DE602004009437T2 - Spiralvakuumpumpe - Google Patents

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Anest Iwata Corp
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/04Heating; Cooling; Heat insulation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00Application
    • F04C2220/50Pumps with means for introducing gas under pressure for ballasting

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Spiral-Vakuumpumpe, und insbesondere eine Spiral-Vakuumpumpe, bei der eine feststehende Windung einer feststehenden Spirale in Eingriff mit einer umlaufenden Windung einer umlaufenden Spirale ist, die drehbar an einem exzentrischen Abschnitt einer Antriebswelle in einem Gehäuse angebracht ist, wobei die umlaufende Spirale durch die Antriebswelle mit einer gewissen Exzentrizität in Drehung versetzt wird, so dass ein durch den Außenumfang des Gehäuses angesaugtes Gas zur Mitte hin komprimiert und ausgestoßen wird.
  • Die Spiral-Vakuumpumpe ist bekannt. Bei der Spiral-Vakuumpumpe ist die Einsatzzeit zu lang, und die Temperaturen des exzentrischen Abschnitts der Antriebswelle sowie des Lagers und der Dichtung zu deren Halterung sind erhöht, was eine Beschädigung am Lager und an der Dichtung verursacht, so dass sie schwierig zu verwenden sind.
  • Folglich ist es bei der Spiral-Vakuumpumpe zur Erhöhung der Lebensdauer sehr wichtig, keine übermäßig hohe Temperatur am exzentrischen Abschnitt der Antriebswelle zu erhalten, selbst wenn die Einsatzzeit zu lang ist.
  • Um die Anforderung zu erfüllen, sind unter Fachleuten folgende Maßnahmen bekannt:
    • (1) Luft oder Stickstoff mit niedriger Temperatur oder Raumtemperatur wird in einen Kompressionsbereich der Spiral-Vakuumpumpe eingeleitet und kühlt den Bereich, während gleichzeitig ein toxisches Gas im Kompressionsbereich verdünnt wird.
    • (2) Ein axial in der Antriebswelle ausgebildetes Entlüftungsloch ermöglicht es, dass Luft oder Stickstoff bei niedriger Temperatur oder Raumtemperatur auf das Lager abgeblasen und in den Kompressionsbereich geleitet wird. Nach Kühlung des Bereichs wird es ausgestoßen.
    • (3) Der exzentrische Abschnitt der Antriebswelle ist hohl, und Luft mit niedriger Temperatur oder Raumtemperatur wird in den exzentrischen Abschnitt eingeleitet, um ihn zu kühlen.
  • In der JP 63-105294 A ist offenbart, dass ein inertes Gas wie z. B. N2 von außen wie bei der oben genannten Maßnahme (1) eingeleitet wird, und in 5 dieser Druckschrift ist der Gasströmungsweg im exzentrischen Abschnitt der Antriebswelle dargestellt, wie er der obigen Maßnahme (3) entspricht.
  • Bei den technischen Maßnahmen gibt es aber Probleme. Um Luft oder Stickstoff mit niedriger Temperatur oder Raumtemperatur in den Kompressionsbereich einzuleiten, ist es notwendig, darin einen Einleitungsweg vorzusehen, und es müssen auch Einrichtungen im Außenbereich vorgesehen werden, um das Gas bereitzustellen. So wird seine Konstruktion kompliziert und größer, was die Kosten steigert.
  • Wenn sich die Antriebswelle dreht, wird die Luft oder der Stickstoff, die sich auf einer niedrigen Temperatur oder Raumtemperatur befinden, durch das Entlüftungsloch der Antriebswelle eingeleitet, um die Lager zu kühlen, aber wenn die Antriebswelle anhält, läuft ein toxisches Gas oder ein Verunreinigungen enthaltendes Gas im Kompressionsbereich zurück und wird nach außen über das Entlüftungsloch ausgestoßen, was eine Umweltverschmutzung verursacht.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Angesichts der Nachteile des Stands der Technik ist es eine Aufgabe der Erfindung, eine Spiral-Vakuumpumpe bereitzustellen, bei der Außenluft in eine Kompressionskammer zwischen einer umlaufenden Spirale und feststehenden Spiralen eingeleitet wird, um Lager zu kühlen, damit die Lebensdauer während des Betriebs erhöht wird, während ein toxisches Gas in der Kompressionskammer nicht nach außen entweicht, wenn die Pumpe nicht in Betrieb ist.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich deutlicher aus der nun folgenden Beschreibung mit Bezug auf eine Ausführungsform, wie sie in den beigefügten Zeichnungen gezeigt ist.
  • 1 ist eine vertikale, geschnittene Seitenansicht einer Ausführungsform einer Spiral-Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 2 ist eine auseinandergezogene, vertikale Schnittansicht einer in Zapfenkurbelbauweise vorgesehenen Selbstdrehungs-Verhinderungsvorrichtung; und
  • 3 ist eine vergrößerte vertikale Schnittansicht eines Rückschlagventils.
  • Ausführliche Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform
  • 1 ist eine vertikale, geschnittene Seitenansicht einer Spiral-Vakuumpumpe der vorliegenden Erfindung, bei der eine umlaufende Spirale in Drehung versetzt wird, um ein durch den Außenumfang angesaugtes Gas zu einem Kompressionsbereich zu befördern, der zwischen der umlaufenden Spirale und einer feststehenden Spirale gebildet ist, wobei das Gas nach der Kompression nahe der Mitte ausgestoßen bzw. abgeleitet wird.
  • Bezugszahl 1 bezeichnet eine Umhausung, die eine dicht verschlossene, scheibenförmige Kompressionskammer 2 hat und ein Gehäuse 3 sowie einen Deckel 4 und eine Ansaugbohrung 1a an seinem Umfang aufweist. Das Gehäuse 3 und der Deckel 4 haben befestigte Endplatten 3a und 4a, die die Kompressionskammer 2 umgeben. Die befestigten Endplatten 3a und 4a haben spiralförmige, feststehende Windungen 3b und 4b, die die feststehenden Spiralen 3c bzw. 4c bilden.
  • In der Kompressionskammer 2 zwischen den befestigten Endplatten 3a und 4a wird eine umlaufende Spirale 5 um eine Achse der Kompressionskammer 2 in Drehung versetzt. Die umlaufende Spirale 5 hat umlaufende Windungen 5b, 5b, die in die feststehenden Spiralen 3c, 4c mit einer Abweichung von 180° eingreifen, und ist drehbar an einem exzentrischen Abschnitt 8a einer Antriebswelle 8 mit Lagern 6, 7 an der Mitte des Gehäuses 1 angebracht.
  • Die umlaufende Endplatte 5a ist mit der feststehenden Endplatte 3a über drei bekannte, in Zapfenkurbelbauweise vorgesehene Selbstdrehungs-Verhinderungsvorrichtungen (in 1 nicht gezeigt) verbunden. Wenn sich die Antriebswelle 8 dreht, läuft die umlaufende Platte 5a exzentrisch in der Kompressionskammer 2 um, wodurch die Größe eines dicht verschlossenen Raums zwischen den feststehenden Windungen 3b, 4b und der umlaufenden Windung 5b verändert wird, die miteinander in Eingriff sind.
  • Wie in 2 gezeigt ist, ist bei der in Zapfenkurbelbauweise vorgesehenen Selbstdrehungs-Verhinderungsvorrichtung eine Hauptwelle 11a einer Zapfenkurbel 11 drehbar in die feststehende Endplatte 3a mit einem Kugellager 12 eingesetzt, und eine Kurbelwelle 11b ist in eine Lagerboh rung 13 mit einem Lager 14 näher am Außenumfang der umlaufenden Platte 5 eingesetzt.
  • Es ist eine Durchgangsbohrung 16 ausgebildet, die mit der Kompressionskammer 2 in Verbindung steht und am äußeren Ende durch einen Stopfen 15 nahe der Mitte des Gehäuses 4 verschlossen ist. Eine Ableitungsbohrung 17 verläuft radial von der Durchgangsbohrung 16 zum Außenumfang des Gehäuses 4. An der Ableitungsbohrung 17 ist ein Ableitungsanschlussstück 18 angesetzt. Die Antriebswelle 8 wird durch einen Motor (nicht gezeigt) gedreht, und näher an den äußeren Enden des Gehäuses 3 bzw. des Deckels 4 sind Kühllüfter 19, 20 angebracht. Kühllamellen 3d, 4d stehen von der Außenfläche des Gehäuses 3 bzw. des Deckels 4 vor.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung verläuft ein Entlüftungsloch 21, das an einem Ende mit der Außenluft in Verbindung steht, entlang der Mitte der Antriebswelle 8 und steht in Verbindung mit einer Ventilbohrung 22 in der Mitte des verdickten, exzentrischen Abschnitts 8a der Antriebswelle 8. Die Ventilbohrung 22 verläuft radial vom Entlüftungsloch 21 zur Außenumfangsfläche des exzentrischen Abschnitts 8a.
  • Die umlaufende Endplatte 5a hat eine Ableitungsbohrung 24, die vom äußeren Ende des Entlüftungslochs 21 über einen Verbindungspfad 24a radial verläuft und über Auslässe 23 kleineren Durchmessers in einen Niederdruckbereich in der Mitte des Radius' der Kompressionskammer 2 mündet, die zwischen den feststehenden Windungen 3b, 4b und der umlaufenden Windung 5b gebildet ist.
  • In der Ventilbohrung 22 sitzt ein Rückschlagventil 25, das radial nach außen mündet, aber nicht nach innen.
  • Das Rückschlagventil 25 ist in 3 gezeigt.
  • Ein Ventilsitz 22a kleineren Durchmessers ist am inneren Ende radial von der Ventilbohrung 22 ausgebildet, und ein Abschnitt 22b größeren Durchmessers ist am äußeren Ende gebildet. Eine Ventilscheibe 26 hat einen konischen Abschnitt am unteren Ende, und einen zylindrischen Abschnitt, der an der Außenumfangsfläche mehrere vertikale Nuten 26a hat. Der konische Abschnitt der Ventilscheibe 26 sitzt auf dem Ventilsitz 22a auf, wenn die Ventilbohrung 22 vom Rückschlagventil 25 verschlossen ist. Eine Tragplatte 27, die eine Ableitungsöffnung 27a hat, ist am Abschnitt 22b größeren Durchmessers vorgesehen.
  • Eine Ventilachse 28 erstreckt sich vertikal von der Mitte der Ventilscheibe 26 in die Tragplatte 27, und die Ventilachse 28 ist von einer Druckfeder 29 zwischen der Ventilscheibe 26 und der Tragplatte 27 umgeben.
  • Während die Stärke bzw. Festigkeit der Druckfeder 29 des Rückschlagventils 25 dazu gedacht ist, die später zu beschreibende Aufgabe zu erfüllen, ist bei der Spiral-Vakuumpumpe die Ansaugbohrung 1a mit einem dicht verschlossenen Behälter (nicht gezeigt) verbunden, um in ihm den Druck herabzusetzen bzw. ihn leerzupumpen, wenn die Ventilscheibe 26 geschlossen ist. Der dicht verschlossene Behälter enthält ein toxisches Gas wie zum Beispiel HCl. Die Antriebswelle 8 wird angetrieben, wobei das Entlüftungsloch 21 der Antriebswelle 8 mit der Außenluft in Verbindung steht.
  • Bei einer Drehung der Antriebswelle 8 wird die drehbar daran angebrachte, umlaufende Spirale 5 mit einer gewissen Exzentrizität in Drehung versetzt, während sie mit den feststehenden Spiralen 3c, 4c in Eingriff ist. Dementsprechend wird in dem mit der Ansaugbohrung 1a verbundenen, dicht verschlossenen Behälter nach und nach der Druck herabgesetzt und er wird leergepumpt, so dass das toxische Gas in die Kompressionskammer 2 in der Spiral-Vakuumpumpe gesaugt wird.
  • Wenn die Drehzahl der Antriebswelle 8 einen bestimmten Wert überschreitet, unterliegt die Ventilscheibe 26 des Rückschlagventils 25 der dadurch erzeugten Zentrifugalkraft und wird radial gegen die Druckfeder 29 bewegt, um aufzumachen.
  • Dabei ist die Kompressionskammer 2 in der Spiral-Vakuumpumpe unter Druck gesetzt, hat aber immer einen niedrigeren Druck als Atmosphärendruck.
  • Wenn sich die Ventilscheibe 26 durch die Zentrifugalkraft vom Ventilsitz 22a wegbewegen kann, strömt Luft, die von außen über das Entlüftungsloch 21 in die Ventilbohrung 22 gelangt ist, durch die Nuten 26a der Ventilscheibe 26 und die Öffnung 27a der Tragplatte 27 in die Ableitungsbohrung 24. Schließlich wird die Luft durch die Auslässe 23 in die Kompressionskammer zwischen den feststehenden und umlaufenden Spiralen 3c, 4c, 5 gesaugt.
  • Folglich werden der exzentrische Abschnitt 8a der Antriebswelle 8 sowie die Lager 9, 10 und die Dichtung um diese herum durch die Luft gekühlt, die von außen durch die Auslässe 23 hineingelangt, wodurch die Lebensdauer verlängert wird.
  • Wenn der Betrieb stoppt, wird das Rückschlagventil 25 automatisch geschlossen, wodurch verhindert wird, das das toxische Gas in der Kompressionskammer 2 nach außen abgeleitet wird. So wird die Umgebung nicht durch das toxische Gas kontaminiert.
  • Die feststehenden sowie umlaufenden Spiralen sind in den Ausführungsformen zweiseitig ausgebildet, wobei die vorliegende Erfindung aber auch auf eine einseitige Spirale angewandt werden kann.
  • Die vorstehende Beschreibung betrifft nur Ausführungsformen der Erfindung. Verschiedene Änderungen und Modifikationen können von einem Fachmann vorgenommen werden, ohne den Umfang der Ansprüche zu verlassen.

Claims (2)

  1. Spiral-Vakuumpumpe, umfassend: ein Gehäuse (1); eine Antriebswelle (8), die entlang einer Mitte des Gehäuses verläuft und einen exzentrischen Abschnitt (8a) hat; eine im Gehäuse befestigte, feststehende Spirale (3c; 4c), die eine feststehende Windung (3b; 4b) hat; und eine umlaufende Spirale (5), die drehbar um den exzentrischen Abschnitt (8a) der Antriebswelle (8) angebracht ist und eine umlaufende Windung (5b) hat, wobei die umlaufende Spirale durch die Antriebswelle exzentrisch in Drehung versetzt wird, so dass ein durch einen Außenumfang des Gehäuses angesaugtes Gas zur Mitte des Gehäuses hin in einer Kompressionskammer (2) zwischen den ineinander greifenden feststehenden und umlaufenden Spiralen komprimiert und ausgestoßen wird, wodurch Gas in die Kompressionskammer (2) gesaugt wird, wobei die Antriebswelle (8) ein Entlüftungsloch (21) hat, das mit der Außenumgebung in Verbindung steht und sich axial darin erstreckt, eine Ventilbohrung (22), die sich radial erstreckt und an einem Ende mit dem Entlüftungsloch (21) in Verbindung steht und am anderen Ende in die Kompressionskammer (2) mündet, wobei die Ventilbohrung (22) ein Rückschlagventil (25) hat, das bei Drehung der Antriebswelle (8) durch Zentrifugalkraft öffnet, wodurch Außenluft zum Kühlen in die Kompressionskammer (2) gelangt, während das Rückschlagventil (25) schließt, wenn die Antriebswelle (8) anhält, wodurch verhindert ist, dass das Gas aus der Kompressionskammer (2) nach außen hin entweicht.
  2. Spiral-Vakuumpumpe nach Anspruch 1, bei der die umlaufende Spirale eine von der Ventilbohrung (22) zu Auslässen (23) führende Ableitungsbohrung (24) hat, wobei die Auslässe in die Kompressionskammer (2) münden.
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