DE4401978C2 - Vorrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung von Objekten mittels optischer und/oder holographisch-interferometrischer Methoden - Google Patents

Vorrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung von Objekten mittels optischer und/oder holographisch-interferometrischer Methoden

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung von Objekten mittels optischer und/oder holographisch-interferometrischer Methoden, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Die bekannten Methoden der optischen (z. B. Speckle-optischer) und/oder holographisch-interferometrischen zerstörungsfreien Prüfung beinhalten eine Belastung des zu prüfenden Objektes. Dabei hängt die praktische Möglichkeit, die Prüfung mit interferometrischen Mitteln durchzuführen, entscheidend von der Art des zu prüfenden Objektes sowie der Belastung ab. Diese müssen die erforderliche interferometrische Stabilität aufweisen und dürfen keine optischen Störungen in dem das Objekt umgebenden Medium erzeugen. Für Objekte mit zusammenhängender, geschlossener Oberfläche wie z. B. Membrane oder andere Bauteile können diese Bedingungen relativ leicht erfüllt werden bei der Verwendung von Luft- (Druck-)Belastung.
Eine entsprechende Vorrichtung, die solche Arten von Objekten und Belastungen vorsehen, ist beschrieben in "Laser und angewandte Strahltechnik", Nr. 1, 1970, Seiten 23-25. Diese Vorrichtung umfaßt eine optische Aufnahmeeinrichtung, eine aus einem zerlegbaren Gehäuse bestehenden Druckkammer zur Aufnahme des zu prüfenden Objektes, die auch die Mittel zur Befestigung des zu prüfenden Objektes in der Druckkammer aufweist, derart daß das zu prüfende Objekt die Druckkammer in zwei Teilkammern unterteilt, sowie Mittel zum Einstellen von unterschiedlichen Luftdrücken in den beiden Teilkammern zur Erzeugung einer Druckdifferenz auf beiden Seitenflächen des zu prüfenden Objektes.
Diese Vorrichtung ist jedoch ungeeignet zum Einsatz bei Objekten mit nicht- geschlossener Oberfläche, die Schlitze und/oder Öffnungen enthält wie z. B. biologische oder mechanische Herzklappenprothesen, Trägerplatten (Wafers), Computerchips, dünne, flächenhafte Materialien oder Materialproben, etc. Wegen derartiger Öffnungen kann keine stabile Luftdruck-Differenz erzeugt werden zwischen den beiden Abteilungen, so daß keine stabile (Druck-)Belastung des zu prüfenden Objektes erreicht werden kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher, eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 zur zerstörungsfreien Prüfung von Objekten, die Schlitze und/oder kleine Öffnungen enthalten, weiterzubilden.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale.
Die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung umfaßt eine wasserdichte Druckkammer, die als Mittel zum Einstellen von unterschiedlichen Drücken in den beiden Teilkammern und damit zur Erzeugung einer Druckdifferenz auf beiden Seitenflächen des zu prüfenden Objektes zwei Behälter, die unter Atmosphärendruck stehen, aufweisen, wobei jeweils ein Behälter mit jeweils einer der beiden Teilkammern verbunden ist, und die Druckkammer und die beiden Behälter mit derselben Flüssigkeit so füllbar sind, daß die Druckkammer vollständig gefüllt ist, wohingegen jeder der Behälter nur teilweise und mit einer unterschiedlichen Höhe des jeweiligen Flüssigkeitsstandes zur Einstellung der Druckdifferenz gefüllt ist und die unterschiedlichen Höhen durch ein Mittel zur Veränderung der Flüssigkeitsstände in den Behältern einstellbar sind.
Durch die Verwendung einer Flüssigkeit als Mittel zum Druck-Einstellen (Grundsätzlich aus Experimental Mechanics, Dezember 1968, Seiten 548- 553 bekannt) wird wegen der Inkompressibilität und Viskosität der Flüssigkeit eine gleichmäßig verteilte Belastung des zu prüfenden Objektes selbst bei Objekten mit engen Schlitzen und kleinen Öffnungen erzeugt. Auf diese Weise wird die interferometrische Stabilität der (Druck-)Belastung und des optischen Mediums in dieser Vorrichtung und damit die Prüfung von Objekten mit nicht- geschlossenen Oberflächen ermöglicht.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der beigefügten Abbildung dargestellt, die einen Längsschnitt durch die Druckkammer zeigt.
Die Vorrichtung umfaßt die Druckkammer und die optische Aufnahmeeinrichtung 1 z. B. für die holographische Interferometrie. Das wasserdichte Gehäuse der Druckkammer 2 - üblicherweise mit zylindrischem Querschnitt - kann in zwei Teile 3, 4 zerlegt werden, um Zugang zu dem zu prüfenden Objekt 5 zu ermöglichen. Ein Dichtungsring 11 und Schrauben 12 erlauben einen wasserdichten Verschluß des Gehäuses. Die Druckkammer 2 ist mit einer Flüssigkeit 6, z. B. destilliertem Wasser gefüllt. Das Gehäuse besitzt Glasfenster 31, 41, die einen optischen Zugang zu der Objektoberfläche für die Aufnahmerichtung 1 ermöglichen. Üblicherweise wird für die zerstörungsfreie Prüfung nur eine Aufnahmeeinrichtung 1 eingesetzt. Es können jedoch auch zwei solcher Einrichtungen gleichzeitig angewendet werden für die gleichzeitige Analyse beider Oberflächen des zu prüfenden Objektes 5. Dabei ist jede der Einrichtungen für sich fähig, alle drei räumlichen Komponenten des Verformungsvektors zu erfassen. Die Druckkammer 2 hat in ihrem Inneren Befestigungsmöglichkeiten für das Objekt 5, die z. B. aus einer zylindrischen Halterung 32 und einem Quetschring 33 bestehen können. Die Objektoberfläche teilt das Innere der Druckkammer 2 in zwei Teilkammern I, II. Das Gehäuse kann Öffnungen 34 zur Entlüftung oder zum Entleeren besitzen, die flüssigkeitsdicht verschlossen werden können.
Zwei Behälter 7, 8 sind an einem Ende Atmosphärendruck ausgesetzt und jeweils mit dem anderen Ende mit einer der beiden Teilkammern auf je einer Seite des zu prüfenden Objektes 1 verbunden. Die Behälter 7, 8 können eine beliebige Form und einen beliebigen Verlauf in Relation zum Gehäuse haben. Die Behälter 7, 8 sind mit der gleichen Flüssigkeit 6 unterschiedlicher Höhe der Flüssigkeitsstände gefüllt (H bezeichnet die Höhendifferenz der Flüssigkeitsstände in den Behältern 7, 8). Ein Ventil 14, das z. B. an einem der Behälter oder an einer der Teilkammern angebracht ist, dient als Mittel zur Veränderung der Höhendifferenz der Flüssigkeitsstände und kann damit als Mittel zur Veränderung der (Druck-)Belastung des zu prüfenden Objektes verwendet werden. Bei der Durchführung einer zerstörungsfreien Prüfung erzeugt eine kontrollierte Veränderung der Flüssigkeitsstände eine entsprechende Veränderung in der Belastung des zu prüfenden Objektes. Da die Inkompressibilität und Viskosität der Flüssigkeit eine abrupte Veränderung der Druckbelastung verhindert, ist die Belastung selbst bei Objekten mit engen Schlitzen oder kleinen Öffnungen stabil.

Claims (2)

1. Vorrichtung zur zerstörungsfreien Prüfung von Objekten mittels optischer und/oder holographisch-interferometrischer Methoden, mit einer optischen Aufnahmeeinrichtung, mit einer aus einem zerlegbaren Gehäuse bestehenden Druckkammer zur Aufnahme des zu prüfenden Objektes, die Mittel zur Befestigung des zu prüfenden Objektes in der Druckkammer aufweist, derart daß das zu prüfende Objekt die Druckkammer in zwei Teilkammern unterteilt sowie mit Mittel zum Einstellen von unterschiedlichen Drücken in den beiden Teilkammern zur Erzeugung einer Druckdifferenz auf beiden Seitenflächen des zu prüfenden Objektes, dadurch gekennzeichnet, daß
  • - die Mittel zum Einstellen der unterschiedlichen Drücke zwei Behälter (7, 8), die unter Atmosphärendruck stehen, aufweisen, wobei jeweils ein Behälter (7, 8) mit jeweils einer der beiden Teilkammern (I, II) verbunden ist,
  • - die Druckkammer (2) und die beiden Behälter (7, 8) mit derselben Flüssigkeit (6) so füllbar sind, daß die Druckkammer (2) vollständig gefüllt ist, wohingegen jeder der Behälter (7, 8) nur teilweise und mit einer unterschiedlichen Höhe des jeweiligen Flüssigkeitsstandes zur Einstellung der Druckdifferenz gefüllt ist und die unterschiedlichen Höhen durch ein Mittel zur Veränderung der Flüssigkeitsstände in den Behältern (7, 8) einstellbar sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Mittel zur Veränderung der Flüssigkeitsstände in den Behältern (7, 8) ein Ventil (14) aufweist, das an einem oder an jedem der Behälter (7, 8) oder an einer oder an jeder der Teilkammern (I, II) angebracht ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10261775A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-01 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Abbildungssystems

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106767669B (zh) * 2017-03-28 2022-11-29 天津城建大学 土体单向应变测试装置及其测试方法
CN112985287B (zh) * 2021-03-23 2021-10-26 路港集团有限公司 一种桥梁施工变形监测装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4124755C2 (de) * 1991-07-25 1994-12-22 Lazar Mihail Dan Dr Vorrichtung zur Sichtbarmachung und/oder Messung der Verformung eines Gleitrings

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10261775A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-01 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Abbildungssystems
US7408652B2 (en) 2002-12-20 2008-08-05 Carl Zeiss Smt Ag Device and method for the optical measurement of an optical system by using an immersion fluid
US8120763B2 (en) 2002-12-20 2012-02-21 Carl Zeiss Smt Gmbh Device and method for the optical measurement of an optical system by using an immersion fluid
US8836929B2 (en) 2002-12-20 2014-09-16 Carl Zeiss Smt Gmbh Device and method for the optical measurement of an optical system by using an immersion fluid

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