DE60115559T2 - Rotationsmaschine mit Magnetschwebesystem - Google Patents

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Toshiharu Chigasaki-shi Nakazawa
Matsutaro Chigasaki-shi Miyamoto
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • F16C32/0446Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors

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Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Rotationsmaschine mit Magnetschwebesystem welche eine Schwebe- oder Tragsteuerung eines Rotors ausführt, und zwar versehen mit einem Magnetmaterial als ein zu steuerndes Objekt, so dass der Rotor in einem Schwebezustand auf einer gewünschten Position gehalten wird, und zwar durch die Verwendung magnetischer Anziehungskraft oder magnetischer Abstoßkraft, erzeugt durch einen Elektromagneten oder einen permanenten Magneten. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf einen Detektionsmechanismus, um eine Axialversetzung oder Axialverschiebung und auch die Drehzahl des Rotors zu bestimmen.
  • Beschreibung verwandter Technik
  • 10 zeigt ein Diagramm, welches ein allgemeines Beispiel der Konstruktion eines konventionellen Magnetlagermechanismus lehrt, und 11 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel der Konstruktion einer Steuereinheit zur Durchführung der Schwebelagersteuerung eines Magnetlagers veranschaulicht. Bei einer Rotations- oder Drehmaschine mit magnetischer Levitation bzw. magnetischem Schwebezustand, wird ein Rotor R durch einen Motor angetrieben und gedreht, und zwar ohne diesen zu kontaktieren, wobei zusätzlich die Halterung oder Lagerung in einem Schwebezustand durch ein Radialmagnetlager und ein Schubmagnetlager erfolgt. Der Rotor R ist mit einem Target- oder Zielglied 21 aus einem Magnetmaterial versehen, und wird in einem Schwebezustand auf einer Radialzielschwebeposition durch Steuerung der magnetischen Anziehungskraft erzeugt, von einem Radialtrag- oder Lagermagnet 20 gehalten. Ein Radialversetzungs- oder Radialverschiebungssensor 11 ist nahe dem Elektromagnet 20 angeordnet. Der Radialversetzungssensor 11 misst die Radialversetzung (den Ort) eines Zielmagnetmaterials 19, vorgesehen im Rotor bzw. Rotator R. Ferner ist der Rotor R mit einer Schubscheibe 18, gebildet aus einem Magnetmaterial, versehen und ein Axialschwebehalterungs- oder Lagerelektromagnet 15 für den Rotor R ist derart vorgesehen, dass die Schubscheibe 18 dadurch sandwichartig umfasst ist. Der mit der Schubscheibe 18 versehene Rotor R wird in dem Schwebezustand auf einer axialen Zielschwebeposition durch Steuerung der magnetischen Anzugskraft gehalten, welche von dem Axialschwebelager oder Tragelektromagneten 15 erzeugt wird.
  • Ein Ziel 16, ausgebildet aus einem Magnetmaterial für einen Positionssensor, ist an dem Wellenende des Rotors R vorgesehen, und ein Axialversetzungs- oder Verschiebungssensor 13 für den Rotor R ist auf der festen Seite vorgesehen, um die Axialverschiebung des Rotors R zu messen. Der Rotor ist mit einer Rotationsgeschwindigkeits- oder Rotationsdrehzahldetektionsscheibe 17 versehen, und ein Drehzahldetektionssensor 14 ist auf der festen Seite in Position nahe der Rotationsdrehzahldetektionsscheibe 17 angeordnet. Alle Versetzungs- oder Verschiebungssensoren 11, 12 und 13 sind Sensoren, die ein Phänomen ausnutzen, das darin besteht, dass die magnetischen Eigenschaften sich ändern, ansprechend auf die Verschiebung oder Versetzung eines Ziel-(Magnet-)Materials, wie beispielsweise einen Wirbelstromsensor oder einen Induktivitätssensor. Die Drehzahldetektionsscheibe 17 ist konkav oder konvex und der Durchgang durch die konkave oder konvexe Scheibe wird durch einen Versetzungssensor detektiert, und zwar unter Verwendung der gleichen Magneteigenschaften wie sie oben beschrieben wurden, um die Drehzahl zu detektieren. Ein Konstruktionsbeispiel des konventionellen Magnetlagermechanismus gemäß 10 weist zwei Sensoren 11, 12 auf, um die Radialversetzung zu detektieren. Tatsächlich sind jedoch zwei zusätzliche Sensoren in einer Richtung senkrecht zur Papieroberfläche angeordnet. Die Sensoren können eine Koordinatenposition innerhalb einer Ebene detektieren, die senkrecht zur Drehwelle des Rotors verläuft.
  • Im Stand der Technik gemäß 11 sind der Axialversetzungssensor 13, der Drehzahldetektionssensor 14 und der Axialschwebetragelektromagnet 15 in einer hierarchischen Struktur angeordnet, und zwar auf der festen Seite des Magnetlagermechanismus entlang der Axialrichtung des Rotors R. Wie in 11 gezeigt, wird ein Signal auf der Axialposition (Versetzung) des Rotors R erhalten durch den Axialversetzungssensor 13, durch einen Sensorsignalprozessor 23 und eine Kompensationsschaltung 24, vorgesehen innerhalb der Steuereinheit gesendet, und zwar zu einem Erregungsstromausgangsverstärker 25, der einen Erregungsstrom abgibt, der sodann an den Axialhub- oder Schwebetragmagneten 15 geliefert wird, um die Erregung auszuführen, wodurch der Rotor R derart gesteuert wird, dass er auf einer axialen vorbestimmen Position angehoben und getragen wird. In gleicher Weise wird die Ausgangsgröße des Drehzahldetektionssensors 14 in einen Rotations- oder Drehsensorsignalprozessor 26, vorgesehen innerhalb der Steuereinheit, eingegeben, wo die Drehzahl berechnet wird. Der Drehzahlwert, der auf diese Weise erhalten wird, wird mit einer Zieldrehzahl in einer Drehzahlsteuereinheit 27 verglichen, und ein Strom zum Betrieb des Motors wird von einem Inverter 28 an den Motor (nicht in 10 gezeigt) geliefert, um so die Drehzahl auf einen vorbestimmten Wert zu bringen.
  • Ein wichtiges Merkmal der magnetischen Schweberotations- oder Drehmaschine besteht darin, dass dann, wenn ein Rotor in einem Schwebezustand durch die oben beschriebene Serie von magnetischen Hubsteuerungen gehalten wird, der Rotor selbst dann, wenn er in irgendeiner Position sich befindet, in einem Schwebezustand gehalten ist und rotiert wird, und zwar in einer nicht kontaktierenden Art und Weise. Daher sollte auch ein nicht kontaktierendes Drehzahldetektionssystem in den Drehzahldetektionsmitteln verwendet werden, und zwar zu der Zeit des Anlegens der Drehkraft durch eine Induktionsmaschine oder eine Synchronmaschine.
  • Speziell gilt Folgendes: zusätzlich zu einem Versetzungssensorelement für die Schwebepositionsdetektion zur Durchführung der Schwebelagersteuerung des Rotors sollte ein Drehzahlsensorelement eingebaut sein. Bei konventionellen Verfahren, wie beispielsweise bei dem Versetzungssensor zur Positionsdetektierung für die magnetische Schwebesteuerung wurden jedoch Drehzahldetektionssensoren der Wirbelstrombauart, der Induktionsbauart oder der Induktivitätsbauart verwendet, wobei es sich hier um ein elektromagnetisches Detektionsverfahren handelt. Wenn jedoch der elektromagnetische Sensor der konventionellen Bauart verwendet wird, und zwar für einige mechanische Anordnungen der Sensoren, so tritt ein Phänomen der gegenseitigen elektromagnetischen Interferenz auf. Daher sollten das Drehzahldetektionssensorelement und das Versetzungssensorelement zur Positionsdetektion derart vorgesehen sein, dass ein Raum dazwischen verbleibt.
  • Das bedeutet Folgendes: um den obigen Aufbau ohne irgendwelche elektromagnetischen Probleme zu betreiben, sollte gemäß 10 ein bestimmter Raum zwischen dem Axialversetzungssensor 13 und dem Drehzahldetektionssensor 14 vorgesehen sein, und zwischen dem Drehzahldetektionssensor 14 und dem Axialschwebehalterungs- oder Lagerungselektromagneten 15. Es besteht daher eine Begrenzung hinsichtlich einer Größenverminderung des Wellenendteils in dem Magnetlagermechanismus.
  • Ferner gilt für ein konventionelles System, wie in 10 gezeigt, Folgendes: bei der Detektion der Drehzahl wird ein Verfahren verwendet, wo die Drehzahldetektionsscheibe 17 partiell mit einer Nut versehen ist, und zwar am Wellenende des Rotors und wobei ferner die Scheibe zusammen mit dem Rotor verdreht wird, und in diesem Falle wird dann, wenn die Nut die Vorderseite des Drehzahldetektionssensors passiert hat, ein Impulssignal synchronisiert mit der Drehzahl erzeugt. Bei diesem Verfahren wird jedoch Leakmagnetfluss des magnetischen Hubelektromagnetens in einen Teil um die Drehzahldetektionsscheibe 17 eingeführt, und dies verschlechtert das S/N-Verhältnis (Signal-/Rauschverhältnis) des Drehzahldetektionssensorsignals. Aus diesem Grunde ist es im Hinblick auf den Aufbau von einer nicht vermeidbaren Notwendigkeit, einen gewissen Raum vorzusehen zwischen der Drehzahldetektionsscheibe 17, dem Axialversetzungssensorziel oder -target 16 und der Schubscheibe 18.
  • Wie oben beschrieben, sollte infolge der oben beschriebenen Einschränkungen der Drehzahldetektionssensor der nicht kontaktierenden Bauart, basierend auf einem elektromagnetischen Prinzip, der innerhalb des Magnetlager mechanismus zum Anheben und Tragen des Rotors vorgesehen ist, derart vorgesehen sein, dass weil ein gewisser Raum verbleibt, und zwar beispielsweise gegenüber dem Elektromagneten und dem Versetzungssensor für die Positionsdetektion, und zwar den Magnetlagermechanismus bildend. Dies bildet ein Hindernis hinsichtlich der Reduktion der Größe des gesamten Magnetlagermechanismus.
  • In dem Drehzahldetektionssystem des Drehzahldetektionssensors wird die Aufnahme eines Systems unter Verwendung eines optischen oder anderen Halbleitersensors, die keine elektromagnetischen Mittel sind, als effektiv angesehen, um einige der obigen Einschränkungen zu vermeiden. Halbleitersensoren sind jedoch nicht geeignet für die Anwendungen bei magnetischen Schwebedrehmaschinen, da sie Probleme zeigen, und zwar einschließlich der Probleme, dass Halbleitersensoren teuer sind und somit die Kosten erhöhen, da sie ferner einen geringen Wärmewiderstand aufweisen, und an einer komplizierten Aufbaustruktur leiden.
  • Weiterhin sei auf Patent Abstracts of Japan, Band 2000, Nr. 10 vom 17. November 2000, JP 2000 205259 A hingewiesen. Dieses Dokument beschreibt eine Drehzahldetektionsvorrichtung für einen magnetischen Schweberotor. Das Ausgangssignal einer Rotationssensorschaltung wird hier auf der Basis von zwei Rotations- oder Drehsensoren und dem Ausgangssignal einer Versetzungssensorschaltung auf der Basis von einem Axialversetzungssensor und einem Radialversetzungssensor einer Differentialverstärkung unterworfen, und dadurch entbehrt das Ausgangssignal der Drehsensorschaltung des Einflusses der Vibration erzeugt im Rotor. Weiterhin sei auf Patent Abstracts of Japan, Band 1997, Nr. 05 vom 30, Mai 1997, JP 09 009569 A hingewiesen, wo ein Sensorverfahren für ein Magnetlager beschrieben ist. Hier wird mindestens ein Paar von Kerbausnehmungen identischen Querschnitts symmetrisch zur Achse vorgesehen, und zwar mindestens in dem Spaltabfühlteil einer Drehwelle, die durch Magnetlager getragen ist. Die Differenz zwischen den Ausgangswerten von einem Paar von Spaltsensoren wird durch eine Subtraktionsfunktion bestimmt, und die Vertikalverschiebung einer Drehwelle wird ba sierend auf der Polarität des Absolutwerts der Differenz bestimmt. Ferner wird die Summe der Ausgangswerte von dem Paar von Spaltsensoren durch eine Addierfunktion bestimmt, und sodann wird die Drehzahl der Drehwelle, basierend auf der Ausgangssteigung der Summe, bestimmt.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Rotationsmaschine mit Magnetschwebesystem gemäß Anspruch 1 vorgesehen. Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung wurde unter Berücksichtigung der oben gemachten Umstände gemacht, und ein Ziel der Erfindung besteht darin, eine magnetgelagerte Schweberotationsmaschine vorzusehen, die eine stabile Versetzungsdetektion und Drehzahldetektion des Rotors ermöglicht, und wobei zudem die Größe des Gesamtsystems vermindert werden kann, so dass das Gesamtsystem kompakt wird.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Rotationsmaschine mit magnetischen Schwebeeigenschaften vorgesehen, um einen Rotor in einem Schwebezustand zu halten, und zwar durch Magnetkraft eines Elektromagneten oder eines Permanentmagneten, wobei die Rotationsmaschine der Magnetschwebebauart Folgendes aufweist: eine Positionsdetektionsebene, vorgesehen in dem Rotor und eine Konkavität und/oder eine Konvexität, vorgesehen in der Ebene; einen Versetzungssensor, vorgesehen auf der festen Seite zum Detektieren der Positionsversetzung der Ebene einschließlich der konkaven oder konvexen Bereiche; und einen Detektionsmechanismus zum Detektieren der Versetzung des Rotors und der Drehzahl des Rotors aus der Ausgangsgröße des Versetzungssensors.
  • Gemäß dieser Konstruktion kann die Detektion der Versetzung des Rotors und die Detektion der Drehzahl unter Verwendung eines einzigen Ziel- oder Targetgliedes ausgeführt werden. Daher wird die Struktur bzw. der Aufbau des Magnetlagers vereinfacht und die Größe an dieser Stelle kann reduziert werden. Zudem wird die Anzahl notwendiger Komponenten reduziert, was zu einer Kostenreduktion führt.
  • Vorzugsweise gilt Folgendes: die Versetzung des Rotors wird detektiert durch Extrahieren aus der Ausgangsgröße des Versetzungssensors, die Ausgangsgröße der Versetzung der Ebene mit der Komponente, die den konkaven oder konvexen Bereich daraus entfernt, repräsentiert.
  • Vorzugsweise wird die Drehzahl des Rotors detektiert durch Extrahieren aus der Ausgangsgröße des Versetzungssensors, einer Impulsausgangsgröße, entsprechend dem konkaven oder dem konvexen Bereich.
  • Bei der Magnetschwebedrehmaschine ist vorzugsweise Folgendes vorgesehen: mindestens ein Paar der Versetzungssensoren ist unter einem willkürlichen Winkel gegenüber dem Drehmittelpunkt des Rotors angeordnet, die Detektionsebene ist derart angeordnet, dass sie zu den Versetzungssensoren hinweist, die konkaven und konvexen Bereiche sind derart angeordnet, dass sie den Positionen der Versetzungssensoren mit dem gleichen Winkel wie der willkürliche Winkel entsprechen, unter den die Versetzungssensoren angeordnet sind, und zwar gegenüber der Drehmitte der Ebene, und die Positionsversetzung und die Drehzahl der Detektionsebene werden aus den Ausgangsgrößen von mindestens einem Paar der Versetzungssensoren berechnet und ausgegeben, um die Detektion von sowohl der Versetzung des Rotors als auch der Drehzahl des Rotors zu ermöglichen.
  • Das Vorsehen der konkaven und konvexen Bereiche in der Detektionsebene gestattet die Axialversetzung und die Drehzahl des Rotors gesondert voneinander zu detektieren, und zwar ohne gegenseitige Interferenz.
  • Vorzugsweise ist die Detektionsebene in der Schubscheibe aus Magnetmaterial angeordnet, die ein zu steuerndes Objekt ist, und zwar durch einen Elektromagneten für die Axialpositionssteuerung. Diese Konstruktion kann die Notwendigkeit eliminieren, eine am Rotor befestigte Scheibe vorzusehen, um die Drehzahl zu detektieren und auf diese Weise kann die Länge der gesamten Maschine verkürzt werden, und die Größe der gesamten Maschine kann verringert werden.
  • Zusammenfassend gilt gemäß der Erfindung Folgendes: der Drehzahldetektionssensor, der bislang ein Hindernis bezüglich der Größenreduktion war, kann vereinfacht werden. Daher kann die Größe des Magnetlagermechanismus vermindert werden, und die Kosten können infolge der verminderten Anzahl von Komponenten vermindert werden, die notwendig sind um den Magnetlagermechanismus zu bilden.
  • Die obigen, sowie weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den Zeichnungen, in denen bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung beispielhaft dargestellt sind.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist ein Querschnitt eines Magnetlagermechanismus gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • 2A bzw. 2B bzw. 2C sind eine Draufsicht bzw. Ansicht bzw. Seitenansicht einer Detektionsscheibe gemäß 1;
  • 3 ist ein Blockdiagramm der Steuereinheit für die Axialversetzung und Drehzahl des Magnetlagermechanismus gemäß 1;
  • 4A und 4B sind jeweils ein Diagramm, welches ein Versetzungssensorausgangssignal zeigt, wobei 4C ein Diagramm darstellt, welches eine Additionssignalausgangsgröße der zwei Versetzungssensoren zeigt, und wobei ferner 4D ein Diagramm darstellt, welches ein Subtraktionsausgangssignal darstellt;
  • 5 ist ein Querschnitt der Magnetlagervorrichtung gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
  • 6A bzw. 6B bzw. 6C sind eine Draufsicht bzw. eine Ansicht bzw. eine Seitenansicht einer Schubscheibe gemäß 5;
  • 7 ist ein Blockdiagramm einer Steuereinheit für die Axialverschiebung und die Drehzahl des Magnetlagermechanismus gemäß 5;
  • 8 ist ein Diagramm, welches eine Abwandlung des Magnetlagermechanismus gemäß 5 zeigt;
  • 9A bzw. 9B bzw. 9C zeigen ein Diagramm des Hauptteils der Schubscheibe, gezeigt in 8;
  • 10 ist ein Querschnitt eines konventionellen Lagermechanismus; und
  • 11 ist ein Blockdiagramm einer Steuereinheit für die Axialverschiebung und die Drehzahl bei einem Magnetlagermechanismus gemäß 10.
  • Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Rotationsmaschine mit Magnetlagerung oder Magnetschwebeanordnung werden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert.
  • 1 ist ein Diagramm, welches den Aufbau eines Wellenendes des Magnetlagermechanismus gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt, während 2 ein Diagramm darstellt, welches den Aufbau einer Detektionsscheibe veranschaulicht und schließlich ist 3 ein Blockdiagramm, welches den Aufbau einer Steuereinheit veranschaulicht.
  • Gemäß diesen Ausführungsbeispielen ist eine Versetzungs- bzw. Verschiebungsdetektions-Rotationsdrehzahl-Detektionsscheibe 30 am Wellenende eines Rotors R vorgesehen, um die Axialverschiebung bzw. die Axialversetzung und die Drehzahl des Rotors R zu detektieren. Axialdetektionsverschiebungssensoren 31, 32 sind an der festen Seite des Magnetlagermechanismus derart befestigt, dass sie zu dieser Detektionsscheibe 30 hinweisen. Die Versetzungsdetektions-Rotationsdrehzahl-Detektionsscheibe 30, vorgesehen am Wellenende des Rotors R, besitzt wie in 2 gezeigt, eine flache Detektionsebene 33 und konvexe Elemente oder Gebiete 34, und konkave Elemente oder Gebiete 35, und zwar angeordnet auf der Detektionsebene radialsymmetrisch bezüglich der Mitte der Scheibe. In gleicher Weise sind Axialdetektionsverschiebungssensoren 31, 32 auf der festen Seite an den entsprechenden Positionen vorgesehen, die radial symmetrisch bezüglich der Wellenmitte angeordnet sind. Der weitere Aufbau ist der Gleiche wie bei dem Stand der Technik gemäß 10. Das heißt, ein Radialtragelektromagnet 20, ein Radialpositions-Detektionsversetzungssensor 11 und ein Axialtrageelektromagnet 15 sind auf der festen Seite angeordnet und Zielglieder 21, 19, gebildet aus einem Magnetmaterial und eine Schubscheibe 18 sind auf der Rotorseite vorgesehen.
  • 3 ist ein Blockdiagramm, welches eine Steuereinheit in der Magnetschwebe-Rotationsmaschine zeigt. Das von dem Axialversetzungsdetektionssensor 31 (axial detection sensor A) abgegebene Signal und das von dem Axialversetzungsdetektionssensor 32 (axial detection sensor B) ausgegebene Signal werden in einen Positionsversetzungssignalextraktor bzw. -ermittler 41 und einen Drehzahlsignalextraktor bzw. -ermittler 42 eingegeben. Hierbei ist der Positionsversetzungssignalextraktor bzw. -ermittler 41 eine Additionsschaltung und der Rotationsdrehzahlsignalextraktor bzw. -ermittler 42 ist eine Substraktionsschaltung. Die von den Axialversetzungsdetektionssensoren 31, 32 ausgegebenen Signalausgangsgrößen werden in dem Positionsversetzungssignalextraktor bzw. -ermittler 31 addiert und in dem Rotationsdrehzahlsignalextraktor bzw. -ermittler 42 subtrahiert.
  • Das Signal wird durch den Positionsversetzungssignalextraktor bzw. ermittler 41 und den Rotationsdrehzahlsignalextraktor bzw. -ermittler 42 innerhalb der Steuereinheit, gezeigt in 3, in Drehzahldetektionssignal und Positionsdetektionssignal geteilt. Wenn der Rotor R in einem Schwebezustand verdreht wird, und zwar auf einer bestimmten Position in Axialrichtung, wie dies in 4A und 4B gezeigt ist, so sind die durch die Axialversetzungssensoren 31, 32 detektierten Signale Impulssignale, die entgegengesetzt zueinander oder in Phase auf einer Zeitachse verlaufen und die Breite in Umfangsrichtung angeben, und die Tiefe in dickenweiser Richtung der konkaven und konvexen Elemente 34, 35, vorgesehen in der Detektionsscheibe 30. Für die Gleichstromkomponente jedes Signals wird ein Signal ausgegeben, welches den Abstand (Spaltlänge) zwischen der flachen Detektionsebene 33 und dem Axialversetzungsdetektionssensor anzeigt.
  • Im Inneren der Steuereinheit gemäß 3 werden die von den Axialversetzungsdetektionssensoren 31, 32 ausgegebenen Signale jeweils in den Positionsversetzungssignalextraktor bzw. -ermittler 41 als die Additionsschaltung und in den Rotationsdrehzahlsignalextraktor bzw. -ermittler 42 als die Substraktionsschaltung eingegeben. In dem Positionsversetzungssignalextraktor 41 werden, wie in 4C gezeigt, beide Ausgangsgrößen der Sensoren 31, 32 addiert und dies bewirkt eine Versetzung der Pulssignale entsprechend den konkaven und konvexen Elementen, wie in den 4A und 4B gezeigt, und zwar gegeneinander. Daher wird ein Signal von dem Positionsversetzungssignalextraktor bzw. -ermittler 41 ausgegeben und zwar ein Signal entsprechend dem Abstand (der Versetzung) der Ebene 33 der Detektionsscheibe 30 gegenüber dem Versetzungssensor 31, 32.
  • In dem Rotationsdrehzahlsignalextraktor 42 werden beide Signalausgangsgrößen der Versetzungssensoren 31, 32 einer Subtraktionsverarbeitung unterworfen. Daher ist, wie in 4D gezeigt, der Abstand von dem Versetzungssensor 31 zur Ebene 33 und der Abstand von dem Versetzungssensor 32 zur Ebene 33 einer Subtraktionsverarbeitung unterworfen, um einen Wert von null zu ergeben, und für die Impulsausgangsgrößen werden Signale des konkaven und des konvexen Elements einer Subtraktionsverarbeitung unterworfen. Daher wird, wie in 4D gezeigt, eine Impulsausgangsgröße mit der zweifachen Höhe erhalten. Daher wird für die Signalausgangsgröße von dem Drehzahlsignalextraktor 42 nur die Drehzahlsignalkomponente, wobei die Versetzungssignalkomponente null ist, als ein Impulssignal extrahiert.
  • Das in der Positionsversetzungssignalermittlervorrichtung 41 extrahierte Versetzungssignal wird durch die Versetzungssensorsignalverarbeitungsschaltung (sensor signal processing circuit) 23, eine Kompensationsschaltung (compensation circuit) 24 und einen Erregungsstromverstärker (exciting current amplifier) 25 geleitet, und zwar wie oben in Verbindung mit der konventionellen Signalverarbeitungsschaltung gemäß 11 beschrieben, um einen Erregungsstrom des axialen Elektromagnets 5 zu erhalten, der sodann verwendet wird, um die axiale Schwebeposition des Rotors zu steuern. In gleicher Weise wird das Drehzahlsignal extrahiert bzw. ermittelt in dem Drehzahlsignalextraktor bzw. -ermittler, wie beim Stand der Technik, durch einen Rotationssensorsignalprozessor 26, einen Drehzahlcontroller oder eine Drehzahlsteuervorrichtung (rotating speed control unit) 27 und einen Inverter bzw. Wechselrichter (inverter) 28 geleitet, und verwendet bei der Steuerung der Drehzahl des Motors.
  • Für das Versetzungssignal, ausgegeben von dem Positionsversetzungssignalextraktor bzw. -ermittler 41, und das Drehzahlsignal, ausgegeben von dem Drehzahlsignalextraktor bzw. -ermittler 42, ist der Signalverarbeitungsprozess nach der Ausgabe der gleiche wie bei einem konventionellen System. Speziell wird das Versetzungssignal durch den Versetzungssensorsignalprozessor 23, die Kompensationsschaltung 24 und den Anregungsstromverstärker 25 geleitet, und in den Axialelektromagneten 15 eingegeben, um die Schwebehalterung oder die Schwebelagerung des Rotors zu steuern. Das heißt, das im Positionsversetzungssignalextraktor bzw. -ermittler detektierte Signal wird der vorbestimmten Signalverarbeitung in der Versetzungssensor-Signalverarbeitungsschaltung 23 ausgesetzt, und zwar innerhalb der Steuereinheit und dieses Signal wird in die Phasenkompensationsschaltung 24 eingegeben, wo die Phasenkompensation derart ausgeführt wird, um das Steuersystem des gesamten Magnetlagersystems zu stabilisieren, und zwar gefolgt von einer Eingabe in den Anregungsstromausgangsverstärker 25. Der Anregungsstromausgangsverstärker liefert einen Anregungsstrom an den Elektromagneten derart, dass eine elektromagnetische Kraft erzeugt wird, um den Rotor in einem Schwebezustand zu halten. Das Rotationsgeschwindigkeitssignal bzw. Drehzahlsignal wird durch den Rotationssensorsignalprozessor 26 geleitet, und ferner durch die Drehzahlsteuereinheit 27 und wird in den Inverter 28 eingegeben, um den Motor zu erregen, wodurch die Drehzahl des Rotators bzw. Rotors gesteuert wird.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wurde der Detektionsmechanismus zum Detektieren der Drehzahl und zum Detektieren der Schwebeposition (Versetzung) des Rotors vereinfacht, um so gebildet zu werden durch zwei Axialdetektionsversetzungssensoren 31, 32, eine Versetzungsdetektionsdrehzahldetektionsscheibe 30 und Signalverarbeitungsschaltung 41, 42. Anders als das konventionelle System wird auf diese Weise die Notwendigkeit eliminiert auf der festen Seite des Magnetlagermechanismus in einer hierarchischen Struktur den Axialpositionsdetektionsversetzungssensor und den Drehzahldetektionssensor und Zielmaterialien entsprechend dafür vorzusehen. Die Detektionsscheibe 30 und die Versetzungssensoren 31, 32 können für diese Funktionen verantwortlich sein. Daher kann die Axiallänge auf der festen Seite des Magnetlagermechanismus verkürzt werden und auch für den Rotor kann die Notwendigkeit des Vorsehens von sowohl der Drehzahldetektionsscheibe als auch des Axialpositionsversetzungssensorziels eliminiert werden. Daher wird die Axiallänge des Rotors an sich verkürzt.
  • Wenn das obige Verfahren verwendet wird, kann das Versetzungssignal und das Drehzahlsignal durch Änderung der Konstruktion der Signalverarbeitungsschaltung berechnet werden, und zwar bezüglich der konkaven und konvexen Stellen in der Detektionsscheibe 30, selbst in dem Falle des Vorsehens von nur dem einen der konkaven oder konvexen Elemente, anstelle des Vorsehens einer Kombination der konkaven und konvexen Elemente.
  • 5 ist ein Diagramm, welches den Magnetlagermechanismus gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt. 6 ist eine vergrößerte Ansicht einer Schubscheibe 40 als Hauptteil der 5. In diesem Ausführungsbeispiel ist eine Ebene 33 zum Detektieren der Axialversetzung in der Schubscheibe 40, ausgebildet aus Magnetmaterial, vorgesehen. Ferner ist ein konkaves Element oder ein konkaves Gebiet 35 vorgesehen, und zwar zur Bildung einer Impulsausgangsgröße für die Drehzahldetektion, und zwar in der Ebene 33 der Schubscheibe 40. Axialdetektionsversetzungssensoren 41, 42 sind symmetrisch an der Axialposition entsprechend dem konkaven Element 35 angeordnet. In dem in der Zeichnung gezeigten Ausführungsbeispiel ist der konkave Teil vorgesehen. Alternativ kann statt des konkaven Teils ein konvexer Teil vorgesehen sein. Gemäß dem obigen Ausführungsbeispiel sind die Versetzungssensoren 41, 42 innerhalb des axialen Elektromagneten 15 angeordnet.
  • 7 ist ein Diagramm, welches ein Ausführungsbeispiel der Konstruktion einer Steuereinheit in dem Magnetlagermechanismus gemäß 5 zeigt. Beispielsweise gilt Folgendes: das Ausgangssignal von einem Axialversetzungssensor (axial displacement sensor) 36 wird in einen Wechselstromkomponentenextraktor bzw. -ermittler (AC component extractor) 45 eingegeben. Der Wechselstromkomponentenextraktor bzw. -ermittler 45 kann beispielsweise ein Filter sein, um die Gleichstromkomponente abzuschneiden. Daher wird die Wechselstromkomponente aus dem Versetzungssensorausgangssignal in dem Wechselstromkomponentenextraktor bzw. -ermittler 45 extrahiert, und der Signalausgangsgröße von einem weiteren Axialversetzungssensor (axial displacement sensor) 37 hinzugefügt, um die Impulssignalkomponente entsprechend der Drehzahl auszugleichen, und dabei wird nur die Versetzungssignalkomponente in dem Versetzungssignalformabschnitt (displacement signal shaping section) 46 extrahiert. Wie bei dem obigen Ausführungsbeispielen, wird die Schwebeposition des Rotors in Axialrichtung durch dieses Signal gesteuert. In gleicher Weise wird das Impulssignal entsprechend der Drehzahl extrahiert in dem Wechselstromkomponentenextraktor 45 durch den Rotationssensorsignalprozessor (rotation sensor signal processor) 26, die Drehzahlsteuereinheit (rotating speed control unit) 27 und den Inverter 28 geleitet, und verwendet zur Steuerung der Drehzahl des Motors.
  • 8 ist ein Diagramm, welches eine Abwandlung des Magnetlagermechanismus gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt, und 9 ist eine vergrößerte Ansicht des Hauptteils des Magnetlagermechanismus gemäß 8. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel, wie beim zweiten Ausführungsbeispiel, ist eine Ebene 33 zum Detektieren der Axialversetzung in der Schubscheibe 42 vorgesehen. Ferner ist eine Nut (ein konkaves Element) 35 zum Detektieren der Drehzahl in dem Umfangsteil der Schubscheibe vorgesehen. Wegen der Verwendung dieser Konstruktion sind die Axialversetzungssensoren 38, 39 auf der Außenseite des Wickelabschnitts des Axialelektromagneten 15 angeordnet. Die Konstruktion der Steuereinheit, die die Ausgangsgröße der Versetzungssensoren 38, 39 empfängt, ist ebenfalls die gleiche wie diejenige in 7. In dem in der Zeichnung gezeigten Ausführungsbeispiel ist ein konkaves Element vorgesehen. Alternativ kann ein konvexes Element vorgesehen sein, und zwar anstelle des konkaven Elements. Wie bei den obigen Ausführungsbeispielen, gestattet die Ausgangsgröße der Versetzungssensoren 38, 39 die Axialversetzung des Rotors zu bestimmen, und zwar aus der Detektionsposition der Ebene 33 und gestattet ferner, dass ein Impulssignal entsprechend der Drehzahl aus dem konkaven Element 35 extrahiert wird.
  • In diesem Ausführungsbeispiel wo die Axialversetzungssensoren 38, 39 in dem festen Teil auf der Wellenendseite des Magnetlagermechanismus vorgesehen sind, und die Ebene 33 und das konkave Element 35 in der Schubscheibe 40 vorgesehen sind, geben die Versetzungssensoren 38, 39 Signale aus, und zwar erhalten durch die gleichzeitige Detektion der Schwebeposition (Versetzung) und der Drehzahl des Rotors, wobei diese dann in Signalverarbeitungsschaltungen verarbeitet werden, die innerhalb der Steuereinheit vorgesehen sind, wodurch ein Positionsversetzungssignal und ein Drehzahlsignal des Rotors extrahiert oder entnommen werden können. Die Verwendung dieser Signale bei der Steuerung der Magnetlagervorrichtung eliminiert die Notwendigkeit, die Positionsdetektionsscheibe vorzusehen. Dies kann die Axiallänge des Magnetlagermechanismus verkürzen, und zudem kann diese Bauänderung die Anzahl der Komponenten reduzieren, die zur Bildung des Magnetlagermechanismus erforderlich ist.
  • Die obigen Ausführungsbeispiele veranschaulichen Beispiele der vorliegenden Erfindung und für die Anzahl der Versetzungssensoren für die Axialpositionsdetektion, vorgesehen auf der gleichen Ebene, und die Anzahl der konkaven Elemente und konvexen Elemente, vorgesehen in der Detektionsebene, vorgesehen an der Wellenendseite des Rotors, sind verschiedene Kombinationen möglich, und es braucht nicht darauf hingewiesen werden, dass selbst dann, wenn die Anzahl derselben geändert wurde, der gleiche Effekt, wie beschrieben, erhalten werden kann.
  • Wie oben erläutert, kann dadurch, dass erfindungsgemäß ein Versetzungssensor zur Positionsdetektion an der festen Seite vorgesehen wird, dass eine auf diesen Sensor an der Drehseite hinweisende Detektionsebene vorgesehen wird, und dass konkave und/oder konvexe Elemente in dieser Ebene vorgesehen werden, kann eine gleichzeitige Messung von sowohl der Versetzung vom Versetzungssensor zu der Ebene, die auf den Sensor hinweist, und der Drehzahl des Rotors vorgenommen werden. Der Aufbau des Magnetlagermechanismus, insbesondere in dem Wellenende, kann dadurch vereinfacht werden. Dies reduziert die Anzahl der Komponenten und kann auch eine Größenreduktion vorsehen.
  • Die vorliegende Erfindung wurde unter besonderer Bezugnahme auf bevorzugte Ausführungsbeispiele beschrieben, es ist jedoch zu erkennen, dass verschiedene Abwandlungen und Modifikationen innerhalb des Rahmens der Erfindung ausgeführt werden können.
  • Gemäß ihrem breitesten Aspekt bezieht sich die Erfindung auf eine Drehmaschine der Magnetschwebebauart, und zwar zum Tragen eines Rotors in einem Schwebezustand durch Magnetkraft eines Elektromagneten oder eines Permanentmagneten, wobei die Drehmaschine mit magnetischer Lagerung oder mit Magnetschwebeeinrichtung Folgendes aufweist: einen Detektionsmechanismus zum Detektieren der Versetzung des Rotors und einer Drehzahl des Rotors aus einer Ausgangsgröße des 19010 Versetzungssensors.

Claims (6)

  1. Rotationsmaschine mit Magnetschwebesystem mit einem Rotor (R) getragen durch Magnetkraft eines Elektromagneten oder eines Permanentmagneten (15) in einem Schwebezustand, wobei die Magnetschweberotationsmaschine folgendes aufweist: eine Positionsdetektionsscheibe (30) vorgesehen in dem Rotor (R) und eine Ebene definierend und mit einer in der Scheibe (30) vorgesehenen Konkavität (35) und/oder einer Konvexität (34); Einen Axialversetzungs- oder Verschiebungssensor (32, 31; 41, 42; 38, 39) vorgesehen auf einer festen Seite zum Detektieren einer Versetzung der Scheibe einschließlich der Konkavität oder der Konvexität, wobei die Signalausgangsgröße des Axialversetzungssensors eine Komponente besitzt, die die in der Scheibe vorgesehene Konkavität oder die Konvexität repräsentiert, und gekennzeichnet durch einen Detektionsmechanismus zum Detektieren der Axialversetzung des Rotors (R) und zum Detektieren einer Drehzahl des Rotors (R) aus der Ausgangsgröße des Axialversetzungssensors, wobei der Detektionsmechanismus geeignet ist die Versetzung des Rotors zu detektieren und zwar durch Extrahieren aus der Ausgangsgröße des Axialversetzungssensors (32, 31; 41, 42; 38, 39) die Versetzung der Scheibe (30) wobei die Komponente, welche die Konkavität (35) oder die Konvexität (34) repräsentiert daraus entfernt ist.
  2. Rotationsmaschine nach Anspruch 1, wobei der Detektionsmechanismus geeignet ist die Drehzahl des Rotors zu detektieren und zwar durch Extrahieren einer Impulsausgangsgröße entsprechend der Konkavität 35 oder der Konvexität 34 aus der Ausgangsgröße des Axialversetzungssensors.
  3. Rotationsmaschine nach Anspruch 1, wobei mindestens ein Paar der Axialversetzungssensoren (32, 31; 42, 41; 38, 39) mit einem beliebigen Winkel angeordnet ist, und zwar definiert durch das Paar von Axialversetzungssensoren und den Drehmittelpunkt des Rotors (R), der den Scheitel des erwähnten Winkels bildet; die Detektionsscheibe 30 derart angeordnet ist, dass sie zu den Versetzungssensoren hinweist; die Konkavität und/oder die Konvexität derart angeordnet sind, dass sie den Positionen der Axialversetzungssensoren entsprechen und zwar an dem gleichen Winkel wie der beliebige Winkel, an dem die Axialversetzungssensoren angeordnet sind und zwar bezüglich der Drehmitte der Scheibe; und wobei der Detektionsmechanismus Mittel aufweist um die Positionsversetzung und die Drehzahl der Detektionsebene aus den Ausgangsgrößen des mindestens einen Paares der Axialversetzungssensoren zu berechnen und mit Mitteln zur Ausgabe der Positionsversetzung und der Drehzahl um die Versetzung des Rotors und die Drehzahl des Rotors zu detektieren.
  4. Rotationsmaschine nach Anspruch 1, wobei die Detektionsscheibe in einer Schubscheibe ausgebildet aus Magnetmaterial angeordnet ist, die ein durch einen Elektromagneten zu steuerndes Objekt werden soll und zwar für eine axiale Schwebepositionssteuerung vorgesehen im Rotor.
  5. Rotationsmaschine nach Anspruch 4, wobei die Versetzungssensoren jeweils innerhalb des axialen Elektromagneten angeordnet sind.
  6. Rotationsmaschine nach Anspruch 4, wobei die Axialversetzungssensoren jeweils außerhalb des axialen Elektromagneten angeordnet sind.
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