DE60026609T2 - Mikroelektrode als träger für zellen mit anregbarer membran - Google Patents

Mikroelektrode als träger für zellen mit anregbarer membran Download PDF

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Glykämie-Detektor und näherhin eine Elektrode sehr kleiner Abmessungen, welche die elektrische Aktivität einer Zelle oder eines Zellhaufens mit anregbarer Membran, beispielsweise Neuronen, autonome Zellen des Herzens oder Langerhans-Inseln, zu detektieren vermag.
  • Derartige Elektroden sind in der Technik bekannt und wurden insbesondere in der amerikanischen Patentschrift 5 513 636 der israelischen Firma CB-Carmel Biotechnology Ltd. beschrieben.
  • Dieses Patent beschreibt eine Elektrode des in 1 dargestellten Typs, die eine Tragplatte bzw. -plakette 1 aus einem starren Isoliermaterial wie beispielsweise Silizium oder Glas aufweist. Auf dieser Plakette ist eine Elektrode angeordnet, die aus einer mit einer Drahtleitung 3 verbundenen Leiterschicht 2 besteht. Diese Leiterschicht besitzt beispielsweise eine Dicke von weniger als 0,1 μm. Die Plakette 1 als Ganzes ist mit einer Isolierschicht 4 überzogen, die mit einer Öffnung 5 in Ausrichtung mit der Leiterschicht 2 versehen ist. Auf der Öffnung 5 ist eine Zelle, beispielsweise eine Langerhans-Insel, so angeordnet, dass sie an der Leiterschicht 2 und an den Wandungen der Isolierschicht 4 anhaftet. Es ist angegeben, dass "die freiliegende Oberseite der Isolierschicht, auf welcher die Zellen wenigstens teilweise zum Wachsen gebracht werden müssen (ein Teil jeder Zelle wächst auf der Leiterplatte und ein Teil der Zelle wächst auf der Isolierschicht), behandelt werden muss, damit die Zellen auf dieser Schicht wachsen und fest und dichtschließend an ihr zu haften bestrebt sind" (Spalte 4, Zeilen 14 bis 18). Es ist auch angegeben, dass "die feste Haftung und Abdichtung zwischen der Zelle und der Isolierschicht verhindern, dass das von der Zelle kommende elektrische Signal durch einen Kurzschluss zwischen der Zelle oder der Leiterplatte und dem die Zelle umgebenden Medium gedämpft wird" (Spalte 4, Zeilen 22 bis 26).
  • Somit ist in diesem Patent vorgesehen, dass die Zelle oder Langerhans-Insel sich sehr nahe zu der entsprechenden Elektrode oder in Kontakt mit dieser befindet. Es ist auch vorgesehen, dass der zwischen der Zelle und der Elektrode befindliche Teil des umgebenden Strömungsmittels sich in einem Hohlraum bzw. einer Kammer befindet, die durch die Wandungen der Öffnung 5, die Leiterplatte 2 und die Zelle 7 abgeschlossen ist.
  • Außerdem sieht dieses Dokument vor, dass mehrere Gebilde wie das in 1 im Schnitt gezeigte parallel miteinander auf ein und derselben Plakette angeordnet werden können: Die Öffnungen 5 liegen nebeneinander und die Leitungen 3 sind untereinander parallel in einer zur Anordnungsrichtung der Zellen rechtwinkligen Richtung.
  • Die deutsche Patentanmeldung DE-A-197 12 309 hat eine Mikroelektrode für Zellen kleinen Durchmessers (10 μm) zum Gegenstand, in der ebenfalls ein Kontakt zwischen Zellen und Elektroden angestrebt wird. Die Merkmale des Oberbegriffs von Anspruch 1 sind in diesem Dokument offenbart.
  • Die Anmelderin hat festgestellt, dass in der Praxis die mit derartigen Elektroden detektierten elektrischen Signale nicht optimal sind, und sie hat versucht, das Detektionsvermögen ('Detektivität') der Elektroden zu erhöhen.
  • Im übrigen ist das in 1 veranschaulichte Gebilde zur Inkorporation in einer Kapsel bestimmt. Es hat in der Praxis den Anschein, dass bei dieser Einkapselung wenigstens ein Teil der Langerhans-Inseln sich von der Öffnung, über welcher sie liegen sollen, lösen oder sich untereinander anlagern.
  • Ein Ziel gemäß der vorliegenden Erfindung ist, den Nachteilen dieser bekannten Elektrode abzuhelfen und eine Elektrode mit höherer Detektivitätsschwelle zu schaffen.
  • Zur Erreichung dieser Ziele sieht die vorliegende Erfindung vor eine Mikroelektrode zur Aufnahme wenigstens einer in ein Strömungsmittel eingetauchten Zelle mit einer anregbaren Membran, welche eine isolierende Tragplatte bzw. -plakette und eine mit Öffnungen versehene isolierende Schicht aufweist, wobei jede Öffnung über einer Detektionselektrode mündet und von Mauern bzw. Wandungen aus einem isolierenden Material umgeben ist, die im wesentlichen senkrecht zu der Plakette sind, um die wenigstens eine Zelle in ihrer Stellung zu blockieren bzw. zu fixieren, wobei Abstandsmittel vorgesehen sind, um die genannte wenigstens eine Zelle in einem vorgegebenen Abstand von der entsprechenden Elektrode zu halten.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Abstandsmittel Mauern bzw. Wandungen aus einem isolierenden Material im wesentlichen senkrecht zu der Plakette sind.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Mauern bzw. Wandungen ausgehend von einer Mehrschicht-Struktur aus isolierendem Material gebildet sind.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Mehrschicht-Struktur mittels aufeinanderfolgender Stufen von Schleuder-Abscheidung und Glühvergütung eines Polyimids gebildet werden.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die genannte Öffnung durch eine isolierende Plakette geschlossen ist, auf welcher die Elektrode aufruht.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die genannte wenigstens eine Zelle mit anregbarer Membran eine Langerhans-Insel ist.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden mehrere Mikroelektroden übereinander gestapelt, wobei die Wandungen aus isolierendem Material als Zwischenabstandslagen zwischen zwei übereinander liegenden Elektroden dienen.
  • Diese sowie weitere Ziele, Gegenstände, Eigenschaften, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden in der folgenden nichteinschränkenden Beschreibung spezieller Ausführungsbeispiele im einzelnen auseinandergesetzt, unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungsfiguren; in diesen zeigen:
  • 1 in schematischer Teilschnittansicht eine Elektrode gemäß dem Stande der Technik,
  • 2 in schematischer Teilschnittansicht eine Elektrode gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
  • 3 in schematischer Draufsicht die Elektrode von 2,
  • 4 eine Teilschnittansicht zur Veranschaulichung einer anderen Ausführungsform, die nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist,
  • 5 eine Teilschnittansicht zur Veranschaulichung einer anderen Ausführungsform, die nicht Teil der vorliegenden Erfindung ist,
  • 6 eine Teilschnittansicht zur Veranschaulichung einer anderen Ausführungsform, die nicht Teil der vorliegenden Erfindung ist.
  • In den verschiedenen Zeichnungsfiguren sind die Dicken der verschiedenen Schichten und Träger nicht maßstabsgerecht und können in herkömmlicher Weise durch den Fachmann gewählt werden.
  • 2 ist eine Schnittansicht, welche in schematischer Teildarstellung eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wiedergibt. Es wird von einer isolierenden Tragplatte bzw. -plakette 11 ausgegangen, beispielsweise einem Film geringer Dicke (einige μm), auf welchem beispielsweise durch Aufdampfen eine dünne Schicht eines Leiters, üblicherweise eines Metalls, beispielsweise Gold, abgeschieden wird, die geeignet geätzt wird, um Leiterplatten zu definieren, welche Elektroden und Verbindungspfade bilden. Im rechten Teil der teilweise aufgebrochenen Draufsicht von 3 ist ein Beispiel von Leiterplatten 13 und von Verbindungspfaden 14 sichtbar. Sodann wird, beispielsweise durch Schleuder-Abscheidung, eine Isolierschicht 19 abgeschieden. Diese Technik gestattet die Abscheidung von Schichten mit Dicken von einigen μm bis einigen Zehntel μm, je nach der Drehgeschwindigkeit der Schleudervorrichtung. Man kann beispielsweise eine Schicht aus mit einem Lösungsmittel gemischtem Polyimid abscheiden und sodann vergüten. Die Isolierschicht 19 ist mit Öffnungen über den jeweiligen Stellen der Detektorelektroden versehen, entsprechend den Stellen der Positionierung von Langerhans-Inseln 17.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist jede Ablagerungsstelle von Zellen, beispielsweise Langerhans-Inseln, von seitlichen Blockiermitteln eingerahmt, beispielsweise vier vertikalen Mauern bzw. Wandungen 2124. Der Abstand zwischen diesen Wandungen wird so gewählt, dass er größer oder gleich dem Mittelwert des Durchmessers der betreffenden Zelle(n) ist, wobei dieser Mittelwert im allgemeinen in der Größenordnung von 100 μm für eine Langerhans-Insel liegt. Die Wandungen 2124 können durch Dickschicht-Abscheidung hergestellt werden oder vorzugsweise durch aufeinanderfolgende Abscheidungen eines Isoliermaterials und Ätzung. Sie haben beispielsweise eine Höhe, die geringfügig kleiner als der Durchmesser einer Langerhans-Insel ist. Die Ätzung kann beispielsweise mittels reaktiver Ionen-Ätzung (RIE) in Gegenwart von O2 oder von CHF3 erfolgen oder mittels Excimer-Laser, was die im wesentlichen vertikale Ätzung der Schichten mit Dicken in der Größenordnung von 100 μm gestattet. Wie aus 3 ersichtlich, sind die Wandungen ,durchbrochen', d. h. sie bilden keine kontinuierliche Kontur. Im dargestellten Beispiel sind sie an den Ecken des von ihnen gebildeten Rechtecks nicht miteinander verbunden. Dies soll gewährleisten, dass Nährstoffe (das Milieu oder Medium, in welchem die Vorrichtung angebracht wird) alle Zellen der Langerhans-Inseln erreichen können.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind Abstandsmittel vorgesehen, um zu gewährleisten, dass der untere Teil jeder Langerhans-Insel sich in einer im wesentlichen konstanten Höhe relativ bezüglich der entsprechenden Detektionselektrode befindet. Tatsächlich wurde gemäß diesem Aspekt der vorliegenden Erfindung festgestellt, dass sich die durch eine Elektrode detektierte Spannung bedeutend erhöhen lässt, wenn der Abstand zwischen dem unteren Teil einer Langerhans-Insel und der entsprechenden Detektionselektrode einen bestimmten Betrag besitzt, der klein, aber nicht Null ist. Man kann einen Abstand in der Größenordnung der Hälfte des Durchmessers der Langerhans-Insel wählen, beispielsweise im Bereich zwischen dem 0,2- und dem 0,7-fachen des Durchmessers der Langerhans-Insel, wenngleich andere Werte möglich sind. Für andere Zellen oder Zellgruppen kann man in gleicher Weise eine optimale Distanz wählen.
  • Im Falle der 2 und 3 werden diese Abstandsmittel durch kleine Mauern bzw. Wandungen 2629 gebildet, auf deren Spitzen bzw. Scheiteln die Langerhans-Insel sich abstützt.
  • Die Materialien für die Elemente der in den 2 und 3 veranschaulichten Elektrode werden so gewählt, dass sie eine einfache Herstellung gestatten und biokompatibel sind. Beispielsweise können die verschiedenen Isoliermaterialien Polyimide wie beispielsweise das Polyimid PI 2611 der Firma Dupont de Nemours sein, und die Leitermaterialien können Goldschichten sein.
  • Wie in 3 dargestellt, kann man auf einer Elektrodenplakette bzw. -platte mehrere Detektionsstätten vorsehen, die hintereinander entlang der Längsrichtung der Plakette angeordnet sind. Dies ergibt eine Gruppe bzw. ein Aggregat von Elektroden kleiner Abmessung, das besonders einfach in einer zur Einbringung in den Körper eines Patienten bestimmten Kapsel implantierbar ist. Zwar sind zur deutlicheren Wiedergabe die Zellen mit Abständen größer als ihr Durchmesser dargestellt, jedoch kann vorgesehen werden, dass die Wandungen so angeordnet werden, dass zwei benachbarte Zellen sehr nahe zueinander liegen, wobei die Wandungen eine Aneinanderhaftung zweier benachbarter Zellen vermeiden.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung kann man Trennwandungen vorsehen, die höher als der Durchmesser einer Zelle sind, und mehrere Mikroelektroden übereinander schichten, wobei die Trennwandungen als Zwischenabstandslagen zwischen zwei übereinander angeordneten Mikroelektroden dienen.
  • Die 4 bis 6 zeigen verschiedene Ausführungsvarianten einer Detektionselektrodenstätte.
  • In den Ausführungsformen der 4 und 5 wird die Gesamtheit der seitlichen Blockierwandungen und der Abstandswandungen durch ein und dieselbe Struktur gebildet.
  • In dem Fall von 4 sind die Wandteile 2124 durch Wandteile 3134 ersetzt (von denen in der Schnittansicht nur die Wandteile 31 und 33 sichtbar sind). Die Wandung 31 gewährleistet die Funktionen der seitlichen Blockierwandung 21 und der Abstandswandung 26. Ebenso erfüllt die Wandung 33 die Funktionen der seitlichen Blockierwandung 23 und der Abstandswandung 28. Zu diesem Zweck sind die Wandungen 31 und 33 verhältnismäßig groß und haben einwärts abgeschrägte Oberseiten.
  • 5 zeigt eine Struktur, die insgesamt von gleicher Art wie die von 4 ist, jedoch aus einer Abscheidung mehrerer Schichten hervorgeht, die aufeinanderfolgend geeignet geätzt werden zur Bildung der stufenförmigen Schrägflächen. So werden aufeinanderfolgend Schichten 41, 42, 43, 44 ... abgeschieden, beispielsweise ca. zehn aufeinanderfolgende Schichten, die jeweils jede eine Dicke in der Größenordnung von einigen μm bis einigen Zehntel μm besitzen, wobei jeweils jede Schicht aus einem ersten Material mit einer sehr dünnen Schicht aus einem zweiten Material besteht, das als Ätzstopper dient. Dann nimmt man aufeinanderfolgende Ätzungen gemäß konzentrischen, immer engeren Fenstern vor, um so die dargestellten stufenförmigen Strukturen zu erhalten. Umgekehrt könnte man auch nach jeder Abscheidung eine Ätzung vornehmen, wobei die aufeinanderfolgenden Schichten zur Bildung größerer Öffnungen als die vorhergehenden Öffnungen geätzt werden, und auf diesen zentriert.
  • 6 stellt eine andere Ausführungsform dar, welche sich von den vorhergehenden Ausführungsformen im wesentlichen durch die Tatsache unterscheidet, dass die die Detektionselektrode bildende Leiterschicht nicht am Boden einer einem Sackloch entsprechenden Öffnung angeordnet ist, sondern auf der relativ bezüglich der Langerhans-Insel gegenüberliegenden Seite einer durchgehenden Öffnung. Bei der Ausführungsform gemäß 6 wird von einem verhältnismäßig dicken, aber nachgiebig-biegsamen Träger 51 ausgegangen, dessen Unterseite mit einer Metallisierung 52 überzogen ist. Auf dieser Metallisierung wird eine isolierende Schutzschicht 53 abgeschieden. Die Schicht 53 wird örtlich stellenweise entfernt, um jeweils an jeder Detektionsstelle eine Detektorelektrodenzone 54 freizulegen. An jeder dieser Detektionsstellen wird die Tragplatte bzw. -plakette 51 durch ein Durchgangsloch 55 geöffnet, derart dass die Detektionselektrode 54 einen Ring am Umfang der Öffnung auf der Unterseite der Plakette 51 bildet. Bei dieser Ausführungsform stellt die Dicke der Plakette 51 das Abstandsmittel dar, welches den Abstand zwischen dem Unterteil der Langerhans-Insel 17 und der Detektionselektrode 54 festlegt. Auf der Oberseite wird eine dicke Schicht aus einem Isoliermaterial 56 abgeschieden, welche jeweils am Ort jeder Detektionsstelle Öffnungen aufweist, die größer als die Öffnungen 55 sind. Diese Schicht 56 und die entsprechenden Öffnungen entsprechen den zuvor beschriebenen seitlichen Blockiermitteln.
  • Bei der Ausführungsform von 6 erkennt man, dass infolge des Umstands, dass die Öffnung 55 eine Durchgangsöffnung ist, durch diese Öffnung Nährstoffe an die Unterseite der Langerhans-Insel gelangen können. Daher ist es nicht erforderlich, dass die Wandung 56, welche die Langerhans-Insel seitlich blockiert, mit Öffnungen versehen wird. Man kann beispielsweise eine kreisförmige Öffnung in einer dicken Schicht vorsehen.

Claims (7)

  1. Mikroelektrode zur Aufnahme wenigstens einer in ein Strömungsmittel eingetauchten Zelle mit einer anregbaren Membran, welche eine isolierende Tragplatte bzw. -plakette (11) und eine mit Öffnungen versehene isolierende Schicht (19) aufweist, wobei jede Öffnung über einer Detektionselektrode (13) mündet und von Mauern bzw. Wandungen (2124) aus einem isolierenden Material umgeben ist, die im wesentlichen senkrecht zu der Plakette sind, um die wenigstens eine Zelle in ihrer Stellung zu blockieren bzw. zu fixieren, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikroelektrode des weiteren Abstandsmittel (2629) aufweist, um die genannte wenigstens eine Zelle in einem vorgegebenen Abstand von der entsprechenden Elektrode zu halten, wobei dieser Abstand von dem genannten Strömungsmittel eingenommen wird.
  2. Mikroelektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsmittel Mauern bzw. Wandungen aus einem isolierenden Material im wesentlichen senkrecht zu der Plakette sind.
  3. Mikroelektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mauern bzw. Wandungen ausgehend von einer Mehrschicht-Struktur aus isolierendem Material gebildet sind.
  4. Mikroelektrode nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Mehrschichtstruktur mittels aufeinanderfolgender Stufen von Schleuder-Abscheidung und Glühvergütung eines Polyimids gebildet werden.
  5. Mikroelektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet dass die genannte Öffnung durch eine isolierende Plakette geschlossen ist, auf welcher die Elektrode aufruht.
  6. Mikroelektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte wenigstens eine Zelle mit anregbarer Membran eine Langerhans-Insel ist.
  7. Stapel von Mikroelektroden gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei welchem die Mauern bzw. Wandungen aus isolierendem Material zur Lageblockierung bzw.-fixierung der wenigstens einen Zelle als Zwischenabstandslage zwischen zwei übereinander liegenden Mikroelektroden dienen.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6218199B1 (ja) * 2016-10-06 2017-10-25 日本航空電子工業株式会社 電気化学測定装置及びトランスデューサ

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5513636A (en) * 1994-08-12 1996-05-07 Cb-Carmel Biotechnology Ltd. Implantable sensor chip
DE19712309A1 (de) * 1996-11-16 1998-05-20 Nmi Univ Tuebingen Mikroelementenanordnung, Verfahren zum Kontaktieren von in einer flüssigen Umgebung befindlichen Zellen und Verfahren zum Herstellen einer Mikroelementenanordnung
WO1998022819A1 (de) * 1996-11-16 1998-05-28 Nmi Naturwissenschaftliches Und Medizinisches Institut An Der Universität Tübingen In Reutlingen Stiftung Bürgerlichen Rechts Mikroelementenanordnung, verfahren zum kontaktieren von in einer flüssigen umgebung befindlichen zellen und verfahren zum herstellen einer mikroelementenanordnung
US20020144905A1 (en) * 1997-12-17 2002-10-10 Christian Schmidt Sample positioning and analysis system
AU780157B2 (en) * 1999-10-01 2005-03-03 Sophion Bioscience A/S A substrate and a method for determining and/or monitoring electrophysiological properties of ion channels
DE19948473A1 (de) * 1999-10-08 2001-04-12 Nmi Univ Tuebingen Verfahren und Vorrichtung zum Messen an in einer flüssigen Umgebung befindlichen Zellen

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EP1237474A1 (de) 2002-09-11

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