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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine magnetfeldunterstützte Zerstäubungsanordnung
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine damit bestückte Vakuumbehandlungsanlage
nach Anspruch 18.
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Es
ist bekannt, Materialien, seien dies elektrisch leitende oder elektrisch
isolierende, dadurch im Vakuum zu zerstäuben, dass ein elektrisches
Feld zwischen der zu zerstäubenden
Oberfläche
des Materials, der Targetoberfläche,
und eine Gegenelektrode erzeugt wird, damit eine Plasmaentladung,
und mit den positiven Ionen eines dem Reaktionsraum zugeführten Gases
die erwähnte
Oberfläche
abgestäubt
wird. Das abgestäubte
Material wird entweder direkt zur Beschichtung von Werkstücken im
Prozessraum eingesetzt oder in Form eines Reaktionsproduktes nach
Reaktion mit einem dem erwähnten Raum
zugeführten
Reaktivgas.
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Solche
Zerstäubungsverfahren
werden in DC-Plasmen, HF-Plasmen
oder in Plasmen durchgeführt,
welche durch DC und überlagertem
AC erzeugt sind.
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Dabei
ist es weiter bekannt, trotz der völlig verschiedenen Detailmechanismen
des eigentlichen Zerstäubungsprozesses
für die
erwähnten
Fälle der Plasmaanregung,
die Plasmadichte und damit Zerstäubungsrate
dadurch zu erhöhen,
dass im Bereiche der zu zerstäubenden
Targetoberfläche
ein Magnetfeld angelegt wird. Ein solches magnetfeldunterstütztes Zerstäuben ist
z.B. unter dem Begriff Magnetronzerstäuben bekannt.
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Weiter
ist es bekannt, den Fluss des erwähnten Magnetfeldes mindestens
teilweise über
der Targetoberfläche
tunnelförmig
zu schließen.
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Im
Weiteren ist es bekannt, wie beispielsweise für Magnetronerstäuben in
der EP-0 399 710 A1, der US-5 130 005 A, der DE-A1-33 31 245 oder
der DE-A1-35 06 227 dargestellt, den Fluss des erwähnten Magnetfeldes
bezüglich
der Targetoberfläche
zu bewegen und damit den Bereich maximaler Zerstäubungsrate, sei dies, um das
Target möglich
gleichmäßig abzustäuben, oder
sei dies, um am Werkstück eine
erwünschte
Verteilung der Rate sich ablegenden Materials zu erreichen.
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Auch
bei reaktivem Zerstäuben
ist es bekannt, den genannten Fluss relativ zur zerstäubten Fläche zu bewegen.
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Dabei
können
weiter vorgesehene Targetkonfigurationen plan sein, wie im Falle
der bekannten Planarmagnetrons, oder können Raumflächen definieren, wie beispielsweise
konkave, wozu auf die Topfmagnetronanordnung nach der DE-35 06 227 verwiesen
sei. Die Targetanordnung kann dabei ein einteiliges oder mehrere
Targets umfassen.
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Die
vorliegende Erfindung betrifft in ihrem weitesten Aspekt alle die
erwähnten
Zerstäubungstechniken
bzw. entsprechende magnetfeldunterstützte Zerstäubungsanordnungen.
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Aus
der DE-A1-33 31 245 sowie der
US 5 130 005 A ist es für ein planares Magnetron bekannt, zur
Realisation einer Relativbewegung zwischen dem erwähnten Magnetfeldfluss
und der Targetoberfläche
unter einer Targetanordnung eine Magnetanordnung zu bewegen. Gemäß der DE-A1-33
31 245 wird hierzu eine Magnetanordnung in einer Kühlmediumskammer,
welche einseitig von der Targetanordnung abgeschlossen ist, bestehend
aus Halterungsplatten und aus Target, bezüglich einer Drehachse exzentrisch
drehbewegt oder zusätzlich über Nockenführungen
entlang der Targetanordnung bewegt und damit ein sich entlang der
zu zerstäubenden
Targetfläche
bewegendes tunnelförmiges
Magnetfeld erzeugt. Der Drehantrieb der Magnetanordnung erfolgt
entweder durch die Strömung
des Kühlmediums,
nämlich
von Wasser, durch die Kühlkammer oder über eine
durch die Kammerwandung geführte Antriebswelle.
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Aus
der
US 5 130 005 A ist,
als Planarmagnetron ausgebildet eine magnetfeldunterstützte Zerstäubungsanordnung
der eingangs erwähnten
Art bekannt. Sie umfasst ein Anordnungsgehäuse, worauf stirnseitig eine
Targetanordnung montierbar ist, welche hier ausschließlich aus
dem Target besteht und die darunter liegende Trägerplatte nur durch Zerlegen
der Anordnung montierbar bzw. demontierbar ist. Angrenzend an die
Montageplatte definiert das Gehäuse
eine Ringkammer, worin, um eine Drehachse beweglich gelagert, eine
Magnetträgeranordnung vorgesehen
ist, welche ein Magnetfeld erzeugt, dessen Fluss einen Bereich des
auf der Trägerplatte montierten
Targets durchdringt und welcher durch die Relativdrehbewegung der
Magnetträgeranordnung zum
gehäusefesten
Target verschoben wird.
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Im
Weiteren ist ein Elektromotor vorgesehen, der über Zahnriemen und Getriebe über eine
durch die Wandung der Kammer durchgeführte Ritzelachse schließlich auf
die Magnetträgeranordnung
wirkt. An dieser Anordnung ist nachteilig, dass der Elektromotor
und die zwischen Magnetträgeranordnung
und Elektromotor vorgesehene Antriebsübertragung sehr viel Platz
beansprucht und weiter der abgesetzt von der als Kühlkammer
wirkenden Ringkammer mit der Magnetträgeranordnung montierte Antriebsmotor
separat gekühlt
werden muss. Ein weiterer Nachteil ist, dass mittels einer aufwändigen Überwachungselektronik
die Bewegung der Magnetanordnung selbst überwacht werden muss, um auch
Defekte zwischen Antriebsmotor und Magnetanordnung zu detektieren.
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Die
US 5,194,131 A zeigt
eine Vorrichtung zum magnetfeldunterstützten Zerstäuben. Dabei ist in einer Vakuumkammer
ein plattenförmiger
Träger, auf
dessen einer Stirnseite ein Motor getragen ist und auf dessen anderer
Stirnseite eine von einer Trägerplatte
für das
Target umschlossene wasserdichte Kammer ausgebildet ist, in der
ein Magnet über
eine durch den plattenförmigen
Träger
hindurchgeführte Welle über ein
geeignetes Getriebe drehbar ist. Da die Kühlkammer, in der sich der Magnet
dreht, wasserdicht ist, muss auch die Durchführung der Welle dichtend ausgebildet
sein.
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Bei
der Vorrichtung gemäß
US 5,194,131 A ist
insbesondere als nachteilig anzusehen, dass zum einen die Magnetträgeranordnung über ein
Getriebe mit entsprechend hohem Konstruktionsaufwand angetrieben
wird und zum anderen die Getriebeausgangswelle über eine dichtende Drehdurchführung verfügen muss,
da sie in eine von Kühlmittelflüssigkeit
durchströmte
Kammer ragt.
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Die
WO 90/13137 A1 zeigt ebenfalls eine Magnetronzerstäubungseinrichtung
mit einer mit einem Targetmaterial versehenen Wärmesenkenplatte unterteilten
Gehäuse,
dessen Vakuumkammer die zu beschichtenden Gegenstände aufnimmt.
Auf der dem Target abgewandten Seite der Wärmesenkenplatte befindet sich
im Gehäuse
eine Magnetanordnung, die über
eine durch eine Gehäusewandung hindurchgeführte Welle
von einem außerhalb
des Gehäuses
angeordneten Motor antreibbar ist. Auch diese Ausgestaltung ist
aufwändig.
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Die
US 5,130,005 A zeigt
ebenfalls eine Magnetronbeschichtungseinrichtung mit einem Gehäuse, in
der sich eine drehbare Magneteinheit befindet, die über eine
Welle sowie ein Getriebe von einem außerhalb des Gehäuses angeordneten,
aber an letzterem befestigten Motor antreibbar ist. Auch dies ist
mit konstruktivem Aufwand verbunden.
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Es
ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine magnetfeldunterstützte, konstruktiv
einfache und wenig störungsanfällige Zerstäubungsanordnung
zu schaffen.
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Erfindungsgemäß wird die
genannte Aufgabe bei einer Zerstäubungseinrichtung
der eingangs genannten Art durch das Kennzeichen des Anspruchs 1
gelöst.
Durch die erfindungsgemäße Lösung der
unmittelbaren Verbindung des Rotors des Motors mit der Magnetträgeranordnung
entfallen jegliche Wellendurchführungen,
wie sie beim Stand der Technik vorhanden sind, wodurch die erfindungsgemäße Lösung konstruktiv
einfach und wenig störungsanfällig ist.
Motor-Rotor und Magnetanordnung sind immer drehfest miteinander
verbunden, in einem gemeinsamen Gehäusehohlraum angeordnet, wodurch
sich darüber
hinaus eine höchst
kompakte Bauweise ergibt. Die Targentanordnung bildet einen stirnseitigen
Abschluss der Rotor- und Magnetträgeranordnung auch neben dem
Gehäusehohlraum,
so dass deren Kühlung
gleichzeitig den elektromo torischen Antrieb mitkühlt. Die erfindungsgemäße Bauweise
erlaubt insbesondere auch das Vermeiden eines Getriebes und damit
eine drastische Reduktion der Zahl bewegter Teile. Dies erhöht die Betriebssicherheit
und senkt die Herstellungskosten und führt zu einer äußerst kompakten
Bauweise.
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Unter
elektromotorischem Antrieb sei dabei grundsätzlich ein Antrieb verstanden,
bei welchem zwischen Stator und Rotor eine Wirkverbindung über elektromagnetische
Felder erfolgt.
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Die
Kompaktbauweise der Zerstäubungsanordnung
wird weiter bevorzugterweise durch Vorgehen nach dem Wortlaut von
Anspruch 2 weiter erhöht.
In einer bevorzugten Ausführungsvariante
nach Anspruch 3 handelt es sich bei der erfindungsgemäßen magnetfeldunterstützenden
Zerstäubungsanordnung
um die darin spezifizierte.
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Gemäß Wortlaut
von Anspruch 4 wird die eingangs erwähnte Bewegung des Magnetfeldflusses
entlang der zu zerstäubenden
Targetoberfläche grundsätzlich als
beliebige Bahn ausgelegt,
vorzugsweise als geschlossene Bahn.
Ersteres ist ohne weiteres dadurch möglich, dass an der Magnetträgeranordnung,
welche primär
eine reine Drehbewegung ausführt,
Magnete angeordnet sind, die ihrbezüglich wiederum gesteuert bewegbar
sind, und/oder Elektromagnete, welche zeit- bzw. drehwinkelselektiv
angesteuert werden und/oder die Magnete exzentrisch angeordnet werden.
Dies gemäss Wortlaut
von Anspruch 5.
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Obwohl
es durchaus möglich
ist, beim relativ bewegten System zwischen Target und Magnetträgeranordnung
bezüglich
einer Anlage, woran die erfindungsgemässe Anordnung montiert ist,
d.h. dem absolut ruhenden System, das Target zu bewegen und dabei
die Magnetträgeranordnung
absolut ruhend zu belassen, wird in einer weit bevorzugten Ausführungsvariante
nach Anspruch 6 das Gehäuse
zur Montage an einer Vakuumbeschichtungsanlage ausgebildet und damit
zum ruhenden Bezugsystem.
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Weitere
bevorzugte Ausführungsvarianten sind
in den Ansprüchen
7 bis 17 spezifiziert. Eine erfindungsgemässe Vakuumbehandlungsanlage
nach Anspruch 18 zeichnet sich aufgrund der erwähnten und noch zu beschreibenden
Vorteile der erfindungsgemässen
Zerstäubungsanordnung
insbesondere auch durch höchst
kompakten Aufbau aus.
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Die
Erfindung wird anschliessend beispielsweise anhand von Figuren erläutert.
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Es
zeigen:
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1 schematisch
das Grundprinzip der erfindungsgemässen Zerstäubungsanordnung bei ruhendem
Gehäuse
und planarem Target;
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2 schematisch
in Analogie zu 1, die prinzipielle erfindungsgemässe Anordnung,
topfmagnetronartig;
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3 im
Längsschnitt
eine heute bevorzugte Ausführungsvariante
der erfindungsgemässen magnetfeldunterstützten Zerstäubungsanordnung, woran
alle vorteilhaften Teilaspekte kombiniert eingesetzt sind.
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In 1 ist
schematisch eine erfindungsgemässe
magnetfeldunterstützte
Zerstäubungsanordnung
mit planarer Targetanordnung 1 dargestellt, welche insbesondere
eine Targetplatte umfasst. Die Targetanordnung 1 schliesst
das Gehäuse 3 der
Zerstäubungsanordnung
gegen den Prozessraum U ab. Innerhalb des Gehäuses 3, in einer Magnetträgerkammer 5a ist
eine Permanent- und/oder
Elektromagnete 7 umfassende Magnetträgeranordnung 5 um eine
Achse A drehbar gelagert. Die durch die Magnete 7 gebildete
Anordnung kann dabei an der Trägeranordnung 5 stationär montierte
Permanent- und/oder Elektromagnete umfassen oder, wie gestrichelt
schematisch bei r dargestellt, Permanent- und/oder Elektromagnete,
die zusätzlich
zur Drehbewegung um die Achse A bezüglich der Trägeranordnung 5 bewegt werden,
sei dies radial und/oder azimutal, generell derart, dass bezüglich des
Gehäuses 3 die
Magnete eine vorgegebene Bahn durchlaufen. Dadurch wird der Bereich
an der zu zerstäubenden
Oberfläche
der Targetanordnung 1, durch welchen und entlang welchem
der Magnetfeldfluss ΦB wirksam ist, auf entsprechenden Bahnen
verschoben, was auch durch Ansteuerung an der Magnetträgeranordnung 5 fest vorgesehener
Elektromagnete erfolgen kann.
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In
der Figur ist rein schematisch und qualitativ der Verlauf des Flusses ΦB bei exzentrisch zur Achse A angeordneten
Magneten dargestellt (ausgezogen und gestrichelt), dies bei einem
tunnelförmigen
Fluss über
der Targetoberfläche.
Strichpunktiert ist ein ebenfalls insbesondere bei HF-Anwendungen ein setzbares
Flussbild dargestellt.
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Der
schematisch in 1 dargestellte Magnetfeldfluss ΦB ist damit mindestens teilweise tunnelförmig über der
zu zerstäubenden
Targetoberfläche geschlossen
und/oder ist überwiegend über targetnahe
Strukturen, wie Rahmen des Gehäuses 3,
geschlossen.
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Die
Magnetträgeranordnung 5 ist
erfindungsgemäss
drehfest mit dem Rotor 9 eines elektromotorischen Antriebes
gekoppelt, dessen Stator 10 drehfest mit dem Gehäuse 3 verbunden
ist. Ueber einen Ringluftspalt 12 wirkt der kraftübertragende
elektromagnetische Antriebsfluss ΦM.
Die dargestellte Zerstäubungsanordnung
wird im Sinne eines Magnetrons DC-betrieben oder hochfrequenzbetrieben
oder als Mischform mit DC und AC betrieben und damit über eine
Gegenelektrode 14 eine Plasmaentladung erzeugt. Dabei kann,
wie üblich,
das Prozesskammergehäuse 3a mit
Gegenelektrode 14 gemeinsam auf Bezugspotential, wie beispielsweise
auf Massepotential gelegt werden. Es kann weiter, wie dem Fachmann
bekannt, die Gegenelektrode 14 auf Biaspotential gelegt
werden, oder eine Biaselektrode separat vorgesehen werden.
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In 1 sind
schematisch an der Speiseeinheit 16 die verschiedenen Möglichkeiten
der Plasmaentladungsspeisung dargestellt.
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In 2 ist
die Zerstäubungsanordnung
gemäss 1 für eine nicht
planare, zu zerstäubende Targetoberfläche dargestellt,
nämlich,
als Beispiel, für
eine kegelförmige,
wobei sowohl bei der Targetanordnung nach 1 wie auch
nach derjenigen von 2 die zu zerstäubende Oberfläche durch
ein einziges Target oder durch mehrere realisiert sein kann.
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In 3 ist
eine heute bevorzugte Realisationsform einer erfindungsgemässen Zerstäubungsquelle
dargestellt, beispielsweise in Form eines Planarmagnetrons. Die
Kathodenanordnung 1 besteht aus der eigentlichen Targetplatte 21 und
hier z.B. einer Rückplatte 23,
welche Platten im montierten Zustand sowohl thermisch wie auch elektrisch
eng gekoppelt sind, wie durch gegenseitiges Verspannen oder Verbonden.
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Die
elektrisch als ein Block wirkende Targetanordnung
1 ist
lösbar
am Gehäuse
3 der
Anordnung montiert, nämlich
an einem metallischen Montageflansch
25. Die Targetanordnung
1 wird
dabei (nicht dargestellt) mit einem Spannrahmen auf den Montageflansch
25 gespannt
oder bildet, wie hier, mit dem Flansch
25 einen Targetwechsel-Schnellverschluss,
wie einen Bajonettverschluss. Ein solcher ist aus der
EP 0 512 456 A1 , die diesbezüglich zum
integrierten Bestandteil der vorliegenden Beschreibung erklärt wird,
bekannt.
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Ueber
einen Isolationsflansch 27 ist der Montageflansch 25 mit
den übrigen
Teilen des Gehäuses 3 verbunden,
welches im wesentlichen glockenförmig
ausgebildet ist, und targetanordnungsseitig mit einer Wandung 29,
im wesentlichen aus einem steifen Kunststoffmaterial, gemeinsam
mit der Targetanordnung 1 eine Kühlkammeranordnung 31 definiert. Dabei
ist die Kühlkammeranordnung 31 einseitig
direkt durch die Targetanordnung 1 definiert, oder es ist eine
wärmeleitende
Folie 31a vorgesehen, welche durch den Druck im Kühlmedium
gegen die Targetanordnung 1 gepresst wird.
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Gerade
wenn die Targetanordnung
1 mittels eines Schnellverschlusses
auswechselbar ist, dient die mediumbetätigte Folie, gemäss der genannten
EP 512 456 A1 ,
als Spannorgan bzw. Entspannorgan für den Verschluss, wie z.B.
für den
genannten Bajonettverschluss.
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Die
Wandung 29 setzt sich koaxial zur Achse A in einer Rohrwandung 33 fort,
welch letztere gemeinsam mit der Wandung 29 im Gehäuse 3 eine Magnetträger-Ringkammer 35 festlegt.
An Lagern 37 ist an einem zentral das Rohr 33 bzw.
generell die zentrale Achse halternden Gehäusezentralteil 39 ein Rotor 41 drehbeweglich
gelagert. Ein Stator 43, drehfest am Gehäuse 3,
definiert, zusammen mit dem Rotor 41, den Ringluftspalt 12, über welchen
der elektromotorische Antrieb des Rotors 41 erfolgt. Am
Rotor 41 ist drehfest die Magnetträgeranordnung 5 gelagert,
welche in der Magnetträgeranordnungskammer 35 bei
Antrieb des Rotors umläuft.
Der Durchmesser des Spaltringes 12 ist dabei wesentlich
grösser
als die Axialausdehnung des Spaltes 12, womit ein präziser und
insbesondere hinreichend langsamer Drehantrieb des Rotors erfolgen
kann und gleichzeitig der ohnehin von der Targetanordnung 1 aufgespannte Raum
im Sinne der Kompaktheit der Anordnung optimal ausgenützt wird
und dabei auf ein Getriebe verzichtet werden kann.
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Als
Antrieb wird vorzugsweise ein Asynchronmotor mit Statorwicklungen 45 eingesetzt
und wicklungslosem Rotor, ein Asynchronmotor in optimal, axial betrachtet,
flacher Bauweise.
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Je
nach Einsatz kann auch ein anderer Antriebsmotor, z.B. ein elektronisch
kommutierter Motor oder ein DC-Motor eingesetzt werden, beispielsweise
elektronisch gesteuert.
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Der
Innenraum des Rohres 33, wie erwähnt, aus elektrisch isolierendem
Material, vorzugsweise Kunststoff, wird, als Trennwandung, mittels
eines Innenrohres 47 in eine Zuleitung 49 und
eine Rückführleitung 51 unterteilt,
zur Zirkulation eines Kühlmediums
zu und von der Kühlkammer 31.
Das metallische Innenrohr 47 ist elektrisch mit einer metallischen
Unterteilungswandung 53 verbunden, welche sich im wesentlichen
parallel zur Wandung 29 und der Targetanordnung 1 durch
die Kühl kammer 31 erstreckt.
Im Zentralbereich ist in der Trennwandung 53 eine Austrittsöffnung 55 vorgesehen,
durch die in Pfeilrichtung durch die Zuleitung 49 zufliessendes
Kühlmedium entlang
der Targetanordnung 1 nach aussen fliesst. An der Peripherie
der Trennwandung 53 sind Rückflussöffnungen 57 vorgesehen, über welche
das Kühlmedium
radial zurück
in die Rückführleitung 51 fliesst.
Ist eine Folie 31a vorgesehen, so stellt diese dann, wenn
sie elektrisch leitend ist, einen grossflächigen Kontaktbereich an die
Targetanordnung sicher.
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Die
Zuführleitung 49 im
Rohr 33 ist über
eine Verbindungsleitungsanordnung 59 mit einem flexiblen
Kunststoffschlauch 61 verbunden, welcher, in einem Kunststoffteil 63 des
Gehäuses 3 eingebettet, nach
aussen geführt
ist und dort um die Aussenfläche
des Gehäuses 3 mehrmals
geschlauft ist. Die Rückführleitung 51 kommuniziert
mit der radial nach aussen führenden
Leitungsanordnung 65.
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Ueber
Rohr 33, Wandung 29 und Kunststoffteil 63 des
Gehäuses
ist die Wandung 47, welche sich als Trennwandung durch
das Rohr 33 erstreckt, von den metallischen Teilen des
Gehäuses 3 elektrisch
isoliert und ist mit einem elektrischen Anschluss 67 verbunden,
woran das elektrische Signal für
den Betrieb der Targetanordnung 1 angelegt wird. Die elektrische
Kontaktierung der letzteren erfolgt weiter über die Trennplatte 53,
welche peripher mit dem metallischen Halterahmen 25 verbunden
ist, und gegebenenfalls die Folie 31a.
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Als
Kühlmedium
wird vorzugsweise Wasser eingesetzt. Vom Anschluss 67 mit
der Hochspannung für
die Targetanordnung 1 fällt
die Spannung entlang des radial nach aussen geführten Abschnittes des Schlauches 61 bzw.
der darin enthaltenen Wassersäule
als Wasserwiderstand so ab, dass aussen am Gehäuse 3 praktisch Bezugspotential,
d.h. Massepotential, erreicht ist.
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Die
Kühlkammer
ist in Axialrichtung optimal dünn,
so dass gesamthaft eine optimale Wirkung des Magnetsystems auf der
zu zerstäubenden
Oberfläche
der Targetanordnung 1 erwirkt wird.
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Durch
Vorsehen des elektrisch isolierenden, vorzugsweise aus Kunststoff
bestehenden, mit der Wandung 29 einteiligen Rohres wird
die Isolation zwischen spannungsführender Wandung 47 als
elektrische Zuführung
zur Targetanordnung sowie Platte 53 zu den metallischen
Teilen des Gehäuses 3 sichergestellt,
ohne komplizierte Isolationsvorkehrungen, was das Volumen der erfindungsgemässen Zerstäubungsanordnung
weiter reduziert. Das Vorsehen der Trennwandung 53 in Kombination
mit den Zu- und Wegführungen
für das
Kühlmedium
im Rohr 33 ergibt optimalerweise eine Strömung frischen
Kühlmediums
entlang der Targetanordnung und ihrer Rückfliessen im Bereich der Wandung 29,
wobei gleichzeitig die Trennwandungen für die Zu- und Wegführungen
für das
Kühlmedium
als elektrische Anschlussleitungen für die Targetanordnung 1 eingesetzt
sind.
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In 3 bezeichnen
weiter, nur auf der rechten Seite eingetragen, 70 einen
Montageflansch an der Vakuumkammer, 72 eine Vakuum-Ringdichtung, 74 eine
gegebenenfalls vorgesehene Hf-Dichtung und 76 eine
Abschirmung.
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Die
Targetanordnung 1 ist mit einem Bajonettverschluss, spannbar über Folie 31a durch
den Druck des Kühlmediums,
versehen und wird durch Verdrehen bezüglich des Montage- bzw. Bajonett-Flansches 25 vakuumkammerseitig
entfernt bzw. ersetzt. Die ganze Anordnung mit Antrieb und Kühlkammer
inkl. Folie 31a kann, in der Figur, nach unten, also von
der Normalatmosphäre
N her demontiert und vom Flansch 70 entfernt werden.
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Auch
durch diese konstruktiven Massnahmen, welche den Aufbau der Anordnung
drastisch vereinfachen, wird die Kompaktheit erreicht bzw. das Volumen
der Zerstäubungsanordnung
wesentlich reduziert.
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Durch
Vorsehen des flexiblen Schlauches 61 und damit Realisation
eines Wasserwiderstandes wird einerseits ein genügender Spannungsabfall zwischen
hochspannungsführenden
Teilen und dem Gehäuse 3 mit
geringen elektrischen Verlust sichergestellt, und anderseits wird
dadurch gleichzeitig das Gehäuse 3 gekühlt. Es
wird somit mit demselben, für die
Targetanordnungskühlung
ohnehin vorzusehenden System das Gehäuse des Antriebssystems und damit
dessen Stator durch Wärmeleitung
gekühlt.
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Aufgrund
des grossen Durchmessers des Koppelringspaltes zwischen Stator und
Rotor kann die Umdrehung des Rotors optimal langsam und gleichmässig angesteuert
werden, womit aufwendige und voluminöse Getriebe vermieden werden.
Das Umdrehungsverhalten des Antriebssystems kann einfach elektronisch
gesteuert bzw. geregelt werden. Gesamthaft betrachtet, wird die
Anzahl notwendiger Bauteile, verglichen mit herkömmlichen Konstruktionen von
Zerstäubungsquellen,
drastisch verringert, was die Zuverlässigkeit erhöht und den
Konstruktionsaufwand reduziert.