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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine elektronische Anordnung
mit einem ersten und einem zweiten Feldeffekttransistor mit einer
Source- und einer Drainelektrode, welche durch eine, ein organisches
Material enthaltende, aktive Schicht voneinander getrennt sind,
welche von dem ersten und dem zweiten Transistor gemeinsam genutzt
wird, wobei diese jeweils eine Gateelektrode aufweisen, die durch
eine dielektrische Schicht von der aktiven Schicht getrennt ist.
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich zudem auf ein Verfahren zur Herstellung
einer elektronischen Anordnung mit einem ersten und einem zweiten
Feldeffekttransistor mit einer gemeinsamen, ein organisches Halbleitermaterial
vom P-Typ enthaltenden, aktiven Schicht, welche aus einer Lösung auf ein
Substrat aufgebracht wird.
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Eine
solche Anordnung und ein solches Verfahren sind aus
WO-A 99/10939 bekannt. Die bekannte
Anordnung weist einen Feldeffekttransistor auf, welcher vollständig aus
organischem Material besteht. Die Source- und Drainelektrode sind
dann in einer ersten, elektrisch leitenden Schicht vorgesehen, und
die Gateelektrode ist in einer zweiten, elektrisch leitenden Schicht
angeordnet. Die aktive Schicht enthält ein organisches Halbleitermaterial, wie
z.B. Poly-2,5-Thienylenevinylen. Das Halbleitermaterial ist, zumindest
nicht wissentlich, nicht dotiert und zeigt ein p-Ladeverhalten.
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Ein
Nachteil der bekannten Anordnung ist, dass eine solche Anordnung
mit unipolaren Logiken mit einer Wechselrichtereinheit verbunden
sein muss. Bei unipolaren Logiken weist eine solche Einheit zwei
Transistoren auf, deren Drainelektroden untereinander verbunden
sind und bei welcher das Gate eines Transistors, des Lasttransistors,
mit den Drainelektroden elektrisch verbunden ist. Die Drainelektroden
sind dann mit dem Ausgang des Wechselrichters, die Sourceelektrode
des Lasttransistors mit der Versorgungsspannung Vdd und
die Gateelektrode des zweiten, Treiber-, Transistors mit dem Eingang verbunden,
und die Sourceelektrode des Steuertransistors ist geerdet.
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Der
Nachteil solcher unipolarer Logiken liegt unter anderem darin, dass
die Leistungsverstärkung des
Wechselrichters begrenzt ist. Die Leistungsverstärkung wird hier als die Änderung
der Ausgangsspannung als eine Funktion der Eingangsspannung definiert.
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Eine
normale Leistungsverstärkung
liegt in der Größenordnung
von 1,2 bis 2. In Anbetracht dessen, dass auf Wechselrichtern basierende
Logiken nicht mehr mit einer Leistungsverstärkung von 1 oder weniger arbeiten,
ist diese Leistungsverstärkung
allein für
das Funktionieren der Logiken ausreichend. Die Folge hiervon ist
eine geringe Rauschschwelle. Diese Rauschschwelle ist oftmals so
gering, dass es schwer ist, eine hohe Spannung von einer niedrigen Spannung
zu unterscheiden. Die Differenz zwischen hoch und niedrig bei Digitalschaltungen
entspricht einer Differenz zwischen 1 und 0, mit anderen Worten, entweder
einem Ergebnis oder keinem Ergebnis.
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Der
Erfindung liegt somit als Aufgabe zugrunde, eine Anordnung der eingangs
erwähnten
Art vorzusehen, bei welcher die Wechselrichtereinheit eine höhere Leistungsverstärkung und
eine bessere Rauschschwelle aufweist.
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Diese
Aufgabe wird dadurch erfüllt,
dass die Anordnung eine Wechselrichtereinheit mit einem ersten und
einem zweiten Feldeffekttransistor aufweist, welche jeweils eine
Source- und eine Drainelektrode umfassen, die in der gleichen Elektrodenschicht
aus elektrisch leitendem Material angeordnet sind. Ein aus einer
Source- und einer Drainelektrode (in einem Transistor) bestehendes
Paar ist darin durch einen ersten Kanal vom n-Leitfähigkeitstyp und durch einen zweiten
Kanal vom p-Leitfähigkeitstyp,
welche in einer aktiven Schicht vorgesehen sind, die organisches Halbleitermaterial
enthält,
miteinander verbunden. Jeder der Transistoren weist eine Gateelektrode
auf, welche durch eine dielektrische Schicht von den Kanälen getrennt
ist.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung werden Transistoren der als ambipolare Transistoren bekannten
Art verwendet. Diese Transistoren können sowohl als p-Transistor
als auch als n-Transistor dienen. Tests haben gezeigt, dass auf
diese Weise wesentlich höhere
Leistungsverstärkungen
und höhere Rauschschwellen
erreicht werden können.
Bei anfänglichen
Tests wurde eine Leistungsverstärkung von
10 gemessen. Die Wechselrichtereinheit gemäß der vorliegenden Erfindung
arbeitet dann auf eine überraschend
positive Weise in zweierlei Hinsicht.
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Erstens
ist es erstaunlich, dass der gleiche elektrische Leiter als Elektrodenmaterial
sowohl für den
Transistor vom n-Typ als auch für
diesen vom p-Typ geeignet ist. Es ist ein normaler Ausgangspunkt,
dass bei Materialien vom n-Typ ein elektrisch leitendes Material
mit einer geringen Austrittsarbeit einzusetzen ist. Als Beispiele
sind Al, Ba und Ca zu nennen; diese Metalle werden für die Katode
in organischen Dioden verwendet. Gemäß der Erfindung wird lediglich
ein einziges Elektrodenmaterial eingesetzt, und dennoch wer den keine
unüberbrückbaren Zwischenräume zwischen
dem Elektrodenmaterial und der aktiven Schicht festgestellt.
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Es
liegt auf der Hand, dass die Verwendung des gleichen Elektrodenmaterials
für alle
Source- und Drainelektroden große
Vorteile bei der Herstellung der Anordnung bietet. Es muss stets
eine getrennte Metallschicht mit einem getrennten Beschichtungs-
und Strukturierungsschritt aufgebracht werden. Darüber hinaus
sind nicht alle Metallschichten kompatibel, und für die verschiedenen
Metallschichten werden verschiedene Haftschichten verwendet. Selbstverständlich kann
die elektrisch leitende Schicht verschiedene Schichten umfassen.
Besonders günstige
Materialien sind Edelmetalle, wobei jedoch auch organische Leiter,
wie z.B. Poly-3,4-Ethylendioxythiophen (PEDOT), und oxidische Leiter,
wie z.B. Indiumzinnoxid (ITO), einsetzbar sind.
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Zweitens
ist es erstaunlich, dass eine einzige aktive Schicht aus organischem
Material sowohl für den
n- als auch den p-Transport von Ladungsträgern geeignet ist, ohne dass
eine wesentliche Behinderung oder ‚Self-Leveling' des p-Transports
durch für den
n-Transport verantwortliche
Bestandteile auftreten kann. Dieses zeigt sich dadurch, dass in
der aktiven Schicht ein erster und ein zweiter Kanal vorhanden sind,
wobei es nicht ausgeschlossen ist, dass diese Kanäle im chemischen
Sinn zum Teil überlappen.
Dass die aktive Schicht von dem ersten und dem zweiten Transistor
gemeinsam genutzt wird, bedeutet, dass die aktive Schicht der Transistoren
in einem einzigen Beschichtungsschritt aufgebracht wird und somit
im Prinzip die gleiche Zusammensetzung aufweist. Vorzugsweise ist
die aktive Schicht zwischen dem ersten und dem zweiten Transistor
kontinuierlich vorgesehen. Die Tatsache, dass beide Kanäle in einer
aktiven Schicht angeordnet sind, schließt nicht aus, dass diese eine
Schicht als mehrere Teilschichten aufgetragen wird, welche jeweils den
n-Transport und p-Transport ermöglichen.
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Es
sei erwähnt,
dass eine aktive Schicht mit in diesem Fall einem Gemisch aus Polyphenylenvinylen
und Buckminsterfulleren zur Verwendung in Solarzellen bekannt ist.
In einer Solarzelle wird die aktive Schicht so eingesetzt, dass
sie Licht empfängt und
ein Photon in ein Elektron und ein Defektelektron umwandelt, wobei
die Defektelektronen dann zu den Elektroden transportiert werden.
Dadurch wird ein gleichzeitiger Transport von Elektronen und Defektelektronen
in Gegenrichtungen bewirkt. Nichts zeigt, dass das gleiche Material
als Halbleitermaterial so geeignet ist, dass in Kombination mit
Source- und Drainelektroden aus ein und demselben elektrisch leitenden
Material im Falle von negativen Spannungen an der Gateelektrode
(Vg) und zwischen der Source- und Drainelektrode (Vsd) eine p-Leitfähigkeit und im Falle von positiven
Spannungen an der Gateelektrode und zwischen der Source- und Drainelektrode
eine n-Leitfähigkeit
erreicht wird. Es zeigt sich, dass die Wechselrichtereinheit mit
dieser aktiven Schicht eine gute Leistungsverstärkung und darüber hinaus
eine geringe Hysterese vorgesehen wird.
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Die
Tatsache, dass keine wesentliche Behinderung auftritt, bedeutet
ebenfalls, dass keine wesentlichen parasitären Ströme entstehen. Das heißt: in Fällen, in
denen ein p-Leitfähigkeitstyp
vorgesehen ist, ist der parasitäre
Strom durch den ersten Kanal mit n-Transport sehr klein. Dieses
hat den großen Vorteil,
dass die aktive Schicht somit ebenfalls dort aufgebracht wird, wo
lediglich ein Halbleiter mit einfacher Polarität erforderlich ist. Man könnte hier
insbesondere an eine Kombination aus einem Bildschirm mit Pixeltransistoren
und dem integrierten Schaltkreis für die Ansteuerung (Treiber-IC)
denken; in dem Fall, in dem bei den Pixeltransistoren eine einfache Polarität ausreichend
ist, werden in dem Treiber-IC beide Polaritäten verwendet. Hierdurch wird
bewirkt, dass Treiber-IC und Bildschirm integriert hergestellt werden
können.
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Selbstverständlich ist
die Anordnung gemäß der vorliegenden
Erfindung ebenfalls für
andere Anwendungen, insbesondere für Speicherschaltkreise, wie
z.B. SRAM und DRAM, für
Ringoszillatoren, Identifizierungszwecke usw., wie Fachkundigen
auf dem Gebiet der Schaltungstechnik bekannt, geeignet.
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In
einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel ist
für den
ersten und den zweiten Transistor eine gemeinsame Gateelektrode
vorgesehen. Bei der Wechselrichtereinheit gemäß der vorliegenden Erfindung sind
im Grunde die Gateelektroden der Transistoren untereinander verbunden
und bilden zusammengeschaltet die Eingangselektrode für den Wechselrichter.
Ebenso sind die Drainelektroden der Transistoren in dem Wechselrichter
zusammengeschaltet, jedoch nicht mit der Gateelektrode verbunden.
Der Vorteil einer gemeinsamen Gateelektrode ist, dass weniger parasitäre Effekte
auftreten. Zwischen benachbarten Transistoren befinden sich in der
Regel parasitäre Kapazitäten und
Ströme,
welche nur dann begrenzt werden, wenn die Transistoren in einem
ausreichenden Abstand voneinander vorgesehen sind. Durch Verwendung
einer einzigen Gateelektrode wird die Oberfläche und dadurch die Wechselwirkung
mit anderen Elementen der Anordnung reduziert. Ein weiterer Vorteil
ist, dass das Fehlen einer Zwischenverbindung zwischen den Gateelektroden
den Widerstand verringert. Dieses ist bei Verwendung von organischen
Leitern besonders wichtig. Darüber
hinaus sind, in Anbetracht dessen, dass mehrere Transistoren die gleiche
Gateelektrode nutzen, die Anforderungen für die lithographische Strukturierung
der Gateelektroden im Vergleich zu unipolaren Logiken weniger streng.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel
werden die Drainelektroden des ersten und zweiten Transistors gemeinsam
genutzt; das heißt,
dass nur eine einzige Drainelektrode vorgesehen ist. Dieses ist
insbesondere dann von Vorteil, wenn die Source- und Drainelektrode
ein interdigitierendes Elektrodenpaar bilden, wobei die Sourceelektroden
durch Zwischenteile der Drainelektrode gegenseitig geschützt sind.
Die Verwendung eines interdigitierenden Elektrodenpaares ist insofern
von Vorteil, als eine größere Kanalbreite
erreicht wird, während
die Oberfläche des
Transistors oder des Wechselrichters nicht entsprechend zunimmt.
Es ist selbstverständlich
einfach, die fingerartige Struktur der Drainelektrode so zu vergrößern, dass
beide Sourceelektroden mit dieser verbunden sind. Die Sourceelektroden
haben jedoch nicht die gleiche Spannung, was zu parasitären und
unsteuerbaren Effekten führen
könnte.
Um dieses zu verhindern, werden die Sourceelektroden durch Zwischenteile
der Drainelektrode gegenseitig abgeschirmt. Auf diese Weise sind
die parasitären Effekte
steuerbar.
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Die
Abschirmung durch die Drainelektrode wird zum Beispiel dadurch erreicht,
dass zwei oder mehr fingerartige Strukturen der Drainelektrode zwischen
den Sourceelektroden vorhanden sind. Jedoch weist die Drainelektrode
vorzugsweise einen Körper
mit einer ersten Seite und einer von dieser ersten Seite abgewandten,
zweiten Seite auf, welcher auf der ersten und zweiten Seite eine
fingerartige Struktur hat. Die Sourceelektrode ist dann auf der ersten
Seite vorgesehen und bildet ein interdigitierendes Elektrodenpaar
mit der fingerartigen Struktur auf dieser ersten Seite. Die Drainelektrode
ist auf der zweiten Seite angeordnet und bildet ein interdigitierendes
Elektrodenpaar mit der fingerartigen Struktur auf dieser zweiten
Seite. Das Ergebnis ist nicht nur eine gute Abschirmung, sondern
auch die Tatsache, dass die resultierende Wechselrichtereinheit
eine im Wesentlichen rechteckige Form aufweisen kann. Dieses ist
eine kompakte Form und hat zusätzlich
den Vorteil, dass die Überdeckungsgenauigkeit
in Relation zu der Gateelektrode weniger problematisch ist. Abweichungen
in der Überdeckung
führen
bei Betrieb der Transistoren zu Seiteneffekten.
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Besonders
geeignet als aktive Schichten sind die Schichten, die aus einer
Lösung
auf ein Substrat, zum Beispiel durch Aufsprühen, Spin Coating oder – Printing,
aufgetragen werden können.
Der Einsatz solcher Techniken ist besonders bei Anwendung in flexiblen
Anordnungen wünschenswert.
Schichten, welche durch chemische Aufdamp fung aufgebracht werden,
sind im Allgemeinen kristallin. Ein Biegen der Anordnung kann sehr
schnell zu einem Ausfall führen.
Ein mit der chemischen Aufdampfung verbundener Nachteil bei dieser
Art Anwendung ist, dass diese in einem Vakuum stattfinden muss,
was bei Mengenherstellung von Nachteil ist.
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Beispiele
von aktiven Schichten, welche aus einer Lösung aufgetragen werden, enthalten
funktionalisierte Materialien, Materialien auf der Basis eines Trägermaterials
und Precursor-Materialien. Vorteilhafte Beispiele sind hier insbesondere
Polyfluorene, wie z.B. Poly(3,9-Di-tert-butyllindeno[1,2-b]fluoren, sowie
Gemische aus funktionalisierten Halbleitermaterialien vom n-Typ
und funktionalisierten Halbleitermaterialien vom p-Typ. Beispiele
von Materialien vom p-Typ sind unter anderem Polythiophene, Polythienylen-Vinylene, Polyarylamine,
Polyphenylen-Vinylene, Pentacen und ähnliche Oligomere. Beispiele von
Materialien vom n-Typ sind unter anderem Gemische aus TCNQ-TTF,
wie z.B. aus
WO95-31833 bekannt,
sowie Materialien auf der Basis von Fullerenen, ebenfalls als C
60- und C
70-Materialien
bekannt, sowie Derivate derselben. Als Ester besonders günstig sind
hier funktionalisierte Varianten derselben, wie z.B. [6,6]-Phenyl
C
61-Buttersäure-Methylester. Dieses Material ist an
sich aus Hummelen et al., J. Org. Chem., 60 (1995), 532, bekannt.
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Bei
Gemischen ist die Verwendung von funktionalisierten Materialien
außerordentlich
vorteilhaft; nicht funktionalisierte Materialien sind oftmals schlecht
löslich.
Die Alternative besteht in der Verwendung von Precursor-Materialien.
Diese Precursor müssen
jedoch nach Anwendung noch durch Behandlung bei erhöhter Temperatur
in die tatsächlichen
Halbleitermaterialien umgewandelt werden. Da die Temperaturbehandlungen
von verschiedenen Materialien nicht ohne weiteres bei der gleichen
Temperatur stattfinden, wird die Stabilität der Verbindungen dadurch
gefährdet.
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Es
sei erwähnt,
dass ebenfalls Copolymere dieser und weiterer Verbindungen einsetzbar
sind. Ebenfalls kann es der Fall sein, dass solche Copolymere mit
Netzen kombiniert werden.
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Bei
Verwendung von Gemischen ist es von Vorteil, wenn das Halbleitermaterial
vom n-Typ und dieses vom p-Typ eine Mobilität μn, μp und
eine gegenseitige Relation μn:μp im Bereich von 0,1 bis 10 aufweisen. Unter
diesen Umständen
könnten
beide Transistoren der Wechselrichtereinheit identisch sein; auf
diese Weise wird die Konstruktion der Anordnung mit der Wechselrichtereinheit
vereinfacht und die Möglichkeit
parasitärer
und unerwarteter Effekte reduziert.
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In
einem weiteren Ausführungsbeispiel
enthält
die aktive Schicht ein Gemisch aus einem organischen Trägematerial,
dem Halbleitermaterial vom p-Typ und dem Halbleitermaterial vom
n-Typ. Dieses Gemisch hat den Vorteil, dass es, z.B. durch Spin Coating,
-Printing, Web Coating oder andere vergleichbare Techniken, sehr
gut aus der Lösung
aufgetragen werden kann. Ein weiterer Vorteil ist, dass es sich
zeigt, dass die aktive Schicht auf diese Weist eine überraschend
gute Stabilität
aufweist. Gleichzeitig ist die Mobilität in den Kanälen kaum
geringer als bei einer aktiven Schicht ohne Trägermaterial, obgleich die Konzentration
in dem Halbleitermaterial wesentlich geringer ist. Beispiele von
geeigneten Trägermaterialien
sind unter anderem Polyvinylverbindungen, wie z.B. Polyethylen,
Polypropylen, Polystyren; Polyimide, Polyester, wie z.B. Polymethylmethacrylat,
Polyethylenterephtalat, Polyethylenglycoldimethacrylat; Polyvinylalkohole.
Die Trägermaterialien
weisen vorzugsweise eine Glasübergangstemperatur
von mehr als 100°C
auf; damit ist die Stabilität
des Trägermaterials
unter verschiedenen Bedingungen der Herstellung und Verwendung gewährleistet.
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Als
dielektrische Schicht können
verschiedene Materialien eingesetzt werden. Tests haben gezeigt,
dass der ambipolare Transistor sowohl mit einer dielektrischen Schicht
aus einem anorganischen Material, wie z.B. SiO2,
als auch einer dielektrischen Schicht aus einem organischen Material,
wie z.B. Polyimid, Polyacrylat, oder einem Photolack arbeitet.
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Der
Erfindung liegt als zweite Aufgabe zugrunde, ein Verfahren vorzusehen,
bei welchem durch Lösungsbearbeitung
ein Wechselrichter mit verbesserter Leistungsverstärkung eingesetzt
werden kann.
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Diese
zweite Aufgabe wird dadurch erfüllt, dass
die elektronische Anordnung eine Wechselrichtereinheit mit einem
ersten und einem zweiten Feldeffekttransistor sowie einer, ein funktionalisiertes,
organisches Halbleitermaterial vom n-Typ und ein funktionalisiertes,
organisches Halbleitermaterial vom p-Typ enthaltenden, gemeinsamen
aktiven Schicht aufweist, welche aus einer Lösung auf ein Substrat aufgebracht
wird. Durch das Betriebsverfahren wird eine Wechselrichterstruktur
des ambipolaren Typs mit guten Eigenschaften vorgesehen, welche
jedoch auf kostengünstige
Weise und industriell realisierbar hergestellt werden kann. Das
Verfahren kann mit sämtlichen
oben erwähnten
Materialien und Varianten sowie weiteren Varianten, welche Fachkundigen bekannt
sind, angewandt werden.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im Folgenden näher beschrieben.
Es zeigen:
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1 – einen
schematischen Querschnitt der Anordnung;
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2 – die
Verbindung zwischen der Spannung Vds zwischen
der Source- und
der Drainelektrode und dem resultierenden Strom Ids bei
verschiedenen Spannungen Vg an der Gateelektrode
des erfindungsgemäß eingesetzten
Ambipolartransistors mit einem Gemisch aus einem Halbleitermaterial
vom n-Typ und einem solchen vom p-Typ als aktive Schicht.
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3 – die Verbindung
zwischen der Spannung Vds zwischen der Source- und Drainelektrode und
dem resultierenden Strom Ids bei verschiedenen Spannungen
Vg an der Gateelektrode in einem Unipolartransistor
mit nur einem Halbleitermaterial vom n-Typ;
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4 – ein elektrisches
Schaltbild einer Wechselrichtereinheit;
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5 – die Verbindung
zwischen der Eingangsspannung VIN und der
Ausgangsspannung VOUT des Wechselrichters
gemäß der vorliegenden Erfindung;
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6 – eine schematische
Draufsicht eines zweiten Ausführungsbeispiels
des Wechselrichters gemäß der vorliegenden
Erfindung; sowie
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7 – die
Verbindung zwischen der Spannung Vds zwischen
der Source- und
der Drainelektrode und dem resultierenden Strom Ids bei
verschiedenen Spannungen Vg an der Gateelektrode
des erfindungsgemäß verwendeten
Ambipolartransistors, welcher als aktive Schicht ein einziges Halbleitermaterial
mit einem geringen Bandabstand aufweist. Beispiel von Ausführungsbeispiel
1.
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Der
in 1 dargestellte Wechselrichter 10 weist
einen ersten Feldeffekttransistor 11 und einen zweiten
Feldeffekttransistor 12 auf. Der Wechselrichter 10 weist
ein elektrisch isolierendes Substrat 1 auf. Auf dem Substrat 1 sind
eine erste Elektrodenschicht 2 und eine zweite Elektrodenschicht 3 vorhanden.
In der ersten Elektrodenschicht 2 sind Sourceelektroden 21, 21' und Drainelektroden 22, 22' ausgebildet, wobei
die Elektrodenpaare 21, 22 und 21', 22' jeweils durch
einen Kanal 23, 23' voneinander
getrennt sind. In der zweiten Elektrodenschicht 3 sind
Gateelektroden 24, 24' und eine diese untereinander verbindende
Zwischenverbindung 25 definiert. In einer vertikalen Projektion
der Gateelektrode 24 auf der ersten Elektrodenschicht 2 überlappt
die Gateelektrode 24 den Kanal 23 beträchtlich.
Darüber
hinaus sind eine Zwischenschicht 4 und eine aktive Schicht 5 vorhanden.
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Die
oben erwähnten
Schichten 2, 3, 4, 5 sind auf
dem Substrat 1 in der Reihenfolge der zweiten Elektrodenschicht 3,
der Zwischenschicht 4, der ersten Elektrodenschicht 2 und
der aktiven Schicht 5 angeordnet. Um das Substrat zu planarisieren,
ist eine isolierende Planarisierungsschicht – nicht dargestellt – vorhanden,
welche zum Beispiel aus Polyvinylalkohol oder einem Photolack besteht.
Die zweite Elektrodenschicht 3 enthält Au und wird mit Hilfe eines
belichteten und entwickelten, photoempfindlichen Lackes auf bekannte
Weise in eine gewünschte
Struktur gebracht. Zwischen der zweiten Elektrodenschicht 3 und
der Zwischenschicht 4 kann eine monomolekulare Schicht – nicht
dargestellt – aus CH3-(CH2)15-SH
eingefügt
werden, um Defekte in der Zwischenschicht 4 zu verhindern.
Die Zwischenschicht 4 enthält im Allgemeinen ein photostrukturierbares,
organisches Dielektrikum, wie z.B. Benzocyclobuten, Polyimid, Polyvinylphenol,
oder einen Photolack, wie z.B. SU8. Die Zwischenschicht kann ebenfalls
ein anorganisches Dielektrikum, wie z.B. SiO2,
enthalten, was bei einem ersten Test der Fall war. Bei einem zweiten
Test wurde der Photolack SU8 als eine Zwischenschicht aufgebracht.
Die erste Elektrodenschicht 2 enthält in diesem Falle Gold. Die erste
Elektrodenschicht 2 wird durch Schleuderbeschichtung aufgebracht
und durch Belichtung strukturiert.
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Die
erste Elektrodenschicht 2 wird durch Schleuderbeschichtung
bis zu einer Tiefe von 50 nm von der aktiven Schicht 5 bedeckt.
Die aktive Schicht 5 enthält ein Gemisch aus [6,6]-Phenyl
C61 Buttersäure-Methylester und Poly[2-methoxy,
5-(3,7 dimethyloctyloxy]-p-phenylenvinylen, wobei dieses Polymer ebenfalls
als OC1OC10-PPV
bekannt ist. Das Verhältnis
des Gemischs beträgt
4:1. Die aktive Schicht wird auf das Halbleitermaterial als eine
Lösung
in Chlorbenzol mit einem Gehalt von 0,5 Gewichtsprozent aufgebracht.
Die Lösung
wurde durch einstündiges Rühren bei
80°C und
nachfolgendes Abkühlen
auf Raumtemperatur hergestellt.
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Die 2 und 3 zeigen
Messergebnisse von an vergleichbaren Transistoren vorgenommenen
Messungen. 2 zeigt die Daten für einen Transistor
mit einer aktiven Schicht aus dem oben beschriebenen Gemisch aus
[6,6]-Phenyl C61 Buttersäure-Methylester und OC1OC10-PPV in einem gegenseitigen Verhältnis von
4:1. 3 zeigt ein Diagramm eines vergleichbaren Transistors,
wobei [6,6]-Phenyl C61 Buttersäure-Methylester als ein Halbleitermaterial,
d.h. nur das n-leitende Material, aufgebracht wird. Die Diagramme
basieren auf Messungen in einer typischen Prüfeinrichtung, wobei die Gateelektrode 24 in
einem Siliciumsubstrat vorgesehen ist. Die Oberfläche des
Substrats 1 wird dann in Siliciumdioxid, welches die dielektrische
Schicht 4 bildet, oxidiert. Auf dieser Schicht sind die
Source- und Drainelektrode 21, 22 aus Au angeordnet.
Auf der Oberseite derselben befindet sich die aktive Schicht 5.
Die Kanallänge
betrug dann 40 μm
und die Kanalbreite 1 mm. Die SiO2-Schicht
wurde mit einem Primer behandelt, bei dem es sich um Hexamethyldisilazan
(HMDS) handelte.
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2 zeigt Diagramme, in denen der Strom Ids gegenüber
der Spannung zwischen der Source- und Drainelektrode Vds bei
verschiedenen Gatespannungen Vg in nA dargestellt
ist. Bei hohen, negativen Spannungen Vg an
der Gateelektrode, wie in 2(a) dargestellt,
befindet sich der Transistor in dem „Löcherakkumulationsmodus". Die Charakteristiken
des Transistors sind hier mit einem Unipolartransistor aus dem Halbleitermaterial
OC1OC10-PPV identisch.
Bei niedrigen Spannungen an dem Gate und hohen Spannungen an dem
Drain Vds zeigt der Strom Ids einen
wahrnehmbaren Anstieg bei der Spannung an dem Drain Vds.
Dieses ist eine typische Charakteristik des Ambipolartransistors,
welche der vergleichbare Unipolartransistor nicht aufweist.
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Bei
positiven Spannungen Vg an der Gateelektrode,
wie in 2(b) dargestellt, arbeitet
der Transistor in dem „Elektronenakkumulationsmodus" bei einer Mobilität von 3,105 cm2/Vs bei Vg = 30 Volt. Bei niedrigen Spannungen an
dem Drain Vds ist ein nicht linearer Anstieg
des Stroms wahrnehmbar. Bei niedrigen Spannungen an dem Gate Vg und hohen Spannungen an dem Drain Vds wird in dem Strom erneut ein wahrnehmbarer
Anstieg festgestellt, welcher für
den Ambipolartransistor typisch ist. Dieser Anstieg des Stroms ist
auf die Tatsache zurückzuführen, dass
unter bestimmten Umständen
sowohl Defektelektronen als auch Elektronen in dem Transistor vorhanden
sind, so dass in dem Kanal ein pn-Übergang gebildet
wird.
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Befindet
sich der Transistor in dem „Löcherakkumulationsmodus", kann der Strom
bei einem Modell auf Grund des Hopping von Ladungsträgern in
einer exponentiellen Zustandsdichte (DOS), wie aus Phys. Rev. B
57, 12964 (1998) bekannt, dargestellt werden. Bei der Beschreibung
des n-Leitfähigkeitstyps
wird ein injektionsbegrenzter Strom berücksichtigt. Bei einem Anstieg
von Vds auf den Punkt, an dem Vds gleich
Vg – Vso (Einschaltspannung) ist, wird der Kanal
an der Drainelektrode gesperrt. Bei noch größeren Drainspannungen Vds entwickelt sich in Unipolartransistoren
um die Drainelektrode ein Verarmungsgebiet, und der Strom sättigt. Bei
einem Ambipolartransistor sammeln sich die Elektroden im Falle eines
weiteren Anstiegs der Drainspannung Vds an der
Drainelektrode an. Diese beiden Akkumulationsbereiche stellen die
Ausbildung eines pn-Übergangs sicher.
Der Strom Ids zwischen Source und Drain
kann anschließend
berechnet werden, vorausge setzt, dass der Strom an dem pn-Übergang
sich nicht verändern
kann, und dass die kombinierten Längen des Elektronenakkumulationsbereichs
und des Löcherakkumulationsbereichs
der Kanallänge
entsprechen. Hieraus folgt, dass sich der Strom Ids aus
der Summe der Ströme
von Defektelektronen und Elektronen zusammensetzt. Der Ambipolartransistor
kann somit physikalisch als Transistor vom p-Typ und n-Typ betrachtet
werden, welche parallel geschaltet sind.
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4 zeigt
ein elektrisches Schaltbild des Wechselrichters gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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5 zeigt
die Übertragungscharakteristik des
Wechselrichters gemäß der vorliegenden
Erfindung, wobei zwei identische Transistoren eingesetzt werden.
Die verwendeten Transistoren weisen eine aktive Schicht mit einem
Gemisch aus [6,6]-Phenyl C61 Buttersäure-Methylester
und OC1OC10-PPV
auf. Die verwendeten Transistoren sind unter Bezugnahme auf 2 beschrieben. Je nach der Polarität der Versorgungsspannung
VDD arbeitet der Wechselrichter gemäß der Erfindung
in dem ersten oder dem dritten Quadranten. Ein auf unipolaren Logiken
basierender Wechselrichter arbeitet dagegen nur in dem ersten Quadranten.
Darüber
hinaus kann bei niedrigen und bei hohen Werten der Eingangsspannung VIN ein geringer Anstieg der Ausgangsspannung
VOUT beobachtet werden. Dieser Anstieg ist
auf die Tatsache zurückzuführen, dass
beide Transistoren als ein Parallelstromkreis eines n- und eines
p-Transistors arbeiten. Sowohl bei einer hohen als auch bei einer niedrigen
Eingangsspannung VIN kann der Wechselrichter
jedoch noch immer Strom entnehmen. Dieses resultiert in dem ermittelten
Anstieg der Ausgangsspannung VOUT. Die Eigenschaften
des Wechselrichters können
mit einer Zustandsdichte-(DOS)-Lösung modelliert
werden. Dieses führt
zu dem Verhalten, welches in dem Diagramm in einer schwarzen Linie dargestellt
ist. Darüber
hinaus ist es bemerkenswert, dass das Diagramm von VOUT versus
VIN eine im Wesentlichen symmetrische Position
in dem Quadranten aufweist. Dieses ist insofern von Vorteil, als
die Auslösespannung – die Spannung,
bei welcher der Wert der Eingangsspannung VIN dem
Wert der Ausgangsspannung VOUT entspricht – in der
Mitte zwischen der Eingangsspannung mit einer minimalen Ausgangsleistung
und der Eingangsspannung mit einer maximalen Ausgangsleistung liegt.
Infolgedessen ist die Rauschschwelle optimal. Bei unipolaren Logiken
weicht die Auslösespannung
dagegen von dem Mittelwert ab, so dass eine weitere Reduzierung der
Rauschschwelle erreicht wird.
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6 zeigt
in Draufsicht ein zweites Ausführungsbeispiel
des Wechselrichters 10 gemäß der Erfindung. Hier wird
eine gemeinsame Gateelektrode 24 eingesetzt, und die Source-
und Drainelektrode 21, 22 sind in einer interdigitierenden,
fingerartigen Struktur ausgeführt.
Dieses resultiert in einem breiten Kanal 23, 23' auf einer begrenzten
Oberfläche.
Die Drainelektrode 22 wird dann von der Sourceelektrode 21 des
ersten Transistors und der Sourceelektrode 21' des zweiten
Transistors gemeinsam genutzt.
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7 zeigt die Charakteristiken eines ambipolaren
Feldeffekttransistors, bei welchem ein Material mit einem geringen
Bandabstand als aktive Schicht verwendet wird. In diesem Beispiel
wird, obgleich dieses nicht unbedingt notwendig ist, Poly(3,9-Di-tertbutyllindeno[1,2-b]fluoren,
welches ebenfalls als PIF bezeichnet wird, eingesetzt. Das PIF-Material wurde in
Chlorbenzol in einer Konzentration von ca. 1 % gelöst und durch
Schleuderbeschichtung auf die Oberfläche von Prüfeinrichtungen aufgebracht.
Die Prüfeinrichtungen
sind unter Bezugnahme auf 2 beschrieben.
Nach der Schleuderbeschichtung wurden die Einrichtungen auf 90°C im Vakuum
erhitzt. Die Diagramme zeigen, dass wir es hier mit einem Ambipolartransistor
zu tun haben. Die erreichte Mobilität liegt bei etwa 2,10–5 für Defektelektronen
und für
Elektronen.
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Es
liegt für
Fachkundige auf der Hand, dass ebenfalls andere Materialien als
die oben erwähnten verwendet
werden können.
Darüber
hinaus kann die Anordnung mehr Elemente als lediglich den Wechselrichter
umfassen. Zum Beispiel können
mehrere Wechselrichter in Reihe geschaltet werden, wobei sie einen
Ringoszillator bilden. Die Wechselrichter können ebenfalls Teil von NAND-
oder NOR-Schaltungen sein. Die Transistoren können mit einer anderen Bemaßung, zum
Beispiel mit kleineren Kanallängen oder
mit größeren Kanalbreiten,
ausgeführt
sein. Somit sieht die Erfindung eine auf Transistoren mit einem
ersten Kanal vom ersten Leitfähigkeitstyp
und einem zweiten Kanal vom zweiten Leitfähigkeitstyp basierende Wechselrichtereinheit
vor, wobei die Kanäle
in einer einzigen aktiven Schicht vorgesehen sind und lediglich
eine einzige Elektrodenschicht eingesetzt wird.
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Inschrift der Zeichnung
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2a
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2b
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7a
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7b
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