DE60203464T2 - Berührungsempfindliche Tafel - Google Patents

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DE60203464T2
DE60203464T2 DE60203464T DE60203464T DE60203464T2 DE 60203464 T2 DE60203464 T2 DE 60203464T2 DE 60203464 T DE60203464 T DE 60203464T DE 60203464 T DE60203464 T DE 60203464T DE 60203464 T2 DE60203464 T2 DE 60203464T2
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Berührungsfeldvorrichtung zum Detektieren einer Berührung durch einen Finger oder ein Objekt, wie beispielsweise einen Stift, auf ihr, im besonderen eine Berührungsfeldvorrichtung, bei der ein interdigitaler Transducer (im folgenden als "IDT" bezeichnet) zum Detektieren einer berührten Position verwendet wird, indem eine Abschwächung oder Unterbrechung einer akustischen Oberflächenwelle (surface acoustic wave; im folgenden als "SAW" bezeichnet) gefühlt wird.
  • Einhergehend mit der wachsenden Popularität von Computersystemen, die hauptsächlich durch Personalcomputer verkörpert werden, haben Vorrichtungen zum Eingeben von neuen Informationen oder Ausgeben von verschiedenen Instruktionen an ein Computersystem durch Berührung auf einem Bildschirm einer Anzeigevorrichtung, auf der Informationen durch ein Computersystem angezeigt werden, mit einem Finger oder Stift breite Verwendung gefunden. Wenn eine Eingabeoperation durch ein Berührungsverfahren als Antwort auf Informationen ausgeführt wird, die auf einem Bildschirm einer Anzeigevorrichtung eines Personalcomputers, etc. angezeigt werden, muß eine berührte Position (angezeigte Position) mit hoher Genauigkeit detektiert werden.
  • Zwei populäre Typen von Berührungsfeldvorrichtungen zum Detektieren einer mit einem Finger oder Stift berührten Position sind der Typ, der mit einem Widerstandsfilm versehen ist, und der Typ, bei dem Ultraschallwellen verwendet werden. Der erstere Typ mit dem Widerstandsfilm detektiert eine Veränderung eines Teilspannungsverhältnisses, die durch eine Berührung auf dem Widerstandsfilm durch ein Objekt verursacht wird. Eine Vorrichtung dieses Typs hat den Vorteil des niedrigen Energieverbrauchs, aber den Nachteil hinsichtlich solcher Aspekte wie der Reaktionszeit, der Detektionsleistung und der Haltbarkeit.
  • Andererseits breitet der Typ, bei dem Ultraschallwellen genutzt werden, eine SAW zum Beispiel auf einem nichtpiezoelektrischen Substrat aus, so daß eine Position, die durch ein Objekt berührt wird, durch Fühlen einer Abschwächung der SAW detektiert wird, die durch eine Berührung auf dem nichtpiezoelektrischen Substrat mit einem Objekt, wie etwa einem Stift, bewirkt wird. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben Studien und die Entwicklung einer Berührungsfeldvorrichtung verfolgt, bei der ein IDT, der als Fertigungsreihe durch ein Photolithographieverfahren gebildet werden kann, als Transducer zum Anregen oder Empfangen von SAWs verwendet wird. In solch einer Berührungsfeldvorrichtung wird ein Element, das aus einem IDT und einem piezoelektrischen Dünnfilm gebildet ist, als Anregungselement zum Erzeugen von SAWs oder als Empfangselement zum Empfangen der ausgebreiteten SAWs eingesetzt.
  • 1 ist eine schematische Zeichnung, die eine Konfiguration einer herkömmlichen Berührungsfeldvorrichtung zeigt, bei der IDTs auf die obenerwähnte Weise verwendet werden. Unter Bezugnahme auf 1 bezeichnet Bezugszeichen 60 ein rechteckiges nichtpiezoelektrisches Substrat, das zum Beispiel aus einem Glasmaterial ist, und auf einem von den jeweiligen Endabschnitten (Seiten) in der X-Richtung und Y-Richtung des nichtpiezoelektrischen Substrats 60 ist eine Vielzahl von Anregungselementen 65, die einen Eingangs-IDT und einen piezoelektrischen Dünnfilm zur SAW-Anregung umfassen, auf solch eine weise ausgerichtet, daß jedes von ihnen jeder von einer Vielzahl von Spuren entspricht. Ferner ist auf den verbleibenden zwei Seiten des Substrats 60 eine Vielzahl von Empfangselementen 66, die einen Ausgangs-IDT und einen piezoelektrischen Dünnfilm umfassen, zum Empfangen von SAWs so ausgerichtet, um den Anregungselementen 65 gegenüberzuliegen (zugewandt zu sein).
  • In der Berührungsfeldvorrichtung von 1 werden elektrische Signale jedem der Anregungselemente 65 eingegeben, um eine SAW anzuregen, die sich dann auf dem nichtpiezoelektrischen Substrat 60 ausbreitet, und jedes der Empfangselemente 66 empfängt die ausgebreitete SAW. Wenn jedoch ein Objekt das nichtpiezoelektrische Substrat 60 auf einer Ausbreitungsroute der SAW berührt, wird die SAW abgeschwächt. Ob ein Objekt berührt wurde, und eine Position, wo dies geschah, kann deshalb detektiert werden, indem gefühlt wird, ob eine Abschwächung eines durch die Empfangselemente 66 empfangenen Signalpegels stattgefunden hat.
  • Ferner haben die Erfinder der Erfindung eine Berührungsfeldvorrichtung vorgeschlagen, bei der Anregungselemente und Empfangselemente so angeordnet sind, um eine SAW diagonal (längs diagonaler Linien) auszubreiten. 2 ist eine schematische Zeichnung, die eine Konfiguration von Elektroden der genannten Berührungsfeldvorrichtung zeigt. Unter Bezugnahme auf 2 ist Bezugszeichen 70 ein rechteckiges nichtpiezoelektrisches Substrat, das zum Beispiel aus einem Glasmaterial ist, und ein zentraler Bereich, der von gestrichelten Linien umgeben ist, ist eine Detektionsregion 70a, wo eine berührte Position detektiert werden kann.
  • In der Rahmenregion außerhalb der Detektionsregion 70a, die dem peripheren Bereich des nichtpiezoelektrischen Substrats 70 entspricht, sind vier IDTs 71 plaziert. Jeder IDT 71 ist mit Buselektroden 72, 72 versehen, die einander gegenüberliegen und jeweilig kammförmige Elektrodenfinger 73 umfassen, die auf halbem Wege gebogen sind und alternierend angeordnet sind. Durch solch eine Anordnung wird eine Reihe von kammförmigen Elektrodenfingern 73 gebildet, die in zwei Richtungen von der gegenüberliegenden Richtung der Buselektroden 72, 72 geneigt sind, wodurch die SAW-Anregung in zwei Richtungen und der SAW-Empfang aus zwei Richtungen ermöglicht wird. Bei diesem Beispiel fungieren IDTs 71 auf den oberen und unteren Seiten als Anregungselemente zum gleichzeitigen Erzeugen von Wellen in zwei verschiedenen Richtungen, während IDTs 71 auf den linken und rechten Seiten als Empfangselemente zum Empfang von Wellen aus zwei verschiedenen Richtungen dienen.
  • Auf den oberen und unteren Seiten sind Anschlüsse 74, 74 zum Eingeben und Erden vorgesehen, die mit Buselektroden 72 der jeweiligen IDTs 71 verbunden sind. Ferner sind Anschlüsse 74, 74 zum Ausgeben und Erden, die mit Buselektroden 72 der jeweiligen IDTs 71 verbunden sind, auf den linken und rechten Seiten vorgesehen. Mit jedem der Anschlüsse 74 sind jeweilige Anschlußleitungen 77 verbunden.
  • 3 ist eine schematische Zeichnung eines flexiblen Substrats 78, das 2 entspricht. Auf dem flexiblen Substrat 78 ist ein Leitermuster 79 an einer Position gebildet, die den Anschlußleitungen 77 entspricht. Wenn solch ein flexibles Substrat 78 über einer Elektrodenkonfiguration plaziert wird, die in 2 gezeigt ist, wird eine Berührungsfeldvorrichtung gebildet.
  • Unter dem Gesichtspunkt des Montageprozesses ist es vorteilhaft, das flexible Substrat 78 zum Herausziehen von Signalen von einer Berührungsfeldvorrichtung zu nutzen. IDTs 71, die von langen Buselektroden 72 umgeben sind, wie in 2 und 3 gezeigt, sind auf den Seiten in der Rahmenregion angeordnet, die der Detektionsregion 70a näher sind, um die herum die Anschlußleitungen 77 angeordnet sind, und alle Anschlußleitungen 77 sind auf einer Seite vereinigt. Die auf diese Weise vereinigten Anschlußleitungen 77 sind mit einer äußeren Schaltung durch das Leitermuster 79 auf dem flexiblen Substrat 78 verbunden. Da nun die Rahmenregion ein Bereich ist, wo eine berührte Position nicht detektiert werden kann, stellt das Minimieren des Bereiches der Rahmenregion einen kritischen Faktor zum Erhöhen eines Produktwertes dar, und zu solch einem Zweck ist es wichtig, die Breite der Buselektroden 72 und der Anschlußleitungen 77 zu verengen.
  • In einer herkömmlichen Konfiguration ist das Problem vorhanden, wie in 2 und 3 gezeigt, daß die Intensität der empfangenen SAW auf Grund eines Widerstandsverlustes verringert wird, der verursacht wird, während ein Signal durch jede der langen Buselektroden der über das gesamte Feld angeordneten IDTs übertragen wird. Um solch einen Widerstandsverlust zu verhindern, ist es erforderlich, die Breite der Buselektroden und Anschlußleitungen zu vergrößern, was jedoch im Widerspruch zum Zweck des Minimierens des Bereichs der Rahmenregion steht. Indessen könnte es eine andere Option sein, die Filmdicke der obenerwähnten Komponenten zu erhöhen, aber in diesem Fall ist immer noch das Problem vorhanden, daß der Produktionsprozeß komplizierter wird, weil sich die optimale Bedingung der Filmdicke zwischen der Anregungs-/Empfangseinheit (IDT) und der Übertragungseinheit (Buselektroden und Anschlußleitungen) unterscheidet.
  • JP 07 036605A offenbart eine Berührungsfeldvorrichtung gemäß der Präambel von Anspruch 1. Jede Seite des Feldes ist aus drei Sende- oder Transducerregionen gebildet.
  • Daher ist es wünschenswert, eine Berührungsfeldvorrichtung vorzusehen, bei der ein Widerstandsverlust in einer Übertragungseinheit minimiert werden kann, ohne eine Rahmenregion zu vergrößern.
  • Es ist auch wünschenswert, eine Berührungsfeldvorrichtung vorzusehen, bei der die Rahmenregion weiter verengt werden kann.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Berührungsfeldvorrichtung vorgesehen, in der interdigitale Transducer (IDTS] zum Anregen oder Empfangen von akustischen Oberflächenwellen vorgesehen sind, wobei jeder IDT ein Paar von einander zugewandeten Buselektroden umfaßt, die längs der Seiten einer Detektionsregion der Berührungsfeldvorrichtung orientiert sind und auf einem peripheren Bereich eines Substrats so plaziert sind, daß eine Buselektrode des Paares näher als die andere Buselektrode an der Detektionsregion positioniert ist, und kammartige Elektrodenfinger, die sich zwischen den einander zugewandten Buselektroden erstrecken und alternierend mit ihnen verbunden sind; dadurch gekennzeichnet, daß sie ferner wenigstens eine Ziehelektrode umfaßt, die mit der Buselektrode verbunden ist, die näher an der Detektionsregion positioniert ist, und zu der Seite des peripheren Bereichs des Substrats herausgeführt ist.
  • Somit verbinden die Ziehelektroden die innere Buselektrode elektrisch mit der äußeren Region des Substrats, indem sie die Innenseite des IDT durchlaufen. Als Resultat durchlaufen Signale die Ziehelektroden, statt eines nach dem anderen durch langgestreckte Buselektroden übertragen zu werden, so daß der Widerstandverlust in den Buselektroden reduziert wird.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform ist der IDT auf Grund des Segmentierens durch die Ziehelektrode geteilt.
  • In dieser Ausführungsform ist der IDT durch die Ziehelektrode vorzugsweise gleichmäßig in eine Vielzahl von wiederholten Regionen segmentiert. Als Resultat wird die Konvertierungseffektivität von SAWs, die auf jeder Seite angeregt werden, ausgeglichen, weshalb der Konvertierungsprozeß vereinfacht werden kann.
  • Vorzugsweise ist die Ziehelektrode auch so angeordnet, daß die Impedanz von jeder segmentierten Region des IDT dieselbe ist. Als Resultat kann die Anregungseffektivität ausgeglichen werden (gleichförmig gemacht werden).
  • Zusätzlich ist die elektrostatische Kapazität von jeder segmentierten Region des IDT vorzugsweise gleich. Als Resultat kann eine stabilisierte Antriebsdetektion erfolgen.
  • Darüber hinaus kann eine Vielzahl von Ziehelektroden vorgesehen sein, deren Impedanz dieselbe ist, indem gewährleistet wird, daß der Widerstandswert von jeder von der Vielzahl von Ziehelektroden gleich ist. Als Resultat kann der Einfluß des Widerstandsverlustes auf die Eingabe oder Ausgabe von Signalen innerhalb eines gewissen Niveaus in jeder segmentierten Region beschränkt sein.
  • In jeder der obigen Ausführungsformen beträgt die Breite der Ziehelektrode vorzugsweise (3/8 + n)λ (λ: Wellenlänge der SAW, n: eine ganze Zahl, die nicht negativ ist). Auf diese Weise kann eine Vorhersage der Charakteristiken auf der Basis von Konstruktionsparametern erfolgen, und ein Abfall der Anregungseffektivität kann verhindert werden.
  • Praktischerweise ist die Ziehelektrode, die bei der vorliegenden Erfindung zum Einsatz kommt, aus Metall (z. B. ein Metallstreifen-Array). Als Resultat kann ein Unterdrückungseffekt einer reflektierten Welle auch von der Ziehelektrode erwartet werden, und der Einfluß von unnötigen mechanischen Reflexionen, die in dem IDT auftreten können, kann gemildert werden.
  • Zusätzlich ist vorzugsweise wenigstens ein Kissen, das mit der Ziehelektrode verbunden ist, innerhalb der Buselektrode vorgesehen. Als Resultat kann der Widerstand verringert werden, indem die Leitereinheit (Konduktanz) der Buselektrode genutzt wird, und die Rahmenregion kann verengt werden, indem der Bereich für das Kissen weggelassen wird. Darüber hinaus kann das Risiko eines unvollständigen Kontaktes minimiert werden, woraus eine verbesserte Ausbeute resultiert.
  • Bei einer anderen bevorzugten Ausführungsform umfaßt die Vorrichtung ferner wenigstens ein Kissen, das in der Ziehelektrode plaziert ist, und ein flexibles Substrat mit wenigstens einer Verbindungseinheit, die den Kissen entspricht.
  • In der Berührungsfeldvorrichtung dieser Ausführungsform ist ein flexibles Substrat so vorgesehen, daß Widerstandsverluste weiter reduziert werden können und die Übertragung stabilisiert werden kann.
  • Das flexible Substrat ist vorzugsweise so angeordnet, um den IDT zu bedecken. Auf diese Weise kann das flexible Substrat auch als Pufferglied gegenüber einem unerwarteten Stoß dienen, woraus eine höhere Zuverlässigkeit resultiert.
  • Zusätzlich hat das flexible Substrat vorzugsweise wenigstens eine Anschlußleitung, die mit der Ziehelektrode an einem Abschnitt derselben verbunden ist, der den IDT bedeckt. Als Resultat kann die Rahmenregion verengt werden.
  • Das flexible Substrat kann eine Form haben, die in der Dickenrichtung des Substrats, worauf der IDT plaziert ist, gefaltet ist. Als Resultat können die Anschlußleitungen längs des gefalteten Abschnittes angeordnet sein, ohne Raum oben auf dem Substrat zu belegen. Ferner ist es vorzuziehen, das flexible Substrat aus einem einzelnen Band zu bilden; mit anderen Worten, das flexible Substrat wird aus einem planaren Band gebildet, das zu einer dreidimensionalen Gestalt gefaltet ist. Dadurch wird eine Massenproduktion erleichtert.
  • Beispielhaft wird nun Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen genommen, in denen:
  • 1 eine schematische Zeichnung ist, die eine Konfiguration einer früher vorgeschlagenen Berührungsfeldvorrichtung zeigt;
  • 2 eine schematische Zeichnung ist, die eine Konfiguration von Elektroden in einer früher vorgeschlagenen Berührungsfeldvorrichtung zeigt;
  • 3 eine schematische Zeichnung ist, die ein früher vorgeschlagenes flexibles Substrat zeigt;
  • 4 eine schematische Zeichnung ist, die eine Konfiguration eines Beispiels für einen IDT gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 5 eine schematische Zeichnung ist, die eine Konfiguration eines anderen Beispiels für einen IDT gemäß der Erfindung zeigt;
  • 6 eine vergrößerte fragmentarische schematische Zeichnung eines Beispiels für einen IDT gemäß der Erfindung ist;
  • 7A und 7B Konzeptzeichnungen sind, die Konfigurationen von kammartigen Elektrodenfingern des IDT in 6 zeigen;
  • 8 eine vergrößerte fragmentarische schematische Zeichnung eines anderen Beispiels für den IDT gemäß der Erfindung ist;
  • 9A und 9B Konzeptzeichnungen sind, die Konfigurationen von kammartigen Elektrodenfingern des IDT in 8 zeigen;
  • 10 eine schematische Zeichnung ist, die eine Konfiguration eines Beispiels für ein Kissen zeigt;
  • 11 eine schematische Zeichnung ist, die eine Konfiguration eines anderen Beispiels für ein Kissen zeigt;
  • 12A eine schematische Zeichnung ist, die die Gesamtkonfiguration eines flexiblen Substrats zeigt;
  • 12B eine schematische Zeichnung ist, die einen Feldkörper zeigt;
  • 13A und 13B perspektivische Ansichten sind, die Konfigurationen von flexiblen Substraten zeigen;
  • 14A eine Draufsicht ist, die ein Layoutbeispiel für ein flexibles Substrat zeigt, das über einem Feldkörper plaziert ist;
  • 14B eine perspektivische Ansicht ist, die ein Layoutbeispiel für ein flexibles Substrat zeigt, das über einem Feldkörper plaziert ist;
  • 15A eine Draufsicht ist, die ein anderes Layoutbeispiel für ein flexibles Substrat zeigt, das über einem Feldkörper plaziert ist;
  • 15B eine perspektivische Ansicht ist, die ein anderes Layoutbeispiel für ein flexibles Substrat zeigt, das über einem Feldkörper plaziert ist;
  • 16A eine perspektivische Ansicht ist, die eine Konfiguration eines flexiblen Substrats des Falttyps zeigt;
  • 16B eine perspektivische Ansicht ist, die einen Feldkörper zeigt;
  • 17A bis 17C schematische Zeichnungen sind, die Beispiele für nichtgefaltete Formen von flexiblen Substraten zeigen.
  • Erste Ausführungsform
  • 4 ist eine schematische Zeichnung, die eine Konfiguration eines IDT zeigt, der als Anregungselement oder Empfangselement in einer Berührungsfeldvorrichtung zu verwenden ist, die die Erfindung verkörpert. Der IDT 1 der Erfindung ist mit Buselektroden 2a, 2b versehen, die einander zugewandt sind und jeweilig kammartige Elektrodenfinger 3 umfassen, die sich von jeder Buselektrode schräg erstrecken und (wenigstens in einem zentralen Abschnitt des IDT) auf halbem Wege entlang ihrer Längen gebogen sind, um sich in einer anderen Richtung schräg zu erstrecken. Die Finger 3 sind alternierend angeordnet, um ineinanderzugreifen. Durch solch eine Anordnung wird in dem IDT 1 der Erfindung eine Reihe von kammartigen Elektrodenfingern 3 gebildet, die von einer Linie, die zwischen Buselektroden 2a, 2b gezogen wird, in zwei Richtungen geneigt sind, wodurch die SAW-Anregung in zwei Richtungen und der SAW-Empfang aus zwei Richtungen ermöglicht wird, wie bei dem früheren Vorschlag der Erfinder.
  • Die Buselektrode 2a, die näher am Zentrum des Feldes (auf der Seite der Detektionsregion) positioniert ist, ist langgestreckt (länglich), wie nach Stand der Technik, und diese Buselektrode 2a ist zum Beispiel eine Elektrode der (+)-Seite, deren Enden mit Kissen 4 der (+)-Seite verbunden sind. Im Inneren des IDT 1 ist eine Vielzahl von Ziehelektroden (Eingangs- oder Ausgangselektroden 5, die mit der Buselektrode 2a verbunden sind, mit konstanter Teilung (Abstand) vorgesehen, wobei sie auf halbem Wege gebogen sind und zu den kammartigen Elektrodenfingern 3 parallel sind. Diese Ziehelektroden 5 sind jeweilig mit Kissen 4 der (+)-Seite verbunden. Die Buselektrode 2b auf der Seite des peripheren Bereichs des Feldes (die von der Detektionsregion entferntere Seite) ist zum Beispiel eine Elektrode der (–)-Seite, und jede Buselektrode 2b ist mit einem Anschluß 4 der (–)-Seite verbunden.
  • Der IDT 1 ist durch die erwähnte Vielzahl von Ziehelektroden 5 in eine Vielzahl von (teilweise wiederholten) Regionen segmentiert. Als Resultat wird die Anregungsintensität der SAW in jeder segmentierten Region nahezu konstant, und auch die Impedanz in jeder segmentierten Region wird nahezu gleich. Genauer gesagt, die Kapazität, die durch die Teilung und Länge (Querbreite) der Ziehelektrode 5 bestimmt wird, in jeder segmentierten Region wird nahezu konstant gemacht, und auch die Breite und die Länge von jeder Ziehelektrode 5 werden so eingestellt, daß ihr Widerstand nahezu gleich wird.
  • 5 ist eine schematische Zeichnung, die eine andere Konfiguration eines IDT 1 zeigt, der die Erfindung verkörpert. Das in 5 gezeigte Beispiel ist eine vereinfachte Konfiguration des Schnittpunktes von Elektroden, die der rechten Seite von 4 entsprechen, wodurch eine Komplikation des Elektrodenmusters (Buselektroden 2a, 2b und Ziehelektroden 5) gemildert wird und auch die Widerstandslast gemildert wird, die auf einem Teil der Ziehelektroden 5 lastet. Ferner erreicht in dieser Konfiguration die Teilung der Ziehelektroden die doppelte Größe, da die Apertur einer Ecke des IDT 1 halbiert wird, weshalb die Anregungseffektivität an diesem Abschnitt intensiviert wird.
  • Zweite Ausführungsform
  • Die folgende Beschreibung betrifft die Teilung und Breite von Ziehelektroden 5. 6 ist eine vergrößerte fragmentarische schematische Zeichnung eines Beispiels für einen IDT 1 gemäß der Erfindung. Das Beispiel für den IDT 1, das in 6 gezeigt ist, ist mit einander gegenüberliegenden Buselektroden 2a, 2b versehen, von denen sich jeweils kammartige Elektrodenfinger 3 einzeln alternierend erstrecken, die auf halbem Wege gebogen sind (Elektrodenfinger des einzelnen gebogenen Typs).
  • In benachbarten Regionen des IDT 1, der durch die Ziehelektroden 5 segmentiert ist, wird die Teilung und Breite von Ziehelektroden 5 so bestimmt, daß das Bildungsmuster von kammartigen Elektrodenfingern 3 nicht in Unordnung gerät, wenn die Ziehelektroden 5 hinzugefügt werden. Deshalb ist es vorzuziehen, wenn sich die Teilung der Ziehelektroden 5 auf ein ganzzahliges Vielfaches der Querbreite in einer der Richtungen beläuft, die durch ein Bildungsmuster von kammartigen Elektrodenfingern 3 bestimmt ist, und am besten ist es optimal, wenn sie der Querbreite gleich ist.
  • Weiterhin ist es vorzuziehen, wenn die Breite w der Ziehelektroden 5 als w = (1/4 + n)λ bestimmt ist, wobei λ die SAW-Wellenlänge ist und n eine natürliche Zahl ist. 7A ist eine Konzeptzeichnung einer Konfiguration von kammartigen Elektrodenfingern 3, wobei die Breite eines kammartigen Elektrodenfingers 3 λ/4 beträgt, während ein Intervall zwischen benachbarten kammartigen Elektrodenfingern 3 auch λ/4 beträgt. Wenn die Ziehelektrode 5 mit einer Breite gebildet wird, die zum Beispiel bestimmt ist als w = (λ + λ/4) = 5λ/4, wobei n = 1 ist (wie in 7B), wird bei dem obenerwähnten Bildungsmuster der kammartigen Elektrodenfinger 3 das Elektrodenmuster nicht in Unordnung gebracht, obwohl die so gebildete Ziehelektrode 5 hinzugefügt wird.
  • 8 ist eine vergrößerte fragmentarische schematische Zeichnung eines anderen Beispiels für den IDT 1 gemäß der Erfindung. Der in 8 gezeigte IDT 1 ist mit gegenüberliegenden Buselektroden 2a, 2b versehen, von denen sich jeweils kammartige Elektrodenfinger 3 zu zweit alternierend erstrecken, die auf halbem Wege gebogen sind (Elektrodenfinger des doppelten gebogenen Typs). Als Resultat von solch einer Konfiguration wird ein Einfluß der SAW-Reflexion in kammartigen Elektrodenfingern 3 eingeschränkt. Ferner sind die Ziehelektroden 5 aus einer Vielzahl von Elektrodenleitungen mit derselben Breite wie jener der kammartigen Elektrodenfinger 3 gebildet, so daß der Effekt der Reflexion auch in den Ziehelektroden 5 reduziert werden kann.
  • Es ist vorzuziehen, wenn die Breite w der Ziehelektroden 5 bestimmt ist als w = (3/8 + n)λ (n: eine ganze Zahl, die nicht negativ ist), wobei λ die SAW-Wellenlänge ist. 9A ist eine Konzeptzeichnung einer Konfiguration von kammartigen Elektrodenfingern 3, wobei die Breite eines kammartigen Elektrodenfingers 3 λ/8 beträgt, während ein Intervall zwischen benachbarten kammartigen Elektrodenfingern 3 auch λ/8 beträgt. Wenn die Ziehelektrode 5 mit einer Breite gebildet ist, die zum Beispiel bestimmt ist als w = (λ + 3λ/8) = 11λ/8, wobei n = 1 ist (wie in 9B), wird bei dem obenerwähnten Bildungsmuster der kammartigen Elektrodenfinger 3 das Elektrodenmuster nicht in Unordnung gebracht, wenn die so gebildete Ziehelektrode 5 hinzugefügt wird. Darüber hinaus ist es als Resultat von solch einer Konfiguration der Ziehelektroden 5 möglich, die kammartige Struktur von λ/8 beizubehalten, die den Vorteil bietet, daß die innere Reflexion der Wellen reduziert wird.
  • Dritte Ausführungsform
  • Nun werden Konfigurationen von Kissen 4 der Ziehelektroden 5 beschrieben. 10 ist eine schematische Zeichnung, die eine Konfiguration eines Beispiels für Kissen 4 zeigt, wobei eine Vielzahl von Kissen 4 auf der (–)-Seite, die zum Beispiel mit der Buselektrode 2b verbunden ist, mit einer weiteren Buselektrode 2c verbunden ist. Jedes der Kissen 4 auf der (+)-Seite, die mit den Ziehelektroden 5 verbunden ist, ist innerhalb einer Region angeordnet, die von diesen Buselektroden 2b, 2c umgeben ist. Auch wenn in dieser Konfiguration ein unvollständiger Kontakt in einem der Kissen 4 verursacht wird, werden dadurch die anderen Kissen nicht beeinträchtigt, da alle Kissen 4 der (–)-Seite mit der Buselektrode 2c verbunden sind. Auf diese Weise kann die Produktionsausbeute verbessert werden.
  • 11 ist eine schematische Zeichnung, die eine Konfiguration eines anderen Beispiels der Kissen 4 zeigt, wobei eine Buselektrode 2d als Kissen für die Ziehelektroden 5 genutzt wird. Als Resultat von solch einer Konfiguration kann der Bereich der Kissen weggelassen werden, weshalb die Rahmenregion verengt werden kann. Zusätzlich kann in dem Fall, wenn die Ziehelektroden 5 als Elektroden zum Erden verwendet werden und die Kissen 4, die mit den Buselektroden 2b verbunden sind, als Kissen für Signale in dieser Konfiguration verwendet werden, der Einfluß des Nebensprechens von außen, wie beispielsweise von anderen Antriebssignalen, reduziert werden, da die Kissen für Signale zwischen den Elektroden zum Erden angeordnet sind.
  • Vierte Ausführungsform
  • Die folgende Beschreibung betrifft ein flexibles Substrat 11, das über einem Feldkörper 20 zu plazieren ist, der aus einem nichtpiezoelektrischen Substrat 10 gebildet ist, das mit den obigen IDTs 1 und Kissen 4, etc. versehen ist. 12A ist eine schematische Zeichnung, die eine Gesamtkonfiguration eines flexiblen Substrats 11 zeigt, und 12B ist eine schematische Zeichnung des Feldkörpers 20. Das flexible Substrat 11 ist mit einer Vielzahl von Verbindungseinheiten 12 versehen, die jeweilig der Vielzahl von Kissen 4 auf dem Feldkörper 20 entsprechen, und mit Anschlußleitungen 13, die mit den Verbindungseinheiten 12 zum Extrahieren von Signalen nach außen verbunden sind. Demzufolge werden Signale durch die Anschlußleitungen 13 mit niedrigem Widerstand übertragen, die auf dem flexiblen Substrat 11 vorgesehen sind, woraus eine Reduzierung von Widerstandsverlusten resultiert.
  • Das flexible Substrat 11 kann auch aus vier separaten eindimensionalen Stücken (Bändern) gebildet sein, so daß jedes von ihnen über einer jeweiligen Seite des Feldkörpers 20 plaziert ist und zusammengeklebt ist, wie in 13A gezeigt, oder kann in einem einzelnen Stück des rahmenförmigen flexiblen Substrats 11 entsprechend der Form des Feldkörpers 20 gebildet sein, um alle Seiten des Feldkörpers 20 zu bedecken, wie in 13B gezeigt.
  • 14A und 14B sind eine Draufsicht und eine perspektivische Ansicht, die jeweilig ein Layoutbeispiel für das flexible Substrat 11 zeigen, das über dem Feldkörper 20 plaziert ist, der mit den Kissen von 10 versehen ist, und 15A und 15B sind eine Draufsicht bzw. eine perspektivische Ansicht, die ein anderes Layoutbeispiel für das flexible Substrat 11 zeigen, das über dem Feldkörper 20 plaziert ist, der mit den Kissen von 11 versehen ist. Ferner ist in 14A und 15A die Position des flexiblen Substrats 11, das auf den Feldkörper 20 angewendet wird, durch die Strichpunktlinie gekennzeichnet.
  • Bei den in 15A und 15B gezeigten Beispielen überlappt das flexible Substrat 11 auch den IDT 1 auf dem Feldkörper 20, und die Anschlußleitungen 13 sind über dem IDT 1 in Form einer nichtniveaugleichen Überkreuzung angeordnet (mehrschichtige Struktur), weshalb die Rahmenregion um mehr als 2 mm im Vergleich zu den Beispielen von 14A und 14B verengt werden kann.
  • 16A und 16B sind perspektivische Ansichten, die Konfigurationen eines flexiblen Substrats 11 des Falttyps zeigen, der ein anderes Beispiel für eine Form des flexiblen Substrats 11 ist. Bei diesen Beispielen sind die Anschlußleitungen 13 rings um die Begrenzungsseiten (Außenränder) des Feldkörpers 20 angeordnet, statt auf der oberen Fläche des Feldkörpers 20. Mit anderen Worten, das flexible Substrat 11 ist um die Substratränder in einer Dickenrichtung des nichtpiezoelektrischen Substrats 10 gefaltet, und die Anschlußleitungen 13 verlaufen längs der Ränder. Als Resultat kann die Rahmenregion des Feldkörpers 20 um solch einen Abschnitt verengt werden, der zum Anordnen der Anschlußleitungen 13 erforderlich wäre. Da eine Anschlußeinheit, die die Anschlußleitungen 13 nach außen führt, ferner in zwei Positionen getrennt ist, kann auch der Einfluß des Nebensprechens gemildert werden.
  • Ferner kann in dem Fall, wenn das flexible Substrat 11 durch Falten eines eindimensionalen Materials (einzelnes Band) zu bilden ist, ein Raum, der durch eine zweidimensionale rahmenförmige Struktur definiert ist, die eine Apertur in ihrer Mitte hat, ohne Materialverlust gebildet werden, weshalb eine Massenproduktion mit niedrigen Kosten machbar ist. Speziell wird, wenn das Material von einem Längsstück zum Bilden des flexiblen Substrats 11 gefaltet wird, die Breite des zu verwendenden Materials minimal, woraus eine weitere Kostenreduzierung resultiert. Beispiele für ungefaltete Formen von flexiblen Substraten 11, die so wie oben beschrieben konstruiert sind, sind in 17A bis 17C gezeigt. Wenn die Anschlußleitungen 13 seriell auf einer Fläche angeordnet werden, wie in 17B, wird die Struktur signifikant vereinfacht und kann ein Flachverbinder des Mehrzwecktyps zur Verbindung verwendet werden.
  • Bislang wurde beschrieben, daß in einer Berührungsfeldvorrichtung gemäß der Erfindung die Ziehelektrode von der inneren Buselektrode hin zu dem Rand des Substrats innerhalb des IDT herausgeführt wird. Deshalb wird der Widerstandsverlust in den Buselektroden reduziert, da Signale die Ziehelektrode durchlaufen, und als Resultat kann der Wider standsverlust in der Übertragungseinheit verringert werden, ohne die Rahmenregion zu vergrößern.
  • Vorzugsweise ist der IDT durch die Ziehelektroden gleichmäßig in eine Vielzahl von Regionen segmentiert. Deshalb kann die Konvertierungseffektivität von Wellen, die auf jeder Seite angeregt werden, ausgeglichen sein und kann der Konvertierungsprozeß vereinfacht werden. Da die Impedanz von jeder Region des IDT, die durch die Ziehelektrode segmentiert ist, gleich gemacht werden kann, kann die Anregungseffektivität in jeder segmentierten Region ausgeglichen sein. Da ferner die Kapazität von jeder segmentierten Region des IDT gleich gemacht wird, kann eine stabilisierte Antriebsdetektion ausgeführt werden. Da ferner der Widerstandswert von jeder von der Vielzahl von Ziehelektroden gleich gemacht wird, können Widerstandsverluste innerhalb eines gewissen Niveaus in jeder Region geregelt sein.
  • Die Breite der Ziehelektrode wird vorzugsweise auf (3/8 + n)λ festgelegt (λ: Wellenlänge der SAW, n: eine ganze Zahl, die nicht negativ ist). Auf diese Weise werden Charakteristiken auf der Basis von Konstruktionsparametern vorhersehbarer, und ein Abfall der Anregungseffektivität kann verhindert werden. Durch Bilden der Ziehelektrode aus Metall (Metallstreifen-Array) kann ein Unterdrückungseffekt von reflektierten Wellen auch von der Ziehelektrode erwartet werden, und der Effekt von unerwünschten Reflexionen, die in dem IDT auftreten können, kann gemildert werden.
  • Ferner kann in einer Berührungsfeldvorrichtung gemäß der Erfindung das Kissen, das mit der Ziehelektrode verbunden ist, innerhalb der Buselektrode vorgesehen sein, weshalb der Widerstand unter Verwendung der Leitereinheit (leitfähiger Bereich) der Buselektrode reduziert werden kann, und die Rahmenregion kann verengt werden, indem irgendein zusätzlicher Bereich für das Kissen weggelassen wird. Zusätzlich kann der Einfluß eines unvollständigen Kontaktes minimiert werden, woraus eine verbesserte Ausbeute resultiert.
  • Indem das flexible Substrat über dem Feldkörper plaziert wird, kann der Widerstandsverlust weiter reduziert werden und die Übertragung stabilisiert werden. Ferner kann der IDT mit dem flexiblen Substrat bedeckt sein, das dann als Schutzschicht gegenüber einem unerwarteten Stoß dient, weshalb die Zuverlässigkeit erhöht wird. Durch Anordnen der Anschlußleitungen über (oder unter) dem IDT kann die Rahmenregion verengt werden. Wenn das flexible Substrat ferner über die Feldseiten gefaltet wird und die Anschlußleitungen längs der Ränder des Feldkörpers verlaufen, kann die Rahmenregion weiter verengt werden. Da ein zweidimensionales flexibles Substrat gebildet werden kann, indem ein einzelnes Band (eindimensionales Material) gefaltet wird, kann schließlich eine Massenproduktion mit niedrigen Kosten realisiert werden.

Claims (13)

  1. Berührungsfeldvorrichtung, in der interdigitale Transducer [IDTs] (1) zum Anregen oder Empfangen von akustischen Oberflächenwellen vorgesehen sind, wobei jeder IDT ein Paar von einander zugewandten Buselektroden (2a, 2b) umfaßt, die längs der Seiten einer Detektionsregion der Berührungsfeldvorrichtung orientiert sind und auf einem peripheren Bereich eines Substrats so plaziert sind, daß eine Buselektrode des Paares näher als die andere Buselektrode an der Detektionsregion positioniert ist, und kammartige Elektrodenfinger (3), die sich zwischen den einander zugewandten Buselektroden (2a, 2b) erstrecken und alternierend mit ihnen verbunden sind; dadurch gekennzeichnet, daß sie ferner wenigstens eine Ziehelektrode (5) umfaßt, die mit der Buselektrode (2a) verbunden ist, die näher an der Detektionsregion (10) positioniert ist, und zu der Seite des peripheren Bereichs des Substrats (10) herausgeführt ist und mit demselben elektrischen Potential wie die Buselektrode direkt verbunden ist.
  2. Berührungsfeldvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der IDT (1) durch die oder jede genannte Ziehelektrode (5) in eine Vielzahl von Regionen segmentiert ist.
  3. Berührungsfeldvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Ziehelektrode (5) so angeordnet ist, daß die Impedanz von jeder segmentierten Region des IDT (1) gleich wird.
  4. Berührungsfeldvorrichtung nach Anspruch 3, bei der die elektrostatische Kapazität von jeder segmentierten Region des IDT (1) gleich ist.
  5. Berührungsfeldvorrichtung nach Anspruch 3, bei der eine Vielzahl der Ziehelektroden (5) vorgesehen ist und der Widerstandswert von jeder von der Vielzahl von Ziehelektroden (5) gleich ist.
  6. Berührungsfeldvorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 5, bei der die Breite der Ziehelektrode (5) (3/8 + n)λ beträgt (λ: Wellenlänge der akustischen Oberflächenwelle, n: eine ganze Zahl, die nicht negativ ist).
  7. Berührungsfeldvorrichtung nach Anspruch 6, bei der die Ziehelektrode (5) aus einem Metallband-Array ist.
  8. Berührungsfeldvorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 7, bei der wenigstens ein Kissen (4), das mit der Ziehelektrode (5) Verbunden ist, innerhalb der Buselektroden (2b) vorgesehen ist.
  9. Berührungsfeldvorrichtung nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, ferner mit wenigstens einem Kissen (4), das in der Ziehelektrode (5) vorgesehen ist, und einem flexiblen Substrat (11), das wenigstens eine Verbindungseinheit (12) hat, die dem Kissen (4) entspricht.
  10. Berührungsfeldvorrichtung nach Anspruch 9, bei der das flexible Substrat (11) so angeordnet ist, um den IDT (1) zu bedecken.
  11. Berührungsfeldvorrichtung nach Anspruch 10, bei der das flexible Substrat (11) wenigstens eine Anschlußleitung (13) hat, die mit der Ziehelektrode (5) auf einem Abschnitt von sich verbunden ist, der den IDT (1) bedeckt.
  12. Berührungsfeldvorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 9 bis 11, bei der das flexible Substrat (11) eine Form hat, die in einer Dickenrichtung des Substrats (10) gefaltet ist.
  13. Berührungsfeldvorrichtung nach Anspruch 12, bei der das flexible Substrat (11) aus einem flexiblen planaren Band ist, das zu einer dreidimensionalen Gestalt gefaltet ist.
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