DE602006000249T2

DE602006000249T2 - Gerät und Verfahren zur Bestimung der Positionsgenauigkeit

Info

Publication number: DE602006000249T2
Application number: DE602006000249T
Authority: DE
Inventors: Yutaka Unno; Taiji Kiku
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2005-03-17
Filing date: 2006-03-17
Publication date: 2008-10-02
Anticipated expiration: 2026-03-18
Also published as: JP4728021B2; KR20060101260A; TW200644707A; DE602006000249D1; EP1703777A1; US7948516B2; JP2006258665A; EP1703777B1; TWI315161B; KR100733444B1; US20060207987A1

Description

GEGENSEITIGE BEZUGNAHME AUF VERWANDTE ANMELDÜNGEN
Diese Anmeldung basiert auf einer japanischen Patentanmeldung Nr. TOKUGAN 2005-077929 und nimmt den Zeitrang derselben in Anspruch, welche am 17. März 2005 eingereicht worden ist.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bestimmen der Positionsgenauigkeit, um anzuzeigen, wenn Elemente aus einem zweiten Material innerhalb eines ersten scheibenförmigen Materials angeordnet sind, um einen ersten Kreis des zweiten Materials mit einem Radius einer ersten Länge und einen zweiten Kreis des zweiten Materials mit einem Radius einer zweiten Länge auszubilden, und die Abweichungswerte des tatsächlichen ersten Kreises und des zweiten Kreises von bestimmten Positionen.
2. Beschreibung des Stands der Technik
Allgemein ist, wie in der Offenlegungsschrift der japanischen Patentanmeldung Nr. 2004-079440 offenbart , ein Verfahren zur Bestimmung bekannt, ob Heizvorrichtungen, die aus einem zweiten Material bestehen und in einer Scheibe aus einem ersten Material eingebettet sind, gleichmäßig angeordnet sind, indem den Heizvorrichtungen Energie zugeführt wird, um Wärme zu erzeugen und durch Messen einer Temperaturverteilungsabbildung zu bestimmen, ob die Scheibe gleichmäßig erwärmt wird.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Gemäß dem oben erwähnten Verfahren ist es jedoch notwendig, eine Stromversorgungselektrode an den Heizvorrichtungen anzubringen und die Heizvorrichtungen für eine vorbestimmte Zeitperiode mit Strom zu versorgen, um die gesamte Scheibe vor dem Messen der Temperaturverteilungsabbildung zu erwärmen. Daher entsteht das Problem, dass einige zehn Minuten benötigt werden, bis die Temperaturverteilungsabbildung gemessen werden kann. Sobald die Scheibe größer wird, wird die zur Energiezufuhr in die Heizvorrichtungen zur Erwärmung der gesamten Scheibe benötigte Zeitperiode länger.
Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Bestimmung der Positionsgenauigkeit von Heizvorrichtungen in Bezug auf die Scheibe bereitzustellen, ohne einen Vorgang zur Energiezufuhr in die Heizvorrichtungen zur Erwärmung der Scheibe durchzuführen.
Gemäß einem ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Bestimmung der Positionsgenauigkeit bereitgestellt, welches anzeigt, wann Elemente aus einem zweiten Material innerhalb eines scheibenförmigen ersten Materials derart angeordnet sind, um einen ersten Kreis des zweiten Materials mit einem Radius einer ersten Länge und einen zweiten Kreis des zweiten Materials mit einem Radius einer zweiten Länge auszubilden, und Abweichungswerte des ersten und des zweiten Kreises von bestimmten Positionen, umfassend die folgenden Schritte: (1) des im Wesentlichen gleichen Teilens des Außenumfangs des scheibenförmigen ersten Materials durch n und Messen einer ersten Position bis zu einer n-ten Position, (2) des Messens einer (n + 1)-ten Position, die ein Schnittpunkt eines ersten Radius und eines Kreisbogens des ersten Kreises ist, wobei der erste Radius den Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials und die erste Position verbindet, bis zu einer 2n-ten Position, die ein Schnittpunkt eines n-ten Radius und des Kreisbogens des ersten Kreises ist, wobei der n-te Radius den Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials und die erste Position verbindet, (3) des Messens einer (2n + 1)-ten Position, die ein Schnittpunkt des ersten Radius und eines Kreisbogens des zweiten Kreises ist, bis zu einer 3n-ten Position, die ein Schnittpunkt des n-ten Radius und des Kreisbogens des zweiten Kreises ist, (4) des Berechnens eines ersten Vektors, beginnend von der (n + 1)-ten Position und endend an der ersten Position, bis zu einem n-ten Vektor, beginnend mit der 2n-ten Position und endend an der n-ten Position, (5) des Berechnens eines (n + 1)-ten Vektors, beginnend mit der (2n + 1)-ten Position und endend an der (n + 1)-ten Position, bis zu einem 2n-ten Vektor, beginnend mit der 3n-ten Position und endend an der 2n-ten Position, (6) des Berechnens eines ersten kombinierten Vektors durch Addieren des ersten bis n-ten Vektors, (7) des Berechnens eines zweiten kombinierten Vektors durch Addieren des (n + 1)-ten bis 2n-ten Vektors und (8) des Bestimmens der Positionsgenauigkeit des ersten und des zweiten Kreises relativ zum Außenumfang des scheibenförmigen ersten Materials; basierend auf einem dritten kombinierten Vektor, der durch Addieren des ersten kombinierten Vektors und des zweiten kombinierten Vektors erhalten wird, worin „n" eine natürliche Zahl von vier oder mehr ist.
Für das scheibenförmige erste Material werden vorzugsweise Nitridkeramikmaterialien, beispielsweise Siliziumnitrid, Aluminiumnitrid, Bornitrid und Sialon sowie ein Aluminiumsiliziumkarbid-Verbundwerkstoff verwendet.
Für das zweite Material werden vorzugsweise feuerfeste Materialien, wie etwa Tantal, Wolfram, Molybdän, Platin, Rhenium und Hafnium oder Legierungen derselben verwendet. Kohlenstoff, TiN und TiC können als leitende Materialien anstelle von Metall verwendet werden.
„Elemente aus einem zweiten Material ... angeordnet sind, um einen ersten Kreis ... mit einem Radius einer ersten Länge ... auszubilden" bedeutet, dass die Elemente aus dem zweiten Material nicht angeordnet werden müssen, um einen „vollständigen" Kreis zu bilden. Wie später beschrieben, kann ein Teil eines Kreisbogens fehlen. Ferner bedeutet „um einen Kreis ... auszubilden", dass die die Ausbildung eines Kreises „beabsichtigt" ist. Im Allgemeinen ist die Anordnung der Elemente wie geplant nicht einfach, auch wenn die Anordnung der Elemente aus dem zweiten Material innerhalb des scheibenförmigen ersten Materials beabsichtigt ist, um einen vorbestimmten Kreis auszubilden. Die vorliegende Erfindung ist zur Bestimmung vorgesehen, wie viel Elemente, die wie geplant angeordnet werden sollen, tatsächlich von den geplanten Positionen abweichen.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind die aus dem zweiten Material bestehenden Elemente ebenfalls zwischen der Mitte und dem zweiten Kreis angeordnet, um einen dritten, ..., und einen m-ten Kreis auszubilden, die Elemente aus dem zweiten Material sind zwischen dem zweiten Kreis und dem ersten Kreis angeordnet, um einen (m + 1)-ten, ..., und einen (m + k)-ten Kreis auszubilden und die Unterschiede in einer Radiallänge zwischen den jeweiligen angrenzenden Kreisen sind im Wesentlichen gleich.
Wenn beispielsweise angenommen wird, dass m = 4 und k = 4 ist, ist der kleinste Kreis ein dritter Kreis, ein etwas größerer Kreis als der dritte Kreis ist ein vierter Kreis, ein etwas größerer Kreis als der vierte Kreis ist ein fünfter Kreis, ein etwas größerer Kreis als der fünfte Kreis ist ein sechster Kreis, ein etwas größerer Kreis als ein sechster Kreis ist der zweite Kreis, ein etwas größerer Kreis als der zweite Kreis ist ein siebter Kreis, ein etwas größerer Kreis als der siebte Kreis ist ein achter Kreis und ein etwas größerer Kreis als der achte Kreis ist der erste Kreis.
Wenn angenommen wird, dass ein Unterschied in der Radiallänge zwischen den angrenzenden beiden Kreisen Δr ist, dann sind die folgenden Beziehungen im Wesentlichen wie folgt erstellt:
(Radiallänge des dritten Kreises) + Δr ≒ (Radiallänge des vierten Kreises),
(Radiallänge des vierten Kreises) + Δr ≓ (Radiallänge des fünften Kreises),
(Radiallänge des fünften Kreises) + Δr ≓ (Radiallänge des sechsten Kreises),
(Radiallänge des sechsten Kreises) + Δr ≓ (Radiallänge des zweiten Kreises),
(Radiallänge des zweiten Kreises) + Δr ≓ (Radiallänge des siebten Kreises),
(Radiallänge des siebten Kreises) + Δr ≓ (Radiallänge des achten Kreises),
(Radiallänge des achten Kreises) + Δr ≓ (Radiallänge des ersten Kreises).
Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist der Radius des ersten Kreises der längste der Radii aus erstem, zweiten, dritten, ..., m-ten, (m + 1)-ten, ..., und (m + k)-ten Kreis und der Radius des zweiten Kreises ist im Wesentlichen die halbe Länge des Radius des ersten Kreises.
Beispielsweise gilt eine Beziehung von (Radiallänge des dritten Kreises) < (Radiallänge des vierten Kreises) < (Radiallänge des fünften Kreises) < (Radiallänge des sechsten Kreises) < (Radiallänge des zweiten Kreises) < (Radiallänge des siebten Kreises) < (Radiallänge des achten Kreises) < (Radiallänge des ersten Kreises) und eine Beziehung von (Radiallänge des zweiten Kreises) (Radiallänge des ersten Kreises)/2.
Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Positionsgenauigkeit des ersten und zweiten Kreises aus dem zweiten Material relativ zum Außenumfang des scheibenförmigen ersten Materials in einer kurzen Zeitperiode auf Basis des dritten kombinierten Vektors bestimmt werden.
Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung stimmt der kombinierte Vektor, der unter Verwendung des oben genannten Verfahrens erhalten wird, gut mit einer exzentrischen Richtung, die aus einer Temperaturverteilungsabbildung erhalten wird, überein und somit kann die Positionsgenauigkeit des ersten und zweiten Kreises aus dem zweiten Material relativ zum Außenumfang des ersten scheibenförmigen Materials genau bestimmt werden.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Beispielhafte Ausführungsformen der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung und den beigefügten Ansprüchen besser ersichtlich, die zusammen mit den beigefügten Zeichnungen zu lesen sind. Unter der Voraussetzung, dass diese Zeichnungen nur beispielhafte Ausführungsformen darstellen und daher nicht als ein schränkend für den Schutzumfang der Erfindung anzusehen sind, werden die beispielhaften Ausführungsformen der Erfindung mit den zusätzlichen Besonderheiten und Details unter Verwendung der beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen:
1A, 1B eine schematische Konfiguration einer Positionsgenauigkeits-Bestimmungsvorrichtung zeigen, wobei 1A ein Blockgesamtdiagramm der Positionsgenauigkeits-Bestimmungsvorrichtung ist und 1B eine Draufsicht zur Erläuterung der Bewegung einer XY-Plattform ist,
2 ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Ablaufes von der Rohbearbeitung einer Scheibe zu einer endgültigen Bestimmungsphase ist,
3 ein Flussdiagramm zur Darstellung des Ablaufes einer Positionsgenauigkeitsbestimmung ist,
4 ein Beispiel einer grundlegenden Information zur Berechnung der geplanten Positionen zeigt,
5 ein Beispiel der geplanten Positionen zeigt,
6A, 6B ein Beispiel einer geplanten Heizelementsposition und einer tatsächlichen Heizelementposition zeigt, wobei 6A ein von einer Röntgenkamera aufgenommenes Bild eines Heizelements zeigt und 6B eine vergrößerte Ansicht eines Mittelteils von 6A ist,
7 zeigt einen Abstand und Ähnliches zwischen der tatsächlichen Heizelementposition (Messergebnis) und einer Messposition, die aus dem Messergebnis berechnet wird,
8 zeigt einen Abstand d1 zwischen einem Außenumfang der Scheibe und einem äußersten Heizelement und einen Abstand d2 zwischen dem äußersten Heizelement und einem fünften Umfangsheizelement,
9 zeigt ein Beispiel eines Vektors oder eines kombinierten Vektors, der aus den tatsächlichen Messpositionen berechnet wird, und
10 zeigt ein Ergebnis eines herkömmlichen Verfahrens zur Bestimmung der Temperaturverteilung unter Verwendung eines Infrarotthermometers.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFOR-MEN
Verschiedene Ausführungsformen der Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, wie hierin in den Zeichnungen allgemein beschrieben und veranschaulicht, könnten in einer breiten Vielfalt an verschiedenen Konfigurationen angeordnet und geplant sein. Daher ist die folgende, detailliertere Beschreibung einiger beispielhafter Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, wie in den Zeichnungen dargestellt, nicht als einschränkend in Bezug auf den Schutzumfang der Erfindung, wie in den Ansprüchen dargelegt, sondern lediglich als repräsentativ für die Ausführungsformen der Erfindung anzusehen.
Das Wort „beispielhaft" wird hierin ausschließlich verwendet, um „als Beispiel, Fall oder Veranschaulichung dienend" zu bedeuten. Jede hierin als „beispielhaft" beschriebene Ausführungsformen ist nicht notwendigerweise als gegenüber den anderen Ausführungsformen als bevorzugt oder vorteilhaft anzusehen. Während verschiedene Aspekte der Ausführungsformen in den Zeichnungen dargestellt werden, sind die Zeichnungen nicht notwendigerweise maßstabsgetreu abgebildet, außer dies ist extra angegeben.
< Konfiguration der Positionsgenauigkeits-Bestimmungsvorrichtung >
1A, 1B zeigen eine schematische Konfiguration einer Positionsgenauigkeits-Bestimmungsvorrichtung. 1A ist ein Blockgesamtdiagramm der Positionsgenauigkeitsvorrichtung und 1B ist eine Draufsicht zur Erläuterung der Bewegung einer XY-Plattform. Wie in 1A und 1B gezeigt, umfasst eine Positionsgenauigkeits-Bestimmungsvorrichtung 100 eine Röntgenkamera 101, eine in X- und Y-Richtung bewegliche XY-Plattform 102 mit einem auf dieser positionierten Messgegenstand (Probe) 103 und einen Personalcomputer (PC), der die Röntgenkamera 101 und die XY-Plattform steuert. Der PC 104 umfasst eine Anzeigevorrichtung 105, beispielsweise eine CRT- oder eine Flüssigkeitskristallanzeige, eine Zeigevorrichtung 106, beispielsweise eine Maus, einen Trackpad oder einen Stickpointer, eine Zeichen-/Ziffern-Eingabeeinheit 107, beispielsweise eine Tastatur, ein Festplattenlaufwerk (HDD) (nicht abgebildet) und eine zentrale Rechnereinheit (CPU). Die HDD ist ein Beispiel für eine Speichereinheit, die Messgegenstandspositionen der Probe und der Elemente in dieser speichern kann, und die CPU ist ein Beispiel einer Rechnungseinheit, die einen Vektor beginnend von einer der Messgegenstandspositionen und endend an der anderen Messgegenstandsposition messen kann und ebenfalls die Summe der beiden oder von mehreren Vektoren berechnen kann.
Die Positionsgenauigkeits-Bestimmungsvorrichtung 100 umfasst ebenfalls eine XY-Plattform-Ansteuereinheit (nicht abgebildet). Sogar wenn die Röntgenkamera 101 den gesamten Messgegenstand nicht durch eine einzelne Aufnahme erfassen kann, kann der gesamte Messgegenstand 103 ausnahmslos durch geeignetes Bewegen der XY-Plattform in X- und Y-Richtung beobachtet werden. Sogar wenn beispielsweise der beobachtbare Bereich durch die Röntgenkamera 101 durch eine einzelne Aufnahme 200 mm Durchmesser hat, wenn sich die XY-Plattform 102 100 mm in X- bzw. Y-Richtung bewegen kann, umfasst der photographierbare Bereich 400 mm durch Teilen der Aufnahme in fünf Einzelaufnahmen.
Das Photographieren des gesamten Messgegenstands 103 durch eine Vielzahl an Einzelaufnahmen bedeutet, dass der durch die Röntgenkamera 101 zu überprüfende Bereich im Vergleich zum Photographieren des gesamten Messgegenstands 103 durch eine einzelne Aufnahme um eine Einzelaufnahme kleiner wird, was den Vorteil hat, dass die Anzahl der Messfehler abnimmt.
< Positionierung des Positionsgenauigkeits-Bestimmungsvorgangs im gesamten Scheibenbearbeitungsprozess >
2 zeigt einen Ablauf von der Rohbearbeitung der Scheibe bis zur endgültigen Bestimmungsstufe. Wie in 2 gezeigt, wird eine nicht verarbeitete Scheibe roh bearbeitet (Schritt S201), die Positionsgenauigkeit wird bestimmt (Schritt S203) und es wird bestimmt, ob exzentrische Bearbeitung benötigt wird (Schritt S205), Wenn exzentrische Bearbeitung benötigt wird, wird die exzentrische Bearbeitung durchgeführt (Schritt S207) und dann wird die primäre Bearbeitung durchgeführt (Schritt S209). Wenn die exzentrische Bearbeitung nicht benötigt wird, wird auf die exzentrische Bearbeitung verzichtet und die primäre Bearbeitung wird durchgeführt (Schritt S209). Danach wird eine Welle mit der Primärbearbeitungsscheibe verbunden (Schritt S211), die zweite Bearbeitung durchgeführt (Schritt S213) und die endgültige Bestimmung durchgeführt (Schritt S215).
Daher wird eine Positionsgenauigkeitsbestimmung (Schritt S203) und eine Bestimmung, ob die exzentrische Bearbeitung in der Ausführungsform benötigt wird (Schritt S205), zwischen der Rohbearbeitung der Scheibe (Schritt S201) und der exzentrischen Bearbeitung (Schritt S207) durchgeführt. Es wird bestimmt, ob die exzentrische Bearbeitung basierend auf der Positionsgenauigkeitsbestimmung (Schritt S203) (Schritt S205) nötig ist.
Beispielsweise wird angenommen, dass ein erstes Umfangsheizelement, ein zweites Umfangsheizelement, ... und ein achtes Umfangsheizelement in der Scheibe von der Mitte der Scheibe in Richtung eines Außenumfangs derselben eingebettet sind. In diesem Fall wird ein Abstand zwischen dem Außenumfang der Scheibe und dem äußersten Heizelement (dem achten Umfangsheizelement) an einer Vielzahl an Punkten gemessen und ein Abstand zwischen dem äußersten Heizelement und dem fünften Umfangsheizelement wird an einer Vielzahl an Punkten gemessen. Auf der Basis dieser Messdaten werden die Relativposition des äußersten Heizelements relativ zum Außenumfang der Scheibe und die Relativposition des fünften Umfangsheizelements relativ zum äußersten Heizelement berechnet.
< Ablauf der Positionsgenauigkeitsbestimmung >
3 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung des Ablaufes der Positionsgenauigkeitsbestimmung. Wie in 3 gezeigt, ist der Außenumfang des scheibenförmigen ersten Materials im Wesentlichen gleichmäßig durch n geteilt und eine erste Position bis zu einer n-ten Position wird gemessen (Schritt S301).
In der Ausführungsform ist das scheibenförmige erste Material eine Keramikscheibe und der Außenumfang der Scheibe wird durch zwölf geteilt und die erste Position bis zur zwölften Position wird gemessen.
Die n(+1)-te Position, die ein Schnittpunkt des ersten Radius und eines Kreisbogens des ersten Kreises ist, wobei der erste Radius den Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials und die erste Position verbindet, bis zur 2n-ten Position, die ein Schnittpunkt des n-ten Radius und des Kreisbogens des ersten Kreises ist, wobei der n-te Radius den Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials und die n-te Position verbindet, wird als Nächstes gemessen (Schritt S303).
In der Ausführungsform sind das erste Umfangsheizelement, das zweite Umfangsheizelement, ... und das achte Umfangsheizelement in der Keramikscheibe ausgebildet. Das erste Umfangsheizelement ist das Heizelement, welches dem Mittelpunkt der Scheibe am nächsten ist, und das achte Umfangsheizelement ist das Heizlelement, welches dem Außenumfang der Scheibe am nächsten ist.
Ein Radius, der den Mittelpunkt der Scheibe und die erste Position auf dem Außenumfang der Scheibe verbindet, ist der erste Radius,
ein Radius, der den Mittelpunkt der Scheibe und die zweite Position auf dem Außenumfang der Scheibe verbindet, ist der zweite Radius,
ein Radius, der den Mittelpunkt der Scheibe und die dritte Position auf dem Außenumfang der Scheibe verbindet, ist der dritte Radius, .... und
ein Radius, der den Mittelpunkt der Scheibe und die zwölfte Position auf dem Außenumfang der Scheibe verbindet, ist der zwölfte Radius, also n = 12.
Ein Schnittpunkt des ersten Radius und des achten Umfangsheizelements ist die dreizehn-te Position,
ein Schnittpunkt des zweiten Radius und des achten Umfangsheizelements ist die vierzehn-te Position,
ein Schnittpunkt des dritten Radius und des achten Umfangsheizelements ist die fünfzehn-te Position, ... und
ein Schnittpunkt des zwölften Radius und des achten Umfangsheizelements ist die vierundzwanzigs-te Position.
Die (2n + 1)-te Position, die ein Schnittpunkt des ersten Radius und des Kreisbogens des zweiten Kreises ist, wird bis zur 3n-ten Position, die ein Schnittpunkt des n-ten Radius und des Kreisbogens des zweiten Kreises ist, gemessen (Schritt S305).
In der Ausführungsform ist der zweite Kreis das fünfte Umfangsheizelement.
Ein Schnittpunkt des ersten Radius und des fünften Umfangsheizelements ist die fünfundzwanzigste Position,
ein Schnittpunkt des zweiten Radius und des fünften Umfangsheizelements ist die sechsundzwanzigste Position,
ein Schnittpunkt des dritten Radius und des fünften Umfangsheizelements ist die siebenundzwanzigste Position, ... und
ein Schnittpunkt des zwölften Radius und des fünften Umfangsheizelements ist die sechsunddreißigste Position.
Der erste Vektor, beginnend von der (n + 1)-ten Position und endend an der ersten Position, wird bis zum n-ten Vektor, beginnend von der 2n-ten Position und endend an der n-ten Position, berechnet (Schritt S307).
In der Ausführungsform ist ein Vektor, beginnend von der dreizehn-ten Position und endend an der ersten Position, der erste Vektor,
ein Vektor, beginnend von der vierzehn-ten Position und endend an der zweiten Position, der zweite Vektor,
ein Vektor, beginnend von der fünfzehn-ten Position und endend an der dritten Position, der dritte Vektor, ... und
ein Vektor, beginnend von der vierundzwanzigsten Position und endend an der zwölften Position, der zwölfte Vektor.
Der (n + 1)-te Vektor, beginnend von der (2n + 1)-ten Position und endend an der (n + 1)-ten Position, wird bis zum 2n-ten Vektor, beginnend von der 3n-ten Position und endend an der 2n-ten Position, berechnet (Schritt S309).
In der Ausführungsform ist ein Vektor, beginnend von der fünfundzwanzigsten Position und endend an der dreizehn-ten Position, der dreizehn-te Vektor,
ein Vektor, beginnend von der sechsundzwanzigsten Position und endend an der vierzehn-ten Position, der vierzehn-te Vektor,
ein Vektor, beginnend von der siebenundzwanzigsten Position und endend an der fünfzehn-ten Position, der fünfzehn-te Vektor, ... und
ein Vektor, beginnend von der sechsunddreißigsten Position und endend an der vierundzwanzigsten Position, der vierundzwanzigste Vektor.
Der erste Vektor bis zum n-ten Vektor wird dann zur Berechnung eines ersten kombinierten Vektors addiert (Schritt S311).
In der Ausführungsform werden alle aus dem ersten Vektor, dem zweiten Vektor, dem dritten Vektor, ... und dem zwölftem Vektor addiert, um den ersten kombinierten Vektor zu berechnen.
Der (n + 1)-te Vektor bis zum 2n-ten Vektor werden addiert, um einen zweiten kombinierten Vektor zu berechnen (Schritt 313).
In der Ausführungsform werden alle aus dreizehn-tem Vektor, vierzehn-tem Vektor, fünfzehn-tem Vektor, ... und vierundzwanzigstem Vektor zur Berechnung des zweiten kombinierten Vektors addiert.
Zuletzt wird die Positionsgenauigkeit in Bezug auf das zweite Material des ersten und zweiten Kreises relativ zum Außenumfang des ersten Materials auf der Basis des dritten kombinierten Vektors bestimmt, der durch Addieren des ersten und zweiten kombinierten Vektors erhalten wird (Schritt S315).
< Koordinateninformationen des Messposition >
Wenn die jeweiligen Positionen zu messen sind, wird jeweils eine Markierung an den gekennzeichneten Positionen angezeigt. Der Außenumfang des ersten Materials, der Kreisbogen des ersten Kreises des zweiten Materials oder der Kreisbogen des zweiten Kreises des zweiten Materials, welcher der Markierung am nächsten liegt, wird als eine tatsächliche gemessene Position gekennzeichnet.
In einem Beispiel, in dem der Außenumfang durch 12 geteilt ist, sind die Markierungen an Positionen angezeigt, die durch Teilen des Kreisbogens eines Kreises mit einem gekennzeichneten Radius durch 12 erhalten werden, und der Außenumfang, welcher den Markierungen am nächsten liegt, wird als die tatsächlich gemessene Position gekennzeichnet. Wenn die Keramikscheibe eine der Kennzeichnung ent sprechende Größe hat, sollten alle Markierungen, die sich auf die Positionen auf dem Außenumfang beziehen, auf dem Außenumfang der durch die Röntgenkamera aufgenommenen Scheibe angezeigt werden. Aus verschiedenen Gründen werden jedoch nicht alle Markierungen immer auf dem Außenumfang angezeigt. Dementsprechend sollten, wenn die Heizvorrichtungen an den Kennzeichnungen entsprechenden Positionen eingebettet sind, alle Markierungen, die sich auf die Positionen des achten Umfangsheizelements beziehen, auf dem achten Umfangsheizelement, wie durch die Röntgenkamera aufgenommen, angezeigt werden. Aus verschiedenen Gründen werden jedoch nicht immer alle Markierungen auf dem achten Umfangsheizelement angezeigt. Das gleiche gilt für das fünfte Umfangsheizelement.
Ein Beispiel eines Verfahrens zur Berechnung der gekennzeichneten Position (im Folgenden passenderweise als „Konstruktionswert" bezeichnet) wird unter Bezug auf die 4 und 5 erläutert. Ein Beispiel eines Zustands, in dem die tatsächlich gemessene Position von der gekennzeichneten Position abweicht, wird in 6A, 6B gezeigt.
4 zeigt ein Beispiel einer Basisinformation zur Berechnung der gekennzeichneten Position. Wie in 4 gezeigt, wird ein Artikelname eines Messgegenstands in einer Spalte 401 eingegeben, eine Anzahl für die Messgegenstandsform in einer Spalte 402, ein Ergebnis einer Außenumfangs-Messinformation in einer Spalte 403, ein Verschiebungswinkel in der Außenumfangs-Messinformation in einer Spalte 404, ein Lochdurchmesser für PCD in einer Spalte 405, ob das Koordinatensystem ein XY-Koordinatensystem oder ein Rθ-Koordinatensystem ist, wird in eine Spalte 406 eingegeben und im Falle des Rθ-Koordinatensystems wird der Radius R oder im Falle des XY-Koordinatensystems wird der X-Koordinatenwert in eine Spalte 407 eingegeben, im Falle des Rθ-Koordinatensystems wird der Winkel θ oder im Falle des XY-Koordinatensystems wird ein Y-Koordinatenwert in eine Spalte 408 eingegeben, ein Durchmesser, wenn die Gegenstandsform der Außenumfang oder PCD ist, wird in einer Spalte 409 eingegeben, eine Koordinatenzahl in einer Spalte 410 bzw. Koor dinatenzahlen von zwei Punkten, ein zu messender Abstand desselben, werden in einer Spalte 411 eingegeben.
Beispielsweise zeigt die Gegenstandsformnummer „1" an, dass die Gegenstandsform ein „Punkt" ist, die Gegenstandsformnummer „2" zeigt an, dass die Gegenstandsform ein „Loch" (Dreipunktmessung) ist, die Gegenstandsnummer „3" zeigt an, dass die Gegenstandsform ein „Außenumfang (n-Punktmessung)" ist, und die Gegenstandsformnummer „4" zeigt an, dass die Gegenstandsform eine „PCD-Messung" ist.
Wenn „Gegenstandsform: Name" entsprechend der Koordinateneingabe in der Spalte 411 „Loch" oder „Außenumfang" ist, wird ein Abstand zwischen dem Loch und dem Außenumfang und der „Mitte" gemessen. „PCD" in der Gegenstandsform ist ein Teilkreisdurchmesser und ein Durchmesser eines Kreises, der die Mittelpositionen der Hubstiftlöcher verbindet. Der „Messwinkel" in der Außenumfangs-Messinformation ist ein Winkel zwischen Radiallinien, die die jeweiligen Messpunkte und den Mittelpunkt verbinden, und der „Lochdurchmesser" für PCD ist ein Durchmesser des Hubstiftlochs.
< Gekennzeichnete Messpositionen >
5 zeigt ein Beispiel geplanter, vorgegebener Positionen. Die vorgegebenen Messpositionen (Konstruktionswerte), wie in 5 gezeigt, werden auf der Basis der Koordinateninformation, wie in 4 gezeigt, berechnet. In dem in 5 gezeigten Beispiel werden die Konstruktionswerte durch Radius r und Winkel θ ausgedrückt.
„Punkt 2, Gegenstandsnummer 1" in 5 entspricht der Koordinateninformation Nr. 1 von 4. Wie in 4 gezeigt, werden in der Koordinateninformation Nr. 1, als Rθ-Koordmnatensystem, zuerst Radius r = 123 [mm] und Winkel θ = 180 Grad angegeben. Daher zeigt der Konstruktionswert für „Punkt 2, Gegenstandsnummer 1" Radius r = 123,00 [mm] und Winkel θ = 180,00 Grad an.
„Punkt 3, Gegenstandsnummer 2" bis „Punkt 11, Gegenstandsnummer 2" von 5 entsprechen der Koordinateninformation Nr. 2 von 4. Wie in 4 gezeigt, werden in der Koordinateninformation Nr. 2 Verschiebungswinkel = 30 Grad und Durchmesser = 318 [mm] als Außenumfangs-Messinformationen angegeben. Daher zeigt der Konstruktionswert für „Punkt 3, Gegenstandsnummer 2" Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ = 30,00 Grad an. Ferner beträgt in der Koordinateninformation Nr. 2 der Abstand zwischen „Punkt 3, Gegenstandsnummer 2" und „Punkt 4, Gegenstandsnummer 2" 360/9 = 40 Grad. Demgemäß zeigt der Konstruktionswert „Punkt 4, Gegenstandsnummer 2" zeigt Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ = 70,00 Grad an.
Dementsprechend zeigt der Konstruktionswert für „Punkt 5, Gegenstandsnummer 2" von 5 Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ 110,00 Grad an,
„Punkt 6, Gegenstandsnummer 2" zeigt Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ = 150,00 Grad an,
„Punkt 7, Gegenstandsnummer 2" zeigt Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ = 190,00 Grad an,
„Punkt 8, Gegenstandsnummer 2" zeigt Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ = 230,00 Grad an,
„Punkt 9, Gegenstandsnummer 2" zeigt Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ = 270,00 Grad an,
„Punkt 10, Gegenstandsnummer 2" zeigt Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ = 310,00 Grad an,
„Punkt 11, Gegenstandsnummer 2" zeigt Radius r = 159,00 [mm] und Winkel θ = 350,00 Grad an.
„Punkt 12, Gegenstandsnummer 2” von 5 entspricht der Koordinateninformation Nr. 3 von 4. Wie in 4 gezeigt, werden in der Koordinateninformation Nr. 3 der X-Koordinatenwert = 11.2 [mm] und der Y-Koordinatenwert = 8 [mm] als XY-Koordinatensystem angegeben. Auf der Basis dieser Werte werden Radius r = 13,76 [mm] und Winkel θ = 35,54 Grad als Konstruktionswerte für „Punkt 12, Gegenstandsnummer 3" von 5 berechnet.
Dementsprechend werden auf der Basis des X-Koordinatenwerts = –4,8 [mm] und des Y-Koordinatenwerts = 8 [mm] in der Koordinateninformation Nr. 4 Radius r = 9,33 [mm] und Winkel θ = 120,96 Grad als Konstruktionswerte für „Punkt 13, Gegenstandsnummer 4" von 5 berechnet.
Auf der Basis des X-Koordinatenwerts = –4,8 [mm] und Y-Koordinatenwerts = –8 [mm] in der Koordinateninformation Nr. 5 werden Radius r = 9,33 [mm] und Winkel θ = 239,04 Grad als Konstruktionswerte für „Punkt 14, Gegenstandsnummer 5" von 5 berechnet.
Auf der Basis des X-Koordinatenwerts = 11,2 [mm] und des Y-Koordinatenwerts = –8 [mm] in der Koordinateninformation Nr. 6 werden Radius r = 13,76 [mm] und Winkel θ = 324,46 Grad als Konstruktionswert für „Punkt 15, Gegenstandsnummer 6" von 5 berechnet. Auf diese Weise werden die Heizvorrichtungspositionen für jeden Artikel bestimmt.
< Tatsächliche Heizvorrichtungsposition >
6A, 6B zeigt ein Beispiel einer vorgegebenen Heizvorrichtungsposition (im Folgenden als „Heizelementposition" bezeichnet) und eine tatsächliche Heizelementposition. Wie in 6A gezeigt, wird ein Bild 601 eines unter Verwendung der Röntgenkamera 101 aufgenommenen Heizelements auf einem Anzeigeschirm der Vorrichtung 105 angezeigt.
6B ist eine vergrößerte Ansicht des Mittelteils von 6A. Wie in 6B gezeigt, wird ein Positionsanzeiger 603 an der vorbestimmten, gekennzeichneten Heizelementposition im Bild des aufgenommenen Heizelements angezeigt. Wie in 6B gezeigt, kann die durch den Positionsanzeiger 603 angezeigte, gekennzeichnete Heizelementposition gegenüber der durch die Röntgenkamera aufgenommenen, tatsächlichen Heizelementposition verschoben sein. In diesem Fall wird der Positionsanzeiger 603 auf das auf der Anzeigevorrichtung angezeigte Heizelement unter Verwendung einer Zeigevorrichtung, beispielsweise einer Maus 106, bewegt. Dann wird die Position des Positionsanzeigers 603 zum Zeitpunkt des Eintritts eines solchen Ereignisses in der Speichereinheit des PC 104 als tatsächliche Heizelementposition durch Betätigen einer Taste der Maus 106 oder durch Drücken der Taste „Enter" auf der Tastatur 11 erfasst. Der Bestätigungsvorgang der tatsächlichen Heizelementposition wird für die vorgegebene Koordinatenanzahl wiederholt.
Der Bestätigungsvorgang der tatsächlichen Heizelementposition-Spulenposition kann automasiert sein. Beispielsweise kann ein Unterschied zwischen der Position gemäß der Konstruktionsinformation und der tatsächlichen Position automatisch unter Verwendung einer Heizelementposition-Bestimmungsbildverarbeitungsfunktion erfasst werden.
< Verarbeitung des Messergebnisses >
7 zeigt einen Abstand und Ähnliches zwischen der tatsächlichen Heizelementposition (Messergebnis) und einer Messposition, die aus dem Messergebnis berechnet wird. Wie in 7 gezeigt, werden Radius r und Winkel 8, die aus dem Messergebnis erhalten werden, in einer Anzeigespalte 701 angezeigt. Insbesondere Radius r = 147 [mm] und Winkel θ = 0 werden als ein dem Punkt 1 entsprechendes Messergebnis angezeigt, Radius r = 123 [mm] und Winkel θ = 180,27 werden als ein dem Punkt 2 entsprechendes Messergebnis angezeigt, Radius r = 158,2 [mm] und Winkel = 19,99 werden als ein dem Punkt 3 entsprechendes Messergebnis angezeigt, Radius r = 158,39 [mm] und Winkel θ = 59,99 werden als ein dem Punkt 4 entsprechen des Messergebnis angezeigt und Radius r = 158,31 [mm] und Winkel θ = 99,99 werden als ein dem Punkt 5 entsprechendes Messergebnis angezeigt.
Der X-Koordinatenwert oder der Radius r und der Y-Koordinatenwert oder der Winkel θ, die aus dem Messergebnis erhalten werden, werden in einer Anzeigespalte 703 angezeigt. Die erste Zeile in der Anzeigespalte 703 bezieht sich auf einen Referenzpunkt am Winkel θ und zeigt an, dass der Referenzpunkt am Winkel θ den Radius R = 147,00 mm und den Winkel θ = 0,0 Grad anzeigt.
Die zweite Zeile in der Anzeigespalte 703 bezieht sich auf einen Punkt der Koordinateninformation Nr. 1 und das Messergebnis zeigt den Radius r = 123,00 mm und den Winkel θ = 180,27 Grad an.
Die dritte Zeile in der Anzeigespalte 703 zeigt den Außenumfang der Koordinateninformation Nr. 2 an und das Messergebnis zeigt den Radius r = 0,20 mm an und der Winkel θ weicht um 237,83 Grad ab.
Die vierte Zeile in der Anzeigespalte 703 bezieht sich auf einen Punkt der Koordinateninformation Nr. 3 und das Messergebnis zeigt den X-Koordinatenwert = 10,94 [mm] und den Y-Koordinatenwert = 7,81 [mm] an.
Die fünfte Zeile in der Anzeigespalte 703 bezieht sich auf einen Punkt der Koordinateninformation Nr. 4 und das Messergebnis zeigt den X-Koordinatenwert = 11,51 [mm] und den Y-Koordinatenwert = –8,23 [mm] an.
Die sechste Zeile in der Anzeigespalte 703 bezieht sich auf einen Punkt der Koordinateninformation Nr. 5 und das Messergebnis zeigt den X-Koordinatenwert = –4,95 [mm] und den Y-Koordinatenwert = –8,25 [mm] an.
Die siebte Zeile in der Anzeigespalte 703 bezieht sich auf einen Punkt der Koordinateninformation Nr. 6 und das Messergebnis zeigt den X-Koordinatenwert = –4,52 [mm] und den Y-Koordinatenwert = 7,54 [mm] an.
Die achte Zeile in der Anzeigespalte 703 bezieht sich auf einen Punkt der Koordinateninformation Nr. 7 und das Messergebnis zeigt den X-Koordinatenwert = 0,00 [mm] und den Y-Koordinatenwert = 0,00 [mm] an..
Ein Lochdurchmesser, ein Durchmesser des Außenumfangs und ein PCD-Durchmesser werden in einer Anzeigespalte 705 angezeigt. Der „Lochdurchmesser" ist ein Durchmesser in dem Hubstiftloch, der „Durchmesser des Außenumfangs" ist ein Durchmesser in dem äußersten Abschnitt des Heizelements und der „PCD-Durchmesser" ist ein Teilkreisdurchmesser, der Mittelabschnitte mit den Hubstiftlöchern verbindet.
Eine Differenz in dem X-Koordinatenwert zwischen zwei Punkten, eine Differenz in dem Y-Koordinatenwert zwischen zwei Punkten und ein Abstand zwischen zwei Punkten werden in einer Anzeigespalte 707 angezeigt. Die erste Zeile in der Anzeigespalte 7007 bezieht sich auf Punkt 3 und Punkt 4, wobei der X-Koordinatenwert von Punkt 3 +0,57 [mm] = X-Koordinatenwert von Punkt 4, der Y-Koordinatenwert von Punkt 3 –16,04 [mm] = Y-Koordinatenwert von Punkt 4 und der Abstand zwischen Punkt 3 und Punkt 4 = 16,05 angezeigt wird.
Die zweite Zeile in der Anzeigespalte 707 bezieht sich auf Punkt 4 und Punkt 5, wobei der X-Koordinatenwert von Punkt 4 –16,46 [mm] = X-Koordinatenwert von Punkt 5, der Y-Koordinatenwert von Punkt 4 –0,02 [mm] = Y-Koordinatenwert von Punkt 5 und der Abstand zwischen Punkt 4 und Punkt 5 = 16,46 angezeigt wird.
Die dritte Zeile in der Anzeigespalte 707 bezieht sich auf Punkt 5 und Punkt 6, wobei der X-Koordinatenwert von Punkt 5 +0,43 [mm] = X-Koordinatenwert von Punkt 6, der Y-Koordinatenwert von Punkt 5 +15,79 [mm] = Y-Koordinatenwert von Punkt 6 und der Abstand zwischen Punkt 5 und Punkt 6 = 15,80 angezeigt wird.
< Außenumfang der Scheibe, äußerstes Heizelement und fünftes Umfangsheizelement >
Ein Abstand zwischen dem Außenumfang der Scheibe und dem äußersten Heizelement und ein Abstand zwischen dem äußersten Heizelement und dem fünften Umfangsheizelement sind in 8 gezeigt. Wie in 8 gezeigt, steht der Abstand zwischen dem Außenumfang der Scheibe und dem äußersten Heizelement für einen Abstand d1 zwischen dem Außenumfang 801 der Scheibe und dem äußersten Heizelement 803. Der Abstand zwischen dem äußersten Heizelement und dem fünften Umfangsheizelement steht für einen Abstand d2 zwischen dem äußersten Heizelement 803 und dem fünften Umfangsheizelement 805. Die Abstände d1 und d2 werden auf der Basis der tatsächlichen Messwerte berechnet.
< Positionsgenauigkeitsanalyse des Heizelements >
9 zeigt ein Beispiel eines Vektors oder eines kombinierten Vektors, der aus den tatsächlichen Messpositionen berechnet wird. Die Positionsgenauigkeitsanalyse des Heizelements wird unter Bezug auf 9 erläutert. In dem in 9 gezeigten Beispiel ist eine Position an einem Winkel von 15 Grad auf dem Außenumfang der Scheibe als eine erste Position gekennzeichnet, eine Position an einem Winkel von 45 Grad ist als eine zweite Position gekennzeichnet, eine Position an einem Winkel von 75 Grad ist als eine dritte Position gekennzeichnet, ... und eine Position an einem Winkel von 345 Grad ist als eine zwölfte Position gekennzeichnet. Ferner ist der Abstand d1 zwischen dem Außenumfang der Scheibe und dem äußersten Heizelement auf dem äußersten Heizelement jeweils für die Winkel θ = 15 Grad, 45 Grad, 75 Grad, 105 Grad, 135 Grad, 165 Grad, 195 Grad, 225 Grad, 255 Grad, 285 Grad, 315 Grad und 345 Grad dargestellt.

Die graphische Darstellung 901 zeigt den Inhalt der Tabelle 1 in Bezug auf den Artikelnamen an: Heizvorrichtungsprobe A. TABELLE 1

Winkel θ [Grad]	Positionszahl auf dem Außenumfang der Scheibe	Positionszahl auf dem äußersten Heizelement	Abstand d1 [mm]
15	1	13	7,0
45	2	14	7,0
75	3	15	6,1
105	4	16	5,4
135	5	17	4,2
165	6	18	4,0
195	7	19	3,2
225	8	20	3,0
255	9	21	4,1
285	10	22	5,1
315	11	23	6,2
345	12	24	6,0

Ein Vektor 903 beginnend vom Mittelpunkt in der graphischen Darstellung 901 ist der erste Vektor beginnend von der dreizehn-ten Position auf dem äußersten Heizelement und endend an der ersten Position auf dem Außenumfang der Scheibe,
ein Vektor 904 ist der zweite Vektor beginnend von der vierzehn-ten Position auf dem äußersten Heizelement und endend an der zweiten Position,
ein Vektor 905 ist der dritte Vektor beginnend von der fünfzehn-ten Position auf dem äußersten Heizelement und endend an der dritten Position,
ein Vektor 914 ist der zwölfte Vektor beginnend von der vierundzwanzigsten Position auf dem äußersten Heizelement und endend an der zwölften Position,
Ein Vektor 916, der durch Kombination der Vektoren 903 bis 914 erhalten wird, entspricht dem ersten kombinierten Vektor. Der Vektor 916 weist einen Winkel θ von 25 Grad und eine Länge von 10,2 [mm] auf.

Eine graphische Darstellung zeigt den Inhalt von Tabelle 2 in Bezug auf den Artikelnamen an: Heizvorrichtungsprobe A: TABELLE 2

Winkel θ [Grad]	Positionszahl auf dem äußersten Heizelement	Positionszahl auf dem fünften Umfangsheizelement	Abstand d2 [mm]
15	13	25	39,6
45	14	26	38,5
75	15	27	39,1
105	16	28	39,0
135	17	29	38,9
165	18	30	38,6
195	19	31	39,9
225	20	32	40,0
255	21	33	40,0
285	22	34	39,5
315	23	35	40,0
345	24	36	38,5

Ein Vektor 923 vom Mittelpunkt in der graphischen Darstellung 920 ist der dreizehnte Vektor beginnend von der fünfundzwanzigsten Position auf dem fünften Umfangsheizelement und endend an der dreizehn-ten Position auf dem äußersten Heizelement,
ein Vektor 924 ist der vierzehn-te Vektor beginnend von der sechsundzwanzigsten Position und endend an der vierzehn-ten Position,
ein Vektor 925 ist der fünfzehn-te Vektor beginnend von der siebenundzwanzigsten Position und endend an der fünfzehn-ten Position, ... und
ein Vektor 934 ist der vierundzwanzigste Vektor beginnend von der sechsunddreißigsten Position und endend an der vierundzwanzigsten Position.
Ein Vektor 936, der durch Kombinieren der Vektoren 923 bis 934 erhalten wird, entspricht dem zweiten kombinierten Vektor. Der Vektor 936 weist einen Winkel θ von 251 Grad und einer Länge von 5,7 [mm] auf.
Der dritte kombinierte Vektor, der durch Kombinieren des Vektors 916 und des Vektors 936 erhalten wird, weist einen Winkel θ von 351 Grad und eine Länge von 7,4 [mm] auf.

Eine graphische Darstellung 940 zeigt den Inhalt von Tabelle 3 in Bezug auf den Artikelnamen an: Heizvorrichtungsprobe B. TABELLE 3

Winkel θ [Grad]	Positionszahl auf dem Außenumfang der Scheibe	Positionszahl auf dem äußersten Heizelement	Abstand d1 [mm]
15	1	13	5,6
45	2	14	4,4
75	3	15	4,0
105	4	16	4,1
135	5	17	3,9
165	6	18	4,7
195	7	19	4,9
225	8	20	6,0
255	9	21	6,1
285	10	22	7,1
315	11	23	6,6
345	12	24	6,3

Ein Vektor 943 beginnend vom Mittelpunkt in der graphischen Darstellung 940 ist der erste Vektor beginnend von der dreizehn-ten Position auf dem äußersten Heizelement und endend an der ersten Position auf dem Außenumfang der Scheibe,
ein Vektor 944 ist der zweite Vektor beginnend von der vierzehn-ten Position und endend an der zweiten Position,
ein Vektor 945 ist der dritte Vektor beginnend von der fünfzehn-ten Position und endend an der dritten Position, ... und
ein Vektor 954 ist der zwölfte Vektor beginnend von der vierundzwanzigsten Position und endend an der zwölften Position.
Ein Vektor 956, der durch Kombinieren der Vektoren 943 bis 954 erhalten wird, entspricht dem ersten kombinierten Vektor. Der Vektor 956 weist einen Winkel θ von 291 Grad und eine Länge von 9,1 [mm] auf.

Eine graphische Darstellung zeigt den Inhalt von Tabelle 4 in Bezug auf den Artikelnamen an: Heizvorrichtungsprobe B. TABELLE 4

Winkel θ [Grad]	Positionszahl auf dem äußersten Heizelement	Positionszahl auf dem fünften Umfangsheizelement	Abstand d2 [mm]
15	13	25	39,5
45	14	26	39,0
75	15	27	39,6
105	16	28	39,5
135	17	29	39,0
165	18	30	38,9
195	19	31	39,6
225	20	32	40,0
255	21	33	40,5
285	22	34	40,1
315	23	35	40,0
345	24	36	39,9

Ein Vektor 963 beginnend vom Mittelpunkt in der graphischen Darstellung 960 ist der dreizehn-te Vektor beginnend von der fünfundzwanzigsten Position auf dem fünften Umfangsheizelement und endend an der dreizehn-ten Position auf dem äußersten Heizelement,
ein Vektor 964 ist der vierzehn-te Vektor beginnend von der sechsundzwanzigsten Position und endend an der vierzehn-ten Position,
ein Vektor 965 ist der fünfzehn-te Vektor beginnend von der siebenundzwanzigsten Position und endend an der fünfzehn-ten Position, ... und
ein Vektor 974 ist der vierundzwanzigste Vektor beginnend von der sechsunddreißigsten Position und endend an der vierundzwanzigsten Position.
Ein Vektor 976, der durch Kombinieren der Vektoren 963 bis 974 erhalten wird, entspricht dem zweiten kombinierten Vektor. Der Vektor 976 weist einen Winkel O von 259 Grad und eine Länge von 2,6 [mm] auf.
Der dritte kombinierte Vektor, der durch Kombination des Vektors 916 und des Vektors 936 erhalten wurden, weist einen Winkel von 284 Grad und eine Länge von 11,4 [mm] auf.
< Positionsgenauigkeitsbestimmung durch ein herkömmliches Verfahren >
Demgegenüber zeigt 10 ein Ergebnis eines herkömmlichen Verfahrens zur Bestimmung der Temperaturverteilung unter Verwendung eines Infrarotthermometers durch Energiezufuhr in die Heizelemente mit Strom, um die gesamte Scheibe relativ zu einem Artikelnamen zu erwärmen: HC46302-00089, für den verschiedene Vektoren in den graphischen Darstellungen 940 und 960 von 9 gezeigt werden.
Wie in 10 gezeigt, reicht ein Radialbereich von 4,5 bis 7,5°C, der Maximalwert einer Temperaturdifferenz auf der Scheibe beträgt 4,8°C und der Maximalwert einer Temperaturdifferenz auf der Scheibe beträgt 9,0°C. Ein Vektor 1001 weist einen Winkel θ von 280 Grad und eine Länge von 1,1 [mm] auf.
Der Radialbereich steht für den Maximalwert, wenn eine Vielzahl an Temperaturdifferenzen auf dem gleichen Radial erhalten wird. Ein Verfahren zum Erhalten des Winkels und der Länge des Vektors 1001 ist derart, dass ein Winkel zur Veränderung der erhaltenen Temperaturverteilung zu einer symmetrischen Verteilung durch multivariate Analyse auf der Basis der erhaltenen Temperaturverteilung erhalten wird. Was die Länge anbetrifft, so wird der Maximaltemperaturunterschied auf dem gleichen Radial auf dem Außenumfang der erhaltenen Temperaturverteilungsanordnung zuerst erhalten und eine zur Modifikation einer in einer Datenbank gespeicherten Tempera halten und eine zur Modifikation einer in einer Datenbank gespeicherten Temperaturdifferenz von 1°C benötigte Exzentrizität wird mit dem Maximaltemperaturunterschied multipliziert, was die Länge ergibt.
< Vergleich zwischen dem Verfahren gemäß der Ausführungsform und dem herkömmlichen Verfahren >
Der dritte kombinierte Vektor, der durch das Verfahren gemäß der Ausführungsform erhalten wird, weist den Winkel θ von 284 Grad und die Länge 11,4 [mm] auf. Da eine Exzentrizitätsumwandlungsgeschwindigkeit des kombinierten Vektorwerts 10% beträgt, wird die Exzentrizität danach 1,14 [mm].
Demgegenüber weist der durch das herkömmliche Verfahren erhaltene Vektor 1001 den Winkel θ von 280 Grad und die Länge von 1,1 [mm] auf. So kann ein Ergebnis durch das Verfahren gemäß der Ausführungsform in Bezug auf Exzentrizität und exzentrische Richtung erhalten werden, welches dem durch das herkömmliche Verfahren erhaltenen Ergebnis entspricht.
Daher können Exzentrizität und exzentrische Richtung durch das Verfahren gemäß der Ausführungsform mit der gleichen Genauigkeit wie im herkömmlichen Verfahren erhalten werden. Das Verfahren gemäß der Ausführungsform benötigt keine Stromversorgung der Heizelemente zur Erwärmung der gesamten Scheibe. Demgemäß liegt der Effekt vor, dass das Verfahren gemäß der Ausführungsform einen Vorgang durchführen kann, um die Exzentrizität und die exzentrische Richtung in einer kürzeren Zeitperiode zu erhalten als in dem herkömmlichen Verfahren nötig ist.

Claims

Verfahren zur Bestimmung der Positionsgenauigkeit, welches anzeigt, wann Elemente aus einem zweiten Material innerhalb eines scheibenförmigen ersten Materials derart angeordnet sind, dass sie einen ersten Kreis des zweiten Materials mit einem Radius einer ersten Länge und einen zweiten Kreis des zweiten Materials mit einem Radius einer zweiten Länge ausbilden, und Abweichungswerte des ersten und des zweiten Kreises von bestimmten Positionen, umfassend die folgenden Schritte: im Wesentlichen gleiches Teilen des Außenumfangs des scheibenförmigen ersten Materials durch n und Messen einer ersten Position bis zu einer n-ten Position, Messen einer (n + 1)-ten Position, die ein Schnittpunkt eines ersten Radius und eines Kreisbogens des ersten Kreises ist, wobei der erste Radius den Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials und die erste Position verbindet, bis zu einer 2n-ten Position, die ein Schnittpunkt eines n-ten Radius und des Kreisbogens des ersten Kreises ist, wobei der n-te Radius den Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials und die n-te Position verbindet, Messen einer (2n + 1)-ten Position, die ein Schnittpunkt des ersten Radius und eines Kreisbogens des zweiten Kreises ist, bis zu einer 3n-ten Position, die ein Schnittpunkt des n-ten Radius und des Kreisbogens des zweiten Kreises ist, Berechnen eines ersten Vektors, beginnend von der (n + 1)-ten Position und endend an der ersten Position, bis zu einem n-ten Vektor, beginnend mit der 2n-ten Position und endend an der n-ten Position, Berechnen eines (n + 1)-ten Vektors, beginnend mit der (2n + 1)-ten Position und endend an der (n + 1)-ten Position, bis zu einem 2n-ten Vektor, beginnend mit der 3n-ten Position und endend an der 2n-ten Position, Berechnen eines ersten kombinierten Vektors durch Addieren des ersten bis n-ten Vektors, Berechnen eines zweiten kombinierten Vektors durch Addieren des (n + 1)-ten bis 2n-ten Vektors und Bestimmen der Positionsgenauigkeit des ersten und des zweiten Kreises relativ zum Außenumfang des scheibenförmigen ersten Materials, basierend auf einem dritten kombinierten Vektor, der durch Addieren des ersten kombinierten Vektors und des zweiten kombinierten Vektors erhalten wird, worin „n" eine natürliche Zahl von vier oder mehr ist.
Verfahren zur Bestimmung der Positionsgenauigkeit nach Anspruch 1, worin die Elemente aus dem zweiten Material ebenfalls zwischen dem ersten Kreis und dem zweiten Kreis derart angeordnet sind, dass sie einen dritten, .... und einen m-ten Kreis ausbilden, und wobei die Elemente bestehend aus dem zweiten Material ebenfalls zwischen dem zweiten Kreis und dem Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials derart angeordnet sind, dass sie einen (m + 1)ten, ... und einen (m + k)ten Kreis ausbilden, und die Unterschiede in der radialen Länge zwischen angrenzenden Kreisen im Wesentlichen gleich sind.
Verfahren zur Bestimmung der Positionsgenauigkeit nach Anspruch 2, worin der Radius des ersten Kreises der längste unter den Radien des ersten Kreises, des zweiten Kreises, des dritten Kreises, ..., des m-ten Kreises, des (m + 1)-ten Kreises, ... und des (m + k)-ten Kreises ist und der Radius des zweiten Kreises im Wesentlichen die Hälfte der Länge des Radius des ersten Kreises ist.
Positionsgenauigkeits-Bestimmungsvorrichtung (100), umfassend: eine XY-Plattform (102), eine XY-Plattformansteuereinheit, die die XY-Plattform (102) in einer X- oder einer Y-Richtung bewegt, eine Kamera (101), die oberhalb der XY-Plattform (102) angeordnet ist und die den Außenumfang einer Probe (103) photographieren kann, die auf einem scheibenförmigen ersten Material ausgebildet ist, das auf der XY-Plattform (102) positioniert ist, und wobei ein erster Kreis einen Radius einer ersten Länge und ein zweiter Kreis einen Radius einer zweiten Länge aufweist, die Elemente aus einem zweiten Material sind und in der Probe (103) eingebettet sind, eine Speichereinheit (104), die Messgegenstandspositionen der Probe (103) und der Elemente speichern kann, eine Berechnungseinheit (104), die einen Vektor, beginnend von einer der Messgegenstandspositionen und endend an der anderen Messgegenstandsposition, und die Summe von zwei oder mehreren Vektoren berechnen kann und eine Steuervorrichtung (104), welche die XY-Plattformansteuereinheit, die Kamera (101), die Speichereinheit (104) und die Berechnungseinheit (104) steuert, worin die Steuervorrichtung (104) die Steuerung derart durchführt, dass die XY-Plattformansteuereinheit die XY-Plattform (102) bewegt, so dass die zu photographierenden Abschnitte der Probe (103) und die Elemente sich in einem photographierbaren Bereich der Kamera (101) befinden, wobei die Kamera (101) Folgendes misst: eine erste Position bis zu einer n-ten Position auf dem Außenumfang des scheibenförmigen ersten Materials, das durch im Wesentlichen gleiches Teilen des Außenumfangs durch n erhalten wird, eine (n + 1)-te Position, die ein Schnittpunkt eines ersten Radius und eines Kreisbogens des ersten Kreises ist, wobei der erste Radius den Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials und die erste Position verbindet, bis zu einer 2n-ten Position, die ein Schnittpunkt eines n-ten Radius und des Kreisbogens des ersten Kreises ist, wobei der n-te Radius den Mittelpunkt des scheibenförmigen ersten Materials und die n-te Position verbindet, und eine (2n + 1)-te Position, die ein Schnittpunkt des ersten Radius und eines Kreisbogens des zweiten Kreises ist, bis zu einer 3n-ten Position, die ein Schnittpunkt des n-ten Radius und des Kreisbogens des zweiten Kreises ist, wobei die Speichereinheit (104) die erste Position bis zur 3n-ten Position speichert und die Berechnugnseinheit (104) Folgendes berechnet: einen ersten Vektor, beginnend von der (n + 1)-ten Position und endend an der ersten Position, bis zu einem n-ten Vektor, beginnend von der 2n-ten Position und endend an der n-ten Position, einen (n + 1)-ten Vektor, beginnend mit der (2n + 1)-ten Position und endend an der (n + 1)-ten Position, bis zu einem 2n-ten Vektor, beginnend von der 3n-ten Position und endend an der 2n-ten Position, einen ersten kombinierten Vektor durch Addieren des ersten bis n-ten Vektors, einen zweiten kombinierten Vektor durch Addieren des (n + 1)-ten bis 2n-ten Vektors und einen dritten kombinierten Vektor durch Addieren des ersten kombinierten Vektors und des zweiten kombinierten Vektors, so dass die Positionsgenauigkeit des ersten und des zweiten Kreises des zweiten Materials relativ zum Außenumfang des scheibenförmigen ersten Materials basierend auf dem dritten kombinierten Vektor bestimmt wird, worin n eine natürliche Zahl von vier oder mehr ist.