DE4407664C2 - Verfahren zur spektrometrischen Messung von Gasbestandteilen mit Laserdioden und Vervielfachung der Laserfrequenz - Google Patents
Verfahren zur spektrometrischen Messung von Gasbestandteilen mit Laserdioden und Vervielfachung der LaserfrequenzInfo
- Publication number
- DE4407664C2 DE4407664C2 DE4407664A DE4407664A DE4407664C2 DE 4407664 C2 DE4407664 C2 DE 4407664C2 DE 4407664 A DE4407664 A DE 4407664A DE 4407664 A DE4407664 A DE 4407664A DE 4407664 C2 DE4407664 C2 DE 4407664C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- gas
- radiation
- measuring
- frequency
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 71
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 59
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 26
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 19
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 11
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 11
- 235000019796 monopotassium phosphate Nutrition 0.000 claims description 6
- 239000007836 KH2PO4 Substances 0.000 claims description 4
- 229910000402 monopotassium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- GNSKLFRGEWLPPA-UHFFFAOYSA-M potassium dihydrogen phosphate Chemical compound [K+].OP(O)([O-])=O GNSKLFRGEWLPPA-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- WBPWDGRYHFQTRC-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxycyclohexan-1-one Chemical compound CCOC1CCCCC1=O WBPWDGRYHFQTRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 2
- LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N ammonium dihydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].OP(O)([O-])=O LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 39
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 3
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001307 laser spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001555 benzenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000000870 ultraviolet spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000002211 ultraviolet spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/33—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using ultraviolet light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren nach
dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein spektrometrisches Verfahren ist aus der
DE-OS 41 10 095 bekannt geworden.
Das bekannte Spektrometer benutzt als Sendeeinheit eine
Laserdiode, die mit einem modulierten Steuerstrom
betrieben wird. Die modulierte Laserstrahlung
durchdringt eine Gasküvette, in welcher bei
entsprechender Überlagerung von Strahlungswellenlänge
und Absorptionswellenlänge eine Schwächung der
transmittierten Strahlung in dem Maße auftritt, wie
nachzuweisende Gasbestandteile in der Meßkammer
vorhanden sind. Die Laserdiode wird zum Zwecke der
Erzeugung eines Inversionszustandes mit einem
Konstantstrom gespeist, welcher mit einer Frequenz im
Kilohertz-Bereich moduliert wird. Durch diese
Modulation ist eine Durchstimmung der Laserfrequenz
bzw. Wellenlänge um einige Zehntel bis einige Nanometer
(nm), je nach Bauart der Laserdiode möglich. Ein
Strahlungsdetektor empfängt die durch die Meßkammer
hindurchtretende Laserstrahlung und erzeugt ein
Meßsignal in Abhängigkeit von der Absorption der
Laserstrahlung in der Meßkammer. Zur Auswertung wird in
der Regel die zweite oder höhere Ableitung des
Meßsignales herangezogen (Derivativ-Spektroskopie).
Durch eine elektronische Schaltungsanordnung
(Lock-in-Verstärker) wird das empfangene Meßsignal
ausgewertet und zur Anzeige gebracht. Im Falle des
bekannten Spektrometers ist dies die Konzentration von
Sauerstoff in der Meßkammer. Die bekannte Vorrichtung
arbeitet mit einer Laserdiode, deren Emissionsstrahlung
im Bereich des roten Spektrums (760 bis 770 nm) liegt.
Viele der zu untersuchenden Gasbestandteile in einem
Gasgemisch absorbieren im Ultravioletten besonders gut
in einem schmalbandigen Wellenlängenbereich, der jedoch
der gängigen Laserspektroskopie mit einfachen Mitteln
schwer zugänglich ist.
Es ist bekannt (J. R. Murray, in: Laserspectroscopy and
its Applications, New York, 1987, Seiten 140 bis 147)
durch Frequenzvervielfachung abstimmbare Laser im
UV-Bereich zu erhalten.
Die bekannten Spektrometer benötigen jedoch eine
aufwendige Technik und sind wegen des hohen
Leistungsbedarfs der eingesetzten Laserstrahlen teuer,
benötigen viel Energie und sind nicht leicht
transportierbar.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe
zugrunde, ein Verfahren anzugeben, mit welchem ein
Spektrometer mit geringem Leistungsverbrauch,
insbesondere beim Einsatz von Laserdioden als
Strahlungsquelle, gewonnen wird, mit dem eine
zuverlässige Auswertung bei genügender
Störsignalunterdrückung möglich ist.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt mittels der im
kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 aufgeführten
Merkmale.
Der Vorteil der Erfindung liegt im wesentlichen darin,
daß ein tragbares, leichtes und mit zuverlässigen
Strahlungsquellen ausgestattetes Spektrometer in der
Lage ist, auch schwache Lichtsignale einer Laserdiode
für eine fast störsignalfreie Auswertung ausnutzen zu
können.
Bekannte Laserdioden, welche im Bereich von 780 ± 10 nm
eine Strahlungsleistung von etwa 100 Milliwatt abgeben,
erfahren nach Durchtritt durch einen nicht-linearen
Kristall eine Frequenzverdoppelung oder auch
Frequenzverdreifachung, wobei die Eingangsleistung nach
Verdoppelung auf etwa 10 Mikrowatt absinkt und nach
Verdreifachung weiterhin in der Größenordnung um den
Faktor 10-2 bzw. 10-3 abnimmt. Entsprechend erhält
man nach Durchtritt durch den nicht-linearen Kristall
eine Strahlungswellenlänge von 390 nm bzw. 260 nm.
Kristalle zur Frequenzverdoppelung und -verdreifachung
bestehen beispielsweise aus KDP (KH₂PO₄) oder KTP
(KTiPO₄). Die durch Frequenzvervielfachung erhaltene
geringe Leistung ist dennoch für eine Spektroskopie im
Ultravioletten ausreichend, da in diesem
Spektralbereich Detektoren erhältlich sind, die
praktisch keinen Dunkelstrom bzw. kein Rauschen zeigen.
Ein solcher Detektor ist beispielsweise von der Fa.
Hamamatsu unter der Typenbezeichnung 981 erhältlich,
der eine Rauschleistung von nur
3 × 10-15 W/(Hertz)1/2 besitzt. Bei einer Sekunde
Meßzeit bleibt ein Signal zu Rauschverhältnis von
10⁴ übrig. Das bedeutet, daß bei der erhaltenen
Leistung nach
Frequenzverdreifachung von beispielsweise 1 Nanowatt
immerhin 10⁹ Photonen/sec. detektiert werden, die
noch genügend über dem Rauschen des Detektors
erfaßbar sind. Arbeitet die Laserdiode darüber
hinaus lediglich im Impulsbetrieb, sind auch höhere
Ausgangsleistungen selbst nach Frequenzverdreifachung
oder -vervierfachung möglich.
Durch Variation der Temperatur oder des Stromes durch
den Halbleiterlaser kann die Wellenlänge verändert
werden. Üblicherweise verwendet man zur groben
Einstellung der Wellenlänge eines Halbleiterlasers
die Temperatur und zur feinen Modulation den Strom.
Im Falle des gepulsten Lasers kann man auch sehr gut
einen während des Pulses konstanten Strom (oder
konstante Leistung) anlegen. In diesem Fall verändert
der Laser durch interne Erwärmung seine Wellenlänge
während des Pulses, so daß auf diese Weise eine
Durchstimmung des Lasers erfolgt. Der zeitliche
Verlauf des Detektorsignals wird erfaßt. Durch
Auswertung des Detektorsignals nach Durchgang des
Lasers durch die Meßkammer kann auf die Absorption
des nachzuweisenden Gasbestandteils in der Probe
geschlossen werden.
Als spektroskopisches Verfahren kommt vorzugsweise
die Derivativspektroskopie in Frage, da mit deren
Hilfe eine gute Störsignalunterdrückung möglich ist.
Als ein besonders gutes Beispiel für die
UV-Spektroskopie im Wellenlängenbereich von 240 nm
bis 270 nm hat sich der Nachweis von Benzol erwiesen,
da sich in dessen ultraviolettem Spektrum ausgeprägte
diskrete Absorptionslinien mit einer Halbwertsbreite
deutlich kleiner als ein Nanometer zeigen, und sich
deshalb gut für eine Derivativspektroskopie eignen.
Hier erweist sich der kleine Bereich für die
Durchstimmung des Halbleiterlasers als vorteilhaft,
wobei im Pulsbetrieb noch genügend Leistung zur
Verfügung steht, um ein merkliches Absorptionssignal
zu detektieren. Dazu wird eine Laserdiode verwandt,
deren nominelle Strahlungsfrequenz von etwa 780 nm
durch mindestens einen nicht-linearen Kristall in
ihrer Strahlungsfrequenz verdreifacht wird, so daß
die resultierende Meßwellenlänge bei 260 nm liegt.
Durch Auswahl geeigneter Laserdioden und durch Strom
bzw. Temperaturveränderung der Laserdiode ist die
benutzte Meßwellenlänge soweit veränderbar, daß sie
die Absorptionslinien von Benzol bei den Wellenlängen
von 245, 249, 255 und 260 nm überstreichen kann. Man
erhält auf diese Weise ein einfaches, leichtes,
tragbares Nachweisgerät für Benzol.
In aller Regel ist in der zu untersuchenden Gasprobe
neben Benzol auch ein Störgas vorhanden, gegenüber
welchem der Meßdetektor eine Querempfindlichkeit
zeigt. Zumeist ist dieses Störgas Toluol.
Herkömmliche spektroskopische Verfahren können wegen
ihrer unzureichenden spektroskopischen Auflösung die
beiden Bestandteile Benzol und Toluol nur mit
erheblichem meßtechnischen Aufwand voneinander
unterscheiden. Bei Anwendung einer
frequenzvervielfachten Emissionsstrahlung einer
Laserdiode kann man jedoch diese Querempfindlichkeit
leicht unterdrücken. Dazu wird durch einen
Strahlteiler aus dem Laseremissionsstrahl ein
Referenzstrahl abgezweigt, der durch eine mit einem
Referenzgas gefüllte Referenzkammer geleitet wird.
Das Referenzgas kann sowohl das Meßgas als auch das
Störgas sein. Bei Anwendung der
Derivativspektroskopie hängt die Wahl des
Referenzgases von der relativen Lage der zu
untersuchenden Absorptionslinien von Meßgas und
Referenzgas ab. Folgende Fälle sind dabei zu
unterscheiden. (Als Beispiel wird die Messung von
Benzol unter Anwesenheit von Toluol als Störgas
herangezogen. Das gleiche Vorgehen kann jedoch bei
anderen Gasen ebenfalls angewendet werden):
Eine der scharfen Benzollinien ist deutlich getrennt von einer Störgaslinie, es findet also praktisch keine Überlappung beider Linien statt. Diese Benzollinie des Absorptionsspektrums wird als Meßwellenlänge gewählt, d. h. die Strahlung der Laserdiode wird auf die entsprechende Frequenz erhöht. In die Referenzkammer wird Benzol gefüllt und das Signal von einem Referenzdetektor erfaßt. Die dritte Ableitung des Referenzsignals wird in ihrem Nulldurchgang durch einen Lock-in-Verstärker festgehalten und als Referenzsignal zu einem Auswertegerät geführt. Dieses legt die Laseremissionsstrahlung auf diesen Nulldurchgang als Referenz fest. In der Meßkammer, in der ebenfalls Benzol ist, wird die Laserstrahlung entsprechend durch die bei der betrachteten Wellenlänge auftretenden maximalen Absorption geschwächt. Die Laserstrahlung wird um dieses Maximum moduliert. Das Signal der zweiten Ableitung des Strahlungsdetektors wird zur Auswertung herangezogen. (Anstatt die dritte Ableitung beim Referenzsignal zu nehmen, kann auch die 1. Ableitung gewählt werden; die dritte Ableitung hat jedoch bei Verwendung von Halbleiterdioden praktische Vorteile). Auf diese Weise wird das Meßsignal auf das Referenzsignal stabilisiert, und ein Signaldriften werden verhindert. Die Anwesenheit von Toluol beeinflußt das Meßsignal nicht.
Eine der scharfen Benzollinien ist deutlich getrennt von einer Störgaslinie, es findet also praktisch keine Überlappung beider Linien statt. Diese Benzollinie des Absorptionsspektrums wird als Meßwellenlänge gewählt, d. h. die Strahlung der Laserdiode wird auf die entsprechende Frequenz erhöht. In die Referenzkammer wird Benzol gefüllt und das Signal von einem Referenzdetektor erfaßt. Die dritte Ableitung des Referenzsignals wird in ihrem Nulldurchgang durch einen Lock-in-Verstärker festgehalten und als Referenzsignal zu einem Auswertegerät geführt. Dieses legt die Laseremissionsstrahlung auf diesen Nulldurchgang als Referenz fest. In der Meßkammer, in der ebenfalls Benzol ist, wird die Laserstrahlung entsprechend durch die bei der betrachteten Wellenlänge auftretenden maximalen Absorption geschwächt. Die Laserstrahlung wird um dieses Maximum moduliert. Das Signal der zweiten Ableitung des Strahlungsdetektors wird zur Auswertung herangezogen. (Anstatt die dritte Ableitung beim Referenzsignal zu nehmen, kann auch die 1. Ableitung gewählt werden; die dritte Ableitung hat jedoch bei Verwendung von Halbleiterdioden praktische Vorteile). Auf diese Weise wird das Meßsignal auf das Referenzsignal stabilisiert, und ein Signaldriften werden verhindert. Die Anwesenheit von Toluol beeinflußt das Meßsignal nicht.
Eine andere Vorgehensweise wird gewählt, wenn die
scharfen Benzollinien sich in irgendeiner Form
störend mit den Absorptionslinien des Störgases
überlappen. Dabei wird angenommen, daß das Störgas
eine Linie aufweist, deren Verlauf einen Wendepunkt
nahe einem Maximum der gewählten Benzollinie zeigt.
Jetzt wird die Referenzkammer mit dem Störgas
gefüllt, und die Laserstrahlung wird auf den
Nulldurchgang der zweiten Ableitung der Störgaslinie
festgehalten (Lock-in-Verstärker). Die Meßstrahlung
wird nahe dem Absorptionsmaximum moduliert, und das
durch den Strahlungsdetektor erfaßte Signal wird in
seiner zweiten Ableitung zur Erfassung des
Benzolanteils herangezogen. Das Meßsignal wird durch
die Anwesenheit des Störgases nicht beeinflußt, da
dessen Anteil durch die 2. Ableitung des
Referenzsignals stets gleich Null ist. Liegt
andererseits das Absorptionsmaximum der
Referenzgaspektrallinie in der Nähe eines
Wendepunktes der Meßgaspektrallinie, so wird das
Referenzsignal in seiner ersten Ableitung oder in
seiner dritten Ableitung zu Null gesetzt, und die
erste bzw. dritte Ableitung des Meßsignals des
Meßdetektors wird zur Bestimmung des zu
untersuchenden Gasbestandteils herangezogen. Wenn
auch die Bildung der ersten Ableitung des Maximums
der Referenzgasspektrallinie das Störsignal am
Referenzpunkt (Wendepunkt der Meßgasspektrallinie)
verschwinden läßt, so ist doch die Bildung der
dritten Ableitung bei der Verwendung eines
Halbleiterlasers günstiger, weil dadurch besser das
Driftverhalten des Lasers eliminiert werden kann.
Mit der Erfindung wird somit die Wellenlänge des
Lasers derart abgestimmt, daß bei der gewählten
Ordnung der Ableitung (2. Ordnung, bzw. 1. oder 3.
Ordnung) das Signal der Referenzspektrallinie zu Null
wird, und daß das Meßsignal mit derselben
Ableitungsordnung wie das Referenzsignal gemessen
wird. Dabei hängt die Wahl der Ableitungsordnung von
der relativen Lage von Referenzgasspektrallinie zu
Meßgasspektrallinie ab. Dabei müssen die Lage von
Maximum und Wendepunkt nicht unbedingt deckungsgleich
sein, sondern es reicht eine genügend nahe
Nachbarschaft aus. Wenn daher in irgendeiner Weise
die Benzollinien mit den Störgaslinien überlappen,
wird man sich eine Benzollinie aussuchen, bei der das
Maximum bzw. der Wendepunkt spektral möglichst gut
mit einem Wendepunkt bzw. Maximum/Minimum der
störenden Linienstruktur übereinstimmt (d. h. Maximum
der Benzollinie stimmt mit Wendepunkt der Störlinie,
Wendepunkt der Benzollinie stimmt mit Maximum/Minimum
der Störlinie möglichst gut überein). Bei dieser
Konstellation sind jeweils Kombinationen von
Referenzgasbefüllungen und Ableitungen möglich, die
das Störsignal ganz oder weitgehend unterdrücken.
Bei allen genannten Vorrichtungen ist die Meßkammer
entweder ein geschlossener Raum, durch den die Probe
hindurch befördert wird (z. B. mittels einer Pumpe),
oder die Meßkammer ist eine offene
Absorptionsstrecke, in welche die zu untersuchende
Meßprobe Zutritt hat.
Will man die Emissionsstrahlung des Lasers
verdreifachen, ist man bestrebt, die zur Verfügung
stehende Strahlungsleistung nach
Frequenzverdreifachung noch in möglichst hohem Maße
zur Verfügung zu haben. Statt einen einzigen
nicht-linearen Kristall zu nehmen, der mit der
Emissionslaserstrahlung durchstrahlt wird, ist es
zweckmäßig, die Emissionslaserstrahlung zunächst zur
Verdoppelung ihrer Frequenz einem ersten
nicht-linearen Kristall zuzuführen und anschließend
die frequenzverdoppelte Laserstrahlung gemeinsam mit
der ursprünglichen Emissionslaserstrahlung durch
einen zweiten nicht-linearen Kristall zu schicken.
Die frequenzverdoppelte Strahlung wird mit der
ursprünglichen Emissionslaserstrahlung im zweiten
nicht-linearen Kristall gemischt und erzeugt
Oberwellen dritter Ordnung der
Emissionslaserstrahlung. Geeignete Kristalle für die
Frequenzverdoppelung und die Frequenzverdreifachung
sind neben den Kristallen KDP und KTP vor allem
Lithiumjodat und Bariumbetaborat.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand der
Zeichnung dargestellt und im folgenden näher
erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 das Prinzipschaltbild eines
UV-Spektrometers mit Laserdioden
und einem nicht-linearen Kristall
zur Frequenzverdoppelung,
Fig. 2 den Teil des Strahlengangs für die
Laserstrahlung zur
Frequenzverdreifachung,
Fig. 3 und 4 die Lage von Meßgasspektrallinie
und Referenzgasspektrallinie
zueinander.
In Fig. 1 ist eine Laserdiode (1) dargestellt,
welche eine Emissionslaserstrahlung (2) von
etwa 780 nm emittiert. Die Laserdiode (1) ist auf
einen Temperaturstabilisator (4) montiert, dessen
Temperatur durch ein Steuerteil (5) auf einen
vorgegebenen Wert konstant gehalten wird. Das
Steuerteil (5) kann auf der anderen Seite auch die
Temperatur des Temperaturstabilisators (4) in der Weise
ändern, daß die Laserdiode (1) in vorgegebener Weise
die Wellenlänge ihrer Emissionslaserstrahlung (2)
verändert. Die Laserdiode (1) wird sowohl über eine
Gleichspannungsquelle (6) als auch über eine
Wechselspannungsquelle (7) betrieben. Die
Gleichspannungsquelle (6) erzeugt die Inversion der
Besetzungsdichte in der Laserdiode (1), und die
Wechselspannungsquelle (7) erzeugt als
Modulationseinheit eine Frequenzmodulation der
Emissionsstrahlung (2) bei konstanter Temperatur des
Temperaturstabilisators (4). Die Laserstrahlung (9)
durchtritt einen nicht-linearen Kristall (20), durch
dessen nicht-lineare Kristalleigenschaften die Frequenz
der Laserstrahlung verdreifacht wird, so daß die
Wellenlänge der Emissionsstrahlung (2) von zuvor 780 nm
auf nunmehr
260 nm verkürzt wird. Hinter dem Kristall (20) tritt
die Emissionsstrahlung (2) durch einen
halbdurchlässigen Strahlteiler (8), der die
Emissionsstrahlung (2) in eine als Meßstrahlung
dienende Laserstrahlung (9) und in eine der
Referenzmessung dienenden Referenzstrahlung (10)
aufteilt. Anschließend wird die Laserstrahlung (9)
durch eine Meßkammer (21) geleitet, durch deren Einlaß
(22) und Auslaß (23) eine Gasprobe durch ein nicht
dargestelltes Pumpelement gefördert wird, welche Benzol
und Toluol enthält. Die beiden der Laserstrahlung (9)
zugewandten Stirnflächen (24) der Meßkammer (21) sind
für die Laserstrahlung (9) durchlässig, welche
anschließend auf einen Strahlungsdetektor (26)
auftrifft. Die von dem Strahlteiler (8) abgezweigte
Referenzstrahlung (10)
durchdringt eine Referenzkammer (30), welche mit
einem Referenzgas gefüllt ist, das eine vorbekannte
Menge an Toluol enthält. Die Referenzstrahlung (10)
ist auf einen Referenzdetektor (32) gerichtet. Sowohl
das Detektorsignal des Strahlungsdetektors (26) als
auch das Detektorsignal des Referenzdetektors (32)
werden zu einem Auswerte- und Anzeigegerät (33)
geführt. Das Auswerte- und Anzeigegerät (33)
stabilisiert die Strahlung der Laserdiode (1) auf den
Nulldurchgang der ersten oder zweiten Ableitung des
Signals des Referenzdetektors (32).
Fig. 2 zeigt dasselbe Blockschema wie Fig. 1,
wobei identische Bauteile mit denselben Bezugsziffern
versehen sind. Die Emissionslaserstrahlung (2) wird
nacheinander durch zwei nicht-lineare
Kristalle (40, 41) gestrahlt: Nach dem ersten
Kristall (40) tritt neben der unveränderten
Emissionslaserstrahlung (2) frequenzverdoppelte
Laserstrahlung geringerer Intensität aus. Beide
Strahlungen treten wiederum in den zweiten
nicht-linearen Kristall (41) ein. Aus dem zweiten
Kristall (41) treten Oberwellen dritter Ordnung aus,
welche aus einer Mischung der Grundwelle der
Emissionslaserstrahlung (2) und der
frequenzverdoppelten Laserstrahlung entstanden sind.
Die so frequenzverdreifachte Laserstrahlung (9) tritt
in die Meßkammer (21) ein und wird, wie in Fig. 1
erläutert, zur Messung herangezogen.
Um die Deutlichkeit der Fig. 1 und 2 nicht zu
beeinträchtigen, sind die Mittel zur Unterdrückung
des Einflusses der Grundwelle der
Laseremissionsstrahlung (2) und der 1. Oberwelle auf
sowohl den Strahlungsdetektor (26) als auch den
Referenzdetektor (32) nicht dargestellt. Solche
Mittel sind in der Spektroskopie bekannt, und
bestehen beispielsweise aus dispersiven Mitteln wie
Filter, Prismen, welche die störende Wellenlänge auf
eine Blende ablenken, durch die diese dann aus dem
Strahlengang entfernt sind. Günstig ist ebenfalls,
geeignete Detektoren (26, 32) auszuwählen, die für
die Grundwellenlänge und die 1. Oberwelle
unempfindlich sind; z. B. Detektoren auf der Basis
von GaAs.
In Fig. 3 liegt der Wendepunkt (50) der
Referenzgasspektrallinie (51) in der Nähe des
Maximums (52) der Meßgasspektrallinie (53). Durch
Bildung der zweiten Ableitung der
Referenzgasspektrallinie (51) (im Beispiel die
Störgasspektrallinie für Benzol bei einer
Toluolmessung) wird diese am Ort des Maximums (52) zu
Null (Nulldurchgang), und die Meßgasspektrallinie
(53) wird ebenfalls in ihrer zweiten Ableitung
gebildet und das daraus resultierende Signal zur
Bestimmung des Anteils des zu untersuchenden Gases
herangezogen.
Fig. 4 zeigt den Fall, daß der Wendepunkt (60) der
Meßspektrallinie (61) mit dem Maximum (62) der
Referenzgasspektrallinie (63) zusammenfällt. Zur
Durchführung der Derivativspektroskopie werden von
beiden Spektrallinien (61, 63) jeweils entweder die
erste oder die dritte Ableitung gebildet und zur
Auswertung herangezogen.
Claims (5)
1. Verfahren zur spektroskopischen Messung von
Gasbestandteilen eines Meßgases in einer Meßkammer,
die von der Meßstrahlung einer modulierten
Laserdiode durchstrahlt wird, welche an eine
Modulationseinheit für die Laserfrequenz
angeschlossen ist, und deren
Emissionslaserstrahlung zu ihrer
Frequenzvervielfachung auf mindestens einen
nicht-linearen Kristall gerichtet ist, der die
nominale Laserfrequenz auf diejenige erhöht, welche
mit mindestens einer Absorptionswellenlänge des
Meßgases übereinstimmt, mit einem Strahlteiler,
welcher von der frequenzvervielfachten
Laserstrahlung einen Referenzstrahl abzweigt, der
eine mit Referenzgas gefüllte Referenzkammer
durchstrahlt und auf einen Referenzdetektor trifft,
und mit einem die nach ihrem Durchgang durch die
Meßkammer austretende Meßstrahlung auf nehmenden
Strahlungsdetektor, wobei die von dem
Strahlungsdetektor und dem Referenzdetektor
erzeugten Signale einer Auswerteeinheit zur
Durchführung einer Derivativspektroskopie zugeführt
werden, dadurch gekennzeichnet, daß in der
Referenzkammer (30) ein neben dem zu untersuchenden
Gasbestandteil möglicherweise ebenfalls vorhandenes
Störgas als Referenzgas enthalten ist, dessen
Absorptionslinien sich mit den Absorptionslinien
des zu untersuchenden Gasbestandteils überlappen,
und daß die Wellenlänge der Emissionslaserstrahlung
(2) durch die an den Meßdetektor (26) und an den
Referenzdetektor (32) einerseits und an die
Modulationseinheit (7) andererseits angeschlossene
Auswerteeinheit (33) derart geregelt wird, daß wenn
das Absorptionsmaximum (52) der Meßgasspektrallinie
(53) in der Nähe eines Wendepunktes (50) der
Absorptionslinie der Referenzgasspektrallinie (51)
liegt, das Referenzsignal des Referenzdetektors
(32) in seiner zweiten Ableitung zu Null wird und
die zweite Ableitung des Meßsignals des
Meßdetektors (26) zur Bestimmung des zu
untersuchenden Gasbestandteils herangezogen wird,
und daß wenn das Absorptionsmaximum (62) der
Referenzgasspektrallinie (63) in der Nähe eines
Wendepunktes (60) der Meßgasspektrallinie (61)
liegt, das Referenzsignal des Referenzdetektors
(32) in seiner ersten oder dritten Ableitung zu
Null wird und die erste oder dritte Ableitung des
Meßsignals des Meßdetektors (26) zur Bestimmung des
zu untersuchenden Gasbestandteils herangezogen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Laserdiode (1) eine nominale
Strahlungsfrequenz von etwa 780 nm hat und daß der
nicht-lineare Kristall (20, 40, 41) eine
Frequenzverdreifachung erzeugt, die die
Laserfrequenz auf den Absorptionsbereich von Benzol
als Meßgas im Wellenlängenbereich von 240 nm bis
270 nm erhöht.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Kristall (20) ein KDP- oder ein ADP-Kristall
ist (KDP=KH₂PO₄; ADP=NH₄H₂PO₄).
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Emissionslaserstrahlung (2)
zur Verdoppelung ihrer Frequenz einem ersten
nicht-linearen Kristall (40) zugeführt wird und daß
die Emissionslaserstrahlung (2) und die
frequenzverdoppelte Laserstrahlung gemeinsam einem
zweiten nicht-linearen Kristall (41) zugeführt sind.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß der erste Kristall (40) aus Lithiumjodat und
der zweite Kristall (41) aus Bariumbetaborat
besteht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4407664A DE4407664C2 (de) | 1993-03-10 | 1994-03-09 | Verfahren zur spektrometrischen Messung von Gasbestandteilen mit Laserdioden und Vervielfachung der Laserfrequenz |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4307595 | 1993-03-10 | ||
DE4407664A DE4407664C2 (de) | 1993-03-10 | 1994-03-09 | Verfahren zur spektrometrischen Messung von Gasbestandteilen mit Laserdioden und Vervielfachung der Laserfrequenz |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4407664A1 DE4407664A1 (de) | 1994-09-15 |
DE4407664C2 true DE4407664C2 (de) | 1996-02-29 |
Family
ID=6482445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4407664A Expired - Fee Related DE4407664C2 (de) | 1993-03-10 | 1994-03-09 | Verfahren zur spektrometrischen Messung von Gasbestandteilen mit Laserdioden und Vervielfachung der Laserfrequenz |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5436459A (de) |
DE (1) | DE4407664C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19840345A1 (de) * | 1998-09-04 | 2000-03-09 | Draeger Medizintech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum quantitativen Aufspüren eines vorgegebenen Gases |
DE10031674A1 (de) * | 2000-06-29 | 2002-01-17 | Siemens Ag | Verfahren zur Brennwertbestimmung von Erdgas |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19544929C2 (de) * | 1995-12-01 | 2001-02-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum flußmittelfreien Aufbringen eines Lötmittels auf ein Substrat oder einen Chip |
DE29607076U1 (de) * | 1996-04-18 | 1996-08-29 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 79183 Waldkirch | Opto-elektronischer Sensor zur Erkennung transparenter Objekte |
US6188705B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-02-13 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Fiber grating coupled light source capable of tunable, single frequency operation |
US6064488A (en) * | 1997-06-06 | 2000-05-16 | Monitor Labs, Inc. | Method and apparatus for in situ gas concentration measurement |
US5930000A (en) * | 1998-02-11 | 1999-07-27 | Monitor Labs, Inc. | Line-locked diode laser for gas spectroscopy |
JP3510149B2 (ja) * | 1999-05-10 | 2004-03-22 | ユニ・チャーム株式会社 | 体液処理物品 |
US20020031737A1 (en) * | 2000-03-10 | 2002-03-14 | American Air Liquide, Inc. | Method for continuously monitoring chemical species and temperature in hot process gases |
DE10056382B4 (de) | 2000-11-14 | 2004-07-01 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanmikroskop |
HU226449B1 (en) * | 2005-11-14 | 2008-12-29 | Univ Szegedi | Method and device for selective determining contaminating components of a gaseous sample on photoacoustic principle using distant exciting wavelengths |
JP2012501089A (ja) * | 2008-08-28 | 2012-01-12 | ソイテック | 塩化物ガス流の紫外線吸収によるモニタおよび制御 |
US9012851B2 (en) * | 2010-10-14 | 2015-04-21 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Optical chamber module assembly |
DE102010063558A1 (de) * | 2010-12-20 | 2012-06-21 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Vorrichtung zur fotometrischen Erfassung eines Gehalts einer Substanz in einer Messflüssigkeit |
EP2482057B1 (de) * | 2011-01-27 | 2013-03-20 | Sick Ag | Gasanalysator zur Messung des Quecksilbergehalts eines Gases und dessen Kalibrierungsverfahren |
US20120219285A1 (en) * | 2011-02-28 | 2012-08-30 | David Jimmy Dahan | In-band optical signal to noise ratio monitoring technique |
JP2015532536A (ja) | 2012-10-05 | 2015-11-09 | デイビッド ウェルフォード, | 光を増幅するためのシステムおよび方法 |
CN103487403B (zh) * | 2013-10-14 | 2015-09-02 | 北京信息科技大学 | 带有参考腔补偿的双波长组合光纤激光器气体检测系统 |
CN103487402B (zh) * | 2013-10-14 | 2015-09-02 | 北京信息科技大学 | 带有饱和吸收光纤的环形腔内腔光纤激光器气体检测系统 |
CN104568829B (zh) * | 2013-10-14 | 2017-04-19 | 北京信息科技大学 | 采用参考腔主动反馈补偿的光纤激光器气体检测系统 |
JP2016033484A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-10 | 横河電機株式会社 | 参照光分岐用光学系 |
US9568458B2 (en) * | 2014-08-21 | 2017-02-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical sensor for fluid analysis |
CN107621457B (zh) * | 2017-09-27 | 2024-07-16 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种深紫外光倍频测试装置 |
US10466106B2 (en) * | 2017-12-22 | 2019-11-05 | Nec Corporation | Gas concentration measurement by 2F signal trough distance |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4450356A (en) * | 1982-06-07 | 1984-05-22 | Sri International | Frequency-mixed CO2 laser radar for remote detection of gases in the atmosphere |
US5142542A (en) * | 1991-01-07 | 1992-08-25 | Amoco Corporation | Signal-resonant intracavity optical frequency mixing |
DE4110095C2 (de) * | 1991-03-27 | 1998-02-12 | Draegerwerk Ag | Verfahren zur gasspektroskopischen Messung der Konzentration eines Gasbestandteiles |
US5317447A (en) * | 1992-04-24 | 1994-05-31 | Electro Scientific Industries, Inc. | High-power, compact, diode-pumped, tunable laser |
-
1994
- 1994-02-04 US US08/191,634 patent/US5436459A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-03-09 DE DE4407664A patent/DE4407664C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19840345A1 (de) * | 1998-09-04 | 2000-03-09 | Draeger Medizintech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum quantitativen Aufspüren eines vorgegebenen Gases |
DE19840345B4 (de) * | 1998-09-04 | 2004-09-30 | Dräger Medical AG & Co. KGaA | Verfahren und Vorrichtung zum quantitativen Aufspüren eines vorgegebenen Gases |
DE10031674A1 (de) * | 2000-06-29 | 2002-01-17 | Siemens Ag | Verfahren zur Brennwertbestimmung von Erdgas |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5436459A (en) | 1995-07-25 |
DE4407664A1 (de) | 1994-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4407664C2 (de) | Verfahren zur spektrometrischen Messung von Gasbestandteilen mit Laserdioden und Vervielfachung der Laserfrequenz | |
DE3690149C2 (de) | Einrichtung zum Nachweis einer spektralen Eigenheit einer Probe | |
DE102013209751B3 (de) | Laserspektrometer und Verfahren zum Betreiben eines Laserspektrometers | |
DE68907911T2 (de) | Verfahren und geraet zum nachweis eines gases mittels photoakustik. | |
DE1964469C3 (de) | Vorrichtung zur Atomabsorptionsanalyse einer Probe | |
DE4437575C2 (de) | Spektrometer mit kohärenter und periodisch gepulster Strahlung | |
DE2438294A1 (de) | Verfahren zur messung kleiner gaskonzentrationen | |
DE4223337A1 (de) | Verfahren und Anordnung zur photothermischen Spektroskopie | |
DE19514386A1 (de) | Optischer Frequenzgenerator | |
DE2362935A1 (de) | Anordnung zur ueberwachung der luftverunreinigung | |
EP3112846B1 (de) | Verfahren zur bestimmung der konzentration einer gaskomponente und spektrometer dafür | |
EP0484282B1 (de) | Verfahren und Anordnung zur Thermowellenanalyse | |
DE4122572A1 (de) | Verfahren zum betrieb einer laserdiode | |
DE10044404C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von stabilisierten ultrakurzen Laser-Lichtpulsen | |
DE3207377A1 (de) | Vorrichtung zur durchfuehrung einer spektralanalyse | |
EP0685729A1 (de) | Spektroskopisches Verfahren zur Messung kleinster spezifischer Absorptionssignale | |
DE4226220A1 (de) | Verfahren und system zur messung von elektrischen hochfrequenz- und breitbandfrequenz-signalen durch elektro-optischen effekt | |
DE3819531A1 (de) | Signalprozess- und betriebstechnik zur laserspektroskopischen mengenbestimmung von ammoniak in gasgemischen | |
DE102011083750A1 (de) | Verfahren und Anordnung zum Einstellen eines Laserspektrometers | |
WO2015039936A1 (de) | Verfahren und gasanalysator zur messung der konzentration einer gaskomponente in einem messgas | |
DE2948590A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur gasanalyse | |
DE19911325C1 (de) | Vorrichtung zur Analyse von mehreren Komponenten einer Gasprobe mittels akustooptisch durchstimmbarer Filter und deren Verwendung | |
DE68914753T2 (de) | Elektro-optisches Messverfahren für die Frequenzanalyse von Signalen hoher Bandbreite. | |
EP3130912A1 (de) | Verfahren zur bestimmung der konzentration einer gaskomponente und spektrometer dafür | |
DE102022124375B3 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Raman-Spektroskopie |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |