DE60100739T2 - Anwendung von rekristallisierbarem glas als anorganisches bindemittel für die elektrodenpaste einer plasmaanzeige - Google Patents

Anwendung von rekristallisierbarem glas als anorganisches bindemittel für die elektrodenpaste einer plasmaanzeige Download PDF

Info

Publication number
DE60100739T2
DE60100739T2 DE60100739T DE60100739T DE60100739T2 DE 60100739 T2 DE60100739 T2 DE 60100739T2 DE 60100739 T DE60100739 T DE 60100739T DE 60100739 T DE60100739 T DE 60100739T DE 60100739 T2 DE60100739 T2 DE 60100739T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrodes
glass
baking
application
mineral binder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE60100739T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60100739D1 (de
Inventor
Guy Baret
Armand Bettinelli
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thomson Plasma SAS
Original Assignee
Thomson Plasma SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson Plasma SAS filed Critical Thomson Plasma SAS
Application granted granted Critical
Publication of DE60100739D1 publication Critical patent/DE60100739D1/de
Publication of DE60100739T2 publication Critical patent/DE60100739T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/10AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F7/00Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
    • B22F7/02Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite layers
    • B22F7/04Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite layers with one or more layers not made from powder, e.g. made from solid metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C32/00Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ
    • C22C32/001Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ with only oxides
    • C22C32/0015Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ with only oxides with only single oxides as main non-metallic constituents
    • C22C32/0021Matrix based on noble metals, Cu or alloys thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C32/00Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ
    • C22C32/001Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ with only oxides
    • C22C32/0015Non-ferrous alloys containing at least 5% by weight but less than 50% by weight of oxides, carbides, borides, nitrides, silicides or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides, whether added as such or formed in situ with only oxides with only single oxides as main non-metallic constituents
    • C22C32/0036Matrix based on Al, Mg, Be or alloys thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20Constructional details
    • H01J11/22Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20Constructional details
    • H01J11/34Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/10Metallic powder containing lubricating or binding agents; Metallic powder containing organic material
    • B22F1/105Metallic powder containing lubricating or binding agents; Metallic powder containing organic material containing inorganic lubricating or binding agents, e.g. metal salts
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/10Metallic powder containing lubricating or binding agents; Metallic powder containing organic material
    • B22F1/107Metallic powder containing lubricating or binding agents; Metallic powder containing organic material containing organic material comprising solvents, e.g. for slip casting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2211/00Plasma display panels with alternate current induction of the discharge, e.g. AC-PDPs
    • H01J2211/20Constructional details
    • H01J2211/22Electrodes
    • H01J2211/225Material of electrodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Plasmaschirms. Die Erfindung betrifft insbesondere die Herstellung von Elektroden auf Substraten aus Glas, insbesondere vom sogenannten Natronkalk-Typ, wie diejenigen, die für Plasmaschirme benutzt werden.
  • Wie aus dem Stand der Technik bekannt sind Plasmaschirme, allgemein mit PPs (plasma panels) bezeichnet, Flachbildschirme, die auf dem Prinzip der elektrischen Entladung in einem Gas zusammen mit einer Lichtemission arbeiten. Im allgemeinen bestehen die PPs aus zwei Isolierplatten aus Glas, konventionell vom Natronkalk-Typ, wobei jede wenigstens eine Anordnung von leitenden Elektroden trägt und ein Gaszwischenraum zwischen ihnen gebildet wird. Die Platten sind derart miteinander verbunden, dass die Elektrodenreihen orthogonal zueinander liegen. Jeder Elektrodenschnittpunkt definiert eine mit dem Entladungsgas gefüllte elementare Lichtzelle.
  • Die Elektroden eines Plasmaschirms müssen eine bestimmte Anzahl von Eigenschaften aufweisen, insbesondere, wenn sie auf der vorderen Platte benutzt werden. Sie müssen daher einen kleinen Querschnitt aufweisen, nämlich in der Größenordnung von wenigen Hundert μm2, um die Betrachtung nicht zu beeinträchtigen. Sie müssen aus einem Material bestehen, das ein guter Leiter ist und Elektroden mit einem Widerstand von weniger als 100 Ohm bildet. Außerdem muß das benutzte Material eine Massenproduktion mit niedrigen Kosten ermöglichen.
  • Es werden derzeit zwei Lösungen für die Erzeugung der Elektroden eines Plasmaschirms benutzt.
  • Die erste Lösung besteht in der Aufbringung eines dünnen Metallfilms, der durch Kathodenzerstäubung oder Vakuumverdampfung ausgeführt werden kann. In diesem Fall besteht das benutzte Material aus Aluminium oder Kupfer. Es kann auch aus einer Kupferschicht oder Aluminiumschicht bestehen, die zwischen zwei Chromschichten liegt. Die Metallablage wird örtlich geätzt, um die Elektroden zu bilden. Die Kosten dieser Lösung sind wegen der Vakuumverdampfung und der Verarbeitung der Ätzlösungen relativ hoch.
  • Die zweite Lösung besteht in der Ablage einer auf Silber basierenden Paste, Tinte oder Druckfarbe. Eine derartige Paste enthält ein Silberpulver oder eine Mischung aus Silberpulver mit wenigstens 70% Silber. Sie enthält außerdem ein mineralisches Bindemittel. Sie enthält außerdem organische Verbindungen, insbesondere Kunststoffe, Lösungsmittel und gegebenenfalls Additive. Die Aufbringung erfolgt entweder örtlich durch direkten Siebdruck oder über die gesamte Fläche, wenn eine lichtempfindliche Paste benutzt wird. Die auf die Platte aufgebrachte Schicht wird dann durch eine Maske belichtet. Die Ausbildung der belichteten Paste erfolgt in einem alkalisch flüssigen Medium, und dann wird die Anordnung bei einer Temperatur im allgemeinen zwischen 500° und 600°C erwärmt. Diese Lösung ist besonders kostengünstig und wirtschaftlich, da sie keine Vorrichtung zur Vakuumaufbringung benötigt.
  • In dieser Lösung ist das mineralische Bindemittel, das mit dem Silberpulver benutzt wird, eine Glasmasse oder sogenannte Fritte, die geeignet ist, die Silberpartikel der Paste während der Erwärmung in einem flüssigen Medium zu sintern und die Haftung der Elektroden auf dem Glassubstrat zu bewirken. Die Dokumente SU 1 220 497, US 5 851 732 und US 5 972 564 beschreiben Zusammensetzungen eines mineralischen Bindemittels, die für diesen Zweck benutzt werden können, und insbesondere Zusammensetzungen, die eine Vergrößerung der Haftung auf dem Substrat ermöglichen.
  • Das Dokument 5 851 732 lehrt, dass die Erweichungstemperatur dieses mineralischen Bindemittels einen beträchtlichen Einfluß auf die Temperatur hat, bei der die Erwärmung, Verbackung oder Aushärtung durchgeführt werden sollten. Das Dokument zeigt Zusammensetzungen, deren Erweichungstemperatur wesentlich kleiner als 500°C ist.
  • Schließlich muß dieses mineralische Bindemittel in der Lage sein, der Erwärmung der auf dem mit den Elektroden versehenen Glassubstrat aufgebrachten dielektri schen Schicht zu widerstehen. Diese Erwärmung oder Aushärtung erfolgt im allgemeinen bei einer Temperatur oberhalb der Erwärmungs- oder Verbackungstemperatur der Elektrodenpaste. Die Bedingungen, unter denen die dielektrische Schicht erwärmt oder verbacken wird, sind geeignet zur Erzielung von weichen und kompakten Flächen auf der Oberfläche der Zellen, wo elektrische Entladungen stattfinden. Die maximale Temperatur, die während des Erwärmens oder Verbackens der dielektrischen Schicht erreicht wird, übersteigt im allgemeinen 500°C. Dieses Verbacken kann gleichzeitig erfolgen mit dem der Elektrodenpaste, wie es in dem Dokument JP 11-329236 beschrieben ist.
  • Jedoch kann das Verbacken oder Brennen der dielektrischen Schicht, insbesondere bei einer Temperatur oberhalb von 500°C, die folgenden Nachteile bewirken:
    • – Bildung von Blasen und/oder eine sogenannte Migration (Wanderung) des Silbers in die dielektrische Schicht, das eine besonders unangenehme gelbliche Färbung oder Vergilbung bewirkt,
    • – Bruch der Elektrodenmuster und Verlust der Haftung auf dem Substrat.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung von Plasmaschirmen vorzuschlagen, das es ermöglicht, diese Nachteile in besonders wirtschaftlicher Weise zu vermeiden.
  • Somit betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Plasmaschirms mit folgenden Schritten:
    • – Aufbringung von Elektroden auf ein Substrat in einem bestimmten Muster, Anwendung einer Paste aus einem Metallpulver, einem mineralischen Bindemittel und organischen Verbindungen,
    • – Verbackung der aufgebrachten Elektroden unter Bedingungen, die zur Beseitigung der organischen Verbindungen und zur Sinterung des Metallpulvers geeignet sind,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Zusammensetzung des mineralischen Bindemittels und die Verbackungsbedingungen so angepaßt sind, dass nach dem Verbacken das mineralische Bindemittel sich in einem rekristallisierten Zustand befindet.
  • Aufgrund des rekristailisierten Zustands des mineralischen Bindemittels der Elektroden wird die Diffusion des Metalls, insbesondere von Silber, während der darauffolgenden Wärmebehandlungen, insbesondere bei dem Verbacken der dielektrischen Schicht bei einer Temperatur oberhalb der der aufgebrachten Elektroden, vermieden oder wenigstens nennenswert verringert, selbst wenn diese Temperatur größer als 500°C ist.
  • Vorzugsweise basiert das Substrat auf einem Natronkalkglas. In diesem Fall übersteigt die Temperatur bei der Verbackung der aufgebrachten Elektroden nicht 470° C, so dass jegliche Verformung dieses Substrats vermieden wird. Da das mineralische Bindemittel derart niedrige Verbackungstemperaturen ermöglicht, ist es dann vorzuziehen, ein rekrisallisierbares Glas zu wählen, das wenigstens ein Oxid enthält, das aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist: Bleioxid (PbO), Boroxid (B2O3), Silciumoxid (SiO2), Bismutoxid (Bi2O3), Aluminiumoxid (Al2O3), Zinkoxid (ZnO) und Vanadiumoxid (V2O5).
  • Gemäß einer Variante enthält das Verfahren die folgenden zusätzlichen Schritte:
    • – Aufbringung einer dielektrischen Schicht nach der Aufbringung der Elektroden,
    • – nachdem die aufgebrachten Elektroden verbacken worden sind, Verbackung der gesamten Anordnung bei einer Temperatur oberhalb der maximalen Temperatur, die während des Verbackens der aufgebrachten Elektroden erreicht wird.
  • Die Aufbringung der dielektrischen Schicht erfolgt entweder, nachdem die aufgebrachten Elektroden verbacken sind oder bevor die aufgebrachten Elektroden verbacken worden sind.
  • In dem ersten Fall werden die Schritte des Verfahrens nacheinander folgendermaßen durchgeführt: Aufbringung der Elektroden, Verbackung der aufgebrachten Elektroden, Aufbringung einer dielektrischen Schicht, Verbackung der gesamten Anordnung.
  • In dem zweiten Fall werden die Schritte des Verfahrens in der folgenden Reihenfolge durchgeführt: Aufbringung der Elektroden, Aufbringung einer dielektrischen Schicht, "Verbackung der Elektroden", dann "Verbackung der gesamten Anordnung". In diesem Fall erfolgt im allgemeinen zwischen den beiden Verbackungen eine Wärmebehandlung bei einer ersten Temperaturstufe, die für die Sinterung des Pulvers der Elektrodenpaste und für die Kristallisation des mineralischen Bindemittels geeignet ist, ohne die dielektrischen Schicht zu erweichen, und dann bei einer zweiten Temperaturstufe bei einer höheren Temperatur, die für die Verdichtung der dielektrischen Schicht geeignet ist.
  • Im allgemeinen übersteigt die Temperatur, die während des Verbackens der gesamten Anordnung erreicht wird, oder die Temperatur der zweiten Stufe 500°C.
  • Vorzugsweise enthält die Elektrodenpaste von 3 bis 25%, normalerweise 10%, des mineralischen Bindemittels. Vorzugsweise ist das mineralische Bindemittel ein rekristallisierbares Glas. Um die Rekristallisation zu begünstigen, insbesondere bei einer Temperatur von weniger als oder gleich 470°C, enthält dieses Glas vorzugsweise wenigstens eine Komponente, die aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist: Chrom, Chromoxid, Zirconium, Zirconiumoxid, Titan und Titanoxid. Für eine ausreichende Effektivität der Kristallisation beträgt der Gewichtsinhalt dieser Komponente in dem Glas vorzugsweise wenigstens 1%. Vorzugsweise ist das Metallpulver der Elektrodenpaste ein Metall, das aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist: Silber, Kupfer, Aluminium und deren Legierungen. Vorzugsweise hat dieses Pulver einen mittleren Durchmesser zwischen 0,4 und 4 cm, vorzugsweise zwischen 0,4 und 1 μm. Andererseits enthält diese Paste organische Verbindungen von bekanntem Typ, wie Materialien vom Lösungstyp, lichtempfindliche oder nicht-lichtempfindliche Kunststoffe, Additive.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung anhand der beigefügten Zeichnung:
  • 1a und 1b zeigen ein erstes Verfahren zur Erzeugung von Elektroden auf einem Glassubstrat gemäß der Erfindung,
  • 2a bis 2d zeigen ein zweites Verfahren zur Erzeugung von Elektroden auf einem Glassubstrat gemäß der Erfindung, und
  • 3 zeigt eine Kurve für ein Beispiel eines Verbackungszyklus, der in dem Beispiel mit dem Verfahren der 2 benutzt wird, der aber auch mit dem in 1 dargestellten Verfahren benutzt werden kann.
  • Das Verfahren beginnt mit einem konventionellen Natronkalk-Glassubstrat. Es ist bekannt, dass die Geometrie dieses Substrattyps sich unvermeidbar ändert, wenn es Behandlungen bei Temperaturen von mehr als oder gleich 580°C unterliegen muß. Andere Substrate können ebenfalls erwogen werden.
  • Zur Erzeugung von Metallelektroden auf diesem transparenten Glassubstrat wird eine Zusammensetzung einer Paste mit einem Pulver oder einem Metall oder einer leitenden Legierung, ein mineralisches Bindemittel, das gemäß der Erfindung aus einem rekristallisierbaren Glas oder organischen Verbindungen besteht, wie diejenigen, die normalerweise in Pasten dieses Typs benutzt werden, angewendet.
  • Vorzugsweise ist das Metallpulver oder das Pulver aus einem leitenden Material ein Silber- oder Kupferpulver oder ein Pulver mit wenigstens 70% Silber oder Kupfer. Jedoch können andere Typen eines Metallpulvers benutzt werden, abhängig von ihrer Fähigkeit zur Leitung des elektrischen Stroms und ihren Kosten, insbesondere Pulver auf der Grundlage von Aluminium oder einer Aluminiumlegierung.
  • Vorzugsweise enthält das rekristallisierbare Glas wenigstens ein Oxid, das aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist:
    Bleioxid (PbO), Boroxid (B2O3), Silciumoxid (SiO2), Bismutoxid (Bi2O3), Aluminiumoxid (Al2O3), Zinkoxid (ZnO) und Vanadiumoxid (V2O5).
  • Vorzugsweise ist die Zusammensetzung dieses Glas so gewählt, das es in der Lage ist, die Verbackung durchzuführen, insbesondere das Leitpulver zu sintern und dann das mineralische Bindemittel zu kristallisieren, bei einer Verbackungstemperatur von weniger als oder gleich 470°C. Somit wird vorzugsweise ein mineralisches Bindemit tel gewählt, dessen Erweichungstemperatur kleiner als 450°C ist. Da es im allgemeinen notwendig ist, auf 350°C zu erwärmen, um die organischen Verbindungen vollständig von der Elektrodenpaste zu beseitigen, wird vorzugsweise ein mineralisches Bindemittel gewählt, dessen Erweichungstemperatur 350°C übersteigt.
  • Damit dieses Glas unter den Verbackungsbedingungen leicht rekristallisierbar ist, d. h., dass eine beachtliche Kristallisation während des Verbackens gebildet werden kann, enthält das mineralische Bindemittel der Paste vorzugsweise wenigstens ein Element aus der folgenden Gruppe: Chrom, Zirconium oder Titan in Metall- oder Oxidform. Mit einer derartigen Zusammensetzung ist es somit besonders leicht, die Verbackungsbedingungen zu bestimmen, die es ermöglichen, dass das Bindemittel ausreichend erweicht und rekristallisiert. Die Erweichung dient konventionell zur Erleichterung der Sinterung der Silberpartikel und zur Erzielung der Verbindung und der Haftung auf dem Substrat. Die Rekristallisation ermöglicht es gemäß der Erfindung, ein Bindemittel zu bilden, in dem das Metall des Pulvers, insbesondere Silber, weit weniger leicht diffundiert als im Stand der Technik, um so die Probleme der Gelbfärbung oder Vergilbung in einer sehr wirtschaftlichen Weise zu begrenzen, wenn nicht sogar zu beseitigen.
  • Die Anwesenheit der oben genannten Komponenten begünstigt die Kristallisation, die beginnt, sobald das Glas auf seine Erweichungstemperatur erwärmt ist. Wenn man zum Beispiel ein Glas benutzt, dessen Erweichungstemperatur 380°C beträgt, wie ein Bleisilikat mit 15 Gewichtsprozenten Silziumdioxid (SiO2), dem 5% Chrom hinzugefügt ist, dann erfolgt eine schnelle Kristallisation bei 450°C. Folglich ist eine einfache Erwärmung bei 450°C für 15 Minuten ausreichend, einen nennenswerten Teil der glasartigen Phase in eine kristalline Phase zu überführen, und das Material wird in der Temperatur nahezu inaktiv (inert). Daher erfolgt während eines zweiten Verbackens bei einer höheren Temperatur, insbesondere der der dielektrischen Schicht, und selbst in der Anwesenheit eines geschmolzenen Glas, wie ein Blei-Borosilikat, das insbesondere für dielektrischen Schichten benutzt wird, keine Gelbfärbung. Das Muster der das kristallisierte Glas enthaltenden Elektroden ist stabil, und die aufgebrachten Elektroden bleiben auf dem Substrat haften.
  • Somit kann unter Anwendung eines Glas mit einer niedrigen Erweichungstemperatur, wie das oben beschriebene, die Elektrodenanordnung bei einer niedrigen Temperatur verbacken werden, während das Glas weiterhin rekristallisieren kann. Die Möglichkeit des Verbackens bei einer niedrigen Temperatur beseitigt in vorteilhafter Weise jede Gefahr einer Verformung des Natronkalk-Glassubstrats, da die Verbackung bei einer Temperatur von weniger als oder gleich 470°C erfolgt. Man erhält außerdem einen nennenswerten wirtschaftlichen Gewinn, da eine Verbackung bei 450°C weniger Energie benötigt als eine Verbackung bei 580–590°C. Außerdem kann der Ofen, der für den Verbackungsvorgang benötigt wird, eine gleichmäßige mittlere Temperatur aufweisen, nämlich ±5°C oder ±10°C, und ist daher wesentlich kostengünstiger.
  • Wie oben erwähnt, enthält die Zusammensetzung der metallischen Paste oder des Farbstoffs, der für die Erzeugung der Elektroden eines Plasmaschirms dient, konventionelle organische Verbindungen, insbesondere Kunststoffe, Lösungsmittel oder Additive. Diese organischen Verbindungen sind unterschiedlich, abhängig davon, ob eine lichtempfindliche oder photo-abbildende Paste oder Farbstoff oder eine Paste oder ein Farbstoff mit konventionellen Siebdrucktechnologien angewendet wird.
  • Somit wird für photo-abbildbare Farbstoffe ein lichtempfindlicher Kunststoff benutzt, der vom positiven oder vom negativen Typ sein kann. In diesem Fall kann die sensibilisierende Verbindung zum Beispiel aus einem Bichromat von Kalium, Natrium oder Ammonium oder eine Diazo-Verbindung oder jede andere Komponente sein, die den benutzten Kunststoff lichtempfindlich macht (sichtbares Licht oder UV). Die sensibilisierende Verbindung wird mit dem Kunststoff, der vom Typ Polyvinyl in Verhältnissen von 0,1 bis 1% sein kann, gemischt. Zu diesem lichtempfindlichen Kunststoff kann man Additive hinzufügen, die die Rhelologie oder Fließkunde verfestigen oder die Qualität der Paste verbessern. Diese Additive können vom Typ eines Weichmachers, einer thixotropischen Agens, eines grenzflächenaktiven Haftmittels sein. In diesem Fall ändern sie die Kunststofflösung. Wenn die Additive vom dispergierenden Typ sind, dienen sie zur Stabilisierung der Suspersion der mineralischen Pulver.
  • Somit enthält eine lichtempfindliche Paste oder Farbe einen lichtempfindlichen Kunststoff, so wie oben erwähnt, Additive wie die oben genannten, einem Füller aus einem metallischen Material oder einem Material mit mehr als 70% an metallischem Material, vorzugsweise Silber oder Kupfer, bestehend aus einem Pulver, dessen mittlerer Durchmesser zwischen 0,4 und 4 μm, vorzugsweise 0,4 und 1 μm, liegt, und einem mineralischen Bindemittel, das die Haftung an dem Substrat und die Sinterung der Metallpartikel bildet, und besteht aus einem rekristallisierbaren Mineralglas, wie oben erwähnt, das keine spontane Polymerisierung des Kunststoffs bewirkt. Das Beispiel beruht auf einem Kunststoff aus Polyvinyl. Die Erfindung ist jedoch auf verschiedene kommerzielle Zusammensetzungen anwendbar, die auf verschiedenen Kunststoffsystemen beruhen.
  • Für die in dem konventionellen Siebdruck benutzten Farbstoffe oder Pasten, wo die Paste einen oder mehrere zusätzliche organische Kunststoffe enthält, zum Beispiel aus einem Lösungsmittel oder Lösungsmitteln und einem organischen Bindemittel oder organischen Bindemitteln. Die schweren und wenig flüchtigen Lösungsmittel, die üblicherweise benutzt werden, werden ausgewählt aus der Gruppe von Terpineol, Butylcarbitol und Dodecanol. In diesen Lösungsmitteln wird der tatsächliche Kunststoff gelöst, zum Beispiel durch Ethylcellulose oder Methylmethacrylate. In bekannter Weise werden Additive hinzugefügt, einerseits um die Lösung des Kunststoffs zu ändern, wobei diese Additive vom Typ eines Weichmachers, einer thixotropischen Agens, eines Haftmittels, einer grenzflächenaktiven Agens und zur Stabilisierung der Suspension der mineralischen Pulver. In diesem Fall sind die Additive dispergierende Mittel. Die Paste enthält außerdem einen Mineralanteil aus einem metallischen Füllstoff, wie Silber, Kupfer oder Aluminium oder ein silberhaltiges Material, Kupfer oder Aluminium oder eine Aluminiumlegierung (z. B. Al-Cu) in der Form eines Pulvers, dessen mittlerer Durchmesser zwischen 0,4 und 4 μm vorzugsweise zwischen 0,4 und 1 μm, liegt, und einem mineralischen Bindemittel, wie ein rekristallisierbares Glas, wie es oben beschrieben wurde, dessen Rolle es ist, die Haftung an dem Substrat und die Sinterung der Metallpartikel zu gewährleisten.
  • Im folgenden wird anhand der 1a und 1b eine erste Ausführungsform einer Elektrodenanordnung auf einer Glasplatte beschrieben, insbesondere einem Natronkalk-Glas, um eine Matrix PP zu erzeugen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Platte 10 aus reinem Glas benutzt, im allgemeinen einem Glas vom Natronkalk-Typ. Es wird eine Paste aufbereitet, die folgendes enthält:
    • – 100 g eines Kunststoffs, das durch Lösung von 5 g Ethylcellulose in 95 g Terpineol gewonnen wird,
    • – 150 g eines Silberpulvers mit einem mittleren Durchmesser von 0,8 μm.
    • – 20 g eines rekristallisierbaren Mineralglas, gewonnen durch Hinzufügung von 5% Titan zu einem Zink- und Bismuth-Silikat.
    • – 0,5 g eines grenzflächenaktiven Stoffs oder eines sogenannten Surfaktanten, wie derjenige, der unter dem Warenzeichen "OROTAN" 850 E durch die Firma Brenntag Spécialités vertrieben wird.
  • Diese Paste wird in bekannter Weise durch Siebdruck auf einer Maske aufgebracht, die als sogenannter Schirm "325 mesh" bezeichnet wird. Sie zeigt zu bildende Anordnungsmuster, im allgemeinen haben die Elektroden 11 eine Breite von 150 μm und eine Dicke von 4 μm. Als nächstes werden sie für 10 Minuten bei 120°C getrocknet und dann für 20 Minuten bei 460°C verbacken, um so die Elektroden 11 mit einem mineralischen Bindemittel im rekristallisierten Zustand zu bilden.
  • Als nächstes wird eine dielektrische Schicht, wie in 1 b gezeigt, wie eine Schicht aus einem Borosilicat-Glas, aufgebracht. Diese Schicht 12 wird durch Siebdruck aufgebracht, dann bei 120°C getrocknet und dann für 30 Minuten bei 580°C verbacken oder ausgehärtet. Man kann das Verfahren zur Erzeugung der hinteren Platte eines Matrixplasmaschirms durch Aufbringung von sogenannten Barrieren oder Schranken in einer bekannten Weise abschließen.
  • Trotz dieser hohen Verarbeitungstemperaturen wird keine Gelbfärbung oder Vergilbung der dielektrischen Schicht mehr beobachtet, die aufgrund des rekristallisierten Zustand des mineralischen Bindemittels der Elektrodenanordnung transparent bleibt, in die das Silber wesentlich leichter diffundiert als im Stand der Technik.
  • Nunmehr wird anhand der 2a bis 2d ein Verfahren zur Herstellung einer Platte eines Plasmaschirms durch Anwendung einer lichtempfindlichen Paste beschrieben. In diesem Fall wird eine Platte 20 aus Glas, wie ein Natronkalk-Glas, benutzt, auf der durch Siebdruck über die gesamte Oberfläche der Platte eine Paste oder ein Farbstoff 21 ausgebreitet wird. Diese lichtempfindliche Paste enthält:
    • – 100 g eines lichtempfindlichen Kunststoffs, der zum Beispiel aus 10 g Polyvinylalkohol mit einem Grad 14/135, gelöst in 100 g Wasser, besteht,
    • – 2 g Natriumbichromat, das als lichtempfindlicher Kunststoff benutzt wird,
    • – 100 g eines Silberpulvers mit einem mittleren Durchmesser von 0,8 μm,
    • – 15 g eines rekristallisierbaren Mineralglas, das nicht mit dem lichtempfindlichen Kunststoff reagiert und zum Beispiel aus Vanadiumoxid und Silberoxid besteht (Erweichungstemperatur: 340°C), zu dem 5% Zinkoxid hinzugefügt sind,
    • – 1 g eines grenzflächenaktiven Stoffs oder sogenannten Surfaktanten, wie derjenige, der unter dem Warenzeichen "OROTAN" 850 E durch die Firma Brenntag Spécialités vertrieben wird.
  • Wie 2a zeigt, wird diese Paste durch Siebdruck über eine Maske aufgebracht, die aus einem sogenannten Schirm "325 mesh" gebildet ist, um so eine Schicht 21 zu bilden, die die gesamte Oberfläche der Platte 20 bedeckt. Diese Schicht 21 wird für 5 Minuten bei 80°C getrocknet.
  • Wie 2b zeigt, wird die Schicht 21 über eine Maske 22 einer UV-Strahlung ausgesetzt. Wenn der Kunststoff negativ ist, ist das zu übertragende Muster das von offenen Flächen auf der Maske. In der dargestellten Ausführungsform haben die Elektroden 23 eine Breite von 70 μm und eine Dicke von 4 μm. Die belichtete Schicht wird in Wasser entwickelt, um so die Teile 24 zu beseitigen. Dann wird getrocknet, wodurch das endgültige Muster 23 erscheint.
  • Wie in 2d gezeigt, wird dann in bekannter Weise durch Siebdruck eine Paste aufgebracht, die eine Glasurmasse wie ein Bleiborosilikat enthält, wobei diese Paste die dielektrische Schicht 25 bildet.
  • Schließlich wird die gesamte Anordnung aus der Reihe von Elektroden 23 und der dielektrischen Schicht 25 in demselben Wärmezyklus verbacken oder ausgehärtet, wie es in 3 dargestellt ist. Der thermische Zyklus enthält in der dargestellten Ausführungsform einen ersten Schritt aus einer Erwärmung bei 10°C/Minute bis zu einer ersten Temperatur von 420°C, gefolgt von einer Temperaturstufe von 20 Minuten. Diese erste Temperatur kann zwischen 380°C und 470°C liegen, abhängig von den Eigenschaften des benutzten rekristallisierbaren Glas. Dieser erste Schritt des thermischen Zyklus dient dazu, außer zur Sinterung die Rekristallisierung des mineralischen Bindemittels der Elektrodenanordnung zu erreichen.
  • Auf diesen ersten Schritt folgt in der dargestellten Ausführungsform ein zweiter Schritt mit einer Erwärmung, die bis auf eine Temperatur von 580°C ansteigt, gefolgt von einer Stufe bei 580°C für 30 Minuten. Die zweite Temperatur liegt zwischen 530° C und 600°C, abhängig von den Eigenschaften der benutzten dielektrischen Schicht.
  • Trotz dieser hohen Verarbeitungstemperaturen wird keine Gelbfärbung oder Vergilbung der dielektrischen Schicht mehr beobachtet, die aufgrund des rekristallisierten Zustands des mineralischen Bindemittels der Elektrodenanordnung transparent bleibt, in die das Silber weit weniger leicht diffundiert als im Stand der Technik.
  • Diese Ausführungsform kann für die Herstellung der hinteren Platte der Matrix PP benutzt werden. Sie kann auch für die Herstellung der Erhalteelektroden der vorderen Platte einer koplanaren PP benutzt werden. In diesem Fall können die transparenten Adressenelektroden aus ITO (Indium- und Zinnoxid) oder aus einem Zinnoxid vorher auf der Platte erzeugt werden: Gemäß einer anderen Ausführungsform wurde die für die Erzeugung der Elektroden eines Plasmaschirms benötigte Paste oder der Farbstoff in der folgenden Weise gewonnen:
  • Vorverarbeitung einer Kunststofflösung: Lösung R1.
    Figure 00130001
  • Hinzufügung eines Additivs in R1, um ein thixotropisches Bindemittel zu gewinnen: Lösung B1.
    Figure 00130002
  • Zubereitung des Silberfarbstoff oder der Silbertinte durch Mischung der folgenden Komponenten:
    Figure 00130003
  • Es ist für den Fachmann auf diesem Gebiet offensichtlich, dass die oben angegebenen Beispiele anders sein können, insbesondere hinsichtlich der Zusammensetzung des rekristallisierbaren Glas, der Kunststoffe, der Lösungsmittel, usw..., ohne von dem Schutzumfang der Ansprüche abzuweichen.

Claims (11)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Plasmaschirms mit folgenden Schritten: – Aufbringung von Elektroden auf ein Substrat in einem bestimmten Muster, unter Anwendung einer Paste aus einem Metallpulver, einem mineralischen Bindemittel und organischen Verbindungen, – Verbackung der aufgebrachten Elektroden unter Bedingungen, die zur Beseitigung der organischen Verbindungen und zur Sinterung des Metallpulvers geeignet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Zusammensetzung des mineralischen Bindemittels und die Verbackungsbedingungen so angepaßt sind, dass nach dem Verbacken das mineralische Bindemittel sich in einem rekristallisierten Zustand befindet.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat auf einen Natronkalk-Glas basiert.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbackungstemperatur der Aufbringung der Elektroden 470°C nicht übersteigt.
  4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die folgenden zusätzlichen Schritte: – Aufbringung einer dielektrischen Schicht nach der Aufbringung der Elektroden, – nachdem die aufgebrachten Elektroden verbacken worden sind, Verbackung der gesamten Anordnung bei einer Temperatur oberhalb der maximalen Temperatur, die während des Verbackens der aufgebrachten Elektroden erreicht wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die maximale, während des Verbackens der gesamten Anordnung erreichte Temperatur größer als 500°C ist.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufbringung der dielektrischen Schicht nach dem Verbacken der Aufbringung der Elektroden erfolgt.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufbringung der dielektrischen Schicht vor dem Verbacken der Aufbringung der Elektroden erfolgt.
  8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mineralische Bindemittel durch ein rekristallisierendes Glas gebildet ist.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Glas wenigstens eine rekristallisierende Komponente enthält, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die Chrom, Chromoxid, Zirconium, Zircomiumoxid, Titan und Titanoxid enthält.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Gewichtsinhalt der rekristallisierenden Komponente in dem Glas größer als 1% ist.
  11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallpulver ein Metall ist, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die Silber, Kupfer, Aluminium und deren Legierungen enthält.
DE60100739T 2000-01-17 2001-01-02 Anwendung von rekristallisierbarem glas als anorganisches bindemittel für die elektrodenpaste einer plasmaanzeige Expired - Fee Related DE60100739T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0000510A FR2803945A1 (fr) 2000-01-17 2000-01-17 Pate pour realiser des electrodes et procede de fabrication d'une dalle de panneau a plasma
FR0000510 2000-01-17
PCT/FR2001/000004 WO2001054159A1 (fr) 2000-01-17 2001-01-02 Utilisation d'un verre recristallisable comme liant mineral d'une pate electrodes pour un panneau a plasma

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60100739D1 DE60100739D1 (de) 2003-10-16
DE60100739T2 true DE60100739T2 (de) 2004-07-08

Family

ID=8845957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60100739T Expired - Fee Related DE60100739T2 (de) 2000-01-17 2001-01-02 Anwendung von rekristallisierbarem glas als anorganisches bindemittel für die elektrodenpaste einer plasmaanzeige

Country Status (10)

Country Link
US (2) US20030108820A1 (de)
EP (1) EP1252643B1 (de)
JP (1) JP2003521092A (de)
KR (1) KR100771186B1 (de)
CN (1) CN1218354C (de)
AT (1) ATE249682T1 (de)
DE (1) DE60100739T2 (de)
FR (1) FR2803945A1 (de)
TW (1) TW480538B (de)
WO (1) WO2001054159A1 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002373592A (ja) * 2001-06-14 2002-12-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマディスプレイパネル用電極およびその製造方法
JP3918992B2 (ja) * 2002-01-30 2007-05-23 株式会社日立プラズマパテントライセンシング プラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法
JP2004146211A (ja) 2002-10-24 2004-05-20 Noritake Co Ltd 平板型表示装置およびその封着方法
US7431627B2 (en) * 2003-12-12 2008-10-07 Pioneer Corporation Method of manufacturing plasma display panel and method of manufacturing plasma display apparatus
US7553683B2 (en) * 2004-06-09 2009-06-30 Philips Lumiled Lighting Co., Llc Method of forming pre-fabricated wavelength converting elements for semiconductor light emitting devices
US7384577B2 (en) 2005-03-09 2008-06-10 E.I. Du Pont De Nemours And Company Black conductive thick film compositions, black electrodes, and methods of forming thereof
US20060235107A1 (en) * 2005-04-15 2006-10-19 3M Innovative Properties Company Method of reusing flexible mold and microstructure precursor composition
KR20090054975A (ko) * 2006-09-01 2009-06-01 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 경화성 페이스트 조성물로 디스플레이 구성요소를 제조하는방법
CN104407735B (zh) * 2014-11-11 2018-05-22 长沙市宇顺显示技术有限公司 触摸屏引线导电线路及其制作方法和触屏手机
CN115820043A (zh) * 2022-11-25 2023-03-21 浙江恒成硬质合金有限公司 一种硬质合金刀片烧结用涂料及其应用

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1220497A1 (ru) * 1983-07-29 1992-09-07 Предприятие П/Я В-8769 Токопровод ща паста
WO1992003030A1 (en) * 1990-07-31 1992-02-20 Nfe Co., Ltd. Method of forming electrodes
US5851732A (en) * 1997-03-06 1998-12-22 E. I. Du Pont De Nemours And Company Plasma display panel device fabrication utilizing black electrode between substrate and conductor electrode
JP3510761B2 (ja) * 1997-03-26 2004-03-29 太陽インキ製造株式会社 アルカリ現像型光硬化性導電性ペースト組成物及びそれを用いて電極形成したプラズマディスプレイパネル
JP3512616B2 (ja) * 1997-12-19 2004-03-31 京セラ株式会社 プラズマディスプレイパネル
JPH11329236A (ja) * 1998-05-06 1999-11-30 Toray Ind Inc プラズマディスプレイ用基板の製造方法
US6333116B1 (en) * 1998-05-27 2001-12-25 Corning Incorporated Crystallizing glass frit composition for forming glass rib structures
JPH11349347A (ja) * 1998-06-08 1999-12-21 Asahi Glass Co Ltd 結晶性低融点ガラス組成物
JP2000011898A (ja) * 1998-06-24 2000-01-14 Toppan Printing Co Ltd プラズマディスプレイパネル
KR100512243B1 (ko) * 2003-06-24 2005-09-02 엘지전자 주식회사 홈바 커버 구조

Also Published As

Publication number Publication date
TW480538B (en) 2002-03-21
EP1252643B1 (de) 2003-09-10
ATE249682T1 (de) 2003-09-15
KR20020080374A (ko) 2002-10-23
EP1252643A1 (de) 2002-10-30
FR2803945A1 (fr) 2001-07-20
WO2001054159A1 (fr) 2001-07-26
CN1218354C (zh) 2005-09-07
JP2003521092A (ja) 2003-07-08
KR100771186B1 (ko) 2007-10-30
CN1395739A (zh) 2003-02-05
US20060172650A1 (en) 2006-08-03
US20030108820A1 (en) 2003-06-12
DE60100739D1 (de) 2003-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112005000948B4 (de) Solarzelle vom Chalcopyrit-Typ mit einem Glimmer enthaltenden isolierenden Substrat
DE60016461T2 (de) Verfahren zur behandlung von glassubstraten und glassubstraten zur herstellung von anzeigeschirmen
DE60318517T2 (de) Bleifreies niedrigschmelzendes Glas
DE10133369B4 (de) Elektroden mit Konzentrationsprofil für Plasmaanzeigeplatte
DE69917186T2 (de) Zusammensetzung enthaltend anorganische Partikel, Übertragungsfilm enthaltend dieselbe und Herstellungsverfahren für Plasmabildschirme
DE3151206C2 (de) Glasiertes, keramisches Trägermaterial
DE2336581C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer transparenten Heizscheibe
EP0003612B1 (de) Verfahren zum Herstellen von gefärbten, insbesondere schwarz gefärbten Bildpunktumrandungen vorbestimmter Leitfähigkeit für vorzugsweise flache Farb-Bildschirme
DE10326274A1 (de) Pastenzusammensetzung und Solarzelle, welche diese verwendet
DE3810923A1 (de) Elektrochromes bauelement
EP2304815A1 (de) Metallhaltige zusammensetzung, verfahren zur herstellung von elektrischen kontaktstrukturen auf elektronischen bauteilen sowie elektronisches bauteil
DE102013000639A1 (de) Leitpaste für Feinlinien-Siebdruck mit hohem Streckungsverhältnis bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen
DE60100739T2 (de) Anwendung von rekristallisierbarem glas als anorganisches bindemittel für die elektrodenpaste einer plasmaanzeige
DE3139750C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Dickschicht-Schaltungen
DE10345248A1 (de) Dichtungsmaterial
DE69311451T2 (de) Plasma anzeigetafel
DE69731919T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Farbplasmaanzeigefeldes mit Barrieren
DE2610303C2 (de) Siebdruckpaste für dicke, elektrisch leitende, Leiterbahnen bildende Schichten auf einem keramischen Substrat
DE1489237A1 (de) Verfahren zur Metallisierung von Lumineszenzschirmen
DE69025908T2 (de) Leitfähige struktur bildende zusammensetzung und verfahren zur herstellung derselben
DE2010920C3 (de) Zusammensetzung zur Beschichtung eines Substrates mit einem anorganischen Material
DE1465087A1 (de) Herstellung von Widerstaenden
DE2063580C2 (de) Verfahren zum Aufbringen einer transparenten, elektrisch leitfähigen Indiumoxidschicht
EP0124943A1 (de) Dielektrisches Glas für Mehrschichtschaltungen und damit versehene Dickfilmschaltungen
DE2418462A1 (de) Verfahren zum herstellen eines glases

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee