DE60003558T2 - Verfahren und vorrichtung zum herstellen einer vorform für optische fasern durch abscheidung mittels plasma - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum herstellen einer vorform für optische fasern durch abscheidung mittels plasma Download PDF

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Bereich der Erfindung
  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Steigern der Umhüllungsrate bei der Herstellung einer Vorform, während die Unversehrtheit der Glasqualität der Umhüllung erhalten bleibt.
  • Stand der Technik
  • Aufgrund des Marktdruckes, den Preis von optischen Fasern zu mindern, besteht ein fortgesetztes Bedürfnis, die Gesamtproduktivität des Herstellungsprozesses zu steigern. Einer der ersten Schritte in dem Prozess des Herstellens einer optischen Faser ist der Plasmavorgang. Dieser Vorgang beinhaltet das Herstellen von mehr als 90% des Vorformglases durch Schmelzen von Quarzsand auf eine erste Vorform als Umhüllung mittels einem heißen Plasmafeuerball.
  • Mit diesem Vorgang sind zwei wichtige Parameter verbunden. Der erste ist die Abscheidegeschwindigkeit (Gramm/Min.) des Glases und der zweite ist die Qualität des abgelagerten Glases. Für einen bestimmten Vorgang sind diese zwei Parameter einander entgegenwirkend. Insbesondere wird die Glasqualität gemindert, wenn die Abscheidegeschwindigkeit gesteigert wird.
  • Beide Parameter werden durch die verwendbare Leistung, die zum Erzeugen des Plasmafeuerballs verfügbar ist, beeinflusst. Je größer die Leistung, umso höher die Abscheidegeschwindigkeit und umso besser die Glasqualität. Der herkömmliche Plasmaaufbau hat jedoch begrenzte Leistungsfähigkeiten. Diese Begrenzung besteht nicht aufgrund der Ausgangsleistung des Generators, sondern aufgrund der Hitzebeständigkeit des Plasmabrenners. Wenn die Leistung in dem Plasmabrenner einen gegebenen Wert erreicht, kann der Plasmabrenner die erforderliche Temperatur nicht aushalten und seine Lebensdauer wird verkürzt. Es wird geschätzt, dass der Plasmabrenner nur ungefähr 2/3 der Ausgangsleistung des Generators verwendet.
  • In herkömmlichen Verfahren wird ein einzelner Plasmabrenner verwendet, wie beispielsweise offenbart in U.S. Patent No. 4,221,82. Dementsprechend wird die volle Leistung des Generators nicht realisiert, und die Abscheidegeschwindigkeit und die Qualität des Glases sind begrenzt.
  • EP-A-0 863 108 offenbart ein Verfahren zur Reinigung von natürlicher oder synthetischer Kieselsäure und Abscheidung der gereinigten Kieselsäure auf einer Glasfaservorform. Natürliche oder synthetische Kieselsäure wird auf eine Vorform abgeschieden, die vor einem Plasmabrenner in Drehung versetzt wird, welcher sich vor und zurück bewegt im wesentlichen parallel zu einer Längsrichtung der Vorform. Ein erster Speisungsgang speist das Plasma mit natürlicher oder synthetischer Kieselsäure, während ein zweiter Speisungsgang das Plasma mit einer mit einem Trägergas gemischten fluorierten oder chlorierten Verbindung, vorzugsweise einer fluorierten Verbindung, speist. In der natürlichen oder synthetischen Kieselsäure enthaltenes Natrium oder Lithium reagiert mit dem Fluor oder dem Chlor der fluorierten oder chlorierten Verbindung, wodurch es ermöglicht wird, die optische Qualität der Fasern, die aus einer Vorform, die mit natürlicher oder synthetischer Kieselsäure aufgebaut ist, gezogen werden, zu verbessern, und dieses bei reduzierten Kosten.
  • In M. Carratt et al. "MCVD-Plasma process for manufacturing single mode optical fibres for terrestrial applications", Electrical communication, 1994, S. 11–14, wird ein Verfahren offenbart, in dem eine erste Vorform hergestellt wird durch Abscheiden präparierter Kieselsäure innerhalb eines Glasrohrs. Nachfolgende konzentrische Schichten von Kieselsäure werden dann auf der äußeren Umhüllung der ersten Vorform abgeschieden unter Verwendung eines Plasmabrenners zum Schmelzen von Kieselsäurekristallen. Die Kieselsäure wird geschmolzen, dann auf die erste Vorform abgeschieden, die seitlich in Bezug auf den Plasmabrenner angeordnet ist, dann einer Dreh- und Längsbewegung unterworfen. Die Vorform kann dann gezogen werden.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Ein Ziel der Erfindung ist es, die ganze Kapazität des Generators zu verwenden, um so die Gesamtabscheidegeschwindigkeit zu verbessern, ohne die Qualität des Glases zu opfern. Insbesondere wird geschätzt, dass das Verfahren der vorliegenden Erfindung die Abscheidegeschwindigkeit um ungefähr 50% steigert bei einer gegebenen Glasqualität. Dieses Ziel wird erreicht durch Verwenden zweier oder mehrerer Plasmabrenner an Stelle von nur einem, welche durch den gleichen Leistungsgenerator angetrieben werden.
  • Dementsprechend betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Aufbringen von Quarzsand auf eine Vorform. Das Verfahren zum Umhüllen einer Vorform beinhaltet die Schritte Tragen der Vorform auf einer Drehmaschine; Bereitstellen eines ersten und eines zweiten Plasmabrenners mit Düsen, die auf die Vorform hin gelenkt sind; Versorgen des ersten und zweiten Plasmabrenners mit Leistung durch einen gemeinsamen Generator derart, dass die Plasmabrenner Plasmafackeln bilden, die auf eine Oberfläche der Vorform gerichtet sind; Einführen von Quarzsand bei einer Verbindung zwischen dem ersten Plasmabrenner und der Oberfläche der Vorform, um den Quarzsand auf der Oberfläche der Vorform zu schmelzen; und Bewegen der Vorform in Bezug auf die Plasmabrenner.
  • Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird der zweite Plasmabrenner stromaufwärts des ersten Plasmabrenners bereit gestellt, um die Oberfläche vorzuheizen vor dem Schmelzen des Quarzsands durch den ersten Plasmabrenner. Gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung ist der zweite Plasmabrenner stromabwärts des ersten Plasmabrenners angeordnet, um den Quarzsand aufzuheizen nach dem anfänglichen Schmelzen durch den ersten Plasmabrenner. Gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung wird der Quarzsand eingeführt zu Verbindungen zwischen der Oberfläche der Vorform und beiden Plasmabrennern, um Quarzsand gleichzeitig sowohl mit dem ersten als auch mit dem zweiten Plasmabrenner zu schmelzen.
  • Die Vorrichtung zum Durchführen dieses Vorgangs beinhaltet eine Drehmaschine zum drehbaren Tragen der Vorform; einen ersten und zweiten Plasmabrenner mit Düsen, die auf die Vorform hin gelenkt sind; einen Generator zum Versorgen der ersten und zweiten Plasmabrenner mit Leistung derart, dass die Plasmabrenner Plasmafackeln bilden, die auf eine Oberfläche der Vorform gerichtet sind; ein oder mehrere Zufuhrelemente zum Zuführen des Quarzsands bei einer Verbindung zwischen dem einen der Plasmabrenner und der Oberfläche der Vorform zum Schmelzen des Quarzsands auf der Oberfläche der Vorform; und eine Einrichtung zum Bewegen der Vorform in Bezug auf die Plasmabrenner.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGSFIGUREN
  • Die Vorteile, Art und verschiedene zusätzliche Merkmale der Erfindung werden klarer offenbar unter Berücksichtigung der beispielhaften Ausführungsformen der Erfindung, welche schematisch in den Zeichnungsfiguren dargestellt sind, in welchen:
  • 1 eine Seitenansicht einer beispielhaften Vorrichtung zum Durchführen des Schrittes des Umhüllens gemäß der Erfindung ist;
  • 2 eine perspektivische Ansicht ist, welche die zwei Plasmabrenner darstellt;
  • 3 eine perspektivische Ansicht ist, welche die Spulenanordnung der Plasmabrenner darstellt;
  • 4 eine perspektivische Ansicht ist, die eine Ausführungsform der Erfindung darstellt, in welcher der zweite Plasmabrenner stromaufwärts des ersten Plasmabrenners bereit gestellt wird, um die Oberfläche vorzuheizen vor dem Schmelzen des Quarzsands durch den ersten Plasmabrenner;
  • 5 eine perspektivische Ansicht ist, die eine Ausführungsform der Erfindung darstellt, in welcher der zweite Plasmabrenner stromabwärts des ersten Plasmabrenners lokalisiert ist, um den Quarzsand nachzuheizen nach dem anfänglichen Schmelzen durch den ersten Plasmabrenner; und
  • 6 eine perspektivische Ansicht ist, die eine dritte Ausführungsform der Erfindung darstellt, in welcher der Quarzsand eingeführt wird bei Verbindungen zwischen der Oberfläche der Vorform und beiden Plasmabrennern, um den Quarzsand gleichzeitig sowohl mit dem ersten als auch dem zweiten Plasmabrenner zu schmelzen.
  • GENAUE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Ein herkömmliches Verfahren zum Herstellen einer optischen Faser beinhaltet einen ersten Schritt, der MCVD (modified chemical vapor deposition = modifizierte Gasphasenabscheidung) zum Bilden einer ersten Vorform 14 umfasst, einen zweiten Schritt des Umhüllens mit Plasma, um eine umhüllte Vorform 15 zu bilden, und einen dritten Schritt des Ziehens der Vorform, um die optische Faser zu bilden.
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verbesserung des Schrittes des Umhüllens. Wie oben dargestellt, bezieht sich dieser Schritt des Verfahrens auf das Steigern des Durchmessers der Vorform und beinhaltet das Schmelzen von Quarzsand auf die Oberfläche der ersten Vorform 14, welche als Ziel dient. Die Erfindung wird genauer beschrieben unter Bezugnahme auf 1 bis 3. 1 ist die Seitenansicht einer beispielhaften Vorrichtung zum Durchführen des Schritts des Umhüllens gemäß der Erfindung, 2 ist eine perspektivische Ansicht, welche die zwei Plasmabrenner zeigt, und 3 ist eine perspektivische Ansicht, welche die Spulenanordnung der Plasmabrenner zeigt. Unter Bezugnahme auf 1 und 2 beinhaltet die Umhüllungsvorrichtung 10 eine Plasmakammer 12, in welcher eine erste Vorform 14 angeordnet ist. Die erste Vorform 14 wird in dem Futter einer herkömmlichen Drehmaschine 16 zur Glasverarbeitung getragen. Die Drehmaschine 16 ist in der Lage, die Vorform um ihre Längsachse zu drehen, die Vorform in Längsrichtung zu verschieben (d. h., hinein und heraus aus der Papierebene der 1) und die Entfernung zwischen den Brennern und der Vorform anzupassen.
  • Die Vorrichtung beinhaltet weiter zwei Plasmabrenner 18, 19, die innerhalb der Plasmakammer 12 angeordnet sind. Jeder der Plasmabrenner beinhaltet eine Röhre 20, umgeben von einer Induktionsspule 22, welche elektrisch mit einem Hochfrequenzgenerator 24 verbunden ist. Die Brenner sind entweder wasser- oder luftgekühlt. Die Plasmabrenner 18, 19 werden beweglich getragen, wie durch die Pfeile A und B in 2 dargestellt, so dass ihre Position entlang der Länge der Vorform 14 (Pfeile A) und radial von der Vorform (Pfeil B) angepasst werden kann. Insbesondere werden die Plasmabrenner beweglich durch Trennelemente 25 getragen, welche in Schlitzen gleiten, die in einem Grundelement 27 bereit gestellt sind.
  • Das Ende der Kieselsäureröhre hat eine Düse, durch welche ein herkömmliches Plasma erzeugendes Gas wie beispielsweise Luft, reiner Sauerstoff oder eine Mixtur derselben eingeführt wird. Die Spule 22, die jede der Röhren 20 umgibt, erzeugt ein hohes elektromagnetisches Feld in der Luft, die in den Brenner fließt. Sobald das Plasma mittels einer Zündungsvorrichtung gezündet ist, wird die Generatorleistung (im Bereich von beispielsweise 50 bis 200 kW) jedem der Plasmabrenner zugeführt, um einen Plasmafeuerball zu erzeugen, der in der Lage ist, 10.000° Celsius zu erreichen. Die Erfindung ist selbstverständlich nicht auf eine bestimmte Art Generator oder einen bestimmten Bereich von Leistung, die durch diesen erzeugt wird, begrenzt.
  • Ein Teilchen-Zufuhrelement 26, welches einen Röhreninjektor 28 aufweist, ist entlang der Seite wenigstens eines der Plasmabrenner 18 platziert, wobei der Röhreninjektor auf die Vorform hingelenkt ist. Der Injektor 28 liefert Quarzsand 30, der in der Teilchen-Zufuhreinrichtung 26 gelagert ist, an den Plasmabrenner, woraufhin die Quarzteilchen schnell erhitzt werden und auf die drehende und sich verschiebende Vorform 14 geschmolzen werden. Dieser Vorgang wird fortgesetzt, bis Glasschichten auf der Vorform 14 bis zu einem vorbestimmten Durchmesser gebildet sind, um die umhüllte Vorform 15 zu bilden. Der Durchmesser der Vorform wird durch eine Kamera 32 überwacht. Heiße Luft und Kieselsäuredämpfe werden aus der Plasmakammer 12 über eine Abzugshaube 34 entfernt.
  • 3 ist eine schematische Darstellung der Anordnung der Spulen 22, die von dem gemeinsamen Generator 24 angetrieben werden. Die Anordnung beinhaltet eine Hochspannungselektrode 36 und eine Masseelektrode 38, die entsprechend elektrisch mit den Hochspannungs- und Massepolen des Leistungsgenerators 24 verbunden sind. Die Elektroden haben Längsschlitze 40 zum Aufnehmen einer Schraube 42, um die Spulen 22 mit den Elektroden festzuklemmen. Die Schlitze 40 ermöglichen es, dass die Spulen 22 sich entlang den Elektroden 36, 38 bewegen lassen, um den Abstand zwischen den Spulen zu ändern. Das ist wichtig, damit die Plasmabrennern genau positioniert werden können abhängig von der Betriebsart, wie unten genauer beschrieben wird.
  • Das gesamte Verfahren einschließlich der Bewegung der Vorform 14 wird gesteuert durch eine industrielle speicherprogrammierte Steuerung (SPS) 46, welche außerhalb der Plasmakammer angeordnet ist.
  • Wie oben beschrieben wird die Effizienz des Verfahrens gekennzeichnet durch die Abscheidegeschwindigkeit des Quarzsands (d. h., die Menge von Sand, die auf die Vorform als Glas abgeschieden wird), die Glasqualität und die Teilchenausbeute (d. h., das Verhältnis der Menge von auf die Vorform abgeschiedener Teilchen zu der Menge von injizierten Teilchen in Prozent).
  • Die Anwesenheit von zwei Plasmabrennern 18, 19 verbessert die Effizienz des Verfahrens in den folgenden Punkten. Es gibt drei bevorzugte Techniken zum Umhüllen unter Verwendung der zwei Plasmabrenner.
  • Gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung ist einer der Plasmabrenner 18 stromaufwärts des anderen Plasmabrenners 19 angeordnet und hat die Funktion, die Vorform 14 vorzuheizen vor dem Abscheiden des Quarzsands durch den anderen, stromabwärts befindlichen Plasmabrenner 19. Ein Beispiel dieser Anordnung wird in 4 der Anmeldung dargestellt. Unter Bezugnahme auf 4 wird die Vorform in Längsrichtung nach rechts (siehe Pfeil) bewegt, wobei die beiden Plasmabrenner in Längsrichtung voneinander versetzt sind. Ein Röhreninjektor 28 injiziert den Quarzsand 30 in den stromabwärts befindlichen Plasmabrenner 19. Dem stromaufwärts befindlichen Plasmabrenner 18 wird kein Quarzsand zugeführt. Statt dessen heizt der stromaufwärts befindliche Plasmabrenner 18 die Vorform vor, um das von dem stromabwärts befindlichen Plasmabrenner 19 durchgeführte Umhüllen zu verbessern.
  • Es wurde herausgefunden, dass für eine gegebene Abscheidegeschwindigkeit die Qualität des abgeschiedenen Glases wesentlich besser ist, wenn die Vorform vorgeheizt wurde, als ohne Vorheizen. Im Gegenteil, Vorheizen der Vorform ermöglicht das Steigern der Abscheidegeschwindigkeit, ohne sich negativ auf die Qualität des Glases auszuwirken.
  • Gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung scheidet einer der Plasmabrenner den Quarzsand ab, und der andere Plasmabrenner heizt das Glas nach, wie in 5 dargestellt. Im Gegensatz zu der vorausgegangenen Ausführungsform aus 4 wird in dieser Ausführungsform der Quarzsand dem stromaufwärts befindlichen Plasmabrenner 18 zugeführt, aber nicht dem stromabwärts befindlichen Plasmabrenner 19. Demgemäss hat der stromabwärts befindliche Plasmabrenner 19 die Funktion, den Quarzsand auf der Oberfläche der Vorform nachzuheizen (d. h., die umhüllte Vorform 15 nachzuheizen) nach dem anfänglichen Schmelzen durch den stromaufwärts befindlichen Plasmabrenner 18.
  • Das Nachheizen des Glases verfeinert die Glasqualität und minimiert Blasenbildung. Wie bei der vorausgegangenen Technik wurde bestimmt, dass für eine gegebene Abscheidegeschwindigkeit die Qualität des abgeschiedenen Glases unter Verwendung der beiden Plasmabrenner verbessert wird im Gegensatz zum herkömmlichen Verfahren mit einem Plasmabrenner. Im Gegenteil, die Abscheidegeschwindigkeit kann gesteigert werden, ohne sich negativ auf die Glasqualität auszuwirken, im Vergleich zu der herkömmlichen Technik.
  • Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung werden die zwei Brenner 18, 19 verwendet, um die Quarzteilchen gleichzeitig abzuscheiden, um die umhüllte Vorform 15 zu bilden. Diese Technik wird in 6 dargestellt. Unter Bezugnahme auf 6 liefern die Röhreninjektoren 28 den Quarzsand zu jedem der Plasmabrenner 18, 19, so dass Quarzsand 30 gleichzeitig auf die Oberfläche der Vorform 14 an verschiedenen Orten in Längsrichtung geschmolzen wird. Dies ermöglicht, dass der Teilchenfluss für jeden Plasmabrenner verringert wird, um die Qualität des Glases zu verbessern, während die Abscheidegeschwindigkeit gehalten oder gesteigert wird im Vergleich zu einem Verfahren mit einem Brenner. Gemäß einer alternativen Ausführungsform ist es möglich, gleichzeitig zwei verschiedene Arten von Teilchen unter Verwendung von verschiedenen Plasmagasen und/oder verschiedenen Injektionsgasen abzuscheiden.
  • Wie aus dem vorausgegangenen ersehen werden kann, verbessert das Verfahren und die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung, in welcher zwei Plasmabrenner 18, 19 verwendet werden, im wesentlichen die Effizienz des Systems durch Maximieren der Leistung des gemeinsamen Generators 24. Wie oben beschrieben ist das begrenzende Element in dem herkömmlichen Verfahren mit einem Plasmabrenner der Plasmabrenner; der Generator wird mit einer relativ geringen Leistung betrieben, um die Arbeitstemperatur des Plasmabrenners zu reduzieren und somit die Lebensdauer des Plasmabrenners zu maximieren. Durch Bereitstellen von zwei Plasmabrennern, die durch einen gemeinsamen Generator angetrieben werden, wird die Effizienz des Verfahrens durch Maximieren der Leistung des Generators verbessert. Das heißt, der Generator kann mit einer höheren Sollleistung betrieben werden und die Plasmabrenner können innerhalb eines akzeptablen Temperaturbereichs arbeiten, wobei die Abscheidegeschwindigkeit des Verfahrens beträchtlich gesteigert wird und/oder die Qualität des Glases verbessert wird.
  • Nachdem die Erfindung unter besonderer Bezugnahme auf die bevorzugten Ausführungsformen beschrieben wurde, wird es dem Durchschnittsfachmann, den die Erfindung betrifft, nach Verständnis der Erfindung offenbar werden, dass verschiedene Modifikationen und Änderungen daran vorgenommen werden können, ohne den Schutzbereich der hier angefügten Ansprüche zu verlassen. Zum Beispiel können, anstatt der Verwendung von nur zwei Plasmabrennern, drei oder mehr Plasmabrenner verwendet werden.

Claims (12)

  1. Verfahren zum Umhüllen einer Vorform (40), das die folgenden Schritte umfaßt: Tragen der Vorform auf einer Drehmaschine (16); Bereitstellen eines ersten und eines zweiten Plasmabrenners (18, 19) mit Düsen, die auf die Vorform hin gelenkt sind; Versorgen des ersten und des zweiten Plasmabrenners mit Leistung durch einen gemeinsamen Generator (24) derart, daß die Plasmabrenner Plasmafackeln bilden, die auf eine äußere Oberfläche der Vorform gerichtet sind; Einführen von Quarzsand (30) bei einer Verbindung zwischen dem ersten Plasmabrenner und der äußeren Oberflächen der Vorform, um den Quarzsand auf der äußeren Oberfläche der Vorform zu schmelzen; und Bewegen der Vorform (14) in Bezug auf die Plasmabrenner (l8, 19).
  2. verfahren von Anspruch 1, wobei der zweite Plasmabrenner (18) stromaufwärts des ersten Plasmabrenners (19) bereit gestellt wird, um die äußere Oberfläche der Vorform (14) vorzuheizen vor dem Schmelzen des Quarzsands (30) durch den ersten Plasmabrenner.
  3. Verfahren von Anspruch 1, wobei der zweite Plasmabrenner (19) stromabwärts des ersten Plasmabrenners (18} lokalisiert ist, um die Oberfläche nachzuheizen nach dem anfänglichen Schmelzen des Quarzsands (30) durch den ersten Plasmabrenner.
  4. Verfahren von Anspruch 1, wobei der Schritt des Einführens ferner das Einführen von zusätzlichem Quarzsand bei eine Verbindung zwischen dem zweiten Plasmabrenrer und der äußeren Oberfläche der Vorform (14) einschließt, um Quarzsand (30) gleichzeitig sowohl mit dem ersten als auch mit dem zweiten Plasmabrenner (18, 19) zu schmelzen.
  5. Verfahren von einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der Schritt des Bewegens ein Rotieren der Vorform (14) auf der Drehmaschine (16) einschließt.
  6. Verfahren von Anspruch 5, wobei der Schritt des Bewegens auch das Verschieben der Vorform (14) in Bezug auf die ersten und zweiten Plasmabrenner (18, 19) in einer Richtung parallel zur Längsachse der Vorform einschließt.
  7. Vorrichtung zur Anwendung von Quarzsand auf eine Vorform (14), umfassend: eine Drehmaschine (14) zum rotierbaren Tragen der Vorform; ersten und zweiten Plasmabrenner (18, 19) mit Düsen, die auf die Vorform hin gelenkt sind; einen Generator (24) zum Versorgen der ersten und zweiten Plasmabrenner mit Leistung derart, daß die Plasmabrenner Plasmafackeln bilden, die auf eine äußere Oberfläche der Vorform gerichtet sind; ein Zufuhrelement (26) zum Zuführen des Quarzsands (30) bei einer Verbindung zwischen dem ersten Plasmabrenner und der äußeren Oberfläche der Vorform zum Schmelzen des Quarzsands auf der äußeren Oberfläche der Vorform; eine Einrichtung zum Bewegen der Vorform in Bezug auf die Plasmabrenner.
  8. Vorrichtung des Anspruch 7, wobei der zweite Plasmabrenner (18) stromaufwärts des ersten Plasmabrenners (19) bereitgestellt ist, um die äußere Oberfläche der Vorform vorzuheizen vor dem Schmelzen des Quarzsands auf der äußeren Oberfläche durch den ersten Plasmabrenner.
  9. Vorrichtung des Anspruch 7, wobei der zweite Plasmabrenner (19) stromabwärts des ersten Plasmabrenners (18) lokalisiert ist zum Nachheizen der Oberfläche nach dem Schmelzen des Quarzsands auf der äußeren Oberfläche durch den ersten Plasmabrenner.
  10. Vorrichtung des Anspruch 7, ferner mit einem weiteren Zufuhrelement zum Zuführen von zusätzlichem Quarzsand bei einer Verbindung zwischen dem zweiten Plasmabrenner und der äußeren Oberfläche der Vorform (14) zum gleichzeitigen Schmelzen von Quarzsand sowohl mit dem ersten als auch dem zweiten Plasmabrenner (18, 19).
  11. Vorrichtung einer der Ansprüche 7 bis 10, wobei die Bewegungseinrichtung eine Einrichtung zum Rotieren der Vorform (14) auf der Drehmaschine (16) einschließt.
  12. Vorrichtung einer der Ansprüche 7 bis 11, wobei jeder der ersten und zweiten Plasmabrenner (18, 19) eine Spule (22) einschließt, die mit dem Generator (24) elektrisch verbunden ist.
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