DE4422688A1 - Einrichtung zur Behandlung von Schüttgut im Vakuum - Google Patents
Einrichtung zur Behandlung von Schüttgut im VakuumInfo
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- C23C14/223—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating specially adapted for coating particles
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Behandlung von Schüttgut im Vakuum. Ein speziel
les Gebiet stellt die Schüttgutbeschichtung dar. Hierfür kommen vorzugsweise Bedampfungs
bzw. Sputterverfahren zum Einsatz.
Bekannte Einrichtungen zur allseitigen Behandlung von Schüttgut besitzen eine langsam dre
hende Trommel, die horizontal oder schwach geneigt gelagert ist und in der das Schüttgut
durch die Drehung der Trommel aus seiner stationären Lage in eine zirkulierende Bewegung
mit einer dem Schüttwinkel entsprechenden Flanke versetzt wird. Diese Kinematik ermöglicht
sowohl eine intensive Durchmischung als auch eine allseitige Behandlung der Schüttgutteile.
In der DE 42 09 384 C1 wird eine horizontal gelagerte Trommel beschrieben, an deren innerem
Umfang das Schüttgut durch die Fliehkraft bei entsprechend hoher Drehzahl stationär verteilt
ist und mit der Trommel umläuft. Dabei muß die Fliehkraft größer als das Gewicht der Teile
sein. Das Verfahren hat den Vorteil, daß die gesamte innere Mantelfläche als Oberfläche für
die Behandlung des Schüttgutes zur Verfügung steht. Ein gravierender Nachteil besteht jedoch
darin, daß zwischen den Schüttgutteilchen keine Relativbewegung auftritt. Damit sind nur die
der Trommelachse zugekehrten Oberflächen der Teilchen der Behandlung zugängig.
Zu der in der Regel erforderlichen allseitigen Behandlung der Teilchen muß a) die Trommel
drehzahl periodisch unter den kritischen Wert abgesenkt werden, so daß die Teilchen aus ihrer
Kreisbahn abstürzen oder b) ein feststehender oder beweglicher Abstreifer innerhalb der
Trommel installiert werden, der die Umschichtung der Teilchen bewirkt. Die unter a) genannte
Umschichtung kann zu einer Funktionsstörung an der Prozeßquelle (z. B. einem Verdampfer)
durch periodisch abstürzende Teilchen führen. Zur Vermeidung dieser Störung müßte die Pro
zeßquelle im Rhythmus der Drehzahlabsenkung abgedeckt oder aus der Trommel entfernt
werden. Bei der Umschichtung nach b) werden die Teilchen meist unzulässig stark bean
sprucht und es kann bei unterschiedlicher Teilchengröße zum Verklemmen von Teilchen zwi
schen Abstreifer und Trommelwandung kommen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, die die Verteilung des
Schüttgutes über den gesamten inneren Trommelumfang ermöglicht und bei der gleichzeitig
eine ständige oder zeitweise, schonende Umschichtung der Teilchen ohne Anordnung von
Wendevorrichtungen innerhalb der Trommel stattfindet.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird durch eine Einrichtung, bestehend aus ei
nem Rezipienten 1 mit Pumpeinrichtung, einer waagerecht oder gegenüber der Waagerechten
schwach geneigt gelagerten Trommel 4, die mit einer zur Haftung des Schüttgutes am Trom
melumfang ausreichenden Drehzahl rotiert und einer innerhalb der Trommel oder an ihren
Stirnseiten angeordneten Prozeßquelle, dadurch gelöst, daß durch eine geeignete Kinematik
oder andere Maßnahmen das rotierende Schüttgut eine Zone durchläuft, innerhalb deren der
für die Haftung der Teilchen am Trommelumfang kritische Radius rkrit unterschritten wird. Die
ser kritische Radius ergibt sich aus der Bedingung für die Teilchenhaftung am Trommelum
fang, nach der die Fliehkraft P der Teilchen größer als ihr Gewicht G sein muß.
Aus P = m·r·ω² < G = m · g folgt für diesen kritischen Radius rkrit g/ω².
Dabei bedeuten:
r = Radius des kreisenden Schüttgutes
m = Masse der Schüttgutteilchen
g = Erdbeschleunigung
ω = Winkelgeschwindigkeit der Teilchen
m = Masse der Schüttgutteilchen
g = Erdbeschleunigung
ω = Winkelgeschwindigkeit der Teilchen
Der kritische Radius ist unabhängig von der Teilchenmasse und hängt nur von der Winkelge
schwindigkeit der Teilchen ab. Bei Unterschreitung des kritischen Radius verlassen die Teil
chen die Kreisbahn und fallen frei auf einer Parabelbahn nach unten. Aufgrund immer vorhan
dener Geschwindigkeits- und Richtungsdifferenzen erfolgt eine Durchmischung beim Auftref
fen auf den Trommelmantel. Der Sektor, in dem das Schüttgut den Trommelumfang verläßt,
kann dabei relativ zum Trommelumfang wandern.
Ein Beispiel einer erfindungsgemäße Einrichtung ist in Fig. 1 dargestellt. In einem Rezipienten
mit Pumpeinrichtung ist in bekannter Weise eine drehbare Trommel waagerecht, oder gegenüber
der Waagerechten schwach geneigt, angeordnet und im Inneren und/oder an den Stirnseiten
mit Prozeßquellen bestückt. Die erfindungsgemäße Einrichtung ist dadurch gekennzeichnet,
daß die Trommel 4 zentrisch in einem Hilfsrahmen 2 im Punkt 11 gelagert ist, wobei der Hilfs
rahmen 2 wiederum in einem, im Abstand e zum Punkt 11 befindlichen Punkt 3 zentrisch im
Rezipienten 1 gelagert ist. Die Welle, auf der der Hilfsrahmen 2 sitzt, ist aus dem Rezipienten
herausgeführt und wird durch einen regelbaren Antrieb angetrieben. Über das Planetengetriebe
7 sind Hilfsrahmen 2 und Trommel 4 in der Weise gekoppelt, daß die Trommel 4 bei einer
Umdrehung des Hilfsrahmens 2 um den Drehpunkt 3 einen Bruchteil einer Umdrehung um ih
ren Mittelpunkt 11 ausführt. Durch die exzentrische Anordnung der Trommel läuft das Schütt
gut mit einem sichelförmigen Querschnitt um, wobei die Sichelform von Füllmenge und Dreh
zahl abhängt. Zur Kompensation der Unwucht sind Trommel 4 und Schüttgut 5 durch Aus
gleichsmassen 6 dynamisch ausgewuchtet. Die innere Oberfläche der Trommel kann dabei
glatt oder strukturiert sein. Durch den Planetentrieb wandert der Mittelpunkt der Trommel bei
jeder Umdrehung des Hilfsrahmens um einen gewissen Bruchteil seiner kreisförmigen Plane
tenbahn um den Rotationsmittelpunkt des Hilfsrahmens. In gleicher Weise wandert der sichel
förmige Querschnitt des Schüttgutes. Dabei unterschreitet je nach Lage der Sichelzone ein Teil
der Schüttgutteilchen den kritischen Radius rkrit. Befindet sich z. B. der Mittelpunkt der Sichel
zone 8 in Höhe der Rezipientenmitte oder darüber, löst sich ein Teil der in dieser Zone befind
liche Teilchen vom Trommelumfang und fällt in einer Parabelbahn in die untere Sichelzone 10.
Dabei erfolgt eine Umschichtung, die über viele Umläufe zu einer guten Durchmischung des
Schüttgutes führt.
Eine andere Möglichkeit zur Unterschreitung des kritischen Radius für die Teilchen besteht
darin, die Abweichung der Teilchen von der Kreisbahn nicht durch exzentrische Anordnung
der Trommel sondern durch deren Verformung von außen zu erzielen. Voraussetzung hierfür
ist, daß der Trommelmantel aus einem flexiblen Material oder einem Gliederband besteht und
daß er so geführt wird, daß an mindestens einer Stelle der Radius rkrit von den Schüttgutteil
chen auf der dem Mittelpunkt 3 zugewandten Schüttgutoberfläche örtlich unterschritten wird.
Fig. 2 zeigt eine Ausführung einer erfindungsgemäßen Einrichtung mit flexibler und konzen
trisch rotierender Trommel. Die Einrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß der Trommelman
tel 4 aus einem flexiblen Metallband oder einem Gliederband besteht, daß er Strukturen oder
Schikanen zur Mitnahme des Schüttgutes 5 besitzt, am Umfang durch Rollen 12 gestützt und
angetrieben wird, wobei mindestens an einer Stelle eine der Rollen 12 (Rolle 13) einen kleine
ren Abstand zum Mittelpunkt 3 als die übrigen Rollen besitzt. Liegt die Rolle 13 z. B. oberhalb
des Mittelpunktes 3, wird das außerhalb des kritischen Radius verteilte Schüttgut 5 an dieser
Stelle unterhalb des kritischen Radius rkrit gedrückt und fällt frei nach unten. Beim Wiederauf
treffen auf den Trommelmantel 4 wird es durch Geschwindigkeits- und Richtungsdifferenzen
gemischt.
Eine weitere Variante einer erfindungsgemäßen Einrichtung mit flexiblem Trommelmantel be
steht darin, den Trommelmantel konzentrisch auf angetriebenen Rollen rotieren zu lassen und
nur in bestimmten zeitlichen Abständen eine oder mehrere der auf dem Umfang angeordneten
Rollen soweit zum Mittelpunkt zu bewegen, daß der Radius rkrit von Schüttgutteilchen auf der
dem Mittelpunkt 3 zugewandten Schüttgutoberfläche örtlich unterschritten wird.
Die Erfindung soll nachstehend anhand von 2 Zahlenbeispielen näher erläutert werden.
Bei der Einrichtung in Fig. 1 wird das Unterschreiten des kritischen Radius für einen
Teil des Schüttgutes durch exzentrische Anordnung der Trommel auf einem Hilfsrahmen be
wirkt. Der Durchmesser des Rezipienten 1 beträgt 1000 mm. Der Durchmesser der Trommel 4
beträgt 800 mm. Die Exzentrizität e der Trommel 4 auf dem Hilfsrahmen 2 ist durch den Ab
stand der Rotationsmittelpunkte 3 und 11 gegeben und beträgt 30 mm.
Bei einer Drehzahl des Hilfsrahmens 2 von 318 min-1 beträgt die Winkelgeschwindigkeit der
durch die Fliehkraft am Trommelmantel haftenden Teilchen ω = 5,3 s-1. Damit ergibt sich für
den kritischen Radius ein Wert von rkrit = 9,81 ms-2/5,3² s-2 = 0,349 m. Die Füllmenge des
Schüttgutes ist so gewählt, daß ca. 10% der Schüttgutteilchen in der oberen Sichelzone den
kritischen Radius unterschreiten und nicht mehr am Umfang haften. Dadurch kommt eine
Relativbewegung zwischen diesen Teilchen und den weiterhin am Trommelumfang haftenden
Teilchen zustande, die für eine gute Durchmischung sorgt.
Bei der Einrichtung in Fig. 2 sind die Rollen 12 in einem Abstand von 400 mm kon
zentrisch um den Mittelpunkt 13 des Rezipienten 1 angeordnet. Der Trommelmantel 4 ist aus
flexiblen Material hergestellt, auf den Rollen 12 gelagert und wird von diesen angetrieben. Die
Rolle 14 befindet sich in einem Abstand von 320 mm zum Mittelpunkt 13. Die Drehzahl und
Winkelgeschwindigkeit der Trommel sind wie in Beispiel 1. Demnach wird rkrit an dieser Stelle
um ca. 30 mm unterschritten und die Schüttgutteilchen fallen etwa 200 mm nach unten. An
der Auftreffstelle tritt eine gute Durchmischung ein.
Bezugszeichenliste
1 Rezipient
2 Hilfsrahmen
3 Mittelpunkt des Rezipienten;
4 Trommel für die Aufnahme des Schüttgutes
5 Schüttgut
6 Ausgleichsmasse
7 Planetengetriebe
8 obere Sichelzone
9 Parabelbahn für Schüttgutteilchen
10 untere Sichelzone
11 Trommellagerung
12 Antriebsrollen mit kreisförmiger Anordnung
13 Antriebsrolle mit Abweichung von der kreisförmigen Anordnung
e Exzentrizität
rkrit kritischer Radius
2 Hilfsrahmen
3 Mittelpunkt des Rezipienten;
4 Trommel für die Aufnahme des Schüttgutes
5 Schüttgut
6 Ausgleichsmasse
7 Planetengetriebe
8 obere Sichelzone
9 Parabelbahn für Schüttgutteilchen
10 untere Sichelzone
11 Trommellagerung
12 Antriebsrollen mit kreisförmiger Anordnung
13 Antriebsrolle mit Abweichung von der kreisförmigen Anordnung
e Exzentrizität
rkrit kritischer Radius
Claims (5)
1. Einrichtung zum Behandeln von Schüttgut im Vakuum, bestehend aus einem Rezipienten (1)
mit Pumpeinrichtung, einer waagerecht oder gegenüber der Waagerechten schwach geneigt
gelagerten Trommel (4), die mit einer zur Haftung des Schüttgutes am Trommelumfang ausrei
chenden Drehzahl rotiert und einer innerhalb der Trommel oder an ihren Stirnseiten angeordne
ten Prozeßquelle, dadurch gekennzeichnet, daß durch eine geeignete Kinematik oder andere
Maßnahmen das rotierende Schüttgut eine Zone durchläuft, innerhalb deren der für die Haf
tung der Teilchen am Trommelumfang kritische Radius rkrit unterschritten wird.
2. Einrichtung zum Behandeln von Schüttgut im Vakuum nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Trommel (4) zentrisch in einem Hilfsrahmen (2) im Punkt (11) gelagert ist, der
Hilfsrahmen (2) zur Trommel (4) im Rezipienten (1) exzentrisch im Punkt (3) gelagert ist, der Hilfs
rahmen (2) in einem, im Abstand e zum Punkt (11) befindlichen Punkt (3) zentrisch im Rezipienten
(1) gelagert ist, daß Hilfsrahmen (2) und Trommel (4) durch ein Planetengetriebe (7) in der Weise
gekoppelt sind, daß die Trommel (4) bei einer Umdrehung des Hilfsrahmens um den Drehpunkt
(3) einen Bruchteil einer Umdrehung um ihren Mittelpunkt (11) ausführt und daß Hilfsrahmen ein
schließlich Trommel (4) und Schüttgut (5) durch Ausgleichsmassen (6) dynamisch ausgewuchtet
sind.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Mantel der zentrisch
rotierenden Trommel (4) aus einem flexiblen Metallband oder einem Gliederband besteht, daß er
Strukturen oder Schikanen zur Mitnahme des Schüttgutes (5) besitzt und daß er so geführt
wird, daß an mindestens einer Stelle der Radius rkrit von Schüttgutteilchen auf der dem
Mittelpunkt (3) zugewandten Schüttgutoberfläche örtlich unterschritten wird.
4. Einrichtung nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß der flexible Mantel der
Trommel (4) am Umfang auf angetriebenen Rollen (12) gelagert ist, die auf einem Kreis außerhalb
des Trommelmantels angeordnet sind, wobei die Unterschreitung des kritischen Radius durch
die Schüttgutteilchen durch mindestens eine der Rollen (12) erzielt wird, deren Anordnung von
der Kreisform abweicht.
5. Einrichtung nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß alle Rollen (12) auf einem
Kreis außerhalb des Trommelmantels angeordnet sind, wobei eine oder mehrere Rollen in zeit
lichen Abständen vorübergehend soweit zum Trommelmittelpunkt bewegt werden, daß der
Radius rkrit von Schüttgutteilchen auf der dem Mittelpunkt (3) zugewandten Schüttgutoberflä
che örtlich unterschritten wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944422688 DE4422688A1 (de) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | Einrichtung zur Behandlung von Schüttgut im Vakuum |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944422688 DE4422688A1 (de) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | Einrichtung zur Behandlung von Schüttgut im Vakuum |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4422688A1 true DE4422688A1 (de) | 1996-01-04 |
Family
ID=6521761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19944422688 Withdrawn DE4422688A1 (de) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | Einrichtung zur Behandlung von Schüttgut im Vakuum |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4422688A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997034024A1 (de) * | 1996-03-13 | 1997-09-18 | Robert Bosch Gmbh | Einrichtung zum vakuumbeschichten von schüttgut |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1521390A1 (de) * | 1965-06-23 | 1969-11-06 | Mallory & Co Inc P R | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Metallegierungsschichtwiderstaenden |
DD257554A3 (de) * | 1986-01-20 | 1988-06-22 | Ardenne Forschungsinst | Einrichtung zur statistischen beschichtung von schuettgut durch plasmatronsputtern |
-
1994
- 1994-06-29 DE DE19944422688 patent/DE4422688A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1521390A1 (de) * | 1965-06-23 | 1969-11-06 | Mallory & Co Inc P R | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Metallegierungsschichtwiderstaenden |
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WO1997034024A1 (de) * | 1996-03-13 | 1997-09-18 | Robert Bosch Gmbh | Einrichtung zum vakuumbeschichten von schüttgut |
US6220203B1 (en) | 1996-03-13 | 2001-04-24 | Robert Bosch Gmbh | Device for vacuum coating bulk material |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8130 | Withdrawal |