DE60312406D1 - Apparat und Verfahren zur Messung von optischen Eigenschaften eines diffraktiven optischen Elements - Google Patents
Apparat und Verfahren zur Messung von optischen Eigenschaften eines diffraktiven optischen ElementsInfo
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US5476738A (en) * | 1994-05-12 | 1995-12-19 | International Business Machines Corporation | Photolithographic dose determination by diffraction of latent image grating |
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US6097488A (en) * | 1998-06-22 | 2000-08-01 | Princeton University | Method and apparatus for measuring micro structures, anisotropy and birefringence in polymers using laser scattered light |
SG74157A1 (en) * | 1998-07-27 | 2000-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method and apparatus for evaluating aberrations of optical element for use with optical device |
US6195169B1 (en) * | 1998-10-21 | 2001-02-27 | The Regents Of The University Of California | Phase-shifting point diffraction interferometer grating designs |
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