder Armen, die in der Lage sind, die Magazine 3 zu halten und zu bewegen, etc.
Die Fördereinrichtungen zum Fördern der Streifenformate sind ebenfalls nicht besonders eingeschränkt, und zum Beispiel kann eine Fördereinrichtung unter Verwendung von Armen, die in der Lage sind, die Streifenformate 2 zu halten und zu bewegen, und eine Fördereinrichtung, die in der Lage ist, die Streifenformate 2 zu halten, indem sie angesaugt werden, und sie dann zu bewegen, etc., verwendet werden.
Bei dem oben genannten Handhaber 1 bewegen sich die Magazine 3, die eine Mehrzahl von Vortest-Streifenformaten 2 halten, in Richtung der Y-Achse und nach oben in Richtung der Z-Achse in dem Speicherbereich 11 und positionieren sich an dem Ladeabschnitt 12. Dann bewegen sich die Magazine 3 in Richtung der Y-Achse und in Richtung der X-Achse in dem Ladebereich 12, um so von dem Magazineinlass der Kammer mit konstanter Temperatur 15 in die Kammer mit konstanter Temperatur 15 eingebracht zu werden.
Nachdem sie in der Kammer mit konstanter Temperatur 15 eine vorgegebene Zeit verweilen, bis die geladenen Streifenformate 2 eine vorgegebene Temperatur erreichen, bewegen sich die Magazine 3 in Richtung der Y-Achse um ungefähr eine Magazinlänge. Die in den Magazinen 3 gehaltenen Streifenformate 2 werden nach und nach aus den Magazinen 3 herausgenommen und nach oberhalb der Testköpfe 5 gefördert und gegen die Sockel der Testköpfe 5 gedrückt. Ein elektrisches Testsignal wird von der Haupttesteinrichtung 6 zu den elektronischen Einrichtungen 22 der Streifenformate 2, die an den Sockel angebracht sind, gesendet, so dass der Test durchgeführt wird.
Wenn der Test beendet ist, werden die Streifenformate 2 aus dem Streifenformat-Auslass der Kammer mit konstanter Temperatur 15 herausgenommen, in Richtung der Y-Achse und in Richtung der X-Achse in dem Entladeabschnitt 14 bewegt und in vorgegebene Magazine 3 eingeführt, um entsprechend den Testergebnissen in Kategorien einwandfrei, fehlerhaft und einen neuen Test erfordernd klassifiziert zu werden. Leere Magazine 3 zum Halten der Nachtest-Streifenformate 2 bewegen sich in Richtung der Z-Achse von dem Speicherbereich 11 und positionieren sich an dem Entladeabschnitt 14. Zu dieser Zeit bewegen sich die leeren Magazine 3 in Richtung der Z-Achse um jeweils einen Abstand, so dass sich die höchste Ebene der leeren Ebenen in dem Haltebereich 33 für Streifenformate an einer konstanten Position positionieren. Mit Nachtest-Streifenformaten 2 gefüllte Magazine 3 werden aus dem Handhaber 1 heraus genommen.
Wenn andererseits alle in den Magazinen 3 gehaltenen Streifenformate 2 herausgenommen werden, werden die Magazine 3 in der Kammer mit konstanter Temperatur 15 aus dem Magazinauslass der Kammer mit konstanter Temperatur 15 herausgenommen, in Richtung der Y-Achse in dem Sammelbereich 13 für leere Magazine bewegt und in dem Speicherbereich 11 gespeichert. Die gespeicherten leeren Magazine 3 können verwendet werden, um die nächsten Vortest-Streifenformate 2 zu halten, oder werden in Richtung der X-Achse zu der Seite des Entladebereichs 14 in dem Speicherbereich 11 zum Halten von Nachtest-Streifenformaten bewegt.
Bei dem oben genannten Handhaber 1 ist es, wenn die Streifenformate 2 in die Kammer mit konstanter Temperatur 15 eingebracht werden, nicht erforderlich, die Streifenformate 2 einzeln aus einem Magazin 3 herauszunehmen, um diese einer schrittweisen Zuführeinrichtung wie im Stand der Technik zu laden, und es ist möglich, eine Temperatur auf eine große Anzahl von Streifenformaten 2 gleichzeitig anzuwenden. Ebenfalls ist für den oben genannten Handhaber 1 eine schrittweise Zuführeinrichtung, die eine komplizierte Gestaltung erfordert, nicht nötig, so dass die Gestaltung innerhalb und außerhalb der Kammer mit konstanter Temperatur 15 vereinfacht werden kann und Abstände des Haltebereichs 33 für Streifenformate des Magazins 3 auf einfache Weise verengt werden können. Als Ergebnis kann die Anzahl an Streifenformaten 2 pro Volumeneinheit in der Kammer mit konstanter Temperatur 15 erhöht werden und eine Verkleinerung der Kammer mit konstanter Temperatur 15 kann erhalten werden.
Des Weiteren wird auf die Streifenformate 2 eine Temperatur in einem Zustand angewendet, in dem sie in der Kammer mit konstanter Temperatur 15 in dem Magazin 3 untergebracht sind und nicht in ungeschütztem Zustand sind, so dass Störungen verringert werden und die Wartbarkeit gut ist.
Zweite Ausführungsform
Als Nächstes wird ein Handhaber gemäß einer zweiten Ausführungsform erläutert. Wie in 4 dargestellt ist, weist ein Handhaber 1' gemäß einer zweiten Ausführungsform ebenso wie der Handhaber 1 gemäß der ersten Ausführungsform einen Speicherbereich 11, einen Ladeabschnitt 12', einen Sammelabschnitt 13' für leere Magazine, einen Entladeabschnitt 14 und eine Kammer mit gleichbleibender Temperatur 15' auf.
Der Speicherbereich 11, der Entladeabschnitt 14 und die Kammer mit konstanter Temperatur 15' weisen in etwa die gleichen Gestaltungen wie bei dem Handhaber 1 gemäß der ersten Ausführungsform auf, aber die Kammer mit konstanter Temperatur 15' ist an einem Endbereich in Richtung der X-Achse (auf der linken Seite in 4) mit einem Streifenformat-Einlass und and dem anderen Endbereich in Richtung der X-Achse (auf der rechten Seite in 4) mit einem Streifenformat-Auslass versehen, und die Temperaturanwendungs-Magazine 3' werden vorab nahe dem Streifenformat-Einlass innerhalb der Kammer mit konstanter Temperatur 15' vorgesehen. Die Temperaturanwendungs-Magazine 3' haben die gleiche Gestaltung wie die Magazine 3 zum Halten und Fördern der Streifenformate 2, so dass die Abstände des Format-Haltebereichs 33 bei beiden gleich sind. Bei der vorliegenden Ausführungsform werden zwei Temperaturanwendungs-Magazine 3' parallel vorgesehen.
Der Ladeabschnitt 12' ist ein Bereich zum Bewegen von Magazinen 3, die Vortest-Streifenformate 2 halten, von dem Speicherbereich 11 bis direkt vor die Kammer mit konstanter Temperatur 15' und zum Umladen von Streifenformaten 2, die in Magazinen 3 gehalten werden, in die Temperaturanwendungs-Magazine 3' in der Kammer mit konstanter Temperatur 15' und ist mit einer Fördereinrichtung zum Fördern der Magazine 3 in Richtung der Y-Achse und einer Umladeeinrichtung (nicht dargestellt) zum Umladen der Streifenformate 2 von den Magazinen 3 in die Temperaturanwendungs-Magazine 3' versehen. Die Umladeeinrichtung ist nicht besonders eingeschränkt, und es kann zum Beispiel eine Einrichtung verwendet werden, die in der Lage ist, eins oder eine Mehrzahl von Streifenformaten 2, die in einem Magazin 3 verwendet werden, zum Gleiten herauszustoßen, etc..
Der Sammelbereich 13' für leere Magazine ist ein Bereich zum Sammeln leerer Magazine 3 von direkt vor der Kammer mit konstanter Temperatur 15 und um diese zu dem Speicherbereich 11 zurückzubringen und ist mit einer Fördereinrichtung zum Fördern von Magazinen 3 in Richtung der Y-Achse (nicht dargestellt) versehen.
Bei dem oben genannten Handhaber 1' bewegt sich ein Magazin, das eine Mehrzahl von Vortest-Streifenformaten 2 hält, von dem Speicherbereich 11 zu dem Ladeabschnitt 12', bewegt sich in Richtung der Y-Achse in dem Ladeabschnitt 12' und bewegt sich direkt vor die Kammer mit konstanter Temperatur 15'. Zu dieser Zeit bewegt sich das Magazin 3 direkt vor der Kammer mit konstanter Temperatur 15' auf der Seite, wo ein leeres Temperaturanwendungs-Magazin 3' von den beiden Temperaturanwendungs-Magazinen 3', die in der Kammer mit konstanter Temperatur 15' parallel zueinander sind, positioniert ist, und ein Öffnungsbereich 31 des Magazins 3 und ein Öffnungsbereich 31 des Temperaturanwendungs-Magazins 3' sind so miteinander ausgerichtet, dass sie sich gegenüber liegen. Es wird darauf hingewiesen, dass aus dem nicht leeren Temperaturanwendungs-Magazin 3' Streifenformate 2 nach und nach herausgenommen und nach oberhalb des Testkopfs 5 gefördert 33 werden.
In dem Magazin 3 gehaltene Streifenformate 2 werden von einer Umladeeinrichtung in das Temperaturanwendungs-Magazin 3' umgeladen. Hier sind die Abstände der Streifenformat-Haltebereiche die gleichen wie bei dem Magazin 3 und dem Temperaturanwendungs-Magazin 3', und die beiden sind so miteinander ausgerichtet, dass die in dem Magazin 3 gehaltenen Streifenformate 2 in das Temperaturanwendungs-Magazin 3' nur durch Gleiten umgeladen werden können. Des Weiteren ist es möglich, eine Mehrzahl von Streifenformaten 2 gleichzeitig umzuladen, indem diese in das Temperaturanwendungs-Magazin 3' gleiten.
Nachdem die Streifenformate 2 für eine vorgegebene Zeit in der Kammer mit konstanter Temperatur 15' verbleiben, bis sie in das Temperaturanwendungs-Magazin 3' umgeladen werden, erreichen sie eine vorgegebene Temperatur, werden nach und nach aus den Temperaturanwendungs-Magazinen 3' herausgenommen, nach oberhalb des Testkopfs 5 gefördert und gegen die Sockel des Testkopfs 5 gedrückt. Ein elektrisches Testsignal wird von der Haupttesteinrichtung 6 zu den elektronischen Einrichtungen 22 der an den Sockeln angebrachten Streifenformate 2 gesendet, so dass der Test durchgeführt wird. Die Handhabung der Nachtest-Streifenformate 2 ist genauso wie bei dem Handhaber 1 gemäß der ersten Ausführungsform.
Wenn andererseits alle geladenen Streifenformate 2 herausgenommen wurden, bewegt sich das Magazin 3, welches sich direkt vor der Kammer mit konstanter Temperatur 15' befindet, nach unten in Richtung der Z-Achse in dem Sammelbereich 13' für leere Magazine, bewegt sich dann in Richtung der Y-Achse und wird in dem Speicherbereich 11 gespeichert. Das in dem Sammelbereich 13' für leere Magazine gespeicherte leere Magazin 3 kann dann zum Halten der nächsten Vortest-Streifenformate 2 verwendet werden oder kann zu der Seite des Entladeabschnitts 14 in Richtung der X-Achse in dem Speicherbereich 11 bewegt werden, um Nachtest-Streifenformate 2 zu halten.
Da bei dem oben genannten Handhaber 1' eine schrittweise Zuführeinrichtung mit einer komplizierten Gestaltung nicht erforderlich ist, kann die Gestaltung in der Kammer mit konstanter Temperatur 15' vereinfacht werden, und die Abstände des Streifenformat-Haltebereiches 33 des Temperaturanwendungs-Magazins 3' können auf einfache Weise verengt werden. Somit kann die Anzahl an Streifenformaten 2 pro Volumeneinheit in der Kammer mit konstanter Temperatur 15' erhöht werden und eine Verkleinerung der Kammer mit konstanter Temperatur 15' erhalten werden.
Des Weiteren wird auf die Streifenformate 2 eine Temperatur in einem Zustand angewendet, in dem sie in der Kammer mit konstanter Temperatur 15' in dem Temperaturanwendungs-Magazin 3' untergebracht sind und nicht in ungeschütztem Zustand sind, so dass Störungen verringert werden und die Wartbarkeit gut ist.
Des Weiteren sind bei dem oben genannten Handhaber 1' die Temperaturanwendungs-Magazine 3' in der Kammer mit konstanter Temperatur 15' vorgesehen, und die Temperatur der Temperaturanwendungs-Magazine 3' ist bereits die vorgegebene Temperatur, so dass die Temperaturanwendung auf die Streifenformate 2 im Vergleich zu jener des Handhabers 1 gemäß der ersten Ausführungsform in einer kurzen Zeit durchgeführt werden, und die Testeffizienz kann verbessert werden.
Es wird darauf hingewiesen, dass, da die Streifenformate 2 auf sehr einfache Weise aus dem Magazin 3 in das Temperaturanwendungs-Magazin 3' in einer kurzen Zeit umgeladen werden können, wie oben beschrieben, die Streifenformate 2 auf sehr effiziente Weise in das Innere der Kammer mit konstanter Temperatur 15' eingebracht werden können, verglichen mit dem Fall des einzelnen Ladens der Streifenformate 2 in eine schrittweise Zuführeinrichtung wie im Stand der Technik.
Die oben erläuterten Ausführungsformen wurden zum leichteren Verständnis der vorliegenden Erfindung beschrieben und dienen nicht dazu, die Erfindung einzuschränken. Demgemäß beinhalten die in den oben genannten Ausführungsformen offenbarten jeweiligen Elemente alle Gestaltungsmodifikationen und Äquivalente, die in den technischen Schutzbereich der vorliegenden Erfindung fallen.
Zum Beispiel kann bei den oben genannten Handhabern 1 und 1' nahe der Kammer mit konstanter Temperatur 15 und 15' eine un-soak-Kammer vorgesehen werden. In der un-soak-Kammer können die Streifenformate 2 durch Ventilation abgekühlt werden, um auf Raumtemperatur zurückzukehren, wenn in der Kammer mit konstanter Temperatur 15 und 15' eine hohe Temperatur angewendet wird, oder die Streifenformate 2 können durch heiße Luft oder einen Heizer etc. erwärmt werden, um zu einer Temperatur bei einer Gradzahl zurückzukehren, bei der keine Kondensation auftritt, wenn in der Kammer mit konstanter Temperatur 15 und 15' eine niedrige Temperatur angewendet wird.
Des Weiteren können die oben genannten Handhaber 1 und 1' Testablagen handhaben, die eine Mehrzahl von IC-Einrichtungen tragen, statt der Streifenformate 2.
Industrielle Anwendbarkeit
Wie oben erläutert, kann gemäß der Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen oder dem Temperaturanwendungsverfahren auf eine Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung der Temperaturanwendungs-Bereich in der Größe verkleinert und vereinfacht werden, und die Wartbarkeit kann verbessert werden. Insbesondere ist die vorliegende Erfindung nützlich, um eine kompakte und einfache Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen mit einer guten Wartbarkeit zu erhalten.

Claims

Vorrichtung (1) zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen, wobei die Vorrichtung in der Lage ist, eine Anordnung für elektronische Einrichtungen zum Testen elektronischer Einrichtungen (22) der Anordnung (2) für elektronische Einrichtungen zu handhaben, wobei die Vorrichtung aufweist: – einen Speicherbereich (11), der in der Lage ist, einen Halter (3) für eine Anordnung für elektronische Einrichtungen zu speichern, wobei der Halter in der Lage ist, eine Mehrzahl von Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen zu halten; – einen Temperatur-Anwendungsbereich (15), der in der Lage ist, eine vorgegebene Temperatur auf Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen anzuwenden, die in dem Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden; und – einen Halter-Förderer, der in der Lage ist, den Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen von dem Speicherbereich (11) zu dem Temperatur-Anwendungsbereich (15) zu fördern; wobei der Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen im Ganzen als ein quadratischer Zylinder geformt ist und Öffnungsbereiche (31) aufweist, die in der Lage sind, die Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen einzulassen und auszulassen; dadurch gekennzeichnet, dass: – der Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen eine Mehrzahl von konvexen Vorsprüngen (32) hat, die bei einem vorgegebenen Abstand horizontal an den inneren Seitenwänden ausgeformt sind, und die Mehrzahl von konvexen Vorsprüngen (32) eine Mehrzahl von Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen halten, die von der Öffnung (31) horizontal bei dem vorgegebenen Abstand eingeführt sind.
Vorrichtung (1) zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen nach Anspruch 1, wobei der Temperatur-Anwendungsbereich (15) mit einem Halter-Förderer zum Fördern des Halters (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen verse hen ist, so dass ein Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen, der durch den Halter-Förderer da hin gefördert wird, durch den Temperatur-Anwendungsbereich (15) durchläuft und aus dem Temperatur-Anwendungsbereich (15) herausgenommen wird.
Vorrichtung (1) zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen nach Anspruch 1, wobei der Temperatur-Anwendungsbereich (15) mit einem Temperaturanwendungs-Halter (3') für Anordnungen für elektronische Einrichtungen versehen ist, weiterhin aufweisend eine Umladeeinrichtung zum Umladen von Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen, die in einem Förderer-Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden, gefördert durch den Halter-Förderer zu dem Temperaturanwendungs-Halter (3') für Anordnungen für elektronische Einrichtungen.
Vorrichtung (1) zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen nach Anspruch 3, wobei – der Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen einen Öffnungsbereich (31) aufweist, der in der Lage ist, Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen einzulassen und auszulassen, und einen Haltebereich (33) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen zum Halten einer Mehrzahl von Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen, die von dem Öffnungsbereich (31) bei dem vorgegebenen Abstand eingeführt sind, aufweist und wobei der Halteabstand für Anordnungen für elektronische Einrichtungen in dem Förderer-Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen und der Halteabstand für Anordnungen für elektronische Einrichtungen in dem Temperaturanwendungs-Halter (3') für Anordnungen für elektronische Einrichtungen eingerichtet sind, im Wesentlichen gleich zu sein; – der Halter-Förderer den Förderer-Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen zu einer Position fördert, wo ein Öffnungsbereich (31) des Förderer-Halters (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen einem Öffnungsbereich (31) des Temperaturanwendungs-Halters (3') für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gegenüber liegt; und – die Umladeeinrichtung Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen umlädt, die von dem Förderer-Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden, indem sie zu dem Temperaturanwendungs-Halter (3') für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gleiten gelassen werden.
Vorrichtung (1) zum Handhaben von elektronischen Einrichtungen nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Anordnung (2) für elektronische Einrichtungen ein Streifenformat ist und der Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen ausgestaltet ist, in der Lage zu sein, eine Mehrzahl von Streifenformaten horizontal bei dem vorgegebenen Abstand zu halten.
Temperaturanwendungsverfahren zum Anwenden einer vorgegebenen Temperatur auf eine Anordnung (2) für elektronische Einrichtungen in einer Vorrichtung (1) zum Handhaben für elektronische Einrichtungen, die in der Lage ist, eine Anordnung (2) für elektronische Einrichtungen zum Testen für elektronische Einrichtungen (22) der Anordnung (2) für elektronische Einrichtungen zu handhaben, wobei das Verfahren die Schritte aufweist: – Einführen von Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen in einen Öffnungsbereich (31) eines Halters (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen, der im Ganzen als ein quadratischer Zylinder geformt ist und Öffnungsbereiche (31) hat, die in der Lage sind, die Anordnung (2) für elektronische Einrichtungen einzulassen und auszulassen; – Fördern des Halters (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen, der die Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen hält, zu einem Temperaturanwendungs-Bereich (15); und – Anwenden einer vorgegebenen Temperatur auf die Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen, die in einem Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden; dadurch gekennzeichnet, dass: – der Halter für Anordnungen für elektronische Einrichtungen eine Mehrzahl von konvexen Vorsprüngen (32) hat, die horizontal bei einem vorgegebenen Abstand an den inneren Seitenwänden geformt sind; und – das Temperaturanwendungsverfahren den Schritt aufweist, die Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen durch die Mehrzahl von konvexen Vorsprüngen (32) horizontal bei dem vorgegebenen Abstand zu halten.
Temperaturanwendungsverfahren in einer Vorrichtung (1) zum Handhaben für elektronische Einrichtungen nach Anspruch 6, wobei Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen, die von dem Förderer-Halter (3) für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden, gefördert zu dem Temperaturanwendungs-Bereich (15), in einen Temperaturanwendungs-Halter (3') für Anordnungen für elektronische Einrichtungen umgeladen werden, der für den Temperaturanwendungs-Bereich (15) bereitgestellt ist, und eine vorgegebene Temperatur wird auf die Anordnungen (2) für elektronische Einrichtungen, die von dem Temperaturanwendungs-Halter (3') für Anordnungen für elektronische Einrichtungen gehalten werden, angewendet.