DE102004042337A1

DE102004042337A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Homogenisieren von Laserstrahlung sowie eine Laseranlage unter Verwendung einer solchen Vorrichtung und eines solchen Verfahrens

Info

Publication number: DE102004042337A1
Application number: DE102004042337A
Authority: DE
Inventors: Berthold Dr. Burghardt; Henning Dr. Schmidt; Peter Dr. Oesterlin; Klaus Brunwinkel
Original assignee: Innovavent GmbH
Current assignee: Innovavent GmbH
Priority date: 2004-09-01
Filing date: 2004-09-01
Publication date: 2006-03-30
Also published as: US20060062127A1; JP2006074041A

Abstract

Eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Homogenisieren von Laserstrahlung mit einem Homogenisierer sehen vor, dass die relative Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer oder eine Wirkung des Homogenisierers gemessen werden, um in Abhängigkeit von dem Messsignal die genannte relative Lage und/oder Richtung einzustellen.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Homogenisieren von Laserstrahlung sowie eine Laseranlage, in der eine solche Vorrichtung oder ein solches Verfahren eingesetzt werden.

Die Bearbeitung von Oberflächen von Werkstücken mit Lasern erfordert in der Regel ein großflächiges Beleuchten der Oberfläche mit dem Laserstrahl. Dabei können Wirkungen erzielt werden wie z.B. Reinigen (in der Halbleiterindustrie angewendet), es können chemische Reaktionen mit Umgebungsgas initiiert werden, oder es können Oberflächenveränderungen durch Aufschmelzen und wieder Erstarren hervorgerufen werden. Dazu gehören z.B. das Härten von Metalloberflächen und insbesondere das Kristallisieren von amorphen Siliziumschichten. Es können kontinuierliche oder gepulste Laser eingesetzt werden, je nachdem, mit welchem Lasertyp die beste Wirkung erzielt wird.

Wichtige Parameter sind:

– die Wellenlänge der Laserstrahlung (sie bestimmt die Absorption und damit die Eindringtiefe des Lichts in das Material)
– die Intensität oder Leistungsdichte (sie bestimmt die Wirkung, wie z.B. Aufheizen oder Schmelzen)
– die Zeitdauer der Einwirkung des Laserstrahls (sie bestimmt, wie lange die Oberflächenschicht erwärmt oder flüssig gehalten wird und wie weit die Wärme durch Wärmeleitung in nicht bestrahlte oder tiefere Bereiche eindringt)

Die Wellenlänge muss an die Absorption des Materials angepasst sein, das bearbeitet werden soll. Da es sich um oberflächliche Veränderungen handelt, muss das Laserlicht in einer dünnen Schicht absorbiert werden. Für jedes Material muss die Wellenlänge des Lasers so ausgesucht werden, dass die Strahlung nicht tiefer eindringen kann als die Schichtdicke, die erwärmt oder aufgeschmolzen werden soll.

Die Zeitdauer, während der der Laserstrahl auf die Oberfläche einwirkt, hat Einfluss auf die physikalischen Eigenschaften der veränderten Oberfläche. Daneben bestimmt sie aber auch, wie weit sich die Wärme durch Wärmeleitung in dem Material ausbreitet und dadurch Bereiche beeinflusst werden, die dem Laserstrahl nicht direkt ausgesetzt, aber benachbart sind.

Die optimale Intensität der Laserstrahlung bestimmt sich nach mehreren Faktoren. Dazu gehören die Temperatur, die im Material erreicht werden soll, die Zeit, während der der Laserstrahl auf die Oberfläche wirkt, sowie die Wärmeableitung in benachbarte Bereiche des Materials. Die Intensität wird durch die Leistung des Lasers und durch die Fläche bestimmt, auf die der Laserstrahl verteilt ist. Oft hat eine bestimmte Anwendung nur einen kleinen Bereich, innerhalb dessen die Intensität variieren darf, um das gewünschte Ergebnis zu erreichen. Die Bestrahlung mit Laserlicht muss dann sehr gleichmäßig erfolgen.

Deshalb ist es förderlich, einen Laserstrahl mit einer gleichmäßigen (homogenen) Intensitätsverteilung zu verwenden Wenn der Laserstrahl eine so hohe Intensität aufweist, dass eine zu bearbeitende Oberfläche insgesamt, also zur gleichen Zeit, bearbeitet werden kann, so muss der Laserstrahl innerhalb der zu bearbeitende Fläche homogen sein. Ist der Strahl kleiner, weil seine Intensität nur für die Bearbeitung eines Teils der gesamten Oberfläche ausreicht, dann bieten sich verschiedene Verfahren an, die gesamte Oberfläche nach und nach zu bearbeiten.

Eine Methode ist die schrittweise Bearbeitung. Ein Laserstrahl, der eine gewisse, durch seine Intensität bestimmte Größe aufweist, wird nach der Bearbeitung eines Teils der Oberfläche zur nächsten Stelle umgelenkt, die dann bearbeitet wird. So wird schrittweise die gesamte Oberfläche erfasst. Der Laserstrahl macht also einen Schritt zum nächsten Bearbeitungsort und verweilt dort für einen bestimmten Zeitraum, bevor er diesen Vorgang wiederholt Dieses Verfahren ist deshalb in der Fachwelt als "Step & Repeat" – Verfahren bekannt. Alternativ zur Ablenkung des Laserstrahls kann auch das Werkstück verfahren werden.

Beim Scanverfahren wird ein Laserstrahl kontinuierlich über die Oberfläche bewegt. Er verweilt dabei nicht an einer Stelle, sondern erzeugt seine Wirkung auf der Oberfläche während der Bewegung. Diese Bewegung erfolgt oft mit gleich bleibender Geschwindigkeit. Wenn an verschiedenen Orten auf der Oberfläche unterschiedliche Wirkungen hervorgerufen werden sollen, oder wenn manche Orte eine andere Gesamtdosis an Laserstrahlung erfordern als andere, z.B. weil in der Mitte eines Teiles mehr Wärme abgeführt wird als am Rand und deshalb zum Erzielen der gleichen Temperatur in der Mitte mehr Energie zugeführt werden muss, kann die Geschwindigkeit, mit der der Laserstrahl bewegt wird, auch variieren.

Allen Verfahren gemeinsam ist, dass der Laserstrahl innerhalb seines Querschnitts (die Fläche, die er zu einem Zeitpunkt beleuchtet) eine homogene Intensitätsverteilung aufweist. Nur so ist eine Wirkung zu erzielen, die auf der ganzen Oberfläche gleichmäßig ist. Für die Bearbeitung der gesamten Oberfläche auf ein Mal und für das Step & Repeat – Verfahren muss der Laserstrahl in beiden Dimensionen (Länge und Breite) homogenisiert sein.

Für das Scanverfahren kann das gleiche Strahlprofil verwendet werden. Es kann aber vorteilhaft sein, einen Laserstrahl mit einer Intensitätsverteilung zu verwenden, die nur in einer Dimension, der Länge, gleichmäßig ist. In der anderen Dimension, der Breite, ist die Intensitätsverteilung glockenförmig, wie z.B. eine Gaußverteilung. Ein solcher Strahl bietet beim Scannen den Vorteil, dass die Wirkung in Scanrichtung gleichmäßiger wird, vor allem bei der Verwendung von gepulsten Lasern.

Beiden Verfahren ist gemeinsam, dass mindestens eine Dimension des Laserstrahls eine homogene Intensitätsverteilung aufweisen muss. Laser emittieren aber normaler Weise keine homogenen Strahlen, sondern sie haben ein Intensitätsmaximum in der Mitte und fallen zum Rand hin ab. Solche Laser haben oft eine gaußförmige Intensitätsverteilung im Strahl: I = I0 × e–a mit a = r2/2r0 2

Das bedeutet, dass die Intensität auf der optischen Achse maximal ist (I = I₀) und mit wachsender Entfernung r von der optischen Achse abnimmt. Bei r = 2r₀ ist sie auf den Wert I = I₀/e² ~ I₀/7,39 abgefallen. Dieser Abstand von der optischen Achse wird oft auch als Strahlquerschnitt definiert (Durchmesser d = 4r₀). Ein typisches Beispiel für solche Laser sind Festkörperlaser wie Nd:YAG – Laser. Sie emittieren Laserstrahlung im infraroten Spektralbereich (1064 nm), oder bei Verwendung von Frequenzvervielfachung im grünen oder UV-Bereich (532 nm, 355 nm, 266 nm).

Eine solche Intensitätsverteilung ist für eine Oberflächenbearbeitung häufig nicht nutzbar.

Abhilfe können so genannte diffraktive optische Elemente (DOE) schaffen. Dies sind Platten aus lichtdurchlässigem Material, bei denen eine Oberfläche im μm – Maßstab strukturiert wird. Die Strukturierung ist so geartet, dass das durchdringende Licht an jedem Ort spezifisch in seiner Ausbreitungsrichtung beeinflusst wird. Die Wirkung eines DOE kann entweder auf Interferenzen beruhen, die benachbarte Lichtstrahlen miteinander erzeugen, oder sie kann auf unterschiedlicher Ablenkung der Lichtstrahlen an jedem Ort beruhen. DOE's sind in der Literatur mehrfach beschrieben, z.B. in "Digital Diffractive Optics: An Introduction to Planar Diffractive Optics and Related Technology" von B. Kress und P. Meyrueis, John Wiley & Sons; 1. Edition (October 25, 2000).

Ein System diffraktiver optischer Elemente (DOE) erzeugt in der Regel aus der glockenförmigen Ausgangsverteilung eine weitgehend perfekte Rechteckform der Intensitätsverteilung, welche auch als „Top-Hat-Verteilung" bekannt ist.

Ein Nachteil vieler Homogenisierer, insbesondere auch von DOE's, ist der Umstand, dass das Homogenisierungsergebnis sehr empfindlich von der relativen Lage zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer abhängt. So führt zum Beispiel bei einem DOE eine Verschiebung des Laserstrahls um nur 50 μm zu einem merkbaren Verkippen des flachen Teils der Intensitätsverteilung, d.h. im Ergebnis wird Laserstrahlung erzeugt, die auf der einen Seite des Strahls wesentlich weniger Intensität aufweist als auf der gegenüberliegenden Seite des Strahls, d.h. das Intensitätsprofil verläuft schräg. Die den Homogenisierer verlassende Strahlung ist also asymmetrisch in bezug auf die zentrale Stahlachse. Diese Asymmetrie ist zumindest in einer Ebene gegeben.

Auch bei anderen Homogenisierern kann eine Abhängigkeit des Homogenisierungsergebnisses von der relativen Lage und Orientierung der auf den Homogenisierer einfallenden Laserstrahlung auftreten, zum Beispiel bei einem Spalthomogenisierer.

Auch asphärische Teleskope, die als Homogenisierer ebenfalls eingesetzt werden, können empfindlich auf die Stahllage und -Richtung reagieren. Asphärische Teleskope weiten den Laserstrahl auf. Dabei wird durch Verwendung von Linsen mit asphärisch geschliffenen Oberflächen erreicht, dass die Aufweitung des Strahls im Zentrum groß und am Rand gering ist. Somit wird die hohe Intensität in der Mitte des Strahls auf eine große Fläche verteilt, und die geringe Intensität am Rand auf eine kleine Fläche. Bei geschickter Auslegung der asphärischen Linsen wird in einem bestimmten Abstand ein Feld mit homogener Intensitätsverteilung erzeugt. Solche asphärischen Teleskope werden kommerziell angeboten, z.B. der "Beam Shaper" von der Firma Newport Corporation, Irvine, Kalifornien, USA. Die Empfindlichkeit dieser Teleskope auf die Lage und Richtung des einfallenden Strahls ist bekannt. Sie ist ähnlich groß wie bei dem oben erwähnten DOE.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Homogenisieren von Laserstrahlung bereitzustellen, mit denen bei Homogenisierern die Homogenisierungsergebnisse zuverlässig verbessert werden, sodass insbesondere die Arbeitsergebnisse bei Bearbeitung von z.B. Werkstücken hinsichtlich Qualität und Konstanz verbessert werden können. Insbesondere soll mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung und dem Verfahren auch die Qualität und die Konstanz des Arbeitsergebnisses beim Kristallisieren von amorphen Siliziumschichten möglich sein.

Zur Lösung dieser Aufgaben stellt die Erfindung eine Vorrichtung zum Homogenisieren von Laserstrahlung bereit mit einem Homogenisierer, der folgendes aufweist:

– eine Messeinrichtung zum Messen der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer oder zum Messen einer Wirkung des Homogenisierers, und mit
– einer Einrichtung zum Ändern der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer in Abhängigkeit von dem Ergebnis der Messung.

Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich aus durch

– Messen der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer oder Messen einer Wirkung des Homogenisierers zur Ableitung eines Messsignals, und
– Ändern der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer entsprechend dem Messsignal.

Die erfindungsgemäße Laseranlage verwendet eine Vorrichtung der genannten Art und nutzt das genannte Verfahren.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Messeinrichtung als Wirkung des Homogenisierers eine Symmetrieeigenschaft der den Homogenisierer verlassenden Strahlung misst. Bewirkt also zum Beispiele eine ungewollte Änderung der relativen Lage zwischen Laserstrahlung und Homogenisierer eine unerwünschte asymmetrische Intensitätsverteilung der (nun nur teilweise) homogenisierten Strahlung im oben genannten Sinne, dann lässt sich diese Asymmetrie der Intensitätsverteilung relativ einfach messen (durch Messung der Intensitäten an mindestens zwei Orten des Strahles) und es lässt sich aus dieser Messung ein sehr empfindliches Steuersignal für eine Änderung der relativen Lage zwischen Laserstrahlung und Homogenisierer ableiten im Sinne einer Rückkopplung derart, dass durch die Änderung der relativen Lage zwischen der Strahlung und dem Homogenisierer letztlich wieder das gewünschte Homogenisierungsergebnis erreicht wird. Dies kann vollautomatisch unter Steuerung durch einen Rechner durchgeführt werden.

Andererseits ist es auch möglich, direkt die Lage und/oder Richtung zwischen der einfallenden Laserstrahlung und dem Homogenisierer zu messen, d.h. bei einem ortsfesten Homogenisierer wird im Strahlungsweg vor dem Homogenisierer die Strahllage und die Stahlrichtung mit als solches bekannten Mitteln gemessen. Änderungen der Stahllage und/oder Strahlrichtung, die aufgrund von Schwankungen im Laser verursacht sein können, können dann direkt so im Wege einer rückgekoppelten Steuerung ausgeglichen werden, dass die auf den Homogenisierer auftreffende Laserstrahlung genau und konstant die gewünschte Lage und Richtung aufweist.

Im vorstehenden Sinne beschreibt der Begriff „Lage" eine Koordinate in einem Koordinatensystem, das senkrecht zur Laserstrahlungsachse steht, und der Begriff „Richtung" entspricht einem Vektor, gemäß dem sich die Laserstrahlung im Raum fortpflanzt.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird die relative Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer dadurch in dem genannten Rückkoppelkreis eingestellt, dass ein oder mehrere Spiegel im Strahlengang der Laserstrahlung vor dem Homogenisierer entsprechend dem Messergebnis eingestellt werden.

Andererseits ist es auch möglich, die relative Lage und/oder Richtung zwischen Laserstrahlung und Homogenisierer dadurch einzustellen, dass der Homogenisierer oder ein Teil davon in Bezug auf die Laserstrahlung bewegt wird, also zum Beispiel quer zur Laserstrahlung verschoben und/oder in Bezug auf die Laserstrahlungsrichtung gekippt wird.

Insgesamt ergibt sich mit der Erfindung ein aktiv stabilisierter Homogenisierer, der bevorzugt für hochkohärente Laserstrahlung in Laseranlagen eingesetzt wird.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
1 bis 3 Ausführungsbeispiele von Homogenisierern; und
4 eine Laseranlage unter Verwendung eines Homogenisierers gemäß einer der 1 bis 3.
In den Figuren sind einander funktionsgleiche oder funktionsähnliche Elemente mit den gleichen Bezugszeichen versehen, gegebenenfalls um einen Strich ergänzt.
1 zeigt einen aktiv stabilisierten Homogenisierer für Laserstrahlung, die von einem Laser 10 abgegeben wird.
Mit dieser Laserstrahlung soll ein Werkstück 22 im oben genannten Sinne bearbeitet werden.
Die vom Laser 10 abgegebene Laserstrahlung wird über Spiegel 12, 14 umgelenkt und über einen Strahlteiler 16 auf einen Homogenisierer 18 gerichtet. Bei dem Homogenisierer kann es sich um einen Typ der eingangs genannten Art handeln, zum Beispiel um einen oben erwähnten DOE. Es sollen sowohl die Strahllage als auch die Strahlrichtung in Bezug auf den Homogenisierer 18 stabil gehalten werden, auch wenn, aus welchen Gründen auch immer, insbesondere Schwankungen im Laser selbst, sich die Strahllagen und Richtungen ändern. Hierzu wird mit dem Strahlteiler 16 ein geringer Teil der Laserstrahlung aus dem Strahl ausgeblendet und auf eine Messeinrichtung 24 gerichtet, mit der sowohl die Strahllage als auch die Strahlrichtung gemessen werden können. Geeignet hierfür ist zum Beispiel das auf dem Markt befindliche Gerät „AlignMeter" der Firma Melles Griot, Carlsbad, Kalifornien, USA. Die Messeinrichtung 24 liefert also ein Messsignal, das anzeigt, ob der Laserstrahl auf dem Weg zum Homogenisierer 18 eine vorgegebene Solllage und Sollrichtung verlassen hat. Ein entsprechendes Messsignal wird vom Messgerät 24 an eine Elektronik 26 abgegeben, welche auf einen oder beide Umlenkspiegel 12, 14 einwirkt, diese also motorisch bewegt, um, in Abhängigkeit von dem Messergebnis, die Strahllage in einem senkrecht zur Strahlachse stehenden Koordinatensystem in x- und y-Richtung unabhängig voneinander und auch die Richtung der Strahlung so einzustellen, dass der vorgegebene Sollwert hinsichtlich Lage und Richtung wieder erreicht wird. Somit verlässt den Homogenisierer 18 hochstabilisiert homogenisierte Strahlung und wird über einen Umlenkspiegel 20 auf das Werkstück 22 gerichtet.
Beim Ausführungsbeispiel nach 2 wird nicht direkt mit einem Sensor die Strahllage und -rchtung in bezug auf den Homogenisierer 18 gemessen, sondern vielmehr das Ergebnis der Homogenisierung nach dem Homogenisierer, um damit indirekt eine Änderung der Strahllage und/oder Strahlrichtung festzustellen. Wie oben ausgeführt ist, bewirkt bei Homogenisierern eine Änderung der Strahllage und/oder Strahlrichtung, zum Beispiel bei einem DOE, eine Änderung der Symmetrie in der Intensitätsverteilung der den Homogenisierer verlassenden Strahlung. Wird also mit einem Strahlteiler ein geringer Anteil der den Homogenisierer verlassenden Strahlung auf die Messeinrichtung 24' gerichtet, kann damit zum Beispiel durch Messung auf zwei gegenüberliegenden Seiten des Strahls eine schräge Intensitätsverteilung im oben erläuterten Sinne festgestellt und daraus ein Messsignal abgeleitet werden, das in eine Elektronik 26' eingegeben wird, die daraus Steuersignale für einen motorisch verstellbaren Spiegel 14' ableitet. Beim Ausführungsbeispiel nach 2 steuert die Elektronik 26' nur einen der Spiegel 12', 14', da, in Abhängigkeit vom Laser und anderen Parametern, es möglich sein kann, mit nur einem Spiegel (hier 14') eine Steue rung der Laserstrahlung hinsichtlich Lage und Richtung so durchzuführen, dass das Homogenisierungsergebnis stabil bleibt.
3 zeigt eine Abwandlung der vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele dahingehend, dass nicht mittels zumindest eines Spiegels die Lage und/oder Richtung des auf den Homogenisierer 18 einfallenden Laserstrahls eingestellt wird, sondern vielmehr der Homogenisierer 18 (oder ein Teil davon) in Bezug auf die Strahlung eingestellt wird. Hierzu wird wieder entsprechend dem Ausführungsbeispiel gemäß 2 mit einem Strahlteiler ein Teil des homogenisierten Strahls ausgeblendet und auf ein Messgerät 24' für eine Messung des Strahlprofils gerichtet und ein entsprechendes Messsignal wird an eine Elektronik 26' abgegeben, die ein Steuersignal ableitet zum Ansteuern einer Einrichtung 28, mit der der Homogenisierer 18 (oder ein Teil davon) so einstellt wird, dass hernach die relative Lage und/oder Richtung zwischen Laserstrahlung und Homogenisierer 18 genau den gewünschten Sollwert hat.
Mit den vorstehend anhand der 1 bis 3 beschriebenen Systemen zum Homogenisieren von Laserstrahlung kann eine sehr langfristige Stabilität der Homogenisierung erreicht werden, zum Beispiel über Betriebszeiten von Stunden, Tagen oder sogar Wochen.
Bei den anhand der 1 bis 3 beschriebenen Ausführungsbeispielen der Erfindung ist die Ebene, in der das homogene Beleuchtungsfeld entsteht, mit „Werkstück 22'' bezeichnet. Grundsätzlich kann es sich bei der Ebene, in der das homogene Beleuchtungsfeld gebildet wird, auch um eine Ebene handeln, die optisch auf ein Werkstück abgebildet wird (dies ist nachfolgend anhand der 4 erläutert). Die Position 22 in den 1 bis 3 kann deshalb auch als die Ebene bezeichnet werden, in der das homogene Feld erzeugt wird.
4 zeigt eine Laseranlage unter Verwendung eines aktiv stabilisierten Strahlhomogenisierers 30, insbesondere gemäß einer der 1, 2 oder 3. Die Laseranla ge weist wahlweise eine Blende oder Maske auf, die in der Ebene des homogenen Feldes angeordnet ist (in 4 sind aus Darstellungsgründen die Blende bzw. Maske und die Ebenen des homogenen Feldes geringfügig zueinander versetzt). Zwischen dem aktiv stabilisierten Strahlhomogenisierer 30 und dem zu bearbeitenden Werkstück 22 ist eine Abbildungsoptik 32 angeordnet, um die homogene Ebene oder wahlweise die Blende oder Maske auf die zu bearbeitenden Oberfläche des Werkstückes 22 abzubilden. In der Darstellung sind üblicherweise vorhandene Spiegel zum Umlenken und Ausrichten der Laserstrahlung nicht wiedergegeben.
Bei der in 4 gezeigten Laseranlage kann ein Sensor (entsprechend dem Sensor 24 gemäß 1) direkt am Strahlhomogenisierer 30 angeordnet werden, jedoch andererseits auch bevorzugt in der Ebene 22 des Werkstückes. Dabei wäre dann ein Strahlteiler (analog dem Strahlteiler 16 gemäß 1) zwischen der abbildenden Optik 32 und dem Werkstück 22 angeordnet. Eine solche Anordnung hätte insbesondere den Vorteil, dass Verzerrungen des Intensitätsprofils, die durch die abbildende Optik entstehen, mit dem Homogenisierer kompensiert werden können.

Claims

Vorrichtung zum Homogenisieren von Laserstrahlung mit einem Homogenisierer (18), auf den die Laserstrahlung auftrifft, gekennzeichnet durch – eine Messeinrichtung (24; 24') zum Messen der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer oder zum Messen einer Wirkung des Homogenisierers, und – eine Einrichtung (26; 26') zum Ändern der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer in Abhängigkeit von dem Ergebnis der Messung.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung (24') als Wirkung des Homogenisierers (18) eine Symmetrieeigenschaft der den Homogenisierer (18) verlassenden Strahlung misst.
Vorrichtung nach einem der Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zum Ändern der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer ein oder mehrere bewegbare Spiegel (12, 14; 12', 14') im Strahlengang der Laserstrahlung vor dem Homogenisierer (18) bewegbar angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum Ändern der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer eine Einrichtung (28) vorgesehen ist, um den Homogenisierer oder einen Teil davon zu bewegen.
Verfahren zum Homogenisieren von Laserstrahlung mit einem Homogenisierer (18) auf den die Laserstrahlung gerichtet wird, gekennzeichnet durch – Messen der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer oder Messen einer Wirkung des Homogenisierers zur Ableitung eines Messsignals, und – Ändern der relativen Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer entsprechend dem Messsignal.
Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass als Wirkung des Homogenisierers (18) eine Symmetrieeigenschaft der den Homogenisierer verlassenden Strahlung messen wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die relative Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer mittels eines oder mehrerer einstellbarer Spiegel (12, 14; 12', 14') eingestellt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die relative Lage und/oder Richtung zwischen der Laserstrahlung und dem Homogenisierer durch Einstellung, insbesondere Bewegung, des Homogenisierers oder eines Teiles davon geändert wird.
Laseranlage zur Bearbeitung eines Werkstückes (22) mit einer Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4.
Laseranlage nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch eine Maske oder Blende in einer Ebene zwischen dem Homogenisierer (30) und dem Werkstück (22) in der Ebene des homogenen Feldes der Laserstrahlung.
Laseranlage nach einem der Ansprüche 9 oder 10, gekennzeichnet durch eine Abbildungsoptik (32), um die homogene Ebene oder die Blende bzw. Maske auf die Oberfläche des zu bearbeitenden Werkstückes (22) abzubilden.