CN1195690C - 用等离子体沉积法生产光纤预型件的方法和装置 - Google Patents

用等离子体沉积法生产光纤预型件的方法和装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1195690C
CN1195690C CNB008086265A CN00808626A CN1195690C CN 1195690 C CN1195690 C CN 1195690C CN B008086265 A CNB008086265 A CN B008086265A CN 00808626 A CN00808626 A CN 00808626A CN 1195690 C CN1195690 C CN 1195690C
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
plasmatorch
preform
quartz sand
outside surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB008086265A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1354730A (zh
Inventor
雅克·古多
皮埃尔·里波什
帕特里克·安贝尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel CIT SA
Alcatel Lucent SAS
Alcatel Lucent NV
Original Assignee
Alcatel NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alcatel NV filed Critical Alcatel NV
Publication of CN1354730A publication Critical patent/CN1354730A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1195690C publication Critical patent/CN1195690C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/0128—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass
    • C03B37/01291—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from pulverulent glass by progressive melting, e.g. melting glass powder during delivery to and adhering the so-formed melt to a target or preform, e.g. the Plasma Oxidation Deposition [POD] process
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

一种方法和装置，用于既提高光纤预型件生产中的外部沉积速率，同时又保持沉积玻璃质量的一体性。采用两个等离子炬装置，不是只用一个，用同一发生器供能。该方法包括以下步骤：将预型件支承在车床上；配置第一和第二等离子炬装置，使其喷口斜对着该预型件；用共用发生器向上述第一和第二等离子炬装置供能，使该等离子炬装置产生射向预型件表面的等离子体火焰；在第一等离子炬或两个等离子炬分别与预型件表面之间的会合处引入石英砂，使得将石英砂熔化在预型件表面上；相对于等离子炬装置移动预型件。第二等离子炬装置可以配置在第一等离子炬装置的上游，使其可以预热该表面，然后再用第一等离子炬装置熔化石英砂，或者可以配置在其下游，使得在用第一等离子炬装置初步熔化石英砂之后再加热该石英砂。

Description

用等离子体沉积法生产 光纤预型件的方法和装置
发明领域
本发明涉及一种方法和相关装置，用于在预型件生产中既增加外部沉积速度，同时又保持沉积层的完善的玻璃质量。
背景技术
由于降低光纤价格的市场压力，所以一直不断地要求提高制造工艺的总体生产效率。制造光纤工艺中最重要步骤之一是等离子体加工。这种工艺涉及借助高温等离子体火球将石英砂熔化在初始预型件上，形成沉积层，制造90％以上的玻璃预型件。
有两个参数与此工艺相关。第一个是玻璃的沉积速度(g/min)，第二个是沉积玻璃的质量。对于特定工艺，这两个参数是彼此对立的。具体是，当沉积速度增加时玻璃质量变坏。
这两个参数受到用于发生等离子火球的可用功率的影响。功率越大，沉积速度越大，而且玻璃质量越好。然而常规等离子体装置只有有限的功率容量。这种限制不是由于发生器的输出，而是由于等离子炬的热阻。当等离子炬的功率达到一定值时，等离子炬不能维持要求的温度，寿命也缩短。据估计，等离子炬只用了发生器输出量的约2/3。
常规工艺只用一个单一的等离子炬，如美国专利No.4 221 825所公开的。因此不能利用发生器的整个容量，沉积速度和玻璃质量均受到限制。
发明内容
本发明的目的是利用发生器的全部能量，因此提高了总的沉积速度，同时又不牺牲玻璃质量。据估计，本发明工艺对于一定的玻璃质量沉积速度可提高约50％。采用两个或多个等离子炬装置来代替一个等离子炬装置可以达到此目的，这两个等离子炬装置由同一电源发生器供能。
因此本发明旨在一种将石英砂沉积在预型件上的工艺和装置。在预型件上进行外部沉积的工艺包括以下步骤：将预型件支承在车床上；配置具有喷管的第一和第二等离子炬装置，该喷管倾斜对着预型件；用共用发生器向第一和第二等离子炬装置供能，使等离子炬装置产生射向预型件表面的等离子体火焰；在第一等离子炬和预型件表面之间的会合处引入石英砂，使石英砂熔在预型件表面上；相对于等离子炬装置移动预型件。
按照本发明的第一方面，第二等离子炬装置配置在第一等离子炬的上游，使得在用第一等离子炬装置熔化石英砂之前预热表面。按照本发明的第二方面，第二等离子炬装置配置在第一等离子炬装置的下游，以便在第一等离子炬装置初步熔化石英砂之后再加热该石英砂。按照本发明的第三方面，在预型件表面分别与两个等离子炬之间的会合处引入石英砂，从而用第一和第二等离子炬装置二者同时熔化石英砂。
执行这种工艺的装置包括：用于支承预型件的车床；具有喷管的第一和第二等离子炬装置，该喷管斜对着预型件；发生器，用于向第一和第二等离子炬装置供能，使得等离子炬装置产生指向预型件表面的等离子体火焰；一个或多个输送器，用于向等离子炬装置中一个炬装置和预型件表面之间的会合处输送石英砂，以便将石英砂熔在预型件表面上；相对于等离子炬装置移动预型件的装置。
附图描述
研究示意示于附图的本发明的例示性实施例可以更充分地看出本发明的优点、特征和各种其它的特点，这些附图是；
图1是侧视图，示出用于执行本发明外部沉积操作的例示性装置；
图2是两个等离子炬装置的透视图；
图3是透视图，示出等离子炬装置的线圈配置；
图4是透视图，示出本发明的第一方面，其中第二等离子炬装置配置在第一等离子炬装置的上游，使其在第一等离子炬装置熔化石英砂之前预热表面；
图5是透视图，示出本发明的第二方面，其中第二等离子炬装置配置在第一等离子炬装置的下游，使其在第一等离子炬装置初步熔化石英砂之后进行石英砂的后加热；
图6是透视图，示出本发明的第三方面，其中在预型件表面分别与两个等离子炬之间两个会合处引入石英砂，从而用第一和第二两个等离子炬装置同时熔化石英砂。
发明详述
制造光纤的常规工艺包括第一、第二和第三步骤，第一步骤包括用改变的化学蒸气沉积法(MCVD)来形成初始预型件14，第二步骤涉及用等离子体沉积法来形成具有外部包覆层的预型件15，而第三步骤则是将预型件拉成光纤。
本发明旨在改进外部沉积步骤。如上所述，这一工艺步骤旨在增加预型件的直径，涉及将石英砂熔在起靶子作用的初始预型件14的表面上。下面参考图1至3详细说明本发明。图1是侧视图，示出执行本发明外部沉积操作的例示性装置。图2是透视图，示出两个等离子炬装置，而图3是透视图，示出等离子炬装置的线圈配置。
参考图1和2，外部沉积装置10包括其中配置初始预型件14的等离子体室。该初始预型件14被支承在常规玻璃加工车床16的卡盘之间。该车床16可使预型件绕其纵轴转动，并可纵向移动该预型件(即移入和移出图1的纸面)，还可调节炬装置和预型件之间的距离。
该沉积装置还包括位于等离子体室12内部中的两个等离子炬装置18、19。各个等离子炬装置包括感应线圈22包围的炬管20，该感应线圈电连接于高频发生器24。该等离子炬装置是水冷的或气冷的。如图所示，等离子炬装置18、19受支承，使其可沿图2中箭头方向移动。因而可沿预型件的长度方向(箭头A)和预型件的径向(箭头B)调节其位置。具体是，等离子炬装置可由绝缘部件25移动地支承，该绝缘部件可在底座部件27上形成的槽口中滑动。
石英管的端部具有喷口，常规等离子体发生气体例如空气、纯氧或其混合物可经该开口引入。围绕各管子20的线圈22在流过炬装置的空气流中形成很强的电磁场。一当用点燃装置点燃等离子体，发生器功率(例如在50至200KW的范围内)便输送到各个等离子炬装置，形成温度可达到10000℃的等离子火球。当然应当明白，本发明不限于特定型号的发生器或具体发生的功率范围。
具有管形喷射器28的颗粒物输送器26配置在等离子矩装置中的至少一个装置18的侧面，该喷射器斜对着等离子炬。该喷射器28将贮存在颗粒物输送器26中的石英砂输送到等离子炬，由此石英颗粒便迅速受到加热而熔化在转动的平移的预型件14上。此过程一直继续到在预型件上形成预定直径的玻璃层，由此形成具有外包层的预型件15。预型件的直径用照像机检测。热空气和石英烟气通过排气罩34从等离子室12中抽走。
图3是示意图，示出由共用发生器24供电的线圈22配置。该配置包括高压电极36和接地电极38，这些电极分别电连接于功率发生器24的高压端子和接地端子。这些电极上具有纵向槽口40，以便安装螺钉42而将线圈22固定于电极。该槽口40允许线圈22沿电级36、38移动，从而改变线圈之间的距离。重要的是能根据下面详细的操作模式使等离子矩装置正确地定位。
整个过程的控制包括预型件14运动的控制由大型可编程逻辑控制器(PLC)46实施，该控制器装在等离子体室的外边。
如上所述，方法效能的特点在于石英砂的沉积速度(即在预型件上沉积为玻璃的砂量)、玻璃质量以及颗粒物的产率(即预型件上沉积颗粒物的量与喷射颗粒物量之比，％)。
应用两个等离子炬装置在以下方面提高了工艺的效能。用两个等离子炬装置进行外部沉积有三个优选方法。
按照本发明的第一方面，等离子炬装置中的一个装置18配置在另一等离子炬装置19的上游，其作用是预热预型件14，然后再由该另一个下游的等离子炬19沉积石英砂。此种应用配置的例子示于图4。参照图4，使预型件沿纵向向右(见箭头方向)移动，而两个等离子炬沿纵向彼此分开。管形喷射器28向下游等离子炬装置19喷射石英砂30。不向上游等离子炬装置18输送石英砂。该上游等离子炬装置18代之以预热该预型件，从而改善下游等离子炬装置进行的外部沉积操作。
已经发现，沉积玻璃的质量在预热时比不预热时得到显著改善。预热预型件可提高沉积速度而不负面影响玻璃质量。
按照本发明的第二方面，一个等离子炬装置沉积石英砂，而另一个等离子炬装置后加热玻璃，如图5所示。与图4的实施例相反，在此实施例中，石英砂输送到上游等离子炬装置18，而不输送到下游等离子炬装置19。因此下游等离子炬装置19的作用是，在上游等离子炬装置18初步熔化石英砂之后再加热预型件表面上沉积的石英砂(即后加热已形成包覆层的预型件15)。
后加热玻璃可以提高玻璃质量，尽量减小气泡的形成。如同先前方法一样，已经确定，对于一定的沉积速度，沉积玻璃的质量用两个等离子炬装置时优于用常规单等离子炬装置的方法。与常规方法相比，可以增加沉积速度，但不负面影响玻璃质量。
按照本发明的另一方面，同时用两个等离子炬装置18、19来沉积石英颗粒物，形成具有外覆层的预型件。此方法示于图6。参考图6，管形喷射器28向各个等离子炬装置18、19输送石英砂，使得石英砂30可在不同的纵向部位同时熔化在预型件14的表面上。这样便允许对各个等离子炬装置降低颗粒物流量，从而改进玻璃质量，同时与单炬装置的方法相比又保持或增加了沉积速度。按照替代实施例，可以用不同的等离子体气体和/或不同的喷射气体同时沉积两种不同类型的颗粒物。
从上面可以看出，利用两个等离子炬装置18、19的本发明的方法和装置由于尽量增加共用发生器24的输出而显著改善了系统的效能。如上所述，在用单等离子炬装置的常规方法中的限制元件是等离子炬装置；发生器操作在相当低的功率，从而减小等离子炬装置的操作温度，由此尽量延长了等离子炬装置的寿命。由于配置两个由共用发生器供能的等离子炬装置，尽量加大发生器的输出，所以改进了方法的效率。即，发生器可以操作在较高的设计功率，等离子炬装置可以工作在满意的温度范围内，而同时又能显著增加方法的沉积速度和/或提高玻璃质量。
虽然已参考优选实施例说明本发明，但与本发明有关的技术人员在理解本发明之后可以明显看出，可以对其进行各种变型和改变而不超出如所附权利要求书确定的精神和范围。例如，应当理解到，可以采用三个或多等离子炬装置，而不是只用两个等离子炬装置。

Claims (12)

1.一种外包预型件(14)的方法，包括以下步骤：
将所述预型件(14)支承在车床(16)上；
配置第一和第二等离子炬装置(18，19)，使该装置的喷口斜对着上述预型件(14)；
用共用发生器(24)向上述第一和第二等离子炬装置(18，19)供能，使上述等离子炬装置(18，19)产生射向上述预型件(14)外表面的等离子体火焰；
在上述第一等离子炬装置(18)和上述预型件(14)的上述外表面之间的会合处引入石英砂，使得上述石英砂熔化在上述预型件(14)的上述外表面上；
相对于上述等离子炬装置(18，19)移动上述预型件(14)。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在上述第一等离子炬装置(18)的上游配置上述第二等离子炬装置(19)，使其预热上述预型件(14)的上述外表面，然后再由第一等离子炬装置(18)熔化石英砂。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在上述第一等离子炬装置(18)的下游配置上述第二等离子炬装置(19)，使其在用上述第一等离子炬装置(18)初步熔化石英砂之后再后加热上述表面。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，上述引入石英砂的步骤还包括：在上述第二等离子炬装置(19)和上述预型件(14)的上述外表面之间的会合处引入另外的石英砂，使得用上述第一和第二等离子炬装置(18，19)二者同时熔化石英砂。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，上述移动步骤包括使上述车床(16)上的上述预型件转动。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，上述移动步骤还包括相对于上述第一和第二等离子炬装置(18，19)平移上述预型件(14)，其平移方向平行于上述预型件(14)的纵轴。
7.一种将石英砂涂覆在预型件(14)上的装置，包括：
可转动地支承上述预型件(14)的车床(16)；
具有喷口的第一和第二等离子炬装置(18，19)，该喷口斜对着上述预型件(14)；
用于向第一和第二等离子炬装置(18，19)供能的发生器(24)，使得上述等离子炬装置(18，19)产生射向上述预型件(14)的外表面的等离子体火焰；
输送器(26)，用于将石英砂输送到上述第一等离子炬装置(18)和上述预型件(14)的上述外表面之间的会合处，使得将上述石英砂熔化在上述预型件(14)的上述外表面上；
相对于上述等离子炬装置(18，19)移动上述预型件(14)的装置。
8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，上述第二等离子炬装置(19)配置在上述第一等离子炬装置(18)的上游，使其预热上述预型件(14)的上述外表面，然后再用上述第一等离子炬装置(18)将上述石英砂熔化在上述外表面上。
9.如权利要求7所述的装置，其特征在于，上述第二等离子炬装置(19)配置在上述第一等离子炬装置(18)的下游，使其在用上述第一等离子炬装置(18)将上述石英砂熔化在上述外表面上之后再后加热上述表面。
10.如权利要求7所述的装置，其特征在于，还包括另一个输送器(26)，用于将另外的石英砂输送到上述第二等离于炬装置(19)和上述预型件(14)的上述外表面之间的会合处，使得可以用上述第一和第二等离子炬装置(18，19)二者同时熔化石英砂。
11.如权利要求7所述的装置，其特征在于，上述移动装置包括使上述车床(16)上的上述预型件(14)转动的装置。
12.如权利要求7所述的装置，其特征在于，上述第一和第二等离子炬装置(18，19)分别包括电连接于上述发生器(24)的线圈(22)。
CNB008086265A 1999-06-08 2000-06-05 用等离子体沉积法生产光纤预型件的方法和装置 Expired - Fee Related CN1195690C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/328,008 US6215092B1 (en) 1999-06-08 1999-06-08 Plasma overcladding process and apparatus having multiple plasma torches
US09/328,008 1999-06-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1354730A CN1354730A (zh) 2002-06-19
CN1195690C true CN1195690C (zh) 2005-04-06

Family

ID=23279105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB008086265A Expired - Fee Related CN1195690C (zh) 1999-06-08 2000-06-05 用等离子体沉积法生产光纤预型件的方法和装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6215092B1 (zh)
EP (1) EP1200364B1 (zh)
JP (1) JP3973422B2 (zh)
CN (1) CN1195690C (zh)
DE (1) DE60003558T2 (zh)
WO (1) WO2000075084A1 (zh)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2812288B1 (fr) * 2000-07-31 2003-01-31 Cit Alcatel Procede et dispositif de fabrication d'une preforme de fibre optique
US6793775B2 (en) 2001-03-13 2004-09-21 Mikhail I. Gouskov Multiple torch—multiple target method and apparatus for plasma outside chemical vapor deposition
WO2002098806A1 (en) * 2001-05-31 2002-12-12 Corning Incorporated Method of manufacturing an optical fiber from a perform and optical fiber made by the method
US20030027054A1 (en) * 2001-08-01 2003-02-06 Ball Laura J. Method for making photomask material by plasma induction
US20030027055A1 (en) * 2001-08-01 2003-02-06 Ball Laura J. Method and feedstock for making photomask material
JP5291277B2 (ja) * 2001-08-28 2013-09-18 アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー（シンガポール）プライベート・リミテッド 柱状集積回路および柱状集積回路の製造方法
US6769275B2 (en) * 2002-03-15 2004-08-03 Fibercore, Inc. Method for making optical fiber preform using simultaneous inside and outside deposition
US20040187525A1 (en) * 2003-03-31 2004-09-30 Coffey Calvin T. Method and apparatus for making soot
FR2860123B1 (fr) * 2003-09-19 2005-11-11 Cit Alcatel Torche a plasma thermique inductif
FR2871796B1 (fr) * 2004-06-21 2006-09-15 Alcatel Sa Procede et installation de fabrication d'un element fibre a filtre de lumiere selectif
DE102005015706B4 (de) * 2005-04-05 2008-07-03 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung einer Vorform für optische Fasern
EP1968907B1 (en) * 2005-12-29 2011-07-27 Silica Tech, LLC Plasma torch for making synthetic silica
CN100590084C (zh) * 2006-11-21 2010-02-17 久智光电子材料科技有限公司 一种石英棒的生产方法
US8230701B2 (en) * 2008-05-28 2012-07-31 Corning Incorporated Method for forming fused silica glass using multiple burners
GB2489493B (en) * 2011-03-31 2013-03-13 Norsk Titanium Components As Method and arrangement for building metallic objects by solid freeform fabrication
US10464838B2 (en) * 2015-01-13 2019-11-05 Asi/Silica Machinery, Llc Enhanced particle deposition system and method
CH711291A1 (de) * 2015-07-03 2017-01-13 Amt Ag Anordnung sowie Verfahren zum Beschichten von Werkstücken.
US20180265957A1 (en) * 2017-03-16 2018-09-20 Earl E. Hill Thermal Spray Coating Apparatus and Method of Use
US20190232429A1 (en) * 2018-02-01 2019-08-01 Velo3D, Inc. Three-dimensional printing

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR510816A (fr) 1920-02-27 1920-12-11 Ricardo Ribelles Chaise-longue faisant usage de fauteuil-balancoire et lit
FR863108A (fr) 1939-01-28 1941-03-24 Procédé pour réaliser, entre un liquide et au moins une substance solide ou liquide, des réactions continues
US3823995A (en) 1972-03-30 1974-07-16 Corning Glass Works Method of forming light focusing fiber waveguide
US4038062A (en) 1976-03-25 1977-07-26 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Method and apparatus for introducing geometrical perturbations in optical fiber waveguides
JPS52121341A (en) 1976-04-06 1977-10-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Production of optical fiber base materials and production apparatus fo r the same
US4198223A (en) 1977-05-17 1980-04-15 International Telephone And Telegraph Corporation Continuous fiber fabrication process
FR2432478B1 (zh) 1978-07-31 1982-03-12 Quartz & Silice
US4243298A (en) 1978-10-06 1981-01-06 International Telephone And Telegraph Corporation High-strength optical preforms and fibers with thin, high-compression outer layers
FR2446264A1 (fr) * 1979-01-10 1980-08-08 Quartz & Silice Procede de preparation d'une preforme pour guide d'onde optique
US4294601A (en) * 1979-07-13 1981-10-13 Times Fiber Communications, Inc. Apparatus and process for automatic control of the production of optical fiber
US4402720A (en) * 1980-01-22 1983-09-06 Nippon Telegraph & Telephone Public Corporation Process for preparing glass preform for optical fiber
NL8102149A (nl) * 1981-05-01 1982-12-01 Philips Nv Werkwijze en inrichting voor de inwendige bedekking van een buis door reactieve afscheiding uit een gasmengsel onder invloed van een plasma.
DE3474657D1 (en) 1984-01-31 1988-11-24 Nippon Telegraph & Telephone Method of fabricating optical fiber preforms
EP0418299A1 (en) * 1988-06-06 1991-03-27 Osprey Metals Limited Spray deposition
FR2657864B1 (fr) * 1990-02-02 1992-04-10 Alsthom Cge Alcatel Procede de fabrication de preformes pour fibres optiques de caracteristiques regulieres.
US5211732A (en) * 1990-09-20 1993-05-18 Corning Incorporated Method for forming a porous glass preform
GB9108891D0 (en) * 1991-04-25 1991-06-12 Tetronics Research & Dev Co Li Silica production
TW285746B (zh) 1994-10-26 1996-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd
FR2730505B1 (fr) * 1995-02-14 1997-04-04 Alcatel Fibres Optiques Procede de traitement de surface d'une preforme, procede de realisation d'une preforme comprenant un tel procede de traitement de surface, preforme realisee par la mise en oeuvre de tels procedes
US5707419A (en) 1995-08-15 1998-01-13 Pegasus Refractory Materials, Inc. Method of production of metal and ceramic powders by plasma atomization
JP3131162B2 (ja) * 1996-11-27 2001-01-31 信越化学工業株式会社 光ファイバプリフォームの製造方法
US5868815A (en) * 1997-02-20 1999-02-09 Lucent Technologies Inc. Method of making an optical fiber by blowing on a preform tube to enhance collapse
FR2760449B1 (fr) * 1997-03-06 1999-04-16 Alcatel Fibres Optiques Procede pour purifier de la silice naturelle ou synthetique et application au depot de silice naturelle ou synthetique purifiee sur une preforme de fibre optique

Also Published As

Publication number Publication date
EP1200364A1 (en) 2002-05-02
DE60003558D1 (de) 2003-07-31
JP3973422B2 (ja) 2007-09-12
DE60003558T2 (de) 2004-04-22
CN1354730A (zh) 2002-06-19
US6215092B1 (en) 2001-04-10
JP2003501336A (ja) 2003-01-14
EP1200364B1 (en) 2003-06-25
WO2000075084A1 (en) 2000-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1195690C (zh) 用等离子体沉积法生产光纤预型件的方法和装置
RU2217391C2 (ru) Способ образования трубчатого элемента для производства оптического волокна с использованием плазменного внешнего осаждения из паровой фазы
CN101039882B (zh) 用于生产石英玻璃管的方法
CN110606657B (zh) 一种大芯径稀土掺杂光纤预制棒及其制备方法
CN101293733B (zh) 用于制造光学预制品的设备和方法
JP2018503594A (ja) 改良された粒子蒸着システムと方法
US20070062222A1 (en) Method for charging particles in a material manufacturing process
KR100508707B1 (ko) 외부 기상증착에 의한 프리폼 제조방법 및 제조장치
EP1736448A1 (en) Manufacturing apparatus for porous glass preform and glass preform for optical fiber
EP1535884B1 (en) Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform
CN1824620A (zh) 用于通过外部汽相淀积过程制造光纤预制棒的装置
EP2158169A1 (en) Method and apparatus for continuous or batch optical fiber preform and optical fiber production
CN1138713C (zh) 光纤母材的制造方法及装置
JP4926165B2 (ja) 高周波誘導熱プラズマトーチを用いた光ファイバプリフォームの製造方法及び装置
EP0539198B1 (en) Process and apparatus for production of optical fiber preform
US7703305B2 (en) Overcladding an optical fiber preform using an air-argon plasma torch
JPH0557216B2 (zh)
KR101267298B1 (ko) 다공성 유리 침전을 사용하여 미세구조의 섬유 프리폼의 형성
KR100348970B1 (ko) 광섬유모재증착장치
KR940002639Y1 (ko) 석영유리제조용 버너
US20020073743A1 (en) Method and apparatus for making optical fiber preform
JPS59107935A (ja) 光フアイバ用ガラスの製造方法
NL8302641A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van vooraf gevormde optische vezellichamen.
WO2004094325A1 (en) A method and a manufacturing apparatus for manufacturing a fiber preform

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20050406